JP5175965B2 - 流量レンジ可変型流量制御装置 - Google Patents
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Description
約5%の点で、誤差が−1%F.Sを越えることになる。
MFCは熱式質量流量制御装置
1は制御部
2はコントロール弁
3はオリフィス一次側管路
4は駆動部
5は流体供給用管路
6は圧力センサ
8aは小流量用オリフィス
8bは中流量用オリフィス
8cは大流量用オリフィス
32はNo1切換用電磁弁
33はNo2切換用電磁弁
34はNo1切換弁
34aは弁駆動部
34bは近接センサ
35はNo2切換弁
35aは弁駆動部
35bは近接センサ
36は制御部
36aはブリッジ回路
37は流量制御バルブ
38.38a.38bは層流素子バイパス
39は流量センサ部
40a・40bは流体通路
41.42は切換バルブ
Claims (1)
- オリフィス上流側圧力P1及びオリフィス下流側圧力P2の少なくともオリフィス上流側圧力P1を用いて、オリフィスを流通する流体の流量をQc=KP1(Kは比例定数)又はQc=KP2 m(P1−P2)n(Kは比例定数、mとnは定数)として演算するようにした圧力式流量制御装置において、当該圧力式流量制御装置の第一のバルブの下流側と流体供給用管路との間の流体通路を二つの並列状の流体通路とし、前記第一のバルブと前記並列状の流体通路との間の流体通路の流体圧力を前記オリフィス上流側圧力P 1 として検出する圧力センサを設け、前記並列状の流体通路の一方の流体通路には第二のバルブと該第二のバルブ下流側の第一のオリフィスとを設け、前記並列状の流体通路の他方の流体通路にはバルブを設けずに第二のオリフィスを設け、前記一方の流体通路は、前記第二のバルブの開閉によって制御され、前記第一のオリフィスへ大流量域の流体を流通させ、前記他方の流体通路は常時連通され、前記第二のオリフィスへ小流量域の流体を流通させる構成とすると共に、前記第二のバルブの開放制御時には、前記第一のオリフィスによる制御流量Q C =K C P 1 (但し、Kcは第一のオリフィスに固有の定数)と第二のオリフィスによる制御流量Q S =K S P 1 (但しK S は第二のオリフィスに固有の定数)との和として流量を演算するか、若しくは、前記第一のオリフィスによる制御流量Qc=K C P 2 m (P 1 −P 2 ) n (但し、Kcは第一のオリフィスに固有の定数)と第二のオリフィスによる制御流量Qc=K S P 2 m (P 1 −P 2 ) n (但しK S は第二のオリフィスに固有の定数)との和として流量を演算する構成としたことを特徴とする流量レンジ可変型圧力式流量制御装置。
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