JPWO2020136818A1 - バルブユニット及び温度制御装置 - Google Patents

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Abstract

実施形態によるバルブユニットは、第１供給流路における第１の流体の通流及び遮断を切り替える第１供給側電磁切替弁と、第１供給流路の前記第１供給側電磁切替弁よりも上流側の部分から分岐する第１分岐流路と、第１分岐流路における第１の流体の通流及び遮断を切り替える第１分岐側電磁切替弁と、第２供給流路における第２の流体の通流及び遮断を切り替える第２供給側電磁切替弁と、第２供給流路の第２供給側電磁切替弁よりも上流側の部分から分岐する第２分岐側流路と、第２分岐流路における第２の流体の通流及び遮断を切り替える電磁切替弁と、第１流出口又は第２流出口から流出して所定領域を経由した後に戻る流体を受け入れる受け入れ流路と、受け入れ流路から二股に分岐する第１循環流路及び第２循環流路と、第１循環流路の開閉を切り替える第１循環側電磁切替弁と、第２循環流路の開閉を切り替える第２循環側電磁切替弁と、を備える。

Description

本発明は、複数の弁によって流体の流れを切り替えるバルブユニット及びこれを備える温度制御装置に関する。
半導体製造時に基板に塗布されるレジスト等をプラズマエッチングによって除去するプラズマ処理装置が従来から知られている。プラズマ処理装置は、基板を保持する基板保持部と、高周波電力を印加してプラズマを発生させる高周波電源とを備える。このようなプラズマ処理装置には、通常、基板保持部の温度を温度制御する装置が付設されており、当該装置によって基板保持部上の基板が所望温度に調整される。
上述の基板保持部のような部材を温度制御する装置として、例えばＪＰ２０１３−１０５３５９Ａには、低温流路から供給される第１の温度に調温された液体と、高温流路から供給される第２の温度に調温された液体と、バイパス流路から供給される液体と、を合流させて調温部に供給する温度制御システムが開示されている。この温度制御システムでは、複数の調温部のそれぞれに低温流路、高温流路及びバイパス流路を接続することで、複数の温度制御対象領域を温度制御することが可能となる。
温度制御対象物は、比較的広い温度範囲内で高温から低温へ又は低温から高温へ温度制御される場合がある。例えばプラズマエッチングでは、このような温度制御の実施が望まれる場合があり、これを迅速に且つ高精度に行うことでスループットを向上させることができる。
しかしながら、特許文献１の温度制御システムで使用される可変バルブは、印加する電流の値に応じて開度を調整する電磁比例弁であるため、開閉の切り換えを迅速に実施できるとは言い難い。
また、電磁比例弁の弁座の口径は一般に比較的小さいため、大流量の液体の制御に用いられる際には、特に閉状態において漏れが生じ易い。そのため、特許文献１のシステムでは、流体の流量が大流量である場合、例えば高温流路の可変バルブから供給中の流体に他の可変バルブから漏れ出した流体が混ざり得ることで、精密な温度制御を実施できない虞がある。
本発明は上記実情を考慮してなされたものであり、異なる温度の流体を迅速に切り換えて供給できるとともに、供給する流体の温度変動を抑制できるバルブユニット及びこれを備える温度制御装置を提供することを目的とする。
一実施の形態によるバルブユニットは、
第１流入口に流入する第１の流体を通流させて第１流出口から流出させる第１供給流路と、
開状態及び閉状態の切り替えにより、前記第１供給流路における前記第１の流体の通流及び遮断を切り替える第１供給側電磁切替弁と、
前記第１供給流路の前記第１供給側電磁切替弁よりも上流側の部分から分岐し、前記第１供給流路から流入する前記第１の流体を通流させる第１分岐流路と、
開状態及び閉状態の切り替えにより、前記第１分岐流路における前記第１の流体の通流及び遮断を切り替える第１分岐側電磁切替弁と、
第２流入口に流入する第２の流体を通流させて第２流出口から流出させる第２供給流路と、
開状態及び閉状態の切り替えにより、前記第２供給流路における前記第２の流体の通流及び遮断を切り替える第２供給側電磁切替弁と、
前記第２供給流路の前記第２供給側電磁切替弁よりも上流側の部分から分岐し、前記第２供給流路から流入する前記第２の流体を通流させる第２分岐流路と、
開状態及び閉状態の切り替えにより、前記第２分岐流路における前記第２の流体の通流及び遮断を切り替える第２分岐側電磁切替弁と、
前記第１流出口から流出して所定領域を経由した後に戻る前記第１の流体又は前記第２流出口から流出して所定領域を経由した後に戻る前記第２の流体を受け入れる受け入れ流路と、
前記受け入れ流路から二股に分岐する第１循環流路及び第２循環流路と、
前記第１循環流路の開状態及び閉状態を切り替える第１循環側電磁切替弁と、
前記第２循環流路の開状態及び閉状態を切り替える第２循環側電磁切替弁と、
を備える。
他の実施の形態によるバルブユニットは、
第１流入口に流入する第１の流体を通流させて第１流出口から流出させる第１供給流路と、
第２流入口に流入する第２の流体を通流させて第２流出口から流出させる第２供給流路と、
前記第１流出口と接続して前記第１の流体を受け入れる第１流体流入ポートと、前記第２流出口と接続して前記第２の流体を受け入れる第２流体流入ポートと、供給側流出ポートとを有し、前記第１流体流入ポートと前記供給側流出ポートとの流体的接続及び前記第２流体流入ポートと前記供給側流出ポートとの流体的接続を切り替える供給側流路切替三方弁と、
前記第１供給流路から分岐し、前記第１供給流路から流入する前記第１の流体を通流させる第１分岐流路と、
開状態及び閉状態の切り替えにより、前記第１分岐流路における前記第１の流体の通流及び遮断を切り替える第１分岐側電磁切替弁と、
前記第２供給流路から分岐し、前記第２供給流路から流入する前記第２の流体を通流させる第２分岐流路と、
開状態及び閉状態の切り替えにより、前記第２分岐流路における前記第２の流体の通流及び遮断を切り替える第２分岐側電磁切替弁と、
前記供給側流出ポートから流出して所定領域を経由した後に戻る前記第１の流体又は前記第２の流体を受け入れる循環側流入ポートと、第１流出ポートと、第２流出ポートとを有し、前記循環側流入ポートと前記第１流出ポートとの流体的接続及び前記循環側流入ポートと前記第２流出ポートとの流体的接続を切り替える循環側流路切替三方弁と、
前記第１流出ポートに接続される第１循環流路と、
前記第２流出ポートに接続される第２循環流路と、
を備える。
一実施の形態による温度制御装置は、前記のバルブユニットと、第１の温度に温度制御した前記第１の流体を前記第１流入口に供給し、前記第１分岐流路の下流口又は前記第１循環流路の下流口から流出した前記第１の流体を受け入れて前記第１の温度に温度制御する第１温度制御ユニットと、前記第１の温度とは異なる第２の温度に温度制御した前記第２の流体を前記第２流入口に供給し、前記第２分岐流路の下流口又は前記第２循環流路の下流口から流出した前記第２の流体を受け入れて前記第２の温度に温度制御する第２温度制御ユニットと、を備える。
本発明によれば、異なる温度の流体（第１の流体と第２の流体）を迅速に切り換えて供給できるとともに、供給する流体の温度変動を抑制できる。
本発明の第１の実施の形態に係るバルブユニットを備える温度制御装置の概略図である。 図１に示す温度制御装置の動作を説明する図である。 図１に示す温度制御装置の動作を説明する図である。 第１の実施の形態に係るバルブユニットに設けられる弁として用いられ得るパイロットキック式電磁弁の断面図である。 本発明の第２の実施の形態に係るバルブユニットを備える温度制御装置の概略図である。 図５に示す温度制御装置の動作を説明する図である。 図５に示す温度制御装置の動作を説明する図である。 本発明の第３の実施の形態に係るバルブユニットの概略図である。 本発明の第４の実施の形態に係るバルブユニットの概略図である。 本発明の第５の実施の形態に係るバルブユニットの概略図である。 本発明の第６の実施の形態に係るバルブユニットの概略図である。
以下に、添付の図面を参照して、本発明の各実施の形態を詳細に説明する。
＜＜第１の実施の形態＞＞
図１は、第１の実施の形態に係るバルブユニット３０を備える温度制御装置１の概略図である。この温度制御装置１は、例えば、半導体製造時に基板に塗布されるレジストをプラズマエッチングによって除去するプラズマ処理装置の基板保持部を温度制御して当該基板保持部に保持された基板を所望の温度に温度制御する目的で用いられる。ただし、本発明の用途は特に限られるものではない。
＜温度制御装置の概略構成＞
まず、本実施の形態に係る温度制御装置１の概略構成について説明する。
図１に示すように、本実施の形態に係る温度制御装置１は、第１の温度に温度制御した第１の流体を通流させる第１流体流路１１を有する第１温度制御ユニット１０と、第２の温度に温度制御した第２の流体を通流させる第２流体流路２１を有する第２温度制御ユニット２０と、第１流体流路１１に流体的に接続されるとともに第２流体流路２１に流体的に接続されるバルブユニット３０と、バルブユニット３０から流出する流体を通流させて、当該流体によって所定の部材、例えば上述のプラズマ処理装置における基板保持部を温度制御した後、バルブユニット３０に戻す温度調整部１００と、コントローラ２００と、を備えている。
本実施の形態において、第１温度制御ユニット１０が温度制御する第１の流体及び第２温度制御ユニット２０が温度制御する第２の流体は液体であり、同一の熱媒体である。また、本実施の形態において、第１の流体は、−８０℃〜−６０℃に温度制御され、第２の流体は、例えば１０℃〜２５℃に温度制御される。このような温度範囲である場合には、第１の流体及び第２の流体として用いる熱媒体は、凝固点が−８０℃よりも低温で且つ沸点が２５℃より高温であることを必要とする。この場合の熱媒体としては、例えば３Ｍ社製のＮＯＶＥＣ６４９や、三井・ケマーズ フロロプロダクツ社製のオプテオンＳＦ１０等が用いられてもよい。しかしながら、第１の流体及び第２の流体として用いる物質は特に限られるものではない。
なお、本実施の形態では、第１の流体及び第２の流体の温度が上述した温度範囲に温度制御されるが、第１の流体及び第２の流体の温度は互い異なる温度であればよく、その設定温度は特に限られるものではない。また、本実施の形態では第１の流体及び第２の流体が液体であるが、第１の流体及び第２の流体は気体であってもよい。
バルブユニット３０は、第１流体流路１１の上流口１１Ｕ及び下流口１１Ｄに流体的に接続されており、下流口１１Ｄから第１の流体を供給されるようになっている。そして、バルブユニット３０は、下流口１１Ｄから第１の流体を供給された際、当該第１の流体を外部に流出させた後に又は外部に流出させずに上流口１１Ｕに戻すように構成されている。
また、バルブユニット３０は、第２流体流路２１の上流口２１Ｕ及び下流口２１Ｄに流体的に接続されており、下流口２１Ｄから第２の流体を供給されるようになっている。そして、バルブユニット３０は、下流口２１Ｄから第２の流体を供給された際、当該第２の流体を外部に流出させた後に又は外部に流出させずに上流口２１Ｕに戻すように構成されている。
温度調整部１００は、供給側中継流路１０１及びリターン側中継流路１０２を介してバルブユニット３０に流体的に接続されている。本実施の形態では、バルブユニット３０が第１の流体又は第２の流体を供給側中継流路１０１に選択的に供給することが可能となっており、このような供給が行われる際に、供給側中継流路１０１から温度調整部１００に第１の流体又は第２の流体が供給される。
温度調整部１００は、受け入れた第１の流体又は第２の流体を内部に通流させ、次いでリターン側中継流路１０２を介してバルブユニット３０に戻す。温度調整部１００は、内部に通流させる流体による吸熱又は放熱により温度制御対象の温度制御を行う。そして、温度調整部１００を通過した第１の流体又は第２の流体がリターン側中継流路１０２を介してバルブユニット３０に戻った際、バルブユニット３０は、第１の流体を第１温度制御ユニット１０に戻す状態と、第２の流体を第２温度制御ユニット２０に戻す状態とを切り替えるようになっている。
コントローラ２００は、バルブユニット３０の動作を制御するものであり、例えばＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ、スイッチング素子等の各種の電子部品を有する。コントローラ２００では、ＣＰＵがＲＯＭに格納されたプログラムを実行し、温度制御装置１は、プログラムに従って制御される。
以下、温度制御装置１の各部について詳述する。
＜第１温度制御ユニット・第２温度制御ユニット＞
第１温度制御ユニット１０は、上述の第１流体流路１１と、第１流体流路１１内で第１の流体を通流させるための駆動力を発生させる第１ポンプ１２と、図示しない温度制御部とを有している。第１温度制御ユニット１０は、バルブユニット３０に供給した第１の流体がバルブユニット３０を経由した戻った際に、その温度調整部によって第１の流体の温度が第１の温度となる温度制御し、再度バルブユニット３０に供給するようになっている。
第１温度制御ユニット１０の温度制御部は、例えば圧縮機、凝縮器、膨張弁及び蒸発器を有するヒートポンプの蒸発器を含むものでもよい。この場合、ヒートポンプの蒸発器に第１流体流路１１を接続して、第１の流体を冷却してもよい。また、第１温度制御ユニット１０の温度制御部は、電熱ヒータ等を含んでいてもよい。
第２温度制御ユニット２０は、上述の第２流体流路２１と、第２流体流路２１内で第２の流体を通流させるための駆動力を発生させる第２ポンプ２２と、図示しない温度制御部とを有している。第２温度制御ユニット２０は、バルブユニット３０に供給した第２の流体がバルブユニット３０を経由した戻った際に、その温度調整部によって第２の流体の温度が第１の温度となる温度制御し、再度バルブユニット３０に供給するようになっている。
第２温度制御ユニット２０の温度制御部も、例えば圧縮機、凝縮器、膨張弁及び蒸発器を有するヒートポンプの蒸発器を含むものでもよい。この場合、ヒートポンプの蒸発器に第２流体流路２１を接続して、第２の流体を冷却してもよい。また、第２温度制御ユニット２０の温度制御部も、電熱ヒータ等を含んでいてもよい。
第１温度制御ユニット１０及び第２温度制御ユニット２０としては、本出願人による日本国特開２０１７−９１０８２号公報に開示された装置や、日本国特開２０１８−１９４２４０号公報に開示された装置等が用いられてもよい。
また、本実施の形態では、第１温度制御ユニット１０が、第１の流体を、２０Ｌ／ｍｉｎ以上の流量でバルブユニット３０に供給し、第２温度制御ユニット２０が、第２の流体を、２０Ｌ／ｍｉｎ以上の流量でバルブユニット３０に供給する。ただし、このような流量は特に限られるものではない。
＜バルブユニット＞
次にバルブユニット３０ついて説明する。本実施の形態におけるバルブユニット３０は、第１供給流路３１と、第１供給側電磁切替弁４１と、第１分岐流路５１と、第１分岐側電磁切替弁６１と、第２供給流路３２と、第２供給側電磁切替弁４２と、第２分岐流路５２と、第２分岐側電磁切替弁６２と、受け入れ流路７０と、第１循環流路７１と、第２循環流路７２と、第１循環側電磁切替弁８１と、第２循環側電磁切替弁８２と、を備えている。なお、本明細書において用いる「切替弁」と言う用語は、切替二方弁のことを意味する。
第１供給流路３１は、第１流入口３１Ａと第１流出口３１Ｂとを有し、第１流入口３１Ａに流入する第１の流体を通流させて第１流出口３１Ｂから流出させるように構成されている。本実施の形態では、第１流入口３１Ａに第１温度制御ユニット１０の第１流体流路１１の下流口１１Ｄが直接的に接続されている。第１流入口３１Ａは、第１流体流路１１が接続される前の状態では外部に開口するようになっている。
第１供給側電磁切替弁４１は、第１供給流路３１に設けられ、開状態及び閉状態の切り替えにより、第１供給流路３１における第１の流体の通流及び遮断を切り替えるように構成されている。第１供給側電磁切替弁４１はソレノイドを有し、ソレノイドに対する電流の印加による励磁及び非励磁を切り替えることで、開状態及び閉状態の切り替えを行うようになっている。
また、第１供給流路３１には、第１供給側電磁切替弁４１よりも下流側に配置される第１逆止弁９１が設けられる。第１逆止弁９１は、第１流出口３１Ｂから第１供給側電磁切替弁４１に向けた第１の流体の通流を抑制するようになっている。
第１分岐流路５１は、第１供給流路３１の第１供給側電磁切替弁４１よりも上流側の部分から分岐し、第１供給流路３１から流入する第１の流体を通流させように構成されている。
第１分岐側電磁切替弁６１は、第１分岐流路５１に設けられ、開状態及び閉状態の切り替えにより、第１分岐流路５１における第１の流体の通流及び遮断を切り替えるように構成されている。第１分岐側電磁切替弁６１はソレノイドを有し、ソレノイドに対する電流の印加による励磁及び非励磁を切り替えることで、開状態及び閉状態の切り替えを行うようになっている。
第２供給流路３２は、第２流入口３２Ａと第２流出口３２Ｂとを有し、第２流入口３２Ａに流入する第２の流体を通流させて第２流出口３２Ｂから流出させるように構成されている。本実施の形態では、第２流入口３２Ａに第２温度制御ユニット２０の第２流体流路２１の下流口２１Ｄが直接的に接続されている。したがって、第２流入口３２Ａは、第２流体流路２１が接続される前の状態では外部に開口するようになっている。
第２供給側電磁切替弁４２は、第２供給流路３２に設けられ、開状態及び閉状態の切り替えにより、第２供給流路３２における第２の流体の通流及び遮断を切り替えるように構成されている。第２供給側電磁切替弁４２はソレノイドを有し、ソレノイドに対する電流の印加による励磁及び非励磁を切り替えることで、開状態及び閉状態の切り替えを行うようになっている。
また、第２供給流路３２には、第２供給側電磁切替弁４２よりも下流側に配置される第２逆止弁９２が設けられる。第２逆止弁９２は、第２流出口３２Ｂから第２供給側電磁切替弁４２に向けた第２の流体の通流を抑制するようになっている。
ここで、本実施の形態におけるバルブユニット３０は、第１供給流路３１の第１流出口３１Ｂ及び第２供給流路３２の第２流出口３２Ｂと接続する接続口９６Ａと、供給側中継流路１０１に直接的に接続される端口９６Ｂとを有する供給側共通流路９６をさらに備えている。
供給側共通流路９６の端口９６Ｂは、第２流体流路２１が接続される前の状態では外部に開口するようになっている。本実施の形態では、供給側共通流路９６が設けられることで、第１温度制御ユニット１０からの第１の流体又は第２温度制御ユニット２０からの第２の流体が、共通の出口となる供給側共通流路９６の端口９６Ｂから供給側中継流路１０１に供給されることになる。
第２分岐流路５２は、第２供給流路３２の第２供給側電磁切替弁４２よりも上流側の部分から分岐し、第２供給流路３２から流入する第２の流体を通流させように構成されている。
第２分岐側電磁切替弁６２は、第２分岐流路５２に設けられ、開状態及び閉状態の切り替えにより、第２分岐流路５２における第２の流体の通流及び遮断を切り替えるように構成されている。第２分岐側電磁切替弁６２はソレノイドを有し、ソレノイドに対する電流の印加による励磁及び非励磁を切り替えることで、開状態及び閉状態の切り替えを行うようになっている。
受け入れ流路７０は、第１流出口３１Ｂから流出して所定領域としての温度調整部１００を経由した後に戻る第１の流体又は第２流出口３２Ｂから流出して温度調整部１００を経由した後に戻る第２の流体を、リターン側中継流路１０２を介して受け入れるように構成されている。受け入れ流路７０の上流口はリターン側中継流路１０２に直接的に接続されており、リターン側中継流路１０２が接続される前の状態では外部に開口するようになっている。
受け入れ流路７０の下流口からは第１循環流路７１と第２循環流路７２が二股に分岐し、第１循環流路７１と第２循環流路７２は、受け入れ流路７０の下流口から流出する流体を通流させることが可能となっている。
第１循環側電磁切替弁８１は第１循環流路７１に設けられ、第１循環流路７１の開状態及び閉状態を切り替えるように構成されている。第１循環側電磁切替弁８１はソレノイドを有し、ソレノイドに対する電流の印加による励磁及び非励磁を切り替えることで、開状態及び閉状態の切り替えを行うようになっている。
第２循環側電磁切替弁８２は第２循環流路７２に設けられ、第２循環流路７２の開状態及び閉状態を切り替えるように構成されている。第２循環側電磁切替弁８２はソレノイドを有し、ソレノイドに対する電流の印加による励磁及び非励磁を切り替えることで、開状態及び閉状態の切り替えを行うようになっている。
ここで、本実施の形態におけるバルブユニット３０は、第１分岐流路５１の下流口及び第１循環流路７１の下流口と接続する接続口９７Ａと、第１流体流路１１の上流口１１Ｕに直接的に接続される端口９７Ｂとを有する第１排出側共通流路９７をさらに備えている。また、バルブユニット３０は、第２分岐流路５２の下流口及び第２循環流路７２の下流口と接続する接続口９８Ａと、第２流体流路２１の上流口２１Ｕに直接的に接続される端口９８Ｂとを有する第２排出側共通流路９８をさらに備えている。
第１排出側共通流路９７の端口９７Ｂは、第１流体流路１１が接続される前の状態では外部に開口するようになっており、第２排出側共通流路９８の端口９８Ｂは、第２流体流路２１が接続される前の状態では外部に開口するようになっている。
また、上述のようなバルブユニット３０において、第１供給側電磁切替弁４１，第２供給側電磁切替弁４２、第１分岐側電磁切替弁６１、第２分岐側電磁切替弁６２、第１循環側電磁切替弁８１及び第２循環側電磁切替弁８２はそれぞれ、同じサイズで且つ同じ構造のパイロット式電磁切替弁、より詳しくはパイロットキック式電磁切替弁で構成されている。
図４は、バルブユニット３０における上記各弁として用いられ得るパイロットキック式電磁切替弁の断面図である。図４に示すパイロットキック式電磁切替弁は、流入ポート４０１、流出ポート４０２、及びこれらの間に形成される弁座４０３を有する弁ボディ４０４と、弁座４０３に離接可能に配置される弁体４０５と、弁体４０５を弁座４０３から離接させるソレノイド駆動部４１０と、を備えている。
ソレノイド駆動部４１０は、軸状の可動鉄心４１１と、可動鉄心４１１と同軸上に並ぶ軸状の固定鉄心４１２と、可動鉄心４１１及び固定鉄心４１２の周囲に配置されるコイル４１３と、可動鉄心４１１と固定鉄心４１２との間に設けられ、可動鉄心４１１に対して弁座４０３側に向けた弾性力を付与する第１スプリング４１４と、可動鉄心４１１と弁体４０５とを連結し、弁座４０３に接した状態の弁体４０５に対して可動鉄心４１１側に向けた弾性力を付与する第２スプリング４１５と、を備える。弁体４０５には開口４０５Ａが形成されており、コイル４１３が非励磁状態のとき、可動鉄心４１１は、第１スプリング４１４の弾性力によって開口４０５Ａをその先端で閉じている。コイル４１３に電流が供給されて励磁状態となったときは、可動鉄心４１１が固定鉄心４１２側に移動し、開口４０５Ａが開かれる。
このようなパイロットキック式電磁切替弁では、閉状態から開状態に移行する際に、コイル４１３に電流が供給されて励磁状態となる。この際、まず、開口４０５Ａから流体が下流側に流れる。その後、下流側に流体が流れるに従い、弁体４０５が弁座４０３から離れて、流体が弁座４０３から下流側に流れる。パイロットキック式電磁切替弁は、段階的な開動作によって弁座４０３の口径（流路面積）を大きく確保できるため、例えば２０Ｌ／ｍｉｎ以上などの大流量の流体の切り替えに適している。
なお、大流量時に流速を低下させることなく下流側に流すことが可能であれば、第１供給側電磁切替弁４１、第２供給側電磁切替弁４２、第１分岐側電磁切替弁６１、第２分岐側電磁切替弁６２、第１循環側電磁切替弁８１及び第２循環側電磁切替弁８２は直動式の電磁切替弁で構成されてもよい。流量が大きくない場合には、コスト面を考慮すると、直動式の電磁切替弁が用いられることが好ましい。また、パイロットキック式ではないパイロット式電磁弁が採用されてもよい。
また、本実施の形態では、第１供給側電磁切替弁４１、第２供給側電磁切替弁４２、第１分岐側電磁切替弁６１、第２分岐側電磁切替弁６２、第１循環側電磁切替弁８１及び第２循環側電磁切替弁８２がパイロットキック式電磁切替弁である。しかしながら、例えば第１供給側電磁切替弁４１及び第２供給側電磁切替弁４２がパイロットキック式電磁切替弁であり、その他は、直動式の電磁切替弁であってもよい。
また、本実施の形態では、第１の流体が−８０℃〜−６０℃に温度制御されるため、各電磁弁の材質は低温に充分に耐え得るものを使用することが望ましい。具体的には、弁ボディや、弁体は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）で形成することが好ましい。弁ボディはブラスで形成してもよい。また、可動鉄心、固定鉄心、スプリング等はステンレス鋼から形成してもよい。
＜コントローラ＞
次にコントローラ２００について説明する。上述したように、コントローラ２００では、ＣＰＵがＲＯＭに格納されたプログラムを実行し、温度制御装置１は、プログラムに従って制御される。コントローラ２００は、例えば、バルブユニット３０に設けられる上述の各弁（４１，４２，６１，６２，８１，８２）の開閉を制御することで、温度調整部１００に第１の流体が供給される状態と、温度調整部１００に第２の流体が供給される状態とを切り替えることが可能となっている。
より具体的に説明すると、本実施の形態におけるコントローラ２００は、例えばユーザーの任意の操作に応じて発生する指令や、所定時間毎に発生する指令等に応じて各弁（４１，４２，６１，６２，８１，８２）に対する電流の供給及び遮断を切り替えることにより、各電磁切替弁を開閉することができる。各電磁切替弁に対する電流の供給及び遮断は、例えばＣＰＵから出力した制御信号に応じて電流の通過及び遮断を切り替えるスイッチング素子を用いて行ってもよい。スイッチング素子としては、ＭＯＳＦＥＴ等が用いられてもよい。
＜動作＞
次に図２及び図３を用いて、本実施の形態に係る温度制御装置１の動作について説明する。以下の説明においては、バルブユニット３０における各弁がコントローラ２００の制御に応じて動作している。図２及び図３において、太線で示された部分は流体が流れる箇所を示している。
まず、温度調整部１００に第１の流体も第２の流体も供給しない際には、第１供給側電磁切替弁４１及び第２供給側電磁切替弁４２が閉状態となるとともに、第１分岐側電磁切替弁６１及び第２分岐側電磁切替弁６２が開状態となる。また、本実施の形態では、第１循環側電磁切替弁８１及び第２循環側電磁切替弁８２が閉状態となる。
この際、第１温度制御ユニット１０から流出する第１の流体は、第１流体流路１１と、第１供給流路３１の一部と、第１分岐流路５１と、第１排出側共通流路９７とで構成される閉回路で循環する。また、第２温度制御ユニット２０から流出する第２の流体は、第２流体流路２１と、第２供給流路３２の一部と、第２分岐流路５２と、第２排出側共通流路９８とで構成される閉回路で循環する。
温度調整部１００に第１の流体を供給する際には、第１供給側電磁切替弁４１及び第１循環側電磁切替弁８１が開状態となるとともに、第１分岐側電磁切替弁６１が閉状態となる。また第２供給側電磁切替弁４２及び第２循環側電磁切替弁８２が閉状態となるとともに、第２分岐側電磁切替弁６２が開状態となる。
この際、図２に示すように、第１温度制御ユニット１０から流出する第１の流体は、第１流体流路１１から第１供給流路３１を介して温度調整部１００に流れる。そして、温度調整部１００から流出した第１の流体は、リターン側中継流路１０２を介して受け入れ流路７０に流れる。その後、第１の流体は、第１循環流路７１及び第１排出側共通流路９７を介して第１温度制御ユニット１０に戻る。また、第２温度制御ユニット２０から流出する第２の流体は、第２流体流路２１と、第２供給流路３２の一部と、第２分岐流路５２と、第２排出側共通流路９８とで構成される閉回路で循環する。
温度調整部１００に第２の流体を供給する際には、第２供給側電磁切替弁４２及び第２循環側電磁切替弁８２が開状態となるとともに、第２分岐側電磁切替弁６２が閉状態となる。また、第１供給側電磁切替弁４１及び第１循環側電磁切替弁８１が閉状態となるとともに、第１分岐側電磁切替弁６１が開状態となる。
この際、図３に示すように、第２温度制御ユニット２０から流出する第２の流体は、第２流体流路２１から第２供給流路３２を介して温度調整部１００に流れる。そして、温度調整部１００から流出した第２の流体は、リターン側中継流路１０２を介して受け入れ流路７０に流れる。その後、第２の流体は、第２循環流路７２及び第２排出側共通流路９８を介して第２温度制御ユニット２０に戻る。また、第１温度制御ユニット１０から流出する第１の流体は、第１流体流路１１と、第１供給流路３１の一部と、第１分岐流路５１と、第１排出側共通流路９７とで構成される閉回路で循環する。
ここで、上述のように温度調整部１００に第１の流体を供給する状態から温度調整部１００に第２の流体を供給する状態、又はその逆を切り替える際、本実施の形態では、流体の流れを切り替えのための弁が電磁切替弁（４１，４２，６１，６２，８１，８２）であるため、電流の供給及び遮断により、第１の流体の供給と第２の流体の供給とが迅速に切り替われる。また、流体の流れを切り替えのための弁が電磁切替弁であるため、比例式電磁弁よりも弁座の口径を大きくすることができ、大流量の液体を適正に開閉できる。また、比例式電磁弁を用いた場合よりも、液体の漏れも抑制することができる。
したがって、本実施の形態によれば、異なる温度の流体（第１の流体及び第２の流体）を迅速に切り換えて供給できるとともに、供給する流体の温度変動を抑制できる。
また、本実施の形態では、第１の流体を第１流出口３１Ｂから流出させる際に、第１供給側電磁切替弁４１及び第１循環側電磁切替弁８１が開状態となるとともに、第１分岐側電磁切替弁６１が閉状態となる。また第２供給側電磁切替弁４２及び第２循環側電磁切替弁８２が閉状態となるとともに、第２分岐側電磁切替弁６２が開状態となる。一方で、第２の流体を第２流出口３２Ｂから流出させる際には、第２供給側電磁切替弁４２及び第２循環側電磁切替弁８２が開状態となるとともに、第２分岐側電磁切替弁６２が閉状態となる。また、第１供給側電磁切替弁４１及び第１循環側電磁切替弁８１が閉状態となるとともに、第１分岐側電磁切替弁６１が開状態となる。
上述のように第１の流体を第１流出口３１Ｂから流出させる際の各電磁切替弁の状態と、第２の流体を第２流出口３２Ｂから流出させる際の各電磁切替弁の状態とは、本実施の形態において、各弁に対する制御信号を反転させることで切り替えることが可能となる。そのため、異なる温度の流体を極めて迅速に且つ容易に切り換えて供給できるようになる。
また、第１供給流路３１には、第１供給側電磁切替弁４１よりも下流側に配置される第１逆止弁９１が設けられ、第２供給流路３２には、第２供給側電磁切替弁４２よりも下流側に配置される第２逆止弁９２が設けられている。これにより、第１の流体を第１流出口３１Ｂから流出させる際に、第１の流体が第２温度制御ユニット２０側に流れることが抑制され、第２の流体を第２流出口３２Ｂから流出させる際に、第２の流体が第１温度制御ユニット１０側に流れることが抑制される。これにより、第１の流体又は第２の流体の不所望な漏れ及び温度変動が抑制されることで、効率的な流体供給が可能となる。
（第２の実施の形態）
次に本発明の第２の実施の形態に係るバルブユニット１３０を備える温度制御装置について図５乃至図７を用いて説明する。図５は、第２の実施の形態に係るバルブユニット１３０を備える温度制御装置の概略図である。本実施の形態における構成部分のうち第１の実施の形態と同様のものは、同一の符号を付して説明を省略する場合がある。
図５に示すように、本実施の形態に係るバルブユニット１３０は、第１供給流路３１と、第２供給流路３２と、供給側流路切替三方弁１３１と、第１分岐流路５１と、第１分岐側電磁切替弁６１と、第２分岐流路５２と、第２分岐側電磁切替弁６２と、循環側流路切替三方弁１３２と、第１循環流路７１と、第２循環流路７２と、を備える。
第１供給流路３１は、第１流入口３１Ａと第１流出口３１Ｂとを有し、第１流入口３１Ａに流入する第１の流体を通流させて第１流出口３１Ｂから流出させるように構成されている。
第２供給流路３２は、第２流入口３２Ａと第２流出口３２Ｂとを有し、第２流入口３２Ａに流入する第２の流体を通流させて第２流出口３２Ｂから流出させるように構成されている。
供給側流路切替三方弁１３１は、第１流出口３１Ｂと接続して第１の流体を受け入れる第１流体流入ポート１３１Ａと、第２流出口３２Ｂと接続して第２の流体を受け入れる第２流体流入ポート１３１Ｂと、供給側流出ポート１３１Ｃとを有し、第１流体流入ポート１３１Ａと供給側流出ポート１３１Ｃとの流体的接続及び第２流体流入ポート１３１Ｂと供給側流出ポート１３１Ｃとの流体的接続を切り替えるように構成されている。
第１分岐流路５１は、第１供給流路３１から分岐し、第１供給流路３１から流入する第１の流体を通流させる。第１分岐側電磁切替弁６１は第１分岐流路５１に設けられ、開状態及び閉状態の切り替えにより、第１分岐流路５１における第１の流体の通流及び遮断を切り替えるように構成されている。
第２分岐流路５２は、第２供給流路３２から分岐し、第２供給流路３２から流入する第２の流体を通流させる。第２分岐側電磁切替弁６２は第２分岐流路５２に設けられ、開状態及び閉状態の切り替えにより、第２分岐流路５２における第２の流体の通流及び遮断を切り替えるように構成されている。
循環側流路切替三方弁１３２は、供給側流出ポート１３１Ｃから流出して温度調整部１００を経由した後に戻る第１の流体又は第２の流体を受け入れる循環側流入ポート１３２Ａと、第１流出ポート１３２Ｂと、第２流出ポート１３２Ｃとを有し、循環側流入ポート１３２Ａと第１流出ポート１３２Ｂとの流体的接続及び循環側流入ポート１３２Ａと第２流出ポート１３２Ｃとの流体的接続を切り替えるように構成されている。
循環側流入ポート１３２Ａは受け入れ流路７０に接続される。第１循環流路７１は、第１流出ポート１３２Ｂに接続され、第２循環流路７２は、第２流出ポート１３２Ｃに接続される。ここで、本実施の形態におけるバルブユニット１３０も、第１分岐流路５１の下流口及び第１循環流路７１の下流口と接続する接続口９７Ａと、第１流体流路１１に直接的に接続される端口９７Ｂとを有する第１排出側共通流路９７をさらに備えている。また、バルブユニット１３０は、第２分岐流路５２の下流口及び第２循環流路７２の下流口と接続する接続口９８Ａと、第２流体流路２１に直接的に接続される端口９８Ｂとを有する第２排出側共通流路９８をさらに備えている。
本実施の形態に係る温度制御装置１の動作について図６及び図７を参照しつつ説明する。以下の説明においては、第１の実施の形態と同様に、バルブユニット３０における各弁がコントローラの制御に応じて動作している。図６及び図７において、太線で示された部分は流体が流れる箇所を示している。
本実施の形態に係るバルブユニット１３０では、第１の流体を供給側流出ポート１３１Ｃから流出させる際に、供給側流路切替三方弁１３１が、第１流体流入ポート１３１Ａと供給側流出ポート１３１Ｃとを流体的に接続し、第２流体流入ポート１３１Ｂと供給側流出ポート１３１Ｃとを流体的に遮断する。また、循環側流路切替三方弁１３２は、循環側流入ポート１３２Ａと第１流出ポート１３２Ｂとを流体的に接続し、循環側流入ポート１３２Ａと第２流出ポート１３２Ｃとを流体的に遮断する。また、第１分岐側電磁切替弁６１が閉状態となり、第２分岐側電磁切替弁６２は開状態となる。
この際、図６に示すように、第１温度制御ユニット１０から流出する第１の流体は、第１流体流路１１から第１供給流路３１及び供給側流出ポート１３１Ｃを介して温度調整部１００に流れる。そして、温度調整部１００から流出した第１の流体は、リターン側中継流路１０２を介して受け入れ流路７０に流れる。その後、第１の流体は、第１流出ポート１３２Ｂ、第１循環流路７１及び第１排出側共通流路９７を介して第１温度制御ユニット１０に戻る。また、第２温度制御ユニット２０から流出する第２の流体は、第２流体流路２１と、第２供給流路３２の一部と、第２分岐流路５２と、第２排出側共通流路９８とで構成される閉回路で循環する。
また、第２の流体を供給側流出ポート１３１Ｃから流出させる際には、供給側流路切替三方弁１３１が、第１流体流入ポート１３１Ａと供給側流出ポート１３１Ｃとを流体的に遮断し、第２流体流入ポート１３１Ｂと供給側流出ポート１３１Ｃとを流体的に接続する。また、循環側流路切替三方弁１３２は、循環側流入ポート１３２Ａと第１流出ポート１３２Ｂとを流体的に遮断し、循環側流入ポート１３２Ａと第２流出ポート１３２Ｃとを流体的に接続する。また、第１分岐側電磁切替弁６１が開状態となり、第２分岐側電磁切替弁６２は閉状態となる、
この際、図７に示すように、第２温度制御ユニット２０から流出する第２の流体は、第２流体流路２１から第２供給流路３２及び供給側流出ポート１３１Ｃを介して温度調整部１００に流れる。そして、温度調整部１００から流出した第２の流体は、リターン側中継流路１０２を介して受け入れ流路７０に流れる。その後、第２の流体は、第２流出ポート１３２Ｃ、第２循環流路７２及び第２排出側共通流路９８を介して第２温度制御ユニット２０に戻る。また、第１温度制御ユニット１０から流出する第１の流体は、第１流体流路１１と、第１供給流路３１の一部と、第１分岐流路５１と、第１排出側共通流路９７とで構成される閉回路で循環する。
以上の実施の形態では、第１の実施の形態よりも使用する弁の個数を減らすことが可能となるため、組み立て作業やコスト面で有利となる。
（第３の実施の形態）
次に本発明の第３の実施の形態に係るバルブユニット２３０について図８を参照しつつ説明する。本実施の形態における構成部分のうち第１及び第２の実施の形態と同様のものは、同一の符号を付して説明を省略する場合がある。
図８に示すように、本実施の形態に係るバルブユニット２３０は、第１供給流路３１と、第１供給側電磁切替弁４１と、第１分岐流路５１と、第２供給流路３２と、第２供給側電磁切替弁４２と、第２分岐流路５２と、受け入れ流路７０と、第１循環流路７１と、第２循環流路７２と、第１循環側流路切替三方弁１４１と、第２循環側流路切替三方弁１４２と、を備える。
第１供給流路３１は、第１流入口３１Ａに流入する第１の流体を通流させて第１流出口３１Ｂから流出させるように構成されている。
第１供給側電磁切替弁４１は第１供給流路３１に設けられ、開状態及び閉状態の切り替えにより、第１供給流路３１における第１の流体の通流及び遮断を切り替えるように構成されている。
第１分岐流路５１は、第１供給流路３１の第１供給側電磁切替弁４１よりも上流側の部分から分岐し、第１供給流路３１から流入する第１の流体を通流させるように構成されている。
第２供給流路３２は、第２流入口３２Ａに流入する第２の流体を通流させて第２流出口３２Ｂから流出させるように構成されている。
第２供給側電磁切替弁４２は第２供給流路３２に設けられ、開状態及び閉状態の切り替えにより、第２供給流路３２における第２の流体の通流及び遮断を切り替えるように構成されている。
第２分岐流路５２は、第２供給流路３２の第２供給側電磁切替弁４２よりも上流側の部分から分岐し、第２供給流路３２から流入する第２の流体を通流させるように構成されている。
受け入れ流路７０は、第１流出口３１Ｂから流出して温度調整部１００を経由した後に戻る第１の流体又は第２流出口３２Ｂから流出して温度調整部１００を経由した後に戻る第２の流体を受け入れるように構成されている。第１循環流路７１及び第２循環流路７２は、受け入れ流路７０の下流口ら二股に分岐している。
そして、第１循環側流路切替三方弁１４１は、第１分岐流路５１の下流口と接続する第１分岐側ポート１４１Ａと、第１循環流路７１の下流口と接続する第１循環側ポート１４１Ｂと、第１排出ポート１４１Ｃとを有し、第１分岐側ポート１４１Ａと第１排出ポート１４１Ｃとの流体的接続及び第１循環側ポート１４１Ｂと第１排出ポート１４１Ｃとの流体的接続を切り替える。
第２循環側流路切替三方弁１４２は、第２分岐流路５２の下流口と接続する第２分岐側ポート１４２Ａと、第２循環流路７２の下流口と接続する第２循環側ポート１４２Ｂと、第２排出ポート１４２Ｃとを有し、第２分岐側ポート１４２Ａと第２排出ポート１４２Ｃとの流体的接続及び第２循環側ポート１４２Ｂと第２排出ポート１４２Ｃとの流体的接続を切り替える。
本実施の形態に係るバルブユニット２３０では、第１の流体を第１流出口３１Ｂから流出させる際に、第１供給側電磁切替弁４１が開状態となるとともに、第２供給側電磁切替弁４２が閉状態となる。また、第１循環側流路切替三方弁１４１は、第１分岐側ポート１４１Ａと第１排出ポート１４１Ｃとを流体的に遮断し、第１循環側ポート１４１Ｂと第１排出ポート１４１Ｃとを流体的に接続する。第２循環側流路切替三方弁１４２は、第２分岐側ポート１４２Ａと第２排出ポート１４２Ｃとを流体的に接続し、第２循環側ポート１４２Ｂと第２排出ポート１４２Ｃとを流体的に遮断する。
また、第２の流体を第２流出口３２Ｂから流出させる際に、第１供給側電磁切替弁４１が閉状態となるとともに、第２供給側電磁切替弁４２が開状態となる。また、第１循環側流路切替三方弁１４１は、第１分岐側ポート１４１Ａと第１排出ポート１４１Ｃとを流体的に接続し、第１循環側ポート１４１Ｂと第１排出ポート１４１Ｃとを流体的に遮断する。また、第２循環側流路切替三方弁１４２は、第２分岐側ポート１４２Ａと第２排出ポート１４２Ｃとを流体的に遮断し、第２循環側ポート１４２Ｂと第２排出ポート１４２Ｃとを流体的に接続する。
（第４の実施の形態）
次に本発明の第４の実施の形態に係るバルブユニット３３０について図９を参照しつつ説明する。本実施の形態における構成部分のうち第１乃至第３の実施の形態と同様のものは、同一の符号を付して説明を省略する場合がある。
図９に示すように、本実施の形態に係るバルブユニット３３０は、第１供給流路３１と、第２供給流路３２と、供給側流路切替三方弁１３１と、第１分岐流路５１と、第２分岐流路５２と、受け入れ流路７０と、第１循環流路７１と、第２循環流路７２と、第１循環側流路切替三方弁１４１と、第２循環側流路切替三方弁１４２と、を備える。
第１供給流路３１は、第１流入口３１Ａに流入する第１の流体を通流させて第１流出口３１Ｂから流出させるように構成されている。
第２供給流路３２は、第２流入口３２Ａに流入する第２の流体を通流させて第２流出口３２Ｂから流出させるように構成されている。
供給側流路切替三方弁１３１は、第１流出口３１Ｂと接続して第１の流体を受け入れる第１流体流入ポート１３１Ａと、第２流出口３２Ｂと接続して第２の流体を受け入れる第２流体流入ポート１３１Ｂと、供給側流出ポート１３１Ｃとを有し、第１流体流入ポート１３１Ａと供給側流出ポート１３１Ｃとの流体的接続及び第２流体流入ポート１３１Ｂと供給側流出ポート１３１Ｃとの流体的接続を切り替えるように構成されている。
第１分岐流路５１は、第１供給流路３１から分岐し、第１供給流路３１から流入する第１の流体を通流させる。第２分岐流路５２は、第２供給流路３２から分岐し、第２供給流路３２から流入する第２の流体を通流させる。
受け入れ流路７０は、供給側流出ポート１３１Ｃから流出して温度調整部１００を経由した後に戻る第１の流体又は第２の流体を受け入れるように構成されている。第１循環流路７１及び第２循環流路７２は、受け入れ流路７０の下流口から二股に分岐する。
そして、第１循環側流路切替三方弁１４１は、第１分岐流路５１の下流口と接続する第１分岐側ポート１４１Ａと、第１循環流路７１の下流口と接続する第１循環側ポート１４１Ｂと、第１排出ポート１４１Ｃとを有し、第１分岐側ポート１４１Ａと第１排出ポート１４１Ｃとの流体的接続及び第１循環側ポート１４１Ｂと第１排出ポート１４１Ｃとの流体的接続を切り替える。
第２循環側流路切替三方弁１４２は、第２分岐流路５２の下流口と接続する第２分岐側ポート１４２Ａと、第２循環流路７２の下流口と接続する第２循環側ポート１４２Ｂと、第２排出ポート１４２Ｃとを有し、第２分岐側ポート１４２Ａと第２排出ポート１４２Ｃとの流体的接続及び第２循環側ポート１４２Ｂと第２排出ポート１４２Ｃとの流体的接続を切り替える。
本実施の形態に係るバルブユニット３３０では、第１の流体を供給側流出ポート１３１Ｃから流出させる際に、供給側流路切替三方弁１３１が、第１流体流入ポート１３１Ａと供給側流出ポート１３１Ｃとを流体的に接続し、第２流体流入ポート１３１Ｂと供給側流出ポート１３１Ｃとを流体的に遮断する。また、第１循環側流路切替三方弁１４１は、第１分岐側ポート１４１Ａと第１排出ポート１４１Ｃとを流体的に遮断し、第１循環側ポート１４１Ｂと第１排出ポート１４１Ｃとを流体的に接続する。また、第２循環側流路切替三方弁１４２は、第２分岐側ポート１４２Ａと第２排出ポート１４２Ｃとを流体的に接続し、第２循環側ポート１４２Ｂと第２排出ポート１４２Ｃとを流体的に遮断する。
第２の流体を供給側流出ポート１３１Ｃから流出させる際に、供給側流路切替三方弁１３１は、第１流体流入ポート１３１Ａと供給側流出ポート１３１Ｃとを流体的に遮断し、第２流体流入ポート１３１Ｂと供給側流出ポート１３１Ｃとを流体的に接続する。第１循環側流路切替三方弁１４１は、第１分岐側ポート１４１Ａと第１排出ポート１４１Ｃとを流体的に接続し、第１循環側ポート１４１Ｂと第１排出ポート１４１Ｃとを流体的に遮断する。また、第２循環側流路切替三方弁１４２は、第２分岐側ポート１４２Ａと第２排出ポート１４２Ｃとを流体的に遮断し、第２循環側ポート１４２Ｂと第２排出ポート１４２Ｃとを流体的に接続する。
（第５の実施の形態）
次に本発明の第５の実施の形態に係るバルブユニット４３０について図１０を参照しつつ説明する。本実施の形態における構成部分のうち第１乃至第４の実施の形態と同様のものは、同一の符号を付して説明を省略する場合がある。
図１０に示すように、本実施の形態に係るバルブユニット４３０は、第１供給流路３１と、第１供給側流路切替三方弁１５１と、第１分岐流路５１と、第２供給流路３２と、第２供給側流路切替三方弁１５２と、第２分岐流路５２と、循環側流路切替三方弁１３２と、第１循環流路７１と、第２循環流路７２と、を備える。
第１供給流路３１は、第１流入口３１Ａに流入する第１の流体を通流させて第１流出口３１Ｂから流出させるように構成されている。
第１供給側流路切替三方弁１５１は、第１流出口３１Ｂと接続して第１の流体を受け入れる第１流入ポート１５１Ａと、第１流入ポート１５１Ａが受け入れた第１の流体を流出させる第１供給ポート１５１Ｂと、第１流入ポート１５１Ａが受け入れた第１の流体を流出させる第１分岐ポート１５１Ｃとを有し、第１流入ポート１５１Ａと第１供給ポート１５１Ｂとの流体的接続及び第１流入ポート１５１Ａと第１分岐ポート１５１Ｃとの流体的接続を切り替える。
第１分岐流路５１は、第１分岐ポート１５１Ｃに接続し、第１分岐ポート１５１Ｃから流入する第１の流体を通流させるように構成されている。
第２供給流路３２は、第２流入口３２Ａに流入する第２の流体を通流させて第２流出口３２Ｂから流出させるように構成されている。
第２供給側流路切替三方弁１５２は、第２流出口３２Ｂと接続して第２の流体を受け入れる第２流入ポート１５２Ａと、第２流入ポート１５２Ａが受け入れた第２の流体を流出させる第２供給ポート１５２Ｂと、第２流入ポート１５２Ａが受け入れた第２の流体を流出させる第２分岐ポート１５２Ｃとを有し、第２流入ポート１５２Ａと第２供給ポート１５２Ｂとの流体的接続及び第２流入ポート１５２Ａと第２分岐ポート１５２Ｃとの流体的接続を切り替える。
第２分岐流路５２は、第２分岐ポート１５２Ｃに接続し、第２分岐ポート１５２Ｃから流入する第２の流体を通流させるように構成されている。
循環側流路切替三方弁１３２は、第１供給ポート１５１Ｂから流出して温度調整部１００を経由した後に戻る第１の流体又は第２供給ポート１５２Ｂから流出して温度調整部１００を経由した後に戻る第２の流体を受け入れる循環側流入ポート１３２Ａと、第１流出ポート１３２Ｂと、第２流出ポート１３２Ｃとを有し、循環側流入ポート１３２Ａと第１流出ポート１３２Ｂとの流体的接続及び循環側流入ポート１３２Ａと第２流出ポート１３２Ｃとの流体的接続を切り替える。
第１循環流路７１は第１流出ポート１３２Ｂに接続され、第２循環流路７２は第２流出ポート１３２Ｃに接続されている。
本実施の形態に係るバルブユニット４３０では、第１の流体を第１供給ポート１５１Ｂから流出させる際に、第１供給側流路切替三方弁１５１が、第１流入ポート１５１Ａと第１供給ポート１５１Ｂとを流体的に接続し、第１流入ポート１５１Ａと第１分岐ポート１５１Ｃとを流体的に遮断する。また、第２供給側流路切替三方弁１５２は、第２流入ポート１５２Ａと第２供給ポート１５２Ｂとを流体的に遮断し、第２流入ポート１５２Ａと第２分岐ポート１５２Ｃとを流体的に接続する。また、循環側流路切替三方弁１３２は、循環側流入ポート１３２Ａと第１流出ポート１３２Ｂとを流体的に接続し、循環側流入ポート１３２Ａと第２流出ポート１３２Ｃとを流体的に遮断する。
また、第２の流体を第２供給ポート１５２Ｂから流出させる際に、第１供給側流路切替三方弁１５１は、第１流入ポート１５１Ａと第１供給ポート１５１Ｂとを流体的に遮断し、第１流入ポート１５１Ａと第１分岐ポート１５１Ｃとを流体的に接続する。また、第２供給側流路切替三方弁１５２は、第２流入ポート１５２Ａと第２供給ポート１５２Ｂとを流体的に接続し、第２流入ポート１５２Ａと第２分岐ポート１５２Ｃとを流体的に遮断する。また、循環側流路切替三方弁１３２は、循環側流入ポート１３２Ａと第１流出ポート１３２Ｂとを流体的に遮断し、循環側流入ポート１３２Ａと第２流出ポートと１３２Ｃを流体的に接続する。
（第６の実施の形態）
次に本発明の第６の実施の形態に係るバルブユニット５３０について図１１を参照しつつ説明する。本実施の形態における構成部分のうち第１乃至第５の実施の形態と同様のものは、同一の符号を付して説明を省略する場合がある。
図１１に示すように、本実施の形態に係るバルブユニット５３０は、第１供給流路３１と、第１供給側流路切替三方弁と１５１と、第１分岐流路５１と、第２供給流路３２と、第２供給側流路切替三方弁１５２と、第２分岐流路５２と、受け入れ流路７０と、第１循環流路７１と、第２循環流路７２と、第１循環側電磁切替弁８１と、第２循環側電磁切替弁８２と、を備える。
第１供給流路３１は、第１流入口３１Ａに流入する第１の流体を通流させて第１流出口３１Ｂから流出させるように構成されている。
第１供給側流路切替三方弁１５１は、第１流出口３１Ｂと接続して第１の流体を受け入れる第１流入ポート１５１Ａと、第１流入ポート１５１Ａが受け入れた第１の流体を流出させる第１供給ポート１５１Ｂと、第１流入ポート１５１Ａが受け入れた第１の流体を流出させる第１分岐ポート１５１Ｃとを有し、第１流入ポート１５１Ａと第１供給ポート１５１Ｂとの流体的接続及び第１流入ポート１５１Ａと第１分岐ポート１５１Ｃとの流体的接続を切り替える。
第１分岐流路５１は、第１分岐ポート１５１Ｃに接続し、第１分岐ポート１５１Ｃから流入する第１の流体を通流させるように構成されている。
第２供給流路３２は、第２流入口３２Ａに流入する第２の流体を通流させて第２流出口３２Ｂから流出させるように構成されている。
第２供給側流路切替三方弁１５２は、第２流出口３２Ｂと接続して第２の流体を受け入れる第２流入ポート１５２Ａと、第２流入ポート１５２Ａが受け入れた第２の流体を流出させる第２供給ポート１５２Ｂと、第２流入ポート１５２Ａが受け入れた第２の流体を流出させる第２分岐ポート１５２Ｃとを有し、第２流入ポート１５２Ａと第２供給ポート１５２Ｂとの流体的接続及び第２流入ポート１５２Ａと第２分岐ポート１５２Ｃとの流体的接続を切り替える。
第２分岐流路５２は、第２分岐ポート１５２Ｃに接続し、第２分岐ポート１５２Ｃから流入する第２の流体を通流させるように構成されている。
受け入れ流路７０は、第１供給ポート１５１Ｂから流出して温度調整部１００を経由した後に戻る第１の流体又は第２供給ポート１５２Ｂから流出して温度調整部１００を経由した後に戻る第２の流体を受け入れる。第１循環流路７１及び第２循環流路７２は、受け入れ流路７０の下流口から二股に分岐する。第１循環側電磁切替弁８１は第１循環流路７１の開状態及び閉状態を切り替え、第２循環側電磁切替弁８２は第２循環流路７２の開状態及び閉状態を切り替える。
本実施の形態に係るバルブユニット５３０では、第１の流体を第１供給ポート１５１Ｂから流出させる際に、第１供給側流路切替三方弁１５１が、第１流入ポート１５１Ａと第１供給ポート１５１Ｂとを流体的に接続し、第１流入ポート１５１Ａと第１分岐ポート１５１Ｃとを流体的に遮断する。また、第２供給側流路切替三方弁１５２は、第２流入ポート１５２Ａと第２供給ポート１５２Ｂとを流体的に遮断し、第２流入ポート１５２Ａと第２分岐ポート１５２Ｃとを流体的に接続する。また、第１循環側電磁切替弁８１は開状態となり、第２循環側電磁切替弁８２は閉状態となる。
また、第２の流体を第２供給ポート１５２Ｂから流出させる際に、第１供給側流路切替三方弁１５１は、第１流入ポート１５１Ａと第１供給ポート１５１Ｂとを流体的に遮断し、第１流入ポート１５１Ａと第１分岐ポート１５１Ｃとを流体的に接続する。また、第２供給側流路切替三方弁１５２は、第２流入ポート１５２Ａと第２供給ポート１５２Ｂとを流体的に接続し、第２流入ポート１５２Ａと第２分岐ポート１５２Ｃとを流体的に遮断する。また、第１循環側電磁切替弁８１は閉状態となり、第２循環側電磁切替弁８２は開状態となる。
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではない。
１…温度制御装置、１０…第１温度制御ユニット、１１…第１流体流路、１１Ｕ…上流口、１１Ｄ…下流口、１２…第１ポンプ、２０…第２温度制御ユニット、２１…第２流体流路、２１Ｕ…上流口、２１Ｄ…下流口、２２…第２ポンプ、３０，１３０, ２３０，３３０，４３０，５３０…バルブユニット、３１…第１供給流路、３１Ａ…第１流入口、３１Ｂ…第１流出口、３２…第２供給流路、３２Ａ…第２流入口、３２Ｂ…第２流出口、４１…第１供給側電磁切替弁、４２…第２供給側電磁切替弁、５１…第１分岐流路、５２…第２分岐流路、６１…第１分岐側電磁切替弁、６２…第２分岐側電磁切替弁、７０…受け入れ流路、７１…第１循環流路、７２…第２循環流路、８１…第１循環側電磁切替弁、８２…第２循環側電磁切替弁、９１…第１逆止弁、９２…第２逆止弁、９６…供給側共通流路、９６Ａ…接続口、９６Ｂ…端口、９７…第１排出側共通流路、９７Ａ…接続口、９７Ｂ…端口、９８…第２排出側共通流路、９８Ａ…接続口、９８Ｂ…端口、１００…温度調整部、１０１…供給側中継流路、１３１…供給側流路切替三方弁、１３１Ａ…第１流体流入ポート、１３１Ｂ…第２流体流入ポート、１３１Ｃ…供給側流出ポート、１３２…循環側流路切替三方弁、１３２Ａ…循環側流入ポート、１３２Ｂ…第１流出ポート、１３２Ｃ…第２流出ポート

Claims (10)

  1. 第１流入口に流入する第１の流体を通流させて第１流出口から流出させる第１供給流路と、
    開状態及び閉状態の切り替えにより、前記第１供給流路における前記第１の流体の通流及び遮断を切り替える第１供給側電磁切替弁と、
    前記第１供給流路の前記第１供給側電磁切替弁よりも上流側の部分から分岐し、前記第１供給流路から流入する前記第１の流体を通流させる第１分岐流路と、
    開状態及び閉状態の切り替えにより、前記第１分岐流路における前記第１の流体の通流及び遮断を切り替える第１分岐側電磁切替弁と、
    第２流入口に流入する第２の流体を通流させて第２流出口から流出させる第２供給流路と、
    開状態及び閉状態の切り替えにより、前記第２供給流路における前記第２の流体の通流及び遮断を切り替える第２供給側電磁切替弁と、
    前記第２供給流路の前記第２供給側電磁切替弁よりも上流側の部分から分岐し、前記第２供給流路から流入する前記第２の流体を通流させる第２分岐流路と、
    開状態及び閉状態の切り替えにより、前記第２分岐流路における前記第２の流体の通流及び遮断を切り替える第２分岐側電磁切替弁と、
    前記第１流出口から流出して所定領域を経由した後に戻る前記第１の流体又は前記第２流出口から流出して所定領域を経由した後に戻る前記第２の流体を受け入れる受け入れ流路と、
    前記受け入れ流路から二股に分岐する第１循環流路及び第２循環流路と、
    前記第１循環流路の開状態及び閉状態を切り替える第１循環側電磁切替弁と、
    前記第２循環流路の開状態及び閉状態を切り替える第２循環側電磁切替弁と、
    を備える、バルブユニット。
  2. 前記第１の流体を前記第１流出口から流出させる際に、前記第１供給側電磁切替弁及び前記第１循環側電磁切替弁が開状態となるとともに、前記第１分岐側電磁切替弁が閉状態となり、且つ、前記第２供給側電磁切替弁及び前記第２循環側電磁切替弁が閉状態となるとともに、前記第２分岐側電磁切替弁が開状態となり、
    前記第２の流体を前記第２流出口から流出させる際に、前記第２供給側電磁切替弁及び前記第２循環側電磁切替弁が開状態となるとともに、前記第２分岐側電磁切替弁が閉状態となり、且つ、前記第１供給側電磁切替弁及び前記第１循環側電磁切替弁が閉状態となるとともに、前記第１分岐側電磁切替弁が開状態となる、請求項１に記載のバルブユニット。
  3. 前記第１流出口及び前記第２流出口と接続する接続口と、外部に開口する端口とを有する供給側共通流路をさらに備える、請求項１又は２に記載のバルブユニット。
  4. 前記第１供給流路において前記第１供給側電磁切替弁よりも下流側に配置され、前記第１流出口から前記第１供給側電磁切替弁に向けた前記第１の流体の通流を抑制する第１逆止弁と、
    前記第２供給流路において前記第２供給側電磁切替弁よりも下流側に配置され、前記第２流出口から前記第２供給側電磁切替弁に向けた前記第２の流体の通流を抑制する第２逆止弁とをさらに備える、請求項３に記載のバルブユニット。
  5. 前記第１供給側電磁切替弁及び前記第２供給側電磁切替弁は、パイロット式電磁切替弁である、請求項１乃至４のいずれかに記載のバルブユニット。
  6. 前記第１分岐流路の下流口及び前記第１循環流路の下流口と接続する接続口と、外部に開口する端口とを有する第１排出側共通流路と、
    前記第２分岐流路の下流口及び前記第２循環流路の下流口と接続する接続口と、外部に開口する端口とを有する第２排出側共通流路と、をさらに備える、請求項１乃至５のいずれかに記載のバルブユニット。
  7. 第１流入口に流入する第１の流体を通流させて第１流出口から流出させる第１供給流路と、
    第２流入口に流入する第２の流体を通流させて第２流出口から流出させる第２供給流路と、
    前記第１流出口と接続して前記第１の流体を受け入れる第１流体流入ポートと、前記第２流出口と接続して前記第２の流体を受け入れる第２流体流入ポートと、供給側流出ポートとを有し、前記第１流体流入ポートと前記供給側流出ポートとの流体的接続及び前記第２流体流入ポートと前記供給側流出ポートとの流体的接続を切り替える供給側流路切替三方弁と、
    前記第１供給流路から分岐し、前記第１供給流路から流入する前記第１の流体を通流させる第１分岐流路と、
    開状態及び閉状態の切り替えにより、前記第１分岐流路における前記第１の流体の通流及び遮断を切り替える第１分岐側電磁切替弁と、
    前記第２供給流路から分岐し、前記第２供給流路から流入する前記第２の流体を通流させる第２分岐流路と、
    開状態及び閉状態の切り替えにより、前記第２分岐流路における前記第２の流体の通流及び遮断を切り替える第２分岐側電磁切替弁と、
    前記供給側流出ポートから流出して所定領域を経由した後に戻る前記第１の流体又は前記第２の流体を受け入れる循環側流入ポートと、第１流出ポートと、第２流出ポートとを有し、前記循環側流入ポートと前記第１流出ポートとの流体的接続及び前記循環側流入ポートと前記第２流出ポートとの流体的接続を切り替える循環側流路切替三方弁と、
    前記第１流出ポートに接続される第１循環流路と、
    前記第２流出ポートに接続される第２循環流路と、
    を備える、バルブユニット。
  8. 前記第１の流体を前記供給側流出ポートから流出させる際に、
    前記供給側流路切替三方弁は、前記第１流体流入ポートと前記供給側流出ポートとを流体的に接続し、前記第２流体流入ポートと前記供給側流出ポートとを流体的に遮断し、
    前記循環側流路切替三方弁は、前記循環側流入ポートと前記第１流出ポートとを流体的に接続し、前記循環側流入ポートと前記第２流出ポートとを流体的に遮断し、
    前記第１分岐側電磁切替弁が閉状態となり、前記第２分岐側電磁切替弁は開状態となり、
    前記第２の流体を前記供給側流出ポートから流出させる際に、
    前記供給側流路切替三方弁は、前記第１流体流入ポートと前記供給側流出ポートとを流体的に遮断し、前記第２流体流入ポートと前記供給側流出ポートとを流体的に接続し、
    前記循環側流路切替三方弁は、前記循環側流入ポートと前記第１流出ポートとを流体的に遮断し、前記循環側流入ポートと前記第２流出ポートとを流体的に接続し、
    前記第１分岐側電磁切替弁が開状態となり、前記第２分岐側電磁切替弁は閉状態となる、請求項７に記載のバルブユニット。
  9. 請求項１又は請求項７に記載のバルブユニットと、
    第１の温度に温度制御した前記第１の流体を前記第１流入口に供給し、前記第１分岐流路の下流口又は前記第１循環流路の下流口から流出した前記第１の流体を受け入れて前記第１の温度に温度制御する第１温度制御ユニットと、
    前記第１の温度とは異なる第２の温度に温度制御した前記第２の流体を前記第２流入口に供給し、前記第２分岐流路の下流口又は前記第２循環流路の下流口から流出した前記第２の流体を受け入れて前記第２の温度に温度制御する第２温度制御ユニットと、を備える、温度制御装置。
  10. 前記第１温度制御ユニットは、前記第１の流体を、２０Ｌ／ｍｉｎ以上の流量で供給し、
    前記第２温度制御ユニットは、前記第２の流体を、２０Ｌ／ｍｉｎ以上の流量で供給する、請求項９に記載の温度制御装置。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001065013A (ja) * 1999-08-30 2001-03-13 Mitsubishi Electric Corp 自動混合水栓
JP2013105359A (ja) * 2011-11-15 2013-05-30 Tokyo Electron Ltd 温度制御システム、半導体製造装置及び温度制御方法
JP2014098954A (ja) * 2012-11-13 2014-05-29 Azbil Corp 流量制御システム
JP2018084259A (ja) * 2016-11-22 2018-05-31 伸和コントロールズ株式会社 流量制御用二方弁及びこれを用いた温度制御装置
WO2018221233A1 (ja) * 2017-06-02 2018-12-06 伸和コントロールズ株式会社 流量制御用三方弁及びこれを用いた温度制御装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4856905B2 (ja) * 2005-06-27 2012-01-18 国立大学法人東北大学 流量レンジ可変型流量制御装置
US8025097B2 (en) * 2006-05-18 2011-09-27 Centipede Systems, Inc. Method and apparatus for setting and controlling temperature
JP4978928B2 (ja) * 2007-04-27 2012-07-18 シーケーディ株式会社 温度制御装置
CN102203905A (zh) * 2008-11-10 2011-09-28 Kelk株式会社 半导体晶片的温度控制装置及温度控制方法
JP5651317B2 (ja) * 2009-03-31 2015-01-07 東京エレクトロン株式会社 半導体製造装置及び温調方法
JP5175965B2 (ja) * 2011-10-03 2013-04-03 国立大学法人東北大学 流量レンジ可変型流量制御装置
JP6209139B2 (ja) * 2014-08-05 2017-10-04 Ckd株式会社 パイロット式電磁弁
US11837479B2 (en) * 2016-05-05 2023-12-05 Applied Materials, Inc. Advanced temperature control for wafer carrier in plasma processing chamber
KR102554066B1 (ko) * 2019-01-10 2023-07-11 가부시키가이샤 케르쿠 온도 제어 시스템 및 온도 제어 방법
US11796260B2 (en) * 2020-04-15 2023-10-24 Baidu Usa Llc System for thermal management in multiple operating conditions

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001065013A (ja) * 1999-08-30 2001-03-13 Mitsubishi Electric Corp 自動混合水栓
JP2013105359A (ja) * 2011-11-15 2013-05-30 Tokyo Electron Ltd 温度制御システム、半導体製造装置及び温度制御方法
JP2014098954A (ja) * 2012-11-13 2014-05-29 Azbil Corp 流量制御システム
JP2018084259A (ja) * 2016-11-22 2018-05-31 伸和コントロールズ株式会社 流量制御用二方弁及びこれを用いた温度制御装置
WO2018221233A1 (ja) * 2017-06-02 2018-12-06 伸和コントロールズ株式会社 流量制御用三方弁及びこれを用いた温度制御装置

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