JPH06175062A - ポリゴン・ミラー - Google Patents

ポリゴン・ミラー

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Publication number
JPH06175062A
JPH06175062A JP4327762A JP32776292A JPH06175062A JP H06175062 A JPH06175062 A JP H06175062A JP 4327762 A JP4327762 A JP 4327762A JP 32776292 A JP32776292 A JP 32776292A JP H06175062 A JPH06175062 A JP H06175062A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
base
polygon mirror
total reflection
fixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4327762A
Other languages
English (en)
Inventor
Yukio Nishikawa
幸男 西川
Yuji Uesugi
雄二 植杉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Priority to US08/162,324 priority patent/US5461505A/en
Priority to KR1019930026820A priority patent/KR0138007B1/ko
Publication of JPH06175062A publication Critical patent/JPH06175062A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/09Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/121Mechanical drive devices for polygonal mirrors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 レーザ光等の走査を行うためのポリゴン・ミ
ラーにおいて、大型のポリゴン・ミラーにおいても、面
倒れの調整ができ、かつ反射面の部分的な交換補修も可
能な優れたポリゴン・ミラーを提供できることを目的と
する。 【構成】 金属製の多角形基体と、基体上の各辺に固定
された基板と、基板上に固定された全反射鏡と、基体と
基板との間に角度調整機構を設けることでポリゴン・ミ
ラーが得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ光等の光線の走査
を行うためのポリゴン・ミラーに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図4は従来のポリゴン・ミラーの外観図
で8面体の場合を示す。図4において、11は反射面、
12はシャフト取付穴である。ポリゴン・ミラーは、ガ
ラスもしくは金属材料から削り出して作られていた。
【0003】しかしながら上記のようなポリゴン・ミラ
ーでは、加工用レーザに用いられるような大型状のもの
は製作困難であった。
【0004】そのため図5に示した特開平2−1737
18号公報に示されているように、金属製多角形基体1
3の外周部に全反射コーティングを施されたガラス板1
4をシリコン・ゴム系接着剤15にて貼り付けることに
より、大型でしかも製作容易なポリゴン・ミラーが提供
されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、製作時に反射面となるコーティングを施
されたガラス板を接着する方法であるため、たとえば後
に面倒れ等の調整が必要となったとき、その調整は出来
ない。また、反斜面に部分的な損傷が生じた場合でも、
その部分だけを補修することは困難で、全体を交換する
場合がほとんどであるという問題点を有していた。
【0006】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、面倒れ補正が可能で、かつ反射面の交換が可能なポ
リゴン・ミラーを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のポリゴン・ミラーは、金属製の多角形基体
と、基体上の各辺に固定された基板と、基板上に固定さ
れた全反射鏡と、基体と基板との間の角度調整機構とい
う構成を有している。
【0008】
【作用】この構成によって、全反射鏡が固定された基板
を基体の各辺に固定することによって、ポリゴン・ミラ
ーを大形状であっても容易に作製することができ、かつ
角度調整機構によって反射面の角度を調整することで面
倒れを補正し、所望の走査線を得ることができる。ま
た、反射鏡が破損した場合にも、各基板が基体から取り
外せるので、容易に補修することができる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
【0010】図1において、1は基体、2は基板、3は
全反射鏡、4は固定ネジ、5はシャフト取付穴、6は陵
の無効部、7は角度調整ネジである。
【0011】まず基板2に接着剤あるいは固定金具にて
全反射鏡3を固定する。次に、全反射鏡3が取り付けら
れた基板2を、アルミ合金等の軽量な金属材料から作製
された基体1に固定ネジ4で固定する。さらに陵の無効
部6を取り付けることでポリゴン・ミラーは完成する。
さらに角度調整ネジ7で各反射面の面倒れを補正するこ
とができる。図2にポリゴン・ミラーの回転方向に平行
な断面図を示す。図に示すように面倒れ補正は、角度調
整ネジ7の基板からの突き出し量によって調整する。全
反射鏡3を基板2に固定するに当たり、基板2の中央部
の肉厚が周辺よりも基板の外周に平行に薄くすることに
よって、基板2に寄因する全反射鏡3の表面ひずみを軽
減できる。
【0012】さらに、全反射鏡3を基板2に固定するた
めの接着剤8にシリコン・ゴム等を用いれば、さらにひ
ずみを軽減できる。
【0013】また面倒れの補正は、図3に示すように基
体1と基板2の間に薄板材9をはさみ、固定することに
よっても行うことができる。
【0014】
【発明の効果】以上のように本発明は、金属製の多角形
基体と、基体上の各辺に固定された基板と、基板上に固
定された全反射鏡と、基体と基板との間に角度調整機構
とを設けることにより、面倒れ補正が可能で、かつ反射
面の交換が可能な優れたポリゴン・ミラーを実現できる
ものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例におけるポリゴン・ミラ
ーの構成図
【図2】同回転方向に平行な断面図
【図3】本発明の第2の実施例におけるポリゴン・ミラ
ーの回転方向に平行な断面図
【図4】従来のポリゴン・ミラーの外観図
【図5】従来のポリゴン・ミラーの構成図
【符号の説明】
1 基体 2 基板 3 全反射鏡 4 固定ネジ 7 角度調整ネジ 9 角度調整板

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 金属製の多角形基体と、基体上の各辺に
    固定された基板と、前記基板上に固定された全反射鏡
    と、基体と基板との間の角度調整機構とを備えたことを
    特徴とするポリゴン・ミラー。
  2. 【請求項2】 基板は、中央部の肉厚が周辺よりも基体
    の外周に平行に薄いことを特徴とする請求項1記載のポ
    リゴン・ミラー。
  3. 【請求項3】 基体と基板との間の角度調整は基板から
    突き出したネジの長さにより行うことを特徴とする請求
    項1記載のポリゴン・ミラー。
  4. 【請求項4】 基体と基板との間の角度調整は基体と基
    板とにはさまれた薄板材の厚さにより行うことを特徴と
    する請求項1記載のポリゴン・ミラー。
JP4327762A 1992-12-08 1992-12-08 ポリゴン・ミラー Pending JPH06175062A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4327762A JPH06175062A (ja) 1992-12-08 1992-12-08 ポリゴン・ミラー
US08/162,324 US5461505A (en) 1992-12-08 1993-12-07 Polygon mirror
KR1019930026820A KR0138007B1 (ko) 1992-12-08 1993-12-08 폴리곤 미러

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JP4327762A JPH06175062A (ja) 1992-12-08 1992-12-08 ポリゴン・ミラー

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JPH06175062A true JPH06175062A (ja) 1994-06-24

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ID=18202707

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US (1) US5461505A (ja)
JP (1) JPH06175062A (ja)
KR (1) KR0138007B1 (ja)

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Publication number Publication date
US5461505A (en) 1995-10-24
KR0138007B1 (ko) 1998-06-15
KR940015553A (ko) 1994-07-21

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