JPWO2023032352A5 - - Google Patents

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図1において光源Aから出射された光は各種光学素子(図示せず)により、顕微鏡光学系である対物光学素子5に到達する。なお図1中、矢印は光の進行方向を表す。
ラマン分光分析で用いられる光源Aから出射される光は、例えば可視もしくは近赤外域のレーザー光であり、例えば短い波長例として405nmから長い波長例である1064nmまでの波長が使用され、多くは532nmと785nmの組み合わせの波長が用いられる。
また赤外分光分析で用いられる光源Bは、セラミックヒーターから出射される赤外光であり、波長は数μmから数十μmの光である。
図4では光学素子135に反射鏡を用いて、赤外分光計81が内蔵するラマン分光分析用とは異なる光源Bから出射された光は赤外分光計の赤外分光計81に導かれた後、対物光学素子6に導かれる。対物光学素子6を通じてサンプルに照射された光は、再び対物光学素子6を通り光学素子133および134にビームスプリッターとしてハーフミラーを用いて、一部は光学撮影素子11へ、一部は赤外検出器82に導かれる。
ラマン光検出系および赤外光検出系では前記のとおりラマンスペクトルおよび赤外スペクトルがそれぞれ取得される。
[3] 前記ラマン光検出系の可視画像および前記赤外光検出系の可視画像がそれぞれ標線を有する前記[1]または[2]のいずれかに記載のラマン-赤外分光分析複合機。
[4] 前記制御部が記憶部を有し、前記記憶部は前記ラマン光検出系と前記赤外光検出系の切換え時に、前記ラマン光検出系の可視画像上および前記赤外光検出系の可視画像上の前記マーカ位置と、前記ラマン光検出系の可視画像および前記赤外光検出系の可視画像の標線とのずれ量を記憶し、前記ラマン光検出系と前記赤外光検出系の切換え毎に、前記記憶部に記憶された前記ずれ量に基づき、前記制御部が前記プレートの位置と前記ラマン光を得るための対物光学素子または前記赤外光を得るための対物光学素子との位置関係を調整する前記[3]に記載のラマン-赤外分光分析複合機。
[5] 前記ずれ量が前記可視画像上のピクセルのずれ量である前記[4]に記載のラマン-赤外分光分析複合機。
[6] 前記駆動部が、前記プレートの位置と前記ラマン光を得るための対物光学素子および前記赤外光を得るための対物光学素子との位置関係を調整するために前記ステージを駆動する前記[1]から[5]のいずれか一項に記載のラマン-赤外分光分析複合機。
[7] 前記マーカが前記ステージ上に付与されている前記[1]から[6]のいずれかに記載のラマン-赤外分光分析複合機。
[8] 前記赤外光を得るための対物光学素子がカセグレン鏡である前記[1]から[7]のいずれかに記載のラマン-赤外分光分析複合機。
[9] ラマン光源が532nmと785nmの光を照射する前記[1]から[8]に記載のいずれかに記載のラマン-赤外分光分析複合機。
[10] 前記マーカが前記プレートまたは前記ステージに着脱可能である請求項1または2に記載のラマン-赤外分光分析複合機。
前記[2]から[10]の発明によれば、連続的にラマン光検出系と赤外光検出系を切り換えても、より迅速に顕微鏡光学系のサンプルに対する光軸中心を調整し、測定者の負担がより軽減されたラマン-赤外分光分析複合機が提供される。
また本発明は、
11] サンプルに光を照射し、
サンプルからのラマン光および赤外光を検出する際に、
サンプルを固定するプレートおよび前記プレートを配置するステージの少なくとも一方に付与されたマーカを可視画像上で確認し、
前記マーカのずれを確認し、
マーカがずれていたら前記プレートの位置と、ラマン光検出用の対物光学素子および赤外光検出用の対物光学素子との位置関係を調整する、
ラマン分光と赤外分光による測定方法。
前記[11]の発明によれば、顕微鏡光学系のサンプルに対する光軸中心を調整することで、迅速にラマン分光分析および赤外分光分析の分析領域を一致させるラマン分光および赤外分光による分析方法が提供される。
12] 前記マーカのずれを、前記マーカと可視画像上に設けられた標線とのずれで確認する前記[11]に記載の測定方法。
13] ラマン光検出用のラマン光を得るための対物光学素子および赤外光検出用の赤外光を得るための対物光学素子との位置関係調整をステージを動かして行う前記[11]または[12]のいずれかに記載の測定方法。
前記[12]および[13]の発明によれば、より迅速に顕微鏡光学系のサンプルに対する光軸中心を調整でき、ラマン分光分析および赤外分光分析の分析領域を簡便に一致させるラマン分光および赤外分光による分析方法が提供される。

Claims (13)

  1. 赤外分光分析用光源とラマン分光分析用光源、
    サンプルを固定するプレート、
    前記プレートを配置するステージ、
    前記ラマン分光分析用光源からの光をサンプルに入射させラマン光を得るための対物光学素子、
    前記赤外分光分析用光源からの光をサンプルに入射させ反射した赤外光を得るための対物光学素子、
    可視画像を生成するための光学撮影素子を有するラマン光検出系、
    および
    可視画像を生成するための光学撮影素子を有する赤外光検出系、を有し、
    前記プレートの位置と前記ラマン光を得るための対物光学素子および前記赤外光を得るための対物光学素子との位置関係を調整するための駆動部、
    前記ラマン光検出系と前記赤外光検出系を切り替える切換え部、および
    前記駆動部、前記切換え部および前記光学撮影素子を制御するための制御部、を備え、
    前記プレートおよび前記ステージの少なくとも一方に前記位置関係を調整するためのマーカが付与されており、
    前記制御部は、前記ラマン光検出系および前記赤外光検出系で取得された可視画像上の前記マーカの位置に基づき、前記プレートの位置と前記ラマン光を得るための対物光学素子および前記赤外光を得るための対物光学素子との位置関係を調整するように駆動部を制御するラマン-赤外分光分析複合機。
  2. 前記切換え部は、前記ラマン光検出系と前記赤外光検出系の切換えに対応して前記ラマン光を得るための対物光学素子と前記赤外光を得るための対物光学素子を切換える請求項1に記載のラマン-赤外分光分析複合機。
  3. 前記ラマン光検出系の可視画像および前記赤外光検出系の可視画像がそれぞれ標線を有する請求項1または2のいずれかに記載のラマン-赤外分光分析複合機。
  4. 前記制御部が記憶部を有し、前記記憶部は前記ラマン光検出系と前記赤外光検出系の切換え時に、前記ラマン光検出系の可視画像上および前記赤外光検出系の可視画像上の前記マーカ位置と、前記ラマン光検出系の可視画像および前記赤外光検出系の可視画像の標線とのずれ量を記憶し、前記ラマン光検出系と前記赤外光検出系の切換え毎に、前記記憶部に記憶された前記ずれ量に基づき、前記制御部が前記プレートの位置と前記ラマン光を得るための対物光学素子または前記赤外光を得るための対物光学素子との位置関係を調整する請求項3に記載のラマン-赤外分光分析複合機。
  5. 前記ずれ量が前記可視画像上のピクセルのずれ量である請求項4に記載のラマン-赤外分光分析複合機。
  6. 前記駆動部が、前記プレートの位置と前記ラマン光を得るための対物光学素子および前記赤外光を得るための対物光学素子との位置関係を調整するために前記ステージを駆動する請求項1から5のいずれか一項に記載のラマン-赤外分光分析複合機。
  7. 前記マーカが前記ステージ上に付与されている請求項1から6のいずれか一項に記載のラマン-赤外分光分析複合機。
  8. 前記赤外光を得るための対物光学素子がカセグレン鏡である請求項1から7のいずれか一項に記載のラマン-赤外分光分析複合機。
  9. ラマン光源が532nmと785nmの光を照射する請求項1から8に記載のいずれか一項に記載のラマン-赤外分光分析複合機。
  10. 前記マーカが前記プレートまたは前記ステージに着脱可能である請求項1または2に記載のラマン-赤外分光分析複合機。
  11. サンプルに光を照射し、
    サンプルからのラマン光および赤外光を検出する際に、
    サンプルを固定するプレートおよび前記プレートを配置するステージの少なくとも一方に付与されたマーカを可視画像上で確認し、
    前記マーカのずれを確認し、
    マーカがずれていたら前記プレートの位置と、ラマン光検出用の対物光学素子および赤外光検出用の対物光学素子との位置関係を調整する、
    ラマン分光と赤外分光による測定方法。
  12. 前記マーカのずれを、前記マーカと可視画像上に設けられた標線とのずれで確認する請求項10に記載の測定方法。
  13. ラマン光検出用の対物光学素子および赤外光検出用の対物光学素子との位置関係調整をステージを動かして行う請求項10または11のいずれかに記載の測定方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001013095A (ja) 1999-06-30 2001-01-19 Horiba Ltd 試料の無機物分析装置ならびに試料の無機物および/または有機物分析装置
JP2008281513A (ja) * 2007-05-14 2008-11-20 St Japan Inc 文化財検査装置
JP5644447B2 (ja) * 2010-12-06 2014-12-24 ソニー株式会社 顕微鏡、領域判定方法、及びプログラム
CN104160264A (zh) 2012-03-07 2014-11-19 索尼公司 观测设备、观测程序和观测方法
EP2870441A4 (en) * 2012-07-06 2016-10-12 Smiths Detection Inc DOUBLE SPECTROMETER
JP2014219623A (ja) * 2013-05-10 2014-11-20 ソニー株式会社 観測システム、観測プログラム及び観測方法
CN106442401B (zh) * 2016-11-01 2019-05-17 北京华泰诺安技术有限公司 一种结合拉曼光谱和近红外光谱的探测装置及探测方法
US11137290B2 (en) * 2017-11-07 2021-10-05 Shimadzu Corporation Accessory for infrared spectrophotometer
CN112823279A (zh) * 2018-10-11 2021-05-18 株式会社岛津制作所 显微分光装置、以及显微分光方法

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