JPWO2019244475A1 - ガス検出装置とガス検出方法 - Google Patents
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Abstract
Description
所定の周期でかつ所定のパルス幅で前記ヒータを動作させることにより、前記金属酸化物半導体を加熱する駆動回路と、
雰囲気の湿度を検出する湿度の検出手段とを備え、
前記駆動回路は、湿度の検出手段により雰囲気が高湿であることを検出すると、前記ヒータを動作させないかあるいは前記周期を延長する。
駆動回路により、所定の周期でかつ所定のパルス幅で前記ヒータを動作させることにより、前記金属酸化物半導体を加熱し、
湿度の検出手段により雰囲気の湿度を検出し、
かつ、湿度の検出手段により雰囲気が高湿であることを検出すると、前記駆動回路により、前記ヒータの動作を停止させるかあるいは前記周期を延長する。
ガスセンサの加熱周期
図5 加熱停止
図6 連続的に加熱
図7 常時と同じく、T=0.5秒 τ=0.1秒
図8 T= 60秒 τ=0.1秒
図9 T=120秒 τ=0.1秒
4 基板
6 キャビティ
8 絶縁膜
10 金属酸化物半導体
12 ヒータ
14 電極
20 IC
21 スイッチ
22 抵抗
24 ガスセンサドライブ
30 湿度センサ
32 温度センサ
34 湿度センサドライブ
36 温度センサドライブ
38 出力部
T 加熱周期
τ パルス幅
Claims (6)
- 基板のキャビテイに設けた絶縁膜上に、金属酸化物半導体とヒータを設けたMEMSガスセンサと、
所定の周期でかつ所定のパルス幅で前記ヒータを動作させることにより、前記金属酸化物半導体を加熱する駆動回路と、
雰囲気の湿度を検出する湿度の検出手段とを備え、
前記駆動回路は、湿度の検出手段により雰囲気が高湿であることを検出すると、前記ヒータを動作させないかあるいは前記周期を延長するように構成されている、ガス検出装置。 - 前記駆動回路は、湿度の検出手段により雰囲気が高湿であることを検出すると、前記ヒータを動作させず、ガスの検出を中止するように構成されていることを特徴とする、請求項1のガス検出装置。
- 前記駆動回路は、湿度の検出手段により雰囲気が高湿であることを検出すると、前記パルス幅を変えずに、前記周期を10倍以上延長し、より長い時間間隔でガスを検出するように構成されていることを特徴とする、請求項1のガス検出装置。
- 前記湿度の検出手段は、前記MEMSガスセンサとは別体の湿度センサであることを特徴とする、請求項1のガス検出装置。
- 前記湿度の検出手段は、前記駆動回路により前記金属酸化物半導体を加熱した際の、金属酸化物半導体の抵抗値が低下する時定数により湿度を検出することを特徴とする、請求項1のガス検出装置。
- 基板のキャビテイに設けた絶縁膜上に、金属酸化物半導体とヒータを設けたMEMSガスセンサを用い、
駆動回路により、所定の周期でかつ所定のパルス幅で前記ヒータを動作させることにより、前記金属酸化物半導体を加熱し、
湿度の検出手段により雰囲気の湿度を検出し、
かつ、湿度の検出手段により雰囲気が高湿であることを検出すると、前記駆動回路により、前記ヒータの動作を停止させるかあるいは前記周期を延長する、ガス検出方法。
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