JP2021040111A - 静電チャック - Google Patents
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Abstract
Description
また、本発明者らは、このとき、第2部分の端部において電界集中が生じ絶縁破壊が生じる恐れがあることを見出した。この静電チャックによれば、第4面と第1主面との間のZ軸方向に沿う距離を一定にし、かつ、第2部分の端部における第3面と第4面との間のZ軸方向に沿う距離を第2部分の中央部における第3面と第4面との間のZ軸方向に沿う距離よりも小さくすることで、第2部分の端部において電界集中が生じることを抑制できる。これにより、第2部分の端部において、電界集中による絶縁破壊が生じることを抑制できる。
図1に表したように、静電チャック100は、セラミック誘電体基板10と、第1電極層11と、第2電極層12と、ベースプレート50と、を備える。
図3(a)及び図3(b)は、実施形態に係る静電チャックの第1電極層の一例を模式的に表す平面図及び断面図である。
図4(a)及び図4(b)は、実施形態に係る静電チャックの第1電極層の別の一例を模式的に表す平面図及び断面図である。
図5(a)及び図5(b)は、実施形態に係る静電チャックの第1電極層の別の一例を模式的に表す平面図及び断面図である。
図2は、図1に示す領域R1を拡大して示す。
図3(b)は、図3(a)に示したA1−A2線による断面図である。図4(b)は、図4(a)に示したB1−B2線による断面図である。図5(b)は、図5(a)に示したC1−C2線による断面図である。
なお、図3(a)、図3(b)、図4(a)、図4(b)、図5(a)、及び図5(b)においては、ガス導入路53及び接続部20を挿通させる孔部を省略している。
上述のように、第1部分111及び第2部分112は、第2部分112の第3面112aがZ軸方向において第1部分111の第1面111aと第2電極層12との間に位置するように配置されていればよく、第1部分111及び第2部分112の配置は適宜変更可能である。
図7(a)及び図7(b)に表したように、第2部分112の断面形状は、図2に表したものに限定されない。図2の例では、中央部112cにおいて、第2部分112の厚さは、一定である。換言すれば、中央部112cにおいて、第3面112aは、第4面112bに対して、平行である。一方、端部112dにおいて、第2部分112の厚さは、中央部112c側から縁部112eに向かって小さくなる。換言すれば、端部112dにおいて、第3面112aは、中央部112c側から縁部112eに向かって下方に傾斜する傾斜面を有する。図2の例では、傾斜面は、平面状である。傾斜面は、図7(a)に表したように、曲面状であってもよい。
図9(a)、図9(b)、図10(a)、及び図10(b)は、実施形態に係る静電チャックの第1部分の例を模式的に表す断面図である。
図8(a)及び図8(b)に表したように、第1部分111は、例えば、中央部111cと、端部111dと、を有する。第1部分111の端部(end portion)111dは、第1部分111のX−Y平面における縁部(edge)111eを含む領域である。第1部分111の縁部111eとは、第1面111aまたは第2面111bに位置し、Z軸方向からみたときの第1部分111とセラミック誘電体基板10との界面を指す。第1部分111の中央部111cは、X−Y平面において、2つの端部111dの間に位置する領域である。
図11に表したように、ウェーハ処理装置500は、処理容器501と、高周波電源504と、吸着用電源505と、上部電極510と、静電チャック100と、を備えている。処理容器501の天井には、処理ガスを内部に導入するための処理ガス導入口502、及び、上部電極510が設けられている。処理容器501の底板には、内部を減圧排気するための排気口503が設けられている。静電チャック100は、処理容器501の内部において、上部電極510の下に配置されている。静電チャック100の第1電極層11及び上部電極510は、高周波電源504と接続されている。静電チャック100の第2電極層12は、吸着用電源505と接続されている。
Claims (3)
- 吸着の対象物が載置される第1主面と、前記第1主面とは反対側の第2主面と、を有するセラミック誘電体基板と、
前記セラミック誘電体基板を支持するベースプレートと、
前記セラミック誘電体基板の内部に設けられ、高周波電源と接続される少なくとも1つの第1電極層と、
前記セラミック誘電体基板の内部に設けられ、吸着用電源と接続される少なくとも1つの第2電極層と、
を備え、
前記第1電極層は、前記ベースプレートから前記セラミック誘電体基板に向かうZ軸方向において、前記第1主面と前記第2主面との間に設けられ、前記第2主面側から給電され、
前記第2電極層は、前記Z軸方向において、前記第1電極層と前記第1主面との間に設けられる静電チャックにおいて、
前記第1電極層は、前記Z軸方向に垂直な平面に投影したときに中央側に位置する第1部分と、前記Z軸方向に垂直な平面に投影したときに前記第1部分よりも外周側に位置する第2部分と、を有し、
前記第1部分は、前記第1主面側の第1面と、前記第1面とは反対側の第2面と、を有し、
前記第2部分は、前記第1主面側の第3面と、前記第3面とは反対側の第4面と、を有し、
前記第3面は、前記Z軸方向において、前記第1面と前記第2電極層との間に位置し、
前記第4面と前記第1主面との間の前記Z軸方向に沿う距離は一定であり、
前記第2部分の端部における前記第3面と前記第4面との間の前記Z軸方向に沿う距離は、前記第2部分の中央部における前記第3面と前記第4面との間の前記Z軸方向に沿う距離よりも小さいことを特徴とする静電チャック。 - 前記第2面と前記第1主面との間の前記Z軸方向に沿う距離は一定であり、
前記第1部分の端部における前記第1面と前記第2面との間の前記Z軸方向に沿う距離は、前記第1部分の中央部における前記第1面と前記第2面との間の前記Z軸方向に沿う距離よりも小さいことを特徴とする請求項1記載の静電チャック。 - 前記第1面と前記第1主面との間の前記Z軸方向に沿う距離は一定であり、
前記第1部分の端部における前記第1面と前記第2面との間の前記Z軸方向に沿う距離は、前記第1部分の中央部における前記第1面と前記第2面との間の前記Z軸方向に沿う距離よりも小さいことを特徴とする請求項1記載の静電チャック。
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