JPWO2019208625A1 - 静電チャック及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(静電チャックの概略構成)
図1(a)は、実施形態に係る静電チャック10(以下、「静電」は省略することがある。)の構成を示す平面図である。図1(b)は、図1(a)のIb−Ib線における断面図である。図1(c)は、図1(b)の領域Icの拡大図である。図2(a)は、図1(b)のIIa−IIa線における断面図である。
図2(b)は、図2(a)の領域IIbの拡大図である。図2(c)は、図2(b)のIIc−IIc線における断面図である。これらの図は、電極2の外縁(平面視における外縁。以下、同様。)のうち直線状部分における断面拡大図となっている。ただし、電極2の外縁のうち円弧状部分の断面も、基本的には直線状部分の断面と同様とされてよい。
図3(a)〜図4(c)は、空隙3の横断面における形状の種々の具体例を示す図であり、図2(c)の領域IVに対応している。なお、図2(c)は、空隙3の横断面の形状が矩形である具体例と捉えられてもよいし、以下に説明する種々の具体例を抽象的に示したものと捉えられてもよい。
図3(a)の例では、空隙3の側面3c(電極2とは反対側の面)と、空隙3の上面3a又は下面3bとの角部は面取りされている。面取り面は、図示のように曲面状であってもよいし、図示とは異なり、平面状であってもよい。なお、特に図示しないが、側面3cの全体が電極2側を凹とする曲面状となっていてもよい。
図3(b)の例では、空隙3の形状(及び電極2の側面2cの形状)は、図3(a)の例と同様である。ただし、図3(a)の例では、空隙3の高さHが電極2の厚さと同等であったのに対して、図3(b)の例では、空隙3の高さHは、電極2の厚さよりも小さくなっている。換言すれば、空隙3は、電極2の厚さよりも高さが小さい部分(本例では空隙3の全部)を含んでいる。別の観点では、電極2の側面2cは、一部のみが空隙3に接している。側面2cの他の部分は、基体1に接している。
図3(c)の例では、電極2は、側面2cに突部2dを有している。突部2dは、上方側の面が基体1に接しており、下方側の面が基体1から離れている。すなわち、真空の、又はガスが満たされている空隙3は、突部2dの下方側の面と基体1との間に広がっている。
図3(d)の例では、電極2が無いものとして考えると、基体1内の空所(空隙3を含む)の形状及び大きさは、概ね、図3(c)の形状及び大きさと同様である。ただし、図3(c)の例では、電極2は、側面2cに突部2dを有していたのに対して、図3(d)の例では、電極2は、側面2cに凹部2eを有している。別の観点では、空隙3は、電極2の側面2cへ入り込む部分を有している。当該部分は、第1高さ部3eよりも高さが低い部分を含む。
図4(a)の例では、空隙3は、その全体が電極2とは反対側ほど上下方向の径が小さくなるテーパ状とされている。別の観点では、空隙3は、図3(c)及び図3(d)の例と同様に、第1高さ部3eと、第1高さ部3eよりも電極2とは反対側に位置し、第1高さ部3eの高さH1よりも低い高さH2の第2高さ部3fとを有している。
図4(b)の例では、空隙3は、図3(c)〜図4(a)と同様に、高さH1の第1高さ部3eと、第1高さ部3eに対して電極2とは反対側に位置しており、高さH1よりも低い高さH2の第2高さ部3fとを有している。また、空隙3は、図4(a)と同様に、第1高さ部3eが電極2の側面2cに接している。
図4(c)の例では、空隙3は、電極2の側面2cから離れるほど下方に位置するように傾斜している。換言すれば、空隙3は、第1位置部3mと、第1位置部3mに対して側面2cとは反対側かつ第1位置部3mよりも下方に位置している第2位置部3nと、を含んでいる。なお、ここでいう第2位置部3nが第1位置部3mよりも下方に位置しているとは、第2位置部3nの全体が第1位置部3mの全体よりも下方に位置しているという意味ではなく、第2位置部3nの基準位置(例えば上下方向の中央位置)が、第1位置部3mの基準位置(例えば上下方向の中央位置)よりも下方に位置しているという意味である。
図12は、空隙3の横断面における形状の第8具体例を示す図であり、例えば、図2(c)の左側半分に相当している。ただし、ここでは、電極2の外縁に沿う方向における互いに異なる3位置における断面が示されている。
図5は第2実施形態に係るチャック20を示す断面図であり、図2(a)に対応している。
図7(a)は、第3実施形態に係る静電チャックの要部を示す断面図であり、図2(c)に対応している。
図7(b)は、第4実施形態に係る静電チャックの要部を示す断面図であり、図7(a)と同様の図である。
図8は、チャック10及び20の製造方法の手順の概要の一例を示すフローチャートである。図9(a)〜図9(d)は、当該フローチャートを補足する模式的な断面図であり、図5のIV−IV線に対応している。なお、これらの図では、1対の電極12のうち、10本の歯部12sのみが示されている。図10(a)は図9(c)の領域Xaの拡大図である。図10(b)及び図10(c)は、図9(d)の領域Xbの拡大図である。
Claims (17)
- 所定面を有している絶縁性の基体と、
前記基体内で前記所定面に沿っている層状の電極と、
を有しており、
前記電極の前記所定面側に面する上面と前記基体とは接しており、かつ前記電極の側面と前記基体との間には、真空の、又はガスが満たされている空隙が介在している
静電チャック。 - 前記空隙は、前記所定面の平面視において、前記電極の側面からの幅よりも大きい長さで前記電極の側面に沿って連続している
請求項1に記載の静電チャック。 - 前記空隙は、前記電極の、前記所定面に沿う方向の両側に形成されている
請求項1又は2に記載の静電チャック。 - 前記空隙は、前記所定面に直交する方向の大きさが、前記電極の、前記所定面に直交する方向の大きさよりも小さい部分を含んでいる
請求項1〜3のいずれか1項に記載の静電チャック。 - 前記空隙は、前記所定面に直交する方向の大きさが、前記電極の、前記所定面に直交する方向の大きさよりも大きい部分を含んでいる
請求項1〜4のいずれか1項に記載の静電チャック。 - 前記空隙は、
第1高さ部と、
前記第1高さ部に対して前記電極の側面とは反対側に位置しており、前記所定面に直交する方向の大きさが前記第1高さ部よりも小さい第2高さ部と、を含んでいる
請求項1〜5のいずれか1項に記載の静電チャック。 - 前記空隙は、
第1位置部と、
前記第1位置部に対して前記電極の側面とは反対側かつ前記第1位置部よりも前記所定面とは反対側に位置している第2位置部と、を含んでいる
請求項1〜6のいずれか1項に記載の静電チャック。 - 前記電極は、前記所定面の平面視において、
接続部と、
前記接続部から互いに並列に延びている2つの延在部と、を有しており、
前記空隙は、
前記延在部の側面に接している第1側方部と、
前記接続部の側面に接しており、前記接続部の側面からの幅が、前記第1側方部の前記延在部の側面からの幅よりも広い第2側方部と、を有している
請求項1〜7のいずれか1項に記載の静電チャック。 - 前記電極は、前記所定面の平面視において、
接続部と、
前記接続部から互いに並列に延びている2つの延在部と、を有しており、
前記空隙は、
前記接続部の、前記延在部とは反対側の外側側面に接している外側部と、
前記接続部の、前記2つの延在部の間に位置している内側側面に接しており、前記内側側面からの幅が前記外側部の前記外側側面からの幅よりも大きい内側部と、を有している
請求項1〜8のいずれか1項に記載の静電チャック。 - 前記電極の側面は、凸面を有している
請求項1〜8のいずれか1項に記載の静電チャック。 - 前記電極の側面は、突部を有しており、
前記突部の前記所定面側の面は、前記基体に接しており、
前記空隙は、前記突部の前記所定面とは反対側の面と前記基体との間に介在する部分を含んでいる
請求項1〜10のいずれか1項に記載の静電チャック。 - 前記電極の側面は、凹部を有している
請求項1〜11のいずれか1項に記載の静電チャック。 - 前記電極の、前記所定面とは反対側に面する下面と前記基体との間には、真空の、又はガスが満たされている他の空隙が介在している
請求項1〜12のいずれか1項に記載の静電チャック。 - 所定面を有している絶縁性の基体と、
前記基体内で前記所定面に沿っている層状の電極と、
を有しており、
前記電極の前記所定面側に面する上面と前記基体とは接しており、かつ前記電極の前記所定面とは反対側に面する下面と前記基体との間には、真空の、又はガスが満たされている空隙が介在している
静電チャック。 - 2つの前記電極を有しており、
各電極は、
接続部と、
前記接続部から並列に延びている複数の延在部と、を有しており、
一方の前記電極の前記複数の延在部と、他方の前記電極の複数の延在部とが、これらの幅方向に交互に配列されている
請求項1〜14のいずれか1項に記載の静電チャック。 - 第1セラミックグリーンシートの第1主面又は第2セラミックグリーンシートの第2主面に、所定の平面形状で凹部を形成する凹部形成ステップと、
前記第1主面及び前記第2主面の一方に、前記所定の平面形状の外縁よりも内側に位置する外縁を有する平面形状で、電極の材料を配置する材料配置ステップと、
前記凹部形成ステップ及び前記材料配置ステップの後に、前記第1主面及び前記第2主面を互いに向かい合わせて前記第1セラミックグリーンシートと前記第2セラミックグリーンシートとを重ねる積層ステップと、
互いに重ねられた前記第1セラミックグリーンシート及び前記第2セラミックグリーンシートを焼成する焼成ステップと、
を有している静電チャックの製造方法。 - 前記凹部形成ステップでは、開口側ほど広くなるように前記凹部を形成する
請求項16に記載の静電チャックの製造方法。
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