JPWO2022044541A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2022044541A5 JPWO2022044541A5 JP2022545493A JP2022545493A JPWO2022044541A5 JP WO2022044541 A5 JPWO2022044541 A5 JP WO2022044541A5 JP 2022545493 A JP2022545493 A JP 2022545493A JP 2022545493 A JP2022545493 A JP 2022545493A JP WO2022044541 A5 JPWO2022044541 A5 JP WO2022044541A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit pattern
- semiconductor chip
- front surface
- circuit
- resin layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 55
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 37
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 37
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 claims 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 229910000521 B alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001096 P alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- QDWJUBJKEHXSMT-UHFFFAOYSA-N boranylidynenickel Chemical compound [Ni]#B QDWJUBJKEHXSMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 239000002905 metal composite material Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N phosphanylidynenickel Chemical compound [P].[Ni] OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- -1 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- MKPXGEVFQSIKGE-UHFFFAOYSA-N [Mg].[Si] Chemical compound [Mg].[Si] MKPXGEVFQSIKGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N acrylonitrile butadiene styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 239000004676 acrylonitrile butadiene styrene Substances 0.000 description 1
- CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N alumanylidynesilicon Chemical compound [Al].[Si] CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002961 polybutylene succinate Polymers 0.000 description 1
- 239000004631 polybutylene succinate Substances 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023194122A JP7729368B2 (ja) | 2020-08-28 | 2023-11-15 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020144178 | 2020-08-28 | ||
| JP2020144178 | 2020-08-28 | ||
| PCT/JP2021/024996 WO2022044541A1 (ja) | 2020-08-28 | 2021-07-01 | 半導体装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023194122A Division JP7729368B2 (ja) | 2020-08-28 | 2023-11-15 | 半導体装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2022044541A1 JPWO2022044541A1 (enExample) | 2022-03-03 |
| JPWO2022044541A5 true JPWO2022044541A5 (enExample) | 2022-10-03 |
| JP7428261B2 JP7428261B2 (ja) | 2024-02-06 |
Family
ID=80353138
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022545493A Active JP7428261B2 (ja) | 2020-08-28 | 2021-07-01 | 半導体装置 |
| JP2023194122A Active JP7729368B2 (ja) | 2020-08-28 | 2023-11-15 | 半導体装置 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023194122A Active JP7729368B2 (ja) | 2020-08-28 | 2023-11-15 | 半導体装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US12469792B2 (enExample) |
| JP (2) | JP7428261B2 (enExample) |
| CN (1) | CN115004359A (enExample) |
| DE (1) | DE112021000290T5 (enExample) |
| WO (1) | WO2022044541A1 (enExample) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022044541A1 (ja) * | 2020-08-28 | 2022-03-03 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
| JP2024162622A (ja) | 2023-05-11 | 2024-11-21 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
| WO2025192191A1 (ja) * | 2024-03-11 | 2025-09-18 | ローム株式会社 | 半導体装置、電力変換ユニットおよび車両 |
Family Cites Families (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3199193B2 (ja) | 1992-11-20 | 2001-08-13 | 電気化学工業株式会社 | 半導体搭載用回路基板およびその製造方法 |
| JPH06350212A (ja) | 1993-06-11 | 1994-12-22 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 金属ベース回路基板とその製造方法 |
| JP3110298B2 (ja) * | 1995-10-31 | 2000-11-20 | 松下電子工業株式会社 | 半導体装置 |
| JPH11186679A (ja) | 1997-12-18 | 1999-07-09 | Fuji Electric Co Ltd | 絶縁基板およびその製造方法 |
| JP2001044342A (ja) | 1999-07-29 | 2001-02-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 混成集積回路装置 |
| JP2002217508A (ja) | 2001-01-19 | 2002-08-02 | Fuji Electric Co Ltd | 金属ベース基板およびその製造方法 |
| JP2002246515A (ja) * | 2001-02-20 | 2002-08-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
| JP4595665B2 (ja) * | 2005-05-13 | 2010-12-08 | 富士電機システムズ株式会社 | 配線基板の製造方法 |
| JP4992302B2 (ja) | 2005-07-05 | 2012-08-08 | 富士電機株式会社 | パワー半導体モジュール |
| JP4904916B2 (ja) * | 2006-05-18 | 2012-03-28 | 三菱マテリアル株式会社 | パワーモジュール用基板およびパワーモジュール用基板の製造方法並びにパワーモジュール |
| JP2010103311A (ja) * | 2008-10-23 | 2010-05-06 | Toyota Central R&D Labs Inc | 積層基板 |
| DE102009033029A1 (de) * | 2009-07-02 | 2011-01-05 | Electrovac Ag | Elektronische Vorrichtung |
| JP5552803B2 (ja) * | 2009-12-07 | 2014-07-16 | 三菱マテリアル株式会社 | パワーモジュール用基板の製造方法 |
| JP5010669B2 (ja) * | 2009-12-07 | 2012-08-29 | パナソニック株式会社 | 配線基板及びその製造方法 |
| JP2012191057A (ja) | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Mitsubishi Electric Corp | 電力用半導体装置 |
| JP2013080860A (ja) | 2011-10-05 | 2013-05-02 | Rohm Co Ltd | Ｌｅｄ光源装置 |
| JP5848976B2 (ja) * | 2012-01-25 | 2016-01-27 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板、発光装置及び配線基板の製造方法 |
| JP2013207226A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 半導体チップ実装基板 |
| WO2014006724A1 (ja) * | 2012-07-05 | 2014-01-09 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
| JP6077773B2 (ja) * | 2012-07-19 | 2017-02-08 | ローム株式会社 | パワーモジュール半導体装置 |
| US9627302B2 (en) * | 2014-01-10 | 2017-04-18 | Mitsubishi Electric Corporation | Power semiconductor device |
| JP2015208200A (ja) * | 2014-04-23 | 2015-11-19 | 株式会社デンソー | 電源装置 |
| JP6320331B2 (ja) | 2015-03-16 | 2018-05-09 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体装置 |
| JP6721329B2 (ja) | 2015-12-21 | 2020-07-15 | 三菱電機株式会社 | パワー半導体装置およびその製造方法 |
| JP6790372B2 (ja) | 2016-02-05 | 2020-11-25 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
| JP6540587B2 (ja) * | 2016-04-28 | 2019-07-10 | 三菱電機株式会社 | パワーモジュール |
| JP7025181B2 (ja) * | 2016-11-21 | 2022-02-24 | ローム株式会社 | パワーモジュールおよびその製造方法、グラファイトプレート、および電源装置 |
| US11367669B2 (en) | 2016-11-21 | 2022-06-21 | Rohm Co., Ltd. | Power module and fabrication method of the same, graphite plate, and power supply equipment |
| JP2019169540A (ja) | 2018-03-22 | 2019-10-03 | 三菱マテリアル株式会社 | 絶縁回路基板、および、絶縁回路基板の製造方法 |
| WO2022044541A1 (ja) | 2020-08-28 | 2022-03-03 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
-
2021
- 2021-07-01 WO PCT/JP2021/024996 patent/WO2022044541A1/ja not_active Ceased
- 2021-07-01 DE DE112021000290.2T patent/DE112021000290T5/de active Pending
- 2021-07-01 CN CN202180010705.XA patent/CN115004359A/zh active Pending
- 2021-07-01 JP JP2022545493A patent/JP7428261B2/ja active Active
-
2022
- 2022-07-28 US US17/876,228 patent/US12469792B2/en active Active
-
2023
- 2023-11-15 JP JP2023194122A patent/JP7729368B2/ja active Active
-
2025
- 2025-10-31 US US19/376,025 patent/US20260060115A1/en active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP7441287B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JP7023298B2 (ja) | 電力変換装置及び電力変換装置の製造方法 | |
| JP7546034B2 (ja) | 半導体装置 | |
| TWI543306B (zh) | 半導體裝置 | |
| CN106255308B (zh) | 印刷基板和电子装置 | |
| JPH11330750A (ja) | 伝熱経路の形成方法および伝熱経路装置 | |
| JPWO2022044541A5 (enExample) | ||
| JP5885630B2 (ja) | プリント基板 | |
| JP7729368B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JP2015005681A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
| JP2020004840A (ja) | 電子ユニットおよびその製造方法 | |
| US20240114614A1 (en) | Thermal Conduction - Electrical Conduction Isolated Circuit Board with Ceramic Substrate and Power Transistor Embedded | |
| JP2020087966A (ja) | 半導体モジュールおよびそれを用いた半導体装置 | |
| CN101111144B (zh) | 热导管 | |
| TWI648829B (zh) | 半導體裝置的散熱結構 | |
| JP7018756B2 (ja) | パワーモジュール用基板およびパワーモジュール | |
| JP2784522B2 (ja) | 電子部品搭載用基板及びその製造法 | |
| WO2021084897A1 (ja) | 伝熱部材付基板及び伝熱部材付基板の製造方法 | |
| CN112018058B (zh) | 一种电力逆变器模块及其制造方法 | |
| JP2009176996A (ja) | 高周波回路基板 | |
| JP7117960B2 (ja) | パワーモジュール用基板およびパワーモジュール | |
| KR20200142236A (ko) | 다층 구조의 방열체를 구비한 인쇄회로기판 및 그 제조방법 | |
| CN101496151A (zh) | 半导体器件以及制造半导体器件的方法 | |
| JP7670703B2 (ja) | 半導体モジュールの実装構造 | |
| JP7528573B2 (ja) | 回路構成体 |