JPWO2019131144A1 - 光照射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施形態の基板処理装置を示す模式図(縦断側面図)である。図1に示す基板処理装置1は、ウェハW(基板)に対して所定の処理を行う装置である。ウェハWは、円板状を呈するが、円形の一部が切り欠かれていたり、多角形などの円形以外の形状を呈するウェハを用いてもよい。ウェハWは、例えば、半導体基板、ガラス基板、マスク基板、FPD(Flat Panel Display)基板その他の各種基板であってもよい。本実施形態では、基板処理装置1が、ウェハWに光を照射することにより、ウェハWの表面に形成されたレジストパターンの表面の荒れを改善する装置であるとして説明する。なお、当該レジストパターンは、ウェハWに形成されたレジスト膜が露光され、現像されることにより形成されるものである。
図2は、図1の基板処理装置1の光照射装置4を示す模式図である。図3は、光照射装置4の照射範囲を示す説明図(照射範囲を平面視した図)である。図2に示すように、光照射装置4は、複数の重水素ランプ40(光照射部)と、複数の多角形筒50(筒状遮光部材)と、を備えている。
上述したように、本実施形態に係る基板処理装置1の光照射装置4は、波長が200nm以下であって光源41を頂点とした円錐状の光路をとる真空紫外光をウェハWに向けて照射する複数の重水素ランプ40と、複数の重水素ランプ40から照射される真空紫外光の照射範囲の重なり部分を遮光するように、各重水素ランプ40に対応して設けられた多角形筒50と、を備え、多角形筒50は、真空紫外光の進行方向から見て多角形状に形成されている。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、図5に示すように、複数の光照射部のうち一部の重水素ランプ40xから照射される真空紫外光の照度値が、他の重水素ランプ40から照射される真空紫外光の照度値と異なっていてもよい。図5に示す例では、重水素ランプ40xから照射される真空紫外光の照度値が重水素ランプ40から照射される真空紫外光の照度値よりも大きくされている。また、図6に示すように、複数の光照射部のうち一部の重水素ランプ40yから照射される真空紫外光の光線角度が、他の重水素ランプ40から照射される真空紫外光の光線角度と異なっていてもよい。図6に示す例では、重水素ランプ40yから照射される真空紫外光の光線角度が重水素ランプ40から照射される真空紫外光の光線角度よりも大きくされている。また、図7に示すように、複数の光照射部のうち一部の重水素ランプ40zのウェハWとの離間距離が、他の重水素ランプ40のウェハWとの離間距離と異なっていてもよい。図7に示す例では、重水素ランプ40zのウェハWとの離間距離が、重水素ランプ40のウェハWとの離間距離よりも小さくされている。このように、複数の光照射部について、照度値、光線角度、又は高さ(ウェハWとの離間距離)を互いに異ならせることによって、照射分布を積極的に調整することができ、光照射部からの照射状況に応じて、ウェハWの照射面における光照射分布の均一性をより向上させることができる。
Claims (19)
- 光源を頂点とした円錐状の光路をとる真空紫外光を基板に向けて照射する複数の光照射部と、
前記複数の光照射部から照射される前記真空紫外光の照射範囲の重なり部分を遮光するように、各光照射部に対応して設けられた遮光部と、を備え、
前記遮光部は、前記真空紫外光の進行方向から見て多角形状に形成されている、光照射装置。 - 前記遮光部は、前記真空紫外光の進行方向に延びて筒状に形成された筒状遮光部材を有する、請求項1記載の光照射装置。
- 前記筒状遮光部材は、前記光照射部及び前記基板間の略全域にわたって、前記進行方向に延びている、請求項2記載の光照射装置。
- 前記筒状遮光部材は、前記光照射部及び前記基板間において、前記基板寄りの位置に設けられている、請求項2記載の光照射装置。
- 前記筒状遮光部材は、前記光照射部及び前記基板間の全長の半分以下の長さである、請求項4記載の光照射装置。
- 前記遮光部は、板状に形成された板状遮光部材を有する、請求項1〜5のいずれか一項記載の光照射装置。
- 前記遮光部は、前記真空紫外光の進行方向に延びて筒状に形成されると共に前記光照射部及び前記基板間において前記基板寄りの位置に設けられた筒状遮光部材と、板状に形成された板状遮光部材とを有し、
前記板状遮光部材は、前記筒状遮光部材の下方に設けられている、請求項1記載の光照射装置。 - 前記板状遮光部材は、前記筒状遮光部材の下端に接するように設けられている、請求項7記載の光照射装置。
- 前記板状遮光部材は、前記進行方向から見て、光を通す領域の大きさが前記筒状遮光部材よりも小さい、請求項8記載の光照射装置。
- 前記板状遮光部材は、前記筒状遮光部材の下端から離間するように設けられている、請求項7記載の光照射装置。
- 前記遮光部の前記基板との離間距離を調整する離間距離調整部を更に備える、請求項1〜10のいずれか一項記載の光照射装置。
- 前記光照射部は、重水素ランプを含んで構成されている、請求項1〜11のいずれか一項記載の光照射装置。
- 前記重水素ランプは、波長が200nm以下の真空紫外光を発生させる、請求項12記載の光照射装置。
- 前記重水素ランプは、波長が160nm以下の真空紫外光を発生させる、請求項13記載の光照射装置。
- 前記複数の光照射部は、照射する前記真空紫外光の照度値、照射する前記真空紫外光の光線角度、及び前記基板との離間距離の少なくとも一つが互いに異なる、請求項1〜14のいずれか一項記載の光照射装置。
- 前記遮光部の上方において前記真空紫外光を拡散させる拡散部を更に備える、請求項1〜15のいずれか一項記載の光照射装置。
- 前記基板の照射面を前記光照射部に対向させた状態で前記基板を回転させる基板回転部を更に備える、請求項1〜16のいずれか一項記載の光照射装置。
- 前記遮光部又は前記基板を、前記基板の照射面に平行な方向に往復移動させる平行移動部を更に備える、請求項1〜17のいずれか一項記載の光照射装置。
- 前記遮光部は、真空紫外光の反射率が90%以下の材質によって構成されている、請求項1〜18のいずれか一項記載の光照射装置。
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