CN103506911B - 用于石英晶片磨边机的夹具 - Google Patents
用于石英晶片磨边机的夹具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103506911B CN103506911B CN201310485956.0A CN201310485956A CN103506911B CN 103506911 B CN103506911 B CN 103506911B CN 201310485956 A CN201310485956 A CN 201310485956A CN 103506911 B CN103506911 B CN 103506911B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- suction unit
- quartz wafer
- negative pressure
- cylinder
- generating device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B9/00—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
- B24B9/02—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground
- B24B9/06—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B9/16—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of diamonds; of jewels or the like; Diamond grinders' dops; Dop holders or tongs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
本发明公开了一种用于石英晶片磨边机的夹具,包括底座,底座上固定设置有导轨;导轨的两端分别活动连接有滑块;每个滑块的顶部固定设置有定位爪,两个定位爪相对设置;两个滑块通过气缸实现驱动;两个定位爪之间固定设置有吸台;吸台设置有负压产生装置;负压产生装置连接一负压传感器;负压传感器通过信号线连接气缸;吸台设置有一位置传感器;位置传感器连接负压产生装置。本发明能够实现石英晶片在全自动高速磨边机上的自动定位装夹功能。
Description
技术领域
本发明涉及一种石英晶片的加工设备,具体涉及一种用于石英晶片磨边机的夹具。
背景技术
全自动高速磨边机在工作过程中需要通过夹具将石英晶片夹持固定。由于磨边机在工作过程中高速运转,要求其夹具能够稳定可靠地对晶片进行定位操作。但是,现有的磨边机的夹具的定位精度低,在对石英晶片进行磨边时,由于不能准确定位,造成晶片的磨边精度低,产品合格率随之降低。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种用于石英晶片磨边机的夹具,它可以提高夹具的定位精度。
为解决上述技术问题,本发明用于石英晶片磨边机的夹具的技术解决方案为:
包括底座,底座上固定设置有导轨;导轨的两端分别活动连接有滑块;每个滑块的顶部固定设置有定位爪,两个定位爪相对设置;两个滑块通过气缸实现驱动;两个定位爪之间固定设置有吸台;吸台设置有负压产生装置;负压产生装置连接一负压传感器;负压传感器通过信号线连接气缸;吸台设置有一位置传感器;位置传感器连接负压产生装置。
所述吸台的上表面覆盖有硫化氢化丁腈橡胶层。
通过机械手抓取石英晶片并将石英晶片放在所述吸台上;吸台的负压产生装置产生一负压吸住吸台上的石英晶片;负压传感器检测到负压信号后,向气缸发送信号,气缸带动滑块沿导轨向吸台方向移动,在两个定位爪的共同作用下推动石英晶片移动,将石英晶片推动到工作位置;当石英晶片移动到位后,位置传感器检测到石英晶片的位置信号,向吸台的负压产生装置发送信号,吸台产生另一更大的负压吸力,固定住吸台上的石英晶片;负压传感器检测到负压信号后,向气缸发送信号,气缸反向移动,两个定位爪松开对石英晶片的夹持。
本发明可以达到的技术效果是:
本发明能够达到0.05mm以内的定位精度,实现石英晶片的自动定位操作。
本发明能够实现石英晶片在全自动高速磨边机上的自动定位装夹功能。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明:
图1是本发明用于石英晶片磨边机的夹具的示意图。
图中附图标记说明:
1为定位爪,2为导轨,
3为吸台,4为气缸,
5为位置传感器,6为负压传感器,
7为底座,8为进气台,
9为滑块。
具体实施方式
如图1所示,本发明用于石英晶片磨边机的夹具,包括底座7,底座7上固定设置有导轨2;导轨2的两端活动连接两个滑块9;每个滑块9的顶部固定设置有定位爪1,两个定位爪1相对设置;两个滑块9通过气缸4实现驱动;
导轨2的中部固定设置有进气台8,进气台8上固定设置有吸台3;吸台3位于两个定位爪1之间;
吸台3设置有负压产生装置;负压产生装置连接一负压传感器6;负压传感器6通过信号线连接气缸4;
吸台3设置有一位置传感器5;位置传感器5连接负压产生装置。
吸台3的上表面覆盖有一层硫化氢化丁腈橡胶。
本发明的工作原理如下:
通过机械手抓取石英晶片并将石英晶片放在吸台3上;吸台3的负压产生装置产生一负压吸住吸台3上的石英晶片,防止其滑动或掉落;
吸台3处的负压传感器6检测到该负压信号后,向气缸4发送信号,气缸4带动滑块9沿导轨2向吸台方向移动,在两个滑块9上定位爪1的共同作用下推动石英晶片移动,将石英晶片推动到工作位置;
当石英晶片移动到位后,位置传感器5检测到石英晶片的位置信号,向吸台3的负压产生装置发送信号,吸台3产生另一更大的负压吸力,固定住吸台3上的石英晶片;吸台3处的负压传感器6检测到该负压信号后,向气缸4发送信号,气缸4反向移动,两个滑块9上的定位爪1松开对石英晶片的夹持,此时可以对石英晶片进行磨边加工。
本发明适用于高速磨边机以固定石英晶片。
Claims (2)
1.一种用于石英晶片磨边机的夹具,其特征在于:包括底座,底座上固定设置有导轨;导轨的两端分别活动连接有滑块;每个滑块的顶部固定设置有定位爪,两个定位爪相对设置;两个滑块通过气缸实现驱动;
两个定位爪之间固定设置有吸台;
吸台设置有负压产生装置;负压产生装置连接一负压传感器;负压传感器通过信号线连接气缸;
吸台设置有一位置传感器;位置传感器连接负压产生装置;
通过机械手抓取石英晶片并将石英晶片放在所述吸台上;吸台的负压产生装置产生一负压吸住吸台上的石英晶片;
负压传感器检测到负压信号后,向气缸发送信号,气缸带动滑块沿导轨向吸台方向移动,在两个定位爪的共同作用下推动石英晶片移动,将石英晶片推动到工作位置;
当石英晶片移动到位后,位置传感器检测到石英晶片的位置信号,向吸台的负压产生装置发送信号,吸台产生另一更大的负压吸力,固定住吸台上的石英晶片;负压传感器检测到负压信号后,向气缸发送信号,气缸反向移动,两个定位爪松开对石英晶片的夹持。
2.根据权利要求1所述的用于石英晶片磨边机的夹具,其特征在于:所述吸台的上表面覆盖有硫化氢化丁腈橡胶层。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310485956.0A CN103506911B (zh) | 2013-10-17 | 2013-10-17 | 用于石英晶片磨边机的夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310485956.0A CN103506911B (zh) | 2013-10-17 | 2013-10-17 | 用于石英晶片磨边机的夹具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103506911A CN103506911A (zh) | 2014-01-15 |
CN103506911B true CN103506911B (zh) | 2016-01-13 |
Family
ID=49890620
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310485956.0A Active CN103506911B (zh) | 2013-10-17 | 2013-10-17 | 用于石英晶片磨边机的夹具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103506911B (zh) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107123616A (zh) * | 2017-06-01 | 2017-09-01 | 广东瑞谷光网通信股份有限公司 | Eml设备上实现位置和角度定位的装置 |
CN109129187A (zh) * | 2018-11-09 | 2019-01-04 | 昆山上艺电子有限公司 | 一种模具零件加工定位装置 |
CN113838791A (zh) * | 2021-08-30 | 2021-12-24 | 威科赛乐微电子股份有限公司 | 晶片取片、圆心定位装置、方法、系统及可读存储介质 |
CN113956554B (zh) * | 2021-11-09 | 2023-04-07 | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 | 用于拉丝机机械手夹爪的氢化丁腈橡胶材料及其制备方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1584537A (zh) * | 2004-06-02 | 2005-02-23 | 周巍 | 晶片测试机的测片台 |
CN101791773A (zh) * | 2010-03-29 | 2010-08-04 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 倒角机硅片定位工作台 |
CN201881228U (zh) * | 2010-10-19 | 2011-06-29 | 北京通美晶体技术有限公司 | 多边形晶片磨削机 |
CN103111925A (zh) * | 2013-03-04 | 2013-05-22 | 上海光炜电子材料有限公司 | 多功能硅片倒角机 |
CN203509831U (zh) * | 2013-10-17 | 2014-04-02 | 浙江大学台州研究院 | 用于石英晶片磨边机的夹具 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009262249A (ja) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Ebara Corp | 研磨装置 |
-
2013
- 2013-10-17 CN CN201310485956.0A patent/CN103506911B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1584537A (zh) * | 2004-06-02 | 2005-02-23 | 周巍 | 晶片测试机的测片台 |
CN101791773A (zh) * | 2010-03-29 | 2010-08-04 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 倒角机硅片定位工作台 |
CN201881228U (zh) * | 2010-10-19 | 2011-06-29 | 北京通美晶体技术有限公司 | 多边形晶片磨削机 |
CN103111925A (zh) * | 2013-03-04 | 2013-05-22 | 上海光炜电子材料有限公司 | 多功能硅片倒角机 |
CN203509831U (zh) * | 2013-10-17 | 2014-04-02 | 浙江大学台州研究院 | 用于石英晶片磨边机的夹具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103506911A (zh) | 2014-01-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103506911B (zh) | 用于石英晶片磨边机的夹具 | |
CN104227598B (zh) | 一种载具定位机构 | |
CN104175141B (zh) | 一种用于加工移动终端的加工平台及其夹紧定位机构 | |
CN104400468A (zh) | 凸轮式夹指机构 | |
CN104960919B (zh) | 一种电能表机器人上下料系统及其工作流程 | |
CN102976051B (zh) | 一种运输装置 | |
US20130249225A1 (en) | Robot hand | |
CN103407786A (zh) | 换向器自动检测用的机械手传送装置 | |
CN104589231A (zh) | 滑动式定位夹具 | |
CN203509831U (zh) | 用于石英晶片磨边机的夹具 | |
CN204036304U (zh) | 一种载具定位机构 | |
CN203714814U (zh) | 一种三工位移位移载装置 | |
CN104496163A (zh) | 玻璃切割机 | |
CN204802588U (zh) | 一种新型工件自动送料装置 | |
CN205165523U (zh) | 正钉机模具机构 | |
CN203712559U (zh) | 不规则物体装夹工装 | |
CN204416372U (zh) | 一种y轴方向可移动的载具机构 | |
CN204262600U (zh) | 一种新型激光切管机管材支撑机构 | |
CN206683983U (zh) | 一种刀具锋利度检测装置 | |
CN202640350U (zh) | 一种搬运陶瓷载体的抓手 | |
CN205437349U (zh) | 一种圆锯机夹持输送机构 | |
CN104858719A (zh) | 一种激光定位式机床 | |
CN105773331A (zh) | 一种双面磨床的送料机 | |
CN204659136U (zh) | 一种手机贴辅料二次定位机构 | |
CN204353780U (zh) | 凸轮式夹指机构 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |