JPWO2020120955A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. ターボ分子段とドラッグ段とを備えた真空ポンプであって、
   前記真空ポンプは、ステータ及びロータを備え、前記ロータは、モータのスピンドルと該スピンドルに実装されたターボ分子ロータとドラッグロータを備え、
   前記ターボ分子ロータは、複数のブレードが延びるハブを備え、前記ハブは、前記スピンドルに実装するための実装部と中空円筒部分とを備え、前記中空円筒部分は、前記実装部から前記ターボ分子段の出口端部に向かって延び、
   前記ドラッグロータは、円筒形スカートと、前記円筒形スカートから離れて延びる取付部とを備え、前記取付部は、前記ターボ分子ロータの前記ハブの前記中空円筒形部分内に延在し、前記ターボ分子ロータの前記出口端部よりも前記実装部に近い箇所で取り付けられる、真空ポンプ。
2. 前記ドラッグロータが、前記ターボ分子ロータを形成する材料よりも高温に耐性のある材料で形成されている、請求項１に記載の真空ポンプ。
3. 前記ドラッグロータが、前記ターボ分子ロータを形成する材料よりも低い熱伝導率を有する材料で形成されている、請求項１から２の何れか１項に記載の真空ポンプ。
4. 前記ドラッグロータが鋼鉄で形成されている、請求項１から３の何れか１項に記載の真空ポンプ。
5. 前記ドラッグロータがステンレス鋼で形成されている、請求項１から４の何れか１項に記載の真空ポンプ。
6. 前記ターボ分子ロータがアルミニウムで形成されている、請求項１から５の何れか１項に記載の真空ポンプ。
7. 前記取付部が、前記ターボ分子ロータの前記実装部に取り付けられる、請求項１から６の何れか１項に記載の真空ポンプ。
8. 前記実装部が、前記ターボ分子ロータの前記ブレードに平行で且つ前記スピンドルに垂直に延びる、請求項１から７の何れか１項に記載の真空ポンプ。
9. 前記取付部が、５０Ｗ／ｍＫ未満の熱伝導率を有する、請求項１から８の何れか１項に記載の真空ポンプ。
10. 前記取付部が薄く、３ｍｍ以下の厚さを有する、請求項１から９の何れか１項に記載の真空ポンプ。
11. 前記取付部が、前記ターボ分子ロータの前記ハブの前記中空円筒部分よりも小さい直径のシリンダを備え、前記取付部の前記シリンダと前記ハブの前記円筒部分との間にギャップが存在するようにする、請求項１から１０の何れか１項に記載の真空ポンプ。
12. 前記ターボ分子ロータが、高放射率コーティングを備える、請求項１から１１の何れか１項に記載の真空ポンプ。
13. 前記ターボ分子ステータが、高放射率コーティングを備える、請求項１から１２の何れか１項に記載の真空ポンプ。
14. 前記ステータが、ターボ分子段及びドラッグ段ステータを備え、前記ターボ分子段ステータが、前記ロータの周りに延在し、前記ドラッグ段ステータが、前記ターボ分子段ステータ内に実装され且つ前記ターボ分子段ステータから熱的に隔離される、請求項１から１３の何れか１項に記載の真空ポンプ。
15. 前記真空ポンプが、前記ドラッグ段ステータを加熱するためのヒーターを備える、請求項１４に記載の真空ポンプ。