JPWO2018179095A1 - Transfer type photosensitive film, method of forming cured film pattern, cured film, and touch panel - Google Patents

Transfer type photosensitive film, method of forming cured film pattern, cured film, and touch panel Download PDF

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Abstract

本発明に係る転写型感光性フィルムは、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた第一の樹脂層とを備え、第一の樹脂層が、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する光重合性化合物と、アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤とを含む。The transfer type photosensitive film according to the present invention includes a support film and a first resin layer provided on the support film, and the first resin layer has a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton. It contains a photopolymerizable compound and an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator.

Description

本発明は、転写型感光性フィルム、硬化膜パターンの形成方法、硬化膜及びタッチパネルに関する。   The present invention relates to a transfer type photosensitive film, a method for forming a cured film pattern, a cured film, and a touch panel.

パソコン及びテレビ等の大型電子機器、カーナビゲーション、携帯電話、スマートフォン、電子辞書等の小型電子機器、OA(Office Automation、オフィスオートメーション)・FA(Factory Automation、ファクトリーオートメーション)機器等の表示機器などには液晶表示素子及びタッチパネル(タッチセンサー)が用いられている。   Large electronic devices such as personal computers and televisions, small electronic devices such as car navigation systems, mobile phones, smartphones, and electronic dictionaries, and display devices such as OA (Office Automation) and FA (Factory Automation) devices. A liquid crystal display element and a touch panel (touch sensor) are used.

タッチパネルは各種の方式が実用化されているが、近年、投影型静電容量方式のタッチパネルの利用が進んでいる。一般に、投影型静電容量方式のタッチパネルでは、X軸とY軸による2次元座標を表現するために、複数のX電極と、該X電極に直交する複数のY電極とが、2層構造を形成している。これらの電極の材料として、ITO(Indium−Tin−Oxide、酸化インジウムスズ)が主流である。   Various types of touch panels have been put into practical use, but in recent years, use of a projected capacitive touch panel has been advanced. Generally, in a projected capacitive touch panel, a plurality of X electrodes and a plurality of Y electrodes orthogonal to the X electrodes have a two-layer structure in order to express two-dimensional coordinates by the X axis and the Y axis. Has formed. As a material for these electrodes, ITO (Indium-Tin-Oxide, indium tin oxide) is mainly used.

ところで、タッチパネルの額縁領域はタッチ位置を検出できない領域であるから、その額縁領域の面積を狭くすることが製品価値を向上させるための重要な要素である。一般的に額縁領域には、タッチ位置の検出信号を伝えるために銅等の金属配線が形成されている。タッチパネルにおいては、指先に接触される際に水分又は塩分等の腐食成分がセンシング領域から内部に侵入することがある。タッチパネルの内部に腐食成分が侵入すると、上記金属配線が腐食し、電極と駆動用回路間の電気抵抗の増加、又は断線の恐れがある。   By the way, since the frame region of the touch panel is a region where a touch position cannot be detected, reducing the area of the frame region is an important factor for improving the product value. Generally, metal wiring such as copper is formed in the frame area to transmit a detection signal of a touch position. In a touch panel, when it comes into contact with a fingertip, a corrosive component such as moisture or salt may enter the sensing area into the inside. When a corrosive component enters the inside of the touch panel, the metal wiring is corroded, and there is a risk of an increase in electrical resistance between the electrode and the driving circuit or a disconnection.

金属配線の腐食を防ぐために、タッチパネル用基材上に、ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジ(メタ)アクリレート化合物を含有する感光性樹脂組成物層を設け、この感光性樹脂組成物層の所定部分を活性光線の照射により硬化させた後に、所定部分以外を除去し、基材の一部又は全部を被覆する感光性樹脂組物の硬化膜を形成する方法が提案されている(下記特許文献1を参照)。この手法によれば、タッチパネル用基材上に充分な低透湿性を有する硬化膜を形成することができる。   In order to prevent corrosion of metal wiring, a photosensitive resin composition layer containing a di (meth) acrylate compound having a dicyclopentanyl structure or a dicyclopentenyl structure is provided on a substrate for a touch panel. After curing a predetermined portion of the material layer by irradiation with actinic rays, a method of removing a portion other than the predetermined portion and forming a cured film of a photosensitive resin assembly that covers a part or the whole of the substrate has been proposed. (See Patent Document 1 below). According to this method, a cured film having a sufficiently low moisture permeability can be formed on the touch panel substrate.

他方で、投影型静電容量方式のタッチパネルには、透明電極パターンが形成された部分と、形成されていない部分との光学的な反射特性の違いにより色差が大きくなり、モジュール化した際に透明電極パターンが画面上に映りこむ、いわゆる「骨見え現象」の問題がある。また、基材と透明電極との間、又はモジュール化する際に使用するカバーガラスと透明電極パターンとを接着する視認性向上フィルム(OCA:Optical Clear Adhesive)と透明電極パターンとの間で、反射光強度が増加し、画面の透過率を低下させるという問題もある。   On the other hand, in a projected capacitive touch panel, a color difference is increased due to a difference in optical reflection characteristics between a portion where a transparent electrode pattern is formed and a portion where the transparent electrode pattern is not formed, and when a module is formed, a transparent portion is formed. There is a problem of the so-called "bone appearance phenomenon" in which the electrode pattern is reflected on the screen. In addition, reflection between a transparent electrode pattern and a visibility improving film (OCA: Optical Clear Adhesive) for bonding a cover glass and a transparent electrode pattern to be used for modularization between a base material and a transparent electrode. There is also a problem that the light intensity increases and the transmittance of the screen decreases.

これに対し、例えば下記特許文献2には、基材と透明電極パターンとの間にインデックスマッチング層(光学調整層)(以下、「IM層」という)を設けることで、透明電極パターンが形成された部分と形成されていない部分との色差を低減し、骨見え現象と、画面の透過率低下を防ぐ透明導電樹脂基板が開示されている。   In contrast, for example, in Patent Document 2 below, a transparent electrode pattern is formed by providing an index matching layer (optical adjustment layer) (hereinafter, referred to as an “IM layer”) between a substrate and a transparent electrode pattern. There is disclosed a transparent conductive resin substrate that reduces a color difference between a curved portion and a non-formed portion to prevent a bone appearance phenomenon and a decrease in transmittance of a screen.

また、例えば下記特許文献3には、透明電極パターンが視認されることを防ぐ手法として、特定の屈折率の範囲に調整された低屈折率の第一の硬化性透明樹脂層及び高屈折率の第二の硬化性透明樹脂層とを隣接して有する転写フィルムが開示されている。   Further, for example, in Patent Document 3 below, as a technique for preventing the transparent electrode pattern from being visually recognized, a first curable transparent resin layer having a low refractive index and a high refractive index adjusted to a specific refractive index range are used. A transfer film having a second curable transparent resin layer adjacent thereto is disclosed.

特開2015−121929号公報JP 2015-121929 A 特開平8−240800号公報JP-A-8-240800 国際公開第2014/084112号パンフレットWO 2014/084112 pamphlet

本発明者らは、ジシクロペンタニル構造(以下、トリシクロデカン骨格という)又はジシクロペンテニル構造(以下、トリシクロデセン骨格という)を有するジ(メタ)アクリレート化合物を含有する感光性樹脂組成物を用いた転写型感光性フィルムを検討した。そして、この転写型感光性フィルムによって形成される硬化膜パターンの低透湿性及び密着性の向上を検討するなかで、透明電極パターン上に硬化膜を形成したときに、透明電極パターンがIM層上に設けられていても、電極のパターンがより顕著に見えてしまう(パターン見えが発生する)場合があることを見出した。   The present inventors have developed a photosensitive resin composition containing a di (meth) acrylate compound having a dicyclopentanyl structure (hereinafter, referred to as a tricyclodecane skeleton) or a dicyclopentenyl structure (hereinafter, referred to as a tricyclodecene skeleton). A transfer-type photosensitive film using a was studied. In examining the improvement of low moisture permeability and adhesion of the cured film pattern formed by this transfer type photosensitive film, when the cured film was formed on the transparent electrode pattern, It has been found that the electrode pattern may look more prominent (pattern appearance occurs) even when the electrode pattern is provided.

パターン見えの要因について本発明者らはさらに検討したところ、ITO電極パターン上に設けられた硬化膜の表面には凹み(段差ともいう)が発生しており、これがパターン見えとして視認され得ることを見出した。   The present inventors further examined the causes of the pattern appearance, and found that dents (also referred to as steps) were generated on the surface of the cured film provided on the ITO electrode pattern, and that this could be visually recognized as the pattern appearance. I found it.

本発明は、電極パターン上に段差を抑制しつつ充分な低透湿性を有する硬化膜パターンを良好に形成することができる転写型感光性フィルム、並びに、それを用いる硬化膜パターンの形成方法及びタッチパネルを提供することを目的とする。   The present invention relates to a transfer type photosensitive film capable of favorably forming a cured film pattern having a sufficiently low moisture permeability while suppressing a step on an electrode pattern, a method of forming a cured film pattern using the same, and a touch panel. The purpose is to provide.

上記課題を解決するために本発明者らは段差の発生の要因について検討したところ、ITO電極上及びIM層上に硬化膜を同条件で形成したときに、IM層上に設けられた感光性樹脂層の反応率がITO電極上よりも小さくなることを確認し、このことに基づき凹みの発生の要因は、1)露光工程において、感光性樹脂層の反応率の低い箇所から高い箇所に未反応の光重合性化合物が移行すること、2)露光・現像後の感光性樹脂層を加熱するアニール工程において、未反応の光重合性化合物が揮発すること及び反応率の高い箇所と低い箇所とで熱収縮差が生じること、にあると仮定した。そして、本発明者らは、上記1)及び2)の事象を抑制する観点から、露光量の差を設けた露光工程と、アニール工程とを有する段差評価試験を用いて感光性樹脂層の組成を検討した結果、特定の光重合性化合物と特定の光重合開始剤とを組み合わせて用いることにより、反応率差を抑制できるとともに、段差を小さくすることができることを見出し、本発明を完成するに至った。なお、未反応の光重合性化合物を減らすために光重合開始剤を増量するという方法のみでは、現像残渣が生じる場合があり、硬化膜パターンを良好に形成することが困難となる。   In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors have studied the factors of the occurrence of the step. When the cured film was formed on the ITO electrode and the IM layer under the same conditions, the photosensitive layer provided on the IM layer was removed. It was confirmed that the reaction rate of the resin layer was smaller than that on the ITO electrode. Based on this, the cause of the dents was as follows: 1) In the exposure step, the portion of the photosensitive resin layer from the lower reaction rate to the higher 2) In the annealing step of heating the photosensitive resin layer after exposure and development, the unreacted photopolymerizable compound is volatilized, and the high and low reaction rates It is assumed that there is a difference in heat shrinkage. From the viewpoint of suppressing the above-mentioned events 1) and 2), the inventors of the present invention used a step evaluation test having an exposure step with an exposure difference and an annealing step to determine the composition of the photosensitive resin layer. As a result of studying, it has been found that by using a specific photopolymerizable compound and a specific photopolymerization initiator in combination, it is possible to suppress the difference in the reaction rate and to reduce the level difference, and to complete the present invention. Reached. In addition, if only the method of increasing the amount of the photopolymerization initiator to reduce the amount of the unreacted photopolymerizable compound is used, a development residue may be generated, and it is difficult to form a cured film pattern satisfactorily.

本発明は、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた第一の樹脂層と、を備え、第一の樹脂層が、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する光重合性化合物と、アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤とを含む転写型感光性フィルムを提供する。   The present invention includes a support film and a first resin layer provided on the support film, wherein the first resin layer has a photopolymerizable compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton, Provided is a transfer-type photosensitive film containing an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator.

本発明に係る転写型感光性フィルムによれば、上記構成を有することにより、透明電極パターン上に段差を抑制しつつ硬化膜パターンを良好に形成することができる。硬化膜パターンは、電極パターンの防錆膜として機能させることができる。   According to the transfer type photosensitive film of the present invention, by having the above configuration, a cured film pattern can be favorably formed on a transparent electrode pattern while suppressing a step. The cured film pattern can function as a rust prevention film for the electrode pattern.

なお、上記の効果が得られる理由としては、アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤を用いることにより分子量の大きい光重合性化合物であっても充分な重合反応率が得られることで、上記1)及び2)の事象が抑制できたためと考えられる。   The reason for obtaining the above-mentioned effects is that the use of the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator allows a sufficient polymerization reaction rate to be obtained even with a photopolymerizable compound having a large molecular weight. It is considered that the events 2) and 3) could be suppressed.

トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する光重合性化合物の配合量を高めると、硬化膜パターンの低透湿化及び密着性向上に有効である一方で、透明電極パターン上に設けられた硬化膜パターンに発生する段差が大きくなる傾向にある。本発明によれば、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する光重合性化合物とアシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤とを組み合わせることにより、段差を抑制しつつ、高水準の低透湿性及び高密着性を有する硬化膜パターンを形成することができる。   Increasing the blending amount of the photopolymerizable compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton is effective for reducing moisture permeability and improving adhesion of a cured film pattern, while curing the cured film pattern provided on a transparent electrode pattern. The step generated in the film pattern tends to increase. According to the present invention, by combining a photopolymerizable compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton with an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator, while suppressing a step, a high level of low moisture permeability and A cured film pattern having high adhesion can be formed.

上記アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤が、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイドを含んでいてもよい。この場合、低透湿性であり、色調(特には黄色味が低く、ニュートラルに近い色調)に優れた硬化膜パターンを形成することができる。   The acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator may include 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide. In this case, it is possible to form a cured film pattern having low moisture permeability and excellent in color tone (particularly, low in yellowish color and close to neutral color tone).

上記第一の樹脂層は、オキシムエステル系光重合開始剤を更に含んでいてもよい。アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤とオキシムエステル系光重合開始剤とを併用することにより、形成される硬化膜パターンの透湿度をさらに低減することができる。   The first resin layer may further include an oxime ester-based photopolymerization initiator. By using an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator and an oxime ester-based photopolymerization initiator in combination, the moisture permeability of the formed cured film pattern can be further reduced.

上記本発明に係る転写型感光性フィルムは、第一の樹脂層上に設けられた金属酸化物粒子を含有する第二の樹脂層を更に備えることができる。   The transfer type photosensitive film according to the present invention may further include a second resin layer containing metal oxide particles provided on the first resin layer.

上記の転写型感光性フィルムによれば、電極パターン上に、段差を抑制しつつ、骨見え現象を抑制することができる硬化膜パターンを良好に形成することができる。   According to the above-mentioned transfer type photosensitive film, a cured film pattern capable of suppressing a bone appearance phenomenon can be favorably formed on an electrode pattern while suppressing a step.

本発明はまた、電極パターンを有する基材上に、上記本発明に係る転写型感光性フィルムの第一の樹脂層を、基材の電極パターンが設けられている側と第一の樹脂層とが密着するようにラミネートする工程と、基材上の第一の樹脂層の所定部分を露光後、前記所定部分以外を除去し、電極パターンの一部又は全部を被覆する硬化膜を形成する工程と、を備える硬化膜パターンの第1の形成方法を提供する。   The present invention also provides, on a substrate having an electrode pattern, the first resin layer of the transfer type photosensitive film according to the present invention, the first resin layer and the side on which the electrode pattern of the substrate is provided. Laminating so that they adhere to each other, and exposing a predetermined portion of the first resin layer on the base material, removing portions other than the predetermined portion, and forming a cured film covering part or all of the electrode pattern. And a first method for forming a cured film pattern.

本発明はまた、電極パターンを有する基材上に、第二の樹脂層を有する上記本発明に係る転写型感光性フィルムの第二の樹脂層及び第一の樹脂層を、基材の電極パターンが設けられている側と第二の樹脂層とが密着するようにラミネートする工程と、基材上の第二の樹脂層及び第一の樹脂層の所定部分を露光後、所定部分以外を除去し、電極パターンの一部又は全部を被覆する硬化膜パターンを形成する工程と、を備える硬化膜パターンの第2の形成方法を提供する。   The present invention also provides, on a substrate having an electrode pattern, a second resin layer and a first resin layer of the transfer type photosensitive film according to the present invention having a second resin layer, the electrode pattern of the substrate. Laminating so that the side where is provided and the second resin layer are in close contact with each other, and after exposing predetermined portions of the second resin layer and the first resin layer on the substrate, removing portions other than the predetermined portions Forming a cured film pattern that covers a part or the entirety of the electrode pattern.

上記本発明に係る硬化膜パターンの第1及び第2の形成方法によれば、電極パターン上に段差を抑制しつつ硬化膜パターンを良好に形成することができる。また、本発明に係る硬化膜パターンの第2の形成方法によれば、硬化膜パターンが屈折率調整の機能を有することができる。   According to the first and second methods of forming a cured film pattern according to the present invention, a cured film pattern can be favorably formed on an electrode pattern while suppressing steps. Further, according to the second method of forming a cured film pattern according to the present invention, the cured film pattern can have a function of adjusting the refractive index.

本発明はまた、上記本発明に係る転写型感光性フィルムにおける第一の樹脂層を硬化してなる硬化膜を提供する。   The present invention also provides a cured film obtained by curing the first resin layer in the transfer type photosensitive film according to the present invention.

本発明はまた、第二の樹脂層を有する上記本発明に係る転写型感光性フィルムの第一の樹脂層のみ、又は、第一の樹脂層及び第二の樹脂層の両方を硬化してなる硬化膜を提供する。   The present invention also comprises the first resin layer of the transfer type photosensitive film according to the present invention having the second resin layer alone or by curing both the first resin layer and the second resin layer. Provide a cured film.

本発明はまた、上記本発明に係る転写型感光性フィルムにおける第一の樹脂層の硬化物、又は、第二の樹脂層を有する上記本発明に係る転写型感光性フィルムの第二の樹脂層の硬化物及び第一の樹脂層の硬化物からなる硬化膜パターンを備えるタッチパネルを提供する。   The present invention also provides a cured product of the first resin layer in the transfer type photosensitive film according to the present invention, or a second resin layer of the transfer type photosensitive film according to the present invention having a second resin layer. And a touch panel provided with a cured film pattern composed of a cured product of the first resin layer and a cured product of the first resin layer.

本発明によれば、電極パターン上に段差を抑制しつつ硬化膜パターンを良好に形成することができる転写型感光性フィルム、並びに、それを用いる硬化膜パターンの形成方法及びタッチパネルを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a transfer type photosensitive film capable of favorably forming a cured film pattern while suppressing a step on an electrode pattern, a method of forming a cured film pattern using the same, and a touch panel. it can.

本発明の一実施形態に係る転写型感光性フィルムを示す模式断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing a transfer type photosensitive film according to one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る転写型感光性フィルムを用いて形成した硬化膜パターンを透明電極パターン付き基材上に備える積層体を示す模式断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a laminate including a cured film pattern formed using a transfer type photosensitive film according to one embodiment of the present invention on a substrate with a transparent electrode pattern. 本発明の一実施形態に係るタッチパネルを示す模式上面図である。1 is a schematic top view showing a touch panel according to one embodiment of the present invention. 本発明に係る段差評価方法を説明するための模式断面図である。It is a schematic cross section for explaining the step evaluation method concerning the present invention.

以下、場合により図面を参照しつつ、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。なお、本明細書において、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸又はメタクリル酸を意味し、「(メタ)アクリレート」とは、アクリレート又はそれに対応するメタクリレートを意味する。「A又はB」とは、AとBのどちらか一方を含んでいればよく、両方とも含んでいてもよい。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings as necessary. However, the present invention is not limited to the following embodiments. In this specification, “(meth) acrylic acid” means acrylic acid or methacrylic acid, and “(meth) acrylate” means acrylate or methacrylate corresponding thereto. “A or B” may include either one of A and B, and may include both.

また、本明細書において「層」との語は、平面図として観察したときに、全面に形成されている形状の構造に加え、一部に形成されている形状の構造も包含される。また、本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。また、「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。   Further, in this specification, the term “layer” includes, when observed as a plan view, a structure partially formed in addition to a structure formed over the entire surface. In this specification, the term “step” is used not only for an independent step but also for the case where the intended action of the step is achieved even if it cannot be clearly distinguished from other steps. included. Further, the numerical range indicated by using “to” indicates a range including the numerical values described before and after “to” as the minimum value and the maximum value, respectively.

さらに、本明細書において組成物中の各成分の含有量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。また、例示材料は特に断らない限り単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Further, in the present specification, the content of each component in the composition, if there are a plurality of substances corresponding to each component in the composition, unless otherwise specified, the total of the plurality of substances present in the composition Means quantity. The exemplified materials may be used alone or in combination of two or more unless otherwise specified.

また、本明細書中に段階的に記載されている数値範囲において、ある段階の数値範囲の上限値又は下限値は、他の段階の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本明細書中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。   In addition, in the numerical ranges described in stages in this specification, the upper limit or the lower limit of the numerical range of a certain stage may be replaced with the upper limit or the lower limit of the numerical range of another stage. Further, in the numerical ranges described in this specification, the upper limit or the lower limit of the numerical ranges may be replaced with the values shown in the embodiments.

<転写型感光性フィルム>
本実施形態の転写型感光性フィルムは、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた第一の樹脂層と、を備えるものである。本実施形態の転写型感光性フィルムは、感光性樹脂層上に設けられた金属酸化物粒子を含有する第二の樹脂層を更に備える転写型感光性フィルムであってもよい。これらの転写型感光性フィルムは、感光性樹脂層上又は第二の樹脂層上に設けられた保護フィルムを更に備えていてもよい。
<Transfer type photosensitive film>
The transfer type photosensitive film of the present embodiment includes a support film and a first resin layer provided on the support film. The transfer type photosensitive film of the present embodiment may be a transfer type photosensitive film further provided with a second resin layer containing metal oxide particles provided on the photosensitive resin layer. These transfer photosensitive films may further include a protective film provided on the photosensitive resin layer or on the second resin layer.

図1は、本発明の一実施形態に係る転写型感光性フィルムを示す模式断面図である。図1に示される転写型感光性フィルム1は、支持フィルム10と、支持フィルム10上に設けられた第一の樹脂層20と、第一の樹脂層20上に設けられた第二の樹脂層30と、第二の樹脂層30上に設けられた保護フィルム40とを備える。   FIG. 1 is a schematic sectional view showing a transfer type photosensitive film according to one embodiment of the present invention. The transfer photosensitive film 1 shown in FIG. 1 includes a support film 10, a first resin layer 20 provided on the support film 10, and a second resin layer provided on the first resin layer 20. 30 and a protective film 40 provided on the second resin layer 30.

上記転写型感光性フィルムを用いることで、例えばタッチパネルの額縁にある金属配線又はタッチパネルの透明電極の保護機能と、透明電極パターンの不可視化又はタッチ画面の視認性向上の両機能を満たす硬化膜を一括でパターン形成することができる。   By using the transfer type photosensitive film, for example, a cured film that satisfies both the function of protecting the metal wiring in the frame of the touch panel or the transparent electrode of the touch panel and the function of making the transparent electrode pattern invisible or improving the visibility of the touch screen. Patterns can be formed collectively.

(支持フィルム)
支持フィルム10としては、重合体フィルムを用いることができる。重合体フィルムの材質としては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、シクロオレフィンポリマー等が挙げられる。
(Support film)
As the support film 10, a polymer film can be used. Examples of the material of the polymer film include polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, polyether sulfone, and cycloolefin polymer.

支持フィルム10の厚みは、被覆性の確保と、支持フィルム10を介して活性光線を照射する際の解像度の低下を抑制する観点から、5〜100μmであることが好ましく、10〜70μmであることがより好ましく、15〜40μmであることがさらに好ましく、15〜35μmであることが特に好ましい。   The thickness of the support film 10 is preferably 5 to 100 μm, and more preferably 10 to 70 μm, from the viewpoint of ensuring coverage and suppressing a decrease in resolution when irradiating active light through the support film 10. Is more preferably 15 to 40 μm, and particularly preferably 15 to 35 μm.

(第一の樹脂層)
第一の樹脂層20は、バインダーポリマー(以下、(A)成分ともいう)と、光重合性化合物(以下、(B)成分ともいう)と、光重合開始剤(以下、(C)成分ともいう)と、を含有する感光性樹脂組成物から形成されることが好ましい。
(First resin layer)
The first resin layer 20 includes a binder polymer (hereinafter also referred to as a component (A)), a photopolymerizable compound (hereinafter also referred to as a component (B)), and a photopolymerization initiator (hereinafter referred to as a component (C)). ) Is preferably formed from a photosensitive resin composition containing

<バインダーポリマー>
(A)成分としては、アルカリ現像によりパターニングを可能とする観点から、カルボキシル基を有するポリマーを用いることが好ましい。
<Binder polymer>
As the component (A), a polymer having a carboxyl group is preferably used from the viewpoint of enabling patterning by alkali development.

(A)成分は、(メタ)アクリル酸、及び(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来する構造単位を含有する共重合体が好適である。上記共重合体は、上記(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸アルキルエステルと共重合し得るその他のモノマーを構成単位に含有していてもよい。その他のモノマーとして具体的には、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル、スチレン、(メタ)アクリル酸シクロヘキシルエステル等が挙げられる。   As the component (A), a copolymer containing a structural unit derived from (meth) acrylic acid and an alkyl (meth) acrylate is preferred. The above-mentioned copolymer may contain, in its constitutional unit, another monomer copolymerizable with the above-mentioned (meth) acrylic acid or alkyl (meth) acrylate. Specific examples of the other monomers include glycidyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, styrene, and cyclohexyl (meth) acrylate.

上記(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸−2−エチルヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシルエチルエステル等が挙げられる。   Examples of the alkyl (meth) acrylate include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and (meth) acryl. Acid hydroxyl ethyl ester and the like.

これらの中でも、アルカリ現像性(特に無機アルカリ水溶液に対する現像性)、パターニング性、透明性の観点から、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル、スチレン、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシルエステル、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシルマレイミド、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート及びヒドロキシブチル(メタ)アクリレートからなる群より選択される少なくとも一種の化合物に由来する構造単位を有するバインダーポリマーが好ましく、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル、スチレン、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル及び(メタ)アクリル酸シクロヘキシルエステルからなる群より選択される少なくとも一種の化合物に由来する構造単位を有するバインダーポリマーがより好ましく、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル及び(メタ)アクリル酸シクロヘキシルエステルに由来する構造単位を有するバインダーポリマーが特に好ましい。また、バインダーポリマーは、上記構造単位として少なくともヒドロキシエチル(メタ)アクリレート又はヒドロキシブチル(メタ)アクリレートを含む共重合体のヒドロキシエチル(メタ)アクリレート又はヒドロキシブチル(メタ)アクリレートに、イソシアネートエチル(メタ)アクリレート又はグリシジル(メタ)アクリレートを付加反応させたものであってもよい。   Among these, from the viewpoints of alkali developability (particularly developability with an aqueous inorganic alkali solution), patterning properties, and transparency, (meth) acrylic acid, glycidyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, styrene, Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, Dicyclopentenyloxy (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentanyloxy (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, cyclohexyl maleimi And a binder polymer having a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of hydroxyethyl (meth) acrylate and hydroxybutyl (meth) acrylate, and (meth) acrylic acid, glycidyl (meth) acrylate Benzyl (meth) acrylate, styrene, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid Binder polymers having a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of cyclohexyl esters are more preferable, and (meth) acrylic acid, alkyl (meth) acrylate, and glycidyl (meth) acrylate Ester and (meth) binder polymer having a structural unit derived from acrylic acid cyclohexyl ester are particularly preferred. Further, the binder polymer may be a copolymer containing at least hydroxyethyl (meth) acrylate or hydroxybutyl (meth) acrylate as the above structural unit, such as hydroxyethyl (meth) acrylate or hydroxybutyl (meth) acrylate, and isocyanatoethyl (meth) acrylate. Acrylate or glycidyl (meth) acrylate may be subjected to an addition reaction.

本実施形態においては、硬化膜の透湿度を低減する観点から、側鎖に分岐構造及び/又は脂環構造を有する基、側鎖に酸性基を有する基、並びに、側鎖にエチレン性不飽和基を有する基を含有するバインダーポリマーを用いることができる。側鎖に分岐構造及び/又は脂環構造を有する基は、側鎖に分岐構造を有する基を含有するモノマー、又は側鎖に脂環構造を有する基を含有するモノマーによって導入することができる。側鎖に酸性基を有する基は、側鎖に酸性基を有する基を含有するモノマーによって導入することができる。   In the present embodiment, from the viewpoint of reducing the moisture permeability of the cured film, a group having a branched structure and / or an alicyclic structure in the side chain, a group having an acidic group in the side chain, and an ethylenically unsaturated group in the side chain A binder polymer containing a group having a group can be used. The group having a branched structure and / or an alicyclic structure in the side chain can be introduced by a monomer containing a group having a branched structure in the side chain or a monomer containing a group having an alicyclic structure in the side chain. The group having an acidic group in the side chain can be introduced by a monomer containing a group having an acidic group in the side chain.

側鎖に分岐構造を有する基を含有するモノマーの具体例としては、例えば(メタ)アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、(メタ)アクリル酸s−ブチル、(メタ)アクリル酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸i−アミル、(メタ)アクリル酸t−アミル、(メタ)アクリル酸sec−iso−アミル、(メタ)アクリル酸2−オクチル、(メタ)アクリル酸3−オクチル、(メタ)アクリル酸t−オクチル等が挙げられる。これらの中でも、(メタ)アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、メタクリル酸t−ブチルが好ましく、さらに好ましくは、メタクリル酸i−プロピル、メタクリル酸t−ブチルである。   Specific examples of the monomer containing a group having a branched structure in the side chain include, for example, i-propyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, s-butyl (meth) acrylate, (meth) acrylic T-butyl acid, i-amyl (meth) acrylate, t-amyl (meth) acrylate, sec-iso-amyl (meth) acrylate, 2-octyl (meth) acrylate, 3- (meth) acrylate Octyl, t-octyl (meth) acrylate, and the like. Among these, i-propyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, and t-butyl methacrylate are preferred, and i-propyl methacrylate and t-butyl methacrylate are more preferred.

側鎖に脂環構造を有する基を含有するモノマーの具体例としては、例えば炭素原子数5〜20個の脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリレートが挙げられる。より具体的な例としては、例えば(メタ)アクリル酸(ビシクロ〔2.2.1]ヘプチル−2)、(メタ)アクリル酸−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3−メチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3,5−ジメチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3−エチルアダマンチル、(メタ)アクリル酸−3−メチル−5−エチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3,5,8−トリエチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3,5−ジメチル−8−エチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸2−メチル−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸2−エチル−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシ−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸オクタヒドロ−4,7−メンタノインデン−5−イル、(メタ)アクリル酸オクタヒドロ−4,7−メンタノインデン−1−イルメチル、(メタ)アクリル酸−1−メンチル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニル、(メタ)アクリル酸−3−ヒドロキシ−2,6,6−トリメチル−ビシクロ〔3.1.1〕ヘプチル、(メタ)アクリル酸−3,7,7−トリメチル−4−ヒドロキシ−ビシクロ〔4.1.0〕ヘプチル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸フェンチル、(メタ)アクリル酸−2,2,5−トリメチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル等が挙げられる。これら(メタ)アクリル酸エステルの中でも、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸フェンチル、(メタ)アクリル酸1−メンチル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニルが好ましく、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸−2−アダマンチルが特に好ましい。   Specific examples of the monomer containing a group having an alicyclic structure in the side chain include, for example, (meth) acrylate having an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 20 carbon atoms. More specific examples include, for example, (meth) acrylic acid (bicyclo [2.2.1] heptyl-2), (meth) acrylic acid-1-adamantyl, (meth) acrylic acid-2-adamantyl, ) -3-Methyl-1-adamantyl acrylate, -3,5-dimethyl-1-adamantyl (meth) acrylate, -3-ethyladamantyl (meth) acrylate, -3-methyl-5 (meth) acrylate -Ethyl-1-adamantyl, (meth) acrylic acid-3,5,8-triethyl-1-adamantyl, (meth) acrylic acid-3,5-dimethyl-8-ethyl-1-adamantyl, (meth) acrylic acid 2-methyl-2-adamantyl, 2-ethyl-2-adamantyl (meth) acrylate, 3-hydroxy-1-adamantyl (meth) acrylate, (meth) acyl Octahydro-4,7-menthanoinden-5-yl luate, octahydro-4,7-menthanoinden-1-ylmethyl (meth) acrylate, 1-menthyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid Dicyclopentanyl, 3-hydroxy-2,6,6-trimethyl-bicyclo [3.1.1] heptyl (meth) acrylate, -3,7,7-trimethyl-4-hydroxy (meth) acrylate -Bicyclo [4.1.0] heptyl, (nor) bornyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, fentyl (meth) acrylate, -2,2,5-trimethylcyclohexyl (meth) acrylate, And cyclohexyl (meth) acrylate. Among these (meth) acrylates, cyclohexyl (meth) acrylate, (nor) bornyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, 1-adamantyl (meth) acrylate, and (meth) acrylic acid- 2-adamantyl, fentyl (meth) acrylate, 1-menthyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, (nor) bornyl (meth) acrylate, ( Isobornyl (meth) acrylate and 2-adamantyl (meth) acrylate are particularly preferred.

(A)成分が側鎖に分岐構造及び/又は脂環構造を有する基を含有することにより、基材に対する良好な密着性、特にインデックスマッチング層を有する基材に対する良好な密着性を得ることができる。また、側鎖に脂環構造を有する基を有すことにより、硬化膜の透湿度を低減することができる。   When the component (A) contains a group having a branched structure and / or an alicyclic structure in the side chain, it is possible to obtain good adhesion to a substrate, particularly to a substrate having an index matching layer. it can. Further, by having a group having an alicyclic structure in the side chain, the moisture permeability of the cured film can be reduced.

側鎖に酸性基を有する基を含有するモノマーの具体例としては、公知のものの中から適宜選択することができ、例えば、(メタ)アクリル酸、ビニル安息香酸、マレイン酸、マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸、イタコン酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、α−シアノ桂皮酸、アクリル酸ダイマー、水酸基を有するモノマーと環状酸無水物との付加反応物、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは、適宜製造したものを使用してもよいし、市販品を使用してもよい。   Specific examples of the monomer containing a group having an acidic group in the side chain can be appropriately selected from known monomers, and include, for example, (meth) acrylic acid, vinylbenzoic acid, maleic acid, and monoalkyl maleate. , Fumaric acid, itaconic acid, crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, α-cyanocinnamic acid, acrylic acid dimer, an addition reaction product of a monomer having a hydroxyl group with a cyclic acid anhydride, ω-carboxy-polycaprolactone mono (meta A) acrylate and the like. These may be appropriately manufactured or commercially available ones.

(A)成分が側鎖に酸性基を有する基を含有することにより、アルカリ現像によるパターニングを可能とすることができる。   When the component (A) contains a group having an acidic group in a side chain, patterning by alkali development can be performed.

側鎖にエチレン性不飽和基を有する基としては、特に制限はなく、エチレン性不飽和基としては、(メタ)アクリロイル基が好ましい。また、エチレン性不飽和基とモノマーとの連結はエステル基、アミド基、カルバモイル基などの2価の連結基であれば特に制限はない。側鎖にエチレン性不飽和基を導入する方法は公知の方法の中から適宜選択することができ、例えば、酸性基を持つ基にエポキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法、ヒドロキシ基を持つ基にイソシアネート基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法、イソシアネート基を持つ基にヒドロキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法などが挙げられる。その中でも、酸性基を持つ繰り返し単位にエポキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法が最も製造が容易であり、低コストである点で好ましい。   The group having an ethylenically unsaturated group in the side chain is not particularly limited, and a (meth) acryloyl group is preferable as the ethylenically unsaturated group. The link between the ethylenically unsaturated group and the monomer is not particularly limited as long as it is a divalent linking group such as an ester group, an amide group, and a carbamoyl group. The method for introducing an ethylenically unsaturated group into the side chain can be appropriately selected from known methods. For example, a method for adding a (meth) acrylate having an epoxy group to a group having an acidic group, a method for adding a hydroxy group, A method of adding a (meth) acrylate having an isocyanate group to a group having the same, a method of adding a (meth) acrylate having a hydroxy group to a group having an isocyanate group, and the like can be given. Among them, a method of adding a (meth) acrylate having an epoxy group to a repeating unit having an acidic group is preferred because it is the easiest to manufacture and the cost is low.

(A)成分が側鎖にエチレン性不飽和基を有する基を含有することにより、基材に対する良好な密着性、特にインデックスマッチング層を有する基材に対する良好な密着性を得ることができる。また、硬化膜の透湿度を低減することができる。   When the component (A) contains a group having an ethylenically unsaturated group in the side chain, good adhesion to a substrate, particularly good adhesion to a substrate having an index matching layer can be obtained. Further, the moisture permeability of the cured film can be reduced.

(A)成分を構成するモノマー全量を基準として、側鎖に分岐構造及び/又は脂環構造を有する基を構成するモノマーの割合は、10〜70モル%であることが好ましく、15〜65モル%であることがより好ましく、20〜60モル%であることがさらに好ましい。また、(A)成分を構成するモノマー全量を基準として、側鎖に酸性基を有する基を構成するモノマーの割合は、5〜70モル%であることが好ましく、10〜60モル%であることがより好ましく、20〜50モル%がさらに好ましい。更に、(A)成分を構成するモノマー全量を基準として、側鎖にエチレン性不飽和基を有する基を構成するモノマーの割合は、5〜70モル%であることが好ましく、10〜60モル%であることがより好ましく、20〜50モル%がさらに好ましい。上記モノマーの割合を満たすことで、アルカリ現像によるパターニング性、基材へのラミネート性、及び、インデックスマッチング層を有していてもよい基材に対する良好な密着性をバランス良く向上させることができる。   Based on the total amount of the monomers constituting the component (A), the proportion of the monomers constituting the group having a branched structure and / or an alicyclic structure in the side chain is preferably from 10 to 70 mol%, preferably from 15 to 65 mol%. %, More preferably 20 to 60 mol%. Further, based on the total amount of the monomers constituting the component (A), the proportion of the monomers constituting the group having an acidic group in the side chain is preferably from 5 to 70 mol%, more preferably from 10 to 60 mol%. Is more preferable, and 20 to 50 mol% is further preferable. Further, based on the total amount of the monomers constituting the component (A), the proportion of the monomers constituting the group having an ethylenically unsaturated group in the side chain is preferably from 5 to 70 mol%, more preferably from 10 to 60 mol%. Is more preferably 20 to 50 mol%. By satisfying the proportion of the monomer, the patterning property by alkali development, the laminating property to the base material, and the good adhesion to the base material which may have the index matching layer can be improved in a well-balanced manner.

(A)成分の重量平均分子量は、解像度の観点から、10,000〜200,000であることが好ましく、15,000〜150,000であることがより好ましく、30,000〜150,000であることがさらに好ましく、30,000〜100,000であることが特に好ましく、40,000〜100,000であることが極めて好ましい。なお、重量平均分子量は、本明細書の実施例に記載したゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により測定することができる。   The weight average molecular weight of the component (A) is preferably from 10,000 to 200,000, more preferably from 15,000 to 150,000, more preferably from 30,000 to 150,000, from the viewpoint of resolution. More preferably, it is particularly preferably from 30,000 to 100,000, and most preferably from 40,000 to 100,000. In addition, the weight average molecular weight can be measured by the gel permeation chromatography method described in Examples of the present specification.

(A)成分の酸価は、所望の形状を有する硬化膜(硬化膜パターン)をアルカリ現像で容易に形成する観点から、75mgKOH/g以上とすることが好ましい。また、硬化膜形状の制御容易性と硬化膜の防錆性との両立を図る観点から、(A)成分の酸価は、75〜200mgKOH/gであることが好ましく、75〜150mgKOH/gであることがより好ましく、75〜120mgKOH/gであることがさらに好ましい。なお、酸価は、本明細書の実施例に記載した方法で測定することができる。   The acid value of the component (A) is preferably 75 mgKOH / g or more from the viewpoint of easily forming a cured film (cured film pattern) having a desired shape by alkali development. In addition, from the viewpoint of achieving both easy control of the cured film shape and rust prevention of the cured film, the acid value of the component (A) is preferably 75 to 200 mgKOH / g, and is preferably 75 to 150 mgKOH / g. More preferably, it is more preferably 75 to 120 mgKOH / g. Incidentally, the acid value can be measured by the method described in the examples of the present specification.

なお、第一の樹脂層20は、上述した(A)バインダーポリマー以外の他のバインダーポリマーを更に含有していてもよい。   Note that the first resin layer 20 may further contain a binder polymer other than the above-mentioned (A) binder polymer.

<光重合性化合物>
(B)成分としては、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物が挙げられる。金属配線及び透明電極パターンの腐食抑制の観点から、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物として、下記一般式(B−1)で表されるジ(メタ)アクリレート化合物を含むことが好ましい。
<Photopolymerizable compound>
Examples of the component (B) include compounds having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton. From the viewpoint of suppressing corrosion of the metal wiring and the transparent electrode pattern, it is preferable to include a di (meth) acrylate compound represented by the following general formula (B-1) as a compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton. .

Figure 2018179095
[一般式(B−1)中、R及びRは、それぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、Xは、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する2価の基を示し、R及びRは、それぞれ独立に炭素数1〜4のアルキレン基を示し、n及びmは、それぞれ独立に0〜2の整数を示し、p及びqは、それぞれ独立に0以上の整数を示し、p+q=0〜10となるように選択される。]
Figure 2018179095
[In the general formula (B-1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group; X represents a trivalent group having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton; 3 and R 4 each independently represent an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms, n and m each independently represent an integer of 0 to 2, p and q each independently represent an integer of 0 or more. , P + q = 0 to 10 are selected. ]

上記一般式(B−1)において、R及びRは、エチレン基又はプロピレン基であることが好ましく、エチレン基であることがより好ましい。また、プロピレン基はn−イソプロピレン基及びイソプロピレン基のいずれであってもよい。In the general formula (B-1), R 3 and R 4 are preferably an ethylene group or a propylene group, and more preferably an ethylene group. The propylene group may be any of an n-isopropylene group and an isopropylene group.

上記一般式(B−1)で表される化合物によれば、Xに含まれるトリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する2価の基が、嵩高い構造を有することで、硬化膜の低透湿性を実現し、金属配線及び透明電極の腐食抑制性を向上されることができる。ここで、本明細書中における「トリシクロデカン骨格」及び「トリシクロデセン骨格」とは、それぞれ以下の構造(それぞれ、結合手は任意の箇所である)をいう。   According to the compound represented by the general formula (B-1), the divalent group having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton contained in X has a bulky structure, so that a low cured film is obtained. The moisture permeability can be realized, and the corrosion inhibition of the metal wiring and the transparent electrode can be improved. Here, “tricyclodecane skeleton” and “tricyclodecene skeleton” in the present specification refer to the following structures, respectively (the bond is an arbitrary position).

Figure 2018179095
Figure 2018179095

トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物としては、得られる硬化膜パターンの低透湿性の観点から、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレートなどのトリシクロデカン骨格を有する化合物が好ましい。これらは、DCP及びA−DCP(いずれも新中村化学工業株式会社製)として入手可能である。   As the compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton, a compound having a tricyclodecane skeleton such as tricyclodecane dimethanol di (meth) acrylate is preferable from the viewpoint of low moisture permeability of the obtained cured film pattern. These are available as DCP and A-DCP (both manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.).

(B)成分における、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物の割合は、透湿度及び段差を低減する観点から、感光性樹脂組成物に含まれる光重合性化合物の合計量100質量部のうち、50質量部以上であることが好ましく、70質量部以上であることがより好ましく、80質量部以上であることがさらに好ましい。   In the component (B), the proportion of the compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton is preferably 100 parts by mass in terms of the total amount of the photopolymerizable compound contained in the photosensitive resin composition from the viewpoint of reducing the moisture permeability and the level difference. Of these, the amount is preferably at least 50 parts by mass, more preferably at least 70 parts by mass, even more preferably at least 80 parts by mass.

(B)成分である光重合性化合物としては、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物とは別の、エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を用いることができる。エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物としては、例えば分子内に一つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する一官能ビニルモノマー、分子内に二つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する二官能ビニルモノマー、又は分子内に少なくとも三つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する多官能ビニルモノマーが挙げられる。   As the photopolymerizable compound as the component (B), a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group, which is different from a compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton, can be used. As the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group, for example, a monofunctional vinyl monomer having one polymerizable ethylenically unsaturated group in a molecule, and having two polymerizable ethylenically unsaturated groups in a molecule Examples include bifunctional vinyl monomers or polyfunctional vinyl monomers having at least three polymerizable ethylenically unsaturated groups in the molecule.

(A)成分及び(B)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、(A)成分が35〜85質量部であることが好ましく、40〜80質量部であることがより好ましく、50〜70質量部であることがさらに好ましく、55〜65質量部であることが特に好ましい。   The content of the component (A) and the component (B) is preferably 35 to 85 parts by mass, more preferably 40 to 50 parts by mass, based on 100 parts by mass of the total of the components (A) and (B). The amount is more preferably 80 parts by mass, further preferably 50 to 70 parts by mass, and particularly preferably 55 to 65 parts by mass.

硬化膜パターンの低透湿化及び密着性向上の観点からは、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物が、5質量部以上であることが好ましく、10質量部以上であることがより好ましく、20質量部以上であることがさらに好ましく、25質量部以上であることが特に好ましい。本実施形態においては、上記の割合で配合されるトリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物に、光重合開始剤として後述するアシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤を組み合わせることにより、段差を抑制しつつ、高水準の低透湿性及び高密着性を有する硬化膜パターンを形成することができる。   From the viewpoint of reducing the moisture permeability of the cured film pattern and improving the adhesion, the compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton is preferably 5 parts by mass based on 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). It is preferably at least 10 parts by mass, more preferably at least 10 parts by mass, further preferably at least 20 parts by mass, particularly preferably at least 25 parts by mass. In the present embodiment, the step having a tricyclodecane skeleton or a compound having a tricyclodecene skeleton blended in the above ratio is combined with an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator described later as a photopolymerization initiator to reduce the level difference. It is possible to form a cured film pattern having a high level of low moisture permeability and high adhesion while controlling.

<光重合開始剤>
(C)成分としては、アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤が用いられる。(C)成分は、アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤以外の従来公知の光重合開始剤を併用することもできる。
<Photopolymerization initiator>
As the component (C), an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator is used. As the component (C), a conventionally known photopolymerization initiator other than the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator can be used in combination.

アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤としては、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ホスフィネートが挙げられる。アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤は、IRGACURE TPO、IRGACURE 819、IRGACURE TPO−L(以上、BASF株式会社製、製品名)として入手可能である。アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤を用いることにより、感光性樹脂層において充分な重合反応率を得ることができ、パターン見えを抑制することができる。   Examples of the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator include 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, 2,4,6- Trimethylbenzoyl-phosphinate. Acylphosphine oxide-based photopolymerization initiators are available as IRGACURE TPO, IRGACURE 819, and IRGACURE TPO-L (product names, manufactured by BASF Corporation). By using an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator, a sufficient polymerization reaction rate can be obtained in the photosensitive resin layer, and the pattern appearance can be suppressed.

アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤以外の光重合開始剤としては、オキシムエステル系光重合開始剤が挙げられる。アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤とオキシムエステル系光重合開始剤とを併用することで、形成される硬化膜パターンの透湿度をさらに低減することができる。   Photopolymerization initiators other than acylphosphine oxide-based photopolymerization initiators include oxime ester-based photopolymerization initiators. By using an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator and an oxime ester-based photopolymerization initiator in combination, the moisture permeability of the formed cured film pattern can be further reduced.

オキシムエステル系光重合開始剤は、下記一般式(1)で表される化合物、下記一般式(2)で表される化合物、又は下記一般式(3)で表される化合物であることが好ましい。   The oxime ester-based photopolymerization initiator is preferably a compound represented by the following general formula (1), a compound represented by the following general formula (2), or a compound represented by the following general formula (3). .

Figure 2018179095
Figure 2018179095

式(1)中、R11及びR12は、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数4〜10のシクロアルキル基、フェニル基又はトリル基を示し、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数4〜6のシクロアルキル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましく、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数4〜6のシクロアルキル基、フェニル基又はトリル基であることがより好ましく、メチル基、シクロペンチル基、フェニル基又はトリル基であることがさらに好ましい。R13は、−H、−OH、−COOH、−O(CH)OH、−O(CHOH、−COO(CH)OH又は−COO(CHOHを示し、−H、−O(CH)OH、−O(CHOH、−COO(CH)OH、又は−COO(CHOHであることが好ましく、−H、−O(CHOH、又は−COO(CHOHであることがより好ましい。In the formula (1), R 11 and R 12 each independently represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 10 carbon atoms, a phenyl group or a tolyl group; An alkyl group, a cycloalkyl group having 4 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a tolyl group is preferable, and an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a tolyl group is preferable. More preferably, it is more preferably a methyl group, a cyclopentyl group, a phenyl group or a tolyl group. R 13 represents —H, —OH, —COOH, —O (CH 2 ) OH, —O (CH 2 ) 2 OH, —COO (CH 2 ) OH or —COO (CH 2 ) 2 OH; H, —O (CH 2 ) OH, —O (CH 2 ) 2 OH, —COO (CH 2 ) OH, or —COO (CH 2 ) 2 OH, preferably —H, —O (CH 2) ) 2 OH or —COO (CH 2 ) 2 OH.

Figure 2018179095
Figure 2018179095

式(2)中、2つのR14は、それぞれ独立に、炭素数1〜6のアルキル基を示し、プロピル基であることが好ましい。R15は、NO又はArCO(ここで、Arはアリール基を示す。)を示し、Arとしては、トリル基が好ましい。R16及びR17は、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基、又はトリル基を示し、メチル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましい。In the formula (2), each of two R 14 independently represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and is preferably a propyl group. R 15 represents NO 2 or ArCO (where Ar represents an aryl group), and Ar is preferably a tolyl group. R 16 and R 17 each independently represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a phenyl group, or a tolyl group, and is preferably a methyl group, a phenyl group, or a tolyl group.

Figure 2018179095
Figure 2018179095

式(3)中、R18は、炭素数1〜6のアルキル基を示し、エチル基であることが好ましい。R19はアセタール結合を有する有機基であり、後述する式(3−1)に示す化合物が有するR19に対応する置換基であることが好ましい。R20及びR21は、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示し、メチル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましく、メチル基であることがより好ましい。R22は、水素原子又はアルキル基を示す。In the formula (3), R 18 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and is preferably an ethyl group. R 19 is an organic group having an acetal bond, and is preferably a substituent corresponding to R 19 of a compound represented by the following formula (3-1). R 20 and R 21 each independently represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a phenyl group or a tolyl group, preferably a methyl group, a phenyl group or a tolyl group, and more preferably a methyl group. . R 22 represents a hydrogen atom or an alkyl group.

上記一般式(1)で表される化合物は、IRGACURE OXE 01(BASF株式会社製、製品名)として入手可能である。   The compound represented by the general formula (1) is available as IRGACURE OXE 01 (product name, manufactured by BASF Corporation).

上記一般式(2)で表される化合物は、DFI−091(ダイトーケミックス株式会社製、製品名)として入手可能である。   The compound represented by the general formula (2) is available as DFI-091 (manufactured by Daito Chemmix, Inc., product name).

上記一般式(3)で表される化合物は、アデカオプトマーN−1919(株式会社ADEKA製、製品名)として入手可能である。   The compound represented by the general formula (3) is available as ADEKA OPTOMER N-1919 (product name, manufactured by ADEKA Corporation).

(C)成分の含有量は、光感度及び解像度に優れる点では、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、0.1〜10質量部であることが好ましく、1〜5質量部であることがより好ましく、1〜3質量部であることがさらに好ましく、1〜2質量部であることが特に好ましい。   The content of the component (C) is preferably 0.1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total of the components (A) and (B) from the viewpoint of excellent light sensitivity and resolution, and is preferably 1 to 10 parts by mass. The amount is more preferably from 5 to 5 parts by mass, further preferably from 1 to 3 parts by mass, and particularly preferably from 1 to 2 parts by mass.

(C)成分における、アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤の割合は、露光感度の観点から、感光性樹脂組成物に含まれる光重合開始剤の合計量100質量部のうち、1質量部以上であることが好ましく、3質量部以上であることがより好ましく、5質量部以上であることがさらに好ましい。   In the component (C), the proportion of the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator is preferably at least 1 part by mass in the total amount of 100 parts by mass of the photopolymerization initiator contained in the photosensitive resin composition from the viewpoint of exposure sensitivity. Is preferably 3 parts by mass or more, more preferably 5 parts by mass or more.

また、アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤とオキシムエステル化合物とを併用する場合、パターン見え、信頼性、色味、硬化性の観点から、アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤とオキシムエステル化合物との質量比が8:1〜0.5:1であることが好ましく、4:1〜2:1であることがより好ましい。   When an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator and an oxime ester compound are used in combination, the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator and the oxime ester compound are used in view of pattern appearance, reliability, color, and curability. Is preferably from 8: 1 to 0.5: 1, and more preferably from 4: 1 to 2: 1.

本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、硬化膜の防錆性をより向上させる観点から、メルカプト基を有するトリアゾール化合物、メルカプト基を有するテトラゾール化合物、メルカプト基を有するチアジアゾール化合物、アミノ基を有するトリアゾール化合物及びアミノ基を有するテトラゾール化合物からなる群より選択される少なくとも一種の化合物(以下、(D)成分ともいう)をさらに含有することが好ましい。メルカプト基を有するトリアゾール化合物としては、例えば、3−メルカプト−トリアゾール(和光純薬株式会社製、製品名:3MT)が挙げられる。また、メルカプト基を有するチアジアゾール化合物としては、例えば、2−アミノ−5−メルカプト−1,3,4−チアジアゾール(和光純薬株式会社製、製品名:ATT)が挙げられる。   The photosensitive resin composition according to the present embodiment has a triazole compound having a mercapto group, a tetrazole compound having a mercapto group, a thiadiazole compound having a mercapto group, and an amino group, from the viewpoint of further improving the rust resistance of the cured film. It is preferable that the composition further contains at least one compound selected from the group consisting of a triazole compound and a tetrazole compound having an amino group (hereinafter, also referred to as a component (D)). Examples of the triazole compound having a mercapto group include 3-mercapto-triazole (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., product name: 3MT). Examples of the thiadiazole compound having a mercapto group include 2-amino-5-mercapto-1,3,4-thiadiazole (product name: ATT, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.).

上記アミノ基を有するトリアゾール化合物としては、例えばベンゾトリアゾール、1H−ベンゾトリアゾール−1−アセトニトリル、ベンゾトリアゾール−5−カルボン酸、1H−ベンゾトリアゾール−1−メタノール、カルボキシベンゾトリアゾール等にアミノ基が置換した化合物、3−メルカプトトリアゾール、5−メルカプトトリアゾール等のメルカプト基を含むトリアゾール化合物にアミノ基が置換した化合物などが挙げられる。   As the triazole compound having the amino group, for example, benzotriazole, 1H-benzotriazole-1-acetonitrile, benzotriazole-5-carboxylic acid, 1H-benzotriazole-1-methanol, carboxybenzotriazole and the like are substituted with an amino group. Examples of the compound include compounds in which a triazole compound containing a mercapto group such as 3-mercaptotriazole and 5-mercaptotriazole is substituted with an amino group.

上記アミノ基を有するテトラゾール化合物としては、例えば5−アミノ−1H−テトラゾール、1−メチル−5−アミノ−テトラゾール、1−メチル−5−メルカプト−1H−テトラゾール、1−カルボキシメチル−5−アミノ−テトラゾール等が挙げられる。これらのテトラゾール化合物は、その水溶性塩であってもよい。具体例としては、1−メチル−5−アミノ−テトラゾールのナトリウム、カリウム、リチウム等のアルカリ金属塩などが挙げられる。   Examples of the tetrazole compound having an amino group include 5-amino-1H-tetrazole, 1-methyl-5-amino-tetrazole, 1-methyl-5-mercapto-1H-tetrazole, 1-carboxymethyl-5-amino- Tetrazole and the like. These tetrazole compounds may be water-soluble salts thereof. Specific examples thereof include alkali metal salts of 1-methyl-5-amino-tetrazole such as sodium, potassium and lithium.

感光性樹脂組成物が(D)成分を含有する場合、その含有量は、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、0.05〜5.0質量部が好ましく、0.1〜2.0質量部がより好ましく、0.2〜1.0質量部がさらに好ましく、0.3〜0.8質量部が特に好ましい。   When the photosensitive resin composition contains the component (D), the content is preferably 0.05 to 5.0 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total of the components (A) and (B). 0.1 to 2.0 parts by mass is more preferable, 0.2 to 1.0 parts by mass is more preferable, and 0.3 to 0.8 parts by mass is particularly preferable.

本実施形態に係る第一の樹脂層を形成する感光性樹脂組成物には、その他の添加剤として、必要に応じて、エチレン性不飽和基を有するリン酸エステル、シランカップリング剤等の密着性付与剤、防錆剤、レベリング剤、可塑剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、酸化防止剤、香料、熱架橋剤、重合禁止剤などを(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、各々0.01〜20質量部程度含有させることができる。これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   In the photosensitive resin composition forming the first resin layer according to the present embodiment, as other additives, if necessary, adhesion of a phosphoric acid ester having an ethylenically unsaturated group, a silane coupling agent, etc. The components (A) and (B) include a property imparting agent, a rust inhibitor, a leveling agent, a plasticizer, a filler, an antifoaming agent, a flame retardant, a stabilizer, an antioxidant, a fragrance, a thermal crosslinking agent, and a polymerization inhibitor. Each component can be contained in an amount of about 0.01 to 20 parts by mass based on 100 parts by mass of the total amount of the components. These can be used alone or in combination of two or more.

第一の樹脂層の厚みは1〜15μmであってもよく、2〜10μmであることが好ましく、3〜8μmであることがより好ましく、4〜6μmであることがさらに好ましく、5〜6μmであることが特に好ましい。厚みが1〜15μmであることにより、塗布時の欠陥が少なく、透明性に優れた成膜が可能となる。また、硬化後における第一の樹脂層の厚み(即ち、硬化膜パターンの厚み)も上記範囲内であることが好ましい。   The thickness of the first resin layer may be 1 to 15 μm, preferably 2 to 10 μm, more preferably 3 to 8 μm, still more preferably 4 to 6 μm, and 5 to 6 μm. It is particularly preferred that there is. When the thickness is 1 to 15 μm, defects during coating are small, and a film having excellent transparency can be formed. The thickness of the first resin layer after curing (that is, the thickness of the cured film pattern) is also preferably within the above range.

(第二の樹脂層)
第二の樹脂層30は、金属酸化物粒子を含有する層である。第二の樹脂層30は、金属酸化物粒子を含有することにより、第一の樹脂層20よりも相対的に高い屈折率を有することができる。第二の樹脂層30は、633nmにおける屈折率が1.40〜1.90の範囲内であることが好ましく、1.50〜1.90であることがより好ましく、1.53〜1.85であることが更に好ましく、1.55〜1.75であることが特に好ましい。また、第二の樹脂層が硬化性成分を含む場合、硬化後における第二の樹脂層の633nmにおける屈折率も上記範囲内であることが好ましい。
(Second resin layer)
The second resin layer 30 is a layer containing metal oxide particles. The second resin layer 30 can have a relatively higher refractive index than the first resin layer 20 by containing metal oxide particles. The refractive index of the second resin layer 30 at 633 nm is preferably in the range of 1.40 to 1.90, more preferably 1.50 to 1.90, and 1.53 to 1.85. Is more preferable, and particularly preferably 1.55 to 1.75. When the second resin layer contains a curable component, the refractive index of the second resin layer after curing at 633 nm is preferably within the above range.

第二の樹脂層30の633nmにおける屈折率が上記範囲内であると、硬化膜パターンをITO等の透明電極パターン上に設けた場合に、硬化膜パターン上に使用される各種部材(例えば、モジュール化する際に使用するカバーガラスと透明電極パターンとを接着するOCA)との屈折率の中間値となり、ITO等の透明電極パターンが形成されている部分と形成されていない部分での光学的な反射による色差を小さくすることが可能となり、骨見え現象を防止できる。また、画面全体の反射光強度を低減することが可能となり、画面上の透過率低下を抑制することが可能となる。   When the refractive index at 633 nm of the second resin layer 30 is within the above range, when a cured film pattern is provided on a transparent electrode pattern such as ITO, various members used on the cured film pattern (for example, a module) Between the cover glass used to form the transparent electrode pattern and the cover electrode used to form the transparent electrode pattern, and the optical index between the portion where the transparent electrode pattern such as ITO is formed and the portion where the transparent electrode pattern is not formed. The color difference due to reflection can be reduced, and the bone appearance phenomenon can be prevented. In addition, it is possible to reduce the intensity of reflected light on the entire screen, and to suppress a decrease in transmittance on the screen.

ITO等の透明電極の屈折率は、1.80〜2.10であることが好ましく、1.85〜2.05であることがより好ましく、1.90〜2.00であることがさらに好ましい。また、OCA等の部材の屈折率は1.45〜1.55であることが好ましく、1.47〜1.53であることがより好ましく、1.48〜1.51であることがさらに好ましい。   The refractive index of a transparent electrode such as ITO is preferably from 1.80 to 2.10, more preferably from 1.85 to 2.05, and even more preferably from 1.90 to 2.00. . Further, the refractive index of a member such as OCA is preferably from 1.45 to 1.55, more preferably from 1.47 to 1.53, even more preferably from 1.48 to 1.51. .

第二の樹脂層30は、450〜650nmの波長域における最小光透過率が80%以上であることが好ましく、85%以上であることがより好ましく、90%以上であることがさらに好ましい。また、第二の樹脂層が硬化性成分を含む場合、硬化後における第二の樹脂層の450〜650nmの波長域における最小光透過率も上記範囲内であることが好ましい。   The second resin layer 30 has a minimum light transmittance of preferably at least 80%, more preferably at least 85%, even more preferably at least 90% in a wavelength range of 450 to 650 nm. When the second resin layer contains a curable component, the minimum light transmittance of the second resin layer after curing in a wavelength range of 450 to 650 nm is preferably within the above range.

第二の樹脂層30は、上記の(A)成分、(B)成分及び(C)成分を含有することができ、必要に応じて、上記(D)成分を更に含有することができる。第二の樹脂層30は(B)成分、(C)成分等の光重合成分を必ずしも含有する必要はなく、層形成により隣接する樹脂層から移行する光重合成分を利用して第二の樹脂層を光硬化させることもできる。   The second resin layer 30 can contain the above components (A), (B) and (C), and can further contain the above component (D) as needed. The second resin layer 30 does not necessarily need to contain a photopolymerization component such as the component (B) and the component (C). The layers can also be photocured.

第二の樹脂層30は、金属酸化物粒子(以下、(E)成分ともいう)を含有する。金属酸化物粒子としては、特に波長633nmにおける屈折率が1.50以上である、金属酸化物粒子を含有することが好ましい。これにより、転写型感光性フィルムを調製した際、第二の樹脂層の透明性及び波長633nmにおける屈折率を向上させることが可能となる。また基材への吸着を抑制しつつ、現像性を向上させることができる。   The second resin layer 30 contains metal oxide particles (hereinafter, also referred to as component (E)). The metal oxide particles preferably contain metal oxide particles having a refractive index of 1.50 or more at a wavelength of 633 nm. This makes it possible to improve the transparency of the second resin layer and the refractive index at a wavelength of 633 nm when a transfer-type photosensitive film is prepared. Further, the developability can be improved while suppressing adsorption to the base material.

金属酸化物粒子としては、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化スズ、酸化亜鉛、酸化インジウムスズ、酸化インジウム、酸化アルミウム、酸化イットリウム等の金属酸化物からなる粒子が挙げられる。これらの中でも、骨見え現象抑制の観点から、酸化ジルコニウム又は酸化チタンの粒子が好ましい。   Examples of the metal oxide particles include particles made of metal oxides such as zirconium oxide, titanium oxide, tin oxide, zinc oxide, indium tin oxide, indium oxide, aluminum oxide, and yttrium oxide. Among these, particles of zirconium oxide or titanium oxide are preferable from the viewpoint of suppressing the bone appearance phenomenon.

酸化ジルコニウム粒子としては、透明電極の材料がITOの場合、屈折率向上と、ITO及び透明基材との密着性の観点から、酸化ジルコニウムナノ粒子を用いることが好ましい。酸化ジルコニウムナノ粒子の中でも、粒度分布Dmaxが40nm以下であることが好ましい。   As the zirconium oxide particles, when the material of the transparent electrode is ITO, it is preferable to use zirconium oxide nanoparticles from the viewpoint of improving the refractive index and the adhesion between the ITO and the transparent substrate. Among the zirconium oxide nanoparticles, the particle size distribution Dmax is preferably 40 nm or less.

酸化ジルコニウムナノ粒子は、OZ−S30K(日産化学工業株式会社製、製品名)、OZ−S40K−AC(日産化学工業株式会社製、製品名)、SZR−K(酸化ジルコニウムメチルエチルケトン分散液、堺化学工業株式会社製、製品名)、SZR−M(酸化ジルコニウムメタノール分散液、堺化学工業株式会社製、製品名)として商業的に入手可能である。   Zirconium oxide nanoparticles are OZ-S30K (Nissan Chemical Industries, Ltd., product name), OZ-S40K-AC (Nissan Chemical Industries, Ltd., product name), SZR-K (Zirconium oxide methyl ethyl ketone dispersion, Sakai Chemical It is commercially available as SZR-M (Zirconium oxide methanol dispersion, product name, manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.).

第二の樹脂層30には、(E)成分として酸化チタンナノ粒子を含有させることも可能である。また、酸化チタンナノ粒子の中でも、粒度分布Dmaxが50nm以下であることが好ましく、10〜50nmがより好ましい。   The second resin layer 30 may contain titanium oxide nanoparticles as the component (E). Further, among the titanium oxide nanoparticles, the particle size distribution Dmax is preferably 50 nm or less, and more preferably 10 to 50 nm.

(E)成分として、上記金属酸化物粒子のほかに、例えばMg、Al、Si、Ca、Cr、Cu、Zn、Ba等の原子を含む酸化物粒子または硫化物粒子を用いることもできる。これらは、単独で又は二種類以上を組み合わせて使用できる。   As the component (E), besides the above metal oxide particles, for example, oxide particles or sulfide particles containing atoms such as Mg, Al, Si, Ca, Cr, Cu, Zn, and Ba can also be used. These can be used alone or in combination of two or more.

また上記金属酸化物粒子の他に、例えばトリアジン環を有する化合物、イソシアヌル酸骨格を有する化合物、フルオレン骨格を有する化合物等の有機化合物を用いることも可能である。これにより波長633nmにおける屈折率を向上させることができる。   In addition to the metal oxide particles, for example, an organic compound such as a compound having a triazine ring, a compound having an isocyanuric acid skeleton, and a compound having a fluorene skeleton can also be used. Thereby, the refractive index at a wavelength of 633 nm can be improved.

上記第二の樹脂層30の厚みは、0.01〜1μmであってもよく、0.03〜0.5μmであることが好ましく、0.04〜0.3μmであることがより好ましく、0.07〜0.25μmであることがさらに好ましく、0.05〜0.2μmであることが特に好ましい。厚みが0.01〜1μmであることにより、上述の画面全体の反射光強度をより低減することが可能となる。また、硬化後における第二の樹脂層の厚みも上記範囲内であることが好ましい。   The thickness of the second resin layer 30 may be 0.01 to 1 μm, preferably 0.03 to 0.5 μm, more preferably 0.04 to 0.3 μm, It is more preferably from 0.07 to 0.25 μm, and particularly preferably from 0.05 to 0.2 μm. When the thickness is 0.01 to 1 μm, the above-described reflected light intensity of the entire screen can be further reduced. Further, the thickness of the second resin layer after curing is also preferably within the above range.

第二の樹脂層30の屈折率は、第二の樹脂層が単層で、膜厚が膜厚方向で均一な場合、ETA−TCM(AudioDevGmbH株式会社製、製品名)を用いて以下のように求めることができる。また、以下の測定は、25℃の条件下で行う。
(1)第二の樹脂層を形成するための塗布液を、厚み0.7mm、縦10cm×横10cmのガラス基材上にスピンコーターで均一に塗布し、100℃の熱風滞留式乾燥機で3分間乾燥して溶剤を除去し、第二の樹脂層を形成する。
(2)次いで、140℃に加熱した箱型乾燥機(三菱電機株式会社製、型番:NV50−CA)内に30分間静置し、第二の樹脂層を有する屈折率測定用試料を得る。
(3)次いで、得られた屈折率測定用試料について、ETA−TCM(AudioDevGmbH株式会社製、製品名)にて波長633nmにおける屈折率を測定する。
When the second resin layer is a single layer and the film thickness is uniform in the film thickness direction, the refractive index of the second resin layer 30 is determined as follows using ETA-TCM (AudioDevGmbH Co., Ltd., product name). Can be sought. The following measurement is performed under the condition of 25 ° C.
(1) A coating solution for forming the second resin layer is uniformly applied on a glass substrate having a thickness of 0.7 mm, a length of 10 cm and a width of 10 cm by a spin coater, and is dried by a hot air drier at 100 ° C. After drying for 3 minutes to remove the solvent, a second resin layer is formed.
(2) Then, the sample is allowed to stand in a box dryer (manufactured by Mitsubishi Electric Corporation, model number: NV50-CA) heated to 140 ° C. for 30 minutes to obtain a refractive index measurement sample having a second resin layer.
(3) Next, the refractive index of the obtained refractive index measurement sample is measured at a wavelength of 633 nm by ETA-TCM (product name, manufactured by AudioDevGmbH).

単層の第一の樹脂層における屈折率も同様の方法で測定することができる。なお、転写型感光性フィルムの形態では、第二の樹脂層単層の屈折率を測定することは難しいため、第二の樹脂層の保護フィルム側の最表面層の値とする。   The refractive index of the single-layer first resin layer can be measured in the same manner. In the transfer type photosensitive film, since it is difficult to measure the refractive index of the second resin layer single layer, the value is set to the value of the outermost surface layer of the second resin layer on the protective film side.

(他の層)
本発明の転写型感光性フィルムは、本発明の効果が得られる範囲で、適宜選択した他の層を設けてもよい。前記他の層としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、クッション層、酸素遮蔽層、剥離層、接着層等が挙げられる。転写型感光性フィルムは、これらの層を1種単独で有していてもよく、2種以上を有してもよい。また、同種の層を2以上有していてもよい。
(Other layers)
The transfer type photosensitive film of the present invention may be provided with another layer appropriately selected within a range where the effects of the present invention can be obtained. The other layer is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the purpose. Examples thereof include a cushion layer, an oxygen shielding layer, a release layer, and an adhesive layer. The transfer type photosensitive film may have one of these layers alone, or may have two or more of these layers. Further, two or more layers of the same kind may be provided.

(保護フィルム)
保護フィルム40としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体のフィルム、及び、これらのフィルムとポリエチレンの積層フィルム等が挙げられる。
(Protective film)
Examples of the protective film 40 include films of polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene-vinyl acetate copolymer, polyethylene-vinyl acetate copolymer, and laminated films of these films and polyethylene.

保護フィルム40の厚みは、5〜100μmが好ましいが、転写型感光性フィルム1をロール状に巻いて保管する観点から、70μm以下であることが好ましく、60μm以下であることがより好ましく、50μm以下であることがさらに好ましく、40μm以下であることが特に好ましい。   The thickness of the protective film 40 is preferably 5 to 100 μm, but is preferably 70 μm or less, more preferably 60 μm or less, and more preferably 50 μm or less, from the viewpoint of winding and storing the transfer photosensitive film 1 in a roll shape. Is more preferable, and particularly preferably 40 μm or less.

転写型感光性フィルム1における第一の樹脂層20及び第二の樹脂層30を硬化させた硬化膜部分(支持フィルム10及び保護フィルム40を除く)の、波長400〜700nmの可視光領域における全光線透過率(Tt)の最小値は、90.00%以上であることが好ましく、90.50%以上であることがより好ましく、90.70%以上であることがさらに好ましい。一般的な可視光波長域である400〜700nmにおける全光線透過率が90.00%以上であれば、タッチパネル(タッチセンサー)のセンシング領域の透明電極を保護する場合において、センシング領域での画像表示品質、色合い、輝度が低下することを充分抑制することができる。   The entire cured film portion (excluding the support film 10 and the protective film 40) of the transfer-type photosensitive film 1 obtained by curing the first resin layer 20 and the second resin layer 30 in the visible light region having a wavelength of 400 to 700 nm. The minimum value of the light transmittance (Tt) is preferably 90.00% or more, more preferably 90.50% or more, and further preferably 90.70% or more. If the total light transmittance in the general visible light wavelength range of 400 to 700 nm is 90.00% or more, when protecting the transparent electrode in the sensing area of the touch panel (touch sensor), image display in the sensing area is performed. It is possible to sufficiently suppress a decrease in quality, hue, and luminance.

転写型感光性フィルム1の第一の樹脂層20、第二の樹脂層30は、例えば、第一の樹脂層形成用塗布液、及び第二の樹脂層形成用塗布液を調製し、これを各々支持フィルム10、保護フィルム40上に塗布、乾燥することで形成できる。そして、転写型感光性フィルム1は、第一の樹脂層20が形成された支持フィルム10と、第二の樹脂層30が形成された保護フィルム40とを、第一の樹脂層20と第二の樹脂層30とが対向した状態で貼り合わせることにより形成できる。また、転写型感光性フィルム1は、支持フィルム10上に第一の樹脂層形成用塗布液を含有する塗布液を塗布、乾燥し、その後、第一の樹脂層20上に、第二の樹脂形成用塗布液を塗布、乾燥し、保護フィルム40を貼り付けることにより形成することもできる。   The first resin layer 20 and the second resin layer 30 of the transfer type photosensitive film 1 are prepared, for example, by preparing a first resin layer-forming coating liquid and a second resin layer-forming coating liquid. They can be formed by coating and drying on the support film 10 and the protective film 40, respectively. Then, the transfer type photosensitive film 1 is formed by combining the support film 10 on which the first resin layer 20 is formed and the protective film 40 on which the second resin layer 30 is formed with the first resin layer 20 and the second resin layer 20. Can be formed by bonding together in a state where the resin layer 30 faces the resin layer. Further, the transfer type photosensitive film 1 is applied with a coating solution containing the first resin layer forming coating solution on the support film 10, dried, and then, on the first resin layer 20, the second resin It can also be formed by applying a coating liquid for formation, drying and applying a protective film 40.

塗布液は、上述した本実施形態に係る感光性樹脂組成物、第二の樹脂層を構成する各成分を溶剤に均一に溶解又は分散することにより得ることができる。   The coating liquid can be obtained by uniformly dissolving or dispersing the photosensitive resin composition according to the present embodiment and the respective components constituting the second resin layer in a solvent.

塗布液として用いる溶剤は、特に制限は無く、公知のものが使用できる。具体的には、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、メチレングリコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、クロロホルム、塩化メチレン等が挙げられる。   The solvent used as the coating liquid is not particularly limited, and a known solvent can be used. Specifically, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, toluene, methanol, ethanol, propanol, butanol, methylene glycol, ethylene glycol, propylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether , Diethylene glycol diethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, chloroform, methylene chloride and the like.

塗布方法としては、ドクターブレードコーティング法、マイヤーバーコーティング法、ロールコーティング法、スクリーンコーティング法、スピナーコーティング法、インクジェットコーティング法、スプレーコーティング法、ディップコーティング法、グラビアコーティング法、カーテンコーティング法、ダイコーティング法等が挙げられる。   Application methods include doctor blade coating, Meyer bar coating, roll coating, screen coating, spinner coating, inkjet coating, spray coating, dip coating, gravure coating, curtain coating, and die coating. And the like.

乾燥条件に特に制限は無いが、乾燥温度は、60〜130℃とすることが好ましく、乾燥時間は、0.5〜30分とすることが好ましい。   The drying conditions are not particularly limited, but the drying temperature is preferably from 60 to 130 ° C., and the drying time is preferably from 0.5 to 30 minutes.

[硬化膜パターンの形成方法]
図2は、本発明の一実施形態に係る転写型感光性フィルムを用いて形成した硬化膜を透明電極パターン付き基材上に備える積層体を示す模式断面図である。図2に示される積層体100は、透明電極パターン50aを有する透明電極パターン付き基材50と、透明電極パターン付き基材50の透明電極パターン50a上に設けられた硬化膜60とを備える。硬化膜60は、硬化した第一の樹脂層22及び硬化した第二の樹脂層32からなる硬化膜であり、本実施形態の転写型感光性フィルム1を用いて形成されている。硬化膜60は、透明電極パターン50aの保護機能と、透明電極パターン50aの不可視化又はタッチ画面の視認性向上の両機能を満たす。以下、透明電極パターン付き基材上に硬化膜が形成された積層体の製造方法の一実施形態について説明する。
[Method of forming cured film pattern]
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a laminate having a cured film formed using the transfer photosensitive film according to one embodiment of the present invention on a substrate with a transparent electrode pattern. The laminate 100 shown in FIG. 2 includes a substrate 50 with a transparent electrode pattern having a transparent electrode pattern 50a, and a cured film 60 provided on the transparent electrode pattern 50a of the substrate 50 with a transparent electrode pattern. The cured film 60 is a cured film including the cured first resin layer 22 and the cured second resin layer 32, and is formed using the transfer photosensitive film 1 of the present embodiment. The cured film 60 satisfies both the function of protecting the transparent electrode pattern 50a and the function of making the transparent electrode pattern 50a invisible or improving the visibility of the touch screen. Hereinafter, an embodiment of a method for manufacturing a laminate in which a cured film is formed on a substrate having a transparent electrode pattern will be described.

−ラミネート工程−
まず、転写型感光性フィルム1の保護フィルム40を除去した後、第二の樹脂層30、第一の樹脂層20及び支持フィルム10を、透明電極パターン付き基材50表面に第二の樹脂層30側から圧着することによりラミネート(転写)する。圧着手段としては、圧着ロールが挙げられる。圧着ロールは、加熱圧着できるように加熱手段を備えたものであってもよい。
-Lamination process-
First, after removing the protective film 40 of the transfer type photosensitive film 1, the second resin layer 30, the first resin layer 20, and the support film 10 are placed on the surface of the substrate 50 with the transparent electrode pattern by the second resin layer. Lamination (transfer) is performed by pressure bonding from the 30 side. A pressing roll may be used as the pressing means. The pressure roll may be provided with a heating means so as to be able to heat and pressure.

加熱圧着する場合の加熱温度は、第二の樹脂層30と透明電極パターン付き基材50との密着性の観点、及び、第一の樹脂層20又は第二の樹脂層30の構成成分が熱硬化又は熱分解されにくいようにする観点から、10〜160℃とすることが好ましく、20〜150℃とすることがより好ましく、30〜150℃とすることがさらに好ましい。   The heating temperature in the case of thermocompression bonding is based on the viewpoint of the adhesion between the second resin layer 30 and the substrate 50 with the transparent electrode pattern, and the fact that the components of the first resin layer 20 or the second resin layer 30 are hot. In light of hardening or thermal decomposition, the temperature is preferably 10 to 160 ° C, more preferably 20 to 150 ° C, and still more preferably 30 to 150 ° C.

また、加熱圧着時の圧着圧力は、第二の樹脂層30と透明電極パターン付き基材50との密着性を充分確保しながら、透明電極パターン付き基材50の変形を抑制する観点から、線圧で50〜1×10N/mとすることが好ましく、2.5×10〜5×10N/mとすることがより好ましく、5×10〜4×10N/mとすることがさらに好ましい。From the viewpoint of suppressing deformation of the substrate 50 with a transparent electrode pattern, the pressure for the compression bonding at the time of heat compression bonding is sufficiently secured while ensuring sufficient adhesion between the second resin layer 30 and the substrate 50 with a transparent electrode pattern. The pressure is preferably 50 to 1 × 10 5 N / m, more preferably 2.5 × 10 2 to 5 × 10 4 N / m, and more preferably 5 × 10 2 to 4 × 10 4 N / m. More preferably,

転写型感光性フィルム1を上記のように加熱圧着すれば、透明電極パターン付き基材50の予熱処理は必ずしも必要ではないが、第二の樹脂層30と透明電極パターン付き基材50との密着性をさらに向上させる点から、透明電極パターン付き基材50を予熱処理してもよい。このときの処理温度は、30〜150℃とすることが好ましい。   If the transfer type photosensitive film 1 is heat-pressed as described above, the pre-heat treatment of the substrate 50 with the transparent electrode pattern is not always necessary, but the adhesion between the second resin layer 30 and the substrate 50 with the transparent electrode pattern is not required. In order to further improve the performance, the base material 50 with the transparent electrode pattern may be pre-heat treated. The processing temperature at this time is preferably 30 to 150 ° C.

(基材)
透明電極パターン付き基材50を構成する基材としては、例えばタッチパネル(タッチセンサー)に用いられる、ガラス板、プラスチック板、セラミック板等の基材が挙げられる。
(Base material)
Examples of the base material constituting the base material 50 with a transparent electrode pattern include a base material such as a glass plate, a plastic plate, and a ceramic plate used for a touch panel (touch sensor).

(透明電極及び金属配線)
透明電極は、例えばITO及びIZO(Indium Zinc Oxide、酸化インジウム−酸化亜鉛)等の導電性金属酸化膜を用いて、形成することができる。また透明電極は、銀繊維及びカーボンナノチューブなどの導電性繊維を用いた光硬化性樹脂層を有する感光性フィルムを用いて、形成することもできる。金属配線は、例えば、Au、Ag、Cu、Al、Mo、Cなどの導電性材料を用いて、スクリーン印刷、蒸着などの方法により形成することができる。また、基材上には、基材と電極との間に絶縁層又はインデックスマッチング層が設けられていてもよい。インデックスマッチング層は、上述した第二の樹脂層30と同様の組成を有していてもよい。
(Transparent electrode and metal wiring)
The transparent electrode can be formed using a conductive metal oxide film such as ITO and IZO (Indium Zinc Oxide, indium oxide-zinc oxide). Further, the transparent electrode can also be formed using a photosensitive film having a photocurable resin layer using conductive fibers such as silver fibers and carbon nanotubes. The metal wiring can be formed using a conductive material such as Au, Ag, Cu, Al, Mo, or C by a method such as screen printing or vapor deposition. Further, an insulating layer or an index matching layer may be provided between the substrate and the electrode on the substrate. The index matching layer may have the same composition as the second resin layer 30 described above.

−露光工程−
次に、転写後の第一の樹脂層及び第二の樹脂層の所定部分に、フォトマスクを介して、活性光線をパターン状に照射する。活性光線を照射する際、第一の樹脂層及び第二の樹脂層上の支持フィルム10が透明の場合には、そのまま活性光線を照射することができ、不透明の場合には除去してから活性光線を照射する。活性光線の光源としては、公知の活性光源を用いることができる。なお、本明細書においてパターンとは、回路を形成する微細配線の形状にとどまらず、他基材との接続部のみを矩形に除去した形状及び基材の額縁部のみを除去した形状等も含まれる。
-Exposure process-
Next, a predetermined portion of the first resin layer and the second resin layer after the transfer is irradiated with an actinic ray in a pattern via a photomask. When irradiating with actinic light, if the support film 10 on the first resin layer and the second resin layer is transparent, it can be irradiated with actinic light as it is. Irradiate light rays. A known active light source can be used as a light source for the active light. In this specification, the pattern is not limited to the shape of fine wiring forming a circuit, but also includes a shape in which only a connection portion with another substrate is removed in a rectangular shape and a shape in which only a frame portion of the substrate is removed. It is.

活性光線の照射量は、1×10〜1×10J/mであり、照射の際に、加熱を伴うこともできる。この活性光線の照射量が、1×10J/m以上であれば、第一の樹脂層及び第二の樹脂層の光硬化を充分に進行させることが可能となり、1×10J/m以下であれば第一の樹脂層及び第二の樹脂層が変色することを抑制できる傾向がある。The irradiation amount of the actinic ray is 1 × 10 2 to 1 × 10 4 J / m 2 , and the irradiation may be accompanied by heating. When the irradiation amount of the actinic ray is 1 × 10 2 J / m 2 or more, the photocuring of the first resin layer and the second resin layer can be sufficiently advanced, and 1 × 10 4 J / m 2. / M 2 or less, there is a tendency that discoloration of the first resin layer and the second resin layer can be suppressed.

続いて、活性光線照射後の第一の樹脂層及び第二の樹脂層の未露光部を現像液で除去して、透明電極の一部又は全部を被覆する硬化膜(屈折率調整パターン)60を形成する。なお、活性光線の照射後、第一の樹脂層及び第二の樹脂層に支持フィルム10が積層されている場合にはそれを除去した後、現像工程が行われる。   Subsequently, the unexposed portions of the first resin layer and the second resin layer after irradiation with actinic rays are removed with a developer, and a cured film (refractive index adjustment pattern) 60 covering a part or the whole of the transparent electrode is formed. To form After the irradiation with the actinic ray, if the support film 10 is laminated on the first resin layer and the second resin layer, the support film 10 is removed, and then the developing step is performed.

現像工程は、アルカリ水溶液、水系現像液、有機溶剤等の公知の現像液を用いて、スプレー、シャワー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッビング等の公知の方法により行うことができる。中でも、環境、安全性の観点からアルカリ水溶液を用いて、スプレー現像することが好ましい。なお、現像温度及び時間は従来公知の範囲で調整することができる。   The development step can be performed by a known method such as spraying, showering, rocking immersion, brushing, and scrubbing, using a known developing solution such as an alkaline aqueous solution, an aqueous developing solution, or an organic solvent. Among them, it is preferable to carry out spray development using an alkaline aqueous solution from the viewpoint of environment and safety. The development temperature and time can be adjusted in a conventionally known range.

本実施形態では、転写型感光性フィルムを用いて硬化膜パターンを形成したが、第二の樹脂層を有していない転写型感光性フィルムを用いる場合も同様の方法で硬化膜パターンを形成することができる。   In the present embodiment, the cured film pattern is formed using the transfer type photosensitive film, but the cured film pattern is formed by the same method when using the transfer type photosensitive film not having the second resin layer. be able to.

(硬化膜)
本発明に係る硬化膜は、本実施形態の転写型感光性フィルムの、第一の樹脂層及び第二の樹脂層を硬化して得られた硬化膜であってもよい。なお、例えば第二の樹脂層の大部分が第一の樹脂層に被覆され、露出されない場合、第二の樹脂層は必ずしも硬化される必要はない。本発明に係る硬化膜は、このような第一の樹脂層が硬化し、第二の樹脂層が硬化していない場合も含む。本発明に係る硬化膜はパターン状に形成されていることが好ましい。
(Cured film)
The cured film according to the present invention may be a cured film obtained by curing the first resin layer and the second resin layer of the transfer type photosensitive film of the present embodiment. In addition, for example, when most of the second resin layer is covered with the first resin layer and is not exposed, the second resin layer does not necessarily need to be cured. The cured film according to the present invention includes a case where the first resin layer is cured and the second resin layer is not cured. The cured film according to the present invention is preferably formed in a pattern.

本発明に係る硬化膜は、転写型感光性フィルムが第二の樹脂層を有していない場合は、第一の樹脂層を硬化して得られた硬化膜であってもよい。   When the transfer type photosensitive film does not have the second resin layer, the cured film according to the present invention may be a cured film obtained by curing the first resin layer.

本実施形態に係る転写型感光性フィルムは、各種電子部品における保護膜の形成に適用することができる。本実施形態に係る電子部品は、転写型感光性フィルムを用いて形成した硬化膜パターンを備えている。電子部品としては、タッチセンサー、タッチパネル、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッサンス、太陽電池モジュール、プリント配線板、電子ペーパ等が挙げられる。   The transfer type photosensitive film according to the present embodiment can be applied to formation of a protective film in various electronic components. The electronic component according to the present embodiment includes a cured film pattern formed using a transfer type photosensitive film. Examples of the electronic component include a touch sensor, a touch panel, a liquid crystal display, an organic electroluminescence, a solar cell module, a printed wiring board, and an electronic paper.

例えば、タッチセンサーは、図2に示される積層体100を備えることができる。タッチセンサーをタッチパネル等のモジュールにする際には、カバーガラスと積層体100を接着するOCAを用いることができる。   For example, the touch sensor can include the stack 100 shown in FIG. When the touch sensor is used as a module such as a touch panel, OCA for bonding the cover glass and the laminate 100 can be used.

図3は、本発明の一実施形態に係るタッチパネルを示す模式上面図である。図3には、静電容量式のタッチパネルの一例を示す。図3に示されるタッチパネルは、透明基材101の片面にタッチ位置座標を検出するためのタッチ画面102があり、この領域の静電容量変化を検出するための透明電極103及び透明電極104が透明基材101上に設けられている。   FIG. 3 is a schematic top view showing a touch panel according to one embodiment of the present invention. FIG. 3 illustrates an example of a capacitive touch panel. The touch panel shown in FIG. 3 has a touch screen 102 for detecting touch position coordinates on one surface of a transparent base material 101, and a transparent electrode 103 and a transparent electrode 104 for detecting a change in capacitance in this area are transparent. It is provided on a substrate 101.

透明電極103及び透明電極104はそれぞれタッチ位置のX位置座標及びY位置座標を検出する。   The transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 detect the X position coordinate and the Y position coordinate of the touch position, respectively.

透明基材101上には、透明電極103及び透明電極104からタッチ位置の検出信号を外部回路に伝えるための引き出し配線105が設けられている。また、引き出し配線105と、透明電極103及び透明電極104とは、透明電極103及び透明電極104上に設けられた接続電極106により接続されている。また、引き出し配線105の透明電極103及び透明電極104との接続部と反対側の端部には、外部回路との接続端子107が設けられている。   On the transparent base material 101, a lead wiring 105 for transmitting a detection signal of a touch position from the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 to an external circuit is provided. In addition, the lead wiring 105 is connected to the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 by a connection electrode 106 provided on the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104. Further, a connection terminal 107 for connecting to an external circuit is provided at an end of the lead-out wiring 105 opposite to a connection portion with the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104.

図3に示すように、本実施形態に係るタッチパネルにおいては、本実施形態の転写型感光性フィルムを用いて、透明電極パターンが形成された部分と、形成されていない部分にまたがって硬化膜パターン123が形成されている。硬化膜パターン123は、硬化した第一の樹脂層及び硬化した第二の樹脂層からなる。なお、第二の樹脂層を有していない転写型感光性フィルムを用いた場合は、硬化膜パターン123は、硬化した第一の樹脂層からなる。この硬化膜パターン123によれば、透明電極103、透明電極104、引き出し配線105、接続電極106及び接続端子107を保護する機能と、透明電極パターンから形成されるセンシング領域(タッチ画面)102の骨見え現象防止機能とを同時に奏することができる。また、本実施形態の転写型感光性フィルムが用いられることにより、硬化膜パターン123は、表面の段差が充分に小さいものになり得る。   As shown in FIG. 3, in the touch panel according to the present embodiment, a cured film pattern is formed by using the transfer type photosensitive film of the present embodiment over a portion where the transparent electrode pattern is formed and a portion where the transparent electrode pattern is not formed. 123 are formed. The cured film pattern 123 includes a cured first resin layer and a cured second resin layer. When a transfer type photosensitive film having no second resin layer is used, the cured film pattern 123 is made of the cured first resin layer. According to the cured film pattern 123, the function of protecting the transparent electrode 103, the transparent electrode 104, the lead wiring 105, the connection electrode 106, and the connection terminal 107 and the bone of the sensing area (touch screen) 102 formed from the transparent electrode pattern The appearance phenomenon preventing function can be simultaneously performed. Further, by using the transfer type photosensitive film of the present embodiment, the cured film pattern 123 can have a sufficiently small surface step.

以下、実施例及び比較例によって、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples.

[バインダーポリマー溶液の作製]
(合成例A1)
反応容器中に1−メトキシ−2−プロパノール(ダイセル化学工業(株)製)85.7質量部をあらかじめ加え80℃に昇温した。他方で、メタクリル酸シクロヘキシル46質量部、メタクリル酸メチル2質量部、メタクリル酸52質量部、及びアゾ系重合開始剤(和光純薬社製、V−601)10質量部を混合し、混合溶液を得た。この混合溶液を、窒素ガス雰囲気下、80℃の上記反応容器中に2時間かけて滴下した。滴下後4時間反応させて、アクリル樹脂溶液を得た。
[Preparation of binder polymer solution]
(Synthesis example A1)
85.7 parts by mass of 1-methoxy-2-propanol (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) was previously added to the reaction vessel, and the temperature was raised to 80 ° C. On the other hand, 46 parts by mass of cyclohexyl methacrylate, 2 parts by mass of methyl methacrylate, 52 parts by mass of methacrylic acid, and 10 parts by mass of an azo-based polymerization initiator (V-601, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) were mixed, and the mixed solution was mixed. Obtained. This mixed solution was dropped into the above reaction vessel at 80 ° C. over 2 hours under a nitrogen gas atmosphere. After the dropwise addition, the mixture was reacted for 4 hours to obtain an acrylic resin solution.

次いで、上記アクリル樹脂溶液に、ハイドロキノンモノメチルエーテル2.5質量部、及びテトエチルアンモニウムブロマイド8.4質量部を加えた後、グリシジルメタクリレート32質量部を2時間かけて滴下した。滴下後、空気を吹き込みながら80℃で4時間反応させ後、固形分濃度が45質量%になるように溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加し、バインダーポリマー溶液A1を得た。なお、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸、及びグリシジルメタクリレートがx:l:y:z=46mol%:2mol%:20mol%:32mol%になるように、添加量を調整した。   Next, after adding 2.5 parts by mass of hydroquinone monomethyl ether and 8.4 parts by mass of tetraethylammonium bromide to the acrylic resin solution, 32 parts by mass of glycidyl methacrylate was added dropwise over 2 hours. After dropping, the mixture was reacted at 80 ° C. for 4 hours while blowing air, and propylene glycol monomethyl ether acetate was added as a solvent so that the solid content concentration became 45% by mass, to obtain a binder polymer solution A1. The amounts of cyclohexyl methacrylate, methyl methacrylate, methacrylic acid, and glycidyl methacrylate were adjusted so that x: l: y: z = 46 mol%: 2 mol%: 20 mol%: 32 mol%.

(合成例A2)
撹拌機、還流冷却機、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテル62質量部及びトルエン62質量部を仕込み、窒素ガス雰囲気下で80℃に昇温し、反応温度を80℃±2℃に保ちながら、表1に示す化合物と2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)1.5質量部を4時間かけて均一に滴下した。滴下後、80℃±2℃で6時間撹拌を続け、重量平均分子量が30000、酸価が156.6mgKOH/gのバインダーポリマー溶液A2(固形分45質量%)を得た。
(Synthesis example A2)
A flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, an inert gas inlet, and a thermometer was charged with 62 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether and 62 parts by mass of toluene, and heated to 80 ° C. under a nitrogen gas atmosphere. While maintaining the temperature at 80 ° C. ± 2 ° C., the compounds shown in Table 1 and 1.5 parts by mass of 2,2′-azobis (isobutyronitrile) were uniformly added dropwise over 4 hours. After dropping, stirring was continued at 80 ° C. ± 2 ° C. for 6 hours to obtain a binder polymer solution A2 (solid content: 45% by mass) having a weight average molecular weight of 30,000 and an acid value of 156.6 mgKOH / g.

Figure 2018179095
Figure 2018179095

(実施例1〜13及び比較例1〜11)
[第一の樹脂層形成用塗布液の作製]
表2及び3に示す成分を、同表に示す配合量(単位:質量部)で配合し、攪拌機を用いて15分間混合して第一の樹脂層形成用塗布液を作製した。表2及び3中、(A)成分の配合量は固形分の配合量を示す。なお、塗布液は、溶媒としてメチルエチルケトンを用い、固形分20〜30質量%に調整した。
(Examples 1 to 13 and Comparative Examples 1 to 11)
[Preparation of coating liquid for forming first resin layer]
The components shown in Tables 2 and 3 were blended in the blending amounts (unit: parts by mass) shown in the tables and mixed for 15 minutes using a stirrer to prepare a first resin layer forming coating solution. In Tables 2 and 3, the amount of the component (A) indicates the amount of the solid content. The coating liquid was adjusted to a solid content of 20 to 30% by mass using methyl ethyl ketone as a solvent.

[第二の樹脂層形成用塗布液の作製]
表3に示す成分を、同表に示す配合量(単位:質量部)で配合し、攪拌機を用いて15分間混合して第二の樹脂層形成用塗布液を作製した。表3中、(A)成分の配合量は固形分の配合量を示す。
[Preparation of second resin layer forming coating liquid]
The components shown in Table 3 were blended in the blending amounts (unit: parts by mass) shown in the same table, and mixed for 15 minutes using a stirrer to prepare a second resin layer forming coating solution. In Table 3, the amount of the component (A) indicates the amount of the solid content.

Figure 2018179095
Figure 2018179095

Figure 2018179095
Figure 2018179095

Figure 2018179095
Figure 2018179095

Figure 2018179095
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表2〜5中の成分の記号は以下の意味を示す。
〔(A)成分〕
A1:上述した方法で作製したバインダーポリマー溶液
A2:上述した方法で作製したバインダーポリマー溶液
The symbols of the components in Tables 2 to 5 have the following meanings.
[(A) component]
A1: Binder polymer solution prepared by the method described above A2: Binder polymer solution prepared by the method described above

〔(B)成分〕
A−DCP:トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学株式会社製、製品名)
DPHA:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(新中村化学製、製品名「A−DPH」)
[(B) component]
A-DCP: Tricyclodecane dimethanol diacrylate (product name, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
DPHA: dipentaerythritol hexaacrylate (Shin-Nakamura Chemical, product name "A-DPH")

〔(C)成分〕
TPO:2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、(BASF株式会社製、製品名「IRGACURE TPO」)
819:ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、(BASF株式会社製、製品名「IRGACURE 819」)
OXE01:1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)フェニル−,2−(O−ベンゾイルオキシム)](BASF株式会社製、製品名「IRGACURE OXE 01」)
OXE02:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(0−アセチルオキシム)(BASF株式会社製、製品名「IRGACURE OXE 02」)
184:1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン(BASF株式会社製、製品名「IRGACURE 184」)
651:2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン(BASF株式会社製、製品名「IRGACURE 651」)
754:オキシフェニル酢酸、2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステルとオキシフェニル酢酸、2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステルの混合物(BASF株式会社製、製品名「IRGACURE 754」)
[(C) component]
TPO: 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide (product name “IRGACURE TPO” manufactured by BASF Corporation)
819: bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, (product name “IRGACURE 819” manufactured by BASF Corporation)
OXE01: 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl-, 2- (O-benzoyloxime)] (product name “IRGACURE OXE01” manufactured by BASF Corporation)
OXE02: Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (0-acetyloxime) (manufactured by BASF Corporation, product name "IRGACURE OXE 02"")
184: 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone (product name “IRGACURE 184” manufactured by BASF Corporation)
651: 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one (product name “IRGACURE 651” manufactured by BASF Corporation)
754: Mixture of oxyphenylacetic acid, 2- [2-oxo-2-phenylacetoxyethoxy] ethyl ester and oxyphenylacetic acid, 2- (2-hydroxyethoxy) ethyl ester (product name “IRGACURE 754” manufactured by BASF Corporation) )

〔(E)成分〕
E1:酸化ジルコニウムナノ粒子分散液(日産化学工業株式会社製、製品名「OZ−S30K」)
[(E) component]
E1: Zirconium oxide nanoparticle dispersion (Nissan Chemical Industries, Ltd., product name "OZ-S30K")

[転写型感光性フィルムの作製]
(第二の樹脂層付きの場合)
保護フィルムとして厚み30μmのポリプロピレンフィルム(王子エフテックス株式会社製、製品名:ES−201)を使用し、上記で作製した第二の樹脂層形成用塗布液を保護フィルム上にダイコーターを用いて均一に塗布し、110℃の熱風滞留式乾燥機で3分間乾燥して溶剤を除去し、厚み60nm、屈折率1.4の第二の樹脂層を形成した。
[Preparation of transfer type photosensitive film]
(In the case with the second resin layer)
Using a 30 μm-thick polypropylene film (manufactured by Oji F-Tex Co., Ltd., product name: ES-201) as the protective film, the above-prepared coating liquid for forming the second resin layer was formed on the protective film using a die coater. The solution was uniformly applied and dried for 3 minutes in a hot air drier at 110 ° C. to remove the solvent, thereby forming a second resin layer having a thickness of 60 nm and a refractive index of 1.4.

支持フィルムとして厚み16μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製、製品名:FB40)を使用し、上記で作製した第一の樹脂層形成用塗布液を支持フィルム上にコンマコーターを用いて均一に塗布し、110℃の熱風対流式乾燥機で3分間乾燥して溶剤を除去し、厚み8μmの第一の樹脂層を形成した。   Using a polyethylene terephthalate film having a thickness of 16 μm (manufactured by Toray Industries, Inc., product name: FB40) as the support film, the above-prepared coating liquid for forming the first resin layer is uniformly applied on the support film using a comma coater. Then, the resultant was dried with a hot air convection dryer at 110 ° C. for 3 minutes to remove the solvent, thereby forming a first resin layer having a thickness of 8 μm.

次いで、第二の樹脂層を有する保護フィルムと、第一の樹脂層を有する支持フィルムとを、ラミネータ(日立化成株式会社製、製品名:HLM−3000型)を用いて、23℃で貼り合わせて、保護フィルム、第二の樹脂層、第一の樹脂層及び支持フィルムがこの順で積層された転写型感光性フィルムを作製した。   Next, the protective film having the second resin layer and the support film having the first resin layer are bonded at 23 ° C. using a laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., product name: HLM-3000 type). Thus, a transfer photosensitive film in which a protective film, a second resin layer, a first resin layer, and a support film were laminated in this order was produced.

(第二の樹脂層を有していない場合)
支持フィルムとして厚み16μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製、製品名:FB40)を使用し、上記で作製した第一の樹脂層形成用塗布液を支持フィルム上にコンマコーターを用いて均一に塗布し、110℃の熱風対流式乾燥機で3分間乾燥して溶剤を除去し、厚み8μmの第一の樹脂層を形成した。
(When not having the second resin layer)
Using a polyethylene terephthalate film having a thickness of 16 μm (manufactured by Toray Industries, Inc., product name: FB40) as the support film, the above-prepared coating liquid for forming the first resin layer is uniformly applied on the support film using a comma coater. Then, the resultant was dried with a hot air convection dryer at 110 ° C. for 3 minutes to remove the solvent, thereby forming a first resin layer having a thickness of 8 μm.

次いで、得られた第一の樹脂層を有する支持フィルムと、保護フィルムとして厚み30μmのポリプロピレンフィルム(王子エフテックス株式会社製、製品名:ES−201)とを23℃で貼り合わせて、保護フィルム、第一の樹脂層及び支持フィルムがこの順で積層された転写型感光性フィルムを作製した。   Next, the obtained support film having the first resin layer and a polypropylene film having a thickness of 30 μm (manufactured by Oji F-Tex Co., Ltd., product name: ES-201) as a protective film are bonded at 23 ° C. to form a protective film. Then, a transfer type photosensitive film in which the first resin layer and the support film were laminated in this order was produced.

[段差評価試験]
まず、転写型感光性フィルムによって形成される硬化膜表面の凹み(段差)を評価するための試験について、図4を参照しつつ説明する。なお、図4では、第二の樹脂層を有していない転写型感光性フィルムを評価する場合が示されているが、第二の樹脂層を有する転写型感光性フィルムを評価する場合は、第一の樹脂層20が第一の樹脂層及び第二の樹脂層の積層構造となること以外は同様である。
[Step evaluation test]
First, a test for evaluating a depression (step) on the surface of a cured film formed by a transfer type photosensitive film will be described with reference to FIG. In addition, in FIG. 4, although the case where the transfer type photosensitive film having no second resin layer is evaluated is shown, when the transfer type photosensitive film having the second resin layer is evaluated, The same applies except that the first resin layer 20 has a laminated structure of the first resin layer and the second resin layer.

評価用の基材52(ITO基材)を用意した。この基材52上に、実施例及び比較例で得られた転写型感光性フィルムの保護フィルムを剥離しながら、第一の樹脂層20又は、転写型感光性フィルムが第二の樹脂層を有する場合は第二の樹脂層30を基材に対向させ、100℃、0.6m/min、0.4MPaの条件でラミネートした。   A substrate 52 (ITO substrate) for evaluation was prepared. On this base material 52, the first resin layer 20 or the transfer type photosensitive film has a second resin layer while peeling off the protective film of the transfer type photosensitive film obtained in the example and the comparative example. In this case, the second resin layer 30 was opposed to the base material, and was laminated at 100 ° C., 0.6 m / min, and 0.4 MPa.

ラミネート後、基材を冷却し、基材の温度が23℃になった時点で、支持フィルム10側から高圧水銀灯を有する露光機(株式会社オーク製作所製、商品名:EXM−1201)を用いて、50mJ/cmの露光量L1で、所定のパターンを有するマスク70を介して光照射した(図4の(a)を参照)。After lamination, the substrate was cooled and, when the temperature of the substrate reached 23 ° C., using an exposure machine having a high-pressure mercury lamp from the support film 10 side (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., trade name: EXM-1201). Light was irradiated at an exposure amount L1 of 50 mJ / cm 2 through a mask 70 having a predetermined pattern (see FIG. 4A).

次に、マスク70を除去し、10mJ/cmの露光量L2で光照射した(図4の(b)を参照)。Next, the mask 70 was removed, and light irradiation was performed at an exposure amount L2 of 10 mJ / cm 2 (see FIG. 4B).

次に、支持フィルム10を除去し、375mJ/cmの露光量L3で光照射した(図4の(c)を参照)。Next, the support film 10 was removed and irradiated with light at an exposure amount L3 of 375 mJ / cm 2 (see FIG. 4C).

次に、140℃で30分間加熱するアニーリングを行った後、露光量の合計が435mJ/cmである高反応率部分の表面S1と、露光量の合計が385mJ/cmである低反応率部分の表面S2との段差G(nm)を測定した(図4の(d)を参照)。なお、段差G(nm)は、レーザー顕微鏡(レーザーテック社製)によって測定した。Next, after annealing by heating at 140 ° C. 30 min, and the surface S1 of the high reaction rate that the total amount of the exposure amount is 435mJ / cm 2, a low reaction rate the total exposure amount is 385mJ / cm 2 The step G (nm) between the portion and the surface S2 was measured (see FIG. 4D). The step G (nm) was measured with a laser microscope (manufactured by Lasertec).

段差が120nm以下であれば、十分にパターン見えが抑制できる。また、図2に示す積層体100を形成する場合、硬化膜表面の凹み段差が120nm以下であれば以下の効果を奏する。積層体100を用いて、タッチパネル等のモジュールを形成する際、カバーガラスと積層体100を接着するためにOCAを用いる。ところで、OCAは密着する硬化膜に対する高温高湿下での密着信頼性が要求されるが、硬化膜表面に微細な段差が存在する場合、段差が原因となりOCAが浮く(剥がれる)問題が生じることがある。硬化膜表面の段差が120nm以下であれば、上記問題の発生を抑制し、OCAの高温高湿下での密着信頼性を向上させることができる。   When the step is 120 nm or less, the pattern appearance can be sufficiently suppressed. When the laminate 100 shown in FIG. 2 is formed, the following effects can be obtained if the recessed step on the surface of the cured film is 120 nm or less. When a module such as a touch panel is formed using the laminate 100, OCA is used to adhere the cover glass to the laminate 100. By the way, OCA is required to have high adhesion reliability to the adhered cured film under high temperature and high humidity. However, if there is a fine step on the surface of the cured film, the OCA may float (peel off) due to the step. There is. When the step on the surface of the cured film is 120 nm or less, the occurrence of the above problem can be suppressed, and the adhesion reliability of OCA under high temperature and high humidity can be improved.

[パターン見えの評価]
段差評価試験で得られたアニーリング後のサンプルをブラックボード上に固定し、光を斜めから当てて、目視にて観察し、下記の基準で評価した。
○:パターンが見えない又は見にくい。
×:パターンが見える。
[Evaluation of pattern appearance]
The annealed sample obtained in the step difference evaluation test was fixed on a black board, irradiated with light obliquely, visually observed, and evaluated according to the following criteria.
:: The pattern is not visible or difficult to see.
X: The pattern is visible.

[硬化膜の透湿度]
転写型感光性フィルムを5枚用意した。まず、1枚目の転写型感光性フィルムの保護フィルムを剥離し、これをろ紙(アドバンテック製、No.5C、φ90mmの円形、厚み130μm)上に、ロール温度100℃、基材送り速度0.6m/分、圧着圧力(シリンダ圧力)0.5MPaの条件でラミネートした。次に、支持フィルムを剥離し、ろ紙にラミネートされた第一の樹脂層上に、2枚目の転写型感光性フィルムを、保護フィルムを剥離してラミネートした。この操作を繰り返すことで、ろ紙上に厚み40μmの第一の樹脂層(すなわち第一の樹脂層が5層)及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。
[Moisture permeability of cured film]
Five transfer type photosensitive films were prepared. First, the protective film of the first transfer type photosensitive film was peeled off, and this was placed on a filter paper (Advantech, No. 5C, φ90 mm circle, thickness 130 μm), roll temperature 100 ° C., substrate feed rate 0. Lamination was performed under the conditions of 6 m / min and a compression pressure (cylinder pressure) of 0.5 MPa. Next, the support film was peeled off, and a second transfer type photosensitive film was laminated on the first resin layer laminated on the filter paper by peeling off the protective film. By repeating this operation, a laminated body in which a first resin layer (that is, five first resin layers) having a thickness of 40 μm and a support film were laminated on filter paper was produced.

なお、転写型感光性フィルムが第二の樹脂層を有する場合も、上記と同様の手順で、ろ紙上に厚み約40μmの第一の樹脂層及び第二の樹脂層の5層及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。   In the case where the transfer type photosensitive film has the second resin layer, the same procedure as above is used to form five layers of the first resin layer and the second resin layer having a thickness of about 40 μm and the support film on the filter paper. A laminated body was produced.

上記積層体を、平行光線露光機(株式会社オーク製作所製、EXM1201)を使用して支持フィルム面垂直上より露光量0.6J/mで紫外線を照射した。The laminated body was irradiated with ultraviolet rays at an exposure of 0.6 J / m 2 from above the supporting film surface using a parallel light exposure machine (EXM1201 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.).

次いで、上記紫外線を照射した積層体の、支持フィルムを剥離して除去し、更に積層体の、垂直上より露光量1×10J/mで紫外線を照射した。こうして、ろ紙上に硬化膜が形成された透湿度測定用試料を得た。Subsequently, the support film of the laminated body irradiated with the ultraviolet rays was peeled off and removed, and the laminated body was further irradiated with ultraviolet rays from above vertically at an exposure amount of 1 × 10 4 J / m 2 . Thus, a moisture permeability measurement sample having a cured film formed on the filter paper was obtained.

次いで、JIS規格(Z0208、カップ法)を参考に、透湿度測定を実施した。まず、測定カップ(φ60mm、深さ15mm、株式会社村井元製作所)内に、吸湿材(20gの塩化カルシウム(無水))を入れた。次に、上記透湿度測定用試料から直径70mmの大きさにはさみで切り取った円形試料片を用いて、上記測定カップに蓋をした。恒温恒湿槽内にて40℃、90%RHの条件で24時間放置した。放置前後の測定カップ、吸湿剤及び円形試料片の合計質量の変化から透湿度を算出した。透湿度が200g/m・24h以下であれば、防錆性が良好である。Next, the moisture permeability was measured with reference to JIS standard (Z0208, cup method). First, a hygroscopic material (20 g of calcium chloride (anhydrous)) was placed in a measuring cup (φ60 mm, depth 15 mm, Murai Moto Seisakusho). Next, the measuring cup was covered with a circular sample piece cut out from the above-mentioned sample for moisture permeability measurement with scissors having a diameter of 70 mm. It was left in a constant temperature and humidity chamber at 40 ° C. and 90% RH for 24 hours. The moisture permeability was calculated from the change in the total mass of the measuring cup, the hygroscopic agent and the circular sample piece before and after standing. If moisture permeability 200g / m 2 · 24h or less, corrosion resistance is good.

1…転写型感光性フィルム、10…支持フィルム、20…第一の樹脂層、22…硬化した第一の樹脂層、30…第二の樹脂層、32…硬化した第二の樹脂層、40…保護フィルム、50…透明電極パターン付き基材、50a…透明電極パターン、60…硬化膜、100…積層体、101…透明基材、102…センシング領域、103,104…透明電極、105…引き出し配線、106…接続電極、107…接続端子、123…硬化膜パターン。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Transfer type photosensitive film, 10 ... Support film, 20 ... First resin layer, 22 ... Hardened first resin layer, 30 ... Second resin layer, 32 ... Hardened second resin layer, 40 ... Protective film, 50 ... Substrate with transparent electrode pattern, 50a ... Transparent electrode pattern, 60 ... Curing film, 100 ... Laminate, 101 ... Transparent substrate, 102 ... Sensing area, 103,104 ... Transparent electrode, 105 ... Drawing Wiring, 106: connection electrode, 107: connection terminal, 123: cured film pattern.

Claims (14)

支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた第一の樹脂層と、を備え、
前記第一の樹脂層が、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する光重合性化合物と、アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤と、を含む、転写型感光性フィルム。
Support film, comprising a first resin layer provided on the support film,
A transfer type photosensitive film, wherein the first resin layer contains a photopolymerizable compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton, and an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator.
前記アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤が、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイドを含む、請求項1に記載の転写型感光性フィルム。   The transfer type photosensitive film according to claim 1, wherein the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator includes 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide. 前記第一の樹脂層が、オキシムエステル系光重合開始剤を更に含む、請求項1又は2に記載の転写型感光性フィルム。   The transfer type photosensitive film according to claim 1, wherein the first resin layer further includes an oxime ester-based photopolymerization initiator. 前記第一の樹脂層が、側鎖に分岐構造及び/又は脂環構造を有する基、側鎖に酸性基を有する基、並びに、側鎖にエチレン性不飽和基を有する基を含有するバインダーポリマーを含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の転写型感光性フィルム。   A binder polymer in which the first resin layer contains a group having a branched structure and / or an alicyclic structure in a side chain, a group having an acidic group in a side chain, and a group having an ethylenically unsaturated group in a side chain. The transfer type photosensitive film according to claim 1, comprising: 前記第一の樹脂層上に設けられた金属酸化物粒子を含有する第二の樹脂層を、を更に備える、請求項1〜4のいずれか一項に記載の転写型感光性フィルム。   The transfer type photosensitive film according to any one of claims 1 to 4, further comprising a second resin layer containing metal oxide particles provided on the first resin layer. 前記第二の樹脂層が、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する光重合性化合物を含む、請求項5に記載の転写型感光性フィルム。   The transfer type photosensitive film according to claim 5, wherein the second resin layer contains a photopolymerizable compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton. ITO電極パターン及びインデックスマッチング層を有する基材上に硬化膜を形成するために用いられる、請求項1〜6のいずれか一項に記載の転写型感光性フィルム。   The transfer photosensitive film according to any one of claims 1 to 6, which is used for forming a cured film on a substrate having an ITO electrode pattern and an index matching layer. 電極パターンを有する基材上に、請求項1〜4のいずれか一項に記載の転写型感光性フィルムの前記第一の樹脂層を、前記基材の前記電極パターンが設けられている側と前記第一の樹脂層とが密着するようにラミネートする工程と、
前記基材上の前記第一の樹脂層の所定部分を露光後、前記所定部分以外を除去し、前記電極パターンの一部又は全部を被覆する硬化膜パターンを形成する工程と、
を備える、硬化膜パターンの形成方法。
On a substrate having an electrode pattern, the first resin layer of the transfer type photosensitive film according to any one of claims 1 to 4, the side of the substrate on which the electrode pattern is provided. Laminating so that the first resin layer is in close contact with,
After exposing a predetermined portion of the first resin layer on the base material, removing a portion other than the predetermined portion, and forming a cured film pattern covering a part or all of the electrode pattern,
A method for forming a cured film pattern, comprising:
電極パターンを有する基材上に、請求項5又は6に記載の転写型感光性フィルムの前記第二の樹脂層及び前記第一の樹脂層を、前記基材の前記電極パターンが設けられている側と前記第二の樹脂層とが密着するようにラミネートする工程と、
前記基材上の前記第二の樹脂層及び前記第一の樹脂層の所定部分を露光後、前記所定部分以外を除去し、前記電極パターンの一部又は全部を被覆する硬化膜パターンを形成する工程と、
を備える、硬化膜パターンの形成方法。
The second resin layer and the first resin layer of the transfer type photosensitive film according to claim 5 or 6, on the substrate having an electrode pattern, the electrode pattern of the substrate is provided. Laminating so that the side and the second resin layer are in close contact,
After exposing a predetermined portion of the second resin layer and the first resin layer on the base material, removing portions other than the predetermined portion to form a cured film pattern covering a part or all of the electrode pattern. Process and
A method for forming a cured film pattern, comprising:
請求項1〜4のいずれか一項に記載の転写型感光性フィルムにおける前記第一の樹脂層を硬化してなる、硬化膜。   A cured film obtained by curing the first resin layer in the transfer photosensitive film according to claim 1. 請求項5又は6に記載の転写型感光性フィルムの前記第一の樹脂層のみ、又は、前記第一の樹脂層及び前記第二の樹脂層の両方を硬化してなる、硬化膜。   A cured film formed by curing only the first resin layer or both the first resin layer and the second resin layer of the transfer photosensitive film according to claim 5. 電極パターンを有する基材と、前記電極パターン上に設けられた樹脂硬化膜と、を有する積層体であって、
前記樹脂硬化膜は、前記電極パターンとは反対の面側に段差を有し、
前記段差は120nm以下である、積層体。
A substrate having an electrode pattern, and a resin cured film provided on the electrode pattern, a laminate having:
The resin cured film has a step on the side opposite to the electrode pattern,
The laminate in which the step is 120 nm or less.
前記樹脂硬化膜は、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物を含む、請求項12に記載の積層体。   The laminate according to claim 12, wherein the resin cured film includes a compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton. 請求項1〜4のいずれか一項に記載の転写型感光性フィルムにおける前記第一の樹脂層の硬化膜、又は、請求項5又は6に記載の転写型感光性フィルムの前記第二の樹脂層の硬化膜及び前記第一の樹脂層の硬化膜、からなる硬化膜パターンを備える、タッチパネル。   A cured film of the first resin layer in the transfer photosensitive film according to any one of claims 1 to 4, or the second resin of the transfer photosensitive film according to claim 5 or 6. A touch panel comprising a cured film pattern including a cured film of a layer and a cured film of the first resin layer.
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