JPWO2018207628A1 - 被覆粒子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
近年、電子機器類の一層の小型化に伴い、電子回路の回路幅やピッチはますます小さくなっている。それに伴い、上述の導電性接着剤、異方性導電膜、異方性導電接着剤等に用いられる導電性粒子として、その粒径が小さいものが求められている。このような小さい粒径の導電性粒子を使用した場合、その接続性を高めるためには導電性粒子の配合量を増加させなければならない。しかしながら、導電性粒子の配合量を増加させると、意図しない方向への導通、すなわち対向電極間とは異なる方向への導通により短絡が生じてしまい、該方向における絶縁性が得難いことが問題となっている。この問題を解決するために、導電性粒子の表面を絶縁性の物質で被覆して、導電性粒子の金属層同士の接触を防止した絶縁被覆導電性粒子が使用されている。
また特許文献2では、特許文献1と同様の被覆粒子が記載されている。同文献には、該被覆粒子が、絶縁微粒子が金属に対して結合性を有する官能基を介して導電性の金属からなる表面を有する粒子に化学結合することにより、単層の被覆層を形成していると記載されている。同文献には、このような構成の被覆粒子は、該被覆粒子を電極間で熱圧着することで絶縁微粒子が溶融、変形又は剥離することにより金属被覆粒子の金属表面が露出することで電極間での導通を可能とし接続性が得られる旨が記載されている。特許文献1及び2では、前記の官能基としてアンモニウム基やスルホニウム基が例示されている。
また、特許文献3に記載の被覆導電性粒子は、加熱前の中間体である絶縁性微粒子で被覆された状態の金属被覆粒子における絶縁性微粒子の官能基、及び、該絶縁性微粒子を加熱してなる皮膜が電荷を有するものではないため、金属被覆粒子との密着性が得がたいものであった。また仮に金属被覆粒子表面に絶縁性粒子を付着させることができたとしても、官能基が電荷を有するものではないため絶縁性微粒子が金属被覆粒子表面において単層となりにくかった。これらの点より、この絶縁性微粒子を加熱して得られる被覆粒子には、接続信頼性の点で改善の余地があった。
前記絶縁層がホスホニウム基を有する、被覆粒子を提供するものである。
ホスホニウム基を有する重合性化合物を含む重合性組成物を重合させて、表面にホスホニウム基を有する絶縁性微粒子を得る工程、
絶縁性微粒子を含む分散液と金属被覆粒子とを混合して、金属被覆粒子表面に絶縁性微粒子を付着させる工程、とを有する被覆粒子の製造方法を提供するものである。
本実施形態の被覆粒子は、芯材表面に金属皮膜が形成された導電性の金属被覆粒子が、ポリマーからなる絶縁層に被覆された被覆粒子であって、前記絶縁層がホスホニウム基を有する。
金属被覆粒子における芯材としては、粒子状であり、無機物であっても有機物であっても特に制限なく用いることができる。無機物の芯材粒子としては、金、銀、銅、ニッケル、パラジウム、ハンダ等の金属粒子、合金、ガラス、セラミック、シリカ、金属または非金属の酸化物(含水物も含む)、アルミノ珪酸塩を含む金属珪酸塩、金属炭化物、金属窒化物、金属炭酸塩、金属硫酸塩、金属リン酸塩、金属硫化物、金属酸塩、金属ハロゲン化物及び炭素等が挙げられる。一方、有機物の芯材粒子としては、例えば、天然繊維、天然樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリブテン、ポリアミド、ポリアクリル酸エステル、ポリアクリルニトリル、ポリアセタール、アイオノマー、ポリエステル等の熱可塑性樹脂、アルキッド樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、メラミン樹脂、キシレン樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ジアリルフタレート樹脂等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。これらの中でも、金属からなる芯材粒子に比べて比重が小さくて沈降し難く、分散安定性に優れ、樹脂の弾性により電気接続を維持し易いという点で、樹脂材料からなる芯材粒子が好ましい。
金属被覆粒子の形状は、芯材粒子の形状にもよるが、特に制限はない。例えば、繊維状、中空状、板状又は針状であってもよく、その表面に多数の突起を有するもの又は不定形のものであってもよい。本発明においては、充填性、接続性に優れるという点で、球状又は多数の突起を有する形状であることが好ましい。
まず、絶縁層が絶縁性微粒子からなり、該微粒子がその表面にホスホニウム基を有する場合について説明する。この場合、被覆粒子を電極間で熱圧着することで絶縁性微粒子が溶融、変形、剥離又は金属被覆粒子表面を移動することにより熱圧着された部分における金属被覆粒子の金属表面が露出し、これにより電極間での導通を可能として接続性が得られる。一方、被覆粒子における熱圧着方向以外の方向を向く表面部分は、絶縁性微粒子による金属表面の被覆状態が概ね維持されているため、熱圧着方向以外の方向における導通が防止される。
絶縁性微粒子は、その表面にホスホニウム基を有することにより、金属被覆粒子に密着しやすく、これによって金属被覆粒子表面における絶縁性微粒子に被覆される割合を十分なものにできるとともに金属被覆粒子からの絶縁性微粒子の剥離などが効果的に防止される。このため、絶縁性微粒子による対向電極間と異なる方向における短絡防止効果が発揮されやすく、当該方向での絶縁性の向上が期待できる。
また本発明の被覆粒子は、ホスホニウム基に起因する正電荷を有する絶縁性微粒子同士が反発しあうことにより金属被覆粒子表面に単層の絶縁性微粒子の層を形成しやすい。従って、本発明の被覆粒子を異方導電材料等に用いた場合に絶縁性微粒子が重層して存在していることによる熱圧着に伴う導通不良が効果的に防止され、接続性の向上が期待できる。
従って絶縁層が絶縁性微粒子からなる本発明の被覆粒子により接続信頼性を向上しうる。
ホスホニウム基を有するエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物としては4−(ビニルベンジル)トリエチルホスホニウムクロライド、4−(ビニルベンジル)トリメチルホスホニウムクロライド、4−(ビニルベンジル)トリブチルホスホニウムクロライド、4−(ビニルベンジル)トリオクチルホスホニウムクロライド、4−(ビニルベンジル)トリフェニルホスホニウムクロライド、2−(メタクリロイルオキシエチル)トリメチルホスホニウムクロライド、2−(メタクリロイルオキシエチル)トリエチルホスホニウムクロライド、2−(メタクリロイルオキシエチル)トリブチルホスホニウムクロライド、2−(メタクリロイルオキシエチル)トリオクチルホスホニウムクロライド、2−(メタクリロイルオキシエチル)トリフェニルホスホニウムクロライド等が挙げられる。絶縁性微粒子が、ホスホニウム基を有するエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物とホスホニウム基を有さないエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物との共重合体である場合、ホスホニウム基を有する重合性化合物とホスホニウム基を有さない重合性化合物とは同種であっても異なる種類であってもよい。ここでいう種類の例としては、前述したスチレン類、オレフィン類、エステル類、不飽和カルボン酸類、アミド類、ニトリル類が挙げられる。例えばホスホニウム基を有しエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物の少なくとも一種とホスホニウム基を有さずエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物の少なくとも一種とが同じ種類、例えばスチレン類であってもよい。
特に本実施形態では絶縁性微粒子として表面にホスホニウム基を有するものを用いることにより、上述した通り、絶縁性微粒子の金属被覆粒子への単層での密着が可能であるところ、絶縁性微粒子としてガラス転移温度の低いものを用いることで更に容易に絶縁性微粒子の金属被覆粒子への密着性、及び、絶縁性微粒子同士の付着性を高めることができる。従って本実施形態では被覆粒子間の絶縁性が効果的に向上できる。
また絶縁性微粒子のガラス転移温度は、40℃以上であることが、被覆粒子の保存時等の形状安定性や絶縁性微粒子の合成の容易性の点から好ましく、45℃以上であることがより好ましく、50℃以上であることが特に好ましい。ガラス転移温度は、後述する実施例に記載の方法で測定できる。
示差走査熱量計「STAR SYSTEM」(METTLER TOLEDO社製)を用いて、試料0.04〜0.06gを、200℃まで昇温し、その温度から降温速度5℃/minで25℃まで冷却した。次いで試料を昇温速度5℃/minで昇温し、熱量を測定した。ピークが観測されるときはそのピークの温度を、ピークが観測されずに段差が観測されるときは該段差部分の曲線の最大傾斜を示す接線と該段差の高温側のベースラインの延長線との交点の温度をガラス転移温度とした。
C.V.(%)=(標準偏差/平均粒子径)×100・・・(1)
このC.V.が大きいということは粒度分布に幅があることを示し、一方、C.V.が小さいということは粒度分布がシャープであることを示す。本実施形態の被覆粒子は、C.V.が好ましくは0.1%以上20%以下、より好ましくは0.5%以上15%以下、最も好ましくは1%以上10%以下の絶縁性微粒子を用いることが望ましい。C.V.がこの範囲であることにより、絶縁性微粒子による被覆層の厚みを均一にできる利点がある。
皮膜が有するホスホニウム基としては上記絶縁性微粒子が有するホスホニウム基と同様のものが挙げられる。
また皮膜を構成するポリマーとしては上述した絶縁性微粒子を構成するポリマーと同様のものが挙げられる。皮膜のガラス転移温度としては、上述した絶縁性微粒子のガラス転移温度と同様のものが挙げられる。皮膜のガラス転移温度と芯材粒子のガラス転移温度との関係としては、上述した絶縁性微粒子のガラス転移温度と芯材粒子のガラス転移温度との関係と、同様の関係が挙げられる。
しかしながら、少なくとも出願時においては、出願人の技術レベルでは本発明の効果と関係するその他の皮膜の構造又は特性を確認することができなかった。
また仮に全ての要因を突き止めたとしても、それら要因に係る皮膜の構造や特性を、新たな測定方法を確立して特定する必要があり、そのためには、著しく過大な経済的支出及び時間を要する。
以上の事情より、特許出願の性質上、迅速性等を必要とすることに鑑みて、出願人は、本発明の皮膜の好ましい特徴の一つとして、上記の製造方法にて製造されるものであることを記載した。
本製造方法は、ホスホニウム基を有する重合性化合物を含む重合性組成物を重合させて、表面にホスホニウム基を有する絶縁性微粒子を得る第1工程、
絶縁性微粒子を含む分散液と金属被覆粒子とを混合して、金属被覆粒子表面に絶縁性微粒子を付着させる第2工程、とを有する。
上記重合性組成物は、2種以上の重合性化合物からなるものであり、少なくとも1種がホスホニウム基を有するものが挙げられる。重合性化合物としては上述したものが挙げられる。また、好ましい重合性化合物やその構成比としては、上記の構成単位やその量比を与えるものが挙げられる。
以上により、表面にホスホニウム基を有する絶縁性微粒子が得られる。
次いで、絶縁性微粒子を含む分散液と金属被覆粒子とを混合して、金属被覆粒子表面に絶縁性微粒子を付着させる。
分散液の液媒としては、水及び有機溶媒並びにその混合物が挙げられ、水が好ましい。
測定対象の走査型電子顕微鏡(SEM)写真(倍率100,000倍)から、任意に200個の粒子を抽出して、それらの粒子径を測定し、その平均値を平均粒子径とした。
前記平均粒子径の測定から、下記式により求めた。
C.V.(%)=(標準偏差/平均粒子径)×100
示差走査熱量測定装置(METTLER TOLEDO社製、STAR SYSTEM)にて昇降温速度5℃/min、窒素雰囲気下、測定温度25℃から200℃までの熱量変化を上記の手順で測定した。
長さ60mmの撹拌羽根を取り付けた200mLの4つ口フラスコに、純水を100mL投入した。その後、スチレンモノマー(関東化学(株)社製)30.00mmol、4−(ビニルベンジル)トリエチルホスホニウムクロライド(日本化学工業(株)社製)0.03mmol、及び重合開始剤として2、2′−アゾビス(2−メチルプロピオンアミジン)ジヒドロクロライド(和光純薬工業社製、V−50)0.50mmolを投入した。窒素を15分間通気し、溶存酸素を追い出した後、60℃に昇温し、6時間保持して重合反応を進行させた。重合後の微粒子の分散液を目開き150μmのSUS篩を通過させ、凝集物を除去した。凝集物を除去した分散液を、遠心分離機(日立工機(株)社製、CR−21N)にて20,000rpm、20分間の条件にて微粒子を沈降させ、上澄み液を除去した。得られた固形物に純水を加えて洗浄して、ポリ(スチレン/4−(ビニルベンジル)トリエチルホスホニウムクロライド)の球状の微粒子を得た。得られた微粒子の平均粒子径は270nmであり、C.V.が3.9%であった。またガラス転移温度は約105℃であった。得られた絶縁性微粒子のSEM写真を図1に示す。
製造例1と同じ反応装置を用いて、スチレンモノマー(関東化学(株)社製)30.00mmol、n−ブチルアクリレート(関東化学(株)社製)5.3mmol、4−(ビニルベンジル)トリエチルホスホニウムクロライド(日本化学工業(株)社製)0.03mmol、及び重合開始剤として2、2′−アゾビス(2−メチルプロピオンアミジン)ジヒドロクロライド(和光純薬工業社製、V−50)0.50mmolを投入し、製造例1と同じ条件で重合及び後処理を行い、ポリ(スチレン/n−ブチルアクリレート/4−(ビニルベンジル)トリエチルホスホニウムクロライド)の球状の微粒子を得た。得られた微粒子の平均粒子径は245nmであり、C.V.が3.6%であった。またガラス転移温度は約62℃であった。得られた絶縁性微粒子のSEM写真を図2に示す。
製造例1と同じ反応装置を用いて、スチレンモノマー(関東化学(株)社製)30.00mmol、4−(ビニルベンジル)トリエチルアンモニウムクロライド(日本化学工業(株)社製)0.03mmol、及び重合開始剤として2、2′−アゾビス(2−メチルプロピオンアミジン)ジヒドロクロライド(和光純薬工業社製、V−50)0.50mmolを投入し、製造例1と同じ条件で重合及び後処理を行い、ポリ(スチレン/4−(ビニルベンジル)トリエチルアンモニウムクロライド)の球状の微粒子を得た。得られた微粒子の平均粒子径は272nmであり、C.V.が3.3%であった。またガラス転移温度は約102℃であった。得られた絶縁性微粒子のSEM写真を図3に示す。
製造例1にて得られた微粒子の固形分濃度が質量基準で10,000ppmとなり、NaCl濃度が25mmol/Lとなり、全体が20mLとなるよう純水及びNaClを加えて微粒子分散液を調製した。この分散液に、粒子径が20μmのNiめっき粒子(日本化学工業株式会社製)を50mg投入し、室温(25℃)で15時間撹拌した。このNiめっき粒子は、架橋性のアクリル樹脂からなるガラス転移温度が120℃の球状の樹脂粒子の表面を、ニッケル皮膜の厚さが上記好ましい金属皮膜の厚さとして述べた範囲内の厚さとなるようにニッケルめっきした球状のものであった。撹拌後の分散液から目開きが10μmのメンブレンフィルターにより固形物を分離後、純水で洗浄、乾燥し、表面がポリ(スチレン/4−(ビニルベンジル)トリエチルホスホニウムクロライド)の微粒子により単層で被覆された被覆粒子を得た。得られた被覆粒子のSEM写真を図4に示す。
製造例1にて得られた微粒子の固形分濃度が質量基準で10,000ppmとなり、NaCl濃度が25mmol/Lとなり、全体が20mLとなるよう純水及びNaClを加えて微粒子分散液を調製した。この分散液に、粒子径が20μmのAuめっき粒子(日本化学工業株式会社製)を50mg投入し、室温(25℃)で15時間撹拌した。このAuめっき粒子は、架橋性のアクリル樹脂からなるガラス転移温度が120℃の球状の樹脂粒子の表面を、金皮膜の厚さが上記好ましい金属皮膜の厚さとして述べた範囲内の厚さとなるように金めっきした球状のものであった。撹拌後の分散液から目開きが10μmのメンブレンフィルターにより固形物を分離後、純水で洗浄、乾燥し、表面がポリ(スチレン/4−(ビニルベンジル)トリエチルホスホニウムクロライド)の微粒子により単層で被覆された被覆粒子を得た。得られた被覆粒子のSEM写真を図5に示す。
製造例1にて得られた微粒子の固形分濃度が質量基準で10,000ppmとなり、NaCl濃度が25mmol/Lとなり、全体が20mLとなるよう純水及びNaClを加えて微粒子分散液を調製した。この分散液に、粒子径が20μmのNiめっき粒子(日本化学工業株式会社製)を50mg投入し、70℃で15時間撹拌した。このNiめっき粒子は、実施例1で用いたものと同様のものであった。撹拌後の分散液から目開きが10μmのメンブレンフィルターにより固形物を分離後、純水で洗浄、乾燥し、表面がポリ(スチレン/4−(ビニルベンジル)トリエチルホスホニウムクロライド)の微粒子により単層で被覆された被覆粒子を得た。得られた被覆粒子のSEM写真を図6に示す。
製造例2にて得られた微粒子の固形分濃度が質量基準で10,000ppmとなり、NaCl濃度が25mmol/Lとなり、全体が20mLとなるよう純水及びNaClを加えて微粒子分散液を調製した。この分散液に、粒子径が20μmのNiめっき粒子(日本化学工業株式会社製)を50mg投入し、70℃で15時間撹拌した。このNiめっき粒子は、実施例1で用いたものと同様のものであった。撹拌後の分散液から目開きが10μmのメンブレンフィルターにより固形物を分離後、純水で洗浄、乾燥し、表面がポリ(スチレン/n−ブチルアクリレート/4−(ビニルベンジル)トリエチルホスホニウムクロライド)の微粒子により単層で被覆された被覆粒子を得た。得られた被覆粒子のSEM写真を図7に示す。
製造例2にて得られた微粒子の固形分濃度が質量基準で10,000ppmとなり、NaCl濃度が25mmol/Lとなり、全体が20mLとなるよう純水及びNaClを加えて微粒子分散液を調製した。この分散液に、粒子径が20μmのAuめっき粒子(日本化学工業株式会社製)を50mg投入し、70℃で15時間撹拌した。このAuめっき粒子は、実施例2で用いたものと同様のものであった。撹拌後の分散液から目開きが10μmのメンブレンフィルターにより固形物を分離後、純水で洗浄、乾燥し、表面がポリ(スチレン/n−ブチルアクリレート/4−(ビニルベンジル)トリエチルホスホニウムクロライド)の微粒子により単層で被覆された被覆粒子を得た。得られた被覆粒子のSEM写真を図8に示す。
実施例4で得られた被覆粒子50mgを、純水20mL中に投入し、80℃で6時間撹拌した。撹拌終了後、目開きが10μmのメンブレンフィルターにより固形物を分離後、乾燥して、金属被覆粒子の表面全体が厚さ150nmの皮膜に被覆された被覆粒子を得た。得られた被覆粒子のSEM写真を図9に示す。
なお、皮膜の厚さは下記方法で測定した。
皮膜形成後の金属被覆粒子の直径を、SEMにより200個測長し、その平均値を算出した。同じく絶縁性微粒子を付着させる前の金属被覆粒子の直径を、SEMにより200個測長し、その平均値を算出した。これらの直径の平均値の差の半分を、皮膜の厚みとした。
製造例3にて得られた微粒子の固形分濃度が質量基準で10,000ppmとなり、NaCl濃度が25mmol/Lとなり、全体が20mLとなるよう純水及びNaClを加えて微粒子分散液を調製した。この分散液に、粒子径が20μmのNiめっき粒子(日本化学工業株式会社製)を50mg投入し、室温(25℃)で15時間撹拌した。このNiめっき粒子は、実施例1で用いたものと同様のものであった。撹拌後の分散液から目開きが10μmのメンブレンフィルターにより固形物を分離後、純水で洗浄、乾燥し、表面がポリ(スチレン/4−(ビニルベンジル)トリエチルアンモニウムクロライド)の微粒子で被覆された被覆粒子を得た。得られた被覆粒子のSEM写真を図10に示す。
同じ被覆条件である実施例1のSEM写真(図4)と比べると、被覆されている絶縁性微粒子が少ないことが判る。
製造例3にて得られた微粒子の固形分濃度が質量基準で10,000ppmとなり、NaCl濃度が25mmol/Lとなり、全体が20mLとなるよう純水及びNaClを加えて微粒子分散液を調製した。この分散液に、粒子径が20μmのNiめっき粒子(日本化学工業株式会社製)を50mg投入し、70℃で15時間撹拌した。このNiめっき粒子は、実施例1で用いたものと同様のものであった。撹拌後の分散液から目開きが10μmのメンブレンフィルターにより固形物を分離後、純水で洗浄、乾燥し、表面がポリ(スチレン/4−(ビニルベンジル)トリエチルアンモニウムクロライド)の微粒子で被覆された被覆粒子を得た。得られた被覆粒子のSEM写真を図11に示す。
実施例1、実施例3、比較例1及び比較例2で得られた被覆粒子から、絶縁性微粒子をNiめっき粒子に被覆するときの処理温度の違いによる被覆率の差を評価した。その結果を表1に示す。なお、被覆率は次の方法により求めた。
<被覆率の測定方法>
Niめっき粒子の表面に、絶縁性微粒子が最密充填で配列したときの絶縁微粒子の個数Nを以下の計算式で算出した。
N=4π(R+r)2/2√3r2
(R:Niめっき粒子の半径(nm)、r:絶縁性微粒子の半径(nm))
SEMにてNiめっき粒子に付着した絶縁性微粒子の個数nを数え、以下の式から被覆率を算出した。
被覆率(%)=(n/N)×100
評価に用いた被覆率は、Niめっき粒子20個の平均値とした。
Claims (17)
- 芯材表面に金属皮膜が形成された導電性の金属被覆粒子と、該金属被覆粒子を被覆するポリマーからなる絶縁層とを有し、該絶縁層がホスホニウム基を有する、被覆粒子。
- 前記絶縁層が、絶縁性微粒子からなり、該微粒子がその表面にホスホニウム基を有するか、或いは、
前記絶縁層がホスホニウム基を有する皮膜である、請求項1に記載の被覆粒子。 - 前記金属が、ニッケル、金、ニッケル合金及び金合金から選ばれる少なくとも1種である、請求項1又は2に記載の被覆粒子。
- 前記絶縁層を構成するポリマーが、スチレン類、エステル類及びニトリル類から選ばれる少なくとも1種の重合体である、請求項1〜3の何れか一項に記載の被覆粒子。
- 前記ポリマーが2種以上の構成単位を有するコポリマーであり、該構成単位の少なくとも1種が構造中にエステル結合を有する、請求項1〜4の何れか一項に記載の被覆粒子。
- 前記絶縁性微粒子の平均粒子径が10nm以上3,000nm以下である請求項2に記載の被覆粒子。
- 前記絶縁性微粒子の変動係数(C.V.)が0.1%以上20%以下である請求項2又は6に記載の被覆粒子。
- 前記絶縁層のガラス転移温度が40℃以上100℃以下である、請求項1〜7の何れか一項に記載の被覆粒子。
- 前記絶縁層のガラス転移温度が50℃以上90℃以下である、請求項1〜8の何れか一項に記載の被覆粒子。
- 前記ポリマーが、下記一般式(1)で表される構成単位を有する、請求項1〜9の何れか一項に記載の被覆粒子。
- 前記一般式(1)におけるRが炭素数1以上12以下の直鎖アルキル基である請求項10に記載の被覆粒子。
- 前記一般式(1)におけるRが、メチル基、エチル基、ブチル基、又はオクチル基である請求項11に記載の被覆粒子。
- 前記ポリマーが、下記一般式(3)で表される構成単位を有する、請求項1〜9の何れか一項に記載の被覆粒子。
- 前記一般式(3)におけるRが炭素数1以上12以下の直鎖アルキル基である請求項13に記載の被覆粒子。
- 前記一般式(3)におけるRが、メチル基、エチル基、ブチル基、又はオクチル基である請求項14に記載の被覆粒子。
- 芯材表面に金属が形成された金属被覆粒子が、ポリマーからなる絶縁層に被覆された被覆粒子の製造方法であって、
ホスホニウム基を有する重合性化合物を含む重合性組成物を重合させて、表面にホスホニウム基を有する絶縁性微粒子を得る工程、
絶縁性微粒子を含む分散液と金属被覆粒子とを混合して、金属被覆粒子表面に絶縁性微粒子を付着させる工程、とを有する被覆粒子の製造方法。 - 金属被覆粒子表面に絶縁性微粒子を付着させた被覆粒子を、さらに加熱して絶縁性微粒子を膜状にする工程を有する請求項16に記載の被覆粒子の製造方法。
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