JP2014098954A - 流量制御システム - Google Patents
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Abstract
【課題】流路に供給すべき流体の供給流量TQに対して、必要なオンオフ弁の台数を少なくする。
【解決手段】流体が流れる流路L中に並列に接続された枝配管L1〜L3にオンオフ弁V1〜V3を各個に接続する。オンオフ弁V1〜V3は、そのオン時の通過可能な流体の流量をそれぞれ異ならせ、オンオフ弁V1〜V3中、オン時に通過可能な流量が最も少ないオンオフ弁のオン時の通過可能な流量をQ1とし、nをオンオフ弁V1〜V3のオン時の通過可能な流量の並び順とした場合、オンオフ弁V1〜V3のオン時の通過可能な流体の流量QnをQn=2n-1・Q1とする。制御部1Aは、流路に供給すべき流体の供給流量TQ(設定流量TQsp)とオンオフ弁V1〜V3のオン時の通過可能な流量Qnとに基づいて、オンオフ弁V1〜V3の開閉制御の組み合わせを決定する。
【選択図】 図1
【解決手段】流体が流れる流路L中に並列に接続された枝配管L1〜L3にオンオフ弁V1〜V3を各個に接続する。オンオフ弁V1〜V3は、そのオン時の通過可能な流体の流量をそれぞれ異ならせ、オンオフ弁V1〜V3中、オン時に通過可能な流量が最も少ないオンオフ弁のオン時の通過可能な流量をQ1とし、nをオンオフ弁V1〜V3のオン時の通過可能な流量の並び順とした場合、オンオフ弁V1〜V3のオン時の通過可能な流体の流量QnをQn=2n-1・Q1とする。制御部1Aは、流路に供給すべき流体の供給流量TQ(設定流量TQsp)とオンオフ弁V1〜V3のオン時の通過可能な流量Qnとに基づいて、オンオフ弁V1〜V3の開閉制御の組み合わせを決定する。
【選択図】 図1
Description
この発明は、流体が流れる流路中に並列に接続された枝配管に各個に接続されたオンオフ弁の開閉を制御する流量制御システムに関するものである。
従来より、マンション等の多数の住戸からなる集合住宅施設へ一括して調和空気を供給するセントラル空調制御システム等では、集合住宅施設への流路に供給すべき温水又は冷水の供給流量TQは、一戸当たりの空調に必要とされる供給流量Q1に住戸数nを掛けたTQ=Q1・nで表すことができる。また、各住戸は使用中のものも不使用のものも存在するので、供給流量TQはQ1単位で増減できなければならない。
このようなセントラル空調制御システムの温水又は冷水の供給部は、全開時にQ1の流量を流せるオンオフ弁を接続した枝配管を流路中に多数(n個)並列に接続した配管系統で構成することが多い。
オンオフ弁ではなく、比例弁で構成することも可能であるが、比例弁は弁の開度を細かく調整できる反面、弁の開度を制御する制御部がオンオフ弁よりも複雑でかつ高価なものとなる。これに対し、セントラル空調制御システムの温水又は冷水の供給部では、それほど細かく流量調整をする必要がない。このため、セントラル空調制御システムの温水又は冷水の供給部では、オン時に全開、オフ時に全閉とするだけでよいオンオフ弁を採用した方が有利となる。
しかしながら、住戸数nに対応した台数のオンオフ弁、および、このオンオフ弁を接続した枝配管も住戸数nに応じた分必要なので、住戸数nが大きくなるにつれ、設備の大型化、コストアップ、施工作業が煩わしいという問題が生じる。
なお、2台の同じ容量のオンオフ弁と1台のパルス制御のオンオフ弁とを並列に設けて、オンオフ弁の開閉を制御する一方、パルス制御のオンオフ弁の開閉をPWM(Pulse Width Modulation)制御するようにしたシステムも存在する(例えば、特許文献1参照)。しかしながら、このようなシステムでは、流体の供給量を連続的に制御することが可能であるが、流路に供給すべき流体の供給流量TQに対して必要なオンオフ弁の台数が多いことには変わりがなく、上述と同様の問題が生じる。
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、流路に供給すべき流体の供給流量TQに対して、必要なオンオフ弁の台数を少なくすることが可能な流量制御システムを提供することにある。
このような目的を達成するために本発明は、流体が流れる流路中に並列に接続された第1〜第N(N≧2)の枝配管と、この第1〜第Nの枝配管に各個に接続され、オン時に全開、オフ時に全閉とされる第1〜第Nのオンオフ弁と、この第1〜第Nのオンオフ弁の開閉を制御する制御部とを備えた流量制御システムにおいて、第1〜第Nのオンオフ弁は、そのオン時の通過可能な流体の流量がそれぞれ異なり、第1〜第Nのオンオフ弁中、オン時に通過可能な流量が最も少ないオンオフ弁のオン時の通過可能な流量をQ1とし、nを第1〜第Nのオンオフ弁のオン時の通過可能な流量の並び順とした場合、そのオン時の通過可能な流体の流量QnがQn=2n-1・Q1とされていることを特徴とする(請求項1)。
本発明では、n台のオンオフ弁で供給可能な最大の供給流量は、Q1・Σ2n-1 となり、オン時に通過可能な流量が最も少ないオンオフ弁のオン時の通過可能な流量Q1のΣ2n-1倍流せることになる(従来だとn倍しか流せない)。例えば、n=3のときの最大の供給流量は、従来は3Q1なのに対して、本発明では、3台のオンオフ弁の合計で7Q1(Q1+2Q1+4Q1=7Q1)となる。逆に言うと、流路に供給すべき流体の供給流量TQを7Q1とするには、従来ではオン時の通過可能な流量がQ1であるオンオフ弁が7台必要なのに対して、本発明では、3台のオンオフ弁で達成できることになる。
本発明において、制御部では、流路に供給すべき流体の供給流量TQと第1〜第Nのオンオフ弁のオン時の通過可能な流量Qnとに基づいて第1〜第Nのオンオフ弁の開閉制御の組み合わせを決定するようにする(請求項2)。例えば、流路に供給すべき流体の供給流量TQがQ1であれば、QnがQ1のオンオフ弁をオンとし、流路に供給すべき流体の供給流量TQがQ2であれば、Qnが2Q1のオンオフ弁をオンとし、流路に供給すべき流体の供給流量TQがQ3であれば、QnがQ1のオンオフ弁とQnが2Q1のオンオフ弁とをオンとするように、第1〜第Nのオンオフ弁の開閉制御の組み合わせを決定する。
本発明において、第1〜第Nの枝配管が接続された流路中に、全開時に通過可能な流体の流量がQ1である比例弁が接続された枝配管をさらに並列に接続するようにしてもよい(請求項3)。
このような比例弁とオンオフ弁とを組み合わせたシステムとした場合、例えば、制御部において、流路に供給すべき流体の供給流量TQをQ1で除して商と余りを求め、第1〜第Nのオンオフ弁のオン時の通過可能な流量Qnと求めた商とに基づいて第1〜第Nのオンオフ弁の開閉制御の組み合わせを決定する一方、比例弁の全開時の通過可能な流量Q1と求めた余りに基づいて比例弁の開度を決定するようにすることが考えられる(請求項4)。このようにすると、流路に供給すべき流体の供給流量TQをQ1で除して商と余りがでる場合には、オンオフ弁の開閉制御に加え、比例弁の開度制御が行われるものとなり、このオンオフ弁の開閉制御と比例弁の開度制御との組み合わせにより、必要な供給流量TQを確実に確保することが可能となる。また、必要な供給流量TQがQ1未満であっても、その供給流量TQを確保することが可能となる。
また、別の例として、制御部において、流路に供給すべき流体の供給流量TQをQ1で除して商を求め、第1〜第Nのオンオフ弁のオン時の通過可能な流量Qnと求めた商とに基づいて第1〜第Nのオンオフ弁の開閉制御の組み合わせを決定し、その決定した組み合わせで第1〜第Nのオンオフ弁の開閉を比例弁を全閉とした状態で制御した後、流路に流れている流体の実流量TQpvを求め、その求めた実流量TQpvと流路に供給すべき流体の供給流量TQ(TQsp)との差に基づいて比例弁の開度を制御するようにすることが考えられる(請求項5)。このようにすると、第1〜第Nのオンオフ弁の開閉を制御した後、流路に供給すべき流体の供給流量TQ(TQsp)に実流量TQpvが一致していない場合には、比例弁の開度制御が行われるものとなり、このオンオフ弁の開閉制御後の比例弁の開度制御により、必要な供給流量TQを確実に確保することが可能となる。
本発明によれば、第1〜第Nの枝配管に接続された第1〜第Nのオンオフ弁のオン時の通過可能な流体の流量QnをQn=2n-1・Q1としたので、n台のオンオフ弁で供給可能な最大の供給流量をQ1・Σ2n-1 として、流路に供給すべき流体の供給流量TQに対して必要なオンオフ弁の台数を少なくすることが可能となる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
〔実施の形態1〕
図1はこの発明に係る流量制御システムの一実施の形態(実施の形態1)の要部を示すシステム構成図である。同図において、L1〜L3は流体が流れる流路L中に並列に接続された枝配管、V1〜V3は枝配管L1〜L3に各個に接続されたオンオフ弁、1(1A)はオンオフ弁V1〜V3の開閉を制御する制御部である。
図1はこの発明に係る流量制御システムの一実施の形態(実施の形態1)の要部を示すシステム構成図である。同図において、L1〜L3は流体が流れる流路L中に並列に接続された枝配管、V1〜V3は枝配管L1〜L3に各個に接続されたオンオフ弁、1(1A)はオンオフ弁V1〜V3の開閉を制御する制御部である。
この実施の形態において、オンオフ弁V1〜V3は、そのオン時の通過可能な流体の流量がそれぞれ異なっており、オンオフ弁V1〜V3中、オン時に通過可能な流量が最も少ないオンオフ弁のオン時の通過可能な流量をQ1とし、nをオンオフ弁V1〜V3のオン時の通過可能な流量の並び順とした場合、オンオフ弁V1〜V3のオン時の通過可能な流体の流量QnはQn=2n-1・Q1とされている。
この実施の形態では、オンオフ弁V1,V2,V3の順にオン時の通過可能な流量(オン時流量)が大きくされており、オンオフ弁V1のオン時流量がQ1,オンオフ弁V2のオン時流量がQ2が2Q1、オンオフ弁V3のオン時流量Q3が4Q1とされている。
制御部1Aは、プロセッサや記憶装置からなるハードウェアと、これらのハードウェアと協働して各種機能を実現させるプログラムとによって実現され、実施の形態1特有の機能としてオンオフ弁の開閉制御機能を有している。
また、制御部1Aには、オンオフ弁V1〜V3とそのオン時流量Q1〜Q3との関係を表すテーブルがテーブルTA1(図2)として記憶されている。また、制御部1Aには、上位装置(図示せず)から、流路Lに供給すべき流体の供給流量TQが設定流量TQspとして与えられる。
以下、図3に示すフローチャートに従って、制御部1Aが有するオンオフ弁の開閉制御機能について説明する。
制御部1Aは、流路Lに供給すべき流体の供給流量TQが設定流量TQspとして入力されると(ステップS101のYES)、この入力された設定流量TQspをオンオフ弁V1のオン時流量Q1で除して、その商Xを求める(ステップS102)。なお、この実施の形態において、供給流量TQ(TQsp)はオン時流量Q1で割り切れる値として与えられるものとする。
制御部1Aは、ステップS102で求めた商Xと、テーブルTA1に書き込まれているオンオフ弁V1〜V3とそのオン時流量Q1〜Q3との関係とに基づいて、オンオフ弁V1〜V3の開閉制御の組み合わせを決定する(ステップS103)。この例では、オンオフ弁V1〜V3の開閉制御の組み合わせとして、オン(全開)とするオンオフ弁の組み合わせを決定するが、オフ(全閉)とするオンオフ弁の組み合わせを決定するものとしてもよい。
図4に制御部1Aにおけるオンオフ弁の開閉制御の組み合わせの決定ロジックを示す。制御部1Aは、このロジックに従って、商が「1」(設定流量TQspがQ1)であった場合、オンとするオンオフ弁をV1とし、商が「2」(設定流量TQspが2Q1)であった場合、オンとするオンオフ弁をV2とし、商が「3」(設定流量TQspが3Q1)であった場合、オンとするオンオフ弁をV2とV1とする。
また、制御部1Aは、このロジックに従って、商が「4」(設定流量TQspが4Q1)であった場合、オンとするオンオフ弁をV3とし、商が「5」(設定流量TQspが5Q1)であった場合、オンとするオンオフ弁をV3とV1とし、商が「6」(設定流量TQspが6Q1)であった場合、オンとするオンオフ弁をV3とV2とし、商が「7」(設定流量TQspが7Q1)であった場合、オンとするオンオフ弁をV3とV2とV1とする。
そして、制御部1Aは、ステップS103で決定したオンオフ弁の開閉制御の組み合わせを出力する(ステップS104)。これにより、決定された組み合わせとなるように、オンオフ弁V1〜V3の開閉制御が行われる。
この実施の形態では、3台のオンオフ弁で供給可能な最大の供給流量は、Q1・Σ23-1 =7Q1となり、オン時に通過可能な流量が最も少ないオンオフ弁V1のオン時の通過可能な流量Q1のΣ23-1=7倍流せることになる(従来だと3倍しか流せない)。すなわち、n=3のときの最大の供給流量は、従来は3Q1なのに対して、この実施の形態では、3台のオンオフ弁の合計で7Q1(Q1+2Q1+4Q1=7Q1)となる。逆に言うと、流路Lに供給すべき流体の供給流量TQを7Q1とするには、従来ではオン時の通過可能な流量がQ1であるオンオフ弁が7台必要なのに対して、この実施の形態では、3台のオンオフ弁で達成できることになり、必要なオンオフ弁の台数が削減されるものとなる。
〔実施の形態2〕
図5に本発明に係る流量制御システムの他の実施の形態(実施の形態2)の要部を示す。この実施の形態2では、枝配管L1〜L3が接続された流路L中に並列に枝配管L4をさらに接続し、この枝配管L4に全開時に通過可能な流体の流量(全開時流量)がQ1である比例弁Vdを接続している。
図5に本発明に係る流量制御システムの他の実施の形態(実施の形態2)の要部を示す。この実施の形態2では、枝配管L1〜L3が接続された流路L中に並列に枝配管L4をさらに接続し、この枝配管L4に全開時に通過可能な流体の流量(全開時流量)がQ1である比例弁Vdを接続している。
また、制御部1(1B)には、図2に示したオンオフ弁V1〜V3とそのオン時流量Q1〜Q3との関係を表すテーブルTA1に加え、比例弁Vdとその全開時流量Q1との関係を表すテーブルがテーブルTA2(図6)として記憶されている。また、制御部1Bは、実施の形態2特有の機能としてオンオフ弁の開閉制御および比例弁の開度制御機能を有している。
以下、図7に示すフローチャートに従って、制御部1Bが有するオンオフ弁の開閉制御および比例弁の開度制御機能について説明する。
制御部1Bは、流路Lに供給すべき流体の供給流量TQが設定流量TQspとして入力されると(ステップS201のYES)、この入力された設定流量TQspをオンオフ弁V1のオン時流量Q1で除して、その商Xと余りQdを求める(ステップS202)。なお、この実施の形態において、供給流量TQ(TQsp)はオン時流量Q1で割り切れない値として与えられるものとする。
制御部1Bは、ステップS202で求めた商Xと、テーブルTA1に書き込まれているオンオフ弁V1〜V3とそのオン時流量Q1〜Q3との関係とに基づいて、オンオフ弁V1〜V3の開閉制御の組み合わせを決定する(ステップS203)。この例では、オンオフ弁V1〜V3の開閉制御の組み合わせとして、オン(全開)とするオンオフ弁の組み合わせを決定するが、オフ(全閉)とするオンオフ弁の組み合わせを決定するものとしてもよい。
また、制御部1Bは、ステップS202で求めた余りQdと、テーブルTA2に書き込まれている比例弁Vdとその全開時流量Q1との関係と基づいて比例弁Vdの開度θspを決定する(ステップS204)。
図8に制御部1Bにおけるオンオフ弁の開閉制御の組み合わせおよび比例弁の開度の決定ロジックを示す。なお、図8において、θdは、全開時流量Q1と流量Qdとの比から求められる流量Qdを確保し得る比例弁Vdの開度とする。
制御部1Bは、このロジックに従って、商が「1」(設定流量TQspがQ1)で余りがQdであった場合、オンとするオンオフ弁をV1とする一方、比例弁Vdの開度θspをθdとし、商が「2」(設定流量TQspが2Q1)で余りがQdであった場合、オンとするオンオフ弁をV2とする一方、比例弁Vdの開度θspをθdとし、商が「3」(設定流量TQspが3Q1)で余りがQdであった場合、オンとするオンオフ弁をV2とV1とする一方、比例弁Vdの開度θspをθdとする。
また、制御部1Bは、このロジックに従って、商が「4」(設定流量TQspが4Q1)で余りがQdであった場合、オンとするオンオフ弁をV3とする一方、比例弁Vdの開度θspをθdとし、商が「5」(設定流量TQspが5Q1)で余りがQdであった場合、オンとするオンオフ弁をV3とV1とする一方、比例弁Vdの開度θspをθdとし、商が「6」(設定流量TQspが6Q1)で余りがQdであった場合、オンとするオンオフ弁をV3とV2とする一方、比例弁Vdの開度θspをθdとし、商が「7」(設定流量TQspが7Q1)で余りがQdであった場合、オンとするオンオフ弁をV3とV2とV1とする一方、比例弁Vdの開度θspをθdとする。
そして、制御部1Aは、ステップS203で決定したオンオフ弁の開閉制御の組み合わせを出力し(ステップS205)、ステップ204で決定した比例弁の開度θspを出力する(ステップS206)。これにより、決定された組み合わせとなるように、オンオフ弁V1〜V3の開閉制御が行われる。また、決定された開度θspとなるように、比例弁Vdの開度制御が行われる。
この実施の形態では、流路Lに供給すべき流体の供給流量TQ(TQsp)をQ1で除して商と余りがでる場合には、オンオフ弁V1〜V3の開閉制御に加え、比例弁Vdの開度制御が行われるものとなり、このオンオフ弁V1〜V3の開閉制御と比例弁Vdの開度制御との組み合わせにより、必要な供給流量TQを確実に確保することができるようになる。また、必要な供給流量TQがQ1未満であっても、その供給流量TQを確保することができるようになる。
〔実施の形態3〕
図9に本発明に係る流量制御システムの別の実施の形態(実施の形態3)の要部を示す。この実施の形態3においても、実施の形態2と同様、枝配管L1〜L3が接続された流路L中に並列に枝配管L4をさらに接続し、この枝配管L4に全開時に通過可能な流体の流量(全開時流量)がQ1である比例弁Vdを接続している。
図9に本発明に係る流量制御システムの別の実施の形態(実施の形態3)の要部を示す。この実施の形態3においても、実施の形態2と同様、枝配管L1〜L3が接続された流路L中に並列に枝配管L4をさらに接続し、この枝配管L4に全開時に通過可能な流体の流量(全開時流量)がQ1である比例弁Vdを接続している。
また、枝配管L1〜L4の前後の差圧、すなわちオンオフ弁V1〜V3および比例弁Vdが並列に接続されている流路Lの前後の差圧を差圧センサ2で検出するようにし、この差圧センサ2によって検出される差圧ΔPを制御部1(1C)に送るようにしている。
また、制御部1Cは、実施の形態3特有の機能としてオンオフ弁の開閉制御および比例弁の開度制御機能を有しており、この機能を実現すべく、オンオフ弁開閉制御部1−1と、比例弁開度制御部1−2と、オンオフ弁実流量演算部1−3と、比例弁実流量演算部1−4と、Cv値算出部1−5と、不足流量演算部1−6と、記憶部1−7とを備えている。
記憶部1−1には、図2に示したオンオフ弁V1〜V3とそのオン時流量Q1〜Q3との関係を表すテーブルTA1と、図6に示した比例弁Vdとその全開時流量Q1との関係を表すテーブルTA2とに加え、オンオフ弁V1〜V3とその容量係数(全開時の容量係数)Cv1〜Cv3との関係を表すテーブルがテーブルTA3(図10)として記憶されている。
以下、図11に示すフローチャートに従って、制御部1Cにおける各部の機能を交えながら、制御部1Cが有するオンオフ弁の開閉制御および比例弁の開度制御機能について説明する。
制御部1Cは、流路Lに供給すべき流体の供給流量TQが設定流量TQspとして入力されると(ステップS301のYES)、この入力された設定流量TQspをオンオフ弁V1のオン時流量Q1で除して、その商Xを求める(ステップS302)。なお、この実施の形態において、供給流量TQ(TQsp)はオン時流量Q1で割り切れる値として与えられるものとする。
制御部1Cは、ステップS302で求めた商Xと、テーブルTA1に書き込まれているオンオフ弁V1〜V3とそのオン時流量Q1〜Q3との関係とに基づいて、オンオフ弁V1〜V3の開閉制御の組み合わせを決定する(ステップS303)。この例では、オンオフ弁V1〜V3の開閉制御の組み合わせとして、実施の形態1と同様、図4に示したロジックに従って、オン(全開)とするオンオフ弁の組み合わせを決定するが、オフ(全閉)とするオンオフ弁の組み合わせを決定するものとしてもよい。
そして、制御部1Cは、ステップS303で決定したオンオフ弁V1〜V3の開閉制御の組み合わせを出力する(ステップS304)。これにより、決定された組み合わせとなるように、オンオフ弁V1〜V3の開閉制御が行われる。このステップS302〜S304の処理動作はオンオフ弁開閉制御部1−1が行う。なお、オンオフ弁V1〜V3の開閉制御に際し、比例弁Vdは全閉状態とされているものとする。
このオンオフ弁V1〜V3の開閉制御後、制御部1Cは、流路Lを流れている流体の実流量TQpvを計測する(ステップS305)。すなわち、オンオフ弁V1〜V3中、オンとされたオンオフ弁を流れている流体の流量の合計値を、流路Lを流れている流体の実流量(オンオフ弁実流量)TQpvとして計測する。このオンオフ弁実流量TQpvの計測(計算)はオンオフ弁実流量演算部1−3が行う。
オンオフ弁実流量演算部1−3には、差圧センサ2によって検出される差圧ΔPと、Cv値算出部1−5によって算出されるCv値とが与えられる。Cv値算出部1−5は、オンオフ弁開閉制御部1−1からのオンオフ弁V1〜V3の開閉制御の組み合わせを入力とし、記憶部1−7に記憶されているテーブルTA3に従って、オンとされるオンオフ弁の容量係数(全開時の容量係数)を取得し、その取得した容量係数の合計値をCv値として求め、オンオフ弁実流量演算部1−3へ送る。オンオフ弁実流量演算部1−3は、差圧センサ2からの差圧ΔPとCv値算出部1−5からのCv値とから、流路Lに流れている流体の実流量をオンオフ弁実流量TQpvとして算出する。
そして、制御部1Cは、流路Lに供給すべき流体の供給流量TQ(TQsp)と算出されたオンオフ弁実流量TQpvとの差を不足流量ΔQとして求め(ステップS306)、この不足流量ΔQが所定値Mを下回っているか否かをチェックする(ステップS307)。この実施の形態において、MはM=Q1として定められている。
ここで、ΔQがMを下回っていれば(ステップS307のYES)、制御部1Cは、比例弁Vdに流れている流体の実流量Qdを計測(計算)し(ステップS308)、ΔQとQdとの差が所定値N(N<<M)以下であるか否かをチェックする(ステップS309)。この場合、比例弁Vdは全閉状態であるので、Qd=0として計測(計算)される。したがって、この場合、ステップS309では、ΔQがN以下であるか否かをチェックする。なお、比例弁Vdに流れている流体の実流量Qdの計測(計算)は、比例弁実流量演算部1−4で行われる。
ここで、図12(a)に示すように、ΔQがNを下回っていれば(ステップS309のYES)、制御部1Cは、オンオフ弁の開閉制御のみで必要な供給流量TQ(TQsp)が確保されたと判断し、流量制御を終了する。
これに対し、図12(b)に示すように、ΔQがN以上であれば(ステップS309のNO)、制御部1Cは、オンオフ弁の開閉制御のみでは必要な供給流量(TQsp)が確保されなかったと判断する。例えば、異物やゴミなどによって、オンオフ弁を流れる流量が減り、このような状態となる場合がある。
この場合、制御部1Cは、ΔQ−QdがNを下回るように、比例弁Vdの開度θspを決定し(ステップS310)、その決定した比例弁Vdの開度θspを出力する(ステップS311)。これにより、決定された開度θspとなるように、比例弁Vdの開度制御が行われる。この比例弁Vdの開度制御は比例弁開度制御部1−2が行う。
そして、制御部1Cは、この比例弁Vdの開度制御後、比例弁Vdに流れている流体の実流量Qdを計測(計算)し(ステップS308)、ΔQ−QdがNを下回ったことが確認されれば(ステップS309のYES、図12(c)参照)、必要な供給流量TQ(TQsp)が確保されたと判断し、流量制御を終了する。
なお、ΔQがM以上であった場合(ステップS307のNO)、制御部1Cは、オンオフ弁実流量QTpvを必要な供給流量TQ(TQsp)に一致させるように、オンオフ弁の開閉制御の組み合わせの再決定を行い(ステップS312)、ステップ304以下の処理動作を繰り返す。このオンオフ弁の開閉制御の組み合わせの再決定、および再決定されたオンオフ弁の開閉制御の組み合わせの出力は、不足流量演算部1−6からのΔQ≧Mである旨の結果を受けて、オンオフ弁開閉制御部1−1が行う。
これにより、オンオフ弁の開閉を制御した後、流路Lに供給すべき流体の供給流量TQ(TQsp)に実流量TQpvが一致していない場合には、比例弁Vdの開度制御が行われるものとなり、このオンオフ弁の開閉制御後の比例弁Vdの開度制御により、必要な供給流量TQを確実に確保することができるようになる。
なお、上述した実施の形態では、オンオフ弁を3つ用いた例で説明したが、オンオフ弁は2つでもよく、さらに多くのオンオフ弁を用いるものとしてもよい。オンオフ弁を増大させることにより、大流量化が可能となり、オンオフ弁と比例弁とを組み合わせることにより、流量調節の詳細化が可能となる。また、後からオンオフ弁や比例弁を追加・交換することも可能であり、拡張性の高いものとなる。
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。また、各実施の形態については、矛盾しない範囲で任意に組み合わせて実施することができる。
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。また、各実施の形態については、矛盾しない範囲で任意に組み合わせて実施することができる。
1(1A,1B,1C)…制御部、1−1…オンオフ弁開閉制御部、1−2…比例弁開度制御部、1−3…オンオフ弁実流量演算部、1−4…比例弁実流量演算部、1−5…Cv値算出部、1−6…不足流量演算部、1−7…記憶部、2…差圧センサ、L…流路、L1,L2,L3…枝配管、V1,V2,V3…オンオフ弁、Vd…比例弁、TA1,TA2,TA3…テーブル。
Claims (5)
- 流体が流れる流路中に並列に接続された第1〜第N(N≧2)の枝配管と、この第1〜第Nの枝配管に各個に接続され、オン時に全開、オフ時に全閉とされる第1〜第Nのオンオフ弁と、この第1〜第Nのオンオフ弁の開閉を制御する制御部とを備えた流量制御システムにおいて、
前記第1〜第Nのオンオフ弁は、
そのオン時の通過可能な流体の流量がそれぞれ異なり、
前記第1〜第Nのオンオフ弁中、オン時に通過可能な流量が最も少ないオンオフ弁のオン時の通過可能な流量をQ1とし、nを前記第1〜第Nのオンオフ弁のオン時の通過可能な流量の並び順とした場合、
そのオン時の通過可能な流体の流量QnがQn=2n-1・Q1とされている
ことを特徴とする流量制御システム。 - 請求項1に記載された流量制御システムにおいて、
前記制御部は、
前記流路に供給すべき流体の供給流量TQと前記第1〜第Nのオンオフ弁のオン時の通過可能な流量Qnとに基づいて前記第1〜第Nのオンオフ弁の開閉制御の組み合わせを決定する
ことを特徴とする流量制御システム。 - 請求項1に記載された流量制御システムにおいて、
全開時に通過可能な流体の流量がQ1である比例弁が接続された枝配管が前記第1〜第Nの枝配管が接続された流路中にさらに並列に接続されている
ことを特徴とする流量制御システム。 - 請求項3に記載された流量制御システムにおいて、
前記制御部は、
前記流路に供給すべき流体の供給流量TQをQ1で除して商と余りを求め、前記第1〜第Nのオンオフ弁のオン時の通過可能な流量Qnと前記求めた商とに基づいて前記第1〜第Nのオンオフ弁の開閉制御の組み合わせを決定する一方、前記比例弁の全開時の通過可能な流量Q1と前記求めた余りに基づいて前記比例弁の開度を決定する
ことを特徴とする流量制御システム。 - 請求項3に記載された流量制御システムにおいて、
前記制御部は、
前記流路に供給すべき流体の供給流量TQをQ1で除して商を求め、前記第1〜第Nのオンオフ弁のオン時の通過可能な流量Qnと前記求めた商とに基づいて前記第1〜第Nのオンオフ弁の開閉制御の組み合わせを決定し、
その決定した組み合わせで前記第1〜第Nのオンオフ弁の開閉を前記比例弁を全閉とした状態で制御した後、
前記流路に流れている流体の実流量TQpvを求め、
その求めた実流量TQpvと前記流路に供給すべき流体の供給流量TQとの差に基づいて前記比例弁の開度を制御する
ことを特徴とする流量制御システム。
Priority Applications (1)
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JP2012249170A JP2014098954A (ja) | 2012-11-13 | 2012-11-13 | 流量制御システム |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2021082127A (ja) * | 2019-11-21 | 2021-05-27 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給システム、プラズマ処理装置及びガス供給システムの制御方法 |
KR20210107668A (ko) * | 2018-12-27 | 2021-09-01 | 신와 콘트롤즈 가부시키가이샤 | 밸브 유닛 및 온도 제어 장치 |
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2012
- 2012-11-13 JP JP2012249170A patent/JP2014098954A/ja active Pending
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