JP6441733B2 - 試料保持具 - Google Patents
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Description
セラミック体1の寸法は、例えば、直径を200〜500mmに、厚みを2〜15mmに設定できる。
い。これにより、外周部4に向かうにつれて、徐々に電流密度を小さくすることができるので、局所的に電流密度が高くなってしまうことをさらに抑制できる。
ることができる。電極2の断面形状はこの削り方を調整することによって任意に調整することができる。
250mm、厚み12mmの円板形状に加工した。さらに、上面を平面度80μm、表面粗さRa=0.2μmに加工して、実施例の試料保持具10および比較例の試料保持具101を作製した。
11:試料保持面
2:電極
3:中央部
4:外周部
41:弧状部
10:試料保持具
Claims (5)
- 外表面に試料保持面を有する直径が200〜500mmのセラミック体と、該セラミック体の内部に前記試料保持面に対向するように設けられた静電吸着用の電極とを備えており、該静電吸着用の電極は円形状であって、該静電吸着用の電極と中心が同じであり直径が半分の大きさである円の外周を構成する仮想線を前記静電吸着用の電極に引いたときに、前記仮想線の内側に位置する領域を中央部とみなすとともに前記仮想線の外側に位置する領域を外周部とみなしたときに、前記中央部と比較して前記外周部の厚みが薄いことを特徴とする試料保持具。
- 外表面に試料保持面を有する直径が200〜500mmのセラミック体と、該セラミック体の内部に前記試料保持面に対向するように設けられた静電吸着用の電極とを備えており、該静電吸着用の電極は2つの略半円形状の電極からなり、2つの該略半円形状の電極は弦同士が隙間をあけて対向するとともに2つの弧によって全体の外形が円形状となるように配置されており、前記静電吸着用の電極と中心が同じであり直径が半分の大きさである円の外周を構成する仮想線を前記静電吸着用の電極に引いたときに前記仮想線の内側に位置する領域を中央部とみなすとともに前記仮想線の外側に位置する領域を外周部とみなしたときに、前記中央部と比較して前記外周部の厚みが薄いことを特徴とする試料保持具。
- 前記電極は、前記外周部が外周に近づくにつれて厚みが薄くなっていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の試料保持具。
- 前記試料保持面に対して垂直な断面で見たときに、前記電極は、前記外周部における前記試料保持面側の面が外周に近づくにつれて前記試料保持面との距離が大きくなっていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一つに記載の試料保持具。
- 前記試料保持面に対して垂直な断面で見たときに、前記電極の前記外周部における前記試料保持面側の面が先端側が厚みが薄くなる弧状部を有していることを特徴とする請求項4に記載の試料保持具。
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