JP5036124B2 - 超音波複合振動体とその振動体の形成方法 - Google Patents
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Description
上記従来技術では、図7に例示するように、振動系を縦振動および捩り振動を合成するホーン(以下、スクリュー振動ホーンという)構造とすることにより、縦・捩り振動を実現するものである。
従って、ホーン2およびホーン3の支持に際しても、強固に固定すると振動損失が増大し、低損失となるように支持すると、剛性に欠ける問題がある。
さらに、第1及び第2の振動体を一体形成することにより、超音波複合振動体を形成してもよい。
図1は、縦振動と捩り振動の振動モードにおける共振周波数近傍のモーショナルアドミッタンスとその位相特性を示す説明図、図2は、本発明における第1の振動体の一例と、当該振動体における複合振動モードの模式図、図3は、本発明における第2の振動体の一例と、当該振動体における複合振動モードの模式図、図4は、図2の振動体における振動体と周波数調整要素の直径比(M)をパラメータとしたその周波数調整要素の設置位置(x)の周波数特性図、図5は、図3の振動体における振動体と周波数調整要素の直径比(M)をパラメータとしたその周波数調整要素の設置位置(x)の周波数特性図、図6は、本発明超音波複合振動体の一例とその複合振動モードの模式図である。なお、図6に示す超音波複合振動体は、図2に示す振動体と図3に示す振動体を結合したものである。
15は両振動モードの位相差を示し、ここでは縦振動モードの位相と捩り振動モードの位相の差で表している。この位相差15は、駆動周波数fd1、fd2でπ/2となる。
ここで、両方の共振周波数が等し(fl=ft)ければ、両振動モードの位相特性13と14は略同一曲線となるので、位相差15は零となってπ/2にはならない。
位相差15がπ/2となる条件は、両方の共振周波数差が、両振動モードの共振時の機械的尖鋭度をQl,Qtとして次の[数1]式のときである。
この図4の特性から、xを長くすると縦振動の共振周波数は高くなり、捩り振動の共振周波数は低くなってからなだらかに高くなる。
図3において、各構成要素31〜35は、共通軸心を有する円柱一体構造となっている。そして、構成要素34を振動変換用スリット部とし、この構成要素34が構成要素33と35で両側を挟持された形状の半波長共振のアルミニウム合金製ホーンとすると、前述の式[数5]、表1より、f=40kHz,S4=n2S5(n2はスリットによる等価断面積比で、深さtのスリットの場合、n2=(r4−t)2/r5 2で表わす)、l4=7(mm)とするとl5=25.16(mm)を得る。
図5の特性から、xを長くすると縦振動の共振周波数は高くなり、捩り振動の共振周波数は急激に低くなる。
図2および図3の縦振動モードの波形26、36より電歪振動子24および縦・捩り変換ユニット34は、振動の節部に設置されていて、歪力最大のため、電歪振動子の振動効率および縦・捩り変換ユニットの縦・捩り変換効率が最大となる。
図6では、図4および図5の周波数特性より、M=1.2の場合とすると、図4の交点48および図5の交点57近傍で両共振周波数差をΔFに等しくなるように選んだ場合、両振動モードの平均共振周波数は共に約39.9 kHzとなる。この場合の複合振動体の駆動周波数fdは、図1と式[数1]より式[数8]となる。
13,14 縦・捩り振動モードの位相特性
15 縦・捩り振動モードの位相差
2 第1の振動体
3 第2の振動体
22、32 周波数調整要素
24 電歪振動子
34 縦・捩り変換用スリット
26、36 縦振動モード
27,37 捩り振動モード
41〜43 縦振動モード16の周波数特性
44〜46 捩り振動モード17の周波数特性
47〜49 縦・捩り振動モードの周波数一致点
51〜53 縦振動モード26の周波数特性
54〜56 捩り振動モード27の周波数特性
57、58 縦・捩り振動モードの周波数一致点
Claims (3)
- 縦振動及び捩り振動を、該両振動の位相差を零でなくπ/2に近づけて合成することにより、楕円から円形の複合振動を誘起する超音波複合振動体であって、
前記超音波複合振動体は、縦振動用の電歪振動子を備えた第1の振動体と、縦・捩り振動変換用のスリットを備えた第2の振動体から成り、
前記第1及び第2の振動体のそれぞれは、縦振動の腹面から節面までの1/4波長の間に周波数調整要素としての段付部を設けることにより、一方の端面を両振動の腹面、他方の端面を両振動の節面となるように形成し、
前記第1及び第2の振動体を前記節面同士を同一軸心で結合し、該結合した節面で前記超音波複合振動体を支持するようにしたことを特徴とする、超音波複合振動体。 - 前記第1及び第2の振動体は、縦振動の節面に前記電歪振動子又はスリットを備えたことを特徴とする、請求項1記載の超音波複合振動体。
- 前記超音波複合振動体は、前記結合に代えて第1及び第2の振動体を一体形成したことを特徴とする、請求項1又は2に記載の超音波複合振動体。
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