JPH06175062A - ポリゴン・ミラー - Google Patents
ポリゴン・ミラーInfo
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- JPH06175062A JPH06175062A JP4327762A JP32776292A JPH06175062A JP H06175062 A JPH06175062 A JP H06175062A JP 4327762 A JP4327762 A JP 4327762A JP 32776292 A JP32776292 A JP 32776292A JP H06175062 A JPH06175062 A JP H06175062A
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- JP
- Japan
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- substrate
- base
- polygon mirror
- total reflection
- fixed
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Links
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/121—Mechanical drive devices for polygonal mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ光等の走査を行うためのポリゴン・ミ
ラーにおいて、大型のポリゴン・ミラーにおいても、面
倒れの調整ができ、かつ反射面の部分的な交換補修も可
能な優れたポリゴン・ミラーを提供できることを目的と
する。 【構成】 金属製の多角形基体と、基体上の各辺に固定
された基板と、基板上に固定された全反射鏡と、基体と
基板との間に角度調整機構を設けることでポリゴン・ミ
ラーが得られる。
ラーにおいて、大型のポリゴン・ミラーにおいても、面
倒れの調整ができ、かつ反射面の部分的な交換補修も可
能な優れたポリゴン・ミラーを提供できることを目的と
する。 【構成】 金属製の多角形基体と、基体上の各辺に固定
された基板と、基板上に固定された全反射鏡と、基体と
基板との間に角度調整機構を設けることでポリゴン・ミ
ラーが得られる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ光等の光線の走査
を行うためのポリゴン・ミラーに関するものである。
を行うためのポリゴン・ミラーに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図4は従来のポリゴン・ミラーの外観図
で8面体の場合を示す。図4において、11は反射面、
12はシャフト取付穴である。ポリゴン・ミラーは、ガ
ラスもしくは金属材料から削り出して作られていた。
で8面体の場合を示す。図4において、11は反射面、
12はシャフト取付穴である。ポリゴン・ミラーは、ガ
ラスもしくは金属材料から削り出して作られていた。
【0003】しかしながら上記のようなポリゴン・ミラ
ーでは、加工用レーザに用いられるような大型状のもの
は製作困難であった。
ーでは、加工用レーザに用いられるような大型状のもの
は製作困難であった。
【0004】そのため図5に示した特開平2−1737
18号公報に示されているように、金属製多角形基体1
3の外周部に全反射コーティングを施されたガラス板1
4をシリコン・ゴム系接着剤15にて貼り付けることに
より、大型でしかも製作容易なポリゴン・ミラーが提供
されている。
18号公報に示されているように、金属製多角形基体1
3の外周部に全反射コーティングを施されたガラス板1
4をシリコン・ゴム系接着剤15にて貼り付けることに
より、大型でしかも製作容易なポリゴン・ミラーが提供
されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、製作時に反射面となるコーティングを施
されたガラス板を接着する方法であるため、たとえば後
に面倒れ等の調整が必要となったとき、その調整は出来
ない。また、反斜面に部分的な損傷が生じた場合でも、
その部分だけを補修することは困難で、全体を交換する
場合がほとんどであるという問題点を有していた。
来の構成では、製作時に反射面となるコーティングを施
されたガラス板を接着する方法であるため、たとえば後
に面倒れ等の調整が必要となったとき、その調整は出来
ない。また、反斜面に部分的な損傷が生じた場合でも、
その部分だけを補修することは困難で、全体を交換する
場合がほとんどであるという問題点を有していた。
【0006】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、面倒れ補正が可能で、かつ反射面の交換が可能なポ
リゴン・ミラーを提供することを目的とする。
で、面倒れ補正が可能で、かつ反射面の交換が可能なポ
リゴン・ミラーを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のポリゴン・ミラーは、金属製の多角形基体
と、基体上の各辺に固定された基板と、基板上に固定さ
れた全反射鏡と、基体と基板との間の角度調整機構とい
う構成を有している。
に本発明のポリゴン・ミラーは、金属製の多角形基体
と、基体上の各辺に固定された基板と、基板上に固定さ
れた全反射鏡と、基体と基板との間の角度調整機構とい
う構成を有している。
【0008】
【作用】この構成によって、全反射鏡が固定された基板
を基体の各辺に固定することによって、ポリゴン・ミラ
ーを大形状であっても容易に作製することができ、かつ
角度調整機構によって反射面の角度を調整することで面
倒れを補正し、所望の走査線を得ることができる。ま
た、反射鏡が破損した場合にも、各基板が基体から取り
外せるので、容易に補修することができる。
を基体の各辺に固定することによって、ポリゴン・ミラ
ーを大形状であっても容易に作製することができ、かつ
角度調整機構によって反射面の角度を調整することで面
倒れを補正し、所望の走査線を得ることができる。ま
た、反射鏡が破損した場合にも、各基板が基体から取り
外せるので、容易に補修することができる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【0010】図1において、1は基体、2は基板、3は
全反射鏡、4は固定ネジ、5はシャフト取付穴、6は陵
の無効部、7は角度調整ネジである。
全反射鏡、4は固定ネジ、5はシャフト取付穴、6は陵
の無効部、7は角度調整ネジである。
【0011】まず基板2に接着剤あるいは固定金具にて
全反射鏡3を固定する。次に、全反射鏡3が取り付けら
れた基板2を、アルミ合金等の軽量な金属材料から作製
された基体1に固定ネジ4で固定する。さらに陵の無効
部6を取り付けることでポリゴン・ミラーは完成する。
さらに角度調整ネジ7で各反射面の面倒れを補正するこ
とができる。図2にポリゴン・ミラーの回転方向に平行
な断面図を示す。図に示すように面倒れ補正は、角度調
整ネジ7の基板からの突き出し量によって調整する。全
反射鏡3を基板2に固定するに当たり、基板2の中央部
の肉厚が周辺よりも基板の外周に平行に薄くすることに
よって、基板2に寄因する全反射鏡3の表面ひずみを軽
減できる。
全反射鏡3を固定する。次に、全反射鏡3が取り付けら
れた基板2を、アルミ合金等の軽量な金属材料から作製
された基体1に固定ネジ4で固定する。さらに陵の無効
部6を取り付けることでポリゴン・ミラーは完成する。
さらに角度調整ネジ7で各反射面の面倒れを補正するこ
とができる。図2にポリゴン・ミラーの回転方向に平行
な断面図を示す。図に示すように面倒れ補正は、角度調
整ネジ7の基板からの突き出し量によって調整する。全
反射鏡3を基板2に固定するに当たり、基板2の中央部
の肉厚が周辺よりも基板の外周に平行に薄くすることに
よって、基板2に寄因する全反射鏡3の表面ひずみを軽
減できる。
【0012】さらに、全反射鏡3を基板2に固定するた
めの接着剤8にシリコン・ゴム等を用いれば、さらにひ
ずみを軽減できる。
めの接着剤8にシリコン・ゴム等を用いれば、さらにひ
ずみを軽減できる。
【0013】また面倒れの補正は、図3に示すように基
体1と基板2の間に薄板材9をはさみ、固定することに
よっても行うことができる。
体1と基板2の間に薄板材9をはさみ、固定することに
よっても行うことができる。
【0014】
【発明の効果】以上のように本発明は、金属製の多角形
基体と、基体上の各辺に固定された基板と、基板上に固
定された全反射鏡と、基体と基板との間に角度調整機構
とを設けることにより、面倒れ補正が可能で、かつ反射
面の交換が可能な優れたポリゴン・ミラーを実現できる
ものである。
基体と、基体上の各辺に固定された基板と、基板上に固
定された全反射鏡と、基体と基板との間に角度調整機構
とを設けることにより、面倒れ補正が可能で、かつ反射
面の交換が可能な優れたポリゴン・ミラーを実現できる
ものである。
【図1】本発明の第1の実施例におけるポリゴン・ミラ
ーの構成図
ーの構成図
【図2】同回転方向に平行な断面図
【図3】本発明の第2の実施例におけるポリゴン・ミラ
ーの回転方向に平行な断面図
ーの回転方向に平行な断面図
【図4】従来のポリゴン・ミラーの外観図
【図5】従来のポリゴン・ミラーの構成図
1 基体 2 基板 3 全反射鏡 4 固定ネジ 7 角度調整ネジ 9 角度調整板
Claims (4)
- 【請求項1】 金属製の多角形基体と、基体上の各辺に
固定された基板と、前記基板上に固定された全反射鏡
と、基体と基板との間の角度調整機構とを備えたことを
特徴とするポリゴン・ミラー。 - 【請求項2】 基板は、中央部の肉厚が周辺よりも基体
の外周に平行に薄いことを特徴とする請求項1記載のポ
リゴン・ミラー。 - 【請求項3】 基体と基板との間の角度調整は基板から
突き出したネジの長さにより行うことを特徴とする請求
項1記載のポリゴン・ミラー。 - 【請求項4】 基体と基板との間の角度調整は基体と基
板とにはさまれた薄板材の厚さにより行うことを特徴と
する請求項1記載のポリゴン・ミラー。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4327762A JPH06175062A (ja) | 1992-12-08 | 1992-12-08 | ポリゴン・ミラー |
US08/162,324 US5461505A (en) | 1992-12-08 | 1993-12-07 | Polygon mirror |
KR1019930026820A KR0138007B1 (ko) | 1992-12-08 | 1993-12-08 | 폴리곤 미러 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4327762A JPH06175062A (ja) | 1992-12-08 | 1992-12-08 | ポリゴン・ミラー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06175062A true JPH06175062A (ja) | 1994-06-24 |
Family
ID=18202707
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4327762A Pending JPH06175062A (ja) | 1992-12-08 | 1992-12-08 | ポリゴン・ミラー |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5461505A (ja) |
JP (1) | JPH06175062A (ja) |
KR (1) | KR0138007B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190048020A (ko) | 2017-10-30 | 2019-05-09 | 한국식품연구원 | 대면적 고속 물체 검사 장치 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3060912B2 (ja) * | 1995-09-11 | 2000-07-10 | 富士通株式会社 | 回転多面鏡およびその製造方法 |
ATE221213T1 (de) | 1997-12-10 | 2002-08-15 | Datalogic Spa | Halterung für einen drehbaren spiegel und herstellungsverfahren eines drehbaren spiegels |
CN101685193B (zh) * | 2008-09-24 | 2011-08-17 | 北京航天计量测试技术研究所 | 光学用弹性连接组件及采用该组件的正多面棱体 |
KR102472291B1 (ko) * | 2021-11-19 | 2022-11-30 | 한화시스템 주식회사 | 광학 장치 및 광 진행 경로 변환 방법 |
US20230243977A1 (en) * | 2022-02-03 | 2023-08-03 | Blackmore Sensors & Analytics, LLC. | Lidar system |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02278221A (ja) * | 1989-04-20 | 1990-11-14 | Copal Electron Co Ltd | ポリゴンミラの面倒れ補正機構 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3117178A (en) * | 1959-11-03 | 1964-01-07 | Starrett L S Co | Optical polygons |
US3529884A (en) * | 1968-04-03 | 1970-09-22 | Ncr Co | Scanning polygon mirror assembly |
US4043632A (en) * | 1975-05-27 | 1977-08-23 | Data General Corporation | Scanning polygon with adjustable mirrors |
JPS6010282B2 (ja) * | 1976-11-09 | 1985-03-16 | キヤノン株式会社 | 光偏向装置 |
US4156556A (en) * | 1977-10-31 | 1979-05-29 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Fiber optic coupler with concave spherical reflecting elements |
US4268110A (en) * | 1979-10-12 | 1981-05-19 | Itek Corporation | Facet angle corrector for multi-faceted optical scanner |
JPH02173718A (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ポリゴン・ミラー |
JPH03177810A (ja) * | 1989-12-07 | 1991-08-01 | Toshiba Corp | 光偏向装置 |
JP2961550B2 (ja) * | 1990-01-18 | 1999-10-12 | コニカ株式会社 | 回転多面鏡 |
-
1992
- 1992-12-08 JP JP4327762A patent/JPH06175062A/ja active Pending
-
1993
- 1993-12-07 US US08/162,324 patent/US5461505A/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-12-08 KR KR1019930026820A patent/KR0138007B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH02278221A (ja) * | 1989-04-20 | 1990-11-14 | Copal Electron Co Ltd | ポリゴンミラの面倒れ補正機構 |
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KR20190048020A (ko) | 2017-10-30 | 2019-05-09 | 한국식품연구원 | 대면적 고속 물체 검사 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5461505A (en) | 1995-10-24 |
KR0138007B1 (ko) | 1998-06-15 |
KR940015553A (ko) | 1994-07-21 |
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