JPWO2019102952A1 - 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1実施形態に係る圧電デバイスは、上方斜視図である図1、図1のII−II方向から見た模式的な断面図である図2、及び下方斜視図である図3に示すように、少なくとも一部が屈曲振動可能な圧電体10と、圧電体10の上表面上に配置された上部電極22であって、圧電体10の上表面から離れるほど結晶格子の歪が緩和される上部電極22と、圧電体10の下表面上に配置された下部電極21であって、圧電体10の下表面から離れるほど結晶格子の歪が緩和される下部電極21と、圧電体10の下方に配置された支持基板40と、を備える。圧電デバイスには、支持基板40の下表面から圧電体10の下表面上に向かう凹部141が設けられている。
第2の実施形態以降では第1の実施形態と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については実施形態毎には逐次言及しない。第2実施形態に係る圧電デバイスは、図11に示すように、支持基板50がシリコン基板である。第2実施形態に係る圧電デバイスには、支持基板50の下表面から圧電体10の下表面上に向かう凹部151が設けられている。凹部151の底面152からは、非晶質層30が露出している。
第3実施形態に係る圧電デバイスは、図16に示すように、圧電体10の上表面及び上部電極22を覆う支持膜70をさらに備える。支持膜70の材料としては、ポリシリコン、窒化ケイ素、及び窒化アルミニウム等が使用可能である。第3実施形態においては、支持膜70も、屈曲振動膜の一部をなす。このように、支持膜70を圧電体10の上表面を覆うように配置して、支持膜70に、外気に対する保護膜としての機能も持たせることが可能である。
第4実施形態に係る圧電デバイスは、図22に示すように、第1実施形態に係る圧電デバイスと同様の構成を有するが、少なくとも、ハンドル層41、活性層43、及び圧電体10のそれぞれが、厚み方向にばらつきを有する。ハンドル層41の表面には凹凸が設けられており、ハンドル層41の表面の平坦度(TTV:Total Thickness Variation)は、例えば、0nm以上2μm以下、好ましくは0nm以上1μm以下である。活性層43の表面には、ハンドル層41の表面の凹凸に沿った凹凸が設けられている。ただし、活性層43の厚み方向のばらつきは、ハンドル層41の厚み方向のばらつきより小さい。そのため、活性層43の表面のTTVの値は、ハンドル層41の表面のTTVの値より小さくなる。圧電体10の表面には、ハンドル層41及び活性層43の表面の凹凸に沿った凹凸が設けられている。ただし、圧電体10の厚み方向のばらつきは、活性層43の厚み方向のばらつきより小さい。そのため、圧電体10の表面のTTVの値は、活性層43の表面のTTVの値より小さくなる。
図23に示すように、シリコンからなるハンドル層41を用意し、TTVが所定の値となるよう、ハンドル層41の上表面と下表面を研磨又はエッチング処理して、ハンドル層41の上表面と下表面に凹凸を形成する。例えば、ハンドル層41の直径が4インチ、6インチ、又は8インチである場合、TTVが0nm以上2μm以下、好ましくは0nm以上1μm以下となるよう、ハンドル層41の上表面と下表面を処理する。
図31に示す第5実施形態に係る圧電デバイスにおいては、第4実施形態と同様にハンドル層41が厚み方向にばらつきを有するが、活性層43の上表面が平坦となっており、圧電体10の上表面及び下表面も平坦となっている。第5実施形態に係る圧電デバイスを製造する際には、第4実施形態と同様に酸化膜42が設けられたハンドル層41と、シリコン基板143とを、フュージョンボンディング等により接合した後、シリコン基板14を薄膜化して活性層43を形成する際に、活性層43の上表面を平坦にすればよい。
Claims (15)
- 少なくとも一部が屈曲振動可能な圧電体と、
前記圧電体の上表面上に配置された上部電極であって、前記上表面から離れるほど結晶格子の歪が緩和される上部電極と、
前記圧電体の下表面上に配置された下部電極であって、前記下表面から離れるほど結晶格子の歪が緩和される下部電極と、
前記圧電体の下方に配置された支持基板と、
を備え、
前記支持基板の下表面から前記圧電体の下表面上に向かう凹部が設けられている、
圧電デバイス。 - 前記圧電体を複層備え、
前記複層が上層と下層を備え、
前記上部電極が前記上層の圧電体の上表面上に配置されており、
前記下部電極が前記下層の圧電体の下表面上に配置されている、
請求項1に記載の圧電デバイス。 - 前記上部電極及び前記下部電極が、少なくとも1種類以上の3軸配向組織を有する、請求項1又は2に記載の圧電デバイス。
- 前記上部電極及び前記下部電極が、1種類の3軸配向組織を有する、請求項1又は2に記載の圧電デバイス。
- 前記圧電体と前記下部電極の間に、金属からなる下部密着層をさらに備える、請求項1から4のいずれか1項に記載の圧電デバイス。
- 前記圧電体と前記上部電極の間に、金属からなる上部密着層をさらに備える、請求項1から5のいずれか1項に記載の圧電デバイス。
- 前記圧電体が単結晶からなる、請求項1から6のいずれか1項に記載の圧電デバイス。
- 前記圧電体がタンタル酸リチウム又はニオブ酸リチウムからなる、請求項1から7のいずれか1項に記載の圧電デバイス。
- 圧電体の下表面上から導電物質を成膜し、前記成膜された導電物質からなる下部電極を形成することと、
前記圧電体の上表面上から導電物質を成膜し、前記成膜された導電物質からなる上部電極を形成することと、
前記圧電体の下方に支持基板を配置することと、
前記支持基板の下表面から前記圧電体の下表面上に向かう凹部を設けることと、
を含む、前記圧電体の少なくとも一部が屈曲振動可能な圧電デバイスの製造方法。 - 前記圧電体が複層であり、
前記複層が上層と下層を備え、
前記下部電極を前記下層の圧電体の下表面上に形成し、
前記上部電極を前記上層の圧電体の上表面上に形成する、
請求項9に記載の圧電デバイスの製造方法。 - 前記上部電極及び前記下部電極が、前記導電物質をエピタキシャル成長させることにより形成される、請求項9又は10に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記下部電極が、金属からなる下部密着層を介して前記圧電体の下表面上に形成される、請求項9から11のいずれか1項に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記上部電極が、金属からなる上部密着層を介して前記圧電体の上表面上に形成される、請求項9から12のいずれか1項に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記圧電体が単結晶からなる、請求項9から13のいずれか1項に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記圧電体がタンタル酸リチウム又はニオブ酸リチウムからなる、請求項9から14のいずれか1項に記載の圧電デバイスの製造方法。
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