JPWO2021229254A5 - - Google Patents

Description

本発明の逐次成形用工具について詳細に説明する。
上記逐次成形用工具は、図１に示す逐次成形装置１００の固定押圧工具１０１及び／又は移動押圧工具１０２として使用される棒状の工具である。この逐次成形用工具は、図２に示すように、逐次成形装置１００に取り付けられる保持部１１と、金属板を押圧する自由曲面部１２とを備え、上記自由曲面部１２が、少なくとも硬質金属基材１３から成り、その表面に結晶性の炭素を含む硬質膜１４を有する。

本発明においては、大きさが一定の砥粒が規則的に配置され、砥粒の高さが揃った固定砥粒の研磨シートを、図６に示すように、逐次成形用工具の自由曲面よりもわずかに曲率が小さい（半径が大きい）治具と逐次成形用工具とで挟む。そして、図６中、矢印で示すように、上記逐次成形用工具を回転させつつ上記治具を揺動させながら、研磨シートを一方向に移動させることで突出した山部を選択的に研削して山の高さを揃えた。
なお、硬質膜表面の突出山部の平均高さ（Ｒｐｋ）及び算術平均粗さ（Ｒａ）は、小さければ小さいほど良いが、研磨時間など生産性の観点から、実質的な下限は、突出山部の平均高さ（Ｒｐｋ）が０．００１μｍ程度、算術平均粗さ（Ｒａ）が０．００１μｍ程度である。

［実施例１］
直径２０ｍｍの棒状のＷＣに６％のＣｏを含む硬質金属基材（超硬合金）の表面を研磨し、所望の形状の自由曲面部を成形した後、室温で上記自由曲面部を５％の硝酸水溶液に１０分間浸漬し、硬質金属基材中のコバルトを溶出させて表面を粗らした。

上記表面を粗らした硬質金属基材の自由曲面部に、熱フィラメントＣＶＤ法で厚さ２０μｍの結晶性の炭素を含む硬質膜（ダイヤモンド膜＝ＣＶＤ法で成形したダイヤモンド膜）を形成した。

上記硬質膜の表面に、大きさが一定の砥粒が規則的に配置されて砥粒の高さが揃った固定砥粒の研磨シート（３Ｍ製 トライザクトダイヤモンドラッピングフィルム）を当接させ、さらに逐次成形用工具の自由曲面よりもわずかに曲率が小さい治具を押し当てて、上記研磨シートをバックアップした。
そして、上記硬質金属基材を回転させつつ上記治具を揺動させながら研磨シートを一方向に移動させて１２時間研磨し逐次成形用工具を得た。

＜逐次成形用工具の評価＞
実施例１～１１、比較例１及び２の逐次成形用工具を以下の方法で評価した。
評価結果を研磨条件と合わせて表２に示す。