JPWO2018211931A1 - 半導体集積回路装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図3は第1実施形態に係る半導体集積回路装置におけるIOセル10の配置例を示す図であり、図1の部分X1の拡大図に相当する。図3において、2列のIOセル列10A,10Bは、それぞれ、X方向(図面横方向、チップ1の外辺に沿う方向)に並ぶ複数のIOセル10を備えており、Y方向(図面縦方向、チップ1の端からコア領域2に向かう方向)に並べて配置されている。第1IOセル列に相当するIOセル列10Aは、Y方向に並べて配置された2列以上のIOセル列(ここではIOセル列10A,10B)の中で、チップ1の端に最も近く配置されている。第2IOセル列に相当するIOセル列10Bは、IOセル列10Aのコア領域2側に、IOセル列10Aと隣り合うように配置されている。
図6は第2実施形態に係る半導体集積回路装置におけるIOセル10の配置例を示す図であり、図1の部分X2の拡大図に相当する。図6において、第1IOセルブロック4と、第2IOセルブロック5とは、X方向において隣り合っている。第1IOセルブロック4におけるIOセル10の配置は、図3の構成と同様である。すなわち、2列のIOセル列10A,10Bは、それぞれ、X方向に並ぶ複数のIOセル10を備えており、Y方向に並べて配置されている。第1IOセル列に相当するIOセル列10Aは、Y方向に並べて配置された2列以上のIOセル列(ここではIOセル列10A,10B)の中で、チップ1の端に最も近く配置されている。第2IOセル列に相当するIOセル列10Bは、IOセル列10Aのコア領域2側に、IOセル列10Aと隣り合うように配置されている。
図9はIOセル配置の他の例である。図9の配置例は、図6の配置例とほぼ同様である。ただし、第1IOセルブロック4において、信号配線が通過可能なスペースが設けられている点が、図6と異なっている。すなわち、IOセル列10A,10Bにおいて、対向するIOセル10の組同士の間に、信号配線が通過可能なスペースS1が設けられている。また、IOセル列10Aのチップ1の端の側に、信号配線が通過可能なスペースS2が設けられている。IOセル10では通常、低電源電圧領域11の端部に入出力部が設けられている。このため、スペースS1,S2を設けたことによって、IOセル列10Aの各IOセル10の入出力部と、コア領域2に設けられた内部コア回路との接続が容易になる。
2 コア領域
3 IO領域
4 第1IOセルブロック
5 第2IOセルブロック
10 IOセル
10A IOセル列(第1IOセル列)
10B IOセル列(第2IOセル列)
10C IOセル列(第3IOセル列)
11 低電源電圧領域
12 高電源電圧領域
12a P型トランジスタ領域
12b N型トランジスタ領域
15 IOセル
15A,15B IOセル列
16 低電源電圧領域
17 高電源電圧領域
17a P型トランジスタ領域
17b N型トランジスタ領域
21,22 電源配線
25 電源配線
26,27 上層電源配線
30 パッド
S1,S2 信号配線が通過可能なスペース
Claims (19)
- チップと、
前記チップ上に設けられたコア領域と、
前記チップ上の、前記コア領域の周囲に設けられたIO領域とを備え、
前記IO領域には、前記チップの外辺に沿う方向である第1方向に並ぶ複数のIOセルをそれぞれ備えた2列以上のIOセル列が、前記第1方向と垂直をなす第2方向に並べて配置されており、
前記2列以上のIOセル列は、
前記2列以上のIOセル列の中で、前記チップの端に最も近く配置された第1IOセル列と、
前記第1IOセル列の前記コア領域側に、前記第1IOセル列と隣り合うように配置された第2IOセル列とを含み、
前記第1および第2IOセル列における前記IOセルは、それぞれ、前記第2方向において分かれて設けられた、高電源電圧領域と低電源電圧領域とを有し、
前記第1および第2IOセル列は、前記高電源電圧領域同士が対向するように、配置されている
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置において、
前記高電源電圧領域は、前記第2方向において分かれて設けられた、P型トランジスタ領域とN型トランジスタ領域とを有し、
前記第1IOセル列と前記第2IOセル列とは、前記P型トランジスタ領域同士が対向するように、配置されている
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置において、
前記第1IOセル列における前記IOセルは、前記第2方向におけるサイズおよび位置が同一であり、
前記第2IOセル列における前記IOセルは、前記第2方向におけるサイズおよび位置が同一である
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置において、
前記第1IOセル列と前記第2IOセル列とおいて、対向する前記IOセルは、前記第1方向におけるサイズと位置が同一である
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置において、
前記第1および第2IOセル列において、対向するIOセルの組同士の間に、信号配線が通過可能なスペースが設けられている
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置において、
前記第1および第2IOセル列において、対向するIOセル同士の間に、前記第1方向に延びる電源配線が配置されている
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置において、
前記第1および第2IOセル列における前記IOセルは、前記高電源電圧領域に、前記第1方向に延びる第1電源配線が配置されており、
前記第1および第2IOセル列において、前記第1電源配線よりも上層の配線層に、前記第2方向に延びるよう形成され、前記第1電源配線同士を接続する上層電源配線が配置されている
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項7記載の半導体集積回路装置において、
前記チップの外部との接続のために設けられたパッドを備え、
前記上層電源配線は、前記パッドと同一の配線層に形成されている
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - チップと、
前記チップ上に設けられたコア領域と、
前記チップ上の、前記コア領域の周囲に設けられ、前記チップの外辺に沿う方向である第1方向において隣り合う第1および第2IOセルブロックを含むIO領域とを備え、
前記第1IOセルブロックには、前記第1方向に並ぶ複数のIOセルをそれぞれ備えた2列以上のIOセル列が、前記第1方向と垂直をなす第2方向に並べて配置されており、
前記2列以上のIOセル列は、
前記2列以上のIOセル列の中で、前記チップの端に最も近く配置された第1IOセル列と、
前記第1IOセル列の前記コア領域側に、前記第1IOセル列と隣り合うように配置された第2IOセル列とを含み、
前記第2IOセルブロックには、前記第1方向に並ぶ複数のIOセルを備えた第3IOセル列が、1列のみ、配置されており、
前記第1〜第3IOセル列における前記IOセルは、それぞれ、前記第2方向において分かれて設けられた、高電源電圧領域と低電源電圧領域とを有し、
前記第1および第2IOセル列は、前記高電源電圧領域同士が対向するように、配置されており、
前記第3IOセル列は、前記高電源電圧領域が前記チップの端の側に位置するように、配置されている
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項9記載の半導体集積回路装置において、
前記第1IOセル列と、前記第3IOセル列とは、前記第1方向に沿って一列に並ぶように配置されている
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項9記載の半導体集積回路装置において、
前記第1および第3IOセル列における前記IOセルは、前記第2方向におけるサイズおよび位置が同一である
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項9記載の半導体集積回路装置において、
前記第1IOセルブロックと、前記第2IOセルブロックとの間に、前記第2方向に延びる電源配線が配置されている
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項9記載の半導体集積回路装置において、
前記高電源電圧領域は、前記第2方向において分かれて設けられた、P型トランジスタ領域とN型トランジスタ領域とを有し、
前記第1IOセル列と前記第2IOセル列とは、前記P型トランジスタ領域同士が対向するように、配置されている
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項9記載の半導体集積回路装置において、
前記第1IOセル列における前記IOセルは、前記第2方向におけるサイズおよび位置が同一であり、
前記第2IOセル列における前記IOセルは、前記第2方向におけるサイズおよび位置が同一である
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項9記載の半導体集積回路装置において、
前記第1IOセル列と前記第2IOセル列とにおいて、対向する前記IOセルは、前記第1方向におけるサイズと位置が同一である
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項9記載の半導体集積回路装置において、
前記第1および第2IOセル列において、対向するIOセルの組同士の間に、信号配線が通過可能なスペースが設けられている
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項9記載の半導体集積回路装置において、
前記第1および第2IOセル列において、対向するIOセル同士の間に、前記第1方向に延びる電源配線が配置されている
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項9記載の半導体集積回路装置において、
前記第1および第2IOセル列における前記IOセルは、前記高電源電圧領域に、前記第1方向に延びる第1電源配線が配置されており、
前記第1および第2IOセル列において、前記第1電源配線よりも上層の配線層に、前記第2方向に延びるように形成され、前記第1電源配線同士を接続する上層電源配線が配置されている
ことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項18記載の半導体集積回路装置において、
前記チップの外部との接続のために設けられたパッドを備え、
前記上層電源配線は、前記パッドと同一の配線層に形成されている
ことを特徴とする半導体集積回路装置。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60110137A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-15 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
JP2003100891A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-04 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置 |
JP2004179184A (ja) * | 2002-11-22 | 2004-06-24 | Sharp Corp | 半導体集積回路 |
JP2009032908A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置 |
JP2013038366A (ja) * | 2011-08-11 | 2013-02-21 | Renesas Electronics Corp | 半導体集積回路設計支援装置、半導体集積回路設計方法およびプログラム |
JP2013131619A (ja) * | 2011-12-21 | 2013-07-04 | Renesas Electronics Corp | 半導体集積回路及びその設計方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3228583B2 (ja) * | 1992-03-31 | 2001-11-12 | 株式会社東芝 | 半導体集積回路装置 |
JP2911345B2 (ja) * | 1992-11-25 | 1999-06-23 | 三菱電機株式会社 | 半導体集積回路装置 |
US5952726A (en) * | 1996-11-12 | 1999-09-14 | Lsi Logic Corporation | Flip chip bump distribution on die |
JP3169883B2 (ja) * | 1998-02-26 | 2001-05-28 | 日本電気アイシーマイコンシステム株式会社 | 半導体集積回路装置及びその機能セルの配置方法 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60110137A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-15 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
JP2003100891A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-04 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置 |
JP2004179184A (ja) * | 2002-11-22 | 2004-06-24 | Sharp Corp | 半導体集積回路 |
JP2009032908A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置 |
JP2013038366A (ja) * | 2011-08-11 | 2013-02-21 | Renesas Electronics Corp | 半導体集積回路設計支援装置、半導体集積回路設計方法およびプログラム |
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