JPWO2022080426A5 - - Google Patents

Claims (22)

1. 第１基軸及び当該第１基軸と交差する第２基軸によって規定される主面を有する水晶片と、
   前記水晶片の主面に設けられた励振電極部とを備え、
   前記水晶片は、前記励振電極部に電圧が印加された場合に、前記主面と交差する方向を厚み方向としたとき、前記厚み方向と前記第１基軸とによって規定される面において振動する厚み滑り振動を行い、
   前記励振電極部は、平板部と、前記水晶片の前記主面に沿う方向における電極端部に位置し、前記平板部よりも膜厚が大きい膜厚部を有し、
   前記膜厚部は、前記主面における前記第１基軸の軸線方向の端部に位置し、前記第２基軸の軸線方向に延びる前記平板部から突出した凸部としての第１凸部と、
   前記主面における前記第２基軸の軸線方向の端部に位置し、前記第１基軸の軸線方向に延びる前記平板部から突出した凸部としての第２凸部と、
   を有し、
   前記第１基軸と前記水晶片の厚み方向とによって規定される面に沿う方向に切断した前記第１凸部の断面積は、前記第２基軸と前記水晶片の厚み方向とによって規定される面に沿う方向に切断した前記第２凸部の断面積よりも大きく、
   前記水晶片の厚みに対する前記平板部の厚みの比が大きいほど、水晶振動素子の振動特性が所定条件を満たす前記第１凸部および前記第２凸部の断面積の最大値が大きくなる、
   水晶振動素子。
2. 前記第１凸部および前記第２凸部の材質は、アルミニウムである、
   請求項１に記載の水晶振動素子。
3. 前記水晶振動素子の振動特性が所定条件を満たす前記第１凸部および前記第２凸部の断面積の最大値は、前記水晶片の厚みに対する前記平板部の厚みの比を変数とする一次関数で表される、
   請求項１または２に記載の水晶振動素子。
4. 前記第１凸部の突出方向と交差する方向における前記第１凸部の幅は、前記第２凸部の突出方向と交差する方向における前記第２凸部の幅よりも大きい、
   請求項１から３のいずれか１項に記載の水晶振動素子。
5. 前記第１凸部および前記第２凸部の材質は、アルミニウムであり、
   前記水晶片の厚みに対する前記平板部の厚みの比が大きいほど、前記水晶振動素子の振動特性が所定条件を満たす前記第１凸部および前記第２凸部の幅の最大値は大きくなる、
   請求項４に記載の水晶振動素子。
6. 前記水晶振動素子の振動特性が所定条件を満たす前記第１凸部および前記第２凸部の幅の最大値は、前記水晶片の厚みに対する前記平板部の厚みの比を変数とする一次関数で表される、
   請求項５に記載の水晶振動素子。
7. 前記第１凸部の突出量は、前記第２凸部の突出量よりも大きい、
   請求項１から６のいずれか１項に記載の水晶振動素子。
8. 第１基軸及び当該第１基軸と交差する第２基軸によって規定される主面を有する水晶片と、
   前記水晶片の主面に設けられた励振電極部とを備え、
   前記水晶片は、前記励振電極部に電圧が印加された場合に、前記主面と交差する方向を厚み方向としたとき、前記厚み方向と前記第１基軸とによって規定される面において振動する厚み滑り振動を行い、
   前記励振電極部は、平板部と、前記水晶片の前記主面に沿う方向における電極端部に位置し、前記平板部よりも膜厚が大きい膜厚部を有し、
   前記膜厚部は、前記主面における前記第１基軸の軸線方向の端部に位置し、前記第２基軸の軸線方向に延びる前記平板部から突出した凸部としての第１凸部と、
   前記主面における前記第２基軸の軸線方向の端部に位置し、前記第１基軸の軸線方向に延びる前記平板部から突出した凸部としての第２凸部と、
   を有し、
   水晶振動素子の振動特性が所定条件を満たす前記第１凸部の断面積の最大値をＳｆｘとし、前記水晶振動素子の振動特性が所定条件を満たす前記第２凸部の断面積の最大値をＳｆｚとし、前記水晶片の厚みをＴとし、前記平板部の厚みをＴｅとするとき、
   ０＜Ｓｆｘ≦０．８４×（Ｔｅ×Ｔ）＋０．０７
   かつ、
   ０＜Ｓｆｚ≦０．２９×（Ｔｅ×Ｔ）＋０．０７
   との条件を満たす、
   水晶振動素子。
9. 第１基軸及び当該第１基軸と交差する第２基軸によって規定される主面を有する水晶片と、
   前記水晶片の前記主面に設けられた励振電極部と、
   を備え、
   前記水晶片は、前記励振電極部に電圧が印加された場合に前記主面と交差する方向を厚み方向としたとき、前記厚み方向と前記第１基軸とによって規定される面において振動する厚み滑り振動を行い、
   前記励振電極部は、平板部と、前記水晶片の前記主面に沿う方向における電極端部に位置し、前記平板部よりも膜厚が大きい膜厚部を有し、
   前記膜厚部は、
   前記平板部から突出した凸部を有し、
   前記凸部は、前記第２基軸の軸線方向に延びる凸部のみを含み、
   前記凸部は、前記主面における前記第１基軸の軸線方向の端部に位置し、
   前記水晶片の厚みに対する前記平板部の厚みの比が大きいほど、水晶振動素子の振動特性が所定条件を満たす前記凸部の断面積の最大値が大きくなる、
   水晶振動素子。
10. 第１基軸及び当該第１基軸と交差する第２基軸によって規定される主面を有する水晶片と、
    前記水晶片の前記主面に設けられた励振電極部と、
    を備え、
    前記水晶片は、前記励振電極部に電圧が印加された場合に前記主面と交差する方向を厚み方向としたとき、前記厚み方向と前記第１基軸とによって規定される面において振動する厚み滑り振動を行い、
    前記励振電極部は、平板部と、前記水晶片の前記主面に沿う方向における電極端部に位置し、前記平板部よりも膜厚が大きい膜厚部を有し、
    前記膜厚部は、
    前記平板部から突出した凸部を有し、
    前記凸部は、前記第２基軸の軸線方向に延びる凸部のみを含み、
    前記凸部は、前記主面における前記第１基軸の軸線方向の端部に位置し、
    水晶振動素子の振動特性が所定条件を満たす前記凸部の断面積の最大値をＳｆｘとし、前記水晶片の厚みをＴとし、前記平板部の厚みをＴｅとするとき、
    ０＜Ｓｆｘ≦０．８４×（Ｔｅ×Ｔ）＋０．０７
    との条件を満たす、
    水晶振動素子。
11. 第１基軸及び当該第１基軸と交差する第２基軸によって規定される主面を有する水晶片と、
    前記水晶片の前記主面に設けられた励振電極部と、
    を備え、
    前記水晶片は、前記励振電極部に電圧が印加された場合に前記主面と交差する方向を厚み方向としたとき、前記厚み方向と前記第１基軸とによって規定される面において振動する厚み滑り振動を行い、
    前記励振電極部は、平板部と、前記水晶片の前記主面に沿う方向における電極端部に位置し、前記平板部よりも膜厚が大きい膜厚部を有し、
    前記膜厚部は、
    前記平板部から突出した凸部を有し、
    前記凸部は、前記第１基軸の軸線方向に延びる凸部のみを含み、
    前記凸部は、前記主面における前記第２基軸の軸線方向の端部に位置し
    前記水晶片の厚みに対する前記平板部の厚みの比が大きいほど、水晶振動素子の振動特性が所定条件を満たす前記凸部の断面積の最大値が大きくなる、
    水晶振動素子。
12. 第１基軸及び当該第１基軸と交差する第２基軸によって規定される主面を有する水晶片と、
    前記水晶片の前記主面に設けられた励振電極部と、
    を備え、
    前記水晶片は、前記励振電極部に電圧が印加された場合に前記主面と交差する方向を厚み方向としたとき、前記厚み方向と前記第１基軸とによって規定される面において振動する厚み滑り振動を行い、
    前記励振電極部は、平板部と、前記水晶片の前記主面に沿う方向における電極端部に位置し、前記平板部よりも膜厚が大きい膜厚部を有し、
    前記膜厚部は、
    前記平板部から突出した凸部を有し、
    前記凸部は、前記第１基軸の軸線方向に延びる凸部のみを含み、
    前記凸部は、前記主面における前記第２基軸の軸線方向の端部に位置し、
    水晶振動素子の振動特性が所定条件を満たす前記凸部の断面積の最大値をＳｆｚとし、前記水晶片の厚みをＴとし、前記平板部の厚みをＴｅとするとき、
    ０＜Ｓｆｚ≦０．２９×（Ｔｅ×Ｔ）＋０．０７
    との条件を満たす、
    水晶振動素子。
13. 第１基軸及び当該第１基軸と交差する第２基軸によって規定される主面を有する水晶片と、
    前記水晶片の前記主面に設けられた励振電極部と、
    を備え、
    前記水晶片は、前記励振電極部に電圧が印加された場合に前記主面と交差する方向を厚み方向としたとき、前記厚み方向と前記第１基軸とによって規定される面において振動する厚み滑り振動を行い、
    前記励振電極部は、平板部と、前記水晶片の前記主面に沿う方向における電極端部に位置し、前記平板部よりも膜厚が大きい膜厚部を有し、
    前記膜厚部は、
    前記平板部から突出した凸部を有し、
    前記凸部は、前記第２基軸の軸線方向に延びる凸部のみを含み、
    前記凸部は、前記主面における前記第１基軸の軸線方向の端部に位置し、
    前記水晶片の厚みをＴとし、前記凸部の幅をＷｘとするとき、
    ２．０≦Ｗｘ／Ｔ≦５．４
    との条件を満たす、
    水晶振動素子。
14. ３．８≦Ｗｘ／Ｔ≦５．０
    との条件をさらに満たす、
    請求項１３に記載の水晶振動素子。
15. 第１基軸及び当該第１基軸と交差する第２基軸によって規定される主面を有する水晶片と、
    前記水晶片の前記主面に設けられた励振電極部と、
    を備え、
    前記水晶片は、前記励振電極部に電圧が印加された場合に前記主面と交差する方向を厚み方向としたとき、前記厚み方向と前記第１基軸とによって規定される面において振動する厚み滑り振動を行い、
    前記励振電極部は、平板部と、前記水晶片の前記主面に沿う方向における電極端部に位置し、前記平板部よりも膜厚が大きい膜厚部を有し、
    前記膜厚部は、
    前記平板部から突出した凸部を有し、
    前記凸部は、前記第１基軸の軸線方向に延びる凸部のみを含み、
    前記凸部は、前記主面における前記第２基軸の軸線方向の端部に位置し、
    前記水晶片の厚みをＴとし、前記凸部の幅をＷｚとするとき、
    １．５≦Ｗｚ／Ｔ≦４．１
    との条件を満たす、
    水晶振動素子。
16. ２．８≦Ｗｚ／Ｔ≦４．０
    との条件をさらに満たす、
    請求項１５に記載の水晶振動素子。
17. 前記水晶片の結晶軸である互いに交差する第１軸、第２軸、第３軸のうち、第３軸を第１軸の周りに所定角度だけ傾斜させた軸を第３傾斜軸としたとき、第１軸を第１基軸に対応させるとともに第３傾斜軸を第２基軸に対応させる、
    請求項１から１６のいずれか１項に記載の水晶振動素子。
18. 前記水晶片の結晶軸である互いに交差する第１軸、第２軸、第３軸のうち、第１軸を第３軸の周りに所定角度だけ傾斜させた軸を第１傾斜軸とし、第３軸を第１傾斜軸の周りに所定角度だけ傾斜させた軸を第３傾斜軸としたとき、第１傾斜軸を第１基軸に対応させるとともに第３傾斜軸を第２基軸に対応させる、
    請求項１から１６のいずれか１項に記載の水晶振動素子。
19. 前記凸部は、前記励振電極部における前記平板部と同一の材料により構成される、
    請求項１から１８のいずれか１項に記載の水晶振動素子。
20. 前記凸部は、前記励振電極部における前記平板部と異なる材料により構成される、
    請求項１から１８のいずれか１項に記載の水晶振動素子。
21. 前記凸部は、絶縁材料により構成される、
    請求項１、８、９、１０、１１、１２、１３、１５のいずれか１項に記載の水晶振動素子。
22. 請求項１から２１のいずれか１項に記載の水晶振動素子と、
    前記水晶振動素子が搭載されたベース部材と、
    前記ベース部材に接合されて前記水晶振動素子を封止する蓋部材と
    を備える、水晶振動子。