JPH02173718A - ポリゴン・ミラー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はポリゴン・ミラーに関するものである。

従来の技術 第３図は従来のポリゴン・ミラーの外観図で８面体の場
合を示す。第３図において、１４は反射面、１５　ｉｊ
　シャフト取付穴である。ポリゴン・ミラーは、ガラス
もしくは金属材料から削り出して作られていた。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のようなポリゴン・ミラーでは、加工
用レーザに用いられるような大形状のものは製作困難で
あった。たとえばＹＡＧレーザ加工装置において、加工
点のスポット径が０．２Ｍとなるように、ビームを２０
０５幅走査する必要がろる場合、ポリゴン・ミラーの大
きさは直径２００鱈を越えてしまう。このような大形状
のポリゴン・ミラーは重量化以外に次のような問題点が
ある。

ガラス製は硝材自体の用意がむずかしくなシ非常に高価
となるだけでなく、反射面への反射コーティングも実際
上困難となる。また、金属製は、反射率がガラス製に比
べ劣り、また反射面が傷つきやすくメンテナンス性が悪
いという問題点を有していた。

本発明は上記問題点に鑑み、高反射率で製作容易なポリ
ゴン・ミラーを提供するものである。

課題を解決するための手段 上記目的を達成するために本発明のポリゴン・ミラーは
金属製の多角形基体の外周部に全反射コーティングを施
されたガラス板をシリコン−ゴム系接着剤にて貼シ付け
たものである。

作　　用 本発明は上記した構成によって、大形状の基体を金属製
にて容易に供給することができる。またガラス板上の全
反射コーティングにより９９チ以上の高反射率が得られ
るだけでなく、接着剤にシリコン・ゴム系を用いること
により、凝固収縮時に発生するひずみを伴わず、表面精
度を良好に保つことができる。

実施例 以下本発明の一実施例のポリゴン・ミラーについて、図
面を参照しながら説明する。

第１図は本発明の第１の実施例におけるポリゴン・ミラ
ーの構成図を示すものである。第１図において、１は基
体、２は全反射ミラー、３はシリコン・ゴム系接着剤、
４は陵の無効部、６はシャフト取付穴である。アルミ合
金等の軽量な金属材料から作製された基体１には、陵の
無効部４を残して全反射ミラー２を取り付けるための溝
加工が施されている。全反射ミラー２をシリコン−ゴム
系の接着剤３で基体１に接着することにより、全反射ミ
ラー２０表面精度を良好に保つことが出来る。また面倒
れ等のポリゴン・ミラーとしての性能は、基板１と全反
射ミラー２の加工精度および接着時の組立て精度によっ
て決まる。

第２図は、第１の実施例におけるポリゴン・ミラーを用
いたレーザ走査装置の構成図を示す。第２図において、
６はＹＡＧレーザ発振器、７はレーザ・ビーム、８はビ
ーム・エキスパンダー、９は反射鏡、１ｏは駆動モータ
、１１はｆ・θレンズ、１２は被加工物である。ＹＡＧ
レーザ発振器θから出たレーザービーム７は、ビーム・
エキスパンダー８によって拡大された後、反射鏡９によ
ってポリゴン・ミラーの全反射ミラー２に入射される。

ポリゴン・ミラーは駆動モータ１０によって回転するの
で、全反射ミラー２から反射したレーザービーム７は　
ｆ　、θレンズ１１によって集光されながら被加工物１
２上を矢印方向に走査される。なお、ポリゴン・ミラー
は１３のような溝加工を施すことによって、軽量化をは
かることも出来る。

発明の効果 以上のように本発明は金属製の多角形基体の外周部に全
反射コーティングを施されたガラス板をシリコン・ゴム
系接着剤にて貼シ付けることにより、高反射率のポリコ
゛ン・ミラーを容易に製作することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例におけるポリゴン・ミラ
ーの構成図、第２図は第１の実施例におけるポリゴン・
ミラーを用いたレーザ走査装置の構成図、第３図は従来
のポリゴン・ミラーの外観図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・全反射ミラー、３
・・・・・・シリコン・ゴム系接着剤。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 金属製の多角形基体の外周部に全反射コーティングを施
   されたガラス板を有することを特徴とするポリゴン・ミ
   ラー。