JPWO2019230705A1 - 高周波モジュール - Google Patents

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Abstract

ボンディングワイヤによりシールド部材を形成する際に、弧の高さの異なる複数のボンディングワイヤを用いることにより、任意の位置のボンディングワイヤの配置間隔を小さくしてシールド性能を強化することができる高周波モジュールを提供する。高周波モジュール1aは、多層配線基板2と、該多層配線基板2の上面20aに実装された部品3a〜3eと、部品3aに沿って配置されたシールド部材6と、封止樹脂層4と、シールド膜5とを備え、シールド部材6は、弧の高さの異なる複数のボンディングワイヤ6a〜6dにより形成される。各ボンディングワイヤ6a〜6dは、弧の高さの低いものを、弧の高さの高いものが順次入れ子状に跨ぐように配置されることにより、任意の位置のボンディングワイヤの配置間隔を小さくすることができ、シールド性能を強化させることができる。

Description

本発明は、シールドを備える高周波モジュールに関する。
通信端末装置などの電子機器に内蔵されているマザー基板には、種々の高周波モジュールが実装されている。この種の高周波モジュールの中には、配線基板に実装された部品が封止樹脂層で封止されるものがある。また、部品に対するノイズを遮蔽するために、封止樹脂層の表面をシールド膜で被覆する場合もある。配線基板に複数の部品が実装される場合では、特定の部品に対してのみノイズを遮蔽したい場合があるが、封止樹脂層の表面を被覆するシールド膜では、特定の部品に対してのみシールドを行うのが困難であり、設計自由度が低い。そこで、設計自由度が高いシールド部材の配置が可能な高周波モジュールが提案されている。例えば、図11に示すように、特許文献1に記載の高周波モジュール100では、配線基板101に部品102が実装される。そして、複数のワイヤボンド103が部品102の周りに配置されており、これらのワイヤボンド103により、部品102がシールドされる。このようにすると、シールドが必要な箇所のみにワイヤボンド103を実装すればよいため、設計自由度が向上する。
特許第5276169号公報(段落0021〜0024、図3等参照)
ところで、このような高周波モジュール100においては、ワイヤボンド103を所定間隔で配列してシールド部材を構成するが、シールド性能を強化させるためにはワイヤボンド103が密に配置されるよう、ワイヤボンド103の配置間隔を小さくするのがよい。たとえば、ワイヤボンド103の始点であるファーストボンド側の端部と、終点であるセカンドボンド側の端部との間隔を小さくすることにより、ワイヤボンド103を密に配置することが考えられる。しかしながら、この場合、ワイヤボンド103の弧の高さが同じで、ファーストボンド側の端部とセカンドボンド側の端部の間隔が小さくなるため、ワイヤボンド103が変形しやすくなり、部品102に接触するおそれがある。このため、ワイヤボンド103と部品102との間に一定の間隔を設ける必要が生じ、その結果、実装面積が大きくなってしまい、モジュールが大型化する、という問題がある。また、セカンドボンド側では、ワイヤの曲げをコントロールすることが難しいため裾引き形状にする必要があり、ファーストボンド側の端部とセカンドボンド側の端部との間隔を小さくするのにも限界がある。
本発明は、上記した課題に鑑みてなされたものであり、ボンディングワイヤの端部同士の間隔を小さくしてシールド性能を向上させつつ、部品とボンディングワイヤとの間隔も小さくして、実装密度を向上させた高周波モジュールを提供することを目的とする。
上記した目的を達成するために、本発明の高周波モジュールは、配線基板と、前記配線基板の主面に実装された第1部品と、複数の弧状のボンディングワイヤで構成された、少なくとも前記第1部品をシールドするためのシールド部材と、前記配線基板の前記主面に形成され、それぞれ、いずれかの前記ボンディングワイヤの端部が接続される複数の接続電極と、前記第1部品および前記複数のボンディングワイヤを封止する封止樹脂層とを備え、前記複数の接続電極は、前記ボンディングワイヤの一端部が接続されるものと、他端部が接続されるものとを含めて、前記配線基板の前記主面に対して垂直な方向から見たときに、前記第1部品の端縁に沿って一列に配列されており、前記複数のボンディングワイヤの中には、弧の高さが異なるものがあり、弧の高さの高い方の前記ボンディングワイヤは、弧の高さの低い方の前記ボンディングワイヤを跨いでいることを特徴としている。
この構成によれば、1つのボンディングワイヤのファーストボンド側の端部とセカンドボンド側の端部は、弧の高さが低いボンディングワイヤのほうが、当該端部の間隔を小さくできるため、ボンディングワイヤが変形しにくい。よって、ボンディングワイヤが部品に接触することなく、所望の位置のワイヤの密度を高くしてシールド性能を強化することができる。また、各ボンディングワイヤと部品との間隔も小さくすることができるため、モジュールの実装密度を高くすることができ、設計自由度を向上させることができる。
本発明によれば、ボンディングワイヤと部品とを接触させずに、各ボンディングワイヤの配置間隔を小さくすることができる。また、ボンディングワイヤと部品との間隔も小さくすることができるため、モジュールの実装密度を向上させることができ、設計自由度を向上させることができる。
本発明の第1実施形態にかかる高周波モジュールの断面図である。 図1の高周波モジュールのシールド膜を除いた状態の平面図である。 本発明の第2実施形態にかかる高周波モジュールの断面図である。 図3の高周波モジュールのシールド膜を除いた状態の平面図である。 図3の高周波モジュールのボンディングワイヤ配置の変形例を示す図である。 図5の高周波モジュールのシールド膜を除いた状態の平面図である。 本発明の第3実施形態にかかる高周波モジュールの断面図である。 図7の高周波モジュールのシールド膜を除いた状態の平面図である。 図7の高周波モジュールのボンディングワイヤ配置の変形例を示す図である。 図9の高周波モジュールのシールド膜を除いた状態の平面図である。 従来の高周波モジュールの断面図である。
<第1実施形態>
本発明の第1実施形態にかかる高周波モジュール1aについて、図1〜図2を参照して説明する。なお、図1は図2のA−A矢視断面図、図2は高周波モジュール1aのシールド膜5を除いた状態の平面図である。
この実施形態にかかる高周波モジュール1aは、図1および図2に示すように、多層配線基板2(本発明の「配線基板」に相当)と、該多層配線基板2の上面20aに実装された複数の部品3a〜3eと、多層配線基板2の上面20aに積層された封止樹脂層4と、封止樹脂層4の表面を被覆するシールド膜5と、多層配線基板2の上面20aに実装された複数のボンディングワイヤ6a〜6dからなるシールド部材6と、接続電極7と、各ボンディングワイヤ6a〜6dの端部が接続される複数の接続電極70a〜70d、71a〜71dとを備え、例えば、高周波信号が用いられる電子機器のマザー基板等に搭載される。
多層配線基板2は、例えば、低温同時焼成セラミック、高温同時焼成セラミックやガラスエポキシ樹脂などで形成された複数の絶縁層2a〜2dが積層されて成る。多層配線基板2の上面20a(本発明の「配線基板の一方主面」に相当)には、各ボンディングワイヤ6a〜6dの端部が接続される接続電極70a〜70d、71a〜71dや部品3a〜3eの実装電極(図示省略)が形成される。なお、図1、図2に示す4個の接続電極7は、2個ずつが別途ボンディングワイヤにより接続されている。多層配線基板2の下面20bには、外部接続用の複数の外部電極8が形成される。また、隣接する絶縁層2a〜2d間それぞれに、各種の内部配線電極9が形成されるとともに、多層配線基板2の内部には、絶縁層2a〜2dに形成された内部配線電極9同士を接続するための複数のビア導体10が形成される。なお、各接続電極7、70a〜70d、71a〜71d、各実装電極、各外部電極8および各内部配線電極9は、いずれもCuやAg、Al等の配線電極として一般的に採用される金属で形成されている。また、各ビア導体10は、AgやCu等の金属で形成されている。なお、各接続電極7、70a〜70d、71a〜71d、各実装電極、各外部電極8には、Ni/Auめっきがそれぞれ施されていてもよい。とくに、ボンディングワイヤは通常Au線であり、ボンディングワイヤと接続電極とがAu−Au接合となるように、各接続電極7、70a〜70d、71a〜71dの最表面はAuめっきが形成されている。
部品3a〜3eは、ICやPA(パワーアンプ)などの半導体素子や、チップインダクタ、チップコンデンサ、チップ抵抗等のチップ部品で構成され、半田接合などの一般的な表面実装技術により多層配線基板2に実装される。
封止樹脂層4は、エポキシ樹脂等の封止樹脂として一般的に採用される樹脂で形成され、各部品3a〜3dを封止する。また、封止樹脂層4は、多層配線基板2に当接する下面4b(本発明の「封止樹脂層の当接面」に相当)と、該下面4bに対向する上面4a(本発明の「封止樹脂層の対向面」に相当)と、側面4cとを有する。
シールド部材6は、複数のボンディングワイヤ6a〜6dで形成され、部品3aと部品3cとの間のコンパートメントシールドとして機能する。各ボンディングワイヤ6a〜6dは、一般的にワイヤボンディングに利用されるAu、Al、Cuなどの金属ワイヤであり、それぞれ弧の高さが異なっており、弧の高さの低いボンディングワイヤを弧の高さの高いボンディングワイヤが跨ぐように配置されている。具体的には、図1に示すように最も弧の高さの低いボンディングワイヤ6aをボンディングワイヤ6bが跨ぎ、ボンディングワイヤ6bをボンディングワイヤ6cが跨ぎ、ボンディングワイヤ6cをボンディングワイヤ6dが跨ぐように配置されている。すなわち、各ボンディングワイヤ6a〜6dが入れ子状にそれぞれ1つのボンディングワイヤを跨ぐように配置されている。また、各ボンディングワイヤ6a〜6dの端部は複数の接続電極70a〜70d、71a〜71dにそれぞれ接続されている。各接続電極70a〜70d、71a〜71dは、図2に示すように、部品3aの一辺に沿って一列に配列されている。なお、ここでいう「一列に配列されている」ことには、製造ばらつきによる接続電極の配置ずれ程度は含まれるものとする。
このように各ボンディングワイヤ6a〜6dが配置されることにより、シールド部材6は、部品3a(本発明の「第1部品」に相当する)と部品3c(本発明の「第2部品」に相当する)との間のコンパートメントシールドとして機能する。なお、最も弧の高さの高いボンディングワイヤ6dは、封止樹脂層4の上面4aから一部が露出してシールド膜5に接触している。ボンディングワイヤ6dの一部がシールド膜5に接触することで、シールド性能をより向上させることができる。なお、各接続電極70a〜70d、71a〜71dは、それぞれ多層配線基板2に形成されたグランド電極(図示省略)に接続されている。ここでは、各接続電極70a〜70d、および71a〜71dはそれぞれ個別に設けられているが、たとえば、接続電極70a〜70dを共通の電極として、グランド電極に接続してもよい。同様に、接続電極71a〜71dを共通の電極として、グランド電極に接続してもよい。一方、接続電極を共通化すると、各ボンディングワイヤ6a〜6dは接触してもよいことになるが、これらが接触すると、変形したりして部品に接触してしまうおそれがあるため、当該ボンディングワイヤ同士は接触しないほうがよい。
図2に示すように、シールド部材6は部品3aと部品3cとの間に配置されている。特に部品3aと部品3cとの間のシールド性能を強化させるため、部品3aと部品3cとで挟まれた位置、すなわち、部品3aと部品3cが対向している部分に挟まれた領域、における、ボンディングワイヤ同士の間隔が小さくなるように配置するとよい。例えば、部品3aと部品3cとの間に、弧の高さの低いボンディングワイヤ6a、6bを配置することにより、両ボンディングワイヤ6a、6bのファーストボンド(本発明の「接合の始点」に相当する)側の端部とセカンドボンド(本発明の「接合の終点」に相当する)側の端部との間隔を小さくすることができる。弧の高さの高いボンディングワイヤのファーストボンド側端部とセカンドボンド側端部との間隔を小さくすると、ワイヤが変形しやすくなり、部品へ接触する恐れがあるが、本願においては、ファーストボンド側端部とセカンドボンド側端部との間隔が小さい箇所に、弧の高さの低いボンディングワイヤが形成されているため、ワイヤの変形を抑制して部品への接触を防ぎつつ、ワイヤ同士の間隔を狭くすることができる。
図2に示すように、部品3aと部品3cが対向している部分に挟まれた領域に配置された接続電極70a、70b、71a、71bの配置間隔は、その他の接続電極70c、70d、71c、71dの配置間隔よりも狭くなっている。このように配置することにより、上述したように、部品3aと部品3cとの間のシールド性能を強化することができる。ボンディングワイヤ6aのファーストボンド側端部が接続された接続電極70aと、ボンディングワイヤ6aのセカンドボンド側端部が接続された接続電極71aとの間隔は、ボンディングワイヤ6aの弧の高さを低くすることにより小さくすることができる。また、ボンディングワイヤ6aのファーストボンド側端部に接続された接続電極70aとボンディングワイヤ6bのファーストボンド側端部に接続された接続電極70bとは、ファーストボンド側端部同士であるため配置間隔を小さくすることができる。ボンディングワイヤ6aを跨ぐようにボンディングワイヤ6bを形成することにより、ボンディングワイヤ6aのセカンドボンド側端部に接続された接続電極71aとボンディングワイヤ6bのセカンドボンド側端部に接続された接続電極71bとの間隔も小さくすることができる。
一方、ボンディングワイヤ6c、6dは弧の高さが高く、それぞれのファーストボンド側端部が接続された接続電極70c、70dと、それぞれのセカンドボンド側端部が接続された接続電極71c、71dとは、それぞれ間隔が大きく配置されている。一般的に、ボンディングワイヤは弧の高さが低いほど、また、接続電極(ワイヤの両端部)の間隔が大きいほど変形しにくい性質がある。これは、同じ接続電極の間隔であっても、ワイヤの弧の高さ(ループ高さ)が高くなると、ワイヤ長が長くなり、ワイヤのねじれ量も大きくなるからである。特に、接続電極の間隔が小さい場合には、ワイヤのループ高さを高くすると、ループの頂点での変形がより大きくなり、これにより、ワイヤのねじれが大きくなって変形しやすい。この実施形態では、接続電極の間隔を小さく配置したい部分には弧の高さの低いボンディングワイヤ6a、6bを配置し、接続電極の間隔が大きくてもかまわない部分には、弧の高さの高いボンディングワイヤ6c、6dを配置している。このようにして、シールド性能の向上とボンディングワイヤの変形の防止を両立させることが可能となる。
シールド膜5は、封止樹脂層4の表面(上面4a、側面4c)と多層配線基板2の側面20cとを被覆する。また、シールド膜5は、多層配線基板2の側面20cに露出したグランド電極(図示省略)に接続される。
シールド膜5は、封止樹脂層4の上面4aに積層された密着膜と、密着膜に積層された導電膜と、導電膜に積層された保護膜とを有する多層構造で形成することができる。ここで、密着膜は、導電膜と封止樹脂層4との密着強度を高めるために設けられたものであり、例えば、SUSなどの金属で形成することができる。導電膜は、シールド膜5の実質的なシールド機能を担う層であり、例えば、Cu、Ag、Alのうちのいずれかの金属で形成することができる。保護膜は、導電膜が腐食したり、傷が付いたりするのを防止するために設けられたものであり、例えば、SUSで形成することができる。
したがって、上記した実施形態によれば、シールド性能を強化したい部分には、弧の高さの低いボンディングワイヤ6a、6bを配置することにより、接続電極70a、70b、71a、71bの配置間隔を小さくすることができる。さらに、ボンディングワイヤ6a、6bは弧の高さが低いため、部品3a、3cに接触する恐れがなく、部品3a、3cとシールド部材6との間の距離を小さくすることができるため、高周波モジュール1aの実装密度を高めることができる。また、接続電極70a〜70d、71a〜71dを一列に配列し、弧の高さの低いボンディングワイヤを弧の高さの高いボンディングワイヤが跨ぐように配置することで、シールド対象の部品の任意の位置にコンパートメントシールドを形成することが可能であり、部品に対するシールド性能を向上させることができる。
<第2実施形態>
本発明の第2実施形態にかかる高周波モジュール1bについて、図3〜図4を参照して説明する。なお、図3は高周波モジュール1bの断面図であって、図4のB−B矢視断面図、図4は高周波モジュール1bのシールド膜5を除いた状態の平面図である。
この実施形態にかかる高周波モジュール1bが、図1〜図2を参照して説明した第1実施形態の高周波モジュール1aと異なるところは、図3〜図4に示すように、各ボンディングワイヤ60a〜60cのファーストボンド側端部に接続された接続電極72a〜72cの配置間隔がセカンドボンド側端部に接続された接続電極73a〜73cの配置間隔よりも小さくなるように、各接続電極7が配置されている点である。その他の構成は、第1実施形態の高周波モジュール1aと同じであるため、同一符号を付すことにより説明を省略する。
この実施形態では、部品3aと部品3cとの間のシールド部材60が、ボンディングワイヤ60a〜60cにより形成されている。部品3aと部品3cとの間に各ボンディングワイヤ60a〜60cのファーストボンド側端部が接続される接続電極72a〜72cが配置される。多層配線基板2の上面20aに垂直な方向において、各ボンディングワイヤ60a〜60cのファーストボンド側は高さを出すことが容易であり、セカンドボンド側は高さのコントロールが難しい。このため、シールド性能を強化したい部品3aと部品3cとの間に各ボンディングワイヤ60a〜60cのファーストボンド側端部を配置し、配置間隔を小さくすることにより、部品3aと部品3cとの間のボンディングワイヤの密度を高くしてシールド性能を強化させることができる。
したがって、上記した実施形態によれば、第1実施形態の高周波モジュール1aと同様の効果に加えて、各ボンディングワイヤ60a〜60cのファーストボンド側端部に接続される接続電極72a〜72cの配置間隔を、セカンドボンド側端部に接続される接続電極73a〜73cの配置間隔よりも小さくすることにより、任意の位置のシールド性能を強化させることができる。
(ボンディングワイヤの変形例)
上記した実施形態では、線状に配置されたシールド部材60の一方側に、各ボンディングワイヤ60a〜60cのファーストボンド側端部に接続される接続電極72a〜72cが配置され、他方側に、各ボンディングワイヤ60a〜60cのセカンドボンド側端部に接続される接続電極73a〜73cが配置されていたが、図5および図6に示す高周波モジュール1cのように、シールド部材61の中央部に各ボンディングワイヤ61a〜61dのファーストボンド側端部に接続される接続電極74a〜74dが配置され、シールド部材61の両端部に各ボンディングワイヤ61a〜61dのセカンドボンド側端部に接続される接続電極75a〜75dが配置されていてもよい。このとき、部品3aと部品3cとで挟まれた位置、すなわち、部品3aと部品3cが対向している部分に挟まれた領域に、ファーストボンド側用の接続電極74a〜74dが配置されることになる。このように、各ボンディングワイヤ61a〜61dおよび各接続電極74a〜74d、75a〜75dの配置を変えることにより、任意の位置のシールド性能を強化させることができる。
<第3実施形態>
本発明の第3実施形態にかかる高周波モジュール1dについて、図7〜図8を参照して説明する。なお、図7は高周波モジュール1dの断面図であって、図8のD−D矢視断面図、図8は図7のシールド膜5を除いた状態の平面図である。
この実施形態にかかる高周波モジュール1dが、図1〜図2を参照して説明した第1実施形態の高周波モジュール1aと異なるところは、図7および図8に示すように、各ボンディングワイヤ62a〜62dが入れ子状にそれぞれ1つのボンディングワイヤを跨ぐのではなく、ボンディングワイヤ62cが2つのボンディングワイヤ62a、62bを跨ぎ、ボンディングワイヤ62dがボンディングワイヤ62cを跨いでいる点である。その他の構成は、第1実施形態の高周波モジュール1aと同じであるため、同一符号を付すことにより説明を省略する。
この実施形態では、弧の高さの異なる3種類のボンディングワイヤ62a〜62dによりシールド部材62が形成されている。これらのボンディングワイヤ62a〜62dのうち、最も弧の高さの低いボンディングワイヤ62a、62bが2つ配置されて各々の両端が接続電極76a、77a、および接続電極76b、77bにそれぞれ接続され、これらを跨ぐようにボンディングワイヤ62cが配置されて両端が接続電極76c、77cに接続されている。なお、最も弧の高さの高いボンディングワイヤ62dの両端が接続電極76d、77dに接続されている。最も弧の高さの低いボンディングワイヤ62a、62bのファーストボンド側に接続される接続電極76a、76bとセカンドボンド側端部に接続される接続電極77a、77bは、配置間隔を小さくすることができるため、特にシールド性能を強化したい、部品3aと部品3cとの間に配置されている。
したがって、上記した実施形態によれば、第1実施形態の高周波モジュール1aと同様の効果に加えて、各ボンディングワイヤ62a〜62dおよび各接続電極76a〜76d、77a〜77dの配置を変えることにより、任意の位置のシールド性能を強化させることができる。
(ボンディングワイヤの変形例)
上記した実施形態では、最も弧の高さの低いボンディングワイヤ62a、62bが2つ配置されていたが、図9および図10に示す高周波モジュール1eのように、最も弧の高さの低いボンディングワイヤ63a〜63dが4つ配置され、それらを1つのボンディングワイヤ63eが跨ぐように配置されて、シールド部材63が形成されていてもよい。最も弧の高さの低いボンディングワイヤ63a〜63dの数を増やすことにより、各ボンディングワイヤ63a〜63dの両端部に接続される接続電極78a〜78d、79a〜79dの配置間隔を小さくすることができるため、シールド性能を強化したい部分が広い場合にも、シールド性能を落とすことなくシールド部材63を形成することができる。
なお、本発明は上記した各実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上記したもの以外に種々の変更を行なうことが可能である。例えば、上記した各実施形態や変形例の構成を組み合わせてもよい。
たとえば、上記した実施形態では、各接続電極はそれぞれグランド電極に接続されているが、各ボンディングワイヤの少なくとも一方の端部がそれぞれ共通のグランド電極に接続されていてもよい。この場合、シールド性能をよりいっそう向上させることができる。
また、上記した実施形態では、封止樹脂層4の表面にシールド膜5が形成されているが、シールド膜5が形成されていなくてもよい。
本発明は、シールドを備える種々の高周波モジュールに適用することができる。
1a〜1e 高周波モジュール
2 多層配線基板(配線基板)
3a 部品(第1部品)
3c 部品(第2部品)
4 封止樹脂層
5 シールド膜
6、60〜63 シールド部材
6a〜6c ボンディングワイヤ
70a〜70d、71a〜71d 接続電極

Claims (7)

  1. 配線基板と、
    前記配線基板の主面に実装された第1部品と、
    複数の弧状のボンディングワイヤで構成された、少なくとも前記第1部品をシールドするためのシールド部材と、
    前記配線基板の前記主面に形成され、それぞれ、いずれかの前記ボンディングワイヤの端部が接続される複数の接続電極と、
    前記第1部品および前記複数のボンディングワイヤを封止する封止樹脂層とを備え、
    前記複数の接続電極は、前記ボンディングワイヤの一端部が接続されるものと、他端部が接続されるものとを含めて、前記配線基板の前記主面に対して垂直な方向から見たときに、前記第1部品の端縁に沿って一列に配列されており、
    前記複数のボンディングワイヤの中には、弧の高さが異なるものがあり、弧の高さの高い方の前記ボンディングワイヤは、弧の高さの低い方の前記ボンディングワイヤを跨いでいる
    ことを特徴とする高周波モジュール。
  2. 前記配線基板の前記主面に実装された第2部品をさらに備え、
    前記シールド部材は、前記第1部品と前記第2部品とに挟まれている部分と、前記第1部品と前記第2部品とに挟まれていない部分とがあり、
    前記複数の接続電極のうち、前記第1部品と前記第2部品に挟まれている部分に配置されるものは、前記第1部品と前記第2部品に挟まれていない部分に配置されるものよりも、隣接する前記接続電極の間隔が狭い、
    ことを特徴とする請求項1に記載の高周波モジュール。
  3. 前記複数の接続電極は、
    前記第1部品と前記第2部品に挟まれている部分に配置されるものは、前記ボンディングワイヤの両端部のうち、接合の始点となる端部が接続され、
    前記第1部品と前記第2部品に挟まれていない部分に配置されるものは、前記ボンディングワイヤの両端部のうち、接合の終点となる端部が接続される
    ことを特徴とする請求項2に記載の高周波モジュール。
  4. 前記弧の高さが低い方のボンディングワイヤが複数あり、
    当該弧の高さが低い方のボンディングワイヤの端部が接続される前記接続電極は、いずれも、前記弧の高さが高い方のボンディングワイヤの一端部が接続される前記接続電極と、他端部が接続される前記接続電極との間に配置されることにより、前記弧の高さが高い方のボンディングワイヤが、当該複数の弧の高さが低い方の前記ボンディングワイヤを跨いでいることを特徴とする請求項1に記載の高周波モジュール。
  5. 前記封止樹脂層は、前記配線基板の前記主面に当接する当接面と、前記当接面に対向する対向面と、前記当接面と前記対向面の端縁同士を繋ぐ側面とを有し、
    前記封止樹脂層の前記対向面と前記側面とを少なくとも被覆するシールド膜をさらに備えることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  6. 前記弧の高さが高い方のボンディングワイヤは、一部が前記封止樹脂層の前記対向面から露出して、前記シールド膜に接触していることを特徴とする請求項5に記載の高周波モジュール。
  7. 前記複数のボンディングワイヤは、いずれも少なくとも一端部が前記接続電極を介して、前記配線基板に形成された共通のグランド電極に接続されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
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