JP2016201411A - 試料保持具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の試料保持具10は、外表面に試料保持面11を有するセラミック体1と、セラミック体1の内部に試料保持面11に対向するように設けられた静電吸着用の電極2とを備えており、電極2は中央部3と比較して外周部4の厚みが薄い。
【選択図】 図1
Description
セラミック体1の寸法は、例えば、直径を200〜500mmに、厚みを2〜15mmに設定できる。
い。これにより、外周部4に向かうにつれて、徐々に電流密度を小さくすることができるので、局所的に電流密度が高くなってしまうことをさらに抑制できる。
ることができる。電極2の断面形状はこの削り方を調整することによって任意に調整することができる。
250mm、厚み12mmの円板形状に加工した。さらに、上面を平面度80μm、表面粗さRa=0.2μmに加工して、実施例の試料保持具10および比較例の試料保持具101を作製した。
11:試料保持面
2:電極
3:中央部
4:外周部
41:弧状部
10:試料保持具
Claims (4)
- 外表面に試料保持面を有するセラミック体と、該セラミック体の内部に前記試料保持面に対向するように設けられた静電吸着用の電極とを備えており、該電極は中央部と比較して外周部の厚みが薄いことを特徴とする試料保持具。
- 前記電極は、前記外周部が外周に近づくにつれて厚みが薄くなっていることを特徴とする請求項1に記載の試料保持具。
- 前記試料保持面に対して垂直な断面で見たときに、前記電極は、前記外周部における前記試料保持面側の面が外周に近づくにつれて前記試料保持面との距離が大きくなっていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の試料保持具。
- 前記試料保持面に対して垂直な断面で見たときに、前記電極の前記外周部における前記試料保持面側の面が先端側が厚みが薄くなる弧状部を有していることを特徴とする請求項3に記載の試料保持具。
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