JP4309160B2 - 超音波複合振動体の駆動方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路、電子デバイス、金属、プラスチックス、セラミックス等を振動加工(接合、切断、研磨等)する超音波加工機に用いられる超音波複合振動体の駆動方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から超音波複合振動装置は公知である(例えば、特許文献1参照)。
上記の公知技術では、両振動子の一方を可変位相回路を介し共通の交流電源に接続することによって,両振動子駆動電源の位相差が0〜90度推移することにより円形振動の実現可能な超音波溶着を実施するものである。
【0003】
【特許文献1】
特開平6−29357号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術の両振動子の駆動方法は、両振動子が相互に結合振動しない場合のみ円形振動が可能で、両振動子が相互に密に結合している場合は直線振動となるため円形振動は実現できない。
【0005】
また、結合振動がある場合で円形振動する条件は、両振動子入力位相差が0〜90度ではなく、90〜180度のうちの一定の関係を選択する必要がある。
【0006】
このため、超音波加工機を構成する超音波振動子の円形振動駆動に関しては、両振動子間の結合振動に対応した駆動方法が切望されていた。
【0007】
上述したとおり本発明は、2個の相互に結合振動する超音波振動子を用いて楕円振動を誘起する超音波複合振動体の駆動方法を提供することを、その課題とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決することを目的としてなされたもので、その駆動方法の回路構成は、両超音波振動子の駆動電流の位相差がπ/2となるように、それぞれ発振器を制御することを特徴とするものである。
【0009】
本発明は、結合振動する2個の超音波振動子を駆動する発振器の相互の入力信号をπ/2推移した場合、駆動電流の位相差はπ/2とならず零に接近し、駆動電流に対応する複合振動体の振動モードも円形振動とならず、直線振動になってしまい、駆動電流の位相差をπ/2とするには、発振器の入力信号の位相差をπ/2からπの間の一定の関係で制御することが必要であると言う知見に基づいて完成されたものである。
【0010】
請求項1の発明は、先端を加工面とする撓み振動体の振動の腹部に、直交する平面角で取付けられた超音波複合振動体を構成する2個の、相互に結合振動する超音波振動子の駆動電流の位相差がπ/2となるように、それぞれの発振器を制御する超音波複合振動体の駆動方法において、入力信号の制御を一定の関係式を満足する回路構成とした駆動方法であり、請求項2の発明は、請求項1の回路構成において、それぞれ他方の駆動電流が零のときの両駆動電流の比が常に等しくなるように回路構成した駆動方法である。
【0011】
【作用】
発振器に駆動されて超音波振動子が撓み振動体の振動の腹部を励振すると、その撓み振動体に撓み振動が誘起される。
【0012】
撓み振動体先端の被加工物(接合対象)を加圧しながら振動を印加すると、加工(接合)面の面内振動によって超音波加工(接合)が実現できる。
【0013】
特性が揃った超音波振動子2個を、撓み振動体の振動の腹部で当該振動体の中心軸に垂直な平面内で互いに直交する方向で前記振動体に結合し、両超音波振動子の駆動電流位相差がπ/2となるように発振器の入力信号を制御すると、撓み振動体先端は楕円の振動軌跡を描く。
【0014】
【発明の実施の形態】
次に、本発明方法の実施の形態例について、図と式を参照して説明する。
図1は、超音波複合振動体を構成する超音波振動子と撓み振動体とその振動モードの模式図、図2は本発明を説明するための超音波複合振動体の等価回路と従来の超音波振動子駆動用の発振器のブロック図、図3は本発明の超音波複合振動体の駆動方法を実現する回路の一実施例を示すブロック図である。
【0015】
図1において、3は撓み振動体で、段付円柱4、6およびフランジ5が一体構造に形成されている。1は、撓み振動体3の駆動用の超音波振動子で、環状電歪素子7および8と環状電極9および10を、背面体11と前面体12でサンドイッチ状に挟持し、それらの中心部をねじ結合(図示せず)することによりボルト締めランジュバン型超音波振動子(以下、BLTという)を構成しており、前記電極9および10に所要周波数の電圧を印加することにより、超音波振動を励振する。
【0016】
上記BLT1は、該BLT1と同一構成のBLT2を、それらの前面体12、15の先端面を撓み振動体3の振動の腹部に、それぞれの軸中心を平面上で直交させて、ねじ結合(図示せず)し、取付けられている。
【0017】
上記BLT1の縦振動と撓み振動体3の撓み振動は、同一周波数で共振する。このBLT1の電極9および10にBLT1と振動体3の共振周波数の電気信号を印加すると撓み振動体の軸心の振動は、図1に示した振動モード19となる。
【0018】
上記振動モード19から超音波撓み振動体3のフランジ5は、振動の第3の腹(振動体の上端から数えて3番目)の位置に、またBLT1は振動の第2の腹の位置に設置されている。
【0019】
振動モード19は、BLT1による撓み振動体3の一次元撓み振動を示すが、撓み振動体3の振動の第3の腹の位置に、前記BLT1と直交する平面角で第2のBLT2の前面体15をねじ結合(図示せず)し、BLT2と撓み振動体3の同一共振周波数の電気信号をBLT2の電極13および14に印加すると、撓み振動体3の軸心の振動は図1に示した振動モード20となる。
【0020】
振動モード19、20に対応したBLT1およびBLT2のそれぞれの駆動電流の位相差がπ/2となるように制御された電気信号をBLT2に印加すると、撓み振動体3には複合撓み振動が誘起され、その先端の軸心の振動軌跡は、振動モード21の楕円になる。
【0021】
超音波撓み振動体3の振動は、円柱6の先端から上位側の被加工体(被接合半導体チップ)16と受台18に固定された下位側の被加工体(基板)17に印加される。
この場合において、必要な押圧力はフランジ5を介して超音波撓み振動体3から被加工体16、17に印加される。
被加工体16、17が半導体チップと基板の場合は、その接合面に垂直な荷重と、接合面に平行な超音波楕円振動によって、両者は接合される。
【0022】
図2において、BLT1の等価回路は、制動容量22、等価インダクタンス23、等価容量24、変成器25、撓み振動体3のインピーダンス26で表され、BLT2の等価回路は、制動容量27、等価インダクタンス28、等価容量29、変成器30、インピーダンス26(BLT1と共通の負荷)で表される。
信号発生器31でBLT1と撓み振動体3の共振周波数と同一周波数の信号を電力増幅器32に入力し、同電力増幅器32で増幅してBLT1の電極9および10に印加すると、BLT1によって電気音響変換されて、撓み振動体3が振動する。
信号発生器31と電力増幅器32でBLT1の駆動用発振器を形成する。
【0023】
このとき、撓み振動体3の振動は、BLT2も励振することとなり、この振動はBLT2によって音響電気変換されて短絡電流I2が発生する。
BLT1の電流I1によってBLT2の短絡電流Ι2がα12Ι1流れたときのα12を、BLT1からBLT2への振動結合の度合いを示す係数として振動結合係数と呼ぶこととする。
【0024】
信号発生器31の信号を移相器33で位相推移して電力増幅器34に入力し、該電力増幅器34で増幅してBLT2の電極13および14に印加すると、BLT2によって電気音響変換されて、撓み振動体3が振動する。
信号発生器31、移相器33および電力増幅器34で、BLT2の駆動用発振器を形成する。
【0025】
このとき、撓み振動体3の振動は、BLT1も励振することとなり、この振動はBLT1によって音響電気変換されて短絡電流Ι1が発生する。
BLT2の電流Ι2によってBLT1の短絡電流Ι1がα21Ι2流れたときのα21を、BLT2からBLT1への振動結合係数と呼ぶこととする。
図2の各変成器25および30を結ぶ矢印35、36は、それぞれ振動結合係数α12、およびα21を表すこととする。
【0026】
いま、I2が零のとき(電力増幅器34とBLT2の電極を無接続のとき)のI1の電流振幅をΑ1、Ι1が零のとき(電力増幅器32とBLT1の電極を無接続のとき)の電流振幅をΑ2、信号発生器31の角周波数をω、移相器33による位相(角)をφとおくと、短絡電流Ι1およびΙ2は次式の数1,数2で表される。
【0027】
【数1】
【0028】
【数2】
【0029】
数1、数2において振動結合係数α12、α21が零の場合は、
【0030】
【数3】
となる。
【0031】
数1、数2において振動結合係数α12、α21が共に1の場合は、
【0032】
【数4】
となる。
【0033】
上記の数3および数4より、発振器入力信号位相φと駆動電流の位相Φ21が等しい条件は、両BLT1,2の振動結合係数が零の時である。
超音波複合振動体の駆動時には、BLT1,2の相互干渉のため、疎・密結合の度合いは異なるが必ず振動結合は存在する。
数4の密結合の場合は、発振器入力信号位相φに独立に駆動電流は同相となって、複合振動軌跡21は楕円振動とならないで、直線振動となってしまう。
【0034】
両振動結合係数α12、α21が1以下の場合の楕円振動の条件は、上記数1、数2より、
【0035】
【数5】
となる。
【0036】
実用上の、超音波複合振動体の楕円振動条件は、上記数5で与えられ、移相器33の設定位相φは振動結合係数α12、α21とBLT駆動電流Α1、Α2に依存するため、従来技術のように一意的に所定位相角(φ≒π/2)で円形運動を期待することは不可能であった。
【0037】
そこで、本発明では従来の「発振器入力電圧位相差」の発想を転換して、「振動子駆動電流位相差」による方法と、「振動結合係数」から導出した位相条件を提供することにより信頼性の高い超音波複合振動体の楕円振動を可能とし、強力かつ安定した超音波加工機が実現できるようにしたものである。この点について、図3により説明する。
【0038】
図3において、BLT1及びBLT2は、それぞれ共役整合用インダクタンス39、44を介して出力トランス38、43と接続し、電力増幅器32および34によって電気信号を印加される。
BLT1の電流Ι1は変流器40、抵抗41によって電圧信号となって、PLL(フェーズロックループ)発信器37の一方の端子入力となり、出力トランス38の二次側出力電圧信号が他方の端子入力となる。
【0039】
PLL発信器37は、出力トランス38の二次側からみたBLT負荷電流と電圧の位相が常に等しく(位相差が0)なる周波数で発振を持続し、BLT1は定振幅・周波数自動追尾駆動となる。
変流器40の出力信号は、移相器42で位相φ推移して電力増幅器34の入力信号となる。
BLT1の電極9、10の左側ブロック(PLL発信器37、電力増幅器32、出力トランス38、共役整合用インダクタンス39、変流器40、抵抗41)でBLT1の駆動用発振器を形成し、BLT2の電極13、14の左側ブロック(移相器42、電力増幅器34、出力トランス43、共役整合用インダクタンス44)でBLT2の駆動用発振器を形成する。
【0040】
いま、Ι2が零のときの電流Ι1の電流振幅をΒ1、電流Ι1が零とみなせるときの電流Ι2の電流振幅をΒ2、PLL発信器の角周波数をωとおくと、上記電流Ι1およびΙ2は次式で表される。
【0041】
【数6】
【0042】
【数7】
【0043】
上記の数7より、楕円振動の条件は、
【0044】
【数8】
となり、上記の数8より
【0045】
【数9】
となる。
【0046】
上記の数6、数9より、位相条件はΒ1/Β2=γとおいて、
【0047】
【数10】
【0048】
上記の数10より、求める位相条件は、両BLT1,2の振動結合係数α12、α21と両BLT1,2の駆動電流比γによって決定される。
【0049】
もし、数10において、α12=α21=γ=1なら、
【0050】
【数11】
となって、両BLT1,2が密結合で円形振動の場合の移相器42の設定条件は0.76π(137°)と、求められる。
【0051】
もし、またα12=0なら、
【0052】
【数12】
となって、BLT1からBLT2への振動結合が無い場合の位相設定はπ/2となる。
【0053】
超音波複合振動体の実駆動の場合、振動結合係数は駆動レベルに対して独立にほぼ一定である。
従って、BLTの駆動電流比γを一定にすると、超音波複合振動体の音響結合係数α12、α21を前もって求めておけば、数10よりφは、駆動レベルによらず一定となる。
【0054】
BLT1,2の駆動電流は、電力増幅器の給電直流電圧に比例する。
従って、図3で、電力増幅器32および34のそれぞれの給電端子45および46に共通の直流電源(図示せず)を接続することによって駆動電流比γを一定にすることが可能となる。
【0055】
【発明の効果】
以上のように、本発明駆動方法によれば、従来不可能であった楕円モードの超音波複合振動体の定振幅、周波数自動追尾駆動が可能となって、信頼性の高い超音波加工機用の発振器を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】超音波複合振動体の構成と、その振動モードの模式図。
【図2】本発明方法を説明するための、超音波複合振動体の等価回路と従来の発振器のブロック図。
【図3】本発明方法を適用した超音波複合振動体の等価回路と発振器のブロック図。
【符号の説明】
1、2 ボルト締めランジュバン型超音波振動子(BLT)
3 撓み振動体
9、10 BLT1の電極
13、14 BLT2の電極
16、17 被加工体
19、20、21 撓み振動体の振動モード
32、34 電力増幅器
33、42 移相器
35、36 振動結合係数
37 PLL発信器
40 変流器
45、46 電力増幅器の給電端子
Claims (2)
- 先端を加工面とする撓み振動体の振動の腹部に、直交する平面角で取付けられた超音波複合振動体を構成する2個の、相互に結合振動する超音波振動子の駆動電流の位相差がπ/2となるように、それぞれの発振器を制御する超音波複合振動体の駆動方法において、前記駆動用発振器のうちの、第2の発振器の信号入力位相φが、第1の超音波振動子の駆動電流位相と下記の関係式(数10)を満たす回路構成とすることを特徴とする超音波複合振動体の駆動方法。
γはそれぞれ他の超音波振動子の駆動電流が零のときの超音波振動子1,超音波振動子2の駆動電流比。 - 前記発振器の、それぞれ他方の超音波振動子の駆動電流が零のときの駆動電流の比が常に等しくなるように発振器を制御する回路構成とする請求項1記載の超音波複合振動体の駆動方法。
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