JPWO2020018798A5

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Publication number: JPWO2020018798A5
Application number: JP2020572695A
Authority: JP
Publication date: 2022-06-20
Anticipated expiration: 2039-07-18

Description

序論
一態様では、樹脂組成物は、アクリレートおよびシロキサンを含むフリーラジカル硬化性樹脂マトリックスと、フリーラジカル光開始剤とを含んで成り、約３８０ｎｍから約４８０ｎｍまでの範囲の青色励起波長、または約５１０ｎｍから約５６０ｎｍまでの範囲の緑色励起波長にさらされた場合に、前記樹脂組成物は、硬化すると、低い自家蛍光または全くない自家蛍光を有する。

本明細書に開示される例において、樹脂複合体は、アクリレートおよびシロキサンを含むフリーラジカル硬化性樹脂マトリックスと、フリーラジカル光開始剤とを含み、約３８０ｎｍから約４８０ｎｍまでの範囲の青色励起波長、または約５１０ｎｍから約５６０ｎｍまでの範囲の緑色励起波長にさらされた場合に、樹脂組成物は、硬化すると、自己蛍光を全く有しないか、または低い自家蛍光を有する。

本明細書に開示される樹脂組成物の任意の例は、フローセルの形成に使用され得る。フローセルの例を作製するための方法１００の例を図１に示す。図１に示すように、方法１００は、基材上に樹脂組成物を堆積することと、ここで、樹脂組成物は、アクリレートおよびシロキサンを含むフリーラジカル硬化性樹脂マトリックスと、フリーラジカル光開始剤とを含んで成り（参照番号１０２）、ワーキングスタンプを使用して、堆積した樹脂組成物をナノインプリントすることと（参照番号１０４）、堆積された樹脂組成物を硬化させて、硬化したパターン化された樹脂を形成すること、ここで、硬化したパターン化された樹脂は、約３８０ｎｍから約４８０ｎｍまでの範囲の青色励起波長または約５１０ｎｍから約５６０ｎｍまでの範囲の緑色励起波長にさらされた場合に、低い自家蛍光または全くない自家蛍光を有する（参照番号１０６）。得られるフローセルは、基材および基材上の硬化パターン化樹脂、間質領域によって分離されたくぼみを含む硬化パターン化樹脂、および本明細書に開示される樹脂組成物の例から形成された硬化パターン化樹脂を含む。

一例では、硬化したパターン化された樹脂１４’は、シラン化にさらされ得、これは、シランまたはシラン誘導体を、硬化されたパターン化された樹脂１４’に付着させる。シラン化は、くぼみ１６（例えば、底面および側壁に沿って）および間質領域２２を含む、表面全体にシランまたはシラン誘導体を導入する。

他のシラン化方法もまた使用され得る。適切なシラン化方法の例には、蒸着（例えば、ＹＥＳ法）、スピンコーティング、または他の堆積方法が含まれる。硬化したパターン化された樹脂１４’をシラン化するために使用できる方法および材料のいくつかの例を本明細書に記載するが、他の方法および材料を使用できることを理解されたい。

次に、ポリマーコーティング１８を、前処理された硬化したパターン化された樹脂１４’に塗布することができる（図２Ｃと２Ｃとの間に示されるように）。ポリマーコーティング１８は、液体および気体を透過し、硬化したパターン化された樹脂１４’につながれている半硬質ポリマー材料であり得る。

硬化したパターン化された樹脂１４’の間質領域２２上ではなく、くぼみ１６内にポリマーコーティング１８を形成するために、ポリマーコーティング１８は、間質領域２２から研磨されてもよい。研磨プロセスは、間質領域２２からポリマーコーティング１８を除去することができ、それらの領域の下にある硬化したパターン化された樹脂１４’および／または基材１２に有害な影響を与えることない穏やかな化学スラリー（例えば、研磨剤、緩衝液、キレート剤、界面活性剤、および／または分散剤を含む）を用いて実施することができる。あるいは、研磨粒子を含まない溶液を用いて研磨を行うことができる。化学スラリーは、化学機械研磨システムで使用することができる。この例では、研磨ヘッド／パッドまたは他の研磨ツールは、ポリマーコーティング１８をくぼみ１６に残し、下にある少なくとも実質的に無傷の硬化したパターン化された樹脂１４'を残しながら、間質領域２２からポリマーコーティング１８を研磨することができる。一例として、研磨ヘッドは、ストラスボーＶｉＰＲＲＩＩ研磨ヘッドであり得る。別の例では、研磨は、研磨パッドおよび研磨剤を含まない溶液を用いて実施し得る。例えば、研磨パッドは、研磨粒子フリー溶液（例えば、研磨粒子を含まない溶液）とともに利用され得る。

Claims

樹脂組成物であって、
アクリレートおよびシロキサンを含むフリーラジカル硬化性樹脂マトリックスと、
フリーラジカル光開始剤と
を含んで成り、
約３８０ｎｍから４８０ｎｍまでの範囲の青色励起波長、または約５１０ｎｍから約５６０ｎｍまでの範囲の緑色励起波長にさらされた場合、前記樹脂組成物は硬化すると低い自家蛍光または全くない自家蛍光を有する、樹脂組成物。
前記硬化した樹脂組成物が前記青色励起波長にさらされた場合、前記硬化した樹脂組成物は低い自家蛍光を有し、該自家蛍光は２５，０００未満のグレー値に対応する、請求項１に記載の樹脂組成物。
前記硬化した樹脂組成物が前記青色励起波長にさらされた場合、前記硬化した樹脂組成物は低い自家蛍光を有し、該低い自家蛍光は５，０００未満のグレー値に対応する、請求項１に記載の樹脂組成物。
前記硬化した樹脂組成物が前記緑色励起波長にさらされた場合、前記硬化した樹脂組成物は低い自家蛍光を有し、該低い自家蛍光は１０，０００未満のグレー値に対応する、請求項１に記載の樹脂組成物。
前記硬化した樹脂組成物が前記緑色励起波長にさらされた場合、前記硬化した樹脂組成物は低い自家蛍光を有し、該低い自家蛍光は２，５００未満のグレー値に対応する、請求項１に記載の樹脂組成物。
前記フリーラジカル硬化性樹脂マトリックスは、１，３－ビス（３－メタクリロキシプロピル）テトラメチルジシロキサン、メタクリロキシプロピル末端ポリジメチルシロキサン、テトラメチルテトラキス［３－アクリロキシプロピル］シクロテトラシロキサン、メタクリルポリヘドラルオリゴマーシルセスキオキサン、アクリロポリヘドラルオリゴマーシルセスキオキサン、アクリロキシプロピルメチルシロキサンホモポリマー、およびそれらの組み合わせからなる群より選択されるアクリレートを含んで成る、請求項１に記載の樹脂組成物。
前記フリーラジカル光開始剤が２－エチル―９，１０－ジメトキシアントラセンである、請求項１に記載の樹脂組成物。
前記フリーラジカル光開始剤は、２，２－ジメトキシ―２－フェニルアセトフェノンおよび２－エトキシ―２－フェニルアセトフェノンから選択される、請求項１に記載の樹脂組成物。
前記フリーラジカル光開始剤はホスフィンオキシドであり、該ホスフィンオキシドはジフェニル（２，４，６－トリメチルベンゾイル）ホスフィンオキシド、ジフェニル（２，４，６－トリメチルベンゾイル）ホスフィンオキシドおよび２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオフェノンのブレンド、フェニルビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）ホスフィンオキシド、エチル（２，４，６－トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィネート、ならびにそれらの組み合わせからなる群より選択される、請求項１に記載の樹脂組成物。
さらにダーククエンチャーまたは電子受容体を含んで成る、請求項１に記載の樹脂組成物。
前記フリーラジカル硬化性樹脂マトリックスの前記フリーラジカル光開始剤に対する重量％割合は、約９９．８：０．２から約９０：１０までの範囲である、請求項１に記載の樹脂組成物。
エポキシ樹脂マトリクスと、光酸発生剤とをさらに含んで成る、請求項１に記載の樹脂組成物。
フローセルであって、
基材と、
前記基材上で硬化したパターン化された樹脂と
を含んで成り、
前記硬化したパターン化された樹脂は、
間質領域によって分離されたくぼみと、
アクリルおよびシロキサンを含むフリーラジカル硬化性樹脂マトリックスならびにフリーラジカル光開始剤を含む樹脂組成物から形成された前記硬化したパターン化された樹脂と
を含み、
前記硬化したパターン化された樹脂は、約３８０ｎｍから約４８０ｎｍまでの範囲の青色励起波長または約５１０ｎｍから約５６０ｎｍまでの範囲の緑色励起波長にさらされた場合に、低い自家蛍光、または全くない自家蛍光を有する、フローセル。
前記くぼみを被覆するポリマーと、該被覆するポリマーにグラフト化されたプライマーとをさらに含んで成る、請求項１３に記載のフローセル。
前記硬化したパターン化された樹脂が低い自家蛍光を有し、
前記硬化したパターン化された樹脂が前記青色励起波長にさらされた場合に、前記低い自家蛍光は約２５，０００未満のグレー値に対応する、請求項１３に記載のフローセル。
前記硬化したパターン化された樹脂が低い自家蛍光を有し、
前記硬化したパターン化された樹脂が前記緑色励起波長にさらされた場合に、前記低い自家蛍光は１０，０００未満のグレー値に対応する、請求項１３に記載のフローセル。
前記樹脂組成物が、エポキシ樹脂マトリックスと光酸発生剤とをさらに含む、請求項１４に記載のフローセル。
前記フリーラジカル硬化性樹脂マトリックスは、１，３－ビス（３－メタクリロキシプロピル）テトラメチルジシロキサン、メタクリロキシプロピル末端ポリジメチルシロキサン、テトラメチルテトラキス［３－アクリロキシプロピル］シクロテトラシロキサン、メタクリルポリヘドラルオリゴマーシルセスキオキサン、アクリロポリヘドラルオリゴマーシルセスキオキサン、アクリロキシプロピルメチルシロキサンホモポリマー、およびそれらの組み合わせからなる群より選択されるアクリレートを含んで成る、請求項１３に記載のフローセル。
前記フリーラジカル光開始剤は、２－エチル―９，１０－ジメトキシアントラセン、２，２－ジメトキシ―２－フェニルアセトフェノン、および２－エトキシ―２－フェニルアセトフェノンからなる群より選択される、請求項１３に記載のフローセル。
前記フリーラジカル光開始剤は、ジフェニル（２，４，６－トリメチルベンゾイル）ホスフィンオキシド、ジフェニル（２，４，６－トリメチルベンゾイル）ホスフィンオキシドおよび２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオフェノンのブレンド、フェニルビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）ホスフィンオキシド、エチル（２，４，６－トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィネート、ならびにそれらの組み合わせからなる群より選択されるホスフィンオキシドである、請求項１３に記載のフローセル。
前記樹脂組成物は、ダーククエンチャーまたは電子受容体をさらに含んで成る、請求項１３に記載のフローセル。
前記フリーラジカル硬化性樹脂マトリックスの前記フリーラジカル光開始剤に対する重量％割合は、前記樹脂組成物において約９９．８：０．２から約９０：１０までの範囲である、請求項１３に記載のフローセル。
フローセルを製造する方法であって、
基材上に樹脂組成物を堆積させることと、
ワーキングスタンプを使用して、前記堆積した樹脂組成物をナノインプリントすることと、
前記堆積した樹脂組成物を硬化させて、硬化したパターン化された樹脂から形成することと
を含んで成り、
前記樹脂組成物は、アクリレートおよびシロキサンを含むフリーラジカル硬化性樹脂マトリックスと、フリーラジカル光開始剤とを含んで成り、
約３８０ｎｍから約４８０ｎｍまでの範囲の青色励起波長または約５１０ｎｍから約５６０ｎｍまでの範囲の緑色励起波長にさらされて硬化した場合に、前記硬化したパターン化された樹脂組成物は、低い自家蛍光または全くない自家蛍光を有する、方法。