KR0138007B1 - 폴리곤 미러 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 레이저광등의 주사를 행하기 위한 폴리곤미러에 있어서, 대형의 폴리곤미러에 있어서도, 반사각도의 미세조정을 할수 있고, 또한 반사면의 부분적인 교환보수도 가능한 뛰어난 폴리곤미러를 제공할 수 있는 것을 목적으로 한 것으로서, 그 구성에 있어서, 금속제의 다각형기체(1)와, 기체(1)상의 각변에 고정된 기판(2)과, 기판(2)상에 고정된 전반사경(3)과, 기체(1)와 기판(2)과의 사이에 각도조정기구를 설치하므로서 폴리곤미러를 얻을 수 있다.

Description

폴리곤 미러

제1도는, 본 발명의 제 1실시예에 있어서의 폴리곤미러의 구성도

제2도는, 동 회전방향에 평행한 단면도

제3도는, 본 발명의 제 2실시예의 있어서의 폴리곤미러의 회전방향에 평행한 단면도

제4도는, 종래의 폴리곤미러의 외관도

제5도는, 종래의 폴리곤미러의 구성도

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1:기체(基體)2:기판(基板)

3:전반사경(全般射鏡)

4:고정나사7:각도조정나사

9:각도조정판

본 발명은 레이저광등의 광선의 주사를 행하기 위한 폴리곤미러에 관한 것이다.

제 4도는 종래의 폴리곤미러의 외관도로서 8변체의 경우를 표시한다. 제 4도에 있어서, (11)은 반사면, (12)는 축장착구멍이다. 폴리곤미러는, 유리 또는 금속재로로부터 깎아내서 만들어지고 있었다.

그러나 상기한 바와같은 폴리곤미러에서는, 가공용레이저에 사용되게 되는 대형상의 것은 제작 곤란하였다.

그 때문에 제 5도에 표시한 일본국 특개평2-173718호 공보에 표시되어 있는 바와같이, 금속제 다각형기체(基體 )(13)의 외주부 전반사(全反射)코우팅이 실시된 유리판(14)을 실리콘고무계 접착제(15)에 의해서 첩부하므로서, 대형이고 또한 제작이 용이한 폴리콘미러가 제공되고 있다.

그러나 상기한 종래의 구성에서는, 제작시에 반사면이 되는 코우팅이 실시된 유리판을 접착하는 방법이기 때문에, 예를들면 뒤로 반사각도의 미세조정이 필요해졌을 때, 그 조정은 할 수 없다. 또, 반사면에 부분적인 손상이 발생하였을 경우에도, 그 부분만을 보수하는 것은 곤란하고, 전체를 교환할 경우가 대부분이라고 하는 문제점을 가지고 있었다.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하는 것으로서, 반사각도의 미세조정이 가능하고, 또한 반사면의 교환이 가능한 폴리곤미러를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 폴리곤미러는, 금속제의다각형기체와, 기체상의 각 변에 고정된 기판과, 기판상에 고정된 전반사경과, 기체와 기판과의 사시의 각도조정기구라고 하는 구성을 가지고 있다.

이 구성에 의해서, 전반사경이 고정된 기판을 기체의 각 변에 고정하므로써, 폴리곤미러를 대형상이라도 용이하게 제작할 수 있고, 또한 각도조정기구에 의해서 반사면의 각도를 조정하므로써 반사각도를 미세조정하고, 소망의 주사선을 얻을 수 있다. 또, 반사경이 파손되었을 경우에도, 각 기판을 기체로부터 떼낼수 있으므로, 용이하게 보수할 수 있다.

이하, 본 발명의 일실시예에 대해서, 도변을 참조하면서 설명한다.

제 1도에 있어서, (1)은 기체, (2)는 기판, (3)은 전반사경, (4)는 고정나사, (5)는 축장착구멍, (6)은 능(陵)부분의 무효부, (7)은 각도조정나사이다.

먼저 기판(2)에 접착제 또는 고정금구에 의해서 전반사경(3)을 고정한다. 다음에, 전반사경(3)이 장착된 기판(2)을, 알루미늄합금등과같은 경량의 금속재료로 제작된 기체(1)에 고정나사(4)에 의해 고정한다. 또 능부분의 무효부(6)를 장착하므로써 폴리곤미러는 완성된다. 또 각도조정나사(7)로 각 반사면의 반사각도의 미세조종을 할 수 있다. 제 2도에 폴리곤미러의 회전방향에 평행한 단면도를 표시한다. 제 2도에 있어서, 각도조정나사(7)는 기판(2)에 설치된 암나사로 삽입되고 있다. 각도조정은 일단 고정나사(4)를 풀고, 각도조정나사(7)를 회전시켜서 각도조정나사(7)의 기판(2)로부터의 돌출량을 조정하고, 다시 고정나사(4)를 조여서 기판(2)를 기체(1)에 고정하므로써 가능하게된다. 전반사경(3)을 기판(2)에 고정하는데 있어서, 기판(2)의 중앙부의 두께가 주변보다도 기판의 외주에 평행하게 얇게 하므로서, 기판(2)에 기인하는 전반사경(3)의 표면변형을 경감할 수 있다.

또 반사각도의 미세조정은, 제 3도에 표시한 바와같이 기체(1)과 기판(2)의 사이에 박판제(9)을 끼우고, 고정하므로서 행할 수 있다.

이상과 같이 본 발명은, 금속제의 다각형기체와, 기체상의 각 변에 고정된 기판과, 기판상에 고정된 전반사경과, 기체와 기판과의 사이에 각도조정기구를 설치하므로서, 반사각도의 미세조정이 가능하고, 도한 반사면의 교환이 가능한 뛰어난 폴리곤미러를 실현할 수 있는 것이다.

Claims (4)

1. 금속제의 다각형 기체와, 기체상의 각 변에 고정된 기판과, 상기 기판상에 고정된 전반사경과, 기체와 기판과의 사이의 각도조정기구를 구비한 것을 특징으로하는 폴리곤미러.
2. 제 1항에 있어서, 판은, 중앙부의 두께가 주변보다도 기체의 외주에 평행하게 얇은 것을 특징으로 하는 폴리곤미러.
3. 제 1항에 있어서, 체와 기판과의 사이의 각도조정은 기판으로부터 돌출한 나사의 길이에 의해 행하는 것을 특징으로 하는 폴리곤미러.
4. 제 1항에 있어서, 체와 기판과의 사시의 각도조정은 기체와 기판에 끼워진 박판제의 두께에 의해 행하는 것을 특징으로 하는 폴리곤미러.