JP2015162481A - 試料保持具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料保持具10は、セラミックスから成る、主面に試料保持面11を有する絶縁基板1と、絶縁基板1の内部に試料保持面11に対向して設けられた、試料保持面11側に分布した複数の凸部21を有する静電吸着用電極2とを備えており、静電吸着用電極2は、中央部3と周縁部4とを有しており、中央部3における複数の凸部21が周縁部4における複数の凸部21よりも高い。これにより、静電吸着力を確保しつつ、絶縁基板1に生じる反りを低減できる。
【選択図】図1
Description
。そして、静電吸着用電極の中央部において凸部が高いことによって、静電吸着力を大きくすることができる。さらに、静電吸着用電極の周縁部において凸部が低いことによって、周縁部における静電吸着用電極を薄くできるので、絶縁基板と静電吸着用電極との熱膨張差に起因する熱応力を低減することができる。そのため、絶縁基板に生じる反りを小さくすることができる。これらの結果、静電吸着力を十分に確保しつつセラミック板に生じる反りが低減された信頼性の高い試料保持具を提供することができる。
ボイドの大きさを比較することができる。
どで静電吸着用電極2の一部が露出するような凹部を設ける。そして、凹部に給電用の外部端子を挿入して、外部端子を静電吸着用電極2にろう付けする。
11:試料保持面
2:静電吸着用電極
21:凸部
3:中央部
4:周縁部
10:試料保持具
Claims (2)
- セラミックスから成る、主面に試料保持面を有する絶縁基板と、該絶縁基板の内部に前記試料保持面に対向して設けられた、前記試料保持面側に分布した複数の凸部を有する静電吸着用電極とを備えており、該静電吸着用電極は、中央部と周縁部とを有しており、前記中央部における前記複数の凸部が前記周縁部における前記複数の凸部よりも高いことを特徴とする試料保持具。
- 前記静電吸着用電極は、内部に複数のボイドを有しており、前記周縁部における前記複数のボイドが前記中央部における前記複数のボイドよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の試料保持具。
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