JPWO2018198196A1 - 検査装置、搭載装置、検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書で開示される技術は、基板や部品に保持体を用いて柱状電極を搭載する場合に、保持体による柱状電極の保持状態の良否を検査することにより、不良基板の製造を抑制することを目的とする。
1.搭載装置1の全体構成
搭載装置1は、図1に示すように、基台11と、基板Pを搬送する搬送コンベア20と、バックアップ装置25と、ヘッドユニット60と、ヘッドユニット60を基台11上にて平面方向(XY方向)に移動させる駆動装置30と、第1カメラ81と、第2カメラ85を備えている。尚、以下の説明において、基台11の長手方向(図1の左右方向)をX方向と呼ぶものとし、基台11の奥行方向(図1の上下方向)をY方向、図2の上下方向をZ方向とする。また、ヘッドユニット60が、本発明の「ヘッド部」、「引離装置」の一例である。
次に、搭載装置1の電気的構成を、図3を参照して説明する。搭載装置1はコントローラ210により装置全体が制御統括されている。尚、コントローラ210は、本発明の「判断部」の一例である。また、コントローラ210、第1カメラ81、第2カメラ85が、「検査装置5」である。
柱状電極170は、図4に示すように基板Pのランド100上に搭載され、IC部品180との接続用の端子として機能する。
搭載装置1は、供給部13Aからの取り出し後、保持プレート150を画像認識して、保持プレート150による柱状電極170の保持状態の良否を検査する(図8の(B)工程)。そして、検査の結果、異常がない場合にだけ、保持プレート150上に保持された柱状電極170を基板P上に一括して搭載する。従って、柱状電極170の保持に異常がある保持プレート150が生産に使用されることを回避できるので、不良基板の製造を抑制することが出来る。
実施形態2において、コントローラ210は、基板Pに対する柱状電極170の搭載状態の良否を検査する処理を行う。具体的には、図7に示す(A)の工程において、柱状電極170の一括搭載前に基板Pを第2カメラ85により撮影した画像と、図8に示す(G)の工程において、柱状電極170の搭載後に基板Pを第2カメラ85により撮影した画像とから、2つの画像を比較する方法の一例として、2つの画像の差画像を作る。
図18は実施形態3における搭載装置1の平面図である。実施形態3は、実施形態1に対して、レーザ変位計600が追加されている点が相違している。レーザ変位計600は、本発明の「第1検出部」の一例である。
5...検査装置
11...基台
60...ヘッドユニット(本発明の「ヘッド部」、「引離装置」の一例)
63...搭載ヘッド
81...第1カメラ
85...第2カメラ
150...保持プレート(本発明の「保持体」の一例)
151...プレート本体
155...粘着層
170...柱状電極
210...コントローラ(本発明の「判断部」に相当)
300...画像(本発明の「第1画像」に相当)
400...画像(本発明の「第2画像」に相当)
510...画像(本発明の「第4画像」に相当)
520...画像(本発明の「第3画像」に相当)
530...差画像
Claims (18)
- 検査装置であって、
保持体を用いて複数の柱状電極を基板上又は部品上に一括搭載する搭載装置に設けられ、前記保持体を撮影する第1カメラと、
前記第1カメラにより一括搭載前に撮影された前記保持体の第1画像に基づいて、前記保持体による前記柱状電極の保持状態の良否を判断する判断部と、を備える、検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置であって、
前記判断部は、前記保持体による前記柱状電極の保持状態に異常がある場合、
検査対象の前記保持体について、異常の種類に応じたリペア方法を教示する表示を行う、検査装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の検査装置であって、
前記保持体による前記柱状電極の保持状態が正常な場合、
前記保持体を用いて複数の前記柱状電極を前記基板上又は前記部品上に一括搭載して固定した後、引離装置によって前記保持体を前記柱状電極から引き離す、検査装置。 - 請求項1〜請求項3に記載の検査装置であって、
前記判断部は、前記柱状電極から引き離した前記保持体を、前記第1カメラにより撮影した第2画像に基づいて、搭載されずに、前記保持体に残された前記柱状電極の有無を判断する、検査装置。 - 請求項1〜請求項4のうちいずれか一項に記載の検査装置であって、
前記基板又は前記部品を撮影する第2カメラを備え、
前記判断部は、前記保持体の引き離し後、前記柱状電極が固定された前記基板又は前記部品を前記第2カメラにより撮影した第3画像に基づいて、前記基板又は前記部品に対する前記柱状電極の搭載状態の良否を判断する、検査装置。 - 請求項5に記載の検査装置であって、
前記判断部は、前記第3画像と、前記柱状電極の一括搭載前に前記基板又は前記部品を前記第2カメラにより撮影した第4画像とを比較することにより、前記基板又は前記部品に対する前記柱状電極の搭載状態の良否を判断する、検査装置。 - 請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載の検査装置であって、
前記保持体に保持された前記柱状電極の下面の高さを検出する第1検出部を備え、
前記判断部は、前記第1検出部の検出値に基づいて、前記保持体に保持された複数の前記柱状電極について、前記下面の高さの良否を判断する、検査装置。 - 請求項1〜請求項7のうちいずれか一項に記載の検査装置であって、
前記基板上又は前記部品上に搭載された前記柱状電極の上面の高さを検出する第2検出部を備え、
前記判断部は、前記第2検出部の検出値に基づいて、前記基板又は前記部品上に搭載された複数の前記柱状電極について、前記上面の高さの良否を判断する、検査装置。 - 基板上又は部品上に柱状電極を搭載する搭載装置であって、
基台と、
保持体を用いて複数の前記柱状電極を前記基板上又は前記部品上に一括搭載するヘッド部と、
請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の検査装置と、を備えた搭載装置。 - 請求項9に記載の搭載装置であって、
前記検査装置は、前記搭載装置に設けられた第1カメラにより一括搭載前に撮影された前記保持体の第1画像に基づいて、前記保持体による前記柱状電極の保持状態の良否を判断し、
前記ヘッド部は、前記保持体よる前記柱状電極の保持状態が正常な場合、前記基板上又は前記部品上に一括搭載された前記柱状電極から前記保持体を引き離す、搭載装置。 - 検査方法であって、
保持体を用いて複数の柱状電極を基板上又は部品上に一括搭載する搭載装置に設けられた第1カメラで、前記保持体を、一括搭載前に撮影し、
前記第1カメラにより撮影した前記保持体の第1画像に基づいて、前記保持体による前記柱状電極の保持状態の良否を判断する、検査方法。 - 請求項11に記載の検査方法であって、
前記保持体による前記柱状電極の保持状態に異常がある場合、検査対象の前記保持体について、異常の種類に応じたリペア方法を教示する表示を行う、検査方法。 - 請求項11又は請求項12に記載の検査方法であって、
前記保持体よる前記柱状電極の保持状態が正常な場合、
前記保持体を用いて複数の前記柱状電極を前記基板上又は前記部品上に一括搭載して固定した後、引離装置によって前記保持体を前記柱状電極から引き離す、検査方法。 - 請求項11〜請求項13のうちいずれか一項に記載の検査方法であって、
前記柱状電極から引き離した前記保持体を、前記第1カメラにより撮影した第2画像に基づいて、搭載されずに、前記保持体に残された前記柱状電極の有無を判断する、検査方法。 - 請求項11〜請求項14のうちいずれか一項に記載の検査方法であって、
前記保持体の引き離し後、前記柱状電極が固定された前記基板又は前記部品を第2カメラにより撮影し、
前記第2カメラにより撮影した前記基板又は前記部品の第3画像に基づいて、前記基板又は前記部品に対する前記柱状電極の搭載状態の良否を判断する、検査方法。 - 請求項15に記載の検査方法であって、
前記第3画像と、前記柱状電極の一括搭載前に前記基板又は前記部品を前記第2カメラにより撮影した第4画像とを比較することにより、前記基板又は前記部品に対する前記柱状電極の搭載状態の良否を判断する、検査方法。 - 請求項11〜請求項16のいずれか一項に記載の検査方法であって、
前記保持体に保持された前記柱状電極の下面の高さを第1検出部により検出し、
前記第1検出部の検出値に基づいて、前記保持体に保持された複数の前記柱状電極について、前記下面の高さの良否を判断する、検査方法。 - 請求項11〜請求項17のいずれか一項に記載の検査方法であって、
前記基板上又は前記部品上に搭載された前記柱状電極の上面の高さを第2検出部により検出し、
前記第2検出部の検出値に基づいて、前記基板上又は前記部品上に搭載された複数の前記柱状電極について、前記上面の高さの良否を判断する、検査方法。
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