JPWO2023238542A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2023238542A5 JPWO2023238542A5 JP2024526287A JP2024526287A JPWO2023238542A5 JP WO2023238542 A5 JPWO2023238542 A5 JP WO2023238542A5 JP 2024526287 A JP2024526287 A JP 2024526287A JP 2024526287 A JP2024526287 A JP 2024526287A JP WO2023238542 A5 JPWO2023238542 A5 JP WO2023238542A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- separation
- irradiation
- laser light
- upper substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2026004539A JP2026063154A (ja) | 2022-06-07 | 2026-01-14 | 基板処理システム及び基板処理方法 |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022092479 | 2022-06-07 | ||
| JP2022092479 | 2022-06-07 | ||
| JP2022202376 | 2022-12-19 | ||
| JP2022202376 | 2022-12-19 | ||
| PCT/JP2023/016360 WO2023238542A1 (ja) | 2022-06-07 | 2023-04-25 | 基板処理システム及び基板処理方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2026004539A Division JP2026063154A (ja) | 2022-06-07 | 2026-01-14 | 基板処理システム及び基板処理方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2023238542A1 JPWO2023238542A1 (https=) | 2023-12-14 |
| JPWO2023238542A5 true JPWO2023238542A5 (https=) | 2025-02-26 |
| JP7806234B2 JP7806234B2 (ja) | 2026-01-26 |
Family
ID=89118085
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024526287A Active JP7806234B2 (ja) | 2022-06-07 | 2023-04-25 | 基板処理システム及び基板処理方法 |
| JP2026004539A Pending JP2026063154A (ja) | 2022-06-07 | 2026-01-14 | 基板処理システム及び基板処理方法 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2026004539A Pending JP2026063154A (ja) | 2022-06-07 | 2026-01-14 | 基板処理システム及び基板処理方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20250316507A1 (https=) |
| JP (2) | JP7806234B2 (https=) |
| KR (1) | KR20250021367A (https=) |
| CN (1) | CN119256388A (https=) |
| TW (1) | TW202401554A (https=) |
| WO (1) | WO2023238542A1 (https=) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20260036558A (ko) * | 2023-07-05 | 2026-03-17 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 처리 시스템 및 처리 방법 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007220749A (ja) | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法 |
| WO2020213479A1 (ja) * | 2019-04-19 | 2020-10-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置及び処理方法 |
| US12459007B2 (en) * | 2019-07-10 | 2025-11-04 | Tokyo Electron Limited | Separating apparatus and separating method |
| JP2021019056A (ja) * | 2019-07-18 | 2021-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置及び処理方法 |
| JP7386077B2 (ja) * | 2019-12-26 | 2023-11-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
| JP7304433B2 (ja) * | 2019-12-26 | 2023-07-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
-
2023
- 2023-04-25 CN CN202380042527.8A patent/CN119256388A/zh active Pending
- 2023-04-25 KR KR1020257000117A patent/KR20250021367A/ko active Pending
- 2023-04-25 US US18/872,334 patent/US20250316507A1/en active Pending
- 2023-04-25 WO PCT/JP2023/016360 patent/WO2023238542A1/ja not_active Ceased
- 2023-04-25 JP JP2024526287A patent/JP7806234B2/ja active Active
- 2023-05-09 TW TW112117062A patent/TW202401554A/zh unknown
-
2026
- 2026-01-14 JP JP2026004539A patent/JP2026063154A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6710622B2 (ja) | 搬送装置および搬送方法 | |
| TWI687365B (zh) | 物品搬送設備及檢查單元 | |
| US10370201B2 (en) | Transporting apparatus and transporting method | |
| TWI470726B (zh) | 半導體晶圓對準裝置 | |
| JP7063277B2 (ja) | 天井搬送車 | |
| JP6743967B2 (ja) | 天井搬送車システム及びティーチングユニット | |
| TW201628805A (zh) | 基板搬送機器人及其運轉方法 | |
| JP6119699B2 (ja) | 移載位置決定方法 | |
| CN111312644A (zh) | 晶圆自动对位装置以及刻蚀机 | |
| WO2014115472A1 (ja) | 移載装置及び移載方法 | |
| CN101479829A (zh) | 高速基片对齐器设备 | |
| JPWO2023238542A5 (https=) | ||
| JPWO2022054605A5 (https=) | ||
| JPWO2021215145A5 (https=) | ||
| WO2010046975A1 (ja) | プリアライナー装置 | |
| KR20230085202A (ko) | 얼라이너 장치 및 얼라인먼트 방법 | |
| JP2026063154A (ja) | 基板処理システム及び基板処理方法 | |
| CN102024735B (zh) | 高速基片对齐器设备 | |
| TWM661424U (zh) | 晶圓定位裝置 | |
| CN116710386B (zh) | 轮胎搬送装置 | |
| JP6400967B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JP5971902B2 (ja) | ワーク保持装置及び、このワーク保持装置を備えた3次元形状測定装置 | |
| CN105489532A (zh) | 硅片承载装置中硅片的安全放置方法 | |
| WO2025262834A1 (ja) | レーザダイシング装置 | |
| JPH0652753B2 (ja) | 基板搬出入装置 |