JPH0730785B2 - 気体動圧軸受 - Google Patents

気体動圧軸受

Info

Publication number
JPH0730785B2
JPH0730785B2 JP4203428A JP20342892A JPH0730785B2 JP H0730785 B2 JPH0730785 B2 JP H0730785B2 JP 4203428 A JP4203428 A JP 4203428A JP 20342892 A JP20342892 A JP 20342892A JP H0730785 B2 JPH0730785 B2 JP H0730785B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
radial
dynamic pressure
sleeve
cylindrical portion
thrust plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP4203428A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH05187436A (ja
Inventor
憲幸 長田
泰史 久部
俊博 大谷
利也 金森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ebara Corp filed Critical Ebara Corp
Priority to JP4203428A priority Critical patent/JPH0730785B2/ja
Publication of JPH05187436A publication Critical patent/JPH05187436A/ja
Publication of JPH0730785B2 publication Critical patent/JPH0730785B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Sliding-Contact Bearings (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばポリゴンミラー
の回転支持装置のように安定回転の要請の強い回転装置
に使用する気体動圧軸受に関する。
【0002】
【従来の技術】例えばレーザプリンタやバーコードリー
ダやレーザ複写機などにはポリゴンミラーが用いられ、
かかるポリゴンミラーは回転数が早いほど能率が向上す
るので、30,000rpm程度の高速回転を行ってい
る。このように高速回転を行う回転軸を支持するため
に、気体動圧軸受が用いられているが、高速回転のため
にいわゆるみそすり運動や振れが生じやすく好適な支持
が困難であった。みそすり運度や振れが生ずると映像が
乱れるので、安定した回転が要請される。
【0003】例えば特開昭59−28757号公報に開
示されている技術では回転体の摺動面に金属を用い、ス
ラスト荷重がかからないような構造になっている。しか
しながら、高速回転時に、ラジアル荷重が増加すると、
通常行われているヘリングボーン形状の動圧発生溝によ
る空気膜では支持が困難となり、バランス調整もやっか
いとなる。
【0004】また、本出願人に係る特開昭63−241
515号公報に開示されている技術では空気膜による加
圧発生用の軸受が設けられており、本発明をよく理解す
るために、図2を参照して、前記先行技術について説明
する。
【0005】図2において、レーザプリンタでは、半導
体レーザやガスレーザなどからなるレーザユニットから
のレーザ光が窓13から回転体3の外周面に形成したミ
ラー2に反射され、感光体の表面に照射するようになっ
ており、その回転体3にはマグネット7がバックアップ
リング9で一体的に取付けられている。この回転体3は
その中心に設けた固定軸5によってラジアルスラストを
受け、また自重はスラスト板10で受けるようになって
いる。なお図示していないが回転体3の上部にスラスト
板を設けたものも知られている。この固定軸5およびス
ラスト板10にはその摺動面にヘリングボーン形状の溝
11が形成され、空気膜による動圧発生を行いスラスト
力を支えるようになっている。
【0006】固定軸5はモータケーシング4に固定され
ており、このモータケーシングにはマグネット7に対し
てステータコイル6が設けられている。
【0007】しかしながら、かかる先行技術では、マグ
ネットとして円形状のものを複数個使用しているので高
速回転に際してマグネットの所が変形する傾向があっ
た。そのために回転軸にふれが生ずることが解った。そ
の他の従来技術としては、特開昭61−296325号
公報には動圧流体軸受式スキャナーユニットが示されて
おり、特開昭60−98213号公報にはラジアルスリ
ーブ及びスラスト板がセラミックで形成された動圧流体
軸受が示されている。しかし、これ等の従来技術ではス
ラスト荷重を1方向について支持するのみであり、みそ
すり運動や揺れを防止するのには不十分であった。ま
た、実願昭59−137929号(実開昭61−527
18号)のマイクロフィルムには、ラジアル動圧軸受の
両側に設けられたスラスト軸受の両方に、周動面の動圧
発生溝が形成された装置が示されている。しかし、この
軸受装置は合成樹脂製であるため、経時的な材料劣化が
生じると共に、摺動性に問題があるため所謂「かじり付
き」が発生する。従って、高速、高負荷、高温環境下で
の運転が困難である。また、合成樹脂は加工精度を高く
することが出来ない、熱変形が非常に大きい、剛性が小
さい、という問題がある。これに加えて、回転軸と軸受
の一部とが一体化されているので、軸受が摩耗した場合
には回転軸全体を交換しなければならないという問題も
存在する。さらに、これ等の従来技術においては、ラジ
アル軸受を構成するヘリングボーン形状の動圧溝が2組
以上形成する必要があるため、ヘリングボーン形状の動
圧溝を形成する部材及び装置全体が大型化してしまうと
いう問題がある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の目
的は、回転体を支持するにあたって回転軸がみそすり運
動や振れを生ずることなく安定した回転を保持する気体
動圧軸受を提供するにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の気体動圧軸受
は、基台と、その基台の中央部に立設した主軸が中央部
を貫挿しているラジアル円筒部と、そのラジアル円筒部
の端面に固定され、そして前記主軸が中心部を貫通して
いる上部及び下部スラスト板と、前記ラジアル円筒部の
外周面および前記上部及び下部スラスト板で回転自在に
支持されるラジアルスリーブとを備え、前記ラジアルス
リーブはラジアル方向に一様な厚さを有し、そして外周
には外部回転体が取付けられており、前記ラジアル円筒
部の外周面と前記ラジアルスリーブの内周面のいずれか
一方に一組のヘリングボーン形状の動圧発生溝を形成す
ることにより前記ラジアル円筒部の外周面と前記ラジア
ルスリーブの内周面との間に構成されたラジアル動圧軸
受と、前記ラジアルスリーブの端部と前記上部スラスト
板のいずれか一方にスパイラル動圧発生溝を形成するこ
とにより前記ラジアルスリーブの端部と前記上部スラス
ト板との間に構成されたスラスト動圧軸受と、前記ラジ
アルスリーブの端部と前記下部スラスト板のいずれか一
方にスパイラル動圧発生溝を形成することにより前記ラ
ジアルスリーブの端部と前記下部スラスト板との間に構
成されたスラスト動圧軸受とを備えており、前記ラジア
ルスリーブと前記上部及び下部スラスト板がセラミック
製であることを特徴としている。
【0010】
【作用】上述した様な構成を具備する本発明の気体動圧
軸受によれば、セラミック製のラジアルスリーブは中心
部すなわち半径方向内側がラジアル円筒部で支持され、
その端面が上下一対のスラスト板(上部及び下部スラス
ト板)で支持され、ラジアルスリーブとラジアル円筒部
との間の面にはヘリングボーン形状の動圧発生溝が形成
され、ラジアルスリーブとスラスト板との間の面にはス
パイラル形状の動圧発生溝が形成されているので、ラジ
アルスリーブは半径方向についても、軸方向について
も、確実に支持されている。そのため、回転中でも振れ
やみそすり運動が生じない。しかも動圧発生溝が設けら
れており、あらかじめ回転数は設計上定められているの
で、その回転数に見合ったクリアランスとすればよい。
すなわち高速回転のときはクリアランスが大きくても圧
力が大となり、振れやみそすり運動が生じない。しかも
ラジアルスリーブの半径方向内方にヘリングボーン形状
の溝を設け、両端面すなわち軸方向にスパイラル形状の
溝を設けたために、比較的に均一な力を作用でき、振れ
などをなくすことができる。また、本発明においては、
ラジアル円筒部と主軸とは別体に構成されているので、
ラジアル(動圧)軸受が摩耗した場合にはラジアル円筒
部のみを交換すれば良く、主軸全体を交換する必要が無
い。そのため、保守に費やされる労力が従来技術に比較
して非常に少なくなる。さらに、本発明においては、前
記ラジアル円筒部の外周面と前記ラジアルスリーブの内
周面のいずれか一方に一組のヘリングボーン形状の動圧
発生溝のみを形成することによりラジアル動圧軸受を構
成しているので、軸受を構成する部材及び装置全体の小
形化が可能となる。そして、本発明によれば、ラジアル
スリーブ及び上部及び下部スラスト板はセラミックで構
成されており、その他の部材についても合成樹脂の様な
材料、すなわち加工精度を高くすることが出来ず、熱変
形が非常に大きく、剛性が小さい材料、は使用していな
い。従って、精密機械等についても使用可能である。
【0011】したがって、本発明によれば、例えばレー
ザプリンタやレーザ複写機のように高速回転するポリゴ
ンミラーを支持する回転軸であっても振動の生じない軸
受を得ることができる。
【0012】
【好ましい実施の態様】本発明の実施に際し、ラジアル
円筒部とスラスト板とは主軸の端部に設けた締付け手段
に挟持するのが好ましい。
【0013】また、前記締付け手段は主軸に螺設したね
じにねじ込まれるナットで構成するのが好ましい。
【0014】さらに本発明の気体動圧軸受の外部回転体
がモータの一部を構成し、そして該モータが前記ラジア
ルスリーブを駆動するようにするのが好ましい。
【0015】そして、前記モータの一部にモータ用のマ
グネットを設けるのが好ましい。
【0016】
【実施例】以下、図1を参照して、本発明のポリゴンミ
ラーの支持手段に適用した実施例について説明する。
【0017】図1において、図示の装置はモータケーシ
ングを構成する基台20を備え、その上面にはコイル基
板21が止めボルト22によって取付けられ、その内部
には、モータを構成する鉄心23およびコイル24が設
置されている。そして基台20の中心には主軸25が下
止めナット26で固定されており、その主軸25の外周
には外周にヘリングボーン形状の動圧発生溝27aを有
するラジアル円筒部27が設けられている。そしてこの
ラジアル円筒部27の外周には回転体Rを構成するリン
グ状のセラミック製のラジアルスリーブ28が回転自在
に設けられている。ここで、ラジアルスリーブ28の内
周面に同様な動圧発生溝を設け得ることは自明である。
このセラミック製のラジアルスリーブ28を挾んで上下
にセラミック製の上部スラスト板29および下部スラス
ト板30が設けられ、回転体Rの軸方向のスラスト荷重
を受けるようになっている。この上下のスラスト板2
9、30のセラミック製のラジアルスリーブ28側の面
にはそれぞれスパイラル形状の動圧発生溝29a、30
aが形成されている。しかしながらラジアルスリーブ2
8のスラスト板29、30側の面に同様に動圧発生溝を
設けてもよいことは自明である。そして、セラミック製
のラジアルスリーブ28の下部外周にはリング状のヨー
ク31が焼ばめされている。このヨーク31は例えば鋼
製であり、その下方に延びるリング部32の内側にリン
グ状のマグネット33aが接着により取付けられてい
る。そのヨーク31の上側には、外周面からの平面形状
が多角形であってその外周面に鏡面Mが形成されたアル
ミ製のロータ33が位置している。そしてセラミック製
のラジアルスリーブ28とアルミ製のロータ33との間
には中間リング34が配置されており、該中間リング3
4はセラミック製のラジアルスリーブ28の外周面に例
えば、焼ばめにより固定されており、アルミ製のロータ
33は中間リング34の外周面に焼ばめにより固定され
ている。これらのアルミ製のロータ33および中間リン
グ34は外部回転体を構成している。中間リング34の
材質は、セラミックよりも弾性変形量が大きくアルミ合
金よりも弾性変形量が小さい材質で形成されており、例
えばステンレス製である。
【0018】なお、図1中符号35は、ラジアル円筒部
27と上下のスラスト板29、30とを固定する上止め
ナットを示す。
【0019】コイル基部21でモータのコイル24に流
れる電流を制御することによって、公知の態様にてマグ
ネット33aに回転トルクが印加される。そして、マグ
ネット33aに印加されたトルクは、ヨーク31、セラ
ミック製ラジアルスリーブ28、中間リング34を介し
てアルミ製のロータ33に伝達されるので、鏡面Mが高
速回転するのである。そしてセラミック製のラジアルス
リーブ28はラジアル円筒部27によって支持されてお
り、軸方向のスラストは上下のスラスト板29、30に
支持される。
【0020】ここで、回転体Rが高速回転すると遠心力
を生じ、その遠心力によって生ずる弾性変形量はセラミ
ック製のラジアルスリーブ28とアルミ製のロータ33
とでは異なる。しかし、ステンレス製の中間リング34
の存在により該変形量の差異は緩和されるのである。
【0021】そして、セラミック製のラジアルスリーブ
28はラジアル円筒部27、上下のスラスト板29、3
0によって三方向から保持されているので、回転体Rが
上下方向あるいは半径方向にぶれてしまうことはない。
【0022】そして半径方向はヘリングボーン形状の動
圧発生溝27aによって、また軸方向はスパイラル形状
の動圧発生溝29c、30aによって回転数に応じた適
正なクリアランスを維持できるので、ラジアルスリーブ
28に振れやみそすり運動が生じない。
【0023】
【発明の効果】以上の如く本発明によれば、ラジアルス
リーブをラジアル円筒部の外側に設け、そして上下のス
ラスト板で支持し、かつ構造に適した動圧発生溝を設け
たので、ラジアルロータが振れてクリアランスが狭くな
ると圧力が上昇して適正なクリアランスを保つことがで
き、ラジアルロータの振れやみそすり運動を防止でき
る。したがって、安定した回転を保証するの気体動圧軸
受として回転軸すなわちラジアルロータを常に正しく保
持して回転させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明をポリゴンミラーの回転支持装置に適用
した例を示す断面正面図。
【図2】先行技術を示す断面正面図。
【符号の説明】
25・・・主軸 27・・・ラジアル円筒部 28・・・セラミック製のラジアルスリーブ 29・・・上部スラスト板 30・・・下部スラスト板 31・・・ヨーク 33a・・・マグネット 33・・・アルミ製のロータ 34・・・中間リング M・・・鏡面 R・・・回転体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金森 利也 東京都大田区羽田旭町11番1号 株式会社 荏原製作所内 (56)参考文献 特開 昭61−296325(JP,A) 特開 昭60−98213(JP,A) 実開 昭61−52718(JP,U)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基台と、その基台の中央部に立設した主
    軸が中央部を貫挿しているラジアル円筒部と、そのラジ
    アル円筒部の端面に固定され、そして前記主軸が中心部
    を貫通している上部及び下部スラスト板と、前記ラジア
    ル円筒部の外周面および前記上部及び下部スラスト板で
    回転自在に支持されるラジアルスリーブとを備え、前記
    ラジアルスリーブはラジアル方向に一様な厚さを有し、
    そして外周には外部回転体が取付けられており、前記ラ
    ジアル円筒部の外周面と前記ラジアルスリーブの内周面
    のいずれか一方に一組のヘリングボーン形状の動圧発生
    溝を形成することにより前記ラジアル円筒部の外周面と
    前記ラジアルスリーブの内周面との間に構成されたラジ
    アル動圧軸受と、前記ラジアルスリーブの端部と前記上
    部スラスト板のいずれか一方にスパイラル動圧発生溝を
    形成することにより前記ラジアルスリーブの端部と前記
    上部スラスト板との間に構成されたスラスト動圧軸受
    と、前記ラジアルスリーブの端部と前記下部スラスト板
    のいずれか一方にスパイラル動圧発生溝を形成すること
    により前記ラジアルスリーブの端部と前記下部スラスト
    板との間に構成されたスラスト動圧軸受とを備えてお
    り、前記ラジアルスリーブと前記上部及び下部スラスト
    板がセラミック製であることを特徴とする気体動圧軸
    受。
JP4203428A 1992-07-30 1992-07-30 気体動圧軸受 Expired - Lifetime JPH0730785B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4203428A JPH0730785B2 (ja) 1992-07-30 1992-07-30 気体動圧軸受

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4203428A JPH0730785B2 (ja) 1992-07-30 1992-07-30 気体動圧軸受

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4183304A Division JPH0695178B2 (ja) 1992-07-10 1992-07-10 ポリゴンミラーの回転支持装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05187436A JPH05187436A (ja) 1993-07-27
JPH0730785B2 true JPH0730785B2 (ja) 1995-04-10

Family

ID=16473925

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4203428A Expired - Lifetime JPH0730785B2 (ja) 1992-07-30 1992-07-30 気体動圧軸受

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0730785B2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07140412A (ja) * 1993-09-24 1995-06-02 Ebara Corp ポリゴンミラーの取付構造
JP2002241172A (ja) 2001-02-13 2002-08-28 Ngk Spark Plug Co Ltd セラミック動圧軸受、軸受付きモータ、ハードディスク装置及びポリゴンスキャナ
JP2002266850A (ja) 2001-03-08 2002-09-18 Ngk Spark Plug Co Ltd ハードディスク装置
KR20040041457A (ko) * 2002-11-11 2004-05-17 삼성전기주식회사 공기동압 베어링이 적용된 모터

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6098213A (ja) * 1983-11-02 1985-06-01 Canon Inc 動圧流体軸受
JPH0131778Y2 (ja) * 1984-09-13 1989-09-29
JPS61296325A (ja) * 1985-06-26 1986-12-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 動圧流体軸受式スキヤナ−ユニツト

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05187436A (ja) 1993-07-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0433483B1 (en) A rotation device supporting a polygon mirror
US4552417A (en) Polygonal type optical deflector
US5903078A (en) Rotary polygon mirror motor
JPH0730785B2 (ja) 気体動圧軸受
JPH05180217A (ja) スキャナモータの軸受構造
JPH01154115A (ja) 回転体支持装置
JPH0438330Y2 (ja)
JPH0516575Y2 (ja)
JPH0516574Y2 (ja)
JPH05106632A (ja) 動圧流体軸受およびこの軸受を用いたポリゴンスキヤナ
JP2952656B2 (ja) 回転多面鏡型光偏向器
JPH0797183B2 (ja) ポリゴンミラーの回転支持装置
JPH0695178B2 (ja) ポリゴンミラーの回転支持装置
JPH04244768A (ja) 光走査装置
JPH0720397A (ja) 光偏向装置
JP3077251B2 (ja) 動圧軸受装置
JPH05203891A (ja) ポリゴンミラーの回転支持装置
JPH0627403A (ja) ポリゴンミラーの回転支持装置
JP3803882B2 (ja) 動圧軸受装置
JP2001194615A (ja) モータユニット
JPS62184429A (ja) 回転多面鏡駆動装置
JP2653119B2 (ja) スキャナユニット
JPH10186265A (ja) 回転多面鏡型光偏向器
JPH1031187A (ja) ポリゴンスキャナ及びその製造方法
JPH07259844A (ja) 高速回転体の軸受機構