JPWO2018198696A1 - 磁気記憶装置及びその制御方法 - Google Patents

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Abstract

実施形態によれば、磁気記憶装置は、積層体及び制御部を含む。積層体は、第1導電層と、第2導電層と、第1導電層と第2導電層との間に設けられた第1磁性層と、第1磁性層と第2導電層との間に設けられた第2磁性層と、第1磁性層と第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、を含む。前記非磁性層の単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμm2を超える。制御部は、第1導電層及び第2導電層と電気的に接続され第1動作において積層体に書き込みパルスを供給する。書き込みパルスは、書き込みパルスの電位が第1電位から第2電位に向かって変化する立ち上がり期間と、立ち上がり期間の後における第2電位の中間期間と、中間期間の後において書き込みパルスの電位が第2電位から第1電位に向かって変化する立ち下がり期間と、を有する。立ち下がり期間の時間は、立ち上がり期間の時間よりも長い。

Description

本発明の実施形態は、磁気記憶装置及びその制御方法に関する。
磁気記憶装置において、安定した動作が望まれる。
国際公開第2009/133650号 特開2014−67929号公報
本発明の実施形態は、動作を安定させることができる磁気記憶装置及びその制御方法を提供する。
本発明の実施形態によれば、磁気記憶装置は、積層体及び制御部を含む。前記積層体は、第1導電層と、第2導電層と、前記第1導電層と前記第2導電層との間に設けられた第1磁性層と、前記第1磁性層と前記第2導電層との間に設けられた第2磁性層と、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、を含む。前記非磁性層の単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμmを超える。前記制御部は、前記第1導電層及び前記第2導電層と電気的に接続され第1動作において前記積層体に書き込みパルスを供給する。前記書き込みパルスは、前記書き込みパルスの電位が第1電位から第2電位に向かって変化する立ち上がり期間と、前記立ち上がり期間の後における前記第2電位の中間期間と、前記中間期間の後において前記書き込みパルスの前記電位が前記第2電位から前記第1電位に向かって変化する立ち下がり期間と、を有する。前記立ち下がり期間の時間は、前記立ち上がり期間の時間よりも長い。
本発明の別の実施形態によれば、磁気記憶装置は、積層体と、第1配線と、第2配線と、制御部と、を含む。前記積層体は、第1導電層と、第2導電層と、前記第1導電層と前記第2導電層との間に設けられた第1磁性層と、前記第1磁性層と前記第2導電層との間に設けられた第2磁性層と、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、を含む。前記非磁性層の単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμmを超える。前記制御部は、前記第1配線の一端と電気的に接続され、前記第1導電層は、前記第1配線の他端と電気的に接続される。前記制御部は、前記第2配線の一端と電気的に接続され、前記第2導電層は、前記第2配線の他端と電気的に接続される。前記制御部は、前記第1導電層及び前記第2導電層と電気的に接続され第1動作において、前記第1配線の前記一端と、前記第2配線の前記一端と、の間に書き込みパルスを供給する。前記書き込みパルスは、前記書き込みパルスの電位が第1電位から第2電位に向かって変化する立ち上がり期間と、前記立ち上がり期間の後における前記第2電位の中間期間と、前記中間期間の後において前記書き込みパルスの前記電位が前記第2電位から前記第1電位に向かって変化する立ち下がり期間と、を有する。前記立ち下がり期間の時間は、前記立ち上がり期間の時間よりも長い。
本発明の別の実施形態によれば、磁気記憶装置は、積層体と、制御部と、を含む。前記積層体は、第1導電層と、第2導電層と、前記第1導電層と前記第2導電層との間に設けられた第1磁性層と、前記第1磁性層と前記第2導電層との間に設けられた第2磁性層と、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、を含む。前記制御部は、前記第1導電層及び前記第2導電層と電気的に接続された出力回路を含む。前記出力回路は、第1動作において書き込みパルスを出力する。前記非磁性層の単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμmを超える。前記書き込みパルスは、前記書き込みパルスの電位が第1電位から第2電位に向かって変化する立ち上がり期間と、前記立ち上がり期間の後における前記第2電位の中間期間と、前記中間期間の後において前記書き込みパルスの前記電位が前記第2電位から前記第1電位に向かって変化する立ち下がり期間と、を有する。前記立ち下がり期間の時間は、前記立ち上がり期間の時間よりも長い。
本発明の実施形態によれば、動作を安定させることができる磁気記憶装置及びその制御方法が提供できる。
図1(a)〜図1(c)は、実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。 図2(a)〜図2(c)は、実験結果を例示するグラフ図である。 図3(a)〜図3(d)は、実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。 図4(a)及び図4(b)は、実施形態に係る磁気記憶装置の動作を例示する模式図である。
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)〜図1(c)は、実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。
図1(a)は、模式的断面図である。図1(b)及び図1(c)は、磁気記憶装置におけるパルス波形を例示する模式図である。
図1(a)に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置110は、積層体10及び制御部70を含む。積層体10は、第1導電層21、第2導電層22、第1磁性層11、第2磁性層12及び非磁性層11Nを含む。
第1磁性層11は、第1導電層21と第2導電層22との間に設けられる。第2磁性層12は、第1磁性層11と第2導電層22との間に設けられる。非磁性層11Nは、第1磁性層11と第2磁性層12との間に設けられる。
制御部70は、第1導電層21及び第2導電層22と電気的に接続される。積層体10は、例えば、1つの記憶部(メモリセル)となる。制御部70は、メモリセルを制御する。
例えば、第1配線70a及び第2配線70bが設けられる。制御部70は、第1配線70aの一端と電気的に接続される。第1導電層21は、第1配線70aの他端と電気的に接続される。制御部70は、第2配線70bの一端と電気的に接続される。第2導電層22は、第2配線70bの他端と電気的に接続される。
この例では、第2配線70bにおいて、スイッチ70sが設けられている。スイッチ70sは、例えば選択トランジスタなどである。このように、電流経路上にスイッチなどが設けられている状態も、電気的に接続される状態に含まれる。以下の説明では、スイッチ70sがオン状態である。オン状態において、配線(この例では、第2配線70b)に電流が流れる。
この例では、制御部70は、出力回路71及び制御回路72を含む。例えば、制御回路72から制御信号Sc(例えば書き込み制御信号)が出力回路71に供給される。出力回路71は、出力信号Soを配線(この例では、第1配線70a)に供給する。出力信号Soは、制御信号Scに基づく信号である。
図1(b)は、制御信号Scを例示している。図1(c)は、出力信号Soを例示している。これらの図の横軸は、時間tmである。図1(b)の縦軸は、制御信号Scの電位に対応する。図1(c)の電位は、出力信号Soの電位に対応する。図1(c)の縦軸は、出力信号Soに含まれる後述の書き込みパルスの電位に対応する。
図1(b)及び図1(c)に示すように、制御信号Sc(例えば、制御パルス)に応じて、出力信号Soが出力される。
図1(c)に示すように、制御部70は、第1動作OP1において、積層体10に書き込みパルスWPを供給する。書き込みパルスWPは、出力信号Soに含まれる。
例えば、書き込みパルスWPは、正極性のパルスである。第1導電層21の電位及び第2導電層22の電位は、電位の基準を入れ替えることで、互いに入れ替えが可能である。従って、書き込みパルスWPは、負極性のパルスでも良い。以下の説明では、書き込みパルスWPは、正極性のパルスであるとする。
書き込みパルスWPは、立ち上がり期間Pr、中間期間Pm及び立ち下がり期間Pfを有する。立ち上がり期間Prにおいて、書き込みパルスWPの電位が、第1電位V1から第2電位V2に向かって変化する。中間期間Pmは、立ち上がり期間Prの後の期間である。中間期間Pmにおいては、書き込みパルスWPの電位が第2電位V2である。立ち下がり期間Pfは、中間期間Pmの後の期間である。立ち下がり期間Pfにおいては、書き込みパルスWPの電位が、第2電位V2から第1電位V1に向かって変化する。
実施形態においては、立ち下がり期間Pfの時間(立ち下がり時間Tf)は、立ち上がり期間Prの時間(立ち上がり時間Tr)よりも長い。このように、立ち下がりが立ち上がりよりも遅いパルス波形を用いることで、例えば、動作を安定させることができることがわかった。後述するように、例えば、書き込みエラーが抑制できることがわかった。
書き込みパルスWPの波形が安定するまでの時間が定義し難い場合がある。このときには、書き込みパルスWPの高さの10%となる時刻と、書き込みパルスWPの高さの90%となる時刻と、を用いて、立ち上がり期間Prの時間、及び、立ち下がり期間Pfの時間を、便宜的に定めても良い。
図1(c)に示すように、書き込みパルスWPにおいて、書き込みパルスWPの高さは、第1電位V1と第2電位V2との差に対応する。この差の0.1倍の電位を第1中間電位Vm1とする。この差の0.9倍の電位を第2中間電位Vm2とする。これらの中間電位を用いて、以下の第1時刻t1〜第4時刻t4を定めることができる。
立ち上がり期間Prにおいて、第1時刻t1と第2時刻t2とがある。第2時刻t2は、第1時刻t1の後である。第1時刻t1において、書き込みパルスWPは、第1中間電位Vm1である。第1電位V1と第1中間電位Vm1との差は、パルスの高さ(第1電位V1と第2電位V2との差)の0.1倍である。第2時刻t2において、書き込みパルスWPは、第2中間電位Vm2である。第1電位V1と第2中間電位Vm2との差は、パルスの高さ(第1電位V1と第2電位V2との差)の0.9倍である。
一方、立ち下がり期間Pfにおいて、第3時刻t3と第4時刻t4とがある。第4時刻t4は、第3時刻t3の後である。第3時刻t3において、書き込みパルスWPは、上記の第2中間電位Vm2である。第4時刻t4において、書き込みパルスWPは、第1中間電位Vm1である。
第1時刻t1と第2時刻t2との差を第1時間T1とする。第3時刻t3と第4時刻t4との差を第2時間T2とする。実施形態においては、第2時間T2が、第1時間T1よりも長い。
立ち上がりに比べて緩やかな立ち下がりを有する書き込みパルスWPを用いることで、例えば、書き込みエラーが抑制できることがわかった。このことは、本願の発明者が独自に行った実験により見いだされたものである。以下、この実験について説明する。
実験においては、図1(a)に例示した積層体10に、種々の波形の電圧パルスが印加される。第1実験においては、立ち上がり時間Trが立ち下がり時間Tfと同じであり、これらの時間が変更される。第2実験においては、立ち下がり時間Tfが一定であり、立ち上がり時間Trが変更される。このときの立ち下がり時間Tfは、30ps(ピコ秒)であり、立ち下がりは十分に急峻である。第3実験においては、立ち上がり時間Trが一定であり、立ち下がり時間Tfが変更される。このときの立ち上がり時間Trは、30psであり、立ち下がりは十分に急峻である。このような電圧パルスは、プログラマブルパルスジェネレータにより生成される。
実験において、試料は、以下の構成を有する。以下の記載において、括弧内の値は、それぞれの膜の厚さである。
第1導電層21は、第1Ru膜(5nm)/第1Ta膜(40nm)/Cu膜(100nm)/第2Ta膜(5nm)を含む積層膜である。第2Ta膜と第1磁性層11との間に、Cu膜が設けられる。Cu膜と第1磁性層11との間に、第1Ta膜が設けられる。第1Ta膜と第1磁性層11との間に、第1Ru膜が設けられる。
第1磁性層11は、Co70Fe30膜(0.4nm)/(Co35Fe658020膜(2.1nm)/第2Ru膜(0.85nm)/Co70Fe30膜(2.5nm)/IrMn膜(7nm)を含む積層膜である。IrMn膜と非磁性層11Nとの間に、Co70Fe30膜が設けられる。Co70Fe30膜と非磁性層11Nとの間に、第2Ru膜が設けられる。第2Ru膜と非磁性層11Nとの間に、Co35Fe658020膜が設けられる。(Co35Fe658020膜と非磁性層11Nとの間に、Co70Fe30膜が設けられる。
非磁性層11Nは、MgO(約1.5nm)である。非磁性層11Nの単位面積当たりの抵抗値は、556Ωμmである。第2磁性層12は、Fe8020膜(1.9nm)である。
第2導電層22は、Pt膜(2nm)/第3Ru膜(7nm)/W膜(5nm)を含む積層膜である。Pt膜と第2磁性層12との間に、第3Ru膜が設けられる。第3Ru膜と第2磁性層12との間に、W膜が設けられる。
図2(a)〜図2(c)は、実験結果を例示するグラフ図である。
図2(a)は、第1実験の結果を示す。図2(b)は、第2実験の結果を示す。図2(c)は、第3実験の結果を示す。これらの図において、横軸は、立ち上がり時間Trまたは立ち下がり時間Tfである。縦軸は、書き込みエラーレートWER1である。これらの図において、立ち上がり時間Trまたは立ち下がり時間Tfが「0.0」のプロットにおいて、これらの時間は、30psである。この実験において、書き込みパルスWPのパルス幅Pw(図1(c)参照)は、0.75nsである。図1(c)に示すように、第2電位V2と第1電位V1との差の0.5倍の電位を第3中間電位Vm3とする。パルス幅Pwは、立ち上がり期間Prにおいて書き込みパルスWPの電位が第3中間電位Vm3となる時刻から、立ち下がり期間Pfにおいて書き込みパルスWPの電位が第3中間電位Vm3となる時刻までの時間である。
図2(a)に示すように、立ち上がり時間Trが立ち下がり時間Tfと同じ第1実験においては、これらの時間が長くなると、書き込みエラーレートWER1が増大する。
図2(b)に示すように、立ち下がりが急峻で、立ち上がり時間Trが変更される第2実験においては、立ち上がり時間Trが長くなると、書き込みエラーレートWER1が増大する。
これに対して、図2(c)に示すように、立ち上がりが急峻で、立ち下がり時間Tfが変更される第3実験においては、立ち上がり時間Trが長くなっても、低い書き込みエラーレートWER1が得られる。
例えば、第3実験において、立ち下がり時間Tfが0.25ns(ナノ秒)以上になると、立ち下がり時間Tfが30psのときよりも、書き込みエラーレートWER1が顕著に小さくなる。
例えば、第3実験のように、立ち上がりが急峻で立ち下がり時間Tfが長い書き込みパルスを用いることで、書き込みエラーレートWER1を小さくできることが分かった。
例えば、書き込みパルスWPの印加により、積層体10中の磁性層の磁化が変化する。書き込みパルスWPの印加が終了するとき(立ち下がり時)に、磁化が歳差運動をしながら安定な状態に移行すると考えられる。立ち下がり時間Tfが長い書き込みパルスWPを用いることで、この歳差運動の安定性が向上するのではないか、と推定される。
図2(a)と図2(b)とを比較する。図2(a)において、立ち上がり時間Tr(すなわち、立ち下がり時間Tf)が0.5nsのときの書き込みエラーレートWER1は、約5×10−2である。一方、図2(b)において、立ち上がり時間Trが0.5nsのときの書き込みエラーレートWER1は、約6.5×10−2である。すなわち、第2実験(立ち下がりが遅く立ち下がりが速い)のときの書き込みエラーレートWER1は、第1実験(立ち上がり及び立ち下がりの両方が遅い)のときの書き込みエラーレートWER1よりも高い。このことから、立ち下がりが遅いことが、書き込みエラーレートWER1を低くすると考えられる。
そして、第1実験(立ち上がり及び立ち下がりの両方が遅い)のときよりも、第3実験(立ち上がりが速く立ち下がりが遅い)の方が、書き込みエラーレートWER1が低くなる。
実施形態においては、立ち下がり時間Tfは、立ち上がり時間Trよりも長い。例えば、第2時間T2が、第1時間T1よりも長い(図1(c)参照)。これにより、例えば、低い書き込みエラーレートWER1が得られる。実施形態によれば、例えば、動作を安定させることができる磁気記憶装置を提供できる。
実施形態において、例えば、第2時間T2は、書き込みパルスWPのパルス幅Pw(図1(c)参照)の0.3倍以上である。
実施形態において、例えば、第2時間T2は、第1時間T1の2倍以上である。これにより、低い書き込みエラーレートWER1が得られる。例えば、第2時間T2は、第1時間T1の4倍以上でも良い。これにより、さらに低い書き込みエラーレートWER1が得られる。例えば、第2時間T2は、第1時間T1の8倍以上でも良い。これにより、さらに低い書き込みエラーレートWER1が安定して得られる。例えば、第1時間T1は、0.08ナノ秒以下である。このとき、例えば、第2時間T2は、0.1ナノ秒以上である。
例えば、立ち下がり期間Prの時間(立ち下がり時間Tf)は、立ち上がり期間の時間(立ち上がり時間Tr)の2倍以上である。これにより、低い書き込みエラーレートWER1が得られる。例えば、立ち上がり時間Trは、立ち下がり時間Tfの4倍以上でも良い。これにより、さらに低い書き込みエラーレートWER1が得られる。例えば、立ち上がり時間Trは、立ち下がり時間Tfの8倍以上でも良い。これにより、さらに低い書き込みエラーレートWER1が安定して得られる。例えば、立ち上がり時間Trは、0.1ナノ秒以下である。このとき、例えば、立ち下がり時間Tfは、0.15ナノ秒以上である。
以下、実施形態に係る書き込みパルスWPを出力する制御部70の1つの例について説明する。
図3(a)〜図3(d)は、実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。
図3(a)は、制御部70を例示する回路図である。図3(b)は、制御信号Scを例示する模式図である。図3(c)は、後述するエッジ信号Seを例示する模式図である。図3(d)は、書き込みパルスWPを例示する模式図である。
図3(a)に示すように、制御部70に、制御回路72及び出力回路71が設けられる。出力回路71は、第1アンプ71Aを有する。第1アンプ71Aの負入力に制御信号Scが入力される。制御信号Scは、制御回路72から供給される。第1アンプ71Aの正入力は、例えば、グランド電位VGとされる。第1アンプ71Aの出力と第1アンプ71Aの負入力の間に、キャパシタンス71C及び制御スイッチ71Sが並列に接続される。制御スイッチ71Sは、エッジ信号Seにより制御される。この例では、第1アンプ71Aの出力が第2アンプ71Bの負入力に出力される。第2アンプ71Bの正入力は、例えば、グランド電位VGとされる。例えば、第1アンプ71Aの出力の反転信号が、第2アンプ71Bから出力される。第2アンプ71Bの出力が、出力信号Soに対応する。
図3(b)に示すように、制御信号Scとして、書き込みパルスWPを出力するための書き込み制御パルスが出力される。
図3(c)に示すように、エッジ信号Seは、制御信号Scの立ち下がりでオン状態からオフ状態に変化する。例えば、微分回路などにより、このようなエッジ信号Seが得られる。
エッジ信号Seがオン状態のとき、第1アンプ71Aに設けられるキャパシタンス71Cは、短絡される。このため、このときの時定数は短い。一方、エッジ信号Seがオフ状態となると、キャパシタンス71Cにより、時定数が大きくなる。
このため、図3(d)に示すように、出力信号So(書き込みパルスWP)の立ち上がりが速く、立ち下がりは、遅くなる。
例えば、このような回路により、図3(d)に示すような書き込みパルスWPが得られる。上記の回路は例であり、実施形態において、種々の回路が用いられる。
実施形態において、書き込みパルスWPは、第1配線70aの一端と、第2配線70bの一端と、の間における電圧波形である。第1配線70aの上記の一端は、例えば、制御部70に接続されている。第2配線70bの上記の一端は、制御部70に接続されている。
上記のように、制御部70は、第1導電層21及び第2導電層22と電気的に接続された出力回路71を含む。書き込みパルスWPは、例えば、出力回路71の出力波形である。
実施形態において、書き込みパルスWPにより、第1導電層21と第2導電層22との間の電気抵抗が変化する。例えば、書き込みパルスWPの供給の前における、第1導電層21と第2導電層22との間の電気抵抗を第1電気抵抗とする。書き込みパルスWPの供給の後における、第1導電層21と第2導電層22との間の電気抵抗を第2電気抵抗とする。第2電気抵抗は、第1電気抵抗とは、異なる。これは、書き込みパルスWPの印加により、第1磁性層11及び第2磁性層12のいずれかの磁化が変化するからであると考えられる。
実施形態において、第1磁性層11及び第2磁性層12の一方が、参照層である。第1磁性層11及び第2磁性層12の他方が、自由層である。例えば、自由層の磁化は、参照層の磁化に比べて変化し易い。例えば、第1磁性層11が参照層であり、第2磁性層12が、自由層である。
例えば、第1磁性層11から第2磁性層12に向かう方向を+Z方向(上向き)とする(図1(a)参照)。例えば、第1磁性層11の磁化(第1磁化)は、実質的に+Z方向(上向き)に向いている。1つの状態の状態において、第2磁性層12の磁化(第2磁化)は、+Z方向(上向き)の成分を有する。別の1つの状態において、第2磁性層12の磁化(第2磁化)は、−Z方向(下向き)の成分を有する。
例えば、書き込みパルスWPの印加により、第2磁化は、上向きとなる。このとき、第1磁性層11及び第2磁性層12において、2つの磁化は、「平行」である。
例えば、書き込みパルスWPの印加により、第2磁化は、下向きとなっても良い。このとき、第1磁性層11及び第2磁性層12において、2つの磁化は、「反平行」である。
例えば、書き込みパルスWPが印加された後における第1磁化と第2磁化との間の角度は、書き込みパルスWPが印加される前における第1磁化と第2磁化との間の角度とは異なる。例えば、書き込みパルスWPが印加される前において、2つの磁化は、「反平行」である。例えば、書き込みパルスWPが印加された後は、2つの磁化は、「平行」となる。「反平行」のとき、第1磁化と第2磁化との間の角度は、例えば、90度を超え、180度以下である。「平行」のとき、第1磁化と第2磁化との間の角度は、例えば、0度以上、90度未満である。
例えば、「平行」状態、及び、「反平行」状態の一方が、「0」の情報に対応する。「平行」状態、及び、「反平行」状態の他方が、「1」の情報に対応する。これらの情報が、積層体10(メモリセル)に記憶される。
例えば、書き込みパルスWPの供給の前において、メモリセルに「1」が記憶されているときに、メモリセルに「0」を書き込む場合に、書き込みパルスWPが供給される。書き込みパルスWPの供給の前において、メモリセルに「1」が記憶されているときに、メモリセルを「1」の状態のままにする場合は、書き込みパルスWPは供給されない。
一方、例えば、書き込みパルスWPの供給の前において、メモリセルに「0」が記憶されているときに、メモリセルに「1」を書き込む場合に、書き込みパルスWPが供給される。書き込みパルスWPの供給の前において、メモリセルに「0」が記憶されているときに、メモリセルを「0」の状態のままにする場合は、書き込みパルスWPは供給されない。
このように、メモリセルに書き込まれた情報を変更する場合に、書き込みパルスWPが積層体10に供給される。書き込みパルスWPは、例えば、状態を変更するパルスである。
実施形態においては、例えば、メモリセルの状態を読み出して、その状態から変更するかどうかが判断される。例えば、書き込みパルスWPの供給の前に、読み出しが行われる。以下、このような動作の例について説明する。
図4(a)及び図4(b)は、実施形態に係る磁気記憶装置の動作を例示する模式図である。
図4(a)は、第1動作OP1に対応する。第1動作OP1は、メモリセルの状態を変更する動作に対応する。図4(b)は、第2動作OP2に対応する。第2動作OP2は、メモリセルの状態を維持する動作に対応する。
図4(a)に示すように、制御部70は、第1動作OP1において、書き込みパルスWPの供給の前に、読み出しパルスRPを積層体10に供給する。読み出しパルスRPの高さRPhの絶対値は、第1電位V1と第2電位V2との差よりも小さい。この例では、書き込みパルスWPは正パルスであり、読み出しパルスRPは負パルスである。実施形態において、読み出しパルスRPの極性が、書き込みパルスWPの極性と、同じでも良い。
このような読み出しパルスRPにより、例えば、制御部70において、積層体10(メモリセル)の状態が、「0」であるか、「1」であるかが判断される。
そして、積層体10(メモリセル)の状態を変更するときに、上記の書き込みパルスWPが供給される。
例えば、読み出しパルスRPにより得られた第1導電層21と第2導電層22との間の第1電気抵抗は、書き込みパルスWPの供給の後の第1導電層21と第2導電層22との間の第2電気抵抗は、とは異なる。
例えば、第1動作OP1の前の状態において、メモリセルが「0」状態であるとき、読み出しパルスRPにより得られた第1電気抵抗は、「0」に対応する電気抵抗である。このとき、書き込みパルスWPにより、メモリセルは「1」状態に変更される。これらの状態の差に応じた電気抵抗の差が生じる。
図4(b)に示すように、第2動作OP2において、制御部70は、読み出しパルスRPを積層体10に供給する。この場合も、その読み出しパルスRPの高さRPhの絶対値は、第1電位V1と第2電位V2との差よりも小さい。制御部70は、第2動作OP2において、書き込みパルスWPを積層体10に供給しない。これにより、第2動作OP2においては、メモリセルの記憶状態は維持される。
以下、積層体10の例について、説明する。
第1磁性層11は、例えば、Fe、Co、Ni、Cr、Mn、Gd、Nd、Sm及びTbからなる群から選択された少なくとも1つを含む。第1磁性層11に含まれる膜の数は、1または2以上である。第1磁性層11の厚さは、例えば、0.5nm以上10nm以下である。
第2磁性層12は、例えば、Fe、Co、Ni、Cr、Mn、Gd、Nd、Sm及びTbからなる群から選択された少なくとも1つを含む。第2磁性層12に含まれる膜の数は、1または2以上である。第2磁性層12の厚さは、例えば、0.5nm以上10nm以下である。
非磁性層11Nは、例えば、酸化マグネシウム、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化ゲルマニウム、窒化ゲルマニウム、希土類酸化物、及び、希土類窒化物からなる群から選択された少なくとも1つを含む。非磁性層11Nは、例えば、酸化マグネシウムである。これにより、例えば、大きな磁気抵抗変化が得られる。非磁性層11Nに含まれる膜の数は、1または2以上である。非磁性層11Nの厚さは、例えば0.5nm以上4nm以下である。非磁性層11Nの単位面積当たりの抵抗値は、例えば、20μm以上を超え1,000,000Ωμm以下であることが好ましい。非磁性層11Nの単位面積当たりの抵抗値は、100Ωμm以上であることが好ましい。これにより、ジュール熱やスピントランスファートルクなど、電流による影響を小さくすることができる。非磁性層11Nの単位面積当たりの抵抗値は、500Ωμm以上であることがより好ましい。これにより、書き込みの際の消費電力をさらに下げることができる。書き込みの際の消費電力をさらに下げるという点で、最も好ましくは、非磁性層11Nの単位面積当たりの抵抗値は、2,000Ωμm以上である。抵抗が高いと、高速な読出しが難しくなる。非磁性層11Nの単位面積当たりの抵抗値は、10,000Ωμm以下であることが好ましい。これにより、高速な読出しができる。より好ましくは、非磁性層11Nの単位面積当たりの抵抗値は、2,000Ωμm以下である。さらに好ましくは、非磁性層11Nの単位面積当たりの抵抗値は、500Ωμm以下である。高速な読出しの点で、最も好ましくは、非磁性層11Nの単位面積当たりの抵抗値は、100Ωμm以下である。非磁性層11Nの単位面積当たりの抵抗値に関する情報は、例えば、素子の抵抗の測定結果と、SEM(Scanning Electron Microscope)またはTEM(Transmission Electron Microscope)などによる素子のサイズの測定結果、などから得られる。
第1導電層21は、例えば、Ta、Ru、W、Ir、Au、Ag、Cu、Al、Cr、Pt及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含む。第1導電層21に含まれる膜の数は、1または2以上である。第1導電層21の厚さは、例えば、1nm以上200nm以下である。第1導電層21の厚さが1nm以上200nm以下のときに、例えば、良好な平坦性と、低い抵抗値と、が得られる。
第2導電層22は、例えば、Ta、Ru、W、Ir、Au、Ag、Cu、Al、Cr、Pt及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含む。第2導電層22に含まれる膜の数は、1または2以上である。第2導電層22の厚さは、例えば1nm以上200nm以下である。
実施形態において、磁性層は、積層された複数の膜を含んでも良い。非磁性層は、積層された複数の膜を含んでも良い。導電層は、積層された複数の膜を含んでも良い。
上記において、層の厚さは、Z方向に沿った層の長さである。材料及び層に関する上記の記載は、例であり、実施形態において、材料及び層を変更しても良い。
実施形態に係る磁気記憶装置110は、例えば、電圧トルク駆動型のMRAM(Magnetoresistive Random Access Memory)である。
実施形態は、磁気記憶装置の制御方法を含んでも良い。制御方法は、例えば、積層体10に、第1動作OP1において書き込みパルスWPを供給する。積層体10は、第1導電層21と、第2導電層22と、第1導電層21と第2導電層22との間に設けられた第1磁性層11と、第1磁性層11と第2導電層22との間に設けられた第2磁性層12と、第1磁性層11と第2磁性層12との間に設けられた非磁性層11Nと、を含む。非磁性層11Nの単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμmを超える。書き込みパルスWPは、書き込みパルスWPの電位が第1電位V1から第2電位V2に向かって変化する立ち上がり期間Prと、立ち上がり期間Prの後における第2電位V2の中間期間Pmと、中間期間Pmの後において書き込みパルスWPの電位が第2電位V2から第1電位V1に向かって変化する立ち下がり期間Pfと、を有する。立ち下がり期間Pfの時間は、立ち上がり期間Prの時間よりも長い。
実施形態に係る制御方法は、第1動作OP1において、第1配線70aの一端と、第2配線70bの一端と、の間に書き込みパルスWPを供給する。第1配線70aの他端は、第1導電層21と、第2導電層22と、第1導電層21と第2導電層22との間に設けられた第1磁性層11と、第1磁性層11と第2導電層22との間に設けられた第2磁性層12と、第1磁性層11と第2磁性層12との間に設けられた非磁性層11Nと、を含む積層体10の第1導電層11と電気的に接続される。第2配線70bの他端は、第2導電層22と電気的に接続される。非磁性層11Nの単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμmを超える。書き込みパルスWPは、書き込みパルスWPの電位が第1電位V1から第2電位V2に向かって変化する立ち上がり期間Prと、立ち上がり期間Prの後における第2電位V2の中間期間Pmと、中間期間Pmの後において書き込みパルスWPの電位が第2電位V2から第1電位V1に向かって変化する立ち下がり期間Pfと、を有する。立ち下がり期間Pfの時間は、立ち上がり期間Prの時間よりも長い。
実施形態は、以下の構成(案)を含んでも良い。
(構成1)
第1導電層と、
第2導電層と、
前記第1導電層と前記第2導電層との間に設けられた第1磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2導電層との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、
を含む積層体と、
前記第1導電層及び前記第2導電層と電気的に接続され第1動作において前記積層体に書き込みパルスを供給する制御部と、
を備え、
前記非磁性層の単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμmを超え、
前記書き込みパルスは、
前記書き込みパルスの電位が第1電位から第2電位に向かって変化する立ち上がり期間と、
前記立ち上がり期間の後における前記第2電位の中間期間と、
前記中間期間の後において前記書き込みパルスの前記電位が前記第2電位から前記第1電位に向かって変化する立ち下がり期間と、
を有し、
前記立ち下がり期間の時間は、前記立ち上がり期間の時間よりも長い、磁気記憶装置。
(構成2)
積層体であって、
第1導電層と、
第2導電層と、
前記第1導電層と前記第2導電層との間に設けられた第1磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2導電層との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、
を含む前記積層体と、
第1配線と、
第2配線と、
制御部と、
を備え、
前記非磁性層の単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμmを超え、
前記制御部は、前記第1配線の一端と電気的に接続され、前記第1導電層は、前記第1配線の他端と電気的に接続され、
前記制御部は、前記第2配線の一端と電気的に接続され、前記第2導電層は、前記第2配線の他端と電気的に接続され、
前記制御部は、前記第1導電層及び前記第2導電層と電気的に接続され第1動作において、前記第1配線の前記一端と、前記第2配線の前記一端と、の間に書き込みパルスを供給し、
前記書き込みパルスは、
前記書き込みパルスの電位が第1電位から第2電位に向かって変化する立ち上がり期間と、
前記立ち上がり期間の後における前記第2電位の中間期間と、
前記中間期間の後において前記書き込みパルスの前記電位が前記第2電位から前記第1電位に向かって変化する立ち下がり期間と、
を有し、
前記立ち下がり期間の時間は、前記立ち上がり期間の時間よりも長い、磁気記憶装置。
(構成3)
第1導電層と、
第2導電層と、
前記第1導電層と前記第2導電層との間に設けられた第1磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2導電層との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、
を含む積層体と、
前記第1導電層及び前記第2導電層と電気的に接続された出力回路を含む制御部と、
を備え、
前記出力回路は、第1動作において書き込みパルスを出力し、
前記非磁性層の単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμmを超え、
前記書き込みパルスは、
前記書き込みパルスの電位が第1電位から第2電位に向かって変化する立ち上がり期間と、
前記立ち上がり期間の後における前記第2電位の中間期間と、
前記中間期間の後において前記書き込みパルスの前記電位が前記第2電位から前記第1電位に向かって変化する立ち下がり期間と、
を有し、
前記立ち下がり期間の時間は、前記立ち上がり期間の時間よりも長い、磁気記憶装置。
(構成4)
前記立ち上がり期間において、第1時刻と第2時刻とがあり、
前記第1時刻において前記書き込みパルスは第1中間電位であり、前記第1電位と前記第1中間電位との差は、前記第1電位と前記第2電位との差の0.1倍であり、
前記第2時刻において前記書き込みパルスは第2中間電位であり、前記第1電位と前記第2中間電位との差は、前記第1電位と前記第2電位との前記差の0.9倍であり、
前記立ち下がり期間において、第3時刻と第4時刻とがあり、
前記第3時刻において前記書き込みパルスは前記第2中間電位であり、
前記第4時刻において前記書き込みパルスは前記第1中間電位であり、
前記第3時刻と前記第4時刻との差の第2時間は、前記第1時刻と前記第2時刻との差の第1時間よりも長い、構成1〜3のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成5)
前記第2時間は、前記第1時間の2倍以上である、構成4記載の磁気記憶装置。
(構成6)
前記第1時間は、0.08ナノ秒以下であり、
前記第2時間は、0.1ナノ秒以上である、構成4または5に記載の磁気記憶装置。
(構成7)
前記立ち上がり期間の前記時間は、0.1ナノ秒以下であり、
前記立ち下がり期間の前記時間は、0.15ナノ秒以上である、構成1〜6のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成8)
前記立ち下がり期間の前記時間は、前記立ち上がり期間の前記時間の2倍以上である、構成1〜7のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成9)
前記立ち下がり期間の前記時間は、前記書き込みパルスのパルス幅の0.3倍以上である、構成1〜8のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成10)
前記非磁性層は、酸化マグネシウムを含む、構成1〜9のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成11)
前記書き込みパルスの前記供給の後における前記第1導電層と前記第2導電層との間の第2電気抵抗は、前記書き込みパルスの前記供給の前における前記第1導電層と前記第2導電層との間の第1電気抵抗とは、異なる、構成1〜10のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成12)
第1導電層と、第2導電層と、前記第1導電層と前記第2導電層との間に設けられた第1磁性層と、前記第1磁性層と前記第2導電層との間に設けられた第2磁性層と、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、を含む積層体に、第1動作において書き込みパルスを供給し、
前記非磁性層の単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμmを超え、
前記書き込みパルスは、
前記書き込みパルスの電位が第1電位から第2電位に向かって変化する立ち上がり期間と、
前記立ち上がり期間の後における前記第2電位の中間期間と、
前記中間期間の後において前記書き込みパルスの前記電位が前記第2電位から前記第1電位に向かって変化する立ち下がり期間と、
を有し、
前記立ち下がり期間の時間は、前記立ち上がり期間の時間よりも長い、磁気記憶装置の制御方法。
(構成13)
第1動作において、第1配線の一端と、第2配線の一端と、の間に書き込みパルスを供給し、
前記第1配線の他端は、第1導電層と、第2導電層と、前記第1導電層と前記第2導電層との間に設けられた第1磁性層と、前記第1磁性層と前記第2導電層との間に設けられた第2磁性層と、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、を含む積層体の前記第1導電層と電気的に接続され、
前記第2配線の他端は、前記第2導電層と電気的に接続され、
前記非磁性層の単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμmを超え、
前記書き込みパルスは、
前記書き込みパルスの電位が第1電位から第2電位に向かって変化する立ち上がり期間と、
前記立ち上がり期間の後における前記第2電位の中間期間と、
前記中間期間の後において前記書き込みパルスの前記電位が前記第2電位から前記第1電位に向かって変化する立ち下がり期間と、
を有し、
前記立ち下がり期間の時間は、前記立ち上がり期間の時間よりも長い、磁気記憶装置の制御方法。
実施形態によれば、安定した動作が可能な磁気記憶装置及びその制御方法を提供することができる。
本願明細書において、電気的に接続される状態は、2つの導体が直接接する状態を含む。電気的に接続される状態は、2つの導体が、別の導体(例えば配線など)により接続される状態を含む。電気的に接続される状態は、2つの導体の間の経路の間にスイッチング素子(トランジスタなど)が設けられ、2つの導体の間の経路に電流が流れる状態が形成可能な状態を含む。
本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、磁気記憶装置に含まれる導電層、磁性層、非磁性層、制御部、制御回路、出力回路及び、配線及びスイッチなどの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述した磁気記憶装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての磁気記憶装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
10…積層体、 11…第1磁性層、 11N…非磁性層、 12…第2磁性層、 21、22…第1、第2導電層、 70…制御部、 70a、70b…第1、第2配線、 70s…スイッチ、 71…出力回路、 71A、71B…第1、第2アンプ、 71C…キャパシタンス、 71S…制御スイッチ、 72…制御回路、 110…磁気記憶装置、 OP1、OP2…第1、第2動作、 Pf…立ち下り期間、 Pm…中間期間、 Pr…立ち上がり期間、 Pw…パルス幅、 RP…読み出しパルス、 RPh…高さ、 Sc…制御信号、 Se…エッジ信号、 So…出力信号、 T1、T2…第1、第2時間、 Tf…立ち下がり時間、 Tr…立ち上がり時間、 V1、V2…第1、第2電位、 VG…グランド電位、 Vm1〜Vm3…第1〜第3中間電位、 WER1…書き込みエラーレート、 WP…書き込みパルス、 t1〜t4…第1〜第4時刻、 tm…時間

Claims (13)

  1. 第1導電層と、
    第2導電層と、
    前記第1導電層と前記第2導電層との間に設けられた第1磁性層と、
    前記第1磁性層と前記第2導電層との間に設けられた第2磁性層と、
    前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、
    を含む積層体と、
    前記第1導電層及び前記第2導電層と電気的に接続され第1動作において前記積層体に書き込みパルスを供給する制御部と、
    を備え、
    前記非磁性層の単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμmを超え、
    前記書き込みパルスは、
    前記書き込みパルスの電位が第1電位から第2電位に向かって変化する立ち上がり期間と、
    前記立ち上がり期間の後における前記第2電位の中間期間と、
    前記中間期間の後において前記書き込みパルスの前記電位が前記第2電位から前記第1電位に向かって変化する立ち下がり期間と、
    を有し、
    前記立ち下がり期間の時間は、前記立ち上がり期間の時間よりも長い、磁気記憶装置。
  2. 積層体であって、
    第1導電層と、
    第2導電層と、
    前記第1導電層と前記第2導電層との間に設けられた第1磁性層と、
    前記第1磁性層と前記第2導電層との間に設けられた第2磁性層と、
    前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、
    を含む前記積層体と、
    第1配線と、
    第2配線と、
    制御部と、
    を備え、
    前記非磁性層の単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμmを超え、
    前記制御部は、前記第1配線の一端と電気的に接続され、前記第1導電層は、前記第1配線の他端と電気的に接続され、
    前記制御部は、前記第2配線の一端と電気的に接続され、前記第2導電層は、前記第2配線の他端と電気的に接続され、
    前記制御部は、前記第1導電層及び前記第2導電層と電気的に接続され第1動作において、前記第1配線の前記一端と、前記第2配線の前記一端と、の間に書き込みパルスを供給し、
    前記書き込みパルスは、
    前記書き込みパルスの電位が第1電位から第2電位に向かって変化する立ち上がり期間と、
    前記立ち上がり期間の後における前記第2電位の中間期間と、
    前記中間期間の後において前記書き込みパルスの前記電位が前記第2電位から前記第1電位に向かって変化する立ち下がり期間と、
    を有し、
    前記立ち下がり期間の時間は、前記立ち上がり期間の時間よりも長い、磁気記憶装置。
  3. 第1導電層と、
    第2導電層と、
    前記第1導電層と前記第2導電層との間に設けられた第1磁性層と、
    前記第1磁性層と前記第2導電層との間に設けられた第2磁性層と、
    前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、
    を含む積層体と、
    前記第1導電層及び前記第2導電層と電気的に接続された出力回路を含む制御部と、
    を備え、
    前記出力回路は、第1動作において書き込みパルスを出力し、
    前記非磁性層の単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμmを超え、
    前記書き込みパルスは、
    前記書き込みパルスの電位が第1電位から第2電位に向かって変化する立ち上がり期間と、
    前記立ち上がり期間の後における前記第2電位の中間期間と、
    前記中間期間の後において前記書き込みパルスの前記電位が前記第2電位から前記第1電位に向かって変化する立ち下がり期間と、
    を有し、
    前記立ち下がり期間の時間は、前記立ち上がり期間の時間よりも長い、磁気記憶装置。
  4. 前記立ち上がり期間において、第1時刻と第2時刻とがあり、
    前記第1時刻において前記書き込みパルスは第1中間電位であり、前記第1電位と前記第1中間電位との差は、前記第1電位と前記第2電位との差の0.1倍であり、
    前記第2時刻において前記書き込みパルスは第2中間電位であり、前記第1電位と前記第2中間電位との差は、前記第1電位と前記第2電位との前記差の0.9倍であり、
    前記立ち下がり期間において、第3時刻と第4時刻とがあり、
    前記第3時刻において前記書き込みパルスは前記第2中間電位であり、
    前記第4時刻において前記書き込みパルスは前記第1中間電位であり、
    前記第3時刻と前記第4時刻との差の第2時間は、前記第1時刻と前記第2時刻との差の第1時間よりも長い、請求項1記載の磁気記憶装置。
  5. 前記第2時間は、前記第1時間の2倍以上である、請求項4記載の磁気記憶装置。
  6. 前記第1時間は、0.08ナノ秒以下であり、
    前記第2時間は、0.1ナノ秒以上である、請求項4記載の磁気記憶装置。
  7. 前記立ち上がり期間の前記時間は、0.1ナノ秒以下であり、
    前記立ち下がり期間の前記時間は、0.15ナノ秒以上である、請求項1記載の磁気記憶装置。
  8. 前記立ち下がり期間の前記時間は、前記立ち上がり期間の前記時間の2倍以上である、請求項1記載の磁気記憶装置。
  9. 前記立ち下がり期間の前記時間は、前記書き込みパルスのパルス幅の0.3倍以上である、請求項1記載の磁気記憶装置。
  10. 前記非磁性層は、酸化マグネシウムを含む、請求項1記載の磁気記憶装置。
  11. 前記書き込みパルスの前記供給の後における前記第1導電層と前記第2導電層との間の第2電気抵抗は、前記書き込みパルスの前記供給の前における前記第1導電層と前記第2導電層との間の第1電気抵抗とは、異なる、請求項1記載の磁気記憶装置。
  12. 第1導電層と、第2導電層と、前記第1導電層と前記第2導電層との間に設けられた第1磁性層と、前記第1磁性層と前記第2導電層との間に設けられた第2磁性層と、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、を含む積層体に、第1動作において書き込みパルスを供給し、
    前記非磁性層の単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμmを超え、
    前記書き込みパルスは、
    前記書き込みパルスの電位が第1電位から第2電位に向かって変化する立ち上がり期間と、
    前記立ち上がり期間の後における前記第2電位の中間期間と、
    前記中間期間の後において前記書き込みパルスの前記電位が前記第2電位から前記第1電位に向かって変化する立ち下がり期間と、
    を有し、
    前記立ち下がり期間の時間は、前記立ち上がり期間の時間よりも長い、磁気記憶装置の制御方法。
  13. 第1動作において、第1配線の一端と、第2配線の一端と、の間に書き込みパルスを供給し、
    前記第1配線の他端は、第1導電層と、第2導電層と、前記第1導電層と前記第2導電層との間に設けられた第1磁性層と、前記第1磁性層と前記第2導電層との間に設けられた第2磁性層と、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、を含む積層体の前記第1導電層と電気的に接続され、
    前記第2配線の他端は、前記第2導電層と電気的に接続され、
    前記非磁性層の単位面積当たりの抵抗値は、20Ωμmを超え、
    前記書き込みパルスは、
    前記書き込みパルスの電位が第1電位から第2電位に向かって変化する立ち上がり期間と、
    前記立ち上がり期間の後における前記第2電位の中間期間と、
    前記中間期間の後において前記書き込みパルスの前記電位が前記第2電位から前記第1電位に向かって変化する立ち下がり期間と、
    を有し、
    前記立ち下がり期間の時間は、前記立ち上がり期間の時間よりも長い、磁気記憶装置の制御方法。
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