JPWO2019155965A1 - ワイヤボンディング装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本開示のワイヤボンディング装置の平面図である。図1に示されるように、ワイヤボンディング装置100は、キャピラリ15(ボンディングツール)を備える。キャピラリ15は、所定のボンディングエリアBAにおいてワイヤを電極に押圧することにより、ワイヤを電極に接合する。電極は、半導体チップ等の電子部品19の電極、電子部品19が取り付けられた基板18の電極等を含む。なお、以下の説明において、便宜上、ガイドレール16の延在方向をX方向とする。X方向に直交する水平方向をY方向とする。X方向及びY方向に直交する上下方向をZ方向とする。
図1に示されるように、板バネ組立体20は、フレーム10上において、ボンディングアーム13側のガイドレール16とヒートブロック17との間に取り付けられている。板バネ組立体20は、ヒートブロック17からの熱を遮るためのカバーを備えてもよい。
較正部62は、制御部61の較正処理を実施する。この較正処理は、歪みゲージ部54,55の取得結果に基づく。この較正処理によれば、押圧荷重の目標値と押圧荷重の実測値との荷重誤差が所定範囲内となる。較正部62の較正処理について詳述する。較正部62は、較正処理の一例として、以下に説明する実測処理、比較処理、及び補正処理を実施する。較正部62は、較正処理を、荷重誤差が予め設定された荷重閾値未満となるまで繰り返す。
以上、本開示に係るワイヤボンディング装置100について説明したが、本開示に係るワイヤボンディング装置100は、上記実施形態に限られるものではない。
Claims (4)
- 所定のボンディングエリアにおいてワイヤを電極に押圧しつつ接合するボンディングツールを備えるワイヤボンディング装置であって、
前記ボンディングツールを上下方向に沿って駆動する駆動源と、
前記駆動源に接続され、前記ボンディングツールの押圧荷重を制御する制御部と、
前記ボンディングエリアの外側に配置され、前記押圧荷重で歪みを生じる弾性部と、
前記弾性部の歪みを取得する取得部と、
前記取得部の取得結果に基づいて、予め設定された前記押圧荷重の目標値と前記押圧荷重の実測値との荷重誤差が所定範囲内となるように、前記制御部の較正処理を実施する較正部と、を備える、ワイヤボンディング装置。 - 前記較正処理は、
前記ボンディングツールが前記弾性部を押圧していない非押圧状態での前記弾性部の第1歪みと、前記制御部によって前記押圧荷重が前記目標値となるように制御されている場合において前記ボンディングツールが前記弾性部を当該押圧荷重で押圧している押圧状態での前記弾性部の第2歪みと、に基づいて、前記押圧荷重の前記実測値を算出する実測処理と、
算出した前記実測値と前記押圧荷重の目標値とから荷重誤差を算出すると共に、前記荷重誤差と予め設定された荷重閾値とを比較する比較処理と、
前記荷重誤差が前記荷重閾値以上である場合、前記荷重誤差が小さくなるように前記制御部における前記駆動源の制御データを変更する補正処理と、を含み、
前記較正部は、
前記荷重誤差が前記荷重閾値未満となるまで、前記実測処理、前記比較処理、及び前記補正処理を繰り返す、請求項1記載のワイヤボンディング装置。 - 前記弾性部は、片持ち梁状に支持された板バネであり、
前記取得部は、前記板バネの上面に設けられた第1歪みゲージと、前記板バネの下面に設けられた第2歪みゲージと、を含む、請求項1又は2記載のワイヤボンディング装置。 - 前記弾性部は、片持ち梁状に支持され、長手方向の一端部及び他端部に挟まれた中間部において前記一端部及び前記他端部よりも低い剛性を有する低剛性部が設けられた梁材であり、
前記取得部は、前記梁材の前記一端部の上面及び下面に設けられた第3歪みゲージと、前記梁材の前記他端部の上面及び下面に設けられた第4歪みゲージとを含む、請求項1又は2記載のワイヤボンディング装置。
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