JP2009166139A - ダイヤモンドドレッサ - Google Patents

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Abstract

【課題】単結晶ダイヤモンドの劈開部分が持つ切味を十分に発揮するドレッサを提供する。
【解決手段】複数の柱状の単結晶ダイヤモンドチップ4をボンド部5の表面に対して垂直に固着したダイヤモンドドレッサにおいて、前記複数の柱状の単結晶ダイヤモンドチップ4は、それぞれの先端面が同一面に配置されるようにボンド部5の表面から突出した突出部6を有し、前記先端面の外周縁部に劈開部分が形成されると共に、前記突出部6が被研削体と接触するときに、前記柱状の単結晶ダイヤモンドチップ4における劈開性の強い同一の結晶面がトラバース方向と交差する面と平行になるように揃えて固着されたことを特徴とするダイヤモンドドレッサ。突出部6の先端面の外周縁部の劈開部分7に存在する微小凹凸が切刃として機能することに加え、被研削体をドレッシングする際に突出部6の劈開が均等かつ連続的に起こるため、一定の切味が持続する。
【選択図】図4

Description

本発明は、複数の柱状の単結晶ダイヤモンドチップをボンド部の表面に対して垂直に固着したドレッシング部を有するダイヤモンドドレッサに関する。
従来、ビトリファイドボンドを使用した硬質の研削砥石のドレッシング(砥石の目立て、型直し)には、砥材にダイヤモンドを使用したドレッサ(以下、「ダイヤモンドドレッサ」と称す)を使用する。一般的には台金表面に粒状のダイヤモンド(ダイヤモンド砥粒)を埋設したドレッシング部を有し、回転している研削砥石の研削面にドレッシング部を押しつける形式のダイヤモンドドレッサが用いられている。しかしながら、このようなダイヤモンド砥粒を埋設した形式のダイヤモンドドレッサでは、ダイヤモンド砥粒がランダムに並ぶため、ダイヤモンド砥粒の摩耗が一様でないことに加え、ドレッシングの際の摩擦により、ダイヤモンド砥粒が脱粒し、研削砥石の研削面を粗くするため、研削砥石の研削面の精度がばらつくという問題がある。
一方、ダイヤモンドドレッサとして、長手方向において一様な断面形状を有する複数本の柱状の単結晶ダイヤモンドチップが適当な相互間隔を以て、固定用のボンド部に埋設され、該単結晶ダイヤモンドチップの先端面が露出している形式のものがある。
例えば、特許文献1には、長手方向に略同様な矩形断面を備えた柱状の単結晶ダイヤモンドチップ(以下、単に「単結晶ダイヤモンドチップ」ともいう。)を、その単結晶ダイヤモンドチップの先端面が露出した状態でドレッシング面の摩擦方向に沿って配設し、且つ、その矩形断面の対角線をそのドレッシング面の摩擦方向と略平行としたダイヤモンドドレッサが開示されている。また、特許文献2には、長手方向に略同様な矩形断面を備えた柱状の単結晶ダイヤモンドチップを、この単結晶ダイヤモンドチップの先端面が露出した状態でドレッシング面の摩擦方向に沿って配設し、且つ、その単結晶ダイヤモンドチップの側面を取り囲む周囲は、砥粒を所定の集中度で結合して構成したことを特徴とするダイヤモンドドレッサが開示されている。
このような形式のダイヤモンドドレッサは、単結晶ダイヤモンドチップの露出している先端面の突出長さができるだけ小さくなるように、固定用のボンド部に埋設されているため、単結晶ダイヤモンドチップの劈開による微細破壊が生じることないことから耐久性が高い。また、単結晶ダイヤモンドチップがボンド部に埋設されることで強固に固着しているため、砥石をドレスする際の摩擦によって単結晶ダイヤモンドチップが脱落することがない。さらには、一定形状の単結晶ダイヤモンドチップが規則配列されているため、このような形式のダイヤモンドドレッサは、研削砥石を精度よくドレッシングすることができる。
特許第3035486号公報 特許第2614694号公報
ところで、自動車のエンジン部分やエアコン部品のようなワークの深穴部の内面研磨用砥石には、CBN砥粒をビトリファイドボンドで結合した円筒形の砥石部を、軸部に固定した研削砥石(以下、「円筒形研削砥石」と称す)が用いられる。図10(a)に示されるように、円筒形研削砥石10は砥石部11の外径が10mmφ程度と小径であり、かつ、砥石部11の外径に対して砥石部の長手方向の長さと軸部12の長さが大きいため、撓みやすい性質を持つ。このような円筒形研削砥石のドレッシングには比較的ドレッシングに対する抵抗(ドレス抵抗)が小さいカップ型ロータリドレッサが使用されることが多い。図10(b)に単結晶ダイヤモンドチップが埋設された形式のカップ型ロータリドレッサ20を使用して、円筒形研削砥石10のドレッシングを行った例を示す。
カップ型ロータリドレッサ20は、台金21を回転駆動軸(図示せず)に装着し、全体を軸回転した状態で使用され、ドレッシング部22を回転軸線13を中心に回転している円筒形研削砥石10に圧接させ、円筒形研削砥石10あるいはカップ型ロータリドレッサ20を、被研削体の回転軸線13と平行な方向(トラバース方向)にトラバースさせることで、円筒形研削砥石10のドレッシングを行う。
しかしながら、円筒形研削砥石10は撓みやすいため、円筒形研削砥石10の砥石部11に、ボンド部24に単結晶ダイヤモンドチップ23が埋設されたドレッシング部22を押しつけると円筒形研削砥石10が撓み、ドレッシング部22を砥石部11に圧接させることができないため、精度よくドレッシングが行えないのが実状である。
この円筒形研削砥石の撓み現象を回避するためには、ドレッシングを行う際にドレッサを円筒形研削砥石に押しつける圧力が小さくても十分にドレッシングが行えればよい。
砥石のドレッシングにおいて、ドレッサの切味がよいほどドレッサを被研削体(砥石)に押しつける力が小さくなるので、高精度なドレッシングを行うことができる。このような背景から、特に切味がよいドレッサの開発が望まれている。
本発明者は、上記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、単結晶ダイヤモンドの劈開部分には微小な凹凸が存在し、この微小な凹凸が鋭利な切刃として機能することを見いだし、劈開部分を有効に使用することを考えた。
しかしながら、特許文献1,2記載されている、従来の単結晶ダイヤモンドチップをボンド部に埋設した形式のダイヤモンドドレッサでは、単結晶ダイヤモンドチップの先端面の外周縁部がボンドで保護されている構成であるため、単結晶ダイヤモンドチップの劈開がほとんど起こらない。そのため、単結晶ダイヤモンドの劈開部分に存在し鋭利な切刃として機能する微小な凹凸を有効に利用することができない。
そこで本発明は、単結晶ダイヤモンドチップの劈開部分を切刃として十分に機能させることができるダイヤモンドドレッサを提供することを目的とする。
本発明のダイヤモンドドレッサは、複数の柱状の単結晶ダイヤモンドチップをボンド部の表面に対して垂直に固着したダイヤモンドドレッサにおいて、前記複数の柱状の単結晶ダイヤモンドチップは、それぞれの先端面が同一面に配置されるようにボンド部の表面から突出した突出部を有し、前記先端面の外周縁部に劈開部分が形成されると共に、前記突出部が被研削体と接触するときに、前記柱状の単結晶ダイヤモンドチップにおける劈開性の強い同一の結晶面がトラバース方向と交差する面と平行になるように揃えて固着されたことを特徴とする。
このような構成とすれば、単結晶ダイヤモンドチップの先端面が同一面に配置されるようにボンド部の表面から突出した突出部が設けられているため、ドレッシングの際に被研削体(ドレッシング対象となる砥石)にダイヤモンドドレッサを圧接させたときに、被研削体を均等な押圧力で研削することができる。さらに単結晶ダイヤモンドチップの先端面外周縁部に切刃として機能する微小な凹凸を有する劈開部分が設けられているため、ダイヤモンドドレッサを強く押しつけることなく被研削体を精度よくドレッシングすることができる。
加えて、単結晶ダイヤモンドチップの突出部を被研削体と圧接するとき(ドレッシング時)に、単結晶ダイヤモンドチップにおける劈開性の強い同一の結晶面がトラバース方向と交差する面と平行になるように揃えて固着されているため、常に劈開性が強い同一の結晶面がトラバース方向で被研削体と接触する。その結果、被研削体との間に生じる強い摩擦によって、単結晶ダイヤモンドチップの劈開性が強い同一の結晶面での劈開が連続して起こるため、一定の切味が持続する。ここで、「トラバース方向」とは、ダイヤモンドドレッサを被研削体に接触させ、トラバース(横送り)する方向を意味する。
なお、前記劈開性の強い同一の結晶面には(111)面、(211)面及び(110)面が挙げられる。特に(111)面は、劈開が起こりやすいことに加え、耐摩耗性が高いため好ましく選択される。
さらに、前記突出部の突出長さは0.02mm以上0.3mm以下であることが望ましい。突出部の突出長さが0.02mm未満であると、ボンド部に保護されて単結晶ダイヤモンドチップの劈開が抑制され、0.3mmより大きいと被研削体と圧接するときに折損が生じるため好ましくない。
また、前記突出部の先端面における前記劈開部分の割合が、前記柱状の単結晶ダイヤモンドチップの長手方向の断面積の20%以上50%以下であることが望ましい。
劈開部分の割合が20%未満であると、特にダイヤモンドドレッサの使用初期の切味が不十分で精度の高いドレッシングを行うことができず、50%を超えると機械強度が低下して、折損が生じるため好ましくない。
なお、「劈開部分の割合」とは、柱状の単結晶ダイヤモンドチップの長手方向の断面積(劈開部分形成前の先端面の面積と同一)と前記単結晶ダイヤモンドチップの先端面外周縁部に形成された劈開部分の面積の比である。また、この劈開部分の面積は、単結晶ダイヤモンドチップの長手方向の断面積と、劈開部分形成後の先端面における劈開していない部分の面積との差である。
さらに、前記単結晶ダイヤモンドチップの先端面及び外周縁部に、マイクロクラックを形成することが好ましい。
単結晶ダイヤモンドチップに形成されたマイクロクラックは切刃として作用するだけでなく、このマイクロクラックを起点として、次々と単結晶ダイヤモンドチップの劈開が起こるため、常にフレッシュな劈開部分が露出し、高い切味が持続する。また、突出部の外周面だけでなく、先端面にもマイクロクラックを形成すると、単結晶ダイヤモンドチップの切刃として機能する微小の凹凸の数が増え切味が増す。なお、本発明において「マイクロクラック」とは、大きさが数十μm程度のクラックを意味し、特に単結晶ダイヤモンドの表面だけでなく、内部にまで亀裂が生成しているものを指す。
また、前記マイクロクラックは、ブラスト処理により形成されることが望ましい。単結晶ダイヤモンドチップの表面にブラスト処理すると、単結晶ダイヤモンドチップの表面に微小の凹凸やマイクロクラックが形成される。
また、前記柱状の単結晶ダイヤモンドチップの長手方向の断面積が0.04mm2以上1mm2以下であることが望ましい。断面積が0.04mm2未満であると、被研削体(ドレッシング対象となる砥石)表面の凹凸を十分に研削できないため、ドレッシングによって被研削体の表面が平坦にならず、表面精度が低くなる。また、単結晶ダイヤモンドチップ自体の機械強度が低いため折損が生じやすくなる。一方、断面積が1mm2を超えると、単結晶ダイヤモンドチップと被研磨体との摩擦抵抗が大きくなり、被研磨体が撓むことでドレッシングがうまく行えないため好ましくない。
本発明のダイヤモンドドレッサは、切刃となる微少な凹凸を有する劈開部分が形成されているため、使用初期から高い切味を有する。さらに、本発明のダイヤモンドドレッサはドレッシング中にも劈開が適度に促進される構成であるため、高い切味が持続する。そのため、本発明のダイヤモンドドレッサは、特に切味が必要な砥石(例えば、小径長軸の円筒形研削砥石)のドレッシングに好適に使用することができる。
以下に、本発明に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。なお、本発明の一実施形態として、図9(a)で示した内面研磨用の小径長軸の円筒形研削砥石のドレッシングに使用される、カップ型ロータリドレッサに単結晶ダイヤモンドを埋設したダイヤモンドドレッサの例を示すが、本発明はこの用途に限定されるものではない。
図1(a)は、本実施形態のカップ型ロータリドレッサ1の平面図、図1(b)は、カップ型ロータリドレッサ1のA−A断面図、図2は柱状の単結晶ダイヤモンドチップ(劈開部分形成前)と近傍の部分拡大断面図、図3(a)は四角柱状の単結晶ダイヤモンドチップ(劈開部分形成前)と近傍の部分拡大斜視図、図3(b)はその平面図、図4(a)は柱状ダイヤモンドチップと近傍の部分拡大斜視図(劈開部分形成後)、図4(b)はその平面図(劈開部分形成後)である。
カップ型ロータリドレッサ1は、有底略円筒状の台金2と、台金2の開放端側外周面全周上に設けられたドレッシング部3とで構成され、ドレッシング部3はメタルボンドからなるボンド部5と、ボンド部5に一定間隔で固着された複数の単結晶ダイヤモンドチップ4から構成される。
単結晶ダイヤモンドチップ4は、先端面の結晶方位が(110)面であり、かつ、長手方向の対向する側面の結晶方位が劈開性の強い(111)面及び(211)面であり、その長手方向の断面形状が正方形である単結晶ダイヤモンドチップである。なお、先端面の結晶方位が(211)面、長手方向の対向する側面の結晶方位が(111)面及び(110)面となる単結晶ダイヤモンドチップを使用することもできる。
また、単結晶ダイヤモンドチップ4の長手方向の長さA(図2参照)は2〜5mm程度であり、長手方向の断面の正方形の一辺の長さB(図2,図3(b)参照)は、0.2〜1mmの範囲で適宜決定される。
以下、長手方向の長さAが2mmで、先端面の結晶方位が(110)面で長手方向の対向する側面の結晶方位が劈開性の強い(111)面及び(211)面である単結晶ダイヤモンドチップ4を使用した場合について説明する。
この単結晶ダイヤモンドチップ4は、図3(a)に示すように、その一端がボンド部5の上面5aから垂直に突き出した状態でボンド部5に埋設されている。また、単結晶ダイヤモンドチップ4のボンド部5の上面5aから突出している部分である突出部6の突出長さが揃うように埋設されている。このような構成において、単結晶ダイヤモンドチップ4の先端面は(110)面であり、その外周側面は劈開性の強い(111)面及び(211)面である。なお、図3(a),(b)に示すように本実施形態では、長手方向の対向する側面のうち、(111)面が、カップ型ロータリドレッサ1の接線方向と平行、すなわち、ボンド部5の側面5bと平行となるようにボンド部5に埋設されているが、(211)面がカップ型ロータリドレッサ1の接線方向と平行になるようにボンド部5に埋設されてもよい。
単結晶ダイヤモンドチップ4の突出部6の突出長さC(図2参照)は0.02mm以上とする。これ未満であると、ボンド部5に保護されて、後述する劈開処理を行ったとしても単結晶ダイヤモンドチップ4の突出部の劈開が起こりづらい。なお、単結晶ダイヤモンドチップ4の突出長さCが余り長いと折損しやすくなるため、0.3mmまでが適している。
単結晶ダイヤモンドチップ4のボンド部5への埋設長さA−Cは1.7mm〜1.98mmである。単結晶ダイヤモンドチップ4の長さAが短すぎると、ボンド部5への埋設長さが短くなり、ドレッシング中に単結晶ダイヤモンドチップ4がボンド部5から脱落してしまうので、埋設長さを長くする。
ボンド部5の幅Dは単結晶ダイヤモンドチップ4を強固に埋設するためにダイヤモンドチップの一辺の長さBの2倍以上(本実施形態では1.5mm)ある。また、各単結晶ダイヤモンドチップ4の間隔Eは、ドレッシングを行う被研削体の硬度、大きさなどに合わせて決定すればよく、通常、0.4〜2mmである。
また、本実施形態では長手方向の断面形状が四角形(正方形)の単結晶ダイヤモンドチップを用いているが、長手方向の断面形状は特に限定されず、三角形、六角形などの多角形、円形などでもよいが、加工のしやすさから四角形(特に正方形)が好ましい。また、断面形状の一辺の長さBが0.2mm未満(断面積:0.04mm2)であると強度が弱すぎてドレッシングを行ったときに折損しやすくなる。また、長さBが1mm(断面積:1mm2)を超えるとドレッシングを行うときの摩擦抵抗が大きくなりすぎるため好ましくない。
図4は柱状の単結晶ダイヤモンドチップの先端面の外周縁部を劈開させた状態を示すものであり、突出部6の先端面の外周部には、劈開部分7が形成されている。劈開部分7には多数の微小な凹凸が存在し、この微小な凹凸のそれぞれ切刃として機能する。なお、突出部6の先端面における劈開部分の割合は、20%以上50%以下とするとドレッシング使用初期から十分な切味を有し、十分な耐久性を有する。劈開部分の割合が20%未満であると、使用初期の切味が不十分で、精度の高いドレッシングを行うことができず、50%を超えると機械強度が低下して、必要以上の劈開が起こり、単結晶ダイヤモンドチップ4が激しく減少する。なお、劈開部分7の形成方法として、硬質体の研削を行うことで単結晶ダイヤモンドチップの表面を機械的に破壊する方法があるが、後述するアルミナ砥粒を用いたブラスト処理は単結晶ダイヤモンドチップの外周部の全体(側部の四面と先端面)を均等に加工できるため効果的である。
また、上述したように本実施形態のカップ型ロータリドレッサ1では、単結晶ダイヤモンドチップ4の突出長さが揃うように形成されているため、個々の単結晶ダイヤモンドチップ4の先端面が同一面を形成し、個々の単結晶ダイヤモンドチップ4が均等に被研削体(円筒形研削砥石)に圧接するため、均等な押圧力でドレッシングを行うことができる。
図5(a)は本実施形態のカップ型ロータリドレッサ1を使用して小径長軸の円筒形研削砥石10のドレッシングを行った場合を示す模式図(断面図)である。
以下、図5(a)に基づいて本実施形態のカップ型ロータリドレッサ1の使用形態を説明する。なお、カップ型ロータリドレッサ1の基本的な使用形態については図10(b)で説明した従来例と同様であるので省略する。
図5(a)において、カップ型ロータリドレッサ1のドレッシング部3を、円筒形研削砥石10の砥石部11に押しつけると単結晶ダイヤモンドチップ4の突出部6(図4参照)の先端面のみが砥石部11に接触する。このように先端面のみが被研削体に接触する構成であるため、単結晶ダイヤモンドチップ4の先端面だけでなく、ボンド部5が砥石部11に接触する従来例(図10参照)と比較して、押圧力が小さくなる。
さらにこの先端面の外周縁部には、強い切味を有する劈開部分7(図4参照)が形成されているため、突出部6を砥石部11に強く押しつけることなく十分にドレッシングを行うことができ、その結果、円筒形研削砥石10の撓み現象が起こらない。
さらに突出部6は、常に劈開性の強い(111)面がトラバース方向と交差する面と平行になるように円筒形研削砥石10と接触し、被研削体との間に生じる強い摩擦によって劈開が連続して起こるため、一定の切味が持続する。
また、カップ型ロータリドレッサは接触面積を小さくするため、台金を傾斜させて使用することも多いが、本実施形態のカップ型ロータリドレッサ1は突出部6が設けられているため、傾斜をさせても単結晶ダイヤモンドチップ4のみを被研削体である円筒形研削砥石10の砥石部11に押しつけることができる。
図6は本実施形態のダイヤモンドドレッサにおいて、ブラスト処理後の単結晶ダイヤモンドチップ4を示すものであり、(a)はブラスト処理後の単結晶ダイヤモンドチップと近傍の部分拡大斜視図、(b)はその平面図である。ここで、ブラスト処理とは、ガラス、アルミナなどの硬質の粉末からなる研磨剤を高速で吹き付けて対象物表面を粗化する方法であって、ブラスト処理をすることにより、単結晶ダイヤモンドチップ4の突出部6の周面及び先端面に、マイクロクラックを形成することができる。
このように形成されたマイクロクラックは、それ自身が切刃として作用するだけでなく、ドレッシングを行うときには、このマイクロクラックを起点として、次々と単結晶ダイヤモンドチップ4の劈開を引き起こす。そのため、常にフレッシュな劈開部分が露出するため、ブラスト処理を行ったダイヤモンドドレッサは高い切味が持続する。また、突出部の外周面だけでなく、先端面にもマイクロクラックが形成され切刃として機能するため、全体の切味が向上する。
さらに、ダイヤモンドドレッサ使用中にマイクロクラックが少なくなり、劈開が起こりづらくなったときに再度、ブラスト処理を行うと、マイクロクラックが形成され再び劈開が促進するため、ダイヤモンドドレッサの切味を回復させることができる。
このように、図3に示す新品の単結晶ダイヤモンドチップ4の全体をブラスト処理して図5のように劈開部分とマイクロクラックを形成することにより、使用初期から切味のよいカップ型ロータリドレッサが得られる。なお、本実施形態では、ボンド部5にダイヤモンドチップ4を埋設したのちにブラスト処理を行ったが、事前にブラスト処理を行ったダイヤモンドチップ4をボンド部5に埋設してもよい。
発明品としての四角柱状の単結晶ダイヤモンドチップと、比較品としての四角柱状の多結晶ダイヤモンドチップを本発明の実施形態に係るカップ型ロータリドレッサに固着してブラスト処理を行い、ダイヤモンドチップ先端面の外周面に劈開部分を形成した。
以下に使用したダイヤモンドチップ及びカップ型ロータリドレッサの寸法を示す。(A〜Eは図2及び図3を参照)

「ダイヤモンドチップ、カップ型ロータリドレッサの寸法」
柱状ダイヤモンドチップ :四角柱状
長手方向の長さA :2mm,
断面の一辺の長さB :0.5mm(略正方形)
突出長さC :0〜0.3mm
ボンド部の幅D :1.5mm
ダイヤモンドチップの間隔E:1.5mm
ドレッサ外径 :50mmφ
ダイヤモンドチップの本数 :80本

「ブラスト処理条件」
研磨剤:WA (粒度 60〜240メッシュ)
噴霧圧力:2〜4kg/cm2
処理時間:1〜5分
それぞれのダイヤモンドチップ先端面表面を電子顕微鏡によって観察した結果を図7に示す。図7(a)に示されるように単結晶ダイヤモンドチップ(発明品)では、無数のマイクロクラック(図中の黒線で囲まれた部分)が観察された。これらのマイクロクラックは単結晶ダイヤモンドチップの表面だけでなく、μmオーダーで内部にも形成されている。なお、このマイクロクラックはブラスト処理前の単結晶ダイヤモンドチップ(図示せず)には観察されなかったことから、ブラスト処理により形成されたことは明らかである。一方、図7(b)に示されるように多結晶ダイヤモンドチップ(比較品)の表面には、マイクロクラックは観察されなかった。
なお、電子顕微鏡観察は、先端面の中心近傍だけでなく外周部分(いわゆる劈開部分)について行ったが、単結晶ダイヤモンドチップにはマイクロクラックが観察され、多結晶ダイヤモンドチップにはマイクロクラックは観察されなかった。
次に、ブラスト処理を行った単結晶ダイヤモンドチップと、ブラスト処理を行っていない単結晶ダイヤモンドチップがボンド部に埋設されたカップ型ロータリドレッサについてそれぞれのドレッシング性能の関係を比較した。
試験条件は以下の通りである。
ドレッシング対象物:円筒形研削砥石
CBN砥粒(200/230メッシュ)
ビトリファイドボンド(CBN200M180VN1)
砥石部(外径:8mmφ,長さ:25mm)
軸(外径:6mmφ,長さ:50mm)
送り速度 :円筒形研削砥石1回転当り;0.03mm
切り込み深さ :2μm
切り込み回数 :5パス
ドレッサ周速 :800m/min
円筒形研削砥石周速:2000m/min

円筒形研削砥石で研削したワーク :鋳鉄材(穴径:10mmφ,長さ:30mm)
ブラスト処理を行っていない単結晶ダイヤモンドチップを使用したカップ型ロータリドレッサを使用して、円筒形研削砥石のドレッシングを行うと、ドレッシング初期の切味が悪く、ドレッシングを続けると更に切味が悪くなり、円筒形研削砥石の軸が大きく撓み、ドレッシングを行うことができなくなった。そのため、ドレッシング処理後に得られた円筒形研削砥石の円筒度(表面平坦性)が悪く、この円筒形研削砥石を使用してワークを精度よく研削することができなかった。
一方、ブラスト処理を行った単結晶ダイヤモンドチップを使用したカップ型ロータリドレッサで円筒形研削砥石のドレッシングを行うと、使用初期から円筒形研削砥石のドレッシングを良好に行うことができた。すなわち、ブラスト処理によって形成された劈開部分に存在する微小な凹凸が切刃として有効に機能していることがわかる。また、ドレッシングを続けてもドレッサの切味が持続した。その結果、ドレッシング処理後の円筒形研削砥石の円筒度は非常に良く、この円筒形研削砥石を用いると、ワークを精度よく研削することができた。
次にブラスト処理を行った単結晶ダイヤモンドチップを使用したカップ型ロータリドレッサを使用して円筒形研削砥石を使用して、単結晶ダイヤモンドチップの突出部分についてのパラメータ(劈開部分の割合、突出長さ)を変化させて、ドレッシング性能を評価した。
図8は、柱状の単結晶ダイヤモンドチップの突出部の先端面における劈開部分の割合と、円筒形研削砥石をドレッシングした時のドレス抵抗の関係を示す図であり、図9は柱状の単結晶ダイヤモンドチップの突出長さと、円筒形研削砥石をドレッシングした時のドレス抵抗の関係を示す図である。なお、劈開部分は、ブラスト処理を行うことによって形成され、その劈開部分の割合は処理条件(噴霧圧力、処理時間)を適当にすることで制御した。また、図8,9においてドレス抵抗とは、使用したカップ型ロータリドレッサを回転させるモーターに加わる電力値(負荷)であり、電力が低いほどドレッサに負荷がかかっていないことを意味し、ドレッシングに対する抵抗が低い(すなわち、切味がよい)ことを意味する。
図8において、劈開部分の割合が10%までは、ブラスト処理なし(劈開部分の割合:0%)と同様に研削時のドレス抵抗が高く、ドレッシング処理後に得られた円筒形研削砥石の円筒度(表面平坦性)が悪かった。
劈開部分の割合が10%を超えるとドレス抵抗が著しく低下し、20%ではブラスト処理なしのドレス抵抗の半分以下となり、さらに劈開部分の割合が増加するにしたがってドレス抵抗は低下した。しかしながら、劈開部分の割合が50%を超えると一部の単結晶ダイヤモンドチップの折損が確認され、60%を超えると多数の単結晶ダイヤモンドチップに折損が発生した。結果として、劈開部分の割合が20から50%の場合はドレス抵抗が低く、安定してドレッシングを行うことができ、ドレッシング後の円筒形研削砥石は全体として円筒度(表面平坦性)が良く、その表面を顕微鏡観察すると、ビトリファイドボンドに固着されたCBN砥粒には均等な凹凸が形成されていた。
図9において、単結晶ダイヤモンドチップの突出長さが0.02mmまでは突出長さが増えるに従い、ドレス抵抗が著しく減少し、0.05mm以上でほぼ一定の値を示した。突出長さが0.02mm以下の場合ではドレス抵抗が安定しなかった理由として、突出長さが小すぎて、ダイヤモンドチップの劈開を進行させることができないためであると考えられる。なお、突出長さが0.3mmを超えると折損が多量に発生した。
柱状の単結晶ダイヤモンドチップの長手方向の断面積と加工精度の関係を評価した。評価方法として、単結晶ダイヤモンドチップの長手方向の断面の一辺の長さB(図3(b)参照)を変化させ、単結晶ダイヤモンドチップの長手方向の断面積Sを変化させたときの被研削体(円筒形研削砥石)の表面平坦性と表面微小凹凸性を調べた。
ここで、表面平坦性は面粗さ計で測定した処理後の円筒形研削砥石の輪郭精度であり、表面微小凹凸性は顕微鏡観察によって評価した、円筒形研削砥石に固着されたCBN砥粒にドレッシングによって形成された凹凸の均一性である。結果を表1に示す。
柱状の単結晶ダイヤモンドチップの一辺の長さBが0.1〜0.8mm(断面積S:0.01〜0.64mm2)の場合、ドレス抵抗が小さくドレッシングをスムーズに行うことができた。一方で、Bが1mm(断面積S:1mm2)になると若干ドレス抵抗が増し、1.2mm(断面積S:1.44mm2)になるとドレス抵抗が大きくなり、円筒形研削砥石に撓みうまくドレッシングを行うことができなかった。
面粗さ計でドレッシング後の円筒形研削砥石の表面を評価すると、Bが0.2〜1mm(断面積S:0.25〜1mm2)では表面が平坦であったのに対し、0.1mm(断面積S:0.01mm2)では円筒形研削砥石の表面に若干の凹凸が確認され、1.2mm(断面積S:1.44mm2)ではドレッシングを行う前とあまり差がなかった。
ドレッシング後の円筒形研削砥石に固着されたCBN砥粒の表面を顕微鏡観察すると、Bが0.1〜0.5mmでは、CBN砥粒の表面に均一な凹凸が形成されていることが確認された。一方、0.8mm、1mmになると凹凸形状の均一性が低下し、撓みが生じた1.2mmでは凹凸形状がほとんど形成されていなかった。
従って、単結晶ダイヤモンドチップの一辺の長さBが0.2〜1mm(断面積S:0.04〜1mm2)では、被研削体の表面平坦性及び被研削体の表面微小凹凸性が共によかった。
本発明は、単結晶ダイヤモンドが持つ切味を十分に発揮するドレッサを提供する技術として、特に被研削体とドレッサとの接触圧力を大きくすることが望ましくない研削加工の分野において好適に利用することができる。
(a)は本発明の実施の形態に係るカップ型ロータリドレッサの平面図、(b)は(a)におけるカップ型ロータリドレッサのA−A断面図である。 本発明の実施の形態に係る単結晶ダイヤモンドチップ近傍の部分拡大断面図である。 本発明の実施の形態に係る単結晶ダイヤモンドチップとボンド部近傍を示すものであり、(a)は単結晶ダイヤモンドチップと近傍の部分拡大斜視図、(b)はその平面図である。 本発明の実施の形態に係る単結晶ダイヤモンドチップの外周部が劈開した状態を示すものであり、(a)は単結晶ダイヤモンドチップと近傍の部分拡大斜視図、(b)はその平面図である。 本発明の実施の形態に係るカップ型ロータリドレッサを使用して小径長軸の円筒形研削砥石のドレッシングを行った場合を示す模式図(断面図)、(b)は、本発明の実施の形態に係るカップ型ロータリドレッサを傾斜さえて使用する場合を示す模式図である。 本発明の実施の形態に係る単結晶ダイヤモンドチップの外周部の全体にブラスト処理を行った状態を示すものであり、(a)は単結晶ダイヤモンドチップと近傍の部分拡大斜視図、(b)はその平面図である。 ブラスト処理を行った単結晶ダイヤモンドチップの電子顕微鏡像であり、(a)は単結晶ダイヤモンドチップ(発明品)、(b)は多結晶ダイヤモンドチップ(比較品)である。 柱柱状の単結晶ダイヤモンドチップの突出部の先端面における劈開部分の割合と、円筒形研削砥石をドレッシングした時のドレス抵抗の関係を示す図である。 柱状の単結晶ダイヤモンドチップの突出長さと、円筒形研削砥石をドレッシングした時のドレス抵抗の関係を示す図である。 (a)は内面研磨用砥石に使用される小径長軸の円筒形研削砥石の模式図、(b)は(a)における円筒形研削砥石を従来のカップ型ロータリドレッサを使用してドレッシングを行った場合の模式図(断面図)である。
符号の説明
1,20 カップ型ロータリドレッサ
2,21 台金
2a 中心部
2b 回転軸線
3,22 ドレッシング部
4,23 単結晶ダイヤモンドチップ
5,24 ボンド部
5a 表面
5b 側面
6 突出部
7 劈開部分
8 マイクロクラック
10 円筒形研削砥石
11 砥石部
12 軸部
13 回転軸線

Claims (6)

  1. 複数の柱状の単結晶ダイヤモンドチップをボンド部の表面に対して垂直に固着したダイヤモンドドレッサにおいて、
    前記複数の柱状の単結晶ダイヤモンドチップは、
    それぞれの先端面が同一面に配置されるようにボンド部の表面から突出した突出部を有し、
    前記先端面の外周縁部に劈開部分が形成されると共に、
    前記突出部が被研削体と接触するときに、前記柱状の単結晶ダイヤモンドチップにおける劈開性の強い同一の結晶面がトラバース方向と交差する面と平行になるように揃えて固着されたことを特徴とするダイヤモンドドレッサ。
  2. 前記突出部の突出長さは0.02mm以上0.3mm以下であることを特徴とする請求項1に記載のダイヤモンドドレッサ。
  3. 前記柱状の単結晶ダイヤモンドチップの長手方向の断面積に対する前記劈開部分の割合が、20%以上50%以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のダイヤモンドドレッサ。
  4. 前記柱状の単結晶ダイヤモンドチップの先端面及び外周縁部に、マイクロクラックを形成したことを特徴とする請求項1から3のいずれかの項に記載のダイヤモンドドレッサ。
  5. 前記マイクロクラックは、ブラスト処理により形成されたことを特徴とする請求項4に記載のダイヤモンドドレッサ。
  6. 前記柱状の単結晶ダイヤモンドチップの長手方向の断面積が0.04mm2以上1mm2以下であることを特徴とする請求項1から5のいずれかの項に記載のダイヤモンドドレッサ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3778119A4 (en) * 2018-04-12 2022-01-19 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. TRAINER
JP7338924B1 (ja) 2023-01-11 2023-09-05 株式会社ツールテックス ダイヤモンドドレッサの製造方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03138106A (ja) * 1989-10-25 1991-06-12 Sumitomo Electric Ind Ltd ダイヤモンドの加工方法
JPH0392187U (ja) * 1989-12-29 1991-09-19
JP2000218512A (ja) * 1999-01-28 2000-08-08 Osaka Diamond Ind Co Ltd Cmp用パッドコンディショナーおよびその製造方法
JP2001105314A (ja) * 1999-10-08 2001-04-17 Allied Material Corp ダイヤモンドロータリードレッサ及びその製造方法
JP2005288685A (ja) * 2004-03-10 2005-10-20 Read Co Ltd 研磨布用ドレッサー及びその製造方法
JP2006088243A (ja) * 2004-09-22 2006-04-06 Toyoda Mach Works Ltd 砥粒及び砥石
JP2006117905A (ja) * 2004-09-22 2006-05-11 Toyoda Mach Works Ltd 砥粒及び砥石
JP2008006507A (ja) * 2006-06-26 2008-01-17 Ebara Corp ダイヤモンド研磨工具、ダイヤモンド研磨工具の作成方法、ダイヤモンド研磨工具の再生方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03138106A (ja) * 1989-10-25 1991-06-12 Sumitomo Electric Ind Ltd ダイヤモンドの加工方法
JPH0392187U (ja) * 1989-12-29 1991-09-19
JP2000218512A (ja) * 1999-01-28 2000-08-08 Osaka Diamond Ind Co Ltd Cmp用パッドコンディショナーおよびその製造方法
JP2001105314A (ja) * 1999-10-08 2001-04-17 Allied Material Corp ダイヤモンドロータリードレッサ及びその製造方法
JP2005288685A (ja) * 2004-03-10 2005-10-20 Read Co Ltd 研磨布用ドレッサー及びその製造方法
JP2006088243A (ja) * 2004-09-22 2006-04-06 Toyoda Mach Works Ltd 砥粒及び砥石
JP2006117905A (ja) * 2004-09-22 2006-05-11 Toyoda Mach Works Ltd 砥粒及び砥石
JP2008006507A (ja) * 2006-06-26 2008-01-17 Ebara Corp ダイヤモンド研磨工具、ダイヤモンド研磨工具の作成方法、ダイヤモンド研磨工具の再生方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3778119A4 (en) * 2018-04-12 2022-01-19 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. TRAINER
JP7338924B1 (ja) 2023-01-11 2023-09-05 株式会社ツールテックス ダイヤモンドドレッサの製造方法

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