JP2018165788A - Transfer photosensitive film, curable resin patterning method, and touch panel - Google Patents

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匠 渡邊
Takumi Watanabe
匠 渡邊
向 郁夫
Ikuo Mukai
郁夫 向
渡邊 治
Osamu Watanabe
治 渡邊
和仁 渡部
Kazuhito Watabe
和仁 渡部
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transfer photosensitive film that can form a cured film that protects a transparent electrode pattern and has sufficiently low moisture permeability.SOLUTION: A transfer photosensitive film has a support film 10, and a photosensitive resin layer 20 provided on the support film 10. In the photosensitive resin layer 20, the total concentration of hydrophilic groups selected from -O-, -C-CO-, -OH, -N-CO- and -COOH is 0.020 mol/g or less.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、転写型感光性フィルム、硬化樹脂パターンの形成方法及びタッチパネルに関する。   The present invention relates to a transfer type photosensitive film, a method for forming a cured resin pattern, and a touch panel.

パソコン、テレビ等の大型電子機器、カーナビゲーション、携帯電話、電子辞書等の小型電子機器、OA・FA機器等の表示機器などには、液晶表示素子又はタッチパネル(タッチセンサー)が用いられている。これら液晶表示素子又はタッチパネルには、透明電極材料からなる電極が設けられている。透明電極材料としては、高い可視光透過率を示すことから、ITO(Indium−Tin−Oxide)、酸化インジウム及び酸化スズが主流になっている。   Liquid crystal display elements or touch panels (touch sensors) are used in large electronic devices such as personal computers and televisions, small electronic devices such as car navigation systems, mobile phones, and electronic dictionaries, and display devices such as OA / FA devices. These liquid crystal display elements or touch panels are provided with electrodes made of a transparent electrode material. As the transparent electrode material, ITO (Indium-Tin-Oxide), indium oxide, and tin oxide are mainly used because of high visible light transmittance.

タッチパネルは、すでに各種の方式が実用化されている。投影型静電容量方式のタッチパネルは、指先の多点検出が可能なため、複雑な指示を行うことができるという良好な操作性を備えている。そのため、投影型静電容量方式のタッチパネルは、携帯電話及び携帯型音楽プレーヤ等の、小型の表示装置を有する機器において、表示面上の入力装置として利用が進んでいる。   Various types of touch panels have already been put into practical use. Since the projected capacitive touch panel can detect multiple fingertips, it has good operability such that a complicated instruction can be given. For this reason, a projected capacitive touch panel is increasingly used as an input device on a display surface in a device having a small display device such as a mobile phone and a portable music player.

一般に、投影型静電容量方式のタッチパネルでは、X軸とY軸による2次元座標を表現するために、複数のX電極と、該X電極に直交する複数のY電極とが、2層構造を形成している。これらの電極の材料として、近年、Agナノワイヤ、カーボンナノチューブ等に代表される導電性繊維の利用が検討されているが、ITOが未だに主流である。   In general, in a projected capacitive touch panel, a plurality of X electrodes and a plurality of Y electrodes orthogonal to the X electrodes have a two-layer structure in order to express two-dimensional coordinates based on the X and Y axes. Forming. In recent years, the use of conductive fibers typified by Ag nanowires and carbon nanotubes has been studied as a material for these electrodes, but ITO is still the mainstream.

ところで、タッチパネルの額縁領域は、タッチ位置を検出できない領域である。そのため、額縁領域の面積を狭くすることが製品価値を向上させるために重要である。額縁領域には、タッチ位置の検出信号を伝えるために金属配線が配置される必要があるが、額縁面積の狭小化を図るためには、金属配線の幅を狭くする必要がある。ITOの導電性は充分に高くないので、一般的に金属配線は銅により形成されている。   By the way, the frame area of the touch panel is an area where the touch position cannot be detected. Therefore, it is important to reduce the area of the frame region in order to improve the product value. In the frame area, it is necessary to arrange a metal wiring in order to transmit a touch position detection signal. However, in order to reduce the frame area, it is necessary to reduce the width of the metal wiring. Since the conductivity of ITO is not sufficiently high, the metal wiring is generally formed of copper.

しかし、タッチパネルは、指先等に接触される際に水分、塩分等の腐食成分がセンシング領域から内部に侵入することがある。タッチパネルの内部に腐食成分が侵入すると、上記金属配線が腐食し、電極と駆動用回路との間の電気抵抗の増加又は断線の恐れがある。   However, when the touch panel is brought into contact with a fingertip or the like, corrosive components such as moisture and salt may enter the inside from the sensing region. When a corrosive component enters the inside of the touch panel, the metal wiring corrodes, and there is a risk of an increase in electrical resistance or disconnection between the electrode and the driving circuit.

金属配線の腐食を防ぐために金属上に絶縁層を形成した投影型静電容量方式のタッチパネルが知られている(例えば、下記特許文献1参照)。このようなタッチパネルでは、二酸化ケイ素層をプラズマ化学気相成長法(プラズマCVD法)で金属上に形成し、金属の腐食を防いでいる。しかしながら、このような手法では、プラズマCVD法を用いるため、高温処理が必要となり、基材が限定される、製造コストが高くなる等の問題がある。   A projected capacitive touch panel in which an insulating layer is formed on a metal to prevent corrosion of metal wiring is known (for example, see Patent Document 1 below). In such a touch panel, a silicon dioxide layer is formed on a metal by a plasma chemical vapor deposition method (plasma CVD method) to prevent corrosion of the metal. However, in such a method, since the plasma CVD method is used, a high temperature treatment is required, and there are problems such as a limitation of the base material and an increase in manufacturing cost.

タッチパネル等の表示装置における保護膜の作製方法として、プラズマCVD法に代えて、感光性樹脂組成物を用いる方法が知られている。例えば、必要な箇所に保護膜(例えばレジスト膜)を設ける方法として、感光性樹脂組成物を含む感光層を所定の基板上に設けて、この感光層を露光及び現像する方法が知られている(例えば、下記特許文献2参照)。感光性樹脂組成物による保護膜の作製は、プラズマCVD法に比べてコストの削減が期待できる。   As a method for producing a protective film in a display device such as a touch panel, a method using a photosensitive resin composition instead of the plasma CVD method is known. For example, as a method of providing a protective film (for example, a resist film) at a required location, a method of providing a photosensitive layer containing a photosensitive resin composition on a predetermined substrate, and exposing and developing the photosensitive layer is known. (For example, refer to Patent Document 2 below). The production of the protective film with the photosensitive resin composition can be expected to reduce the cost as compared with the plasma CVD method.

特開2011−28594号公報JP 2011-28594 A 国際公開第2013/084873号International Publication No. 2013/084873

タッチパネル等の表示装置における保護膜には、優れた防錆性を得るために、透湿度が低いことが求められる。そこで、本発明は、透明電極パターンを保護する透湿度が十分に低い硬化膜を形成可能な転写型感光性フィルム、並びに、それを用いた硬化樹脂パターンの形成方法及びタッチパネルを提供することを目的とする。   A protective film in a display device such as a touch panel is required to have low moisture permeability in order to obtain excellent rust prevention. Then, this invention aims at providing the transfer type photosensitive film which can form the cured film with sufficient low moisture permeability which protects a transparent electrode pattern, the formation method of a cured resin pattern using the same, and a touch panel. And

上記目的を達成するために、本発明は、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた感光性樹脂層と、を備え、上記感光性樹脂層において、−O−、−C−CO−、−OH、−N−CO−及び−COOHから選ばれる親水基の合計の濃度が0.020mol/g以下である、転写型感光性フィルムを提供する。かかる転写型感光性フィルムによれば、感光性樹脂層における上記親水基の濃度を上記範囲に制御することにより、透湿度が十分に低減された硬化膜を形成することができ、タッチパネル等の表示装置における金属配線の腐食を十分に防ぐことができる。また、上記感光性樹脂層は、透明電極パターンを有する基材に対する密着性も良好である。   In order to achieve the above object, the present invention comprises a support film and a photosensitive resin layer provided on the support film, and in the photosensitive resin layer, -O-, -C-CO-, Provided is a transfer type photosensitive film in which the total concentration of hydrophilic groups selected from —OH, —N—CO—, and —COOH is 0.020 mol / g or less. According to such a transfer type photosensitive film, by controlling the concentration of the hydrophilic group in the photosensitive resin layer within the above range, a cured film with sufficiently reduced moisture permeability can be formed, and a display such as a touch panel can be formed. Corrosion of metal wiring in the apparatus can be sufficiently prevented. The photosensitive resin layer also has good adhesion to a substrate having a transparent electrode pattern.

上記転写型感光性フィルムにおいて、上記感光性樹脂層は、バインダーポリマーと、光重合性化合物と、光重合開始剤とを含有してもよい。感光性樹脂層が上記成分を含有することにより、この感光性樹脂層の硬化物を含む硬化樹脂パターンの形成が容易となる。   In the transfer type photosensitive film, the photosensitive resin layer may contain a binder polymer, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator. When the photosensitive resin layer contains the above components, it is easy to form a cured resin pattern including a cured product of the photosensitive resin layer.

上記光重合性化合物は、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物を含んでいてもよい。トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物を用いると、感光性樹脂層における上記親水基の濃度を低減し易く、透湿度が十分に低減された硬化膜を形成することが容易となる。また、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物を用いると、透明電極パターンを有する基材と感光性樹脂層との密着性がより良好となる。   The photopolymerizable compound may include a compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton. When a compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton is used, it is easy to reduce the concentration of the hydrophilic group in the photosensitive resin layer, and it becomes easy to form a cured film with sufficiently reduced moisture permeability. In addition, when a compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton is used, the adhesion between the substrate having the transparent electrode pattern and the photosensitive resin layer becomes better.

上記光重合開始剤は、オキシムエステル化合物及び/又はホスフィンオキサイド化合物を含有してもよい。これらの光重合開始剤を用いると、厚さが10μm以下の薄膜であっても充分な解像度で硬化樹脂パターンを形成することができる。   The photopolymerization initiator may contain an oxime ester compound and / or a phosphine oxide compound. When these photopolymerization initiators are used, a cured resin pattern can be formed with sufficient resolution even with a thin film having a thickness of 10 μm or less.

また、上記バインダーポリマーは、カルボキシル基を有していてもよい。ここで、上記バインダーポリマーは、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル、スチレン、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル及び(メタ)アクリル酸トリシクロデシルエステルからなる群より選択される少なくとも一種の化合物に由来する構造単位を有するバインダーポリマーであってもよい。上記バインダーポリマーを用いると、感光性樹脂層のアルカリ現像性、パターニング性及び透明性を向上させることができる。   The binder polymer may have a carboxyl group. Here, the binder polymer includes (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid glycidyl ester, (meth) acrylic acid benzyl ester, styrene, (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meta It may be a binder polymer having a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of: butyl acrylate, (meth) acrylic acid 2-ethylhexyl ester, and (meth) acrylic acid tricyclodecyl ester. . When the binder polymer is used, the alkali developability, patterning property and transparency of the photosensitive resin layer can be improved.

また、上記感光性樹脂層は、エチレン性不飽和結合を含むリン酸エステルを更に含有してもよい。感光性樹脂層がエチレン性不飽和結合を含むリン酸エステルを含有すると、透明電極パターンに対する密着性を向上でき、現像残りの発生を低減することができる。   The photosensitive resin layer may further contain a phosphate ester containing an ethylenically unsaturated bond. When the photosensitive resin layer contains a phosphate ester containing an ethylenically unsaturated bond, the adhesion to the transparent electrode pattern can be improved, and the occurrence of development residue can be reduced.

上記転写型感光性フィルムは、上記感光性樹脂層上に設けられた、金属酸化物粒子を含有する第二の樹脂層を更に備えていてもよい。この場合、タッチパネル等の表示装置において、透明電極パターンが形成された部分と、形成されていない部分との光学的な反射特性の違いによる色差を小さくすることが可能となり、モジュール化した際に透明電極パターンが画面上に映りこむ、いわゆる「骨見え現象」の問題の発生を抑制することができる。上記第二の樹脂層を備える場合、転写型感光性フィルムは屈折率調整機能を有する。   The transfer type photosensitive film may further include a second resin layer containing metal oxide particles provided on the photosensitive resin layer. In this case, in a display device such as a touch panel, it becomes possible to reduce a color difference due to a difference in optical reflection characteristics between a portion where the transparent electrode pattern is formed and a portion where the transparent electrode pattern is not formed. It is possible to suppress the occurrence of the so-called “bone appearance phenomenon” problem in which the electrode pattern is reflected on the screen. When the second resin layer is provided, the transfer type photosensitive film has a refractive index adjustment function.

上記第二の樹脂層は、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化スズ、酸化亜鉛、酸化インジウムスズ、酸化インジウム、酸化アルミウム、及び酸化イットリウムからなる群より選択される少なくとも一種の金属酸化物粒子を含んでいてもよい。この場合、第二の樹脂層の波長633nmにおける屈折率を適切な範囲に調整しやすい。   The second resin layer includes at least one metal oxide particle selected from the group consisting of zirconium oxide, titanium oxide, tin oxide, zinc oxide, indium tin oxide, indium oxide, aluminum oxide, and yttrium oxide. May be. In this case, it is easy to adjust the refractive index of the second resin layer at a wavelength of 633 nm to an appropriate range.

上記第二の樹脂層の厚さは10〜1000nmであってもよい。第二の樹脂層の厚さが上記範囲内であると、タッチパネルにおけるタッチ画面全体の反射光強度をより低減することが可能となる。   The thickness of the second resin layer may be 10 to 1000 nm. When the thickness of the second resin layer is within the above range, the reflected light intensity of the entire touch screen on the touch panel can be further reduced.

本発明はまた、基材上に、上記本発明の転写型感光性フィルムの上記感光性樹脂層をラミネートする工程と、上記基材上の上記感光性樹脂層の所定部分を露光後、上記所定部分以外を除去し、硬化樹脂パターンを形成する工程と、を備える硬化樹脂パターンの形成方法を提供する。ここで、転写型感光性フィルムが上記第二の樹脂層を備える場合、基材上に、上記第二の樹脂層及び上記感光性樹脂層を、上記基材と上記第二の樹脂層とが密着するようにラミネートし、上記第二の樹脂層及び上記感光性樹脂層の所定部分を露光後、上記所定部分以外を除去し、硬化樹脂パターンを形成する。   The present invention also includes a step of laminating the photosensitive resin layer of the transfer-type photosensitive film of the present invention on a substrate, and exposing the predetermined portion of the photosensitive resin layer on the substrate to the predetermined A method of forming a cured resin pattern, comprising: removing a portion other than the portion to form a cured resin pattern. Here, when the transfer type photosensitive film includes the second resin layer, the second resin layer and the photosensitive resin layer are formed on the base material, and the base material and the second resin layer are provided. Lamination is carried out so that the predetermined portions of the second resin layer and the photosensitive resin layer are exposed, and then the portions other than the predetermined portions are removed to form a cured resin pattern.

本発明は更に、上記本発明の転写型感光性フィルムにおける上記感光性樹脂層の硬化物を含む硬化樹脂パターンを備えるタッチパネルを提供する。ここで、転写型感光性フィルムが上記第二の樹脂層を備える場合、硬化樹脂パターンは第二の樹脂層の硬化物を更に含む。上記第二の樹脂層の硬化物を備える場合、硬化樹脂パターンは屈折率調整機能を有する。   The present invention further provides a touch panel provided with a cured resin pattern including a cured product of the photosensitive resin layer in the transfer type photosensitive film of the present invention. Here, when the transfer type photosensitive film includes the second resin layer, the cured resin pattern further includes a cured product of the second resin layer. When the cured product of the second resin layer is provided, the cured resin pattern has a refractive index adjustment function.

本発明によれば、透明電極パターンを保護する透湿度が十分に低い硬化膜を形成可能な転写型感光性フィルム、並びに、それを用いた硬化樹脂パターンの形成方法及びタッチパネルを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a transfer type photosensitive film capable of forming a cured film having a sufficiently low moisture permeability for protecting a transparent electrode pattern, a method for forming a cured resin pattern using the same, and a touch panel. .

本発明の一実施形態に係る転写型感光性フィルムを示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the transfer type photosensitive film which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る転写型感光性フィルムを用いて形成した硬化膜を透明電極パターン付き基材上に備える積層体を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the laminated body which equips the base material with a transparent electrode pattern with the cured film formed using the transfer type photosensitive film which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るタッチパネルを示す模式上面図である。It is a model top view which shows the touchscreen which concerns on one Embodiment of this invention.

以下、場合により図面を参照しつつ、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。なお、本明細書において、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸又はメタクリル酸を意味し、「(メタ)アクリレート」とは、アクリレート又はそれに対応するメタクリレートを意味する。「(ポリ)オキシエチレン鎖」とは、オキシエチレン基又はポリオキシエチレン基を意味し、「(ポリ)オキシプロピレン鎖」とは、オキシプロピレン基又はポリオキシプロピレン基を意味する。「A又はB」とは、AとBのどちらか一方を含んでいればよく、両方とも含んでいてもよい。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings depending on cases. However, the present invention is not limited to the following embodiments. In the present specification, “(meth) acrylic acid” means acrylic acid or methacrylic acid, and “(meth) acrylate” means acrylate or a corresponding methacrylate. The “(poly) oxyethylene chain” means an oxyethylene group or a polyoxyethylene group, and the “(poly) oxypropylene chain” means an oxypropylene group or a polyoxypropylene group. “A or B” only needs to include one of A and B, or may include both.

また、本明細書において「層」との語は、平面図として観察したときに、全面に形成されている形状の構造に加え、一部に形成されている形状の構造も包含される。また、本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。また、「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。   In addition, in this specification, the term “layer” includes a structure formed in a part in addition to a structure formed in the entire surface when observed as a plan view. In addition, in this specification, the term “process” is not limited to an independent process, and even if it cannot be clearly distinguished from other processes, the term “process” is used as long as the intended action of the process is achieved. included. Moreover, the numerical value range shown using "to" shows the range which includes the numerical value described before and behind "to" as a minimum value and a maximum value, respectively.

さらに、本明細書において組成物中の各成分の含有量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。また、例示材料は特に断らない限り単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Furthermore, in the present specification, the content of each component in the composition is the sum of the plurality of substances present in the composition unless there is a specific indication when there are a plurality of substances corresponding to each component in the composition. Means quantity. In addition, the exemplary materials may be used alone or in combination of two or more unless otherwise specified.

また、本明細書中に段階的に記載されている数値範囲において、ある段階の数値範囲の上限値又は下限値は、他の段階の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本明細書中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。   In addition, in the numerical ranges described stepwise in the present specification, the upper limit value or lower limit value of a numerical range of a certain step may be replaced with the upper limit value or lower limit value of the numerical range of another step. Further, in the numerical ranges described in this specification, the upper limit value or the lower limit value of the numerical range may be replaced with the values shown in the examples.

<転写型感光性フィルム>
本実施形態の転写型感光性フィルムは、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた感光性樹脂層と、を備えるものである。転写型感光性フィルムは、上記感光性樹脂層上に設けられた第二の樹脂層を更に備えていてもよい。また、転写型感光性フィルムは、感光性樹脂層又は第二の樹脂層上に設けられた保護フィルムを更に備えていてもよい。
<Transfer type photosensitive film>
The transfer type photosensitive film of this embodiment comprises a support film and a photosensitive resin layer provided on the support film. The transfer type photosensitive film may further include a second resin layer provided on the photosensitive resin layer. The transfer type photosensitive film may further include a protective film provided on the photosensitive resin layer or the second resin layer.

図1は、本発明の一実施形態に係る転写型感光性フィルム(転写型感光性屈折率調整フィルム)を示す模式断面図である。図1に示される転写型感光性フィルム1は、支持フィルム10と、上記支持フィルム10上に設けられた感光性樹脂層20と、上記感光性樹脂層上に設けられた第二の樹脂層30と、上記第二の樹脂層30上に設けられた保護フィルム40とを備える。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a transfer type photosensitive film (transfer type photosensitive refractive index adjusting film) according to an embodiment of the present invention. A transfer type photosensitive film 1 shown in FIG. 1 includes a support film 10, a photosensitive resin layer 20 provided on the support film 10, and a second resin layer 30 provided on the photosensitive resin layer. And a protective film 40 provided on the second resin layer 30.

上記転写型感光性フィルムを用いることで、例えばタッチパネルの額縁にある金属配線又はタッチパネルの透明電極の保護機能と、透明電極パターンの不可視化又はタッチ画面の視認性向上の両機能を満たす硬化膜を一括で形成することができる。   By using the transfer-type photosensitive film, for example, a cured film satisfying both functions of protecting the metal wiring on the frame of the touch panel or the transparent electrode of the touch panel, and making the transparent electrode pattern invisible or improving the visibility of the touch screen. It can be formed in a lump.

(支持フィルム)
支持フィルム10としては、重合体フィルムを用いることができる。重合体フィルムの材質としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、シクロオレフィンポリマー等が挙げられる。
(Support film)
As the support film 10, a polymer film can be used. Examples of the material for the polymer film include polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, polyethersulfone, and cycloolefin polymer.

支持フィルム10の厚さは、被覆性の確保と、支持フィルム10を介して活性光線を照射する際の解像度の低下を抑制する観点から、5〜100μmであることが好ましく、10〜70μmであることがより好ましく、15〜40μmであることがさらに好ましく、15〜35μmであることが特に好ましい。   The thickness of the support film 10 is preferably 5 to 100 μm, preferably 10 to 70 μm, from the viewpoint of ensuring coverage and suppressing a reduction in resolution when irradiating actinic rays through the support film 10. More preferably, it is 15-40 micrometers, It is more preferable, It is especially preferable that it is 15-35 micrometers.

(感光性樹脂層)
感光性樹脂層20は、バインダーポリマー(以下、(A)成分ともいう)と、光重合性化合物(以下、(B)成分ともいう)と、光重合開始剤(以下、(C)成分ともいう)とを含有する感光性樹脂組成物から形成されることが好ましい。感光性樹脂層20において、−O−、−C−CO−、−OH、−N−CO−及び−COOHから選ばれる親水基の合計の濃度は0.020mol/g以下である。
(Photosensitive resin layer)
The photosensitive resin layer 20 includes a binder polymer (hereinafter also referred to as (A) component), a photopolymerizable compound (hereinafter also referred to as (B) component), and a photopolymerization initiator (hereinafter also referred to as (C) component). ) And a photosensitive resin composition. In the photosensitive resin layer 20, the total concentration of hydrophilic groups selected from —O—, —C—CO—, —OH, —N—CO—, and —COOH is 0.020 mol / g or less.

(A)成分としては、アルカリ現像によりパターニングを可能とする観点から、カルボキシル基を有するポリマーを用いることが好ましい。   As the component (A), a polymer having a carboxyl group is preferably used from the viewpoint of enabling patterning by alkali development.

(A)成分は、(メタ)アクリル酸、及び(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来する構造単位を含有する共重合体が好適である。上記共重合体は、上記(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸アルキルエステルと共重合し得るその他のモノマーを構造単位に含有していてもよい。その他のモノマーとして具体的には、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル、スチレン等が挙げられる。また、得られる硬化膜の透湿度を低減する観点から、(メタ)アクリル酸トリシクロアルキルエステル等のトリシクロ骨格を有するモノマーを用いることが好ましい。   The component (A) is preferably a copolymer containing structural units derived from (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid alkyl ester. The copolymer may contain in the structural unit other monomers that can be copolymerized with the (meth) acrylic acid and the (meth) acrylic acid alkyl ester. Specific examples of the other monomer include (meth) acrylic acid glycidyl ester, (meth) acrylic acid benzyl ester, and styrene. Moreover, it is preferable to use the monomer which has tricyclo frame | skeletons, such as (meth) acrylic acid tricycloalkyl ester, from a viewpoint of reducing the water vapor transmission rate of the cured film obtained.

上記(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシルエチルエステル等が挙げられる。   Examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid butyl ester, (meth) acrylic acid 2-ethylhexyl ester, (meth) acrylic acid Examples thereof include hydroxyl ethyl ester.

これらの中でも、アルカリ現像性(特に無機アルカリ水溶液に対する現像性)、パターニング性、透明性の観点から、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル、スチレン、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸トリシクロデシルエステル、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシルマレイミド、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート及びヒドロキシブチル(メタ)アクリレートからなる群より選択される少なくとも一種の化合物に由来する構造単位を有するバインダーポリマーが好ましく、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル、スチレン、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル及び(メタ)アクリル酸トリシクロデシルエステルからなる群より選択される少なくとも一種の化合物に由来する構造単位を有するバインダーポリマーがより好ましく、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル及び(メタ)アクリル酸トリシクロデシルエステルに由来する構造単位を有するバインダーポリマーが特に好ましい。これらの化合物に由来する構造単位を有するバインダーポリマーを用いることにより、透明電極パターンを有する基材と感光性樹脂層との密着性を向上できると共に、感光性樹脂層における上記親水基の濃度を低減し易く、透湿度が十分に低減された硬化膜を形成することが容易となる。また、バインダーポリマーは、上記構造単位として少なくともヒドロキシエチル(メタ)アクリレート又はヒドロキシブチル(メタ)アクリレートを含む共重合体のヒドロキシエチル(メタ)アクリレート又はヒドロキシブチル(メタ)アクリレートに、イソシアネートエチル(メタ)アクリレート又はグリシジル(メタ)アクリレートを付加反応させたものであってもよい。   Among these, (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid glycidyl ester, (meth) acrylic acid benzyl ester, styrene, from the viewpoint of alkali developability (particularly developability with respect to an inorganic alkaline aqueous solution), patternability, and transparency. (Meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid butyl ester, (meth) acrylic acid 2-ethylhexyl ester, (meth) acrylic acid tricyclodecyl ester, dicyclopentenyl (meth) Acrylate, dicyclopentenyloxy (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentanyloxy (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, cyclohexylmale Preferred is a binder polymer having a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of hydrogen, hydroxyethyl (meth) acrylate and hydroxybutyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, glycidyl (meth) acrylate Esters, (meth) acrylic acid benzyl ester, styrene, (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid butyl ester, (meth) acrylic acid 2-ethylhexyl ester and (meth) acrylic Binder polymers having a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of acid tricyclodecyl esters are more preferable, (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid glycidyl ester, (meth) acrylic acid benzoate. Glycol ester and (meth) binder polymer having a structural unit derived from acrylic acid tricyclodecyl ester is particularly preferred. By using a binder polymer having a structural unit derived from these compounds, the adhesion between the substrate having a transparent electrode pattern and the photosensitive resin layer can be improved, and the concentration of the hydrophilic group in the photosensitive resin layer is reduced. It is easy to form, and it becomes easy to form a cured film with sufficiently reduced moisture permeability. In addition, the binder polymer is a copolymer of at least hydroxyethyl (meth) acrylate or hydroxybutyl (meth) acrylate as the structural unit, and hydroxyethyl (meth) acrylate or hydroxybutyl (meth) acrylate. An acrylate or glycidyl (meth) acrylate may be subjected to an addition reaction.

(A)成分の重量平均分子量は、解像度の観点から、10,000〜200,000であることが好ましく、15,000〜150,000であることがより好ましく、30,000〜150,000であることがさらに好ましく、30,000〜100,000であることが特に好ましく、40,000〜100,000であることが極めて好ましい。なお、重量平均分子量は、本明細書の実施例に記載したゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により測定することができる。   The weight average molecular weight of the component (A) is preferably 10,000 to 200,000, more preferably 15,000 to 150,000, and 30,000 to 150,000 from the viewpoint of resolution. More preferably, it is particularly preferably 30,000 to 100,000, and very preferably 40,000 to 100,000. In addition, a weight average molecular weight can be measured by the gel permeation chromatography method described in the Example of this specification.

(A)成分の酸価は、所望の形状を有する硬化膜(保護膜)をアルカリ現像で容易に形成する観点から、75mgKOH/g以上とすることが好ましい。また、硬化膜形状の制御容易性と硬化膜の防錆性との両立を図る観点から、(A)成分の酸価は、75〜200mgKOH/gであることが好ましく、75〜150mgKOH/gであることがより好ましく、75〜120mgKOH/gであることがさらに好ましい。なお、酸価は、本明細書の実施例に記載した方法で測定することができる。   The acid value of the component (A) is preferably 75 mgKOH / g or more from the viewpoint of easily forming a cured film (protective film) having a desired shape by alkali development. Further, from the viewpoint of achieving both controllability of the cured film shape and rust prevention of the cured film, the acid value of the component (A) is preferably 75 to 200 mgKOH / g, and 75 to 150 mgKOH / g. More preferably, it is 75 to 120 mgKOH / g. In addition, an acid value can be measured by the method described in the Example of this specification.

(A)成分の水酸基価は、硬化膜の防錆性をより向上させる観点から、50mgKOH/g以下であることが好ましく、45mgKOH/g以下であることがより好ましい。   The hydroxyl value of the component (A) is preferably 50 mgKOH / g or less, more preferably 45 mgKOH / g or less, from the viewpoint of further improving the rust prevention property of the cured film.

(B)成分としては、エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を用いることができる。エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物としては、一官能ビニルモノマー、二官能ビニルモノマー、又は少なくとも3つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する多官能ビニルモノマーが挙げられる。また、得られる硬化膜の透湿度を低減する観点から、(B)成分は、(メタ)アクリル酸トリシクロアルキルエステル等のトリシクロ環骨格を有する化合物を含むことが好ましい。   As the component (B), a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group can be used. Examples of the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group include a monofunctional vinyl monomer, a bifunctional vinyl monomer, or a polyfunctional vinyl monomer having at least three polymerizable ethylenically unsaturated groups. Moreover, it is preferable that (B) component contains the compound which has tricyclo ring skeletons, such as (meth) acrylic acid tricycloalkyl ester, from a viewpoint of reducing the water vapor transmission rate of the cured film obtained.

上記一官能ビニルモノマーとしては、例えば、上記(A)成分の好適な例である共重合体の合成に用いられるモノマーとして例示したものが挙げられる。   As said monofunctional vinyl monomer, what was illustrated as a monomer used for the synthesis | combination of the copolymer which is a suitable example of the said (A) component is mentioned, for example.

上記分子内に二つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する二官能ビニルモノマーとしては、硬化膜の透湿度を低減する観点から、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物を含むことが好ましい。金属配線及び透明電極パターンの腐食抑制の観点から、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物として、下記一般式(B−1)で表されるジ(メタ)アクリレート化合物を含むことが好ましい。   The bifunctional vinyl monomer having two polymerizable ethylenically unsaturated groups in the molecule includes a compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton from the viewpoint of reducing the moisture permeability of the cured film. preferable. From the viewpoint of inhibiting corrosion of the metal wiring and the transparent electrode pattern, the compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton preferably includes a di (meth) acrylate compound represented by the following general formula (B-1). .

Figure 2018165788

[一般式(B−1)中、R31及びR32は、それぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、Xは、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する2価の基を示し、R33及びR34は、それぞれ独立に炭素数1〜4のアルキレン基を示し、n及びmは、それぞれ独立に0〜2の整数を示し、p及びqは、それぞれ独立に0以上の整数を示し、p+q=0〜10となるように選択される。]
Figure 2018165788

[In General Formula (B-1), R 31 and R 32 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, X represents a divalent group having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton, and R 33 and R 34 each independently represent an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms, n and m each independently represent an integer of 0 to 2, and p and q each independently represents an integer of 0 or more. , P + q = 0 to 10 is selected. ]

上記一般式(B−1)において、R33及びR34は、エチレン基又はプロピレン基であることが好ましく、エチレン基であることがより好ましい。また、プロピレン基はn−イソプロピレン基及びイソプロピレン基のいずれであってもよい。 In the general formula (B-1), R 33 and R 34 are preferably an ethylene group or a propylene group, and more preferably an ethylene group. The propylene group may be either an n-isopropylene group or an isopropylene group.

上記一般式(B−1)で表される化合物によれば、Xに含まれるトリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する2価の基が、嵩高い構造を有することで、硬化膜の低透湿性を実現し、金属配線及び透明電極の腐食抑制性を向上されることができる。ここで、本明細書中における「トリシクロデカン骨格」及び「トリシクロデセン骨格」とは、それぞれ以下の構造(それぞれ、結合手は任意の箇所である)をいう。   According to the compound represented by the general formula (B-1), the divalent group having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton contained in X has a bulky structure, so that the cured film has a low thickness. Moisture permeability can be realized, and the corrosion resistance of the metal wiring and the transparent electrode can be improved. Here, “tricyclodecane skeleton” and “tricyclodecene skeleton” in the present specification refer to the following structures (where each bond is an arbitrary position).

Figure 2018165788
Figure 2018165788

トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物としては、得られる硬化膜パターンの低透湿性の観点から、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレートなどのトリシクロデカン骨格を有する化合物が好ましい。これらは、DCP及びA−DCP(いずれも新中村化学工業株式会社製)として入手可能である。   As the compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton, a compound having a tricyclodecane skeleton such as tricyclodecane dimethanol di (meth) acrylate is preferable from the viewpoint of low moisture permeability of the obtained cured film pattern. These are available as DCP and A-DCP (both manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.).

(B)成分における、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物の割合は、透湿度を低減する観点から、感光性樹脂組成物に含まれる光重合性化合物の合計量100質量部のうち、50質量部以上であることが好ましく、70質量部以上であることがより好ましく、80質量部以上であることがさらに好ましい。   In the component (B), the proportion of the compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton is, among the total amount of 100 parts by mass of the photopolymerizable compound contained in the photosensitive resin composition, from the viewpoint of reducing moisture permeability. , 50 parts by mass or more, preferably 70 parts by mass or more, and more preferably 80 parts by mass or more.

トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物とは別の、分子内に二つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する二官能ビニルモノマーとしては、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシフェニル)プロパン、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   A bifunctional vinyl monomer having two polymerizable ethylenically unsaturated groups in the molecule, other than a compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton, includes polyethylene glycol di (meth) acrylate and trimethylolpropane. Examples include di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, 2,2-bis (4- (meth) acryloxypolyethoxypolypropoxyphenyl) propane, and bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate.

上記少なくとも3つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する多官能ビニルモノマーとしては、従来公知のものを特に制限無く用いることができる。金属配線又は透明電極の腐食防止及び現像性の観点から、上記多官能ビニルモノマーとしては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート等のトリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物;テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート等のテトラメチロールメタン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物;ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート等のペンタエリスリトール由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物;ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等のジペンタエリスリトール由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物;ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート等のジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物;又はジグリセリン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物;シアヌル酸由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物を用いることが好ましい。   As the polyfunctional vinyl monomer having at least three polymerizable ethylenically unsaturated groups, conventionally known ones can be used without particular limitation. From the viewpoint of corrosion prevention and developability of metal wiring or transparent electrode, the polyfunctional vinyl monomer includes a (meth) acrylate compound having a skeleton derived from trimethylolpropane such as trimethylolpropane tri (meth) acrylate; tetramethylolmethane (Meth) acrylate compounds having a skeleton derived from tetramethylolmethane such as tri (meth) acrylate and tetramethylolmethanetetra (meth) acrylate; derived from pentaerythritol such as pentaerythritol tri (meth) acrylate and pentaerythritol tetra (meth) acrylate (Meth) acrylate compounds having the following skeleton: bones derived from dipentaerythritol such as dipentaerythritol penta (meth) acrylate and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate A (meth) acrylate compound having a skeleton derived from ditrimethylolpropane such as ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate; or a (meth) acrylate compound having a skeleton derived from diglycerin; derived from cyanuric acid It is preferable to use a (meth) acrylate compound having a skeleton.

これらの中でも、上記多官能ビニルモノマーは、ペンタエリスリトール由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物、ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物、トリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物、ジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物、又は、シアヌル酸由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物を含むことがさらに好ましい。   Among these, the polyfunctional vinyl monomer includes a (meth) acrylate compound having a skeleton derived from pentaerythritol, a (meth) acrylate compound having a skeleton derived from dipentaerythritol, and a (meth) acrylate having a skeleton derived from trimethylolpropane. It is more preferable to include a compound, a (meth) acrylate compound having a skeleton derived from ditrimethylolpropane, or a (meth) acrylate compound having a skeleton derived from cyanuric acid.

ここで、「〜由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物」について、ジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物を例にとり説明する。ジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレートとは、ジトリメチロールプロパンと、(メタ)アクリル酸とのエステル化物を意味し、当該エステル化物には、アルキレンオキシ基で変性された化合物も包含される。上記エステル化物は、一分子中におけるエステル結合数が最大数の4であることが好ましいが、エステル結合の数が1〜3の化合物が混合していてもよい。   Here, the “(meth) acrylate compound having a skeleton derived from” will be described by taking a (meth) acrylate compound having a skeleton derived from ditrimethylolpropane as an example. (Meth) acrylate having a skeleton derived from ditrimethylolpropane means an esterified product of ditrimethylolpropane and (meth) acrylic acid, and the esterified product includes a compound modified with an alkyleneoxy group. The The esterified product preferably has a maximum number of 4 ester bonds in one molecule, but a compound having 1 to 3 ester bonds may be mixed.

分子内に少なくとも3つの重合可能なエチレン性不飽和基を有するモノマーと、一官能ビニルモノマー又は二官能ビニルモノマーを組み合わせて用いる場合、使用する割合に特に制限は無いが、光硬化性及び電極腐食を防止する観点から、分子内に少なくとも3つの重合可能なエチレン性不飽和基を有するモノマーの割合が、感光性樹脂組成物に含まれる光重合性化合物の合計量100質量部のうち、30質量部以上であることが好ましく、50質量部以上であることがより好ましく、75質量部以上であることがさらに好ましい。   When a monomer having at least three polymerizable ethylenically unsaturated groups in the molecule is used in combination with a monofunctional vinyl monomer or a bifunctional vinyl monomer, the ratio to be used is not particularly limited, but photocurability and electrode corrosion From the viewpoint of preventing the polymerization, the proportion of the monomer having at least three polymerizable ethylenically unsaturated groups in the molecule is 30 mass out of 100 mass parts of the total amount of the photopolymerizable compound contained in the photosensitive resin composition. Part or more, preferably 50 parts by weight or more, and more preferably 75 parts by weight or more.

(A)成分及び(B)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、(A)成分が35〜85質量部であることが好ましく、40〜80質量部であることがより好ましく、50〜70質量部であることがさらに好ましく、55〜65質量部であることが特に好ましい。特に、パターン形成性及び硬化膜の透明性を維持する点では、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、(A)成分が、35質量部以上であることが好ましく、40質量部以上であることがより好ましく、50質量部以上であることがさらに好ましく、55質量部以上であることが特に好ましい。   The content of the component (A) and the component (B) is preferably 35 to 85 parts by mass of the component (A) with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). More preferably, it is 80 mass parts, It is further more preferable that it is 50-70 mass parts, It is especially preferable that it is 55-65 mass parts. In particular, the component (A) is preferably 35 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B) in terms of maintaining the pattern formability and transparency of the cured film. 40 parts by mass or more, more preferably 50 parts by mass or more, and particularly preferably 55 parts by mass or more.

(C)成分としては、従来公知の光重合開始剤を特に制限無く用いることができるが、透明性の高い光重合開始剤を用いることが好ましい。基材上に、厚さが10μm以下の薄膜であっても充分な解像度で樹脂硬化膜パターンを形成する点では、(C)成分はオキシムエステル化合物及び/又はホスフィンオキサイド化合物を含むことが好ましい。ホスフィンオキサイド化合物としては、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド等が挙げられる。   As the component (C), a conventionally known photopolymerization initiator can be used without any particular limitation, but a highly transparent photopolymerization initiator is preferably used. The component (C) preferably contains an oxime ester compound and / or a phosphine oxide compound in that a cured resin film pattern can be formed with sufficient resolution even on a substrate with a thickness of 10 μm or less. Examples of the phosphine oxide compound include 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide.

オキシムエステル化合物は、下記一般式(1)で表される化合物、下記一般式(2)で表される化合物、又は下記一般式(3)で表される化合物であることが好ましい。   The oxime ester compound is preferably a compound represented by the following general formula (1), a compound represented by the following general formula (2), or a compound represented by the following general formula (3).

Figure 2018165788
Figure 2018165788

式(1)中、R11及びR12は、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数4〜10のシクロアルキル基、フェニル基又はトリル基を示し、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数4〜6のシクロアルキル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましく、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数4〜6のシクロアルキル基、フェニル基又はトリル基であることがより好ましく、メチル基、シクロペンチル基、フェニル基又はトリル基であることがさらに好ましい。R13は、−H、−OH、−COOH、−O(CH)OH、−O(CHOH、−COO(CH)OH又は−COO(CHOHを示し、−H、−O(CH)OH、−O(CHOH、−COO(CH)OH、又は−COO(CHOHであることが好ましく、−H、−O(CHOH、又は−COO(CHOHであることがより好ましい。 In Formula (1), R 11 and R 12 each independently represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 10 carbon atoms, a phenyl group, or a tolyl group, and 1 to 8 carbon atoms. It is preferably an alkyl group, a cycloalkyl group having 4 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a tolyl group, and an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a tolyl group. More preferred is a methyl group, a cyclopentyl group, a phenyl group or a tolyl group. R 13 represents —H, —OH, —COOH, —O (CH 2 ) OH, —O (CH 2 ) 2 OH, —COO (CH 2 ) OH or —COO (CH 2 ) 2 OH; It is preferably H, —O (CH 2 ) OH, —O (CH 2 ) 2 OH, —COO (CH 2 ) OH, or —COO (CH 2 ) 2 OH, and —H, —O (CH 2 ) 2 OH or —COO (CH 2 ) 2 OH is more preferable.

Figure 2018165788
Figure 2018165788

式(2)中、2つのR14は、それぞれ独立に、炭素数1〜6のアルキル基を示し、プロピル基であることが好ましい。R15は、NO又はArCO(ここで、Arはアリール基を示す。)を示し、Arとしては、トリル基が好ましい。R16及びR17は、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基、又はトリル基を示し、メチル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましい。 In formula (2), two R < 14 > shows a C1-C6 alkyl group each independently, and it is preferable that it is a propyl group. R 15 represents NO 2 or ArCO (wherein Ar represents an aryl group), and Ar is preferably a tolyl group. R 16 and R 17 each independently represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a phenyl group, or a tolyl group, and is preferably a methyl group, a phenyl group, or a tolyl group.

Figure 2018165788
Figure 2018165788

式(3)中、R18は、炭素数1〜6のアルキル基を示し、エチル基であることが好ましい。R19はアセタール結合を有する有機基であり、後述する式(3−1)に示す化合物が有するR19に対応する置換基であることが好ましい。R20及びR21は、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示し、メチル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましく、メチル基であることがより好ましい。R22は、水素原子又はアルキル基を示す。 In formula (3), R 18 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and is preferably an ethyl group. R 19 is an organic group having an acetal bond, and is preferably a substituent corresponding to R 19 included in the compound represented by the formula (3-1) described later. R 20 and R 21 each independently represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a phenyl group or a tolyl group, preferably a methyl group, a phenyl group or a tolyl group, and more preferably a methyl group. . R 22 represents a hydrogen atom or an alkyl group.

上記一般式(1)で表される化合物としては、例えば、下記式(1−1)で表される化合物及び下記式(1−2)で表される化合物が挙げられる。下記式(1−1)で表される化合物は、IRGACURE OXE 01(BASFジャパン株式会社製、製品名)として入手可能である。   Examples of the compound represented by the general formula (1) include a compound represented by the following formula (1-1) and a compound represented by the following formula (1-2). The compound represented by the following formula (1-1) is available as IRGACURE OXE 01 (manufactured by BASF Japan Ltd., product name).

Figure 2018165788
Figure 2018165788

上記一般式(2)で表される化合物としては、例えば、下記式(2−1)で表される化合物が挙げられる。下記式(2−1)で表される化合物は、DFI−091(ダイトーケミックス株式会社製、製品名)として入手可能である。   Examples of the compound represented by the general formula (2) include a compound represented by the following formula (2-1). The compound represented by the following formula (2-1) is available as DFI-091 (manufactured by Daito Chemix Co., Ltd., product name).

Figure 2018165788
Figure 2018165788

上記一般式(3)で表される化合物としては、例えば、下記式(3−1)で表される化合物が挙げられる。下記式(3−1)で表される化合物は、アデカオプトマーN−1919(株式会社ADEKA製、製品名)として入手可能である。   Examples of the compound represented by the general formula (3) include a compound represented by the following formula (3-1). The compound represented by the following formula (3-1) is available as Adekaoptomer N-1919 (manufactured by ADEKA, product name).

Figure 2018165788
Figure 2018165788

その他のオキシムエステル化合物としては、下記式(4)で表される化合物、下記式(5)で表される化合物を用いることができる。   As another oxime ester compound, a compound represented by the following formula (4) and a compound represented by the following formula (5) can be used.

Figure 2018165788
Figure 2018165788

Figure 2018165788
Figure 2018165788

上記の中でも、上記式(1−1)で表される化合物が極めて好ましい。なお、上記式(1−1)で表される化合物が硬化膜に含まれているかどうかは、硬化膜の熱分解ガスクロマトグラフ質量分析を行ったときに、ヘプタノニトリル及び安息香酸が検出されるかどうかを指標にして判断することができる。硬化膜が高温の加熱工程を受けていない場合は、ヘプタノニトリル及び安息香酸が検出されることで硬化膜に上記式(1−1)で表される化合物が含まれていたことがわかる。硬化膜の熱分解ガスクロマトグラフ質量分析における安息香酸の検出ピーク面積は、ヘプタノニトリルの検出ピーク面積に対して、1〜10%の範囲で検出される。   Among the above, the compound represented by the formula (1-1) is very preferable. Whether the compound represented by the above formula (1-1) is contained in the cured film is determined by detecting heptanonitrile and benzoic acid when pyrolysis gas chromatography / mass spectrometry of the cured film is performed. Whether or not it can be judged as an index. When the cured film is not subjected to a high-temperature heating step, it can be understood that the compound represented by the above formula (1-1) was contained in the cured film by detecting heptanonitrile and benzoic acid. The detection peak area of benzoic acid in pyrolysis gas chromatograph mass spectrometry of the cured film is detected in the range of 1 to 10% with respect to the detection peak area of heptanonitrile.

硬化膜の熱分解ガスクロマトグラフ質量分析は、測定サンプルを140℃で加熱して発生したガスについてガスクロマトグラフ質量分析を行うことが好ましい。上記の測定サンプルの加熱時間は、1〜60分の範囲であればよいが、30分であることが好ましい。熱分解ガスクロマトグラフ質量分析の測定条件の一例を以下に示す。   In the pyrolysis gas chromatograph mass spectrometry of the cured film, it is preferable to perform gas chromatograph mass spectrometry on the gas generated by heating the measurement sample at 140 ° C. Although the heating time of said measurement sample should just be the range for 1 to 60 minutes, it is preferable that it is 30 minutes. An example of measurement conditions for pyrolysis gas chromatograph mass spectrometry is shown below.

(熱分解ガスクロマトグラフ質量分析の測定条件)
測定装置:GC/MS QP−2010(株式会社島津製作所製、製品名)
カラム:HP−5MS(アジレント・テクノロジー株式会社製、製品名)
Oven Temp:40℃で5分間加熱後、15℃/minの割合で300℃まで昇温
キャリアーガス:ヘリウム、1.0mL/min
インターフェイス温度:280℃
イオンソース温度:250℃
サンプル注入量:0.1mL
(Measurement conditions for pyrolysis gas chromatograph mass spectrometry)
Measuring device: GC / MS QP-2010 (manufactured by Shimadzu Corporation, product name)
Column: HP-5MS (manufactured by Agilent Technologies, product name)
Even Temp: heated at 40 ° C. for 5 minutes and then heated to 300 ° C. at a rate of 15 ° C./min. Carrier gas: helium, 1.0 mL / min
Interface temperature: 280 ° C
Ion source temperature: 250 ° C
Sample injection volume: 0.1 mL

(C)成分の含有量は、光感度及び解像度に優れる点では、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、0.1〜10質量部であることが好ましく、1〜5質量部であることがより好ましく、1〜3質量部であることがさらに好ましく、1〜2質量部であることが特に好ましい。   The content of the component (C) is preferably 0.1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B) in terms of excellent photosensitivity and resolution. More preferably, it is -5 mass parts, It is further more preferable that it is 1-3 mass parts, It is especially preferable that it is 1-2 mass parts.

本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、硬化膜の防錆性をより向上させる観点から、メルカプト基を有するトリアゾール化合物、メルカプト基を有するテトラゾール化合物、メルカプト基を有するチアジアゾール化合物、アミノ基を有するトリアゾール化合物及びアミノ基を有するテトラゾール化合物からなる群より選択される少なくとも一種の化合物(以下、(D)成分ともいう)をさらに含有することが好ましい。メルカプト基を有するトリアゾール化合物としては、例えば、3−メルカプト−トリアゾール(和光純薬工業株式会社製、製品名:3MT)が挙げられる。また、メルカプト基を有するチアジアゾール化合物としては、例えば、2−アミノ−5−メルカプト−1,3,4−チアジアゾール(和光純薬工業株式会社製、製品名:ATT)が挙げられる。   The photosensitive resin composition according to this embodiment has a triazole compound having a mercapto group, a tetrazole compound having a mercapto group, a thiadiazole compound having a mercapto group, and an amino group from the viewpoint of further improving the rust prevention property of the cured film It is preferable to further contain at least one compound selected from the group consisting of a triazole compound and a tetrazole compound having an amino group (hereinafter also referred to as component (D)). Examples of the triazole compound having a mercapto group include 3-mercapto-triazole (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., product name: 3MT). Examples of the thiadiazole compound having a mercapto group include 2-amino-5-mercapto-1,3,4-thiadiazole (product name: ATT, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.).

上記アミノ基を有するトリアゾール化合物としては、ベンゾトリアゾール、1H−ベンゾトリアゾール−1−アセトニトリル、ベンゾトリアゾール−5−カルボン酸、1H−ベンゾトリアゾール−1−メタノール、カルボキシベンゾトリアゾール等にアミノ基が置換した化合物、3−メルカプトトリアゾール、5−メルカプトトリアゾール等のメルカプト基を含むトリアゾール化合物にアミノ基が置換した化合物などが挙げられる。   Examples of the triazole compound having an amino group include benzotriazole, 1H-benzotriazole-1-acetonitrile, benzotriazole-5-carboxylic acid, 1H-benzotriazole-1-methanol, carboxybenzotriazole, etc. , 3-mercaptotriazole, 5-mercaptotriazole, and the like, and the like.

上記アミノ基を有するテトラゾール化合物としては、5−アミノ−1H−テトラゾール、1−メチル−5−アミノ−テトラゾール、1−メチル−5−メルカプト−1H−テトラゾール、1−カルボキシメチル−5−アミノ−テトラゾール等が挙げられる。これらのテトラゾール化合物は、その水溶性塩であってもよい。具体例としては、1−メチル−5−アミノ−テトラゾールのナトリウム、カリウム、リチウム等のアルカリ金属塩などが挙げられる。   Examples of the tetrazole compound having an amino group include 5-amino-1H-tetrazole, 1-methyl-5-amino-tetrazole, 1-methyl-5-mercapto-1H-tetrazole, 1-carboxymethyl-5-amino-tetrazole. Etc. These tetrazole compounds may be water-soluble salts thereof. Specific examples include alkali metal salts of 1-methyl-5-amino-tetrazole such as sodium, potassium and lithium.

感光性樹脂組成物が(D)成分を含有する場合、その含有量は、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、0.05〜5.0質量部が好ましく、0.1〜2.0質量部がより好ましく、0.2〜1.0質量部がさらに好ましく、0.3〜0.8質量部が特に好ましい。   When the photosensitive resin composition contains the component (D), the content is preferably 0.05 to 5.0 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B). 0.1-2.0 mass parts is more preferable, 0.2-1.0 mass part is further more preferable, and 0.3-0.8 mass part is especially preferable.

本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、ITO電極に対する密着性と、現像残りの発生を防ぐ観点から、エチレン性不飽和結合を含むリン酸エステル(以下、(E)成分ともいう)を含有することが好ましい。なお、本明細書において、エチレン性不飽和結合を含むリン酸エステルは、(B)成分ではなく(E)成分として扱うこととする。   The photosensitive resin composition according to the present embodiment contains a phosphate ester containing an ethylenically unsaturated bond (hereinafter also referred to as the (E) component) from the viewpoint of preventing adhesion of the ITO electrode and generation of development residue. It is preferable to do. In addition, in this specification, the phosphate ester containing an ethylenically unsaturated bond shall be handled as (E) component instead of (B) component.

(E)成分であるエチレン性不飽和結合を含むリン酸エステルとしては、形成する硬化膜の防錆性を充分確保しつつ、ITO電極に対する密着性と現像性とを高水準で両立する観点から、ユニケミカル株式会社製のPhosmerシリーズ(Phosmer−M、Phosmer−CL、Phosmer−PE、Phosmer−MH、Phosmer−PP等)、又は日本化薬株式会社製のKAYAMERシリーズ(PM−21、PM−2等)が好ましい。   As the phosphate ester containing an ethylenically unsaturated bond as the component (E), from the viewpoint of achieving both high adhesion and developability to the ITO electrode while ensuring sufficient rust prevention of the cured film to be formed. The Phosmer series (Phosmer-M, Phosmer-CL, Phosmer-PE, Phosmer-MH, Phosmer-PP, etc.) manufactured by Unichemical Co., Ltd., or the KAYAMER series (PM-21, PM-2 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) Etc.) is preferred.

上述した感光性樹脂組成物を用いて形成される感光性樹脂層20は、−O−、−C−CO−、−OH、−N−CO−及び−COOHから選ばれる親水基の合計の濃度が0.020mol/g以下であることが必要である。上記親水基の合計の濃度が0.020mol/g以下であることで、透湿度が十分に低い硬化膜を形成することができる。上記親水基の合計の濃度は、得られる硬化膜の透湿度をより低減する観点から、0.019mol/g以下であることがより好ましく、0.018mol/g以下であることが更に好ましく、0.017mol/g以下であることが特に好ましい。上記親水基の合計の濃度は、使用する(A)成分及び(B)成分の種類及び配合量等を調整することにより、上記範囲内とすることができる。特に、(A)成分及び(B)成分として、トリシクロ環構造を有するものを用いることで、上記親水基の合計の濃度を効果的に低減することができ、硬化膜の低透湿化及び防錆性の向上を図ることができる。   The photosensitive resin layer 20 formed using the photosensitive resin composition described above has a total concentration of hydrophilic groups selected from —O—, —C—CO—, —OH, —N—CO—, and —COOH. Must be 0.020 mol / g or less. When the total concentration of the hydrophilic groups is 0.020 mol / g or less, a cured film having a sufficiently low moisture permeability can be formed. From the viewpoint of further reducing the moisture permeability of the resulting cured film, the total concentration of the hydrophilic groups is more preferably 0.019 mol / g or less, still more preferably 0.018 mol / g or less. It is particularly preferable that the amount be 0.017 mol / g or less. The total concentration of the hydrophilic groups can be within the above range by adjusting the types and blending amounts of the component (A) and the component (B) to be used. In particular, by using a component having a tricyclo ring structure as the component (A) and the component (B), the total concentration of the hydrophilic groups can be effectively reduced, and the moisture permeability and prevention of the cured film can be reduced. The rust property can be improved.

上記感光性樹脂層20の厚みは、保護膜として十分に効果を奏し、かつ透明電極パターン付き基材表面の段差を十分に埋め込む上では、乾燥後の厚みで15μm以下であることが好ましく、2〜10μmであることがより好ましく、3〜8μmであることがさらに好ましい。また、硬化後における感光性樹脂層の厚みも上記範囲内であることが好ましい。   The thickness of the photosensitive resin layer 20 is preferably 15 μm or less in terms of the thickness after drying, in order to sufficiently exhibit the effect as a protective film and sufficiently bury the step on the surface of the substrate with the transparent electrode pattern. More preferably, it is 10-10 micrometers, and it is further more preferable that it is 3-8 micrometers. Further, the thickness of the photosensitive resin layer after curing is also preferably within the above range.

(第二の樹脂層)
第二の樹脂層30は、633nmにおける屈折率が1.40〜1.90の範囲内であることが好ましく、1.50〜1.90であることがより好ましく、1.53〜1.85であることが更に好ましく、1.55〜1.75であることが特に好ましい。また、第二の樹脂層が硬化性成分を含む場合、硬化後における第二の樹脂層の633nmにおける屈折率も上記範囲内であることが好ましい。
(Second resin layer)
The second resin layer 30 preferably has a refractive index at 633 nm in the range of 1.40 to 1.90, more preferably 1.50 to 1.90, and 1.53 to 1.85. Is more preferable, and 1.55-1.75 is particularly preferable. Moreover, when the 2nd resin layer contains a sclerosing | hardenable component, it is preferable that the refractive index in 633 nm of the 2nd resin layer after hardening is also in the said range.

第二の樹脂層30の633nmにおける屈折率が上記範囲内であると、硬化膜パターンをITO等の透明電極パターン上に設けた場合に、硬化膜パターン上に使用される各種部材(例えば、モジュール化する際に使用するカバーガラスと透明電極パターンとを接着するOCA)との屈折率の中間値となり、ITO等の透明電極パターンが形成されている部分と形成されていない部分での光学的な反射による色差を小さくすることが可能となり、骨見え現象を防止できる。また、画面全体の反射光強度を低減することが可能となり、画面上の透過率低下を抑制することが可能となる。   When the refractive index at 633 nm of the second resin layer 30 is within the above range, various members (for example, modules) used on the cured film pattern when the cured film pattern is provided on a transparent electrode pattern such as ITO. It becomes an intermediate value of the refractive index of the cover glass and the OCA that bonds the transparent electrode pattern to the transparent electrode pattern, and is optical in the portion where the transparent electrode pattern such as ITO is formed and the portion where it is not formed. It is possible to reduce the color difference due to reflection and prevent the appearance of bone. Moreover, it becomes possible to reduce the reflected light intensity of the whole screen, and to suppress the transmittance | permeability fall on a screen.

ITO等の透明電極の屈折率は、1.80〜2.10であることが好ましく、1.85〜2.05であることがより好ましく、1.90〜2.00であることがさらに好ましい。また、OCA等の部材の屈折率は1.45〜1.55であることが好ましく、1.47〜1.53であることがより好ましく、1.48〜1.51であることがさらに好ましい。   The refractive index of a transparent electrode such as ITO is preferably 1.80 to 2.10, more preferably 1.85 to 2.05, and even more preferably 1.90 to 2.00. . Further, the refractive index of a member such as OCA is preferably 1.45 to 1.55, more preferably 1.47 to 1.53, and further preferably 1.48 to 1.51. .

第二の樹脂層30は、450〜650nmの波長域における最小光透過率が80%以上であることが好ましく、85%以上であることがより好ましく、90%以上であることがさらに好ましい。また、第二の樹脂層が硬化性成分を含む場合、硬化後における第二の樹脂層の450〜650nmの波長域における最小光透過率も上記範囲内であることが好ましい。   The second resin layer 30 preferably has a minimum light transmittance of 80% or more in a wavelength region of 450 to 650 nm, more preferably 85% or more, and further preferably 90% or more. Moreover, when the 2nd resin layer contains a sclerosing | hardenable component, it is preferable that the minimum light transmittance in the 450-650 nm wavelength range of the 2nd resin layer after hardening is also in the said range.

第二の樹脂層30は、上記の(A)成分、(B)成分及び(C)成分を含有することができ、必要に応じて、上記(D)成分及び/又は上記(E)成分を更に含有することができる。第二の樹脂層30は(B)成分、(C)成分等の光重合成分を必ずしも含有する必要はなく、層形成により隣接する樹脂層から移行する光重合成分を利用して第二の樹脂層を光硬化させることもできる。   The 2nd resin layer 30 can contain said (A) component, (B) component, and (C) component, and said (D) component and / or said (E) component as needed. Furthermore, it can contain. The second resin layer 30 does not necessarily contain a photopolymerization component such as the component (B) or the component (C), and the second resin layer is formed by utilizing a photopolymerization component that migrates from an adjacent resin layer due to layer formation. The layer can also be photocured.

第二の樹脂層30は、金属酸化物粒子(以下、(F)成分ともいう)を含有する。金属酸化物粒子としては、特に波長633nmにおける屈折率が1.50以上である、金属酸化物粒子を含有することが好ましい。これにより、転写型感光性屈折率調整フィルムを調製した際、第二の樹脂層の透明性及び波長633nmにおける屈折率を向上させることが可能となる。また基材への吸着を抑制しつつ、現像性を向上させることができる。   The second resin layer 30 contains metal oxide particles (hereinafter also referred to as component (F)). The metal oxide particles preferably contain metal oxide particles having a refractive index of 1.50 or more at a wavelength of 633 nm. Thereby, when the transfer type photosensitive refractive index adjusting film is prepared, it is possible to improve the transparency of the second resin layer and the refractive index at a wavelength of 633 nm. Moreover, developability can be improved, suppressing adsorption | suction to a base material.

金属酸化物粒子としては、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化スズ、酸化亜鉛、酸化インジウムスズ、酸化インジウム、酸化アルミウム、酸化イットリウム、ガラス等の金属酸化物からなる粒子が挙げられる。これらの中でも、骨見え現象抑制の観点から、酸化ジルコニウム又は酸化チタンの粒子が好ましい。   Examples of the metal oxide particles include particles made of metal oxides such as zirconium oxide, titanium oxide, tin oxide, zinc oxide, indium tin oxide, indium oxide, aluminum oxide, yttrium oxide, and glass. Among these, particles of zirconium oxide or titanium oxide are preferable from the viewpoint of suppressing the bone appearance phenomenon.

酸化ジルコニウム粒子としては、透明電極の材料がITOの場合、屈折率向上と、ITO及び透明基材との密着性の観点から、酸化ジルコニウムナノ粒子を用いることが好ましい。酸化ジルコニウムナノ粒子の中でも、粒度分布Dmaxが40nm以下であることが好ましい。   As the zirconium oxide particles, when the material of the transparent electrode is ITO, it is preferable to use zirconium oxide nanoparticles from the viewpoint of improving the refractive index and adhesion between the ITO and the transparent substrate. Among the zirconium oxide nanoparticles, the particle size distribution Dmax is preferably 40 nm or less.

酸化ジルコニウムナノ粒子は、OZ−S30K(日産化学工業株式会社製、製品名)、OZ−S40K−AC(日産化学工業株式会社製、製品名)、SZR−K(酸化ジルコニウムメチルエチルケトン分散液、堺化学工業株式会社製、製品名)、SZR−M(酸化ジルコニウムメタノール分散液、堺化学工業株式会社製、製品名)として商業的に入手可能である。   Zirconium oxide nanoparticles are OZ-S30K (product name, manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.), OZ-S40K-AC (product name, manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.), SZR-K (zirconium oxide methyl ethyl ketone dispersion, Sakai Chemical Co., Ltd.). Kogyo Co., Ltd., product name) and SZR-M (zirconium oxide methanol dispersion, Sakai Chemical Industry Co., Ltd., product name) are commercially available.

第二の樹脂層30には、(F)成分として酸化チタンナノ粒子を含有させることも可能である。また、酸化チタンナノ粒子の中でも、粒度分布Dmaxが50nm以下であることが好ましく、10〜50nmがより好ましい。   The second resin layer 30 may contain titanium oxide nanoparticles as the component (F). Moreover, among the titanium oxide nanoparticles, the particle size distribution Dmax is preferably 50 nm or less, and more preferably 10 to 50 nm.

(F)成分として、上記金属酸化物粒子のほかに、例えばMg、Al、Si、Ca、Cr、Cu、Zn、Ba等の原子を含む酸化物粒子または硫化物粒子を用いることもできる。これらは、単独で又は二種類以上を組み合わせて使用できる。   As the component (F), in addition to the metal oxide particles, oxide particles or sulfide particles containing atoms such as Mg, Al, Si, Ca, Cr, Cu, Zn, and Ba can be used. These can be used alone or in combination of two or more.

また上記金属酸化物粒子の他に、例えばトリアジン環を有する化合物、イソシアヌル酸骨格を有する化合物、フルオレン骨格を有する化合物等の有機化合物を用いることも可能である。これにより波長633nmにおける屈折率を向上させることができる。   In addition to the metal oxide particles, organic compounds such as a compound having a triazine ring, a compound having an isocyanuric acid skeleton, and a compound having a fluorene skeleton can also be used. Thereby, the refractive index in wavelength 633nm can be improved.

上記第二の樹脂層30の厚みは、10〜1000nmであってもよく、50〜500nmであることが好ましく、60〜300nmであることがより好ましく、70〜250nmであることがさらに好ましく、80〜200nmであることが特に好ましい。厚みが50〜500nmであることにより、上述の画面全体の反射光強度をより低減することが可能となる。また、硬化後における第二の樹脂層の厚みも上記範囲内であることが好ましい。   The thickness of the second resin layer 30 may be 10 to 1000 nm, preferably 50 to 500 nm, more preferably 60 to 300 nm, still more preferably 70 to 250 nm, 80 It is especially preferable that it is -200 nm. When the thickness is 50 to 500 nm, the reflected light intensity of the entire screen can be further reduced. Moreover, it is preferable that the thickness of the 2nd resin layer after hardening is also in the said range.

第二の樹脂層30の屈折率は、第二の樹脂層が単層で、膜厚が膜厚方向で均一な場合、ETA−TCM(AudioDevGmbH株式会社製、製品名)を用いて以下のように求めることができる。また、以下の測定は、25℃の条件下で行う。
(1)第二の樹脂層を形成するための塗布液を、厚み0.7mm、縦10cm×横10cmのガラス基材上にスピンコーターで均一に塗布し、100℃の熱風滞留式乾燥機で3分間乾燥して溶剤を除去し、第二の樹脂層を形成する。
(2)次いで、140℃に加熱した箱型乾燥機(三菱電機株式会社製、型番:NV50−CA)内に30分間静置し、第二の樹脂層を有する屈折率測定用試料を得る。
(3)次いで、得られた屈折率測定用試料について、ETA−TCM(AudioDevGmbH株式会社製、製品名)にて波長633nmにおける屈折率を測定する。
When the second resin layer is a single layer and the film thickness is uniform in the film thickness direction, the refractive index of the second resin layer 30 is as follows using ETA-TCM (product name, manufactured by AudioDev GmbH). Can be requested. The following measurement is performed under the condition of 25 ° C.
(1) A coating solution for forming the second resin layer is uniformly applied on a glass substrate having a thickness of 0.7 mm, a length of 10 cm and a width of 10 cm by a spin coater, and a hot air residence type dryer at 100 ° C. Dry for 3 minutes to remove the solvent and form a second resin layer.
(2) Next, the sample is allowed to stand for 30 minutes in a box-type dryer heated to 140 ° C. (manufactured by Mitsubishi Electric Corporation, model number: NV50-CA) to obtain a sample for refractive index measurement having a second resin layer.
(3) Next, the refractive index at a wavelength of 633 nm is measured by ETA-TCM (manufactured by AudioDev GmbH, product name) for the obtained sample for refractive index measurement.

単層の感光性樹脂層における屈折率も同様の方法で測定することができる。なお、転写型感光性フィルムの形態では、第二の樹脂層単層の屈折率を測定することは難しいため、第二の樹脂層の保護フィルム側の最表面層の値とする。   The refractive index in a single photosensitive resin layer can also be measured by the same method. In addition, since it is difficult to measure the refractive index of the second resin layer single layer in the form of the transfer type photosensitive film, the value of the outermost surface layer on the protective film side of the second resin layer is used.

(他の層)
本実施形態の感光性屈折率調整フィルムは、本発明の効果が得られる範囲で、適宜選択した他の層を設けてもよい。上記他の層としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、クッション層、酸素遮蔽層、剥離層、接着層等が挙げられる。上記感光性屈折率調整フィルムは、これらの層を1種単独で有していてもよく、2種以上を有してもよい。また、同種の層を2以上有していてもよい。
(Other layers)
The photosensitive refractive index adjusting film of the present embodiment may be provided with other appropriately selected layers as long as the effects of the present invention are obtained. There is no restriction | limiting in particular as said other layer, According to the objective, it can select suitably, For example, a cushion layer, an oxygen shielding layer, a peeling layer, an adhesive layer etc. are mentioned. The said photosensitive refractive index adjustment film may have these layers individually by 1 type, and may have 2 or more types. Moreover, you may have 2 or more of the same kind of layers.

(保護フィルム)
保護フィルム40としては、重合体フィルムを用いることができる。重合体フィルムの材質としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体等が挙げられる。保護フィルム40は、異なる材質からなる重合体フィルムを積層した積層フィルムであってもよく、例えば、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体フィルムとポリエチレンフィルムとを積層した積層フィルム等であってもよい。
(Protective film)
As the protective film 40, a polymer film can be used. Examples of the material of the polymer film include polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene-vinyl acetate copolymer, and the like. The protective film 40 may be a laminated film in which polymer films made of different materials are laminated, for example, a laminated film in which a polyethylene-vinyl acetate copolymer film and a polyethylene film are laminated.

保護フィルム40の厚さは、5〜100μmが好ましいが、転写型感光性フィルム1をロール状に巻いて保管する観点から、70μm以下であることが好ましく、60μm以下であることがより好ましく、50μm以下であることがさらに好ましく、40μm以下であることが特に好ましい。   The thickness of the protective film 40 is preferably 5 to 100 μm, but is preferably 70 μm or less, more preferably 60 μm or less, and 50 μm from the viewpoint of storing the transfer type photosensitive film 1 in a roll shape. More preferably, it is more preferably 40 μm or less.

転写型感光性フィルム1における感光性樹脂層20及び第二の樹脂層30を硬化させた硬化膜部分(支持フィルム10及び保護フィルム40を除く)の、波長400〜700nmの可視光領域における全光線透過率(Tt)の最小値は、90.00%以上であることが好ましく、90.50%以上であることがより好ましく、90.70%以上であることがさらに好ましい。一般的な可視光波長域である400〜700nmにおける全光線透過率が90.00%以上であれば、タッチパネル(タッチセンサー)のセンシング領域の透明電極を保護する場合において、センシング領域での画像表示品質、色合い、輝度が低下することを充分抑制することができる。   Total light in a visible light region of a wavelength of 400 to 700 nm of a cured film portion (excluding the support film 10 and the protective film 40) obtained by curing the photosensitive resin layer 20 and the second resin layer 30 in the transfer type photosensitive film 1. The minimum value of the transmittance (Tt) is preferably 90.00% or more, more preferably 90.50% or more, and further preferably 90.70% or more. When the total light transmittance in a general visible light wavelength region of 400 to 700 nm is 90.00% or more, when protecting the transparent electrode in the sensing region of the touch panel (touch sensor), image display in the sensing region It can suppress sufficiently that quality, a hue, and a brightness | luminance fall.

転写型感光性フィルム1の感光性樹脂層20、第二の樹脂層30は、例えば、感光性樹脂組成物を含有する塗布液、及び第二の樹脂組成物を含有する塗布液を調製し、これを各々支持フィルム10、保護フィルム40上に塗布、乾燥することで形成できる。そして、転写型感光性フィルム1は、感光性樹脂層20が形成された支持フィルム10と、第二の樹脂層30が形成された保護フィルム40とを、感光性樹脂層20と第二の樹脂層30とが対向した状態で貼り合わせることにより形成できる。また、転写型感光性フィルム1は、支持フィルム10上に感光性樹脂組成物を含有する塗布液を塗布、乾燥し、その後、感光性樹脂層20上に、第二の樹脂組成物を含有する塗布液を塗布、乾燥し、保護フィルム40を貼り付けることにより形成することもできる。   The photosensitive resin layer 20 and the second resin layer 30 of the transfer type photosensitive film 1 are prepared, for example, as a coating liquid containing a photosensitive resin composition and a coating liquid containing a second resin composition, This can be formed by coating and drying on the support film 10 and the protective film 40, respectively. The transfer type photosensitive film 1 includes a support film 10 on which the photosensitive resin layer 20 is formed, and a protective film 40 on which the second resin layer 30 is formed, and the photosensitive resin layer 20 and the second resin. It can form by bonding together in the state facing the layer 30. FIG. Further, the transfer type photosensitive film 1 is coated with a coating solution containing a photosensitive resin composition on the support film 10 and dried, and then contains a second resin composition on the photosensitive resin layer 20. It can also be formed by applying and drying a coating solution and attaching a protective film 40.

塗布液は、上述した本実施形態に係る感光性樹脂組成物、第二の樹脂組成物を構成する各成分を溶剤に均一に溶解又は分散することにより得ることができる。   The coating liquid can be obtained by uniformly dissolving or dispersing each component constituting the photosensitive resin composition and the second resin composition according to the present embodiment described above in a solvent.

塗布液として用いる溶剤は、特に制限は無く、公知のものが使用できる。具体的には、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、メチレングリコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、クロロホルム、塩化メチレン等が挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular in the solvent used as a coating liquid, A well-known thing can be used. Specifically, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, toluene, methanol, ethanol, propanol, butanol, methylene glycol, ethylene glycol, propylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether , Diethylene glycol diethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, chloroform, methylene chloride and the like.

塗布方法としては、ドクターブレードコーティング法、マイヤーバーコーティング法、ロールコーティング法、スクリーンコーティング法、スピナーコーティング法、インクジェットコーティング法、スプレーコーティング法、ディップコーティング法、グラビアコーティング法、カーテンコーティング法、ダイコーティング法等が挙げられる。   Application methods include doctor blade coating method, Mayer bar coating method, roll coating method, screen coating method, spinner coating method, inkjet coating method, spray coating method, dip coating method, gravure coating method, curtain coating method, and die coating method. Etc.

乾燥条件に特に制限は無いが、乾燥温度は、60〜130℃とすることが好ましく、乾燥時間は、0.5〜30分とすることが好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular in drying conditions, It is preferable that drying temperature shall be 60-130 degreeC, and it is preferable that drying time shall be 0.5-30 minutes.

感光性樹脂層及び第二の樹脂層の粘度は、転写型感光性フィルム1をロール状に保管した場合に、転写型感光性フィルム1の端面から樹脂組成物がしみ出すことを防止する観点及び転写型感光性フィルム1を切断する際に樹脂組成物の破片が基材に付着することを防止する観点から、30℃において、15〜100mPa・sであることが好ましく、20〜90mPa・sであることがより好ましく、25〜80mPa・sであることがさらに好ましい。   The viscosity of the photosensitive resin layer and the second resin layer is a viewpoint that prevents the resin composition from exuding from the end face of the transfer type photosensitive film 1 when the transfer type photosensitive film 1 is stored in a roll shape, and From the viewpoint of preventing debris of the resin composition from adhering to the substrate when the transfer type photosensitive film 1 is cut, it is preferably 15 to 100 mPa · s at 30 ° C., and 20 to 90 mPa · s. More preferably, it is more preferably 25 to 80 mPa · s.

図2は、本発明の一実施形態に係る転写型感光性フィルムを用いて形成した硬化膜を透明電極パターン付き基材上に備える積層体を示す模式断面図である。図2に示される積層体100は、透明電極パターン50aを有する透明電極パターン付き基材50と、透明電極パターン付き基材50の透明電極パターン50a上に設けられた硬化膜60とを備える。硬化膜60は、硬化した感光性樹脂層22及び硬化した第二の樹脂層32からなる硬化膜であり、本実施形態の転写型感光性フィルム1を用いて形成されている。硬化膜60は、透明電極パターン50aの保護機能と、透明電極パターン50aの不可視化又はタッチ画面の視認性向上の両機能を満たす。以下、透明電極パターン付き基材上に硬化膜が形成された積層体の製造方法の一実施形態について説明する。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a laminate comprising a cured film formed using a transfer type photosensitive film according to an embodiment of the present invention on a substrate with a transparent electrode pattern. The laminated body 100 shown by FIG. 2 is provided with the base material 50 with the transparent electrode pattern which has the transparent electrode pattern 50a, and the cured film 60 provided on the transparent electrode pattern 50a of the base material 50 with a transparent electrode pattern. The cured film 60 is a cured film composed of the cured photosensitive resin layer 22 and the cured second resin layer 32, and is formed using the transfer type photosensitive film 1 of the present embodiment. The cured film 60 satisfies both the protective function of the transparent electrode pattern 50a and the function of making the transparent electrode pattern 50a invisible or improving the visibility of the touch screen. Hereinafter, an embodiment of a method for producing a laminate in which a cured film is formed on a substrate with a transparent electrode pattern will be described.

まず、転写型感光性フィルム1の保護フィルム40を除去した後、第二の樹脂層30、感光性樹脂層20及び支持フィルム10を、透明電極パターン付き基材50表面に第二の樹脂層30側から圧着することによりラミネート(転写)する。圧着手段としては、圧着ロールが挙げられる。圧着ロールは、加熱圧着できるように加熱手段を備えたものであってもよい。   First, after removing the protective film 40 of the transfer type photosensitive film 1, the second resin layer 30, the photosensitive resin layer 20 and the support film 10 are placed on the surface of the substrate 50 with a transparent electrode pattern. Laminate (transfer) by pressing from the side. Examples of the pressing means include a pressing roll. The pressure roll may be provided with a heating means so that it can be heat-pressure bonded.

加熱圧着する場合の加熱温度は、第二の樹脂層30と透明電極パターン付き基材50との密着性の観点、及び、感光性樹脂層20又は第二の樹脂層30の構成成分が熱硬化又は熱分解されにくいようにする観点から、10〜160℃とすることが好ましく、20〜150℃とすることがより好ましく、30〜150℃とすることがさらに好ましい。   In the case of thermocompression bonding, the heating temperature is determined from the viewpoint of adhesion between the second resin layer 30 and the substrate 50 with the transparent electrode pattern, and the constituent components of the photosensitive resin layer 20 or the second resin layer 30 are thermoset. Alternatively, from the viewpoint of preventing thermal decomposition, the temperature is preferably 10 to 160 ° C, more preferably 20 to 150 ° C, and still more preferably 30 to 150 ° C.

また、加熱圧着時の圧着圧力は、第二の樹脂層30と透明電極パターン付き基材50との密着性を充分確保しながら、透明電極パターン付き基材50の変形を抑制する観点から、線圧で50〜1×10N/mとすることが好ましく、2.5×10〜5×10N/mとすることがより好ましく、5×10〜4×10N/mとすることがさらに好ましい。 In addition, the pressing pressure at the time of thermocompression bonding is a line from the viewpoint of suppressing the deformation of the substrate 50 with the transparent electrode pattern while ensuring sufficient adhesion between the second resin layer 30 and the substrate 50 with the transparent electrode pattern. The pressure is preferably 50 to 1 × 10 5 N / m, more preferably 2.5 × 10 2 to 5 × 10 4 N / m, and 5 × 10 2 to 4 × 10 4 N / m. More preferably.

転写型感光性フィルム1を上記のように加熱圧着すれば、透明電極パターン付き基材50の予熱処理は必ずしも必要ではないが、第二の樹脂層30と透明電極パターン付き基材50との密着性をさらに向上させる点から、透明電極パターン付き基材50を予熱処理してもよい。このときの処理温度は、30〜150℃とすることが好ましい。   If the transfer type photosensitive film 1 is thermocompression bonded as described above, the pre-heat treatment of the substrate 50 with a transparent electrode pattern is not necessarily required, but the second resin layer 30 and the substrate 50 with a transparent electrode pattern are in close contact with each other. From the point of further improving the property, the substrate 50 with a transparent electrode pattern may be preheated. It is preferable that the processing temperature at this time shall be 30-150 degreeC.

透明電極パターン付き基材50を構成する基材としては、例えばタッチパネル(タッチセンサー)に用いられる、ガラス板、プラスチック板、セラミック板等の基材が挙げられる。この基材上には、硬化膜を形成する対象となる電極が設けられる。電極としては、ITO、Cu、Al、Mo等の電極が挙げられる。また、基材上には、基材と電極との間に絶縁層が設けられていてもよい。   As a base material which comprises the base material 50 with a transparent electrode pattern, base materials, such as a glass plate used for a touch panel (touch sensor), a plastic plate, a ceramic board, are mentioned, for example. On this base material, an electrode to be a target for forming a cured film is provided. Examples of the electrode include electrodes such as ITO, Cu, Al, and Mo. In addition, an insulating layer may be provided on the base material between the base material and the electrode.

次に、転写後の感光性樹脂層及び第二の樹脂層の所定部分に、フォトマスクを介して、活性光線をパターン状に照射する。活性光線を照射する際、感光性樹脂層及び第二の樹脂層上の支持フィルム10が透明の場合には、そのまま活性光線を照射することができ、不透明の場合には除去してから活性光線を照射する。活性光線の光源としては、公知の活性光源を用いることができる。   Next, actinic rays are irradiated in a pattern form to a predetermined portion of the photosensitive resin layer and the second resin layer after transfer through a photomask. When irradiating the actinic ray, if the support film 10 on the photosensitive resin layer and the second resin layer is transparent, the actinic ray can be irradiated as it is. Irradiate. A known active light source can be used as the active light source.

活性光線の照射量は、1×10〜1×10J/mであり、照射の際に、加熱を伴うこともできる。この活性光線の照射量が、1×10J/m以上であれば、感光性樹脂層及び第二の樹脂層の光硬化を充分に進行させることが可能となり、1×10J/m以下であれば感光性樹脂層及び第二の樹脂層が変色することを抑制できる傾向がある。 The irradiation amount of actinic rays is 1 * 10 < 2 > -1 * 10 < 4 > J / m < 2 >, and it can also be accompanied with heating in the case of irradiation. If the irradiation amount of this actinic ray is 1 × 10 2 J / m 2 or more, the photocuring of the photosensitive resin layer and the second resin layer can sufficiently proceed, and 1 × 10 4 J / tends to be suppressed that if m 2 or less photosensitive resin layer and second resin layer is discolored.

続いて、活性光線照射後の感光性樹脂層及び第二の樹脂層の未露光部を現像液で除去して、透明電極の一部又は全部を被覆する硬化膜(硬化樹脂パターン)60を形成する。なお、活性光線の照射後、感光性樹脂層及び第二の樹脂層に支持フィルム10が積層されている場合にはそれを除去した後、現像工程が行われる。   Subsequently, the unexposed portions of the photosensitive resin layer and the second resin layer after irradiation with actinic rays are removed with a developer to form a cured film (cured resin pattern) 60 that covers part or all of the transparent electrode. To do. In addition, after irradiation of actinic rays, when the support film 10 is laminated | stacked on the photosensitive resin layer and the 2nd resin layer, after developing it, a image development process is performed.

現像工程は、アルカリ水溶液、水系現像液、有機溶剤等の公知の現像液を用いて、スプレー、シャワー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッビング等の公知の方法により行うことができる。中でも、環境、安全性の観点からアルカリ水溶液を用いて、スプレー現像することが好ましい。なお、現像温度及び時間は従来公知の範囲で調整することができる。   The development step can be performed by a known method such as spraying, showering, rocking dipping, brushing, or scrubbing using a known developer such as an aqueous alkaline solution, an aqueous developer, or an organic solvent. Of these, spray development is preferably performed using an alkaline aqueous solution from the viewpoint of environment and safety. The development temperature and time can be adjusted within a conventionally known range.

本実施形態に係る転写型感光性フィルムは、各種電子部品における保護膜の形成に適用することができる。本実施形態に係る電子部品は、転写型感光性フィルムを用いて形成した硬化樹脂パターンを備えている。電子部品としては、タッチパネル、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッサンス、太陽電池モジュール、プリント配線板、電子ペーパ等が挙げられる。   The transfer type photosensitive film according to this embodiment can be applied to the formation of a protective film in various electronic components. The electronic component according to this embodiment includes a cured resin pattern formed using a transfer type photosensitive film. Examples of the electronic component include a touch panel, a liquid crystal display, an organic electroluminescence, a solar cell module, a printed wiring board, and electronic paper.

図3は、本発明の一実施形態に係るタッチパネルを示す模式上面図である。図3には、静電容量式のタッチパネルの一例を示す。図3に示されるタッチパネルは、透明基材101の片面にタッチ位置座標を検出するためのタッチ画面102があり、この領域の静電容量変化を検出するための透明電極103及び透明電極104が透明基材101上に設けられている。   FIG. 3 is a schematic top view showing a touch panel according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 shows an example of a capacitive touch panel. The touch panel shown in FIG. 3 has a touch screen 102 for detecting a touch position coordinate on one side of a transparent substrate 101, and the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 for detecting a change in capacitance in this region are transparent. It is provided on the base material 101.

透明電極103及び透明電極104はそれぞれタッチ位置のX位置座標及びY位置座標を検出する。   The transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 detect the X position coordinate and the Y position coordinate of the touch position, respectively.

透明基材101上には、透明電極103及び透明電極104からタッチ位置の検出信号を外部回路に伝えるための引き出し配線105が設けられている。また、引き出し配線105と、透明電極103及び透明電極104とは、透明電極103及び透明電極104上に設けられた接続電極106により接続されている。また、引き出し配線105の透明電極103及び透明電極104との接続部と反対側の端部には、外部回路との接続端子107が設けられている。   On the transparent substrate 101, a lead-out wiring 105 for transmitting a touch position detection signal from the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 to an external circuit is provided. The lead-out wiring 105 is connected to the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 by a connection electrode 106 provided on the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104. A connection terminal 107 for connecting to an external circuit is provided at the end of the lead-out wiring 105 opposite to the connection portion between the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104.

図3に示すように、本実施形態に係るタッチパネルにおいては、本実施形態の転写型感光性フィルムを用いて、透明電極パターンが形成された部分と、形成されていない部分にまたがって硬化樹脂パターン123が形成されている。硬化樹脂パターン123は、硬化した感光性樹脂層及び硬化した第二の樹脂層からなる硬化膜である。この硬化樹脂パターン123によれば、透明電極103、透明電極104、引き出し配線105、接続電極106及び接続端子107を保護する機能と、透明電極パターンから形成されるセンシング領域(タッチ画面)102の骨見え現象防止機能とを同時に奏することができる。   As shown in FIG. 3, in the touch panel according to the present embodiment, using the transfer photosensitive film of the present embodiment, a cured resin pattern straddling a portion where the transparent electrode pattern is formed and a portion where the transparent electrode pattern is not formed. 123 is formed. The cured resin pattern 123 is a cured film including a cured photosensitive resin layer and a cured second resin layer. According to the cured resin pattern 123, the function of protecting the transparent electrode 103, the transparent electrode 104, the lead-out wiring 105, the connection electrode 106, and the connection terminal 107, and the bone of the sensing region (touch screen) 102 formed from the transparent electrode pattern. A visual phenomenon prevention function can be performed at the same time.

以下、実施例を挙げて本発明についてより具体的に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

[バインダーポリマー溶液(A1)の作製]
撹拌機、還流冷却機、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、表1に示す材料(1)を仕込んだ後、窒素ガス雰囲気下で80℃に昇温した。反応温度を80℃±2℃に保ちながら、表1に示す材料(2)を4時間かけて均一に滴下した。材料(2)の滴下後、80℃±2℃で6時間撹拌を続け、重量平均分子量が65,000、酸価が78mgKOH/gのバインダーポリマーの溶液(固形分45質量%)(A1)を得た。
[Preparation of binder polymer solution (A1)]
The material (1) shown in Table 1 was charged into a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, an inert gas inlet, and a thermometer, and then heated to 80 ° C. in a nitrogen gas atmosphere. While maintaining the reaction temperature at 80 ° C. ± 2 ° C., the material (2) shown in Table 1 was uniformly added dropwise over 4 hours. After dripping the material (2), stirring was continued at 80 ° C. ± 2 ° C. for 6 hours, and a binder polymer solution (solid content 45% by mass) (A1) having a weight average molecular weight of 65,000 and an acid value of 78 mgKOH / g was obtained. Obtained.

Figure 2018165788
Figure 2018165788

[バインダーポリマー溶液(A2)の用意]
メタクリル酸、ベンジルメタクリレート及びトリシクロデカンメタクリレートを表2に示す配合量で共重合させた共重合体に、グリシジルメタクリレートを表2に示す配合量で付加してなるバインダーポリマーの溶液(固形分34.5質量%)(A2)を用意した。
[Preparation of binder polymer solution (A2)]
A solution of a binder polymer obtained by adding glycidyl methacrylate in a blending amount shown in Table 2 to a copolymer obtained by copolymerizing methacrylic acid, benzyl methacrylate and tricyclodecane methacrylate in a blending amount shown in Table 2 (solid content 34. 5 mass%) (A2) was prepared.

[バインダーポリマー溶液(A3)の用意]
メタクリル酸、ベンジルメタクリレート及びトリシクロデカンメタクリレートを表2に示す配合量で共重合させた共重合体に、グリシジルメタクリレートを表2に示す配合量で付加してなるバインダーポリマーの溶液(固形分34.5質量%)(A3)を用意した。
[Preparation of binder polymer solution (A3)]
A solution of a binder polymer obtained by adding glycidyl methacrylate in a blending amount shown in Table 2 to a copolymer obtained by copolymerizing methacrylic acid, benzyl methacrylate and tricyclodecane methacrylate in a blending amount shown in Table 2 (solid content 34. 5 mass%) (A3) was prepared.

上述したバインダーポリマーの重量平均分子量及び酸価を以下の方法で測定した。結果を表2に示す。   The weight average molecular weight and acid value of the binder polymer described above were measured by the following methods. The results are shown in Table 2.

[重量平均分子量の測定方法]
重量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することにより導出した。GPCの測定条件を以下に示す。
<GPC測定条件>
ポンプ:日立 L−6000型(株式会社日立製作所製、製品名)
カラム:Gelpack GL−R420、Gelpack GL−R430、Gelpack GL−R440(以上、日立化成株式会社製、製品名)
溶離液:テトラヒドロフラン
測定温度:40℃
流量:2.05mL/分
検出器:日立 L−3300型RI(株式会社日立製作所製、製品名)
[Method for measuring weight average molecular weight]
The weight average molecular weight (Mw) was measured by gel permeation chromatography (GPC), and was derived by conversion using a standard polystyrene calibration curve. The measurement conditions for GPC are shown below.
<GPC measurement conditions>
Pump: Hitachi L-6000 type (manufactured by Hitachi, Ltd., product name)
Column: Gelpack GL-R420, Gelpack GL-R430, Gelpack GL-R440 (above, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., product name)
Eluent: Tetrahydrofuran Measurement temperature: 40 ° C
Flow rate: 2.05 mL / min Detector: Hitachi L-3300 type RI (manufactured by Hitachi, Ltd., product name)

[酸価の測定方法]
酸価は、次のようにして測定した。まず、バインダーポリマーの溶液を130℃で1時間加熱し、揮発分を除去して、固形分を得た。そして、上記固形分のポリマー1gを精秤した後、このポリマーにアセトンを30g添加し、これを均一に溶解した。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその溶液に適量添加して、0.1NのKOH水溶液を用いて滴定を行った。そして、次式により酸価を算出した。
酸価=0.1×Vf×56.1/(Wp×I/100)
式中、VfはKOH水溶液の滴定量(mL)を示し、Wpは測定したポリマー溶液の質量(g)を示し、Iは測定したポリマー溶液中の不揮発分の割合(質量%)を示す。
[Measurement method of acid value]
The acid value was measured as follows. First, the binder polymer solution was heated at 130 ° C. for 1 hour to remove volatile matter, thereby obtaining a solid content. And after precisely weighing 1 g of the polymer of the solid content, 30 g of acetone was added to the polymer, and this was uniformly dissolved. Next, an appropriate amount of an indicator, phenolphthalein, was added to the solution, and titration was performed using a 0.1N aqueous KOH solution. And the acid value was computed by following Formula.
Acid value = 0.1 × Vf × 56.1 / (Wp × I / 100)
In the formula, Vf represents the titration amount (mL) of the KOH aqueous solution, Wp represents the mass (g) of the measured polymer solution, and I represents the ratio (mass%) of the non-volatile content in the measured polymer solution.

Figure 2018165788
Figure 2018165788

(実施例1〜2及び比較例1〜11)
[感光性樹脂層形成用塗布液の作製]
表3に示す成分を、同表に示す配合量(単位:質量部)で配合し、攪拌機を用いて15分間混合して感光性樹脂層形成用塗布液を作製した。表3中、(A)成分の配合量は固形分の配合量を示す。また、感光性樹脂組成物の原料組成から、感光性樹脂層中の親水基(−O−、−C−CO−、−OH、−N−CO−及び−COOH)の合計濃度を計算により求めた。その計算値を表3に示す。
(Examples 1-2 and Comparative Examples 1-11)
[Preparation of coating solution for forming photosensitive resin layer]
The components shown in Table 3 were blended in the blending amounts (unit: parts by mass) shown in the same table, and mixed for 15 minutes using a stirrer to prepare a coating solution for forming a photosensitive resin layer. In Table 3, the blending amount of the component (A) indicates the blending amount of the solid content. Further, the total concentration of hydrophilic groups (—O—, —C—CO—, —OH, —N—CO—, and —COOH) in the photosensitive resin layer is obtained from the raw material composition of the photosensitive resin composition by calculation. It was. The calculated values are shown in Table 3.

Figure 2018165788
Figure 2018165788

表3中の成分の記号は以下の意味を示す。
〔(A)成分〕
上述した方法で作製したバインダーポリマー溶液(A1、A2、A3)を用いた。
〔(B)成分〕
T−1420:ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート(日本化薬株式会社製、製品名)
4G:ポリエチレングリコール #200 ジメタクリレート(新中村化学工業株式会社製、製品名)
TMPTA:トリメチロールプロパントリアクリレート(日本化薬株式会社製、製品名)
A−TMMT:ペンタエリスリトールテトラアクリレート(新中村化学工業株式会社製、製品名)
DPHA:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬株式会社製、製品名)
RP1040:エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート(日本化薬株式会社製、製品名)
A−LEN−10:エトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート(新中村化学工業株式会社製、製品名)
BPE−80:エトキシ化ビスフェノールAジメタクリレート(新中村化学工業株式会社製、製品名)
401P:o−フェニルフェノールグリシジルエーテルアクリレート(新中村化学工業株式会社製、製品名)
A−9300:イソシアヌル酸EO変性トリアクリレート(新中村化学工業株式会社製、製品名)
A−DCP:トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業株式会社製、製品名)
〔(C)成分〕
OXE01:1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)フェニル−,2−(O−ベンゾイルオキシム)](BASFジャパン株式会社製、製品名「IRGACURE OXE 01」)
〔(D)成分〕
B−6030:5−アミノ−1H−テトラゾール(千代田ケミカル株式会社製、製品名)
〔(E)成分〕
PM−21:エチレン性不飽和結合を含むリン酸エステル(日本化薬株式会社製、製品名)
〔その他の成分〕
AW500:2,2’−メチレン−ビス(4−エチル−6−tert−ブチルフェノール)(川口化学株式会社製、製品名)
ADDITIVE8032:オクタメチルシクロテトラシロキサン(東レ・ダウコーニング株式会社製、製品名)
〔溶剤〕
MEK:メチルエチルケトン
The symbols of the components in Table 3 have the following meanings.
[Component (A)]
The binder polymer solution (A1, A2, A3) produced by the method described above was used.
[(B) component]
T-1420: Ditrimethylolpropane tetraacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., product name)
4G: Polyethylene glycol # 200 dimethacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., product name)
TMPTA: Trimethylolpropane triacrylate (Nippon Kayaku Co., Ltd., product name)
A-TMMT: Pentaerythritol tetraacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., product name)
DPHA: Dipentaerythritol hexaacrylate (Nippon Kayaku Co., Ltd., product name)
RP1040: Ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate (product name, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
A-LEN-10: Ethoxylated o-phenylphenol acrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., product name)
BPE-80: Ethoxylated bisphenol A dimethacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., product name)
401P: o-phenylphenol glycidyl ether acrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., product name)
A-9300: Isocyanuric acid EO-modified triacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., product name)
A-DCP: Tricyclodecane dimethanol diacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., product name)
[Component (C)]
OXE01: 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl-, 2- (O-benzoyloxime)] (manufactured by BASF Japan Ltd., product name “IRGACURE OXE 01”)
[Component (D)]
B-6030: 5-amino-1H-tetrazole (Chiyoda Chemical Co., Ltd., product name)
[(E) component]
PM-21: Phosphate ester containing an ethylenically unsaturated bond (product name, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
[Other ingredients]
AW500: 2,2′-methylene-bis (4-ethyl-6-tert-butylphenol) (product name, manufactured by Kawaguchi Chemical Co., Ltd.)
ADDITIVE 8032: Octamethylcyclotetrasiloxane (product name, manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd.)
〔solvent〕
MEK: Methyl ethyl ketone

[第二の樹脂層形成用塗布液の作製]
表4に示す成分を、撹拌機を用いて15分間混合し、第二の樹脂層形成用塗布液(IM−1)を作製した。
[Preparation of second resin layer forming coating solution]
The components shown in Table 4 were mixed using a stirrer for 15 minutes to prepare a second resin layer forming coating solution (IM-1).

Figure 2018165788
Figure 2018165788

表4中の成分の記号は以下の意味を示す。
〔(A)成分〕
(A4):モノマー配合比(メタクリル酸/メタクリル酸メチル/アクリル酸ブチル/メタクリル酸ブチル=24/43.5/15.2/17.3(質量比))である共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテル溶液、重量平均分子量18,000、酸価156.6mgKOH/g
〔(B)成分〕
BPE−1300:エトキシ化ビスフェノールAジメタクリレート(新中村化学工業株式会社製、製品名)
〔(D)成分〕
B−6030:5−アミノ−1H−テトラゾール(千代田ケミカル株式会社製、製品名)
〔(E)成分〕
PM−21:光重合性不飽和基を有するリン酸エステル(日本化薬株式会社製、製品名)〔(F)成分〕
OZ−S30K:ジルコニア分散液(日産化学工業株式会社製、製品名:ナノユースOZ−S30K)
〔その他の成分〕
L−7001:オクタメチルシクロテトラシロキサン(東レ・ダウコーニング株式会社製、製品名)
The symbol of the component in Table 4 has the following meaning.
[Component (A)]
(A4): Propylene glycol monomethyl copolymer having a monomer blending ratio (methacrylic acid / methyl methacrylate / butyl acrylate / butyl methacrylate = 24 / 43.5 / 15.2 / 17.3 (mass ratio)) Ether solution, weight average molecular weight 18,000, acid value 156.6 mg KOH / g
[(B) component]
BPE-1300: Ethoxylated bisphenol A dimethacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., product name)
[Component (D)]
B-6030: 5-amino-1H-tetrazole (Chiyoda Chemical Co., Ltd., product name)
[(E) component]
PM-21: Phosphoric acid ester having a photopolymerizable unsaturated group (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., product name) [(F) component]
OZ-S30K: Zirconia dispersion (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., product name: Nanouse OZ-S30K)
[Other ingredients]
L-7001: Octamethylcyclotetrasiloxane (product name, manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd.)

[転写型感光性フィルムの作製]
保護フィルムとして厚さ30μmのポリプロピレンフィルム(王子エフテックス株式会社製、製品名:E−201F)を使用し、上記で作製した第二の樹脂層形成用塗布液(IM−1)を保護フィルム上にダイコーターを用いて均一に塗布し、100℃の熱風滞留式乾燥機で3分間乾燥して溶剤を除去し、厚さ70nm、屈折率1.61の第二の樹脂層を形成した。
[Production of transfer-type photosensitive film]
Using a polypropylene film having a thickness of 30 μm (product name: E-201F, manufactured by Oji F-Tex Co., Ltd.) as the protective film, the second coating solution for forming a resin layer (IM-1) produced above is applied on the protective film. The film was uniformly coated using a die coater, dried for 3 minutes with a hot air retention dryer at 100 ° C. to remove the solvent, and a second resin layer having a thickness of 70 nm and a refractive index of 1.61 was formed.

支持フィルムとして厚さ16μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製、製品名:FB40)を使用し、上記で作製した感光性樹脂層形成用塗布液を支持フィルム上にコンマコーターを用いて均一に塗布し、100℃の熱風対流式乾燥機で3分間乾燥して溶剤を除去し、厚さ8μmの感光性樹脂層を形成した。   Using a polyethylene terephthalate film (product name: FB40, manufactured by Toray Industries, Inc.) having a thickness of 16 μm as a support film, the photosensitive resin layer forming coating solution prepared above is uniformly applied on the support film using a comma coater. The solvent was removed by drying with a hot air convection dryer at 100 ° C. for 3 minutes to form a photosensitive resin layer having a thickness of 8 μm.

次いで、得られた第二の樹脂層を有する保護フィルムと、感光性樹脂層を有する支持フィルムとを、ラミネータ(日立化成株式会社製、製品名:HLM−3000型)を用いて、23℃で貼り合わせて、保護フィルム、第二の樹脂層、感光性樹脂層及び支持フィルムがこの順で積層された転写型感光性フィルムを作製した。   Next, the protective film having the obtained second resin layer and the support film having the photosensitive resin layer were used at 23 ° C. using a laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., product name: HLM-3000 type). The transfer type photosensitive film in which the protective film, the second resin layer, the photosensitive resin layer, and the support film were laminated in this order was bonded.

[透湿度の測定]
実施例及び比較例で得られた感光性フィルムの保護フィルムを剥離し、これをろ紙(アドバンテック東洋社製、No.5C、φ90mmの円形、厚み130μm)上に、ロール温度100℃、基材送り速度0.6m/分、圧着圧力(シリンダ圧力)0.5MPaの条件でラミネートした。その後、支持フィルムを剥離した。ろ紙にラミネートされた第二の樹脂層及び感光性樹脂層上に、新たな感光性フィルムを、保護フィルムを剥離してラミネートした。この操作を繰り返すことで、ろ紙上に第二の樹脂層と感光性樹脂層とが交互にそれぞれ5層積層され且つ最表面に支持フィルムが積層された積層体を作製した。この積層体における感光性樹脂層の合計の厚みは40μmである。
[Measurement of moisture permeability]
The protective film of the photosensitive film obtained by the Example and the comparative example was peeled, and this was applied to a filter paper (Advantech Toyo Co., Ltd., No. 5C, φ90 mm circle, thickness 130 μm), roll temperature 100 ° C., substrate feed Lamination was performed under the conditions of a speed of 0.6 m / min and a pressure bonding pressure (cylinder pressure) of 0.5 MPa. Thereafter, the support film was peeled off. A new photosensitive film was laminated on the second resin layer and the photosensitive resin layer laminated on the filter paper by peeling off the protective film. By repeating this operation, a laminate in which five second resin layers and five photosensitive resin layers were alternately laminated on the filter paper and a support film was laminated on the outermost surface was produced. The total thickness of the photosensitive resin layers in this laminate is 40 μm.

上記積層体に対し、平行光線露光機(株式会社オーク製作所製、EXM1201)を使用して支持フィルム面垂直上より露光量0.6J/mで紫外線を照射した。 The laminated body was irradiated with ultraviolet rays at an exposure amount of 0.6 J / m 2 from above the support film surface using a parallel light exposure machine (EXM1201 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.).

次いで、上記紫外線を照射した積層体から支持フィルムを剥離して除去し、更に積層体の垂直上より露光量1×10J/mで紫外線を照射した。これにより、ろ紙上に硬化膜が形成された透湿度測定用試料を得た。 Next, the support film was peeled off from the laminate irradiated with the ultraviolet rays, and further irradiated with ultraviolet rays at an exposure amount of 1 × 10 4 J / m 2 from above the laminate. Thus, a moisture permeability measurement sample in which a cured film was formed on the filter paper was obtained.

次いで、JIS規格(Z0208、カップ法)を参考に、透湿度測定を実施した。測定カップ(φ60mm、深さ15mm、株式会社井元製作所)内に、吸湿材(20gの塩化カルシウム(無水))を入れた。上記透湿度測定用試料から直径70mmの大きさにはさみで切り取った円形試料片を用いて、上記測定カップに蓋をした。恒温恒湿槽内にて60℃、90%RHの条件で24時間放置した。放置前後の測定カップ、吸湿剤及び円形試料片の合計質量の変化から、JIS Z0208による透湿度(g/m・24h)を算出した。結果を表3に示す。 Next, moisture permeability measurement was performed with reference to JIS standards (Z0208, cup method). A hygroscopic material (20 g of calcium chloride (anhydrous)) was placed in a measuring cup (φ 60 mm, depth 15 mm, Imoto Seisakusho Co., Ltd.). The measuring cup was covered with a circular sample piece cut with scissors to a diameter of 70 mm from the moisture permeability measurement sample. The sample was left in a constant temperature and humidity chamber at 60 ° C. and 90% RH for 24 hours. The moisture permeability (g / m 2 · 24 h) according to JIS Z0208 was calculated from the change in the total mass of the measuring cup, the hygroscopic agent, and the circular sample piece before and after standing. The results are shown in Table 3.

[密着性の評価]
実施例及び比較例で得られた感光性フィルムの保護フィルムをはがしながら、厚さ0.7mmのガラス基材上に、第二の樹脂層が接するようにラミネータ(日立化成株式会社製、製品名:HLM−3000型)を用いて、ロール温度120℃、基材送り速度1m/分、圧着圧力(シリンダ圧力)4×10Pa(厚さが1mm、縦10cm×横10cmの基材を用いたため、このときの線圧は9.8×10N/m)の条件でラミネートして、ガラス基材上に、第二の樹脂層、感光性樹脂層及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。
[Evaluation of adhesion]
While peeling off the protective film of the photosensitive film obtained in Examples and Comparative Examples, a laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., product name) so that the second resin layer is in contact with a glass substrate having a thickness of 0.7 mm. : HLM-3000 type), a roll temperature of 120 ° C., a substrate feed speed of 1 m / min, a pressure bonding pressure (cylinder pressure) of 4 × 10 5 Pa (thickness of 1 mm, length of 10 cm × width of 10 cm) is used. Therefore, a laminate in which the linear pressure at this time is laminated under the condition of 9.8 × 10 3 N / m), and the second resin layer, the photosensitive resin layer, and the support film are laminated on the glass substrate. Was made.

次いで、得られた積層体に、散乱光線露光機(株式会社オーク製作所製、EXP−2805)を使用して、感光性樹脂層側上方より露光量6×10J/m(波長365nmにおける測定値)で紫外線を照射した後、支持フィルムを除去し、さらに感光性樹脂層側上方より露光量1×10J/m(波長365nmにおける測定値)で紫外線を照射した。その後、140℃に加熱した箱型乾燥機(三菱電機株式会社製、型番:NV50−CA)内に30分間静置し、密着性測定試料を得た。 Next, the obtained laminate was subjected to an exposure amount of 6 × 10 J / m 2 (measured value at a wavelength of 365 nm) from above the photosensitive resin layer side using a scattered light exposure machine (EXP-2805, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.). ), The support film was removed, and ultraviolet rays were irradiated from above the photosensitive resin layer with an exposure amount of 1 × 10 4 J / m 2 (measured value at a wavelength of 365 nm). Then, it left still for 30 minutes in the box-type dryer (Mitsubishi Electric Corporation make, model number: NV50-CA) heated at 140 degreeC, and obtained the adhesiveness measurement sample.

次いで、得られた密着性測定試料にカッターで100マスの碁盤目切れ込みを入れた。その後、スコッチテープ(スリーエムジャパン株式会社製)試料上に貼り、30秒後に剥離した。その際の碁盤目100マス中の剥離割合を調査し、以下の基準で評価した。
A:剥離割合0%以上5%以下
B:剥離割合5%超35%以下
C:剥離割合35%超100%以下
結果を表3に示す。
Next, 100 square grid cuts were put into the obtained adhesion measurement sample with a cutter. Then, it stuck on the scotch tape (made by 3M Japan) sample, and peeled off 30 seconds afterward. The peeling rate in 100 square grids at that time was investigated and evaluated according to the following criteria.
A: Peeling rate 0% or more and 5% or less B: Peeling rate 5% or more and 35% or less C: Peeling rate 35% or more and 100% or less

1…転写型感光性フィルム、10…支持フィルム、20…感光性樹脂層、22…硬化した感光性樹脂層、30…第二の樹脂層、32…硬化した第二の樹脂層、40…保護フィルム、50…透明電極パターン付き基材、50a…透明電極パターン、60…硬化膜、100…積層体、101…透明基材、102…センシング領域、103,104…透明電極、105…引き出し配線、106…接続電極、107…接続端子、123…硬化樹脂パターン(硬化膜)。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Transfer type photosensitive film, 10 ... Support film, 20 ... Photosensitive resin layer, 22 ... Hardened photosensitive resin layer, 30 ... Second resin layer, 32 ... Hardened second resin layer, 40 ... Protection Film: 50 ... Substrate with transparent electrode pattern, 50a ... Transparent electrode pattern, 60 ... Cured film, 100 ... Laminated body, 101 ... Transparent substrate, 102 ... Sensing region, 103, 104 ... Transparent electrode, 105 ... Lead-out wiring, 106: connection electrode, 107: connection terminal, 123: cured resin pattern (cured film).

Claims (12)

支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた感光性樹脂層と、を備え、
前記感光性樹脂層において、−O−、−C−CO−、−OH、−N−CO−及び−COOHから選ばれる親水基の合計の濃度が0.020mol/g以下である、転写型感光性フィルム。
A support film, and a photosensitive resin layer provided on the support film,
In the photosensitive resin layer, a transfer type photosensitive resin in which the total concentration of hydrophilic groups selected from —O—, —C—CO—, —OH, —N—CO—, and —COOH is 0.020 mol / g or less. Sex film.
前記感光性樹脂層が、バインダーポリマーと、光重合性化合物と、光重合開始剤とを含有する、請求項1に記載の転写型感光性フィルム。   The transfer type photosensitive film according to claim 1, wherein the photosensitive resin layer contains a binder polymer, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator. 前記光重合性化合物が、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物を含む、請求項2に記載の転写型感光性フィルム。   The transfer type photosensitive film according to claim 2, wherein the photopolymerizable compound includes a compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton. 前記光重合開始剤が、オキシムエステル化合物及び/又はホスフィンオキサイド化合物を含有する、請求項2又は3に記載の転写型感光性フィルム。   The transfer type photosensitive film of Claim 2 or 3 in which the said photoinitiator contains an oxime ester compound and / or a phosphine oxide compound. 前記バインダーポリマーがカルボキシル基を有する、請求項2〜4のいずれか一項に記載の転写型感光性フィルム。   The transfer type photosensitive film according to any one of claims 2 to 4, wherein the binder polymer has a carboxyl group. 前記バインダーポリマーが、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル、スチレン、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル及び(メタ)アクリル酸トリシクロデシルエステルからなる群より選択される少なくとも一種の化合物に由来する構造単位を有するバインダーポリマーである、請求項2〜5のいずれか一項に記載の転写型感光性フィルム。   The binder polymer is (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid glycidyl ester, (meth) acrylic acid benzyl ester, styrene, (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid A binder polymer having a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of butyl ester, (meth) acrylic acid 2-ethylhexyl ester and (meth) acrylic acid tricyclodecyl ester. The transfer type photosensitive film as described in any one of the above. 前記感光性樹脂層が、エチレン性不飽和結合を含むリン酸エステルを更に含有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の転写型感光性フィルム。   The transfer type photosensitive film according to claim 1, wherein the photosensitive resin layer further contains a phosphate ester containing an ethylenically unsaturated bond. 前記感光性樹脂層上に設けられた、金属酸化物粒子を含有する第二の樹脂層を更に備える、請求項1〜7のいずれか一項に記載の転写型感光性フィルム。   The transfer type photosensitive film as described in any one of Claims 1-7 further equipped with the 2nd resin layer containing the metal oxide particle provided on the said photosensitive resin layer. 前記第二の樹脂層が、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化スズ、酸化亜鉛、酸化インジウムスズ、酸化インジウム、酸化アルミウム、及び酸化イットリウムからなる群より選択される少なくとも一種の金属酸化物粒子を含む、請求項8に記載の転写型感光性フィルム。   The second resin layer includes at least one metal oxide particle selected from the group consisting of zirconium oxide, titanium oxide, tin oxide, zinc oxide, indium tin oxide, indium oxide, aluminum oxide, and yttrium oxide. The transfer type photosensitive film according to claim 8. 前記第二の樹脂層の厚さが10〜1000nmである、請求項8又は9に記載の転写型感光性フィルム。   The transfer type photosensitive film of Claim 8 or 9 whose thickness of said 2nd resin layer is 10-1000 nm. 基材上に、請求項1〜10のいずれか一項に記載の転写型感光性フィルムの前記感光性樹脂層をラミネートする工程と、
前記基材上の前記感光性樹脂層の所定部分を露光後、前記所定部分以外を除去し、硬化樹脂パターンを形成する工程と、
を備える硬化樹脂パターンの形成方法。
Laminating the photosensitive resin layer of the transfer type photosensitive film according to any one of claims 1 to 10 on a substrate;
After exposing a predetermined portion of the photosensitive resin layer on the substrate, removing other than the predetermined portion, forming a cured resin pattern;
A method for forming a cured resin pattern.
請求項1〜10のいずれか一項に記載の転写型感光性フィルムにおける前記感光性樹脂層の硬化物を含む硬化樹脂パターンを備えるタッチパネル。   A touch panel provided with the cured resin pattern containing the hardened | cured material of the said photosensitive resin layer in the transfer type photosensitive film as described in any one of Claims 1-10.
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