JP6347537B2 - ガス検出装置とガス検出方法 - Google Patents
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Description
抵抗と、
ヒータ電流が電源からヒータと前記抵抗とを介してアースへ流れる状態と、ヒータ電流が前記抵抗を通らずに電源からヒータを介してアースへ流れる状態との間で、ヒータ電流の経路を切り換えるスイッチを備え、
前記ガスセンサは常時は室温に放置されて、ヒータ電流により間欠的に加熱され、
ヒータ電流が電源からヒータを介してアースへ流れるようにスイッチをセットした際の、金属酸化物半導体の抵抗値からガスを検出するガス検出部と、
ヒータ電流が電源からヒータと前記抵抗とを介してアースへ流れるようにスイッチをセットし、ヒータ電流を流す際の、定常温度に達するよりも前の昇温過程でのヒータ電流から、湿度を検出する湿度検出部をさらに備えていることを特徴とする。
前記ガスセンサは常時は室温に放置されて、ヒータ電流により間欠的に加熱され、
前記マイクロコンピュータにより、スイッチを制御することにより、ヒータ電流が電源からヒータと抵抗とを介してアースへ流れる状態と、ヒータ電流が前記抵抗を通らずに電源からヒータを介してアースへ流れる状態との間で、ヒータ電流の経路を切り換え、
前記マイクロコンピュータにより、ヒータ電流が電源からヒータを介してアースへ流れるようにスイッチをセットした際の、金属酸化物半導体の抵抗値からガスを検出し、かつヒータ電流が電源からヒータと抵抗とを介してアースへ流れる状態で、ヒータ電流をオンした際の、定常温度に達するよりも前の昇温過程でのヒータ電流から湿度を検出することを特徴とする。
前記のヒータ電流の値は周囲温度の影響を受ける。従って、周囲温度を測定するための手段を設けて、昇温過程でのヒータ電流と周囲温度とから、相対湿度を求めることが好ましい。
AVG・RHnew=AVG・RHold×(1−α)+α×RH (1)
ここにAVG・RHnewは新しい相対湿度の平均値、AVG・RHoldは古い相対湿度の平均値、RHは相対湿度の測定値、αは正の定数で例えば1/4096、1/256、1/64、1/16、1/4等である。さらに長期平均として、湿度のメジアン(中央値)、最頻値等を用いても良い。また低湿/中湿/高湿の3段階に湿度を分類し、これらの頻度を求めて、最大頻度のものを「長期平均」としても良い。この場合、長期平均の値は低湿/中湿/高湿の3種類である。基準値を更新する間隔は例えば30秒以上1日以下で、間隔が短い場合、例えば前記のαを小さくし、所望の期間に渡る平均となるようにする。
抵抗R1/室温での 定常温度 周囲温度
でのヒータ抵抗 (℃) (℃)
図8 1.64 220℃ 10℃
図9 1.64 240℃ 35℃
図10 2.73 150℃ 25℃
図11 3.88 100℃ 25℃
図12 4.82 80℃ 25℃
相対湿度(%) 温度(℃)
50% 181℃
88% 160℃
相対湿度(%) 温度(℃)
48% 220℃
65% 215℃
80% 198℃
90% 165℃
相対湿度(%) 温度(℃)
32% 130℃
65% 125℃
82% 110℃
90% 101℃
相対湿度(%) 温度(℃)
38% 85℃
63% 80℃
80% 75℃
90% 67℃
相対湿度(%) 温度(℃)
35% 76℃
63% 72℃
71% 68℃
80% 65℃
90% 60℃
E1 電池
T1〜T3 スイッチ
RL 負荷抵抗
R1,R2 抵抗
Th サーミスタ
μ1 マイクロコンピュータ
F フィルタ
1 Siチップ
2 空洞部
3 架橋部
4 ヒータ
5 金属酸化物半導体
6 層間絶縁膜
7,7 電極
12 ヒータドライブ
14 Vcドライブ
16 ADコンバータ
18 湿度検出部
20 基準値更新部
22 警報レベル発生部
24 ガス検出部
26 外部出力
28 不揮発性メモリ
30 波形解析部
32 平均湿度算出部
Claims (8)
- Siチップの空洞部上の絶縁膜に、測温抵抗体としての薄膜状のヒータと、金属酸化物半導体膜とを設けた、MEMSタイプの金属酸化物半導体ガスセンサを有するガス検出装置において、
抵抗と、
ヒータ電流が電源からヒータと前記抵抗とを介してアースへ流れる状態と、ヒータ電流が前記抵抗を通らずに電源からヒータを介してアースへ流れる状態との間で、ヒータ電流の経路を切り換えるスイッチを備え、
前記ガスセンサは常時は室温に放置されて、ヒータ電流により間欠的に加熱され、
ヒータ電流が電源からヒータを介してアースへ流れるようにスイッチをセットした際の、金属酸化物半導体の抵抗値からガスを検出するガス検出部と、
ヒータ電流が電源からヒータと前記抵抗とを介してアースへ流れるようにスイッチをセットし、ヒータ電流を流す際の、定常温度に達するよりも前の昇温過程でのヒータ電流から、湿度を検出する湿度検出部をさらに備えていることを特徴とするガス検出装置。 - ヒータの温度が50℃以上250℃以下での、ヒータ電流から湿度を検出することを特徴とする、請求項1のガス検出装置。
- ヒータの温度が60℃以上100℃以下での、ヒータ電流から湿度を検出することを特徴とする、請求項2のガス検出装置。
- 周囲温度を測定するための手段をさらに備え、
湿度検出部は、昇温過程でのヒータ電流と周囲温度とから、相対湿度を求めるように構成されていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかのガス検出装置。 - 湿度を検出する場合に、ガスを検出する場合と、電源から同じ電圧を、同じデューテイ比で、直列に接続したヒータと前記抵抗に加え、前記抵抗によりヒータ電流を制限することにより、ヒータの昇温を遅らせるように構成されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかのガス検出装置。
- ガス検出装置は、警報濃度以上のガスを検出するように構成され、
かつガス検出装置は、ガス濃度が警報濃度以上か否かを判別するための、金属酸化物半導体の抵抗値への閾値を発生する手段を備え、
前記金属酸化物半導体の空気中での抵抗値が増加し、かつ湿度検出部により求めた相対湿度の長期平均が高湿である場合に、前記閾値を増加させるように構成されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかのガス検出装置。 - ガス検出装置は呼気中のガスを検出するように構成され、
昇温過程でのヒータ電流から、呼気の吹きかけの有無を判別するように構成されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかのガス検出装置。 - Siチップの空洞部上の絶縁膜に、薄膜状の測温抵抗体としてのヒータと、金属酸化物半導体膜とを設けた、MEMSタイプの金属酸化物半導体ガスセンサを、マイクロコンピュータにより駆動するガス検出方法において、
前記ガスセンサは常時は室温に放置されて、ヒータ電流により間欠的に加熱され、
前記マイクロコンピュータにより、スイッチを制御することにより、ヒータ電流が電源からヒータと抵抗とを介してアースへ流れる状態と、ヒータ電流が前記抵抗を通らずに電源からヒータを介してアースへ流れる状態との間で、ヒータ電流の経路を切り換え、
前記マイクロコンピュータにより、ヒータ電流が電源からヒータを介してアースへ流れるようにスイッチをセットした際の、金属酸化物半導体の抵抗値からガスを検出し、かつヒータ電流が電源からヒータと抵抗とを介してアースへ流れる状態で、ヒータ電流をオンした際の、定常温度に達するよりも前の昇温過程でのヒータ電流から湿度を検出する、ことを特徴とするガス検出方法。
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JP2014054963A JP6347537B2 (ja) | 2014-03-18 | 2014-03-18 | ガス検出装置とガス検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2014054963A JP6347537B2 (ja) | 2014-03-18 | 2014-03-18 | ガス検出装置とガス検出方法 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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