JP2002121040A - 脆性材料基板用カッターホイールおよびそれを備えたスクライバー - Google Patents

脆性材料基板用カッターホイールおよびそれを備えたスクライバー

Info

Publication number
JP2002121040A
JP2002121040A JP2001236437A JP2001236437A JP2002121040A JP 2002121040 A JP2002121040 A JP 2002121040A JP 2001236437 A JP2001236437 A JP 2001236437A JP 2001236437 A JP2001236437 A JP 2001236437A JP 2002121040 A JP2002121040 A JP 2002121040A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cutter wheel
wheel
material substrate
brittle material
glass
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001236437A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002121040A5 (ja
JP4865160B2 (ja
Inventor
Kazuya Maekawa
和哉 前川
Haruo Wakayama
治雄 若山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Original Assignee
Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd filed Critical Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority to JP2001236437A priority Critical patent/JP4865160B2/ja
Publication of JP2002121040A publication Critical patent/JP2002121040A/ja
Publication of JP2002121040A5 publication Critical patent/JP2002121040A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4865160B2 publication Critical patent/JP4865160B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のガラスカッターホイールでは品質を低
下させる水平クラックが多量に発生した。 【解決手段】 ディスク状ホイールの円周部に沿ってV
字形の刃を有するガラスカッターホイール11におい
て、前記V字形の刃を形成する際に、刃の稜線部である
刃先13が側方から見て多角形の形状となるように加工
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス板上に圧接
状態にして転動させることでスクライブライン(切筋)を
刻むガラスカッターホイールに関する。また、このカッ
ターホイールは半導体ウエハーやセラミックス等を分断
するためのスクライブカッターとしても用いられる。
【0002】
【従来の技術】本発明の説明には、加工対象がガラス板
であるガラスカッターホイールを例として用いる。ま
た、同じカッターホイールが半導体ウエハーやセラミッ
クス等の脆性材料の分断用として用いられる。このガラ
スカッターホイールは、超硬合金製または焼結ダイヤモ
ンド製の円盤に対して両側の円周エッジ部を互いに斜め
に削り込み、円周面にV字形の刃を形成したものであ
り、このホイールは自動ガラススクライバーのカッタヘ
ッド等に回転自在に軸着して用いられる。
【0003】しかしこのようなガラスカッターホイール
では、深い切り込み(垂直クラック)が得られず、又、ス
クライブ時にガラス板上でスリップし易く、そのため刃
先が摩耗しやすいという欠点があり、スクライブライン
に沿って残留応力が発生し、ブレーク後、ガラス断面に
不用な欠け(水平クラック)が生じ易いというガラス加工
後の品質上の問題があった。
【0004】そこで本願出願人が先に開示した「ガラス
カッターホイール」(特願平8−141614号)では図
1に示したように、ガラスカッターホイール1に形成し
たV字状の刃2の稜線部である刃先3に沿い、微細な切
り欠き4を等間隔で設けることで突起5を形成してい
る。これにより、スクライブ時の残留応力の発生を抑え
るとともに、 ブレーク後、ガラス断面に不用な欠け(水
平クラック)の発生を増大させることなく、ガラスを貫
通するような深い垂直クラックを得ることに成功した。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本願発明が提供しよう
としているガラスカッターホイールの主な加工対象は液
晶パネルである。近年、この液晶パネルの需要は急増し
ており、それにつれて高品位の液晶パネルが求められる
ようになっている。そのためにも品質を低下させるよう
な水平クラックの発生を極力抑えなければならなかっ
た。
【0006】本願発明は、スクライブ性能を損ねること
なく、水平クラックの発生を少なくできるガラスカッタ
ーホイールを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、ディスク状ホ
イールの円周部に沿ってV字形の刃を有するガラスカッ
ターホイール11において、前記V字形の刃を形成する
際に、刃の稜線部である刃先13が多角形の形状となる
ように加工した。
【0008】
【発明の実施の形態】図2に本発明の第1実施形態を示
している。ガラスカッターホイール11におけるV字状
の左右の刃12の稜線部である刃先13を、側方から見
て正60角形(図面ではわかりやすくするために正18
角形に簡略化している)とすると共に、前記正60角形
の各辺を含む平面で刃の面を削り取ることで125°の
刃先角度θを持つ前記V字状の刃12を形成している。
つまり、刃先13をも含めた刃12のいずれの個所にお
いても、その個所における側断面が正60角形になって
おり、図2の中図のQ−Q'ラインでの側断面を右図に
示した。
【0009】尚、後で記す製作例でわかるように、実際
には刃12を形成していくことで刃先13を正60角形
に形成していく。
【0010】本実施形態でのガラスカッターホイール1
1の寸法を次表に示す。
【0011】このガラスカッターホイール11を用い、
次表のスクライブデータによりスクライブを行った。
【0012】これによると、垂直クラックの深さは図1
のガラスカッターホイール1の場合と同程度だったのに
対し、水平クラックの発生を抑制することができた。図
1のガラスカッターホイール1で深い垂直クラックが得
られた理由として、刃先3に形成した突起5がスクライ
ブ時にガラス板に打点衝撃を与えたためと推察されてい
る。しかし、突起5自体がガラスカッターホイールの稜
線部となっているため、、その稜線部を切り欠くことで
形成された4a部と4b部が作用して水平クラックを発
生させると考えられる。
【0013】一方、本発明のガラスカッターホイール1
1では、正60角形の角頂点がガラス板に打点衝撃を与
えるものの、その頂点自身は刃先方向に長さを持たず、
しかも頂点以外は直線部(正60角形の1辺)となってい
るため、その直線部でのガラス板への食い込み量は少な
く、よって、水平クラックの発生が抑制されたものと考
えられる。
【0014】本ガラスカッターホイール11を製作する
ための加工装置を図3に示している。超硬合金製のディ
スク状ホイール20を軸固定した上で、V字状の刃の左
側を形成するために、その刃の角度方向に移動可能なグ
ラインダー22を前記方向に移動させ研磨することによ
り、ディスク状ホイール20の左側に60角形の1辺を
含む平面23を形成する。この後、ホイール20を6°
(=360/60)回転させる毎に上述と同じ加工を繰返
すことで、左側のみ60角形の平面を有するホイールが
得られる。そしてV字状の刃の右側を形成するために、
ホイールを軸から取り外して裏返した後に、再度軸固定
する。その後、画像処理システム(図示せず)によりホ
イールを加工条件に合うように位置決めし、グラインダ
ー22を再度移動させることにより右側にも1辺を含む
平面25を形成する。この後、ホイール20を6°(=
360/60)回転させる毎に上述と同じ加工を繰返す
ことで、正60角形の刃先を有するガラスカッターホイ
ール11が得られる。
【0015】尚、既にV字状の刃が形成された従来のガ
ラスカッターホイールに対し、図3で示した加工装置で
刃の部分を加工して本ガラスカッターホイール11を得
ることもできる。
【0016】グラインダーによる研磨加工以外に、放電
加工機を用いて本発明のガラスカッターホイール11を
製作することもできる。
【0017】図4は本発明の第2実施形態を示したガラ
スカッターホイール31であり、正60角形をなす刃先
13の各辺に対し、図1における切り欠き4と同等の切
り欠き14を形成することで角辺の直線部をなくしてい
る。切り欠き14の深さは正60角形の一辺の長さの2
0%前後とした。
【0018】図4のガラスカッターホイール31では、
図2のガラスカッターにおける直線部の刃先13に切り
欠き14を形成することで、各辺の直線部分をなくして
いる。これにより、各辺とガラス板との接触を完全にな
くすことができるため、更に、水平クラックの発生を抑
えることができる。
【0019】切り欠き13の形成法としては、上記「ガ
ラスカッターホイール」(特願平8−141614号)に
て刃先に切り欠きを形成したときのように、直交方向に
当接させたデイスク状の薄いグラインダーで切り欠く。
【0020】図10は本発明の第3実施形態を示したガ
ラスカッターホイール101であり、既にV字状の刃が
形成された従来のガラスカッターホイールに対し、図3
とは異なる加工装置(不図示)を用いて製作される。
【0021】図10のガラスカッターホイール101は
従来のガラスカッターホイールの刃先を形成する稜線部
を、カッターホイールの放射方向と垂直に研削し、多角
形のホイールを形成する。すなわち、刃先の稜線が平面
15に研削されることで、正60角形の頂点部16が形
成される。
【0022】図11は本発明の第4実施形態を示したガ
ラスカッターホイール111であり、図10における平
面15に切り欠き14を形成することで、各辺の直線部
をなくしている。これにより、各辺とガラス板との接触
を完全になくすことができるため、更に水平クラックの
発生を抑えることができる。
【0023】そして、図10および図11の実施例とは
別に、従来のガラスカッターホイールの刃先稜線を形成
する曲面の傾斜面の稜線に近い領域を研削して、曲面の
傾斜面を部分的に平面化して、刃先稜線が多角形となる
のに加えて、左右の傾斜部の一部に平面からなる多角平
面を形成するようにしてもよい。
【0024】上表のガラスカッターホイール11の寸法
は単なる一例であり、ここで一般的な推奨寸法およびス
クライブデータを次表に示す。
【0025】上述した本発明のガラスカッタホイール
は、自動ガラススクライバーおよび手切りタイプのガラ
スカッターへの装着に好適である。
【0026】図5および図6は、一般的な自動ガラスス
クライバーの正面図および側面図を示しており、ガラス
板を載置するテーブル41は、回転テーブル42によ
り、水平方向に回転すると共に、ボールネジ44によ
り、Y方向(図5中、左右方向)に移動可能であり、一
方、下端に本願発明のガラスカッターホイール11を回
転自在に軸着したカッターヘッド46は、レール47に
沿ってX方向(図6中、左右方向)に移動可能としたもの
である。スクライブ時、テーブル41を所定ピッチでY
方向に移動させる毎に、カッターヘッド46をX方向に
移動させることにより、ガラス板はX方向にスクライブ
され、この後、テーブル41を90°回転させた後、同
じようにスクライブすれば、ガラス板は今度はY方向に
スクライブされる。
【0027】ここで示した自動ガラススクライバーは一
例であって、カッターヘッド46が固定され、テーブル
41がXおよびY方向に移動するタイプや、テーブル4
1が固定され、カッターヘッド46がXおよびY方向に
移動するタイプにも本願発明のガラスカッターホイール
を適用できる。
【0028】図7は、本出願人による「ガラス切り」
(実公昭62−23780)で開示したものに本願発明の
ガラスカッターホイール11を装着したものを示してい
る。61は握り部である筒状の柄(ハンドル)であり、そ
の下部にはヘッド62が設けられ、そのヘッド62の下
端に、本願発明のガラスカッターホイール11が回転自
在に軸着される。ここでは更に、ガラスカッターホイー
ル11に油を供給するために、柄の中空部に設けた油室
63、油室のキャップ64、及びそれに付随する機構6
5〜73を備えるが、本願発明と直接に関係しない技術
なので説明は省略する。
【0029】図8は図7のヘッド62の詳細を示してお
り、ガラスカッターホイール11には適した軸11aが
挿通され、その軸11aの両端部がヘッド62の二股に
なった部材にて軸支される。62aは軸11aの止めキ
ャツプである。
【0030】尚、本発明に係わるガラスカッターホイー
ル11は図2や図4で示されるように、ホイール単体で
提供され、使用時に際しては、これらのガラスカッター
ホイール11の挿通孔Tに図8に示した軸11aを挿通
して用いられるが、ホイール径が数ミリメートルと小さ
く、それゆえ、軸11aの径は1ミリメートル以下とな
ることもあり、軸管理が容易でない。そこで図9の(A)
に示すように、軸11a'と一体形成したホイール11'
や、ヘッド62の軸受け部の構造に応じて(B)図に示す
ようなピボット軸11a"と一体成形したホイール11"
として提供できる。
【0031】本願発明の実施例では正多角形の形状のカ
ッターホイールを示したが、多角形のカッターホイール
であれば同等の効果が得られる。
【0032】そして、本発明のガラスカッターホイール
はその周辺稜線部の一部分が多角形であるものを含む。
【0033】本発明の説明には、加工対象がガラス板で
あるガラスカッターホイールを一例として用いたが、同
じカッターホイールが半導体ウエハーやセラミックス等
の脆性材料の分断用として用いられる
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ガラス
カッターホイールの刃先稜線部を側方から見て多角形と
したので、多角形の各頂点でガラス板に打点衝撃を与え
ると共に、それらの頂点以外では必要以上のガラス板へ
の食い込みをなくしたため、水平クラックの発生を減少
できる。又、各頂点間の直線部に切り欠きを形成するこ
とで、より低い刃先荷重で同程度の垂直クラックが得ら
れるため、水平クラックの発生を更に減少できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来のガラスカッターホイールの詳細図
【図2】 本発明の第1実施形態を示したガラスカッタ
ーホイールの正面図および側面図
【図3】 本発明のガラスカッターホイールを加工する
ための加工装置を示した図
【図4】 第2実施形態を示したガラスカッターホイー
ルの正面図および側面図
【図5】 一般的な機構の自動ガラススクライバーの正
面図
【図6】 図5の自動ガラススクライバーの側面図
【図7】 手切りタイプのガラス切りを示した図
【図8】 本発明に係わるガラスカッターホイールの使
用例を示した図
【図9】 本発明に係わるガラスカッターホイールの別
の実施形態を示した図
【図10】 本発明の第3実施形態を示したガラスカッ
ターホイールの正面図および側面図
【図11】 本発明の第4実施形態を示したガラスカッ
ターホイールの正面図および側面図
【符号の説明】
11,31,101,111 ガラスカッターホイール 11a 軸 12 刃 13 刃先 14 切り欠き 15 平面 16 頂点部 21 ディスク状ホイール 22 グラインダー 62 ヘッド

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ディスク状ホイールの円周部に沿ってV
    字形の刃を有する脆性材料基板用カッターホイール11
    において、 前記V字形の刃を形成する際に、刃の稜線部である刃先
    13が多角形の形状となるように加工したことを特徴と
    する脆性材料基板用カッターホイール。
  2. 【請求項2】 刃先の各直線部に対し、所定深さの切り
    欠きを設けた請求項1記載の脆性材料基板用カッターホ
    イール。
  3. 【請求項3】 上記多角形は16〜300の角数のいず
    れかを持つ請求項1〜2のいずれかに記載の脆性材料基
    板用カッターホイール。
  4. 【請求項4】 上記ホイールの径は1〜20mmの範囲で
    ある請求項1〜3のいずれかに記載の脆性材料基板用カ
    ッターホイール。
  5. 【請求項5】 上記ホイールの厚さは0.6〜5mmの範
    囲である請求項1〜4のいずれかに記載の脆性材料基板
    用カッターホイール。
  6. 【請求項6】 上記刃先の角度は90〜160°の範囲
    である請求項1〜5のいずれかに記載の脆性材料基板用
    カッターホイール。
  7. 【請求項7】 テーブルに載置したガラス板に対して、
    カッターヘッドが相対的にXおよびY方向に移動する機
    構の自動ガラススクライバーにおいて、前記カッターヘ
    ッドに請求項1ないし6のいずれかに記載の脆性材料基
    板用カッターホイールを具備したことを特徴とするスク
    ライバー。
  8. 【請求項8】 柄の先に設けたホルダーに、請求項1な
    いし6のいずれかに記載の脆性材料基板用カッターホイ
    ールを回転自在に軸着してなることを特徴とするスクラ
    イバー。
  9. 【請求項9】 請求項1ないし6のいずれかに記載の脆
    性材料基板用カッターホイールは、該ホイールに挿通さ
    れる軸と一体的に形成されることを特徴とする脆性材料
    基板用カッターホイール。
JP2001236437A 2000-08-11 2001-08-03 脆性材料基板用カッターホイールおよびそれを備えたスクライバー Expired - Fee Related JP4865160B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001236437A JP4865160B2 (ja) 2000-08-11 2001-08-03 脆性材料基板用カッターホイールおよびそれを備えたスクライバー

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000-244310 2000-08-11
JP2000244310 2000-08-11
JP2000244310 2000-08-11
JP2001236437A JP4865160B2 (ja) 2000-08-11 2001-08-03 脆性材料基板用カッターホイールおよびそれを備えたスクライバー

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2002121040A true JP2002121040A (ja) 2002-04-23
JP2002121040A5 JP2002121040A5 (ja) 2008-08-28
JP4865160B2 JP4865160B2 (ja) 2012-02-01

Family

ID=26597829

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001236437A Expired - Fee Related JP4865160B2 (ja) 2000-08-11 2001-08-03 脆性材料基板用カッターホイールおよびそれを備えたスクライバー

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4865160B2 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005005649A (ja) * 2003-06-16 2005-01-06 Mitsubishi Electric Corp GaN系半導体光装置の製造方法
JP2007152936A (ja) * 2005-11-09 2007-06-21 Nikken Dia:Kk 脆性材料用のホイールカッター
JP2007161550A (ja) * 2005-12-16 2007-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd 表示パネルの切断装置および切断方法
WO2008066133A1 (en) 2006-11-30 2008-06-05 Tokuyama Corporation Method for manufacturing metallized ceramic substrate chip
JP2010126387A (ja) * 2008-11-26 2010-06-10 Japan Steel Works Ltd:The カッターホイール
JP2010126383A (ja) * 2008-11-26 2010-06-10 Joyo Kogaku Kk ガラス切断用カッターホイール
JP2011093191A (ja) * 2009-10-29 2011-05-12 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd スクライビングホイール
KR101046080B1 (ko) 2007-09-22 2011-07-01 뵐르 아게 절단 휠

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005005649A (ja) * 2003-06-16 2005-01-06 Mitsubishi Electric Corp GaN系半導体光装置の製造方法
JP2007152936A (ja) * 2005-11-09 2007-06-21 Nikken Dia:Kk 脆性材料用のホイールカッター
JP2007161550A (ja) * 2005-12-16 2007-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd 表示パネルの切断装置および切断方法
WO2008066133A1 (en) 2006-11-30 2008-06-05 Tokuyama Corporation Method for manufacturing metallized ceramic substrate chip
KR101046080B1 (ko) 2007-09-22 2011-07-01 뵐르 아게 절단 휠
JP2010126387A (ja) * 2008-11-26 2010-06-10 Japan Steel Works Ltd:The カッターホイール
JP2010126383A (ja) * 2008-11-26 2010-06-10 Joyo Kogaku Kk ガラス切断用カッターホイール
JP2011093191A (ja) * 2009-10-29 2011-05-12 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd スクライビングホイール

Also Published As

Publication number Publication date
JP4865160B2 (ja) 2012-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100780365B1 (ko) 취성재료 기판용 커터휠 및 그것을 구비하는 스크라이버
JP3074143B2 (ja) ガラスカッターホイール
JP5734355B2 (ja) 脆性材料用スクライビングホイールならびにこれを用いたスクライブ方法ならびにスクライブ装置、スクライブ工具
JP2989602B1 (ja) ガラスカッタホィ―ル
JP2007031200A (ja) カッターホイール
US9289910B2 (en) Method of processing ridge of cutting edge and instrument with processed ridge of cutting edge
KR20150004931A (ko) 다이싱 장치 및 다이싱 방법
US20160096248A1 (en) Ingot and methods for ingot grinding
KR102516664B1 (ko) 커터 휠
JP4865160B2 (ja) 脆性材料基板用カッターホイールおよびそれを備えたスクライバー
JP2005347712A (ja) シリコンウエハの加工方法
JP6422009B2 (ja) スクライビングホイール及びその製造方法
JP2004058301A (ja) 脆性材料用切刃およびその製造方法
JP2006007677A (ja) ダイヤモンド多結晶体スクライバー
JP5942783B2 (ja) スクライビングホイール及びその製造方法
JP2011093190A (ja) スクライビングホイール
JPWO2020066467A1 (ja) GaN基板の分断方法
TWI602667B (zh) Scoring wheel and its manufacturing method
JP2000061935A (ja) 水晶素子切断方法
KR20110007150U (ko) 취성재료 기판 절단용 미끄러짐 방지 커터 휠
JP2017136856A (ja) スクライビングホイール、スクライブ装置及び分断方法
JP2013184388A (ja) スクライビングホイール及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080714

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080714

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20081009

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100402

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111101

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111110

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141118

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees