JPS6010282B2 - 光偏向装置 - Google Patents
光偏向装置Info
- Publication number
- JPS6010282B2 JPS6010282B2 JP51134586A JP13458676A JPS6010282B2 JP S6010282 B2 JPS6010282 B2 JP S6010282B2 JP 51134586 A JP51134586 A JP 51134586A JP 13458676 A JP13458676 A JP 13458676A JP S6010282 B2 JPS6010282 B2 JP S6010282B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polygon mirror
- mirror
- deflection device
- optical deflection
- reference surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/121—Mechanical drive devices for polygonal mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は回転多面鏡体を用いる光偏向装置に関するもの
である。
である。
回転多面鏡体を用いる光偏向装置を用いて光ビームを偏
向する事は広く行なわれているものであるが、その偏向
精度を上げるのは非常に因簸なものである。
向する事は広く行なわれているものであるが、その偏向
精度を上げるのは非常に因簸なものである。
即ち、回転多面鏡体により光ビームを偏向した時、この
偏向された光ビームは、常に偏向光波照射部材上の同一
軌跡上を通過する事が好ましいが、回転多面鏡体とこれ
を取付ける回転軸とが夫々別々に加工され、然る後、係
る回転多面鏡体と回転軸とが剛体を形成する如く、一体
に形成されていたので、夫々の加工誤差が相乗して現わ
れてしまい、所定の軌跡からの光ビームのづれが大きく
なって．しまっていたものである。
偏向された光ビームは、常に偏向光波照射部材上の同一
軌跡上を通過する事が好ましいが、回転多面鏡体とこれ
を取付ける回転軸とが夫々別々に加工され、然る後、係
る回転多面鏡体と回転軸とが剛体を形成する如く、一体
に形成されていたので、夫々の加工誤差が相乗して現わ
れてしまい、所定の軌跡からの光ビームのづれが大きく
なって．しまっていたものである。
第１図により係る従来の光偏向装置を更に詳しく説明す
るならば、ボールベアリング等の麹受２により固定され
た回転軸１には、多面鏡３を戦贋する為の基準面ｌｂを
有するフランジｌａを一体に構成する。
るならば、ボールベアリング等の麹受２により固定され
た回転軸１には、多面鏡３を戦贋する為の基準面ｌｂを
有するフランジｌａを一体に構成する。
係るフランジｌａの上には前述の如く多面鏡３を戦鷹す
るものであるが、係る多面鏡３は例えば正３角形のガラ
スブロック（もしくは金属ブロック）より成り、８角形
を形成する。
るものであるが、係る多面鏡３は例えば正３角形のガラ
スブロック（もしくは金属ブロック）より成り、８角形
を形成する。
夫々の端面は回転軸１に対して平行に形成すると共に、
反射層面を形成し、更には正８角形の中心部に前記回転
軸１を挿入する為の貫通孔を設けてあるものである。従
って、多面鏡３の下面を基準面３ａとして前記フラソジ
ｌａの上に載瞳し、然る座金８をこの多面鏡３の上に配
置し、この座金８を回転軸１に螺合するナット９により
締付ける事により、多面鏡３を回転中心軸１に一体に剛
体結合するものである。
反射層面を形成し、更には正８角形の中心部に前記回転
軸１を挿入する為の貫通孔を設けてあるものである。従
って、多面鏡３の下面を基準面３ａとして前記フラソジ
ｌａの上に載瞳し、然る座金８をこの多面鏡３の上に配
置し、この座金８を回転軸１に螺合するナット９により
締付ける事により、多面鏡３を回転中心軸１に一体に剛
体結合するものである。
係る多面鏡３の外側はケーシーング４で覆うと共に、該
ケーシングの一部にはガラスより成る窓５を設け、この
窓５を介して多面鏡３の鏡面に光ビームＢを入射し「且
つ反射した光ビームを導出する如く構成する。
ケーシングの一部にはガラスより成る窓５を設け、この
窓５を介して多面鏡３の鏡面に光ビームＢを入射し「且
つ反射した光ビームを導出する如く構成する。
しかして、前記回転軸１の一端にプーリ６を固定し、こ
のプーリを不図示のモータに巻装したベルト７により駆
動する事により、多面鏡３を回転駆動せしめ、入射した
光ビームを偏向して出射するものである。
のプーリを不図示のモータに巻装したベルト７により駆
動する事により、多面鏡３を回転駆動せしめ、入射した
光ビームを偏向して出射するものである。
この様な従来の光偏向装置において、回転軸１の回転中
心軸○−○′に対するフランジーａの基準面ｌｂの直角
度の加工精度は現状の加工法によるならば、かなり慎重
に加工しても士３秒（角度）程度の誤差が生じ、又多面
鏡３の基準面３ａと反射層面との直角度の加工精度も同
機に土２秒程度の誤差が出てしまう。
心軸○−○′に対するフランジーａの基準面ｌｂの直角
度の加工精度は現状の加工法によるならば、かなり慎重
に加工しても士３秒（角度）程度の誤差が生じ、又多面
鏡３の基準面３ａと反射層面との直角度の加工精度も同
機に土２秒程度の誤差が出てしまう。
両者を粗合せて作られた光偏向装置は、上述の誤蔓費こ
加えて、回転鞠の軸受け精度に起因する誤差も含んでい
るので、その精度は装置を構成する個々の精度により更
に低下するものである。
加えて、回転鞠の軸受け精度に起因する誤差も含んでい
るので、その精度は装置を構成する個々の精度により更
に低下するものである。
従って、現状の光偏向装置においては、多面鏡の夫々の
反射面より反射した光ビームＢ１，Ｂ２間においては、
理想的反射光ビームＢ川こ対して土５秒程度の誤差とす
るのが限度である。又係る誤差も組立ての精度によって
大きく変ってしまっていたものである。
反射面より反射した光ビームＢ１，Ｂ２間においては、
理想的反射光ビームＢ川こ対して土５秒程度の誤差とす
るのが限度である。又係る誤差も組立ての精度によって
大きく変ってしまっていたものである。
本発明の目的はこれらの回転軸と回転多面鏡の加工誤差
の内加工誤差が大きく、更に軸受誤差も含まれてしまう
所の回転軸の加工誤差の影響を取り除き、比較的に加工
精度を高くとる事の出来る多面鏡精度のみで偏向走査光
の位置が決る様構成して、光偏向装置の性能向上を計る
事にある。
の内加工誤差が大きく、更に軸受誤差も含まれてしまう
所の回転軸の加工誤差の影響を取り除き、比較的に加工
精度を高くとる事の出来る多面鏡精度のみで偏向走査光
の位置が決る様構成して、光偏向装置の性能向上を計る
事にある。
以下本発明を図面に従いその一実施例について説明する
ならば、第２図、第３図において、１１で示すのは回転
軸であり、この回転軸１１の一部には鍔１２を一体に構
成する。この鍔１２の上面１２ａは前記回転中心軸１１
の回転中心軸０−０に対して直角な面と成る如く構成す
るものである。斯る鍔１２には可榛性平板部材（ジンバ
ルバネ）１３をネジ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄに
より固定するものであり、その中央には回転軸１１‘こ
挿適する為の貫通孔１５を有し、更にはその外周を円形
状に形成して成るものである。
ならば、第２図、第３図において、１１で示すのは回転
軸であり、この回転軸１１の一部には鍔１２を一体に構
成する。この鍔１２の上面１２ａは前記回転中心軸１１
の回転中心軸０−０に対して直角な面と成る如く構成す
るものである。斯る鍔１２には可榛性平板部材（ジンバ
ルバネ）１３をネジ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄに
より固定するものであり、その中央には回転軸１１‘こ
挿適する為の貫通孔１５を有し、更にはその外周を円形
状に形成して成るものである。
上記可榛性平板部材１３の外周には多面鏡１６をネジ１
７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄにより固定するものであ
るが、この多面鏡１６は正８角形の端部を有するガラス
フロツクより成り、その下面を基準面１８として平面に
形成すると共に、前記端面１９に反射層を構成して８つ
の反射面１９を構成し、夫々の反射面１９と前記基準面
１８の成す角を正確に直角と成したものである。（尚ト
ガラスプロツクの上面１８ａは基準面は平行に形成して
第２の基準面として形成して成るものである）。又、前
記多面鏡１６はその中心から半径ｒｌの円形に貫通孔を
設けると共に、前記半径ｒｌより若干大きく、且つ前記
可操性平板部材１３の半径と大略等しい半径・２で切欠
きを設ける事により「多面鏡１６の透孔部に円環状の段
部２０を形成して成るものである。
７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄにより固定するものであ
るが、この多面鏡１６は正８角形の端部を有するガラス
フロツクより成り、その下面を基準面１８として平面に
形成すると共に、前記端面１９に反射層を構成して８つ
の反射面１９を構成し、夫々の反射面１９と前記基準面
１８の成す角を正確に直角と成したものである。（尚ト
ガラスプロツクの上面１８ａは基準面は平行に形成して
第２の基準面として形成して成るものである）。又、前
記多面鏡１６はその中心から半径ｒｌの円形に貫通孔を
設けると共に、前記半径ｒｌより若干大きく、且つ前記
可操性平板部材１３の半径と大略等しい半径・２で切欠
きを設ける事により「多面鏡１６の透孔部に円環状の段
部２０を形成して成るものである。
この段部２０の上面は前記基準面１８と平行なる平面と
して形成し、この段部２０の上面に前述の如く前記可榛
性平板部材１３の織部を固定するものであるが、前記段
部２０の高さは、この様に可鏡性平板部材１３を固定し
た状態において、可榛性平板部材１３が多面鏡１６の上
下面のほゞ中央に位置する如く形成するものである。
して形成し、この段部２０の上面に前述の如く前記可榛
性平板部材１３の織部を固定するものであるが、前記段
部２０の高さは、この様に可鏡性平板部材１３を固定し
た状態において、可榛性平板部材１３が多面鏡１６の上
下面のほゞ中央に位置する如く形成するものである。
この様に可榛性平板部材１３は多面鏡１６の厚み方向の
ほゞ中央に取付けられている為、回転軸１１の回転力は
可榛性平板部材１３の平面に沿って伝えられ、充分なる
剛性を有するものである。
ほゞ中央に取付けられている為、回転軸１１の回転力は
可榛性平板部材１３の平面に沿って伝えられ、充分なる
剛性を有するものである。
上述の如き構成より成る回転多面鏡体はケース２１によ
り包覆するものであるが、斯るケース２１は前記回転軸
１１を軸受２２を介して回敷自在に保持する保持部２３
と、多面鏡１６及び可榛性平板部村１３を覆う包覆部２
４により構成されて成り、更に前記包覆部２４は上部材
２５、下部材２６及び端部材２７より成るものである。
上誌上部材２５、下部材２６は多面鏡１６に対向した面
が平面と成る如く構成して成るものであり、前記上部材
２５と下部材２６の前記多面鏡１６の下面及び上面に対
向する位置には、夫々３個の半球形状の上部規制部材２
８ａ，２８ｂ，２８ｃと３個の半球形状の下部規制部村
２９ａ，２９ｂ，２９ｃを固定して成るものである。
り包覆するものであるが、斯るケース２１は前記回転軸
１１を軸受２２を介して回敷自在に保持する保持部２３
と、多面鏡１６及び可榛性平板部村１３を覆う包覆部２
４により構成されて成り、更に前記包覆部２４は上部材
２５、下部材２６及び端部材２７より成るものである。
上誌上部材２５、下部材２６は多面鏡１６に対向した面
が平面と成る如く構成して成るものであり、前記上部材
２５と下部材２６の前記多面鏡１６の下面及び上面に対
向する位置には、夫々３個の半球形状の上部規制部材２
８ａ，２８ｂ，２８ｃと３個の半球形状の下部規制部村
２９ａ，２９ｂ，２９ｃを固定して成るものである。
これらの３個の上部規制部材と下部規制部材は夫々多面
鏡１６を介して対向した位置に配置され、且つ回転軸１
１を中心とする正三角形の頂点に対応する位置に配置さ
れているものである。
鏡１６を介して対向した位置に配置され、且つ回転軸１
１を中心とする正三角形の頂点に対応する位置に配置さ
れているものである。
又、前記端部材２７の一部には多面鏡１６の反射面１９
に光ビームＢを導入する為のガラス３０、及び反射面１
９で反射した光ビームＢ３を導出するガラス３１を固定
して設けて成るものであり、更には前記回転軸１１の端
部にはプーリ３２を固定し、このプーリ３２を不図示の
モータに巻装したベルト３３により駆動する事により、
モータの駆動を光偏向装置に伝達する事が出来るもので
ある。上述の如き構成より成る光偏向装置において、モ
ータを高速駆動する事により、回転軸１１を回転させる
と、その回転は可榛・性平板部材１３を介して多面鏡１
６に伝えられ、当該多面鏡１６は高速回転を行う。
に光ビームＢを導入する為のガラス３０、及び反射面１
９で反射した光ビームＢ３を導出するガラス３１を固定
して設けて成るものであり、更には前記回転軸１１の端
部にはプーリ３２を固定し、このプーリ３２を不図示の
モータに巻装したベルト３３により駆動する事により、
モータの駆動を光偏向装置に伝達する事が出来るもので
ある。上述の如き構成より成る光偏向装置において、モ
ータを高速駆動する事により、回転軸１１を回転させる
と、その回転は可榛・性平板部材１３を介して多面鏡１
６に伝えられ、当該多面鏡１６は高速回転を行う。
この様に多面鏡１６が高速回転すると、ケース２１内に
おいて多面鏡１６の上面及び下面近くの流体（実施例に
おいては空気）は多面鏡１６の外周方向に移動する。
おいて多面鏡１６の上面及び下面近くの流体（実施例に
おいては空気）は多面鏡１６の外周方向に移動する。
斯る状態において、前記上部規制部材２８と多面鏡１６
との間隔を微少距離△ｄ、前記下部規制部材２９と多面
鏡１６との間隔を微少距離△ｄ′と成る如く設定してお
く事により、前記外周方向に移動する流体が規制部村２
８，２９の頂戴こおいては圧縮され、非常に高い負荷が
得られるので、多面鏡１６はその上下面が流体の粘性摩
擦で非常に強固に保持された状態臭となり、上記規制部
村との距離を予め定めた△ｄ，△ｄ′‘こ保つたま）高
速回転する事が可能である。
との間隔を微少距離△ｄ、前記下部規制部材２９と多面
鏡１６との間隔を微少距離△ｄ′と成る如く設定してお
く事により、前記外周方向に移動する流体が規制部村２
８，２９の頂戴こおいては圧縮され、非常に高い負荷が
得られるので、多面鏡１６はその上下面が流体の粘性摩
擦で非常に強固に保持された状態臭となり、上記規制部
村との距離を予め定めた△ｄ，△ｄ′‘こ保つたま）高
速回転する事が可能である。
従って、回転軸１１の軸精度、軸受の精度が良くなく、
回転時、回転軸１１が振れ回っても、可操性平板部材１
３の板厚方向は非常にバネ性が有る為、スラスト方向の
振れは可孫性平板部材１３で吸収減衰され、多面鏡１６
には伝わらず、回転軸１１のラジアル方向の振れのみが
多面鏡１６に伝わる。
回転時、回転軸１１が振れ回っても、可操性平板部材１
３の板厚方向は非常にバネ性が有る為、スラスト方向の
振れは可孫性平板部材１３で吸収減衰され、多面鏡１６
には伝わらず、回転軸１１のラジアル方向の振れのみが
多面鏡１６に伝わる。
上述の如く回転中の多面鏡１６の上下方向は規制部材２
８，２９により強固に支持されている為、ラジアル方行
に平行に移動するのみであり、基準面１８に対する反射
面１９の加工時の角度誤差のみしか偏向走査光の位層づ
れとなって現われない為、多面鏡１６の加工精度さえあ
げれば、その他の部品の精度に関係なく所定の位置に偏
向走査光を得る事が出来るものである。
８，２９により強固に支持されている為、ラジアル方行
に平行に移動するのみであり、基準面１８に対する反射
面１９の加工時の角度誤差のみしか偏向走査光の位層づ
れとなって現われない為、多面鏡１６の加工精度さえあ
げれば、その他の部品の精度に関係なく所定の位置に偏
向走査光を得る事が出来るものである。
従って、本発明によるならば、部品の組合せによる精度
のばらきが無く、組立精度の安定した光偏向装置を得る
事が出来るものである。
のばらきが無く、組立精度の安定した光偏向装置を得る
事が出来るものである。
尚、上記実施例においては、多面鏡１６の位置を規制す
る規制部材としては上部規制部材と下部規制部材を設け
る例について説明したが、前記多面鏡１６はある程度の
重量を有するものであり、該多面鏡１６は重力により常
に下方向に移動しようとする力が働いているので、必ず
しも前記上部規制部材は必要でない。
る規制部材としては上部規制部材と下部規制部材を設け
る例について説明したが、前記多面鏡１６はある程度の
重量を有するものであり、該多面鏡１６は重力により常
に下方向に移動しようとする力が働いているので、必ず
しも前記上部規制部材は必要でない。
但し、上部規制部材と下部規制部材とを併設しておくな
らば、回転中心軸０−○と重力の働く方向とがづれてし
、ても、より正確に回転中の多面鏡を保持出来るもので
ある。
らば、回転中心軸０−○と重力の働く方向とがづれてし
、ても、より正確に回転中の多面鏡を保持出来るもので
ある。
第２図、３図に示した装置において、上部規制部材２８
、下部規制部村２９は「夫々上部材２５、下部材２６に
対して突出量を調整不可に設けていたが、斯る規制部材
２８，２９の突出量は調整出来る事が好ましい。
、下部規制部村２９は「夫々上部材２５、下部材２６に
対して突出量を調整不可に設けていたが、斯る規制部材
２８，２９の突出量は調整出来る事が好ましい。
第４図に示すのは調整可能に設けた規制部材を示す１実
施例である。
施例である。
ここでは下部材２６の一部に透孔３５を設けると共に、
この透孔３５に蓮通して円筒部３６を設け、この円筒部
３６の内側にはネジ溝３７を設ける。一方、前記透孔３
５の上部には、耐摩耗性に秀ればね性のある板状を半球
状に形成したバネ部材３８をネジ３９により固定し、前
記透孔３５の上部を包覆してしまう。又、前記円筒部３
６の内側にはネジ４０を螺合するものであるが、斯るネ
ジ４０には押圧部材４１を一体に固定して成るものであ
る。前記押圧部材４１の先端に形成した円弧は前記バネ
部材３８の形成する円弧よりも小さく選んであるので、
上記ネジ４０を上方向に移動させる事により、押圧部材
４１の先端によりバネ部村３８を変形させて、バネ部材
３８の頂部を上方に移動させる事が出来るものである。
この透孔３５に蓮通して円筒部３６を設け、この円筒部
３６の内側にはネジ溝３７を設ける。一方、前記透孔３
５の上部には、耐摩耗性に秀ればね性のある板状を半球
状に形成したバネ部材３８をネジ３９により固定し、前
記透孔３５の上部を包覆してしまう。又、前記円筒部３
６の内側にはネジ４０を螺合するものであるが、斯るネ
ジ４０には押圧部材４１を一体に固定して成るものであ
る。前記押圧部材４１の先端に形成した円弧は前記バネ
部材３８の形成する円弧よりも小さく選んであるので、
上記ネジ４０を上方向に移動させる事により、押圧部材
４１の先端によりバネ部村３８を変形させて、バネ部材
３８の頂部を上方に移動させる事が出来るものである。
従って、多面鏡１６の基準面１８との距離ｄはネジ４０
を回転する事により自由に調整出来るものである。
を回転する事により自由に調整出来るものである。
第５図は規制部村の突出量を調整する他の実施例を示す
ものであり、ここではネジ４２の頂部の周辺に円環状の
突起４３を設け、この突起４３の内側に例えばセラミッ
クの如く耐摩耗性部材より成る半球状の突出部材４４を
接着材４５にて固定して成るものである。
ものであり、ここではネジ４２の頂部の周辺に円環状の
突起４３を設け、この突起４３の内側に例えばセラミッ
クの如く耐摩耗性部材より成る半球状の突出部材４４を
接着材４５にて固定して成るものである。
従って、このネジ４２を回転する事により第４図で説明
したのと同様に距離ｄを自由に選択し得るものである。
したのと同様に距離ｄを自由に選択し得るものである。
第６図は本発明に適用する回転多面鏡体の更に他の実施
例を示すものであり、ここでは回転軸１に鉄合間定もし
くは接着等により固定されるリング４６と譲りング４６
よりも径の大きい他のりング４７とを設け、この両リン
グ４６，４７の間にゴム等の可榛性部材５１を充填して
成るものである。斯るリング４７の外側には第２図第３
図で示した如き構成より成る多面鏡４８（但し、この多
面鏡４８は多面鏡１６とは異なり、段部２０は設けてな
い）の内周に結合する。又、前記多面鏡４８において「
不図示の下部規制部材及び、上部規制部材と対向する部
分には、耐摩耗性に秀れた材料より成る薄板を接着した
り、又は耐摩耗性に秀れた材料を蒸着して耐摩耗層４９
，５０を形成し、先づ加工基準面とすべく耐摩耗層４９
の下面を平面として形成した後、耐摩耗層５０を前記層
４９と平行なる面として形成し、前記耐摩耗層４９を基
準として多面鏡４８の外周に反射面５２を形成したもの
である。
例を示すものであり、ここでは回転軸１に鉄合間定もし
くは接着等により固定されるリング４６と譲りング４６
よりも径の大きい他のりング４７とを設け、この両リン
グ４６，４７の間にゴム等の可榛性部材５１を充填して
成るものである。斯るリング４７の外側には第２図第３
図で示した如き構成より成る多面鏡４８（但し、この多
面鏡４８は多面鏡１６とは異なり、段部２０は設けてな
い）の内周に結合する。又、前記多面鏡４８において「
不図示の下部規制部材及び、上部規制部材と対向する部
分には、耐摩耗性に秀れた材料より成る薄板を接着した
り、又は耐摩耗性に秀れた材料を蒸着して耐摩耗層４９
，５０を形成し、先づ加工基準面とすべく耐摩耗層４９
の下面を平面として形成した後、耐摩耗層５０を前記層
４９と平行なる面として形成し、前記耐摩耗層４９を基
準として多面鏡４８の外周に反射面５２を形成したもの
である。
第６図で示した回転多面鏡体を第２図第３図で示した回
転多面鏡体の代りに用いても、第２図、第３図で述べた
のと同様の効果を得る事が出来るのは明らかである。
転多面鏡体の代りに用いても、第２図、第３図で述べた
のと同様の効果を得る事が出来るのは明らかである。
第７図で示すのは回転鏡が回転していない時「又は装置
の運搬時、多面鏡を固定するクランプ装置を示すもので
あるが、斯るクランプ装置はその先端に軟質材４７を固
定したネジ４８を上部材２５、下部材２６に設けたネジ
光４９に挿入螺合して、前記軟質材４７で多面鏡４８を
侠特、固定するものである。
の運搬時、多面鏡を固定するクランプ装置を示すもので
あるが、斯るクランプ装置はその先端に軟質材４７を固
定したネジ４８を上部材２５、下部材２６に設けたネジ
光４９に挿入螺合して、前記軟質材４７で多面鏡４８を
侠特、固定するものである。
この第７図においてはネジ４８により欧質材４７を多面
鏡４８に押圧する如く成したが、斯るネジ４８によらず
に電磁プランジャ等により軟質材４７を多面鏡４８に押
圧する如く構成しておくならば、多面鏡４８が回転を停
止した事を検知して自動的にクランプする事も可能であ
る。
鏡４８に押圧する如く成したが、斯るネジ４８によらず
に電磁プランジャ等により軟質材４７を多面鏡４８に押
圧する如く構成しておくならば、多面鏡４８が回転を停
止した事を検知して自動的にクランプする事も可能であ
る。
尚、夫々の図面において、同一の番号を付した都材は夫
々同一の部材よりなり、同一の機能を有するものである
。
々同一の部材よりなり、同一の機能を有するものである
。
以上詳記した如く、本発明は回転軸の軸受精度や多面鏡
の加工精度に起因する偏向ビーム位層づれを大幅に減少
させる事が出来、極めて有益なる発明である。
の加工精度に起因する偏向ビーム位層づれを大幅に減少
させる事が出来、極めて有益なる発明である。
第１図は従来の光偏向装置を示す断面図、第２図、第３
図は本発明による光偏向装置を示す断面図及び上面図、
第４図、第５図は規制部材の突出量を調整する機構を示
す断面図、第６図は本発明に適用する多面鏡体を示す断
面図、第７図はクランプ装置を示す断面図である。 ここで、１１は回転軸、１３は可榛性平板部材、１６は
多面鏡、１８は基準面、１９は反射面、２２は軸受、２
８は上部規制部材、２９は下部規制部材、３８はバネ部
村「 ４０はネジ、４１は押圧部材、４２はネジ、４４
は接着部材、４７は欧質材、そして４８はネジである。 努イ図第２図 蘇る図 弟４図 努５図 第６図 第７図
図は本発明による光偏向装置を示す断面図及び上面図、
第４図、第５図は規制部材の突出量を調整する機構を示
す断面図、第６図は本発明に適用する多面鏡体を示す断
面図、第７図はクランプ装置を示す断面図である。 ここで、１１は回転軸、１３は可榛性平板部材、１６は
多面鏡、１８は基準面、１９は反射面、２２は軸受、２
８は上部規制部材、２９は下部規制部材、３８はバネ部
村「 ４０はネジ、４１は押圧部材、４２はネジ、４４
は接着部材、４７は欧質材、そして４８はネジである。 努イ図第２図 蘇る図 弟４図 努５図 第６図 第７図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 基準面を有し該基準面に対して所定の角度で形成し
た複数の鏡面を有する多面鏡を、可撓性を有する部材に
より回転軸に固定すると共に、前記基準面に対向する多
面鏡収容ケース面に前記多面鏡の回転中この多面鏡の前
記基準面に間隔を介して対向する規制部材を突設固定し
て設け、前記回転軸を回転駆動する事により前記多面鏡
の基準面と前記規制部材との間隔を流体圧により一定距
離に保つ事を特徴とする光偏向装置。 ２ 前記規制部材は前記多面鏡の回転方向に沿って等間
隔に３個配置されている特許請求の範囲第１項記載の光
偏向装置。 ３ 前記規制部材は前記多面鏡に対する位置調整機構を
有する特許請求の範囲第１項又は第２項記載の光偏向装
置。 ４ 前記多面鏡の基準面の前記規制部材に対向する個所
には耐摩耗性物質が設けられている特許請求の範囲第１
項、第２項、第３項のいずれかに記載の光偏向装置。 ５ 第１と第２の基準面を有し該第１の基準面に対して
所定の角度で形成した複数の鏡面を有する多面鏡を、可
撓性を有する部材により回転軸に固定すると共に、前記
第１と第２の基準面に夫々対向する多面鏡収容ケース面
に前記多面鏡の回転中この多面鏡の前記第１と第２の基
準面に夫々間隔を介して対向する第１と第２の規制部材
を夫々突設固定して設け、前記回転軸を回転駆動する事
により前記多面鏡の第１の基準面と第１の規制部材との
間隔、及び前記多面鏡の第２の基準面と第２の規制部材
との間隔を夫々流体圧により一定距離に保つ事を特徴と
する光偏向装置。 ６ 前記第１と第２の規制部材は前記多面鏡の回転方向
に沿って夫々等間隔に３個ずつ配置されている特許請求
の範囲第５項記載の光偏向装置。 ７ 前記第１と第２の制御部材の前記多面鏡に対する位
置調整機構を有する特許請求の範囲第５項又は第６項記
載の光偏向装置。 ８ 前記多面鏡の第１と第２基準面の前記第１と第２の
規制部材に対向する個所には夫々耐摩耗性物質が設けら
れている特許請求の範囲第５項、第６項、第７項のいず
れかに記載の光偏向装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51134586A JPS6010282B2 (ja) | 1976-11-09 | 1976-11-09 | 光偏向装置 |
| US05/845,631 US4141620A (en) | 1976-11-09 | 1977-10-26 | Light deflecting device using a polygon mirror with float members |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51134586A JPS6010282B2 (ja) | 1976-11-09 | 1976-11-09 | 光偏向装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5359440A JPS5359440A (en) | 1978-05-29 |
| JPS6010282B2 true JPS6010282B2 (ja) | 1985-03-16 |
Family
ID=15131828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51134586A Expired JPS6010282B2 (ja) | 1976-11-09 | 1976-11-09 | 光偏向装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4141620A (ja) |
| JP (1) | JPS6010282B2 (ja) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0096089A1 (de) * | 1982-06-04 | 1983-12-21 | DR.-ING. RUDOLF HELL GmbH | Optische Ablenkeinrichtung |
| JPS58224324A (ja) * | 1982-06-24 | 1983-12-26 | Toshiba Corp | 回転鏡光偏向器 |
| JPS607005U (ja) * | 1983-06-24 | 1985-01-18 | 株式会社ミツトヨ | 光学式測定機における光線ビ−ム変換装置 |
| JPS634172Y2 (ja) * | 1985-04-15 | 1988-02-02 | ||
| NL8501142A (nl) * | 1985-04-19 | 1986-11-17 | Oce Nederland B V Patents And | Omwentelingslichaam, in het bijzonder polygoonspiegel. |
| US4714960A (en) * | 1985-06-03 | 1987-12-22 | Peter Laakmann | Television rate optical scanner |
| CN1012760B (zh) * | 1985-07-23 | 1991-06-05 | 锺渊化学工业株式会社 | 旋转多面镜扫描装置及其制造方法 |
| JP2644230B2 (ja) * | 1987-06-19 | 1997-08-25 | 株式会社リコー | 光走査装置 |
| US4966427A (en) * | 1989-07-21 | 1990-10-30 | Hughes Aircraft Company | Flexible scanwheel |
| US4953925A (en) * | 1989-07-21 | 1990-09-04 | Hughes Aircraft Company | Scanwheel assembly with strain relieved hub |
| JPH0634907A (ja) * | 1992-07-17 | 1994-02-10 | Konica Corp | 光ビーム走査装置及び光ビーム走査装置の組立方法 |
| JPH06175062A (ja) * | 1992-12-08 | 1994-06-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ポリゴン・ミラー |
| EP0618469A3 (en) * | 1993-03-31 | 1997-02-05 | Canon Kk | Optical deflector. |
| US5818507A (en) * | 1994-10-28 | 1998-10-06 | Xerox Corporation | Method and apparatus for controlling the modulation of light beams in a rotating polygon type image forming apparatus |
| US6542304B2 (en) * | 1999-05-17 | 2003-04-01 | Toolz, Ltd. | Laser beam device with apertured reflective element |
| US9618742B1 (en) | 2013-03-08 | 2017-04-11 | Google Inc. | Rotatable mirror assemblies |
| US11536845B2 (en) | 2018-10-31 | 2022-12-27 | Waymo Llc | LIDAR systems with multi-faceted mirrors |
| US11474211B2 (en) | 2018-11-01 | 2022-10-18 | Waymo Llc | Optimized high speed lidar mirror design |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3622221A (en) * | 1969-06-04 | 1971-11-23 | Bell Telephone Labor Inc | Spring structure for producing small displacements |
-
1976
- 1976-11-09 JP JP51134586A patent/JPS6010282B2/ja not_active Expired
-
1977
- 1977-10-26 US US05/845,631 patent/US4141620A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4141620A (en) | 1979-02-27 |
| JPS5359440A (en) | 1978-05-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6010282B2 (ja) | 光偏向装置 | |
| US3989358A (en) | Adjustable micrometer stage | |
| US5183350A (en) | Adjustable fixed mount for a hologon deflector | |
| USRE33721E (en) | Light beam scanning apparatus | |
| EP0598950B1 (en) | Rotary mirror system | |
| US4639595A (en) | Optical rotary encoder | |
| RU2432582C2 (ru) | Двухосная головка для ориентации с пьезоэлектрическим приводом | |
| US4969726A (en) | Ring laser gyro path-length-control mechanism | |
| US4379624A (en) | Laser beam steering device | |
| US4639589A (en) | Optical scanning device, particularly for seeker heads in target seeking missiles | |
| JP3198103B2 (ja) | 光偏向装置の製造方法 | |
| JPS63174012A (ja) | 光学素子等の傾き調整装置 | |
| JPH03177810A (ja) | 光偏向装置 | |
| JPS63241517A (ja) | ポリゴンミラ− | |
| US4250763A (en) | Rotary table drive mechanism | |
| US4861161A (en) | Method of constructing a moment insensitive pathlength control mirror assembly for a ring laser gyroscope | |
| EP0552825B1 (en) | Rotational scanning member | |
| US5910853A (en) | Rotary polygon mirror optical scanning device | |
| JP2615631B2 (ja) | 光偏向器 | |
| US12107325B2 (en) | Movable antenna support | |
| JPH0725774Y2 (ja) | ポリゴンミラー装置 | |
| JPH0126933Y2 (ja) | ||
| JPH04111281U (ja) | 電磁式有限回転型電動機 | |
| JPS60141443A (ja) | 微動回転機構 | |
| JPH03177809A (ja) | 光偏向装置 |