JPS63241517A - ポリゴンミラ− - Google Patents

ポリゴンミラ−

Info

Publication number
JPS63241517A
JPS63241517A JP7449887A JP7449887A JPS63241517A JP S63241517 A JPS63241517 A JP S63241517A JP 7449887 A JP7449887 A JP 7449887A JP 7449887 A JP7449887 A JP 7449887A JP S63241517 A JPS63241517 A JP S63241517A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotating body
magnet
polygon mirror
stator coil
polygon
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7449887A
Other languages
English (en)
Inventor
Shotaro Mizobuchi
庄太郎 溝渕
Hideomi Harada
原田 英臣
Noriyuki Osada
長田 憲幸
Toshiya Kanamori
金森 利也
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ebara Corp filed Critical Ebara Corp
Priority to JP7449887A priority Critical patent/JPS63241517A/ja
Publication of JPS63241517A publication Critical patent/JPS63241517A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/121Mechanical drive devices for polygonal mirrors

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザプリンタやレーザ複写機などに用いら
れているレーザ走査光学系においてレーザ光を反射させ
て感光体表面に照射するためのポリゴンミラーに関する
ものである。
(従来の技術〕 従来のポリゴンミラーは第6図に示すように、高鮮明な
画像処理に適した密閉構造の例について知られているレ
ーザプリンタでは、半導体レーザやガスレーザなどから
なるレーザユニットからのレーザ光を回転するポリゴン
ロータaのミラーbによって反射させて、感光体表面に
照射するものであり、ポリゴンロータaは駆動モータC
によって固定軸d上にスリーブeを介して回転されるよ
うに構成されている。
そして、前記固定軸dの外周面には多数の動圧発生用溝
部が形成され、回転スリーブeの回転によってスラスト
荷重及びラジアル荷重を支えるた−めの動圧が発生する
様になっている。即ち、この動圧発生用の溝部は、機能
的にはへリングボーン状の下部溝部f、及びヘリングボ
ーン膨軟を形成する中部溝部ftと上部溝部f、とによ
って動圧を発生させてラジアル荷重を支え、且つ、中部
溝部r!によって固定軸d上面に空気を送り込み、以て
固定軸dの上端にあるスラスト軸受gとの間の空気圧を
高めてスラスト荷重を支えるようになっている。
回転スリーブeの上部にはポリゴンロータaがねじ止め
され、また下部にはロータマグネットc1が固定され、
かつロータマグネットC1を駆動するためのステータコ
イルC8がロータマグネットC1の周囲を囲むように固
定されて駆動モータCとなっていると共に、外部からポ
リゴンロータaのミラーbへ照射されるレーザ光、及び
所望の露光面へ反射されるレーザ光を透過させるレーザ
入出窓部りが外筒lの上部周面の一部に形成されたもの
から成っていて、駆動モータCで高速回転するポリゴン
ロータは回転精度が高く維持される必要があるばかりで
なく反射面の面振れを小さくしなければならないために
固定軸と回転スリーブとの間隙は極めて狭いものとして
いる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところが、このようなレーザプリンタは鮮明な文字や画
像を高速度で再生するものであるから、ポリゴンミラー
は高速度で、しかも反射面の倒れが少ない状態で回転さ
れねばならないために、ポリゴンミラーは切削が容易で
、高反射率のアルミ合金の平板をダイヤモンドで切削す
ることで製造されているが、形状を維持するために、そ
の厚みは10鶴以上にもなっていた。しかしポリゴンミ
ラーが高速回転している時の負荷は、大半がポリゴンの
外周縁の空気抵抗であり、レーザ光を反射する領域が1
鶴以下でも十分である狭い幅であることを考慮すればポ
リゴンミラーが周囲の空気を乱すことによる動力損失は
極めて大きなものとなる。
これらのことから、固定軸と回転スリーブとの摺動部は
極めて精密に加工されて、空気による動圧が効果的に発
生するようにし、かつ回転スリーブ、ポリゴンロータ、
ミラ一部、ロータマグネット等の回転部分は精密に加工
され、同時に好適にマスバランスが調整されていなけれ
ばならない。
しかし、ポリゴンミラーの反射面での面の倒れを±1.
5μm以下とするには50m以上の長さの固定軸を精度
よく加工し、回転スリーブとの間隔を3μm以下にしな
ければならないので、製品の量産化が困難であり、また
更に高速度の画像処理を行う場合には、ポリゴンミラー
の回転速度を30、0OOrp−以上とすることが望ま
れているも、この様な高速回転の場合には固定軸に対す
るラジアル荷重並びにスラスト荷重が増加し、空気膜に
よる支持は極めて困難であり、ラジアル並びにスラスト
軸受の能力が不足したりバランス調整も頗る煩雑で問題
があった。
本発明は、この従来の欠点を適確に排除しようとするも
ので、ポリゴンロータの芯振れを極力少なくしラジアル
軸受の能力並びにスラスト軸受の能力を向上し、ロータ
の浮上量調整も容易で回転時の空気抵抗も少なく、高速
回転が可能なコンパクトなポリゴンロータとし、さらに
、反射面の倒れが少なく、安定した高速回転が可能で、
レーザ光等を精度よく反射できるポリゴンミラーを構成
簡単で製作容易安価な形態で提供することを目的とする
ものである。
C問題点を解決するための手段〕 本発明は、鏡面のある回転体を支持体に備えた固定軸に
回転自在に設けてポリゴンロータとし、該回転体に設け
たマグネットと、このマグネットに対向され前記回転体
を回転させるステータコイルとを備えたポリゴンミラー
において、前記回転体をセラミックス材料から構成し、
前記マグネットと対設するステータコイルを、前記支持
体に設けたカバー体に固着したことを特徴とするポリゴ
ンミラーである。
〔実施例〕
本発明の実施例を第1〜3図例で説明すると、平板状に
して中央に貫通孔1が形成され、外周縁を正多角形とす
る複数の鏡面2を有する回転体3を前記の貫通孔1を貫
通して支持体4に備えられた固定軸5に回転自在に設け
てポリゴンロータとし、平板の回転体3に設けられた永
久磁石又は二次導体のマグネット7と該マグネット7に
対設されるステータコイル6とによって回転体3を回転
させるモータユニットに構成して、かつ前記回転体3を
セラミックス材料から構成し、前記マグネット7と対設
するステータコイル6を前記支持体4に設けたカバー体
12に固着したことを特徴とするポリゴンミラーとしで
ある。
前記回転体3は、前記支持体4上に介在される摺動部材
10に対面配備されているもので、中央にある貫通孔1
の周囲にリング状の前記マグネット7を固着又は着脱自
在に嵌着できる筒状部31を備えているものを用いであ
る。
なお、前記摺動部材10としては角形又は円形の板体で
回転体3に対向する面及び/または支持体4に対向する
面の摺動面のいずれか一方の面に動圧発生用l111例
えばスパイラル溝をランド部10、を残して形成した硬
質のセラミックス材料例えばSiC焼結体、BeOを含
むα−3iC焼結体、又は5i3Na焼結体などで構成
したものを用いてスラスト軸受部として形成するのがよ
い。
前記マグネット7はN−5交互に形成したリング状のも
のを回転体3に設けであるが、前記回転体3に複数個環
状に形成配備して固定軸5と直交する平面上に沿って環
状に複数の磁極を着磁しているようにすることもできる
し、さらに前記鏡面2はアルミニウム箔(0,1〜0.
5輸)又は蒸着膜、その他の反射率の高いコーティング
層でミラ一部とするのが便利である。
図中111はへリングボーン状に形成した動圧発生用溝
で固定軸5の外周面又はそれに対応する面に多数設けて
いる。12はアルミニウム製のカバー体であって、支持
体4に嵌着し、レーザプリンタなどの密閉構造としたも
の、13は投光用窓部、14は留めナツトで温度膨張、
経時によるゆるみを防止するものである。
なお前記摺動部材10に設けた動圧発生用溝11は片面
でも両面に形成されるが、スパイラル状の方向は両面に
設けた場合には必要に応じ逆方向に刻設して正逆回転時
のいずれにもスラスト荷重を受けられ保守・保安上良好
にするのもよいし、回転体3の外周にある鏡面2もアル
ミニウム箔でバランス調整をすることができる。さらに
前記カバー体12としては、円筒状体のアルミニウム製
キャップであって、内周壁面に前記ステータコイル6を
固着配備したり、第4図例のように天板面を有する筒状
体のキャップのカバー体12ではこの天板面の内壁面に
前記ステータコイル6を固着配備することもできる。
第5図の具体例では回転軸として金属製支持軸5上にヘ
リングボーン状溝を外周に有するセラミックス材料のス
リーブ状ブツシュ51を備えたもので前記回転体3の浮
上量を拘束する手段としては回転体3の上方位置で固定
軸5に設けた上部摺動板15或いは座金若しくはその他
のストフパを選んで当てる構成としであるが、摺動板1
5などにコイルバネその信仰性部材を付設させたりその
信仰性構造物などを押圧部材として回転体3の上方部の
固定軸5に備えた構成としてもよい。
なお、この実施例では前記上部摺動板I5はセラミック
ス材料から成り摺動面倒に動圧発生用溝を必要に応じ備
えて回転体3に対設してあり、該上部摺動板15と座金
16との間にコイルバネ17を介在配備して回転体3の
浮上量拘束機構としである。
前記支持体4は磁性体で構成してマグネット7との間で
常時吸引力を働かせて回転体3が墜落させないようにし
、かつこの吸引力で安定な回転を得るように考慮されて
いる。さらに固定軸5は軸端面間の平行度及びヘリング
ボーン状溝面との垂直度を精密加工しであるが、必要に
応じ同様に精密加工したスリーブ状のブツシュ51を嵌
着配備してもよく、これらの場合固定軸5又はブツシュ
51を段付軸として各部材に対応させてもよい。
また前記固定軸5及び支持体4もSJCを主体とするセ
ラミックス材料で構成することも選んでできる。また前
記回転体3に設けたマグネット7に対してリング状のス
テータコイル6をカバー体12に設けてモータとしてポ
リゴンロータの回転体3を回転させるようにしであるが
、該回転体3に面する摺動部材lOの端面ば固定軸5を
直角部ち貫通孔lの内周面と直角で、その外周縁に形成
された鏡面2に対して直角となるように加工されている
しかして鏡面2のある回転体3は支持体4にある固定軸
5及び摺動部材10上にマスバランス、流体バランス及
び磁気バランスが良好に維持されて円滑に回転され、回
転時の空気抵抗も小さく運転できるものである。
この場合前記支持体4と回転体3との間に介在された摺
動部材lOの対応面のいずれか一方の面に動圧発生用溝
11を形成し、他方の面は平滑な平面としてスラスト軸
受部とするものであり、また、ラジアル軸受部は固定軸
5の外周面、又は貫通孔1の円筒面のいずれか一方の面
に動圧発生用のヘリングボーン状の溝11.を形成し、
他方の面を平滑な円筒面とするものであり、この実施例
においては、スラスト荷重を支えるための動圧発生用溝
11.ラジアル荷重を支えるための動圧発生用溝111
 は各々3〜10μ−程度の溝深さである。またこの動
圧発生用溝11は回転体3の両面に溝加工を施してバラ
ンスをよくし、変形をなくすようにするのもよいし、摺
動部材10又は摺動板15としては、その片面のみにス
パイラル溝加工する場合に比べて両面に形成する場合に
は径に対して厚みの薄いセラミックス板では溝加工後に
変形することもあるので変形しない厚みに選定すること
が考慮される。
前記摺動板15及び/又は摺動部材10は全面のうねり
が0.3μ−以下で最大面粗度が0.1μ爾の平滑な平
面であるランド面とした上で、シ叶ントフ゛ラストによ
って3〜10μmの深さのスパイラル状溝加工をしたも
のである。
なお、動圧効果を利用したラジアル軸受を製作する場合
も同様に、上述のシッットブラストによる溝加工をする
ことができる。いずれにしても硬質のセラミックス材料
で高い精度で前記動圧発生用溝11を加工することがで
き、かつ、その動圧発生に適した摺動部の形状が動圧が
発生した状態においても維持され、しかも、起動、停止
の際に生じる固体摺擦に対しても、ある程度の負荷であ
れば耐久性を持って有効に用いられる。
〔発明の効果〕
本発明は、回転体に設けたマグネットと、このマグネッ
トに対向され前記回転体を回転させるステータコイルと
を備えたポリゴンミラーにおいて、前記回転体をセラミ
ックス材料から構成し、前記マグネットと対設するステ
ータコイルを前記支持体に設けたカバー体に固着したこ
とによりセラミックス材料の比重が比較的小さいことが
ら回転体の重量も少なく回転速度の制御性も良好でポリ
ゴンロータのバランス調整が容易にできると共に、従来
のポリゴンミラーに比べ、著しく薄く小型軽量化するこ
とが可能であって、その空気抵抗をも大幅に減少せしめ
ることができるばか著しく小さな動力で従来と同等の回
転速度が得られることになり、また従来と同程度の電力
を投入すれば、より高回転速度を得ることができるポリ
ゴンミラーとなるし、またポリゴンミラーを装着した回
転軸方向の寸法も短くなり、ポリゴンロータの芯振れを
極力少なくしラジアル軸受の能力並びにスラスト軸受の
能力を大幅に向上できると共に、ポリゴンロータの浮上
量をも動圧発生溝形状によって自由に変えることが可能
となりコンパクトなポリゴンミラーを構成することがで
き、しかも、ポリゴンミラー自体を良好なスラスト軸受
とすることも可能であり、この場合回転体はセラミック
ス材料で構成されることから起動・停止の際の固体接触
があっても摩耗することがなく、また、軸受の母材が硬
質のゼイ性材料であることから変形が極めて小さく、実
質的に無視できるものであり、更に、動圧発生時におい
てもその変形量は小さく、動圧発生効果は良好に維持さ
れて高負荷のスラスト荷重を支えることができるので、
光線を安定して走査するポリゴンミラーとしての機能が
常時良好に維持されることとなり、かつバランス調整が
容易で回転時の空気抵抗も少なく、高速回転が可能なコ
ンパクトなポリゴンミラーとし、さらに、反射面の倒れ
が少なく、安定した高速回転が可能で、レーザ光等を精
度よく反射できるポリゴンミラーを構成簡単で安価な形
態で得られることとなる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例の縦断面図、第2図第1図I−
1線における平面図、第3図は第1図H−U線における
平面図、第4図は他の実施例の切断側面図、第5図はさ
らに他の実施例の一部切断側面図、第6図は従来例の縦
断面図である。 1・・・貫通孔、2・・・鏡面、3・・・回転体、3I
・・・筒状部、4・・・支持体、5・・・固定軸、6・
・・ステータコイル、7・・・マグネット、10・・・
摺動部材、11・・・動圧発生用溝、工5・・・摺動板
、1G・・・座金、17・・・バネ。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)鏡面のある回転体を支持体に備えた固定軸に回転
    自在に設けてポリゴンロータとし、該回転体に設けたマ
    グネットと、このマグネットに対向され前記回転体を回
    転させるステータコイルとを備えたポリゴンミラーにお
    いて、前記回転体をセラミックス材料から構成し、前記
    マグネットと対設するステータコイルを、前記支持体に
    設けたカバー体に固着したことを特徴とするポリゴンミ
    ラー。
  2. (2)前記回転体が、中央に貫通孔を有し、該貫通孔の
    周囲に筒状部を備え、該筒状部の外周にリング状のマグ
    ネットを設けたものである特許請求の範囲第1項記載の
    ポリゴンミラー。
  3. (3)前記カバー体が、円筒状体のアルミニウム製キャ
    ップであって、内周壁面に前記ステータコイルを固着配
    備したものである特許請求の範囲第1項又は第2項記載
    のポリゴンミラー。
  4. (4)前記カバー体が、天板面を有する筒状体のキャッ
    プであって、天板面の内壁面に前記ステータコイルを固
    着配備したものである特許請求の範囲第1項又は第2項
    記載のポリゴンミラー。
JP7449887A 1987-03-30 1987-03-30 ポリゴンミラ− Pending JPS63241517A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7449887A JPS63241517A (ja) 1987-03-30 1987-03-30 ポリゴンミラ−

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7449887A JPS63241517A (ja) 1987-03-30 1987-03-30 ポリゴンミラ−

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63241517A true JPS63241517A (ja) 1988-10-06

Family

ID=13549032

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7449887A Pending JPS63241517A (ja) 1987-03-30 1987-03-30 ポリゴンミラ−

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63241517A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4984881A (en) * 1989-12-19 1991-01-15 Ebara Corporation Rotation supporting device of a polygon mirror
US4998033A (en) * 1989-04-12 1991-03-05 Ebara Corporation Gas dynamic bearing for spindle motor
US5089732A (en) * 1989-07-24 1992-02-18 Ebara Corporation Spindle motor
US5142173A (en) * 1989-08-11 1992-08-25 Ebara Corporation Bearing structure
US5223758A (en) * 1990-03-05 1993-06-29 Ebara Corporation Spindle motor
US5373391A (en) * 1992-02-26 1994-12-13 Ebara Corporation Polygon mirror with embedded yoke
US6025665A (en) * 1997-02-21 2000-02-15 Emerson Electric Co. Rotating machine for use in a pressurized fluid system
US6078121A (en) * 1997-02-21 2000-06-20 Emerson Electric Co. Rotor assembly for a rotating machine

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4998033A (en) * 1989-04-12 1991-03-05 Ebara Corporation Gas dynamic bearing for spindle motor
US5089732A (en) * 1989-07-24 1992-02-18 Ebara Corporation Spindle motor
US5142173A (en) * 1989-08-11 1992-08-25 Ebara Corporation Bearing structure
US4984881A (en) * 1989-12-19 1991-01-15 Ebara Corporation Rotation supporting device of a polygon mirror
US5223758A (en) * 1990-03-05 1993-06-29 Ebara Corporation Spindle motor
US5373391A (en) * 1992-02-26 1994-12-13 Ebara Corporation Polygon mirror with embedded yoke
US6025665A (en) * 1997-02-21 2000-02-15 Emerson Electric Co. Rotating machine for use in a pressurized fluid system
US6078121A (en) * 1997-02-21 2000-06-20 Emerson Electric Co. Rotor assembly for a rotating machine
US6324745B1 (en) 1997-02-21 2001-12-04 Emerson Electric Co. Method of assembling a rotor assembly for a rotating machine

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR940011647B1 (ko) 전동장치
US4552417A (en) Polygonal type optical deflector
JPS63241516A (ja) ポリゴンミラ−
JPS63241517A (ja) ポリゴンミラ−
JP2872202B2 (ja) モータ
JPS63241515A (ja) ポリゴンミラ−
JPS59197010A (ja) 情報記録装置
JPS63266420A (ja) ポリゴンミラ−
JPS63241518A (ja) ポリゴンミラ−
JPH0677111B2 (ja) ポリゴンミラ−
JPS63257716A (ja) ポリゴンミラ−
JPH0677108B2 (ja) ポリゴンミラ−
JPS619138A (ja) 高速回転駆動装置
JPH0677109B2 (ja) ポリゴンミラ−ロ−タ
JPS6381316A (ja) ポリゴンミラ−
JPS60208629A (ja) 光偏向装置
JPS60200221A (ja) 回転装置
JP3095139B2 (ja) 流体ベアリング装置
JPH02186118A (ja) 回転装置
JPH0725774Y2 (ja) ポリゴンミラー装置
JPS5968716A (ja) 回転体支持装置
JPH0332764B2 (ja)
KR100235172B1 (ko) 동압 가스 베어링 구조물 및 광편향 주사 장치
JP2974514B2 (ja) 走査光学装置
JP4715519B2 (ja) 光偏向器