CN117897609A - 拉曼红外光谱分析复合机以及利用拉曼分光和红外分光的测定方法 - Google Patents
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Abstract
一种拉曼红外光谱分析复合机以及与其有关的利用拉曼分光和红外分光的测定方法，所述拉曼红外光谱分析复合机具有：红外分光分析用光源和拉曼分光分析用光源；用于固定样本的板；用于配置所述板的工作台；用于使来自所述拉曼分光分析用光源的光入射到样本来得到拉曼光的物镜光学元件；用于使来自所述红外分光分析用光源的光入射到样本来得到反射后的红外光的物镜光学元件；具有用于生成可见光图像的光学摄像元件的拉曼光检测系统；以及具有用于生成可见光图像的光学摄像元件的红外光检测系统，所述拉曼红外光谱分析复合机具备：驱动部，其用于调整所述板的位置与用于得到所述拉曼光的物镜光学元件及用于得到所述红外光的物镜光学元件之间的位置关系；切换部，其进行所述拉曼光检测系统与所述红外光检测系统之间的切换；以及控制部，其用于控制所述驱动部、所述切换部以及所述光学摄像元件，其中，对所述板和所述工作台中的至少一方赋予用于调整所述位置关系的标记，所述控制部控制驱动部，以基于可见光图像上的所述标记的位置，来调整所述板的位置与两个物镜光学元件之间的位置关系。
Description
技术领域
本发明涉及一种拉曼红外光谱分析复合机。更详细的是，本发明涉及一种具有拉曼分光分析和红外分光分析的复合分析装置。另外，本发明涉及使用了红外分光分析法和拉曼分光分析法的分析方法。
背景技术
已知有各种对未知的物质进行分析的方法，通过与分析对象物相应地适当选择分析单元，能够更高精度地分析未知的物质。例如，在专利文献1中，记载有以下的分析装置：关于无机物区域，使用衍射X射线和荧光X射线来对混合了无机物和有机物的分析对象物进行分析，关于有机物区域，使用FT-IR、荧光分析或拉曼分析来对混合了无机物和有机物的分析对象物进行分析。
特别是，红外分析和拉曼分析由于均测定分子内的分子振动，因此是用于对未知的有机物的分子结构进行分析的有力手段。另外，从红外分析得到的信息与从拉曼分析得到的信息处于互补的关系，通过将两个分析方法组合，能够更详细且更高精度地阐明未知的有机物的分子结构。
最近还已知有为了微小试样的分析、微小区域的分析而与显微镜进行组合的分析方法。
在专利文献2中记载有具备显微镜光学系统以及用于获取紫外区域、可见光区域或红外区域的吸收分光和拉曼分光的分光部的观测装置。
例如，一般如在红外光检测系统中使用物镜反射镜作为显微镜光学系统的物镜光学元件、在拉曼光检测系统中使用物镜透镜作为显微镜光学系统的物镜光学元件那样在红外光检测系统和拉曼光检测系统中所使用的物镜光学元件不同。因而，在进行红外光检测系统与拉曼光检测系统之间的切换时，还需要对显微镜光学系统进行切换。即。在进行红外光检测系统与拉曼光检测系统之间的切换时，需要同时进行红外光检测系统的物镜光学元件与拉曼光检测系统的物镜光学元件之间的切换。
然而，在对显微镜光学系统进行切换时，在光学的结构上，红外光检测系统的物镜光学元件或拉曼光检测系统的物镜光学元件相对于样本的光轴中心发生偏移。
当红外光检测系统的物镜光学元件或拉曼光检测系统的物镜光学元件相对于样本的光轴中心偏移时，拉曼光的测定位置与红外光的测定位置产生偏移。该偏移在微小试样或微小测定区域中更显著。
因此，存在以下情况：为了连续地使用一个装置进行拉曼光和红外光的测定，每当进行两个检测系统之间的切换时测定者都需要进行样本的对位，从而对测定者造成负担，并且分析所需要的时间变长。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2001-13095号公报
专利文献2：国际公开2013/132734号
发明内容
发明要解决的问题
因而，寻求如下装置：在使用一个装置进行拉曼光检测系统与红外光检测系统之间的切换时，即使在拉曼光检测系统的物镜光学元件或红外光检测系统的物镜光学元件相对于样本的光轴中心偏移的情况下，也不会对测定者造成过度的负担，能够迅速地校正光轴的偏移来进行拉曼分光分析和红外分光分析。
本发明的目的在于提供一种不会对测定者造成过度的负担、即使连续地进行拉曼光检测系统与红外光检测系统之间的切换、也通过调整显微镜光学系统相对于样本的光轴中心来快速地使拉曼分光分析和红外分光分析的分析区域一致的拉曼红外光谱分析复合机。
并且，本发明的目的在于提供一种通过调整显微镜光学系统相对于样本的光轴中心来迅速地使拉曼分光分析和红外分光分析的分析区域一致的利用拉曼分光和红外分光的分析方法。
用于解决问题的方案
即，本发明提供一种拉曼红外光谱分析复合机，具有：
红外分光分析用光源和拉曼分光分析用光源；
用于固定样本的板；
用于配置所述板的工作台；
用于使来自所述拉曼分光分析用光源的光入射到样本来得到拉曼光的物镜光学元件；
用于使来自所述红外分光分析用光源的光入射到样本来得到反射后的红外光的物镜光学元件；
具有用于生成可见光图像的光学摄像元件的拉曼光检测系统；以及
具有用于生成可见光图像的光学摄像元件的红外光检测系统，
所述拉曼红外光谱分析复合机具备：
驱动部，其用于调整所述板的位置与用于得到所述拉曼光的物镜光学元件及用于得到所述红外光的物镜光学元件之间的位置关系；
切换部，其进行所述拉曼光检测系统与所述红外光检测系统之间的切换；以及
控制部，其用于控制所述驱动部、所述切换部以及所述光学摄像元件，
其中，对所述板和所述工作台中的至少一方赋予用于调整所述位置关系的标记，
所述控制部控制驱动部，以基于由所述拉曼光检测系统和所述红外光检测系统获取到的可见光图像上的所述标记的位置，来调整所述板的位置与用于得到所述拉曼光的物镜光学元件及用于得到所述红外光的物镜光学元件之间的位置关系。
另外，本发明提供一种利用拉曼分光和红外分光的测定方法，包括以下处理：
向样本照射光，
在检测来自样本的拉曼光和红外光时，
在可见光图像上确认被赋予至用于固定样本的板和用于配置所述板的工作台中的至少一方的标记，
确认所述标记的偏移，
如果标记偏移，则调整所述板的位置与拉曼光检测用的用于得到拉曼光的物镜光学元件及红外光检测用的用于得到红外光的物镜光学元件之间的位置关系。
发明的效果
根据本发明，提供一种即使连续地进行拉曼光检测系统与红外光检测系统之间的切换、也通过调整显微镜光学系统相对于样本的光轴中心来快速地使拉曼分光分析和红外分光分析的分析区域一致的拉曼红外光谱分析复合机。
另外，根据本发明，提供一种通过调整显微镜光学系统相对于样本的光轴中心来迅速地使拉曼分光分析和红外分光分析的分析区域一致的利用拉曼分光和红外分光的分析方法。
所述本发明的结果是，测定者无需另外进行样本的移动、位置调整等，从而能够无缝地进行拉曼光和红外光的测定。
附图说明
图1是示出本发明的拉曼红外光谱分析复合装置的一个方式的示意图，表示切换为拉曼光检测系统的状态。
图2是示出本发明的拉曼红外光谱分析复合装置的一个方式的示意图，表示切换为红外光检测系统的状态。
图3是示出本发明的拉曼红外光谱分析复合装置的另一方式的示意图，表示使用半透半反镜并切换为拉曼光检测系统的状态。
图4是示出本发明的拉曼红外光谱分析复合装置的另一方式的示意图，表示使用半透半反镜并切换为红外光检测系统的状态。
图5是向工作台赋予圆形作为标记而在由拉曼光检测系统的光学摄像元件生成的可见光图像中视觉识别到标记时的示意图。
图6是向工作台赋予圆形作为标记而在由红外光检测系统的光学摄像元件生成的可见光图像中视觉识别到标记时的示意图。
图7是向由光学摄像元件生成的可见光图像赋予标线的示意图。
具体实施方式
使用图1和图2来说明本发明，但本发明并不限定于这些图。本发明的拉曼红外光谱分析复合装置1具有：拉曼分光分析用光源A、板2、工作台3、驱动部4、物镜光学元件5、物镜光学元件6、拉曼光检测系统7、红外光检测系统8，在拉曼光检测系统7中配置有光学摄像元件10，在红外光检测系统8中配置有红外分光分析用光源B、光学摄像元件11。在工作台3配置有板2。
在图1中从光源A射出的光通过各种光学元件(未图示)到达作为显微镜光学系统的物镜光学元件5。此外，在图1中，箭头表示光的行进方向。
从在拉曼分光分析中使用的光源A射出的光例如是可见光区域或者近红外区域的激光，是波长为几μm至几十μm的光。
另外，在红外分光分析中使用的光源B是从陶瓷加热器射出的红外光，例如使用从作为短波长例的405nm至作为长波长例的1064nm的波长，较多使用532nm与785nm的组合的波长。
物镜光学元件5是将凸透镜和凹透镜组合所得到的结构，入射到物镜光学元件5的光通过这些透镜而聚焦于被固定于板2的测定对象样本(以下，也记载为“样本”。)上。被样本散射后的拉曼光被各种光学元件(未图示)引导到拉曼光检测系统7。
被引导到拉曼光检测系统7的拉曼光中的一部分被各种光学元件(未图示)引导到拉曼光检测系统7所具有的光学摄像元件10。另外，被引导到拉曼光检测系统7的拉曼光中的一部分被各种光学元件(未图示)引导到拉曼分光计71。
光学摄像元件10生成拉曼光发生了散射的区域的可见光图像，因此能够通过光学摄像元件10来确认测定拉曼光的样本的测定区域。
光学摄像元件10例如可举出CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合器件)图像传感器、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor：互补金属氧化物半导体)图像传感器等，构成为能够拍摄样本的静止图像或者运动图像。光学摄像元件10能够根据物镜光学元件5、透射照明(未图示)的结构，来拍摄样本的明场像、暗场像、相位差像、荧光像、偏振显微镜像等的全部或至少任一者。光学摄像元件10将拍摄到的图像输出到后述的控制部12或者其它信息处理装置等。
拉曼分光计71生成来自样本的拉曼散射光的一维或二维分光图像，从该一维或二维分光图像获取拉曼散射的光谱(以下也记载为“拉曼光谱”。)。
拉曼分光计71还能够通过在所生成的一维或二维分光图像中提取不存在观测对象物的区域的平坦的光谱之后取该光谱与各像素的光谱之差，来得到样本的拉曼光谱。拉曼光谱通常是针对波长来绘制发射光的强度而得到的。发射光包括基于拉曼散射的散射光，基于拉曼散射的散射光的波长转变(拉曼位移)根据样本的分子结构、晶体结构而不同。
拉曼分光计71将所获取到的拉曼光谱输出到监视器等(未图示)，如果需要则将该拉曼光谱保存于存储器保存部(未图示)。
拉曼光检测系统7也可以除了具有所述光学摄像元件10、所述拉曼分光计71之外，还具有所述信息处理装置、监视器、存储器保存部以及其它需要的部件。
另一方面，在图2中，从设置于红外光检测系统8的光源B射出的光在被各种光学元件(未图示)引导到显微镜光学系统之前，被红外光检测系统8所具有的红外分光计81中设置的红外分光器(未图示)分光，到达作为显微镜光学系统的物镜光学元件6。此外，在图2中，箭头与图1同样表示光的行进方向。
入射到物镜光学元件6的光聚焦于被固定于板2的样本上。被样本反射后的红外光被各种光学元件(未图示)引导到红外光检测系统8。从测定灵敏度的观点出发，物镜光学元件6优选为将凹面镜与凸面镜组合所得到的卡塞格林反射镜。
被引导到红外光检测系统8的红外光中的一部分被各种光学元件(未图示)引导到红外光检测系统8所具有的光学摄像元件11。另外，被引导到红外光检测系统8的红外光中的一部分被各种光学元件(未图示)引导到红外分光计81后被引导到红外检测器(未图示)。
光学摄像元件11生成红外光发生了反射的区域的可见光图像，因此能够通过光学摄像元件11来确认测定红外光的样本的测定区域。
光学摄像元件11能够例示与所述光学摄像元件10相同的结构。光学摄像元件11能够根据因物镜光学元件5、试样的性质而被分开使用的透射或反射的照明(未图示)的结构，来拍摄样本的明场像、暗场像、相位差像、荧光像、偏振显微镜像等的全部或至少任一者。光学摄像元件11将所拍摄到的图像输出到后述的控制部12或者其它信息处理装置等。
红外分光计81优选为傅里叶变换红外分光计。红外分光计81所具有的分光器优选为由迈克尔逊干涉分光器构成。被样本反射后的光被引导到红外光检测系统，该光中的一部分被再次引导到所述光学摄像元件11，该光中的一部分被再次引导到红外分光计81。在红外分光计81中配置检测器(未图示)，被引导到红外分光计81的光被光学元件(未图示)引导到检测器。该检测器用于检测红外光。
在傅里叶变换红外分光计的情况下，所述检测器与傅里叶变换运算单元连接。该傅里叶变换运算单元将由检测器检测到的红外光强度进行傅里叶变换来计算红外光谱，并且计算由样本和背景各自的红外光谱之差构成的样本的红外光谱。
红外分光计81将获取到的红外光谱输出到监视器等(未图示)，如果需要则将该红外光谱保存于存储器保存部(未图示)。
红外光检测系统8也可以除了具有所述光学摄像元件11、红外分光计81之外，还具有所述信息处理装置、监视器、存储器保存部以及其它需要的部件。
本发明的拉曼红外光谱分析复合装置1根据需要来通过切换机构9进行所述拉曼分光测定与红外分光测定之间的切换。拉曼分光测定与红外分光测定的切换的顺序是从拉曼分光测定切换至红外分光测定、从红外分光测定切换至拉曼分光测定中的哪一者都可以。另外，切换的次数也没有特别限制，根据需要，切换几次都可以。
响应于由所述切换机构从拉曼分光测定切换到红外分光测定或者从红外分光测定切换到拉曼分光测定，利用驱动部4驱动板2或固定有板2的工作台3，来调整所述物镜光学元件5与板2之间的位置关系、以及所述物镜光学元件6与板2之间的位置关系。此外，驱动部4也可以在拉曼分光测定和红外分光测定中同时具有为了变更观察位置而移动板的功能。
在切换为拉曼分光测定的情况下，调整物镜光学元件5与板2之间的位置关系，以使被物镜光学元件5聚光后的光聚光于样本的规定的测定区域。
在切换为红外分光测定的情况下，调整物镜光学元件6与板2之间的位置关系，以使被物镜光学元件6聚光后的光聚光于样本的规定的测定区域。
图3和图4是使用光学元件131至135来进行拉曼分光测定与红外分光测定的切换的情况下的示意图。在本实施方式中，红外光检测系统8在所述红外分光计81之外还具有红外检测器82。
红外分光计81分开地内置有红外分光分析用的光源B与拉曼分光分析用的光源，且具有红外分光计(未图示)。红外分光计81所具有的红外分光计优选为迈克尔逊干涉仪。
在图3中是光学元件131和132使用半透半反镜作为分束器的方式。适当使用光学元件来使从光源A射出的光通过物镜光学元件5向样本照射，通过半透半反镜132和131将散射的拉曼光中的一部分引导到光学摄像元件10，将散射的拉曼光中的一部分引导到拉曼分光计71。
在图4中，对光学元件135使用反射镜，红外分光计81所内置的与拉曼分光分析用不同的从光源B射出的光被引导到红外分光计的红外分光计(未图示)之后，被引导到物镜光学元件6。通过物镜光学元件6照射到样本的光再次通过物镜光学元件6，对光学元件133和134使用半透半反镜作为分束器，从而该光中的一部分被引导到光学摄像元件11，该光中的一部分被引导到红外检测器82。
在拉曼光检测系统和红外光检测系统中，如前述那样分别获取拉曼光谱和红外光谱。
在图3和图4中的切换机构中，通过所述驱动部使所述光学元件131至135进行移动，并且驱动物镜光学元件5、物镜光学元件6以及工作台3，来向样本照射通过了物镜光学元件5或物镜光学元件6的光。
切换并不限定于图3和图4，例如也可以驱动光源、光学元件以及工作台3，也可以通过其它方法进行切换。
如前述那样，在进行拉曼光检测系统与红外光检测系统之间的切换时，拉曼光检测系统的物镜光学元件或红外光检测系统的物镜光学元件相对于样本的光轴中心有时会偏移，因此，存在在拉曼分光分析和红外分光分析中样本的测定位置或测定区域不同的情况。
为了修正该偏移，在本发明的拉曼红外光谱分析复合装置中，向所述板2和所述工作台3中的至少一方赋予用于调整所述物镜光学元件5与板2之间的位置关系、以及物镜光学元件6与板2之间的位置关系的标记。
利用生成可见光图像的所述光学摄像元件10和所述光学摄像元件11在摄像图像中视觉识别该标记。因而，能够通过将由所述光学摄像元件10和所述光学摄像元件11生成的可见光图像中映出的各个标记的位置进行比较，来确认拉曼光检测系统的物镜光学元件和红外光检测系统的物镜光学元件相对于样本的光轴中心的偏移程度。
根据该标记的偏移来调整所述物镜光学元件5与板2之间的位置关系以及物镜光学元件6与板2之间的位置关系。
标记例如可举出线、点、它们的组合、圆形、矩形、三角形、十字形等各种形状。这些标记只要被赋予到所述板2和所述工作台3中的至少一方即可，被赋予到工作台3不会受到板的位置的影响，因此是优选的。
图5是向工作台赋予圆形作为标记而在由所述光学摄像元件10生成的可见光图像21中视觉识别到标记22时的示意图。图6是在由所述光学摄像元件11生成的可见光图像31中视觉识别到标记32时的示意图。由于使可见光图像21与31的倍率一致，而在拉曼光检测系统的物镜光学元件或红外光检测系统的物镜光学元件的光学轴偏移的情况下图5的标记22和图6的标记32的位置偏移。
关于标记22和标记32的偏移，能够通过将可见光图像21与可见光图像31进行比较来进行定量。另外，也可以在所述光学摄像元件10和所述光学摄像元件11生成可见光图像时，如图7中示意性地示出那样，向所述可见光图像21和所述可见光图像31赋予标线41。通过向可见光图像赋予标线，如果将标记22及标记32的位置与标线进行比较，则能够将标记的偏移进行定量。也可以如图7中示意性地示出那样，对标记22和标记32的中心赋予点，另一方面，也对标线41的中心赋予点，将点的位置之间的距离设为偏移。
定量的方法例如可以使用像素将可见光图像进行分割，并利用像素表示各标记的位置，求出两者之间的偏移，也可以利用像素表示与所述标线的偏移。
通过所述控制部12控制为：所述驱动部4基于被进行了定量的所述偏移，来调整所述物镜光学元件5与板2之间的位置关系以及物镜光学元件6与板2之间的位置关系。
控制部12具有存储部，存储通过所述方法而被进行了定量的所述标线41与所述标记22及标记32的偏移，每当进行拉曼光检测系统与红外光检测系统之间的切换时，通过控制部12控制驱动部4，以基于所述存储来分别调整所述物镜光学元件5与板2之间的位置关系以及物镜光学元件6与板2之间的位置关系，从测定者的负担的观点出发，这是优选的。
另外，本发明是一种利用拉曼分光和红外分光的测定方法，包括以下处理：向样本照射光，在检测来自样本的拉曼散射光和红外光时，在可见光图像上确认被赋予至用于固定样本的板和用于配置所述板的工作台中的至少一方的标记，确认所述标记的偏移，如果标记偏移，则调整所述板的位置与拉曼光检测用的物镜光学元件及红外光检测用的物镜光学元件之间的位置关系。
标记和标记的偏移如前述那样。或者，关于标记的偏移，能够通过所述标线来确认，与前述同样地进行定量。
偏移的定量如前述那样。
基于所述偏移的定量来分别调整所述物镜光学元件5与板2之间的位置关系以及物镜光学元件6与板2之间的位置关系，从而测定拉曼分光和红外分光。优选的是，移动配置有板的工作台来进行位置关系的调整。
本发明的利用拉曼分光和红外分光的测定方法能够使用所述拉曼红外光谱分析复合机来进行。
[方式]
本领域技术人员理解的是，上述的例示性的实施方式是以下的方式的具体例。
[1]一种拉曼红外光谱分析复合机，具有：
红外分光分析用光源和拉曼分光分析用光源；
用于固定样本的板；
用于配置所述板的工作台；
用于使来自所述拉曼分光分析用光源的光入射到样本来得到拉曼光的物镜光学元件；
用于使来自所述红外分光分析用光源的光入射到样本来得到反射后的红外光的物镜光学元件；
具有用于生成可见光图像的光学摄像元件的拉曼光检测系统；以及
具有用于生成可见光图像的光学摄像元件的红外光检测系统，
所述拉曼红外光谱分析复合机具备：
驱动部，其用于调整所述板的位置与用于得到所述拉曼光的物镜光学元件及用于得到所述红外光的物镜光学元件之间的位置关系；
切换部，其进行所述拉曼光检测系统与所述红外光检测系统之间的切换；以及
控制部，其用于控制所述驱动部、所述切换部以及所述光学摄像元件，
其中，对所述板和所述工作台中的至少一方赋予用于调整所述位置关系的标记，
所述控制部控制驱动部，以基于由所述拉曼光检测系统和所述红外光检测系统获取到的可见光图像上的所述标记的位置，来调整所述板的位置与用于得到所述拉曼光的物镜光学元件及用于得到所述红外光的物镜光学元件之间的位置关系。
根据所述[1]的发明，提供一种即使连续地进行拉曼光检测系统与红外光检测系统之间的切换、也通过调整显微镜光学系统相对于样本的光轴中心来快速地使拉曼分光分析和红外分光分析的分析区域一致的拉曼红外光谱分析复合机。
[2]根据所述[1]所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，所述切换部同所述拉曼光检测系统与所述红外光检测系统之间的切换对应地进行用于得到所述拉曼光的物镜光学元件与用于得到所述红外光的物镜光学元件之间的切换。
[3]所述[1]或[2]所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，所述拉曼光检测系统的可见光图像和所述红外光检测系统的可见光图像分别具有标线。
[4]根据权利要求3所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，所述控制部具有存储部，在进行所述拉曼光检测系统与所述红外光检测系统之间的切换时，所述存储部存储所述拉曼光检测系统的可见光图像上及所述红外光检测系统的可见光图像上的所述标记的位置与所述拉曼光检测系统的可见光图像及所述红外光检测系统的可见光图像的标线之间的偏移量，每当进行所述拉曼光检测系统与所述红外光检测系统之间的切换时，所述控制部基于所述存储部中存储的所述偏移量，来调整所述板的位置与用于得到所述拉曼光的物镜光学元件或用于得到所述红外光的物镜光学元件之间的位置关系。
[5]根据所述[4]所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，所述偏移量是所述可见光图像上的像素的偏移量。
[6]根据所述[1]至[5]中的任一项所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，所述驱动部驱动所述工作台，以调整所述板的位置与用于得到所述拉曼光的物镜光学元件及用于得到所述红外光的物镜光学元件之间的位置关系。
[7]根据所述[1]至[6]中的任一项所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，所述标记被赋予至所述工作台上。
[8]根据所述[1]至[7]中的任一项所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，用于得到所述红外光的物镜光学元件是卡塞格林反射镜。
[9]根据所述[1]至[8]中的任一项所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，拉曼光源照射532nm和785nm的光。
根据所述[2]至[9]的发明，提供一种即使连续地进行拉曼光检测系统与红外光检测系统之间的切换也更迅速地调整显微镜光学系统相对于样本的光轴中心从而测定者的负担进一步减轻的拉曼红外光谱分析复合机。
另外，[10]本发明是一种利用拉曼分光和红外分光的测定方法，包括以下处理：
向样本照射光，
在检测来自样本的拉曼光和红外光时，
在可见光图像上确认被赋予至用于固定样本的板和用于配置所述板的工作台中的至少一方的标记，
确认所述标记的偏移，
如果标记偏移，则调整所述板的位置与拉曼光检测用的物镜光学元件及红外光检测用的物镜光学元件之间的位置关系。
根据所述[10]的发明，提供一种通过调整显微镜光学系统相对于样本的光轴中心来迅速地使拉曼分光分析和红外分光分析的分析区域一致的利用拉曼分光和红外分光的分析方法。
[11]根据所述[10]所述的测定方法，其中，利用所述标记与设置在可见光图像上的标线之间的偏移来确认所述标记的偏移。
[12]根据所述[10]或[11]所述的测定方法，其中，移动工作台来调整拉曼光检测用的用于得到拉曼光的物镜光学元件与红外光检测用的用于得到红外光的物镜光学元件之间的位置关系。
根据所述[11]和[12]的发明，提供一种能够更迅速地调整显微镜光学系统相对于样本的光轴中心并且简便地使拉曼分光分析与红外分光分析的分析区域一致的利用拉曼分光和红外分光的分析方法。
附图标记说明
1：红外拉曼复合机；2：板；3：工作台；4：驱动部；5：物镜光学元件；6：物镜光学元件；7：拉曼光检测系统；71：拉曼分光计；8：红外光检测系统；81：红外分光计；82：红外检测器；9：切换机构；10、11：光学摄像元件；12：控制部；131至135：光学元件；21、22：可见光图像；31、32：标记；41：标线；A：拉曼分光分析光源；B：红外分光分析用光源。
Claims (12)
1.一种拉曼红外光谱分析复合机，具有：
红外分光分析用光源和拉曼分光分析用光源；
用于固定样本的板；
用于配置所述板的工作台；
用于使来自所述拉曼分光分析用光源的光入射到样本来得到拉曼光的物镜光学元件；
用于使来自所述红外分光分析用光源的光入射到样本来得到反射后的红外光的物镜光学元件；
具有用于生成可见光图像的光学摄像元件的拉曼光检测系统；以及
具有用于生成可见光图像的光学摄像元件的红外光检测系统，
所述拉曼红外光谱分析复合机具备：
驱动部，其用于调整所述板的位置与用于得到所述拉曼光的物镜光学元件及用于得到所述红外光的物镜光学元件之间的位置关系；
切换部，其进行所述拉曼光检测系统与所述红外光检测系统之间的切换；以及
控制部，其用于控制所述驱动部、所述切换部以及所述光学摄像元件，
其中，对所述板和所述工作台中的至少一方赋予用于调整所述位置关系的标记，
所述控制部控制驱动部，以基于由所述拉曼光检测系统和所述红外光检测系统获取到的可见光图像上的所述标记的位置，来调整所述板的位置与用于得到所述拉曼光的物镜光学元件及用于得到所述红外光的物镜光学元件之间的位置关系。
2.根据权利要求1所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，
所述切换部同所述拉曼光检测系统与所述红外光检测系统之间的切换对应地进行用于得到所述拉曼光的物镜光学元件与用于得到所述红外光的物镜光学元件之间的切换。
3.根据权利要求1或2所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，
所述拉曼光检测系统的可见光图像和所述红外光检测系统的可见光图像分别具有标线。
4.根据权利要求3所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，
所述控制部具有存储部，在进行所述拉曼光检测系统与所述红外光检测系统之间的切换时，所述存储部存储所述拉曼光检测系统的可见光图像上及所述红外光检测系统的可见光图像上的所述标记的位置与所述拉曼光检测系统的可见光图像及所述红外光检测系统的可见光图像的标线之间的偏移量，每当进行所述拉曼光检测系统与所述红外光检测系统之间的切换时，所述控制部基于所述存储部中存储的所述偏移量，来调整所述板的位置与用于得到所述拉曼光的物镜光学元件或用于得到所述红外光的物镜光学元件之间的位置关系。
5.根据权利要求4所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，
所述偏移量是所述可见光图像上的像素的偏移量。
6.根据权利要求1～5中的任一项所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，
所述驱动部驱动所述工作台，以调整所述板的位置与用于得到所述拉曼光的物镜光学元件及用于得到所述红外光的物镜光学元件之间的位置关系。
7.根据权利要求1～6中的任一项所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，
所述标记被赋予至所述工作台上。
8.根据权利要求1～7中的任一项所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，
用于得到所述红外光的物镜光学元件是卡塞格林反射镜。
9.根据权利要求1～8中的任一项所述的拉曼红外光谱分析复合机，其中，
拉曼光源照射532nm和785nm的光。
10.一种利用拉曼分光和红外分光的测定方法，包括以下处理：
向样本照射光，
在检测来自样本的拉曼光和红外光时，
在可见光图像上确认被赋予至用于固定样本的板和用于配置所述板的工作台中的至少一方的标记，
确认所述标记的偏移，
如果标记偏移，则调整所述板的位置与拉曼光检测用的物镜光学元件及红外光检测用的物镜光学元件之间的位置关系。
11.根据权利要求10所述的测定方法，其中，
利用所述标记与设置在可见光图像上的标线之间的偏移来确认所述标记的偏移。
12.根据权利要求10或11所述的测定方法，其中，
移动工作台来调整拉曼光检测用的物镜光学元件与红外光检测用的物镜光学元件之间的位置关系。
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