JPWO2022264386A5 - - Google Patents
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2021/023117 WO2022264386A1 (ja) | 2021-06-17 | 2021-06-17 | 超音波複合振動装置および半導体装置の製造装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2022264386A1 JPWO2022264386A1 (ja) | 2022-12-22 |
| JPWO2022264386A5 true JPWO2022264386A5 (ja) | 2023-05-31 |
| JP7343941B2 JP7343941B2 (ja) | 2023-09-13 |
Family
ID=84526958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022563239A Active JP7343941B2 (ja) | 2021-06-17 | 2021-06-17 | 超音波複合振動装置および半導体装置の製造装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7343941B2 (ja) |
| KR (1) | KR20230057390A (ja) |
| CN (1) | CN115707330A (ja) |
| WO (1) | WO2022264386A1 (ja) |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3073207B2 (ja) | 1989-08-02 | 2000-08-07 | 沖電気工業株式会社 | プラズマ処理方法 |
| JPH0373207A (ja) * | 1989-08-15 | 1991-03-28 | Taga Electric Co Ltd | 超音波回転加工装置 |
| JP3550578B2 (ja) * | 1995-09-19 | 2004-08-04 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータ |
| JP3550579B2 (ja) * | 1995-09-20 | 2004-08-04 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータ |
| JP4244260B2 (ja) | 2000-02-24 | 2009-03-25 | 富士工業株式会社 | 超音波加工用ねじり振動装置 |
| JP3742332B2 (ja) * | 2001-11-12 | 2006-02-01 | 株式会社新川 | ワイヤボンデイング装置 |
| JP4309160B2 (ja) * | 2003-03-25 | 2009-08-05 | 株式会社アサヒ・イー・エム・エス | 超音波複合振動体の駆動方法 |
| JP5036124B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2012-09-26 | 株式会社アサヒ・イー・エム・エス | 超音波複合振動体とその振動体の形成方法 |
| JP4657964B2 (ja) * | 2005-10-07 | 2011-03-23 | 株式会社新川 | 超音波ホーン |
| JP4314313B1 (ja) * | 2008-06-30 | 2009-08-12 | 株式会社新川 | ボンディング装置 |
| JP6673961B2 (ja) * | 2018-03-27 | 2020-04-01 | 辻野 次郎丸 | 超音波複合振動加工装置 |
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2021
- 2021-06-17 KR KR1020237009362A patent/KR20230057390A/ko active Search and Examination
- 2021-06-17 CN CN202180039541.3A patent/CN115707330A/zh active Pending
- 2021-06-17 JP JP2022563239A patent/JP7343941B2/ja active Active
- 2021-06-17 WO PCT/JP2021/023117 patent/WO2022264386A1/ja active Application Filing