JPWO2019146379A1 - ガラス基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(2)熱収縮率が低く、熱安定性に優れていること。すなわちガラス基板は、成膜、アニール等の工程で数百度に熱処理される。熱処理の際に、ガラス基板が熱収縮すると、パターンズレ等が発生しやすくなる。例えば低温ポリシリコンTFTの製造工程では400〜600℃の熱処理工程が存在し、この熱処理工程でガラス基板が熱収縮し、寸法変化が生じる。この寸法変化が大きいと、TFTの画素ピッチにズレが生じ、表示不良の原因となる。また有機ELの場合、わずかな寸法変化でも表示不良となる虞れがあり、熱収縮率の極めて低いガラス基板が要求されている。
(3)ガラス基板の撓みに起因する不具合を抑制するため、ヤング率や比ヤング率が高いこと。
(4)ガラスの製造の観点から、溶融性や耐失透性に優れていること。
(5)ディスプレイの製造工程で要求される耐薬品性やエッチング性能を有すること。
β−OH値 = (1/X)log(T1/T2)
X:ガラス肉厚(mm)
T1:参照波長3846cm−1における透過率(%)
T2:水酸基吸収波長3600cm−1付近における最小透過率(%)
表1、2は、本発明の実施例ガラス(試料No.1〜9)と従来ガラス(試料No.10)を示すものである。尚、表中のNa2O、K2O、Fe2O3、ZrO2以外の成分の含有量は、小数第2位を四捨五入したものである。
β−OH値 = (1/X)log(T1/T2)
X:ガラス肉厚(mm)
T1:参照波長3846cm−1における透過率(%)
T2:水酸基吸収波長3600cm−1付近における最小透過率(%)
表2の試料No.8及び10のガラスとなるようにガラスバッチを調製した。次いで、このガラスバッチを電気溶融炉に投入し、1600〜1650℃で溶融した後、清澄槽、均質化槽内で溶融ガラスを清澄均質化した後、ポット内で成形に適した粘度に調整した。次いで溶融ガラスをオーバーフローダウンドロー装置により板状に成形した後、長さ5mの徐冷炉において、徐冷点から(徐冷点−100℃)の温度範囲での平均冷却速度を385℃/分に設定して徐冷した。その後、板状ガラスを切断し、端面加工することにより、1500×1850×0.7mmの寸法を有するガラス基板を作製した。
熱収縮率 = [{△Ll(μm)+△L2(μm)}×103]/l0(mm)(ppm)
(2)イオナイザ付きエアーガン5によりガラス基板Gを徐電する。
(3)テーブル3を上昇させてガラス基板Gに接触させると共に、真空吸着させてテーブル3とガラス基板Gを20秒間密着させる。
(4)テーブル3を下降させることでガラス基板Gをテーブル3から剥離し、ガラス基板Gの中央部に発生する帯電量を表面電位計4で連続的に測定する。
(5)上記(3)と(4)の工程を繰り返すことにより、計5回の剥離評価を連続して行う。
各測定における最大帯電量を求め、これらを積算して剥離帯電量とする。
M マーキング
1 支持台
2 パッド
3 テーブル
4 表面電位体
5 イオナイザ付きエアーガン
Claims (14)
- 質量百分率で、SiO2 50〜70%、Al2O3 10〜25%、B2O3 0%以上3%未満、MgO 0〜10%、CaO 0〜15%、SrO 0〜10%、BaO 0〜15%、Na2O 0.005〜0.3%を含有し、β−OH値が0.18/mm未満、歪点が735℃以上であることを特徴とするガラス基板。
- 質量百分率で、Fe2O3を0.005〜0.1%含有することを特徴とする請求項1に記載のガラス基板。
- 質量百分率で、SnO2を0.001〜0.5%含有することを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス基板。
- ヤング率が80GPa以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のガラス基板。
- 熱収縮率が20ppm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のガラス基板。
- 短辺が1500mm以上、長辺が1850mm以上の寸法を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のガラス基板。
- 厚みが0.7mm以下であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のガラス基板。
- 少なくとも一方の表面が微細凹凸面であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のガラス基板。
- 微細凹凸面の表面粗さRaが0.1〜10nmであることを特徴とする請求項8に記載のガラス基板。
- 質量百分率で、SiO2 50〜70%、Al2O3 10〜25%、B2O3 0%以上3%未満、MgO 0〜10%、CaO 0〜15%、SrO 0〜10%、BaO 0〜15%、Na2O 0.005〜0.3%を含有するガラスとなるように調製されたガラスバッチを準備する原料準備工程、ガラスバッチを電気溶融炉で溶融する溶融工程、溶融ガラスを板状に成形する成形工程、板状のガラスを徐冷炉で徐冷する徐冷工程、徐冷した板状ガラスを所定寸法に切断する加工工程を含み、β−OH値が0.18/mm未満、歪点が735℃以上のガラス基板を得ることを特徴とするガラス基板の製造方法。
- 徐冷工程における板状ガラスの冷却速度が、徐冷点から(徐冷点−100℃)の温度範囲で50℃/分〜1000℃/分の平均冷却速度であることを特徴とする請求項10に記載のガラス基板の製造方法。
- 少なくとも一方の表面を化学エッチングすることを特徴とする請求項10又は11に記載のガラス基板の製造方法。
- 少なくとも一方の表面を物理的研磨することを特徴とする請求項10又は11に記載のガラス基板の製造方法。
- 表面粗さRaを0.1〜10nmにすることを特徴とする請求項12又は13に記載のガラス基板の製造方法。
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