JPWO2021044505A5 - - Google Patents

Claims (30)

1. 第１面を有する第１部材と、
   前記第１面から第１方向に離れた第２面内で移動可能に設けられる第２部材と、
   前記第２部材に設けられ、前記第２部材を前記第１面上に浮上させる浮上部材と、
   前記第１方向と交差する第２方向に移動する移動部材を有する移動装置と、
   前記移動部材と前記第２部材とを連結する連結部材と
   を備え、
   前記連結部材の前記第１方向に関する剛性は、前記第２面と平行な方向に関する剛性よりも低い
   移動体装置。
2. 前記連結部材のうち前記第２部材に連結される第１部分と前記連結部材のうち前記移動部材に連結される第２部分とは、前記第１方向に関して別々に移動可能である
   請求項１に記載の移動体装置。
3. 前記移動部材は、前記第２方向に移動するときに前記第１方向に変位する
   請求項１又は２に記載の移動体装置。
4. 前記連結部材は、前記第２面又は前記第２面と平行な面に沿った板状部材を有する
   請求項１から３のいずれか一項に記載の移動体装置。
5. 前記連結部材は、弾性体である弾性部材を有する
   請求項１から４のいずれか一項に記載の移動体装置。
6. 前記移動装置は、第１移動装置であり、
   前記移動部材は、第１移動部材であり、
   前記第１及び第２方向と交差する第３方向に移動する第２移動部材を有する第２移動装置を更に備え、
   前記第２移動部材は前記第１移動装置と連結される
   請求項１から５のいずれか一項に記載の移動体装置。
7. 前記第１移動装置は、前記第２方向に長手方向を有し、
   前記第２移動装置は、前記第３方向に長手方向を有する
   請求項６に記載の移動体装置。
8. 前記第２移動装置上に前記第１移動装置が位置する
   請求項６又は７に記載の移動体装置。
9. 前記第２移動装置は、前記第１部材上に配置される
   請求項６から８のいずれか一項に記載の移動体装置。
10. 前記第１及び第２移動装置は、前記第１及び第２部材の間に配置される
    請求項６から９のいずれか一項に記載の移動体装置。
11. 前記第２部材は、前記第１部材の前記第１面側に向けられ且つ前記第１面から離れた部位を備え、
    前記第１及び第２移動装置は、前記第２部材の前記部位と前記第１面との間に配置される
    請求項６から１０のいずれか一項に記載の移動体装置。
12. 前記浮上部材は、第１浮上部材と第２浮上部材とを備え、
    前記第２移動装置は、前記第１および第２浮上部材の間に配置される
    請求項６から１１のいずれか一項に記載の移動体装置。
13. 前記浮上部材は、第３浮上部材を更に備え、
    前記第１移動装置は、前記第１及び第３浮上部材の間に配置される
    請求項６から１２のいずれか一項に記載の移動体装置。
14. 前記連結部材は、前記第２部材と前記第１面との間に配置される
    請求項１から１３のいずれか一項に記載の移動体装置。
15. 前記移動装置は、前記第１及び第２部材の間に配置される
    請求項１から１４のいずれか一項に記載の移動体装置。
16. 前記第２部材は、前記第１部材の前記第１面側に向けられ且つ前記第１面から離れた部位を備え、
    前記移動装置は、前記第２部材の前記部位と前記第１面との間に配置される
    請求項１から１５のいずれか一項に記載の移動体装置。
17. 前記浮上部材は、第１浮上部材と第２浮上部材とを備え、
    前記移動装置は、前記第１および第２浮上部材の間に配置される
    請求項１から１６のいずれか一項に記載の移動体装置。
18. 請求項１から１７のいずれか一項に記載の移動体装置と、
    前記移動体装置の前記第２部材上に載置される物体を加工する加工装置と
    を備える加工システム。
19. 第１面を有する第１部材と、
    前記第１面から第１方向に離れ且つ物体を載置する第２部材を有する載置装置と、
    前記第２部材と連結された移動部材を移動することにより、前記第２部材を前記第１面上で前記第１方向に交差する方向に移動する移動装置と、
    前記第２部材に載置された前記物体にエネルギビームを照射することにより前記物体を加工する加工装置と、
    前記第２部材に載置された前記物体を計測する計測装置と
    を備え、
    前記載置装置は、前記第２部材に設けられ、前記第２部材を前記第１面上に浮上させる浮上部材を有し、
    前記移動装置は、前記浮上部材により前記第１面上で浮上された前記第２部材を、前記第１方向と交差する方向に移動する
    加工システム。
20. 前記移動部材を静止させた状態で、前記第２部材に載置された前記物体上で前記エネルギビームの照射位置を移動することにより前記物体上の第１領域を加工し、
    前記第１領域の加工完了後、前記移動部材の移動により前記第２部材を前記第１面上で前記第１方向と交差する方向に移動し、
    前記移動部材の移動後に、前記移動部材を静止させた状態で、前記第２部材に載置された前記物体上で前記エネルギビームの照射位置を移動することにより前記物体上の第２領域を加工する
    請求項１９に記載の加工システム。
21. 前記第２部材に載置された前記物体を前記計測装置で計測し、
    前記物体の計測後、前記移動部材の移動により前記第２部材を前記第１面上で、前記第１方向と交差する方向に移動し、
    前記移動部材の移動後に、前記計測装置の計測結果に基づいて、前記加工装置で前記物体を加工する
    請求項１９又は２０に記載の加工システム。
22. 前記第２部材は、前記第１面をガイド面として、前記第１面上で、前記第１方向と交差する方向に移動し、
    前記移動部材は、前記第１部材とは異なるガイド部材上で移動する
    請求項１９から２１のいずれか一項に記載の加工システム。
23. 前記移動装置は、前記移動部材の前記第１方向の位置を制御しない
    請求項１９から２２のいずれか一項に記載の加工システム。
24. 前記連結部材の前記第１方向に関する剛性は、前記第１方向と交差する方向に関する剛性よりも低い
    請求項１９から２３のいずれか一項に記載の加工システム。
25. 前記浮上部材は、前記浮上部材と前記第１面との間にガスベアリングを形成し、
    前記連結部材と前記ガスベアリングにより、前記第２部材と前記第１面との位置関係を維持する
    請求項１９から２４のいずれか一項に記載の加工システム。
26. 前記加工装置は、前記物体に前記エネルギビームを照射する照射光学装置を備える
    請求項１８から２５のいずれか一項に記載の加工システム。
27. 前記物体は、外力を加えられることなく前記第２部材上に載置される
    請求項１８から２６のいずれか一項に記載の加工システム。
28. 前記加工装置によって加工される前記物体の部位を計測する計測装置を更に備える
    請求項１８から２７のいずれか一項に記載の加工システム。
29. 前記計測装置は、前記第１方向に関する前記物体の表面の位置を計測する
    請求項２８に記載の加工システム。
30. 前記計測装置は、前記第１面と平行な面内において複数箇所で計測する
    請求項２９に記載の加工システム。