JPS63241518A - ポリゴンミラ− - Google Patents

ポリゴンミラ−

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JPS63241518A
JPS63241518A JP7449987A JP7449987A JPS63241518A JP S63241518 A JPS63241518 A JP S63241518A JP 7449987 A JP7449987 A JP 7449987A JP 7449987 A JP7449987 A JP 7449987A JP S63241518 A JPS63241518 A JP S63241518A
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JP7449987A
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Shotaro Mizobuchi
庄太郎 溝渕
Hideomi Harada
原田 英臣
Noriyuki Osada
長田 憲幸
Toshiya Kanamori
金森 利也
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Ebara Corp
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Ebara Corp
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/121Mechanical drive devices for polygonal mirrors
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C17/00Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
    • F16C17/04Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for axial load only
    • F16C17/045Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for axial load only with grooves in the bearing surface to generate hydrodynamic pressure, e.g. spiral groove thrust bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16C17/00Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
    • F16C17/10Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for both radial and axial load
    • F16C17/102Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for both radial and axial load with grooves in the bearing surface to generate hydrodynamic pressure
    • F16C17/107Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for both radial and axial load with grooves in the bearing surface to generate hydrodynamic pressure with at least one surface for radial load and at least one surface for axial load
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザプリンタ、バーコードリーグやレーザ
複写機などに用いられているレーザ走査光学系において
レーザ光を反射させて感光体表面に照射するためのポリ
ゴンミラーに関するものである。
〔従来の技術〕
従来のポリゴンミラーは第6図に示すように、高鮮明な
画像処理に適した密閉構造の例について知られているレ
ーザプリンタでは半導体レーザやガスレーザなどからな
るレーザユニットからのレーザ光を回転するポリゴンロ
ータaのミラーbによって反射させて、感光体表面に照
射するものであり、ポリゴンロータaは駆動モータCに
よって固定軸d上にスリーブeを介して回転されるよう
に構成されている。
そして、前記固定軸dの外周面には多数の動圧発生用溝
部が形成され、回転スリーブeの回転によってスラスト
荷重及びラジアル荷重を支えるための動圧が発生する様
になっている。即ち、この動圧発生用の溝部は、機能的
にはへリングボーン状の下部溝部f1及びヘリングボー
ン形状を形成する中部溝部f、と上部溝部f、とによっ
て動圧を発生させてラジアル荷重を支え、且つ、中部溝
部f、によって固定軸d上面に空気を送り込み、以て固
定軸dの上端にあるスラスト軸受gとの間の空気圧を高
めてスラスト荷重を支えるようになっている。
回転スリーブeの上部にはポリゴンロータaがねし止め
され、また下部にはロータマグネットC。
が固定され、かつロータマグネン)Ctを駆動するため
のステータコイルc、がロータマグネットc、の周囲を
囲むように固定されて駆動モータCとなっていると共に
、外部からポリゴンロータaのミラーbへ照射されるレ
ーザ光、及び所望の露光面へ反射されるレーザ光を透過
させるレーザ入出窓部りが外筒lの上部周面の一部に形
成されたものから成っていて、駆動モータCで高速回転
するポリゴンロータは回転精度が高く維持される必要が
あるばかりでなく反射面の面振れを小さくしなければな
らないために固定軸と回転スリーブとの間隙は極めて狭
いものとしている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところが、このようなレーザプリンタは鮮明な文字や画
像を高速度で再生するものであるから、ポリゴンミラー
は高速度で、しかも反射面の倒れが少ない状態で回転さ
れねばならないために、ポリゴンミラーは切削が容易で
、高反射率のアルミ合金の平板をダイヤモンドで切削す
ることで製造されているが、形状を維持するために、そ
の厚みは10w以上にもなっていた。しかしポリゴンミ
ラーが高速回転している時の負荷は、大半がポリゴンの
外周縁の空気抵抗であり、レーザ光を反射するw4域が
1fl以下でも十分である狭い幅であることを考慮すれ
ばポリゴンミラーが周囲の空気を乱すことによる動力損
失は極めて大きなものとなる。
これらのことから、固定軸と回転スリーブとの摺動部は
極めて精密に加工されて、空気による動圧が効果的に発
生するようにし、かつ回転スリーブ、ポリゴンロータ、
ミラ一部、ロータマグネット等の回転部分はt#密に加
工され、同時に好適にマスバランスが調整されていなけ
ればならない。
しかし、ポリゴンミラーの反射面での面の倒れを±1.
5μm以下とするには50m以上の長さの固定軸を精度
よく加工し、回転スリーブとの間隔を3μm以下にしな
ければならないので、製品の量産化が困難であり、また
更に高速度の画像処理を行う場合には、ポリゴンミラー
の回転速度を30、0OOrp−以上とすることが望ま
れているも、この様な高速回転の場合には固定軸に対す
るラジアル荷重が増加し、空気膜による支持は極めて困
難であり、バランス調整も頗る煩雑であり、しがもポリ
ゴンロータを誤って逆方向に回転させる焼損事故につな
がって保安上問題があった。
本発明は、この従来の欠点を適確に排除しようとするも
ので、ポリゴンロータの垂直度、平行度を大幅に向上さ
せ回転時の空気抵抗も少なく、高速回転が可能なコンパ
クトなポリゴンミラーとし、さらに、反射面の倒れが少
なく、正逆回転時のいずれにもスラスト荷重を受けられ
保安上良好でかつ安定した高速回転も可能で、レーザ光
等を暗度よく反射できるポリゴンミラーを構成暦車で製
作容易安価な形態で提供することを目的とするものであ
る。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、鏡面のある回転体を支持体に備えた固定軸に
回転自在に設けてポリゴンロータとし、前記回転体にマ
グネットを設けると共に、該マグネットに対応してステ
ータコイルを配備したポリゴンミラーにおいて、前記回
転体と支持体との間に、両面に動圧発生用のスパイラル
溝を形成したセラミックス材からなる摺動部材を介在配
備したことを特徴とするポリゴンミラーである。
〔実施例〕
本発明の実施例を第1〜3図例で説明すると、平板状に
して中央に貫通孔1が形成され、外周縁を正多角形とす
る複数の鏡面2を有する回転体3を前記の貫通孔1を貫
通して支持体4に備えられた固定軸5に回転自在に設け
てポリゴンロータとし、平板の回転体3と平行に固定さ
れ、ポリゴンロータを回転させるステータコイル6を前
記支持体4に備え、前記回転体3に設けられた永久磁石
又は二次導体のマグネット7と前記ステータコイル6と
によって回転体3を回転させるモータユニットを構成し
て、前記回転体3と支持体4との間に両面に動圧発生用
溝11即ちスパイラル溝を形成したセラミックス材から
なる摺動部材10を介在配備するようにしである。
前記回転体3は、前記支持体4上に介在される摺動面に
動圧発生用溝11のある摺動部材lOに対面配備されて
いるもので、この摺動部材10としては角形又は円形の
板体で回転体3のマグネット7に対向する面及びステー
タコイル6に対向する面の摺動面の両方の面に動圧発生
用溝11、例えばねじり方向が逆向きのスパイラル溝を
ランド部10+を残して形成した硬質のセラミックス材
料例えばSiC焼結体、BeOを含むα−5iC焼結体
、又は5iJ4焼結体などで構成したものを用いてスラ
スト軸受部として形成するのがよく、前記回転体3も硬
質のセラミックス材料の平板を用いてもよいし、必要に
応じて対応する摺動面に動圧発生用溝を形成してもよい
前記マグネット7は回転体3の挿入孔8に埋込配備して
、上面を平坦に面合せしてもよいし、挿入孔8に対して
マグネット7を上面より富み状態或いは突出状態に配置
し、バックアツプ板(図示せず)を当てて保持する構成
としてもよい。
前記挿入孔8は前記回転体3に複数個環状に形成配備し
であるが、第4図例のように円板状のロータコアを形成
するようにリング状に連接配備し固定軸5と直交する平
面上に沿って環状に複数の磁極を着磁しているようにす
ることもできるし、さらに前記鏡面2はアルミニウムf
fi (0,1−0,5m1)又は蒸着膜、その他の反
射率の高いコーティング層でミラ一部とするのが便利で
ある。
図中11.はヘリングボーン状に形成した動圧発生用溝
で固定軸5の外周面又はこれに対応する面に多数設けて
いる。12はカバ一体であって、支持体4に嵌着し、レ
ーザプリンタなどの密閉構造としたもので、バーコード
リーグなどのように鮮明度を要求されない場合には省略
できる。13は投光用窓部、14は留めナツトで温度膨
張経時によるゆるみを防止するものである。
なお前記動圧発生用溝11はスパイラル状の方向は両面
に設けた場合に逆方向(投影面上同じ向き)に設けてポ
リゴンロータを回転駆動する際に誤って逆方向に回転さ
せても焼損することがないようにし、即ち正逆いずれの
回転時においても動圧効果を生じさせスラスト荷重を受
けて保安上有効にしであるが、必要に応じ同方向(投影
面上逆向き)に設けて一方をクラッチ作用を与えるよう
にしてもよい、この場合、中間部材を介在させて活用す
ることが考慮されるし、さらに回転体3の外周にある鏡
面2もアルミニウム箔でバランス調整をすることができ
る。
第5図の具体例では回転軸として金属製支持軸5上にヘ
リングボーン状溝を外周に有するセラミックス材料のス
リーブ状ブツシュ5.を備えたもので前記回転体3の浮
上量を拘束する手段としては回転体3の上方位置で固定
軸5に設けた上部摺動板15或いは座金若しくはその他
のストッパを選んで当てる構成としであるが、摺動板1
5などにコイルバネその信仰性部材を付設させたりその
信仰性構造物などを押圧部材として回転体3の上方部の
固定軸5に備えた構成としてもよい。
なお、実施例では前記上部摺動板15はセラミックス材
料から成り摺動面側に動圧発生用溝を必要に応じ備えて
回転体3に対設してあり、該上部摺動板15と座金16
との間にコイルバネ17を介在配備して回転体3の浮上
量拘束機構としである。
また前記支持体4はアルミニウム材から構成されるもの
であって、前記摺動部材の廻り止めとして用いられるも
のであるが、前記固定軸5及び支持体4もSiCを主体
とするセラミックス材料で構成することも選んでできる
し、さらに前記支持体4は磁性体で構成してマグネット
7との間で常時吸引力を働かせて回転体3が墜落させな
いようにし、かつこの吸引力で安定な回転を得るように
考慮してもよい、さらに固定軸5は軸端面間の平行度及
びヘリングボーン状溝面との垂直度を精密加工しである
が、必要に応じ同様に精密加工したスリーブ状のブフシ
ェ51を嵌着配備してもよく、これらの場合固定軸5又
はブツシュ51を段付軸として各部材に対応させてもよ
い、また前記回転体3に設けたマグネット7に対して平
板状のステータコイル6を支持体4に設けてモータとし
てポリゴンロータの回転体3を回転させるようにしであ
るが、ステータコイル6に面する摺動部材10の端面ば
固定軸5を直角即ち貫通孔lの内周面と直角で、その外
周縁に形成された鏡面2に対して直角となるように加工
されている。
しかして鏡面2のある回転体3は支持体4にある固定軸
5及び動圧発生用溝11を有するセラミックス材料の摺
動部材10上にマスバランス、流体バランス及び磁気バ
ランスが良好に維持されて円滑に回転され、回転時の空
気抵抗も小さく運転できるものである。
この場合前記支持体4と回転体3との間に介在された摺
動部材10の対応面の両面に動圧発生用溝11を形成し
、対面側は平滑な平面としてスラスト軸受部とするもの
であり、また、ラジアル軸受部は固定軸5の外周面、又
は貫通孔1の円筒面のいずれか一方の面に動圧発生用の
へリングボーン状の溝11.を形成し、他方の面を平滑
な円筒面とするものであり、この実施例においては、ス
ラスト荷重を支えるための動圧発生用溝11、ラジアル
荷重を支えるための動圧発生用溝11.は各々3〜10
μ−程度の溝深さである。またこの動圧発生用溝11は
回転体3の両面に溝加工を施してバランスをよくし、変
形をなくすようにするのもよいし、摺動部材10又は摺
動板15としては、その片面のみにスパイラル溝加工す
る場合に比べて両面に形成する場合には径に対して厚み
の薄いセラミックス板では溝加工後に変形することもあ
るので変形しない厚みに選定することが考慮される。
前記摺動板15及び/又は摺動部材lOは全面のうねり
が0.3μ−以下で最大面粗度が0.1μ−の平滑な平
面であるランド面とした上で、ショツトブラストによっ
て3〜10μ閣の深さのスパイラル状溝加工をしたもの
である。
なお、動圧効果を利用したラジアル軸受を製作する場合
も同様に、上述のショツトブラストによる溝加工をする
ことができる。いずれにしても硬質のセラミックス材料
で高い精度で前記動圧発生用溝11を加工することがで
き、かつ、その動圧発生に適した摺動部の形状が動圧が
発生した状態においても維持され、しかも、起動、停止
の際に生じる固体摺擦に対しても、ある程度の負荷であ
れば耐久性を持って有効に用いられる。
〔発明の効果〕
本発明は、回転体に設けたマグネットと、このマグネッ
トに対向され前記回転体を回転させるステータコイルと
を備えたポリゴンミラーにおいて、前記回転体と支持体
との間に、両面に動圧発生用のスパイラル溝を形成した
セラミックス材料からなる摺動部材を介在配備したこと
によりセラミックス摺動部材でポリゴンロータの垂直度
、平行度を大幅に向上できロータの芯振れも可及的に小
さくできるほか、ステータコイルやマグネットの付設位
置も変化させてバランスmMも容易であって安定した回
転運転が可能となり、ポリゴンロータを回転させるため
の永久磁石又は二次導体からなるロータコアと、外周面
がミラ一部とされたポリゴンロータの厚みが薄くてもそ
の変形量を小さくすることができ、従来のポリゴンミラ
ーに比べ、ポリゴンミラーを装着した回転軸方向の寸法
が短くなり、著しく薄く小型軽量化することが可能であ
って、その空気抵抗をも著しく減少せしめることができ
るし、さらに小さな動力で従来と同等の回転速度が得ら
れることになり、また従来と同程度の電力を投入すれば
、より高回転速度を得ることができるポリゴンミラーと
なるし、ポリゴンミラーの回転軸方向端面をセラミック
スの摺動部材部分の動圧発生用溝で正逆回転のいずれに
も動圧効果を生じさせスラスト荷重を良好に受けること
から保守・保安がらくで起動・停止の際の固体接触があ
っても摩耗することがなく、また、軸受の母材が硬質の
ゼイ性材料であることから変形が橿めて小さく、実質的
に無視できるものであり、更に、動圧発生時の動圧発生
効果は良好に維持されて高負荷のスラスト荷重を支える
ことができるので、光線を安定して走査するポリゴンミ
ラーとしての機能が常時良好で、かつセラミックス摺動
部材の介在で、レーザ光等を精度よく反射できるポリゴ
ンミラーを構成簡単で製作容易安価な形態で得られるも
のである。
【図面の簡単な説明】
□  第1図は本発明の実施例の縦断面図、第2図第1
図1−1線における平面図、第3図は第1図■−■線に
おける平面図、第4図は他の実施例の切断側面図、第5
図はさらに他の実施例の一部切断側面図、第6図は従来
例の縦断面図である。 1・・・貫通孔、2・・・鏡面、3・・・回転体、3.
・・・筒状部、4・・・支持体、5・・・固定軸、6・
・・ステータコイル、7・・・マグネット、8・・・挿
入孔、10・・・摺動部材、15・・・摺動板、16・
・・座金、17・・・バネ。 特許出願人    株式会社 荏原製作所代理人 弁理
士   薬  師     稔代理人 弁理士   依
 1) 孝 次 部代理人 弁理士   高  木  
正  行第4図 第5図

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)鏡面のある回転体を支持体に備えた固定軸に回転
    自在に設けてポリゴンロータとし、前記回転体にマグネ
    ットを設けると共に、該マグネットに対応してステータ
    コイルを配備したポリゴンミラーにおいて、前記回転体
    と支持体との間に、両面に動圧発生用のスパイラル溝を
    形成したセラミックス材からなる摺動部材を介在配備し
    たことを特徴とするポリゴンミラー。
  2. (2)前記摺動部材が、スラスト軸受部となる平板であ
    って、その表裏に逆向きのスパイラル溝を有し前記固定
    軸と直交する水平面上に備えられるものである特許請求
    の範囲第1項記載のポリゴンミラー。
  3. (3)前記回転体が、外周縁が正多角形の平板状の板体
    であって、該外周面にアルミニウム箔を固着して鏡面を
    形成したポリゴンロータとしたものである特許請求の範
    囲第1項又は第2項記載のポリゴンミラー。
  4. (4)前記回転体が、中央に貫通孔のある平板であって
    、該貫通孔と同心円状にマグネットを環状に複数配備し
    たポリゴンロータである特許請求の範囲第1〜3項のい
    ずれか一つの項記載のポリゴンミラー。
  5. (5)前記支持体が、アルミニウム材から構成されるも
    のであって、前記摺動部材の廻り止めとして用いられる
    ものである特許請求の範囲第1〜4項のいずれか一つの
    項記載のポリゴンミラー。
JP7449987A 1987-03-30 1987-03-30 ポリゴンミラ− Expired - Lifetime JPH0677105B2 (ja)

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JPS63241518A true JPS63241518A (ja) 1988-10-06
JPH0677105B2 JPH0677105B2 (ja) 1994-09-28

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5373391A (en) * 1992-02-26 1994-12-13 Ebara Corporation Polygon mirror with embedded yoke
EP1245989A3 (en) * 2001-03-19 2004-08-11 Konica Corporation Optical deflection device and image forming apparatus equipped therewith.

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5373391A (en) * 1992-02-26 1994-12-13 Ebara Corporation Polygon mirror with embedded yoke
EP1245989A3 (en) * 2001-03-19 2004-08-11 Konica Corporation Optical deflection device and image forming apparatus equipped therewith.

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JPH0677105B2 (ja) 1994-09-28

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