JP2012078528A - Photosensitive composition, photosensitive resin transfer film, resin pattern and production method of resin pattern, substrate for liquid crystal display device, and liquid crystal display device - Google Patents

Photosensitive composition, photosensitive resin transfer film, resin pattern and production method of resin pattern, substrate for liquid crystal display device, and liquid crystal display device Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition having good developability and showing excellent insulating property, transparency, alkali resistance and adhesiveness to a substrate of a cured film of the composition, and to provide a photosensitive resin transfer film, a resin pattern, a production method of a resin pattern, a substrate for a liquid crystal display device and a liquid crystal display device using the composition.SOLUTION: The photosensitive composition contains (A) a resin having an acidic group in a side chain, (B) dipentaerythritol (meth)acrylate (b1) and a polymerizable compound expressed by general formula (b2), and (C) a photopolymerization initiator. When the content of (b1) and the content of the compound expressed by general formula (b2) are denoted by W1 and W2, respectively, with respect to the whole content of polymerizable compounds, W1 and W2 satisfy the relationship represented by expressions (1): 0.6≤W2/W1≤3.0 and (2): 63 mass%≤W1+W2≤100 mass%. The ratio of the content of the (C) photopolymerization initiator to the whole content of the polymerizable compounds is 0.6 or more and less than 5.

Description

本発明は、絶縁性、透明性、現像性、耐アルカリ性等の耐性に優れたタッチパネル素子に用いる絶縁層及びオーバーコート層を作製するための感光性組成物、感光性樹脂転写フィルム、樹脂パターン及び樹脂パターンの製造方法、並びに作製された液晶表示装置用基板及び液晶表示装置に関する。   The present invention provides a photosensitive composition, a photosensitive resin transfer film, a resin pattern, and an insulating layer and an overcoat layer for use in a touch panel element having excellent resistance such as insulation, transparency, developability, and alkali resistance. The present invention relates to a resin pattern manufacturing method, a liquid crystal display device substrate, and a liquid crystal display device.

従来、液晶表示装置は、高画質画像を表示する表示装置に広く利用されている。液晶表示装置はカラーフィルタ基板とTFT基板間に、所定の配向により画像表示を可能とする液晶層が配置されて形成される。カラーフィルタに使用されるブラックマトリクス、画素、オーバーコート層、液晶配向制御用突起、及びスペーサーは、感光性組成物及び感光性樹脂転写フィルムを用いて形成された感光性樹脂層を、パターン露光、アルカリ現像よりパターニングし、さらに、ベークすることで、基体上に形成された樹脂パターンからなる。   Conventionally, liquid crystal display devices are widely used in display devices that display high-quality images. The liquid crystal display device is formed by disposing a liquid crystal layer capable of displaying an image with a predetermined orientation between a color filter substrate and a TFT substrate. The black matrix, pixels, overcoat layer, liquid crystal alignment control protrusions, and spacers used in the color filter are patterned exposure of the photosensitive resin layer formed using the photosensitive composition and the photosensitive resin transfer film, It consists of a resin pattern formed on the substrate by patterning with alkali development and further baking.

近年、銀行ATM、切符発券機、携帯端末にみられるようにタッチパネルを搭載した液晶表示装置の需要が拡大している。タッチパネルの方式としては、超音波方式、抵抗膜方式、静電容量方式などが知られているが、耐久性の観点から静電容量方式のタッチパネルの需要がさらに拡大すると見込まれている。   In recent years, the demand for liquid crystal display devices equipped with a touch panel as seen in bank ATMs, ticket issuing machines, and portable terminals has been increasing. As a touch panel system, an ultrasonic system, a resistive film system, a capacitive system, and the like are known. From the viewpoint of durability, a demand for a capacitive touch panel is expected to further increase.

静電容量方式タッチパネル素子は、透明電極パターン間に絶縁層を挟持してコンデンサを形成し、さらにオーバーコート層等でカバーして作製する。その工程中に、溶剤、酸またはアルカリ溶液などによる表示素子の浸漬処理が行なわれ、また、配線電極層形成用のスパッタリングをする際には、表面が局部的に高温に曝される。従って、このような処理によって素子が劣化あるいは損傷することを防止するために、これらの処理に対して耐性を有する透明な絶縁層及びそれに積層させるオーバーコート層が必要とされる。   The capacitive touch panel element is manufactured by sandwiching an insulating layer between transparent electrode patterns to form a capacitor, and further covering with an overcoat layer or the like. During the process, the display element is immersed in a solvent, acid or alkali solution, and the surface is locally exposed to a high temperature when sputtering for forming the wiring electrode layer is performed. Therefore, in order to prevent the device from being deteriorated or damaged by such treatment, a transparent insulating layer resistant to these treatments and an overcoat layer laminated thereon are required.

このような絶縁層及びオーバーコート層は、それらを形成すべき基体、または導電層等隣接層に対して密着性が高いものであること、膜自体が平滑で強靭であること、透明性を有するものであること、耐熱性および耐光性が高く、長期間にわたって着色、黄変、白化などの変質を起こさないものであること、耐水性、耐溶剤性、耐酸性および耐アルカリ性に優れたものであることなどの性能が要求される。   Such an insulating layer and an overcoat layer have high adhesion to a substrate on which they are to be formed or an adjacent layer such as a conductive layer, the film itself is smooth and tough, and has transparency. It has high heat resistance and light resistance, does not cause deterioration such as coloring, yellowing, and whitening over a long period of time, and has excellent water resistance, solvent resistance, acid resistance, and alkali resistance. Some performance is required.

透明な感光性樹脂組成物としては、例えばカラーフィルタ用等の保護膜として、グリシジル基を有する重合体を含む熱硬化性組成物が知られている(例えば、特許文献1、特許文献2参照。)   As a transparent photosensitive resin composition, for example, a thermosetting composition containing a polymer having a glycidyl group is known as a protective film for a color filter or the like (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2). )

また、オーバーコート層とその上に配置される柱状スペーサーとを同時に作製するための感光性樹脂組成物が知られている(例えば、特許文献3)。   Moreover, the photosensitive resin composition for producing simultaneously an overcoat layer and the columnar spacer arrange | positioned on it is known (for example, patent document 3).

通常、保護膜、オーバーコート層及び柱状スペーサーは、200℃以上の温度下、60分以上の熱焼成工程を経て形成されるが、近年、製造コストの削減やプラスチック基板等、耐熱性に限度のある基板に対応する観点から、熱焼成工程の低温化や短縮化が検討されており、高温のみならず、低温ないしは短時間の熱焼成工程でも従来と変わらない性能を有する感光性樹脂組成物が強く望まれている。   Usually, the protective film, the overcoat layer, and the columnar spacer are formed through a thermal baking process of 60 minutes or more at a temperature of 200 ° C. or higher. From the viewpoint of responding to a certain substrate, lowering or shortening of the thermal baking process has been studied, and not only high temperature but also a photosensitive resin composition having the same performance as the conventional thermal baking process at low temperature or short time. It is strongly desired.

しかしながら上記のような熱硬化性組成物は室温における保存性が充分ではなく、さらに転写材料に応用した場合には、より硬化が進んでしまい、現像性が悪化するという欠点を有していた。   However, the thermosetting composition as described above does not have sufficient storage stability at room temperature, and when applied to a transfer material, the thermosetting composition has a drawback that curing proceeds more and developability deteriorates.

一方、スペーサーに用いられる樹脂組成物として、ジペンタエリスリトールとトリペンタエリスリトールとテトラペンタエリスリトールの混合物と(メタ)アクリル酸の反応物である(メタ)アクリル酸エステル混合物を含有することを特徴とする樹脂組成物が開示されている(例えば、特許文献4参照)。
しかしながら、前記樹脂組成物は主に熱に対する耐熱寸法安定性や、ラビング耐性の改良を主目的としており、面積の小さいドット状のフォトスペーサーに適用した場合には、下層との密着を確保できるものの、面積の大きい保護膜に適用した場合、下層との密着は、十分とは言い難かった。とりわけ、膜厚の薄いものやベーク温度が150℃以下の低めのものにおいては、露光時の収縮力を緩和できないため、密着性は実用レベルに達していないのが現状である。
On the other hand, the resin composition used for the spacer is characterized by containing a mixture of dipentaerythritol, tripentaerythritol and tetrapentaerythritol, and a (meth) acrylic acid ester mixture which is a reaction product of (meth) acrylic acid. A resin composition is disclosed (for example, see Patent Document 4).
However, the resin composition is mainly intended to improve heat-resistant dimensional stability against heat and rubbing resistance, and when applied to a dot-shaped photospacer with a small area, it can ensure close contact with the lower layer. When applied to a protective film having a large area, it was difficult to say that the adhesion to the lower layer was sufficient. In particular, in the case of a thin film or a low baking temperature of 150 ° C. or less, the shrinkage force at the time of exposure cannot be relaxed, so that the adhesiveness has not reached the practical level.

特開平5−78453号公報JP-A-5-78453 特開2001−91732号公報JP 2001-91732 A 特開2009−109725号公報JP 2009-109725 A 特開2002−212235号公報JP 2002-212235 A

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、現像性が良好であり、150℃以下の温度域における熱焼成工程によっても、形成された硬化膜の絶縁性、透明性、耐アルカリ性等の耐性、さらには、基板との密着性に優れ、絶縁層やオーバーコート層の形成に有用な感光性組成物、それを用いた感光性樹脂転写フィルムを提供することにある。
本発明のさらなる目的は、前記本発明の感光性組成物を用いた樹脂パターンの製造方法、それにより得られた、透明性、基板との密着性に優れた樹脂パターン、該樹脂パターンを備えた液晶表示装置用基板及び液晶表示装置を提供することにある。
The present invention has been made on the basis of the circumstances as described above, and its purpose is that the developability is good, and the formed cured film is insulated even by a thermal baking step in a temperature range of 150 ° C. or lower. Provided is a photosensitive composition that is excellent in adhesion, transparency, alkali resistance, and the like, and has good adhesion to a substrate and is useful for forming an insulating layer and an overcoat layer, and a photosensitive resin transfer film using the same. There is.
A further object of the present invention is to provide a resin pattern production method using the photosensitive composition of the present invention, a resin pattern obtained thereby, having excellent transparency and adhesion to a substrate, and the resin pattern. The object is to provide a substrate for a liquid crystal display device and a liquid crystal display device.

上記課題は、以下の本発明によって達成される。
即ち、本発明の構成は以下に示すとおりである。
<1> (A)側鎖に酸性基を有する樹脂と、(B)下記一般式(b1)で表される重合性化合物及び一般式(b2)で表される重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を含み、
重合性化合物の総含有量に対する、該一般式(b1)で表される重合性化合物の含有率をW1(質量%)、該一般式(b2)で表される重合性化合物の含有率をW2(質量%)としたとき、W1とW2とが、下記式(1)及び式(2)に示す関係を満たし、
かつ、重合性化合物の総含有量に対する、該(C)光重合開始剤の含有比〔(C)の含有量/重合性化合物の総含有量〕が、0.6以上5未満である感光性組成物。
0.6≦W2/W1≦3.0 ・・・・式(1)
63質量%≦W1+W2≦100質量% ・・・・式(2)
The above object is achieved by the present invention described below.
That is, the configuration of the present invention is as follows.
<1> (A) a resin having an acidic group in the side chain, (B) a polymerizable compound represented by the following general formula (b1) and a polymerizable compound represented by the general formula (b2), and (C) A photopolymerization initiator,
The content of the polymerizable compound represented by the general formula (b1) with respect to the total content of the polymerizable compound is W1 (mass%), and the content of the polymerizable compound represented by the general formula (b2) is W2. When (mass%), W1 and W2 satisfy the relationship shown in the following formulas (1) and (2),
And the photosensitivity whose content ratio [content of (C) / total content of polymeric compound] of this (C) photoinitiator with respect to the total content of a polymeric compound is 0.6 or more and less than 5 Composition.
0.6 ≦ W2 / W1 ≦ 3.0 Formula (1)
63% by mass ≦ W1 + W2 ≦ 100% by mass (2)

(前記一般式(b1)中、Xは、水素原子又はHC=C(R)−C(O)−を表す。複数存在するXは互いに同じでも異なっていてもよい。但し、分子中のXのうち、少なくとも4個はHC=C(R)−C(O)−を表す。Rは、水素原子又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。) (In the general formula (b1), X represents a hydrogen atom or H 2 C═C (R) —C (O) —. A plurality of X may be the same as or different from each other, provided that in the molecule. At least 4 of X in the formulas represent H 2 C═C (R) —C (O) —, where R represents a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.

(前記一般式(b2)中、Xは、水素原子又はHC=C(R)−C(O)−を表す。複数存在するXは互いに同じでも異なっていてもよい。但し、分子中のXのうち、少なくとも6個はHC=C(R)−C(O)−を表す。Rは、水素原子又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。)
<2> 前記(B)重合性化合物とは構造の異なる重合性化合物をさらに含む<1>に記載の感光性組成物。
<3> 含有される重合性化合物の総含有量の、前記(A)樹脂の含有量に対する質量比率〔(重合性化合物の総含有量)/(A)の含有量〕が0.45〜1.6である<1>又は<2>に記載の感光性組成物。
<4> 仮支持体上に、<1>〜<3>のいずれか1つに記載の感光性組成物からなる感光性樹脂層を少なくとも有する感光性樹脂転写フィルムである。
<5> 前記感光性樹脂層と前記仮支持体の間に、酸素遮断層および熱可塑性樹脂層の少なくとも一方を設けてなる<4>に記載の感光性樹脂転写フィルムである。
(In the general formula (b2), X represents a hydrogen atom or H 2 C═C (R) —C (O) —. A plurality of X may be the same or different from each other, provided that in the molecule. At least 6 of X's represent H 2 C═C (R) —C (O) —, where R represents a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
<2> The photosensitive composition according to <1>, further including a polymerizable compound having a structure different from that of the polymerizable compound (B).
<3> The mass ratio [(total content of polymerizable compound) / (A) content] of the total content of the polymerizable compound contained to the content of the resin (A) is 0.45 to 1. The photosensitive composition as described in <1> or <2> which is .6.
<4> A photosensitive resin transfer film having at least a photosensitive resin layer made of the photosensitive composition according to any one of <1> to <3> on a temporary support.
<5> The photosensitive resin transfer film according to <4>, wherein at least one of an oxygen blocking layer and a thermoplastic resin layer is provided between the photosensitive resin layer and the temporary support.

<6> 基板上に、<1>〜<3>のいずれか1つに記載の感光性組成物を用いて感光性樹脂層を設ける感光性樹脂層形成工程と、感光性樹脂層をパターン露光する露光工程と、露光された感光性樹脂層を現像して、パターン状の樹脂層を形成する現像工程と、現像により得られたパターン状の樹脂層を加熱する加熱工程を含む樹脂パターンの製造方法である。
<7> 前記感光性樹脂層形成工程が、前記感光性組成物を基板上に、塗布、乾燥する工程である<6>に記載の樹脂パターンの製造方法である。
<8> 基板上に、<4>又は<5>に記載の感光性樹脂転写フィルムを用いて感光性樹脂層を設ける感光性樹脂層形成工程と、感光性樹脂層をパターン露光する露光工程と、露光された感光性樹脂層を現像して、パターン状の樹脂層を形成する現像工程と、現像により得られたパターン状の樹脂層を加熱する加熱工程を含む樹脂パターンの製造方法である。
<9> 前記感光性樹脂層形成工程が、前記感光性樹脂転写フィルムが有する感光性樹脂層を基板に接触させ、加熱及び加圧の少なくとも一方を行って、前記仮支持体より前記基板上に感光性樹脂層を転写する工程である<8>に記載の樹脂パターンの製造方法である。
<6> A photosensitive resin layer forming step of providing a photosensitive resin layer on the substrate using the photosensitive composition according to any one of <1> to <3>, and pattern exposure of the photosensitive resin layer. A resin pattern comprising: an exposing step for developing; a developing step for developing the exposed photosensitive resin layer to form a patterned resin layer; and a heating step for heating the patterned resin layer obtained by development Is the method.
<7> The method for producing a resin pattern according to <6>, wherein the photosensitive resin layer forming step is a step of applying and drying the photosensitive composition on a substrate.
<8> A photosensitive resin layer forming step in which a photosensitive resin layer is provided on the substrate using the photosensitive resin transfer film according to <4> or <5>, and an exposure step in which the photosensitive resin layer is subjected to pattern exposure. The method for producing a resin pattern includes: a developing step of developing the exposed photosensitive resin layer to form a patterned resin layer; and a heating step of heating the patterned resin layer obtained by development.
<9> In the photosensitive resin layer forming step, the photosensitive resin layer included in the photosensitive resin transfer film is brought into contact with the substrate, and at least one of heating and pressurization is performed on the substrate from the temporary support. It is a manufacturing method of the resin pattern as described in <8> which is the process of transferring the photosensitive resin layer.

<10> 前記基板上に設けられた感光性樹脂層の厚みが0.7μm〜3.0μmの範囲である<6>〜<9>のいずれか1つに記載の樹脂パターンの製造方法である。
<11> <6>〜<10>のいずれか1つに記載の樹脂パターンの製造方法により得られた樹脂パターンである。
<12> <11>に記載の樹脂パターンを備えた液晶表示装置用基板である。
<13> <12>に記載の液晶表示装置用基板を備えた液晶表示装置である。
本発明は上記構成としたために、従来の高温のみならず150℃以下の比較的低温領域によるベークによっても、絶縁性、透明性、耐アルカリ性等の耐性に優れ、タッチパネル素子用絶縁層やオーバーコート層を作製するのに有用な、の感光性組成物、感光性樹脂転写フィルムを提供しうる。
<10> The method for producing a resin pattern according to any one of <6> to <9>, wherein a thickness of the photosensitive resin layer provided on the substrate is in a range of 0.7 μm to 3.0 μm. .
<11> A resin pattern obtained by the method for producing a resin pattern according to any one of <6> to <10>.
<12> A substrate for a liquid crystal display device comprising the resin pattern according to <11>.
<13> A liquid crystal display device comprising the liquid crystal display device substrate according to <12>.
Since the present invention is configured as described above, it has excellent resistance to insulation, transparency, alkali resistance, etc. not only by the conventional high temperature but also by baking in a relatively low temperature region of 150 ° C. or less, and an insulating layer or overcoat for touch panel elements. It is possible to provide a photosensitive composition and a photosensitive resin transfer film, which are useful for producing a layer.

本発明によれば、現像性が良好であり、150℃以下の温度域における熱焼成工程によっても、形成された硬化膜の絶縁性、透明性、耐アルカリ性等の耐性、さらには、基板との密着性に優れ、絶縁層やオーバーコート層の形成に有用な感光性組成物、それを用いた感光性樹脂転写フィルムを提供することができる。
また、本発明によれば、前記本発明の感光性組成物を用いることで、樹脂パターンの製造方法、それにより得られた、透明性、基板との密着性に優れた樹脂パターン、該樹脂パターンを備えた液晶表示装置用基板及び液晶表示装置を提供することができる。
According to the present invention, the developability is good, and the resistance of the formed cured film, such as insulation, transparency, alkali resistance, and the like, as well as with the substrate, even by a thermal baking process in a temperature range of 150 ° C. or lower. A photosensitive composition having excellent adhesion and useful for forming an insulating layer and an overcoat layer, and a photosensitive resin transfer film using the same can be provided.
Further, according to the present invention, by using the photosensitive composition of the present invention, a resin pattern manufacturing method, a resin pattern obtained thereby, having excellent transparency and adhesion to a substrate, the resin pattern It is possible to provide a liquid crystal display device substrate and a liquid crystal display device including

以下、本発明の感光性組成物、感光性樹脂転写フィルム、樹脂パターン及び樹脂パターンの製造方法、並びに液晶表示装置用基板及び液晶表示装置について詳細に説明する。   Hereinafter, the photosensitive composition, photosensitive resin transfer film, resin pattern and resin pattern manufacturing method, liquid crystal display substrate and liquid crystal display device of the present invention will be described in detail.

<感光性組成物>
本発明の感光性組成物は、(A)側鎖に酸性基を有する樹脂と、(B)下記一般式(b1)で表される重合性化合物及び一般式(b2)で表される重合性化合物と、(D)光重合開始剤と、を含み、さらに、所望により、該(B)重合性化合物とは構造の異なる重合性化合物〔以下、適宜、他の重合性化合物と称する〕を含んでいてもよい。
本発明においては、以下に詳述する特定構造の2種の(B)重合性化合物を特定の比率で含むこと、所望により含まれる他の重合性化合物と該(B)重合性化合物の総含有量に対して(C)光重合開始剤を特定の比率で含むことを特徴とする。
以下、本発明の感光性組成物が含む各成分について順次説明する。
―(A)側鎖に酸性基を有する樹脂―
本発明の感光性組成物は、(A)側鎖に酸性基を有する樹脂〔以下、適宜、(A)特定樹脂と称する〕を含有する。
(A)特定樹脂は、側鎖に酸性基を有するものであれば特に制限はないが、酸性基を有する基:Y(yモル%)の他、さらに、側鎖に分岐および/または脂環構造を有する基:X(xモル%)と、エチレン性不飽和基を有する基:Z(zモル%)を含有することが好ましく、必要に応じてその他の基(L)(lモル%)を有していてもよい。また、(A)特定樹脂中のひとつの基の中にX,Y,及びZが複数組み合わされていてもよい。
<Photosensitive composition>
The photosensitive composition of the present invention comprises (A) a resin having an acidic group in the side chain, (B) a polymerizable compound represented by the following general formula (b1), and a polymerizable compound represented by the general formula (b2). And (D) a photopolymerization initiator, and, if desired, a polymerizable compound having a structure different from that of the polymerizable compound (B) (hereinafter referred to as other polymerizable compound as appropriate). You may go out.
In the present invention, two kinds of (B) polymerizable compounds having specific structures described in detail below are included in a specific ratio, and other polymerizable compounds included as desired and the total content of the (B) polymerizable compounds are included. It contains the photopolymerization initiator (C) in a specific ratio with respect to the amount.
Hereinafter, each component which the photosensitive composition of this invention contains is demonstrated one by one.
-(A) Resin having an acidic group in the side chain-
The photosensitive composition of this invention contains (A) resin which has an acidic group in a side chain [Hereinafter, it is suitably called (A) specific resin.].
(A) The specific resin is not particularly limited as long as it has an acidic group in the side chain. In addition to the group having an acidic group: Y (y mol%), the side chain is further branched and / or alicyclic. It preferably contains a group having a structure: X (x mol%) and a group having an ethylenically unsaturated group: Z (z mol%), and if necessary, other groups (L) (1 mol%) You may have. (A) A plurality of X, Y, and Z may be combined in one group in the specific resin.

前記酸性基としては、特に制限はなく、公知のものの中から適宜選択することができ、例えば、カルボキシル基、スルホン酸基、スルホンアミド基、リン酸基、フェノール性水酸基等が挙げられる。これらの中でも、現像性、及び硬化膜の耐水性が優れる点から、カルボキシ基、フェノール性水酸基であることが好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as said acidic group, It can select suitably from well-known things, For example, a carboxyl group, a sulfonic acid group, a sulfonamide group, a phosphoric acid group, a phenolic hydroxyl group etc. are mentioned. Among these, a carboxy group and a phenolic hydroxyl group are preferable from the viewpoint of excellent developability and water resistance of the cured film.

前記(A)特定樹脂の側鎖に酸性基を導入するために用いられる単量体(酸性基を有する単量体)としては、特に制限はなく、スチレン類、(メタ)アクリレート類、ビニルエーテル類、ビニルエステル類、(メタ)アクリルアミド類などに上記カルボキシル基等の酸性基を導入したものが挙げられ、(メタ)アクリレート類、ビニルエステル類、(メタ)アクリルアミド類に酸性基を導入したものが好ましく、さらに好ましくは(メタ)アクリレート類に酸性基を導入したものである。
なお、本明細書において、「アクリル」及び「メタクリル」の双方或いはいずれかを指す場合、「(メタ)アクリル」と、「アクリレート」及び「メタクリレート」の双方或いはいずれかを指す場合、「(メタ)アクリレート」と、それぞれ表記することがある。
There is no restriction | limiting in particular as a monomer (monomer which has an acidic group) used in order to introduce | transduce an acidic group into the side chain of the said (A) specific resin, Styrenes, (meth) acrylates, vinyl ethers , Vinyl esters, (meth) acrylamides and the like introduced with acidic groups such as the above carboxyl groups, (meth) acrylates, vinyl esters, (meth) acrylamides introduced with acidic groups Preferably, an acidic group is introduced into (meth) acrylates.
In this specification, when referring to both or one of “acrylic” and “methacrylic”, when referring to “(meth) acrylic” and either or both of “acrylate” and “methacrylate” ) Acrylate ".

前記酸性基を有する単量体の具体例としては、公知のものの中から適宜選択することができ、例えば、(メタ)アクリル酸、ビニル安息香酸、マレイン酸、マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸、イタコン酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、α−シアノ桂皮酸、アクリル酸ダイマー、水酸基を有する単量体と環状酸無水物との付加反応物、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは、適宜製造したものを使用してもよいし、市販品を使用してもよい。   Specific examples of the monomer having an acidic group can be appropriately selected from known ones such as (meth) acrylic acid, vinyl benzoic acid, maleic acid, maleic acid monoalkyl ester, fumaric acid, Itaconic acid, crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, α-cyanocinnamic acid, acrylic acid dimer, addition reaction product of hydroxyl group-containing monomer and cyclic acid anhydride, ω-carboxy-polycaprolactone mono (meth) acrylate Etc. As these, those produced as appropriate may be used, or commercially available products may be used.

前記水酸基を有する単量体と環状酸無水物との付加反応物に用いられる水酸基を有する単量体としては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。前記環状酸無水物としては、例えば、無水マレイン酸、無水フタル酸、シクロヘキサンジカルボン酸無水物等が挙げられる。これらの中でも現像性に優れ、低コストである点で(メタ)アクリル酸等が好ましい。   Examples of the monomer having a hydroxyl group used in the addition reaction product of the monomer having a hydroxyl group and a cyclic acid anhydride include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate. Examples of the cyclic acid anhydride include maleic anhydride, phthalic anhydride, and cyclohexanedicarboxylic anhydride. Among these, (meth) acrylic acid and the like are preferable in terms of excellent developability and low cost.

(A)特定樹脂における側鎖に酸性基を有する単量体の導入量は、5〜70モル%が好ましく、10〜60モル%が更に好ましく、20〜50モル%が特に好ましい。側鎖に酸性基を有する基が前記範囲内であると、良好な硬化性、現像性が得られる。   (A) As for the introduction amount of the monomer which has an acidic group in the side chain in specific resin, 5-70 mol% is preferable, 10-60 mol% is further more preferable, and 20-50 mol% is especially preferable. When the group having an acidic group in the side chain is within the above range, good curability and developability can be obtained.

また、(A)特定樹脂として好適な酸価は、とりうる分子構造により好ましい範囲は変動するが、一般には20mgKOH/g以上であることが好ましく、50mgKOH/g以上であることはより好ましく、70〜130mgKOH/gであることが特に好ましい。酸価が前記好ましい範囲内であると、良好な絶縁性、透明性、耐水性、耐アルカリ性、耐酸性に優れた絶縁層及びオーバーコート層が得られる。このため、酸価が上記範囲となるように、側鎖に酸性基を有する単量体の使用量を決定すればよい。   Further, the preferred range of the acid value suitable for (A) the specific resin varies depending on the molecular structure that can be taken, but it is generally preferably 20 mgKOH / g or more, more preferably 50 mgKOH / g or more, and 70 -130 mg KOH / g is particularly preferred. When the acid value is within the preferable range, an insulating layer and an overcoat layer excellent in good insulation, transparency, water resistance, alkali resistance and acid resistance can be obtained. For this reason, what is necessary is just to determine the usage-amount of the monomer which has an acidic group in a side chain so that an acid value may become the said range.

また、(A)特定樹脂は、既述のように、さらに、側鎖に「分岐および/または脂環構造を有する基」や、「エチレン性不飽和基」を有していてもよい。
即ち、本発明における(A)特定樹脂は、前記側鎖に分岐および/または脂環構造を有する基:X(xモル%)と、酸性基を有する基:Y(yモル%)と、エチレン性不飽和基を有する基:Z(zモル%)とをそれぞれ別の共重合単位に有する少なくとも3元共重合以上の共重合体であることが、形成される樹脂パターンの絶縁性、透明性、耐水性、耐アルカリ性、耐酸性現像残渣低減、レチキュレーションの観点から好ましい。具体的には、前記X,Y,Zを構成する各々の単量体を少なくとも1つ共重合させてなる共重合体が好ましい。
In addition, as described above, (A) the specific resin may further have a “group having a branched and / or alicyclic structure” or an “ethylenically unsaturated group” in the side chain.
That is, the specific resin (A) in the present invention comprises a group having a branched and / or alicyclic structure in the side chain: X (x mol%), a group having an acidic group: Y (y mol%), ethylene Insulating property and transparency of the resin pattern to be formed should be a copolymer of at least terpolymer having a group having a polymerizable unsaturated group: Z (z mol%) in different copolymer units. From the viewpoint of water resistance, alkali resistance, reduction of acid-resistant development residue, and reticulation. Specifically, a copolymer obtained by copolymerizing at least one of the monomers constituting the X, Y, and Z is preferable.

以下、「側鎖に分岐および/または脂環構造を有する基」について説明する。
分岐を有する基としては、炭素原子数3〜12個の分岐状のアルキル基を示し、例えば、i−プロピル基、i−ブチル基、s−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、2−メチルブチル基、イソヘキシル基、2−エチルヘキシル基、2−メチルヘキシル基、i−アミル基、t−アミル基、3−オクチル、t−オクチル等が挙げられる。これらの中でも、i−プロピル基、s−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基等が好ましく、さらにi−プロピル基、s−ブチル基、t−ブチル基等が好ましい。
Hereinafter, the “group having a branched and / or alicyclic structure in the side chain” will be described.
Examples of the branched group include branched alkyl groups having 3 to 12 carbon atoms, such as i-propyl group, i-butyl group, s-butyl group, t-butyl group, isopentyl group, and neopentyl group. , 2-methylbutyl group, isohexyl group, 2-ethylhexyl group, 2-methylhexyl group, i-amyl group, t-amyl group, 3-octyl, t-octyl and the like. Among these, i-propyl group, s-butyl group, t-butyl group, isopentyl group and the like are preferable, and i-propyl group, s-butyl group, t-butyl group and the like are more preferable.

脂環構造を有する基としては、炭素原子数5〜20個の脂環式炭化水素基を示し、例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、アダマンチル基、トリシクロデシル基、ジシクロペンテニル基、ジシクロペンタニル基、トリシクロペンテニル基、及びトリシクロペンタニル基等が挙げられる。これらの中でも、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、アダマンチル基、トリシクロデシル基、トリシクロペンテニル基、トリシクロペンタニル基等が好ましく、更にシクロヘキシル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロペンテニル基等が好ましい。   The group having an alicyclic structure represents an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 20 carbon atoms, such as a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclooctyl group, a norbornyl group, an isobornyl group, an adamantyl group. , Tricyclodecyl group, dicyclopentenyl group, dicyclopentanyl group, tricyclopentenyl group, and tricyclopentanyl group. Among these, a cyclohexyl group, a norbornyl group, an isobornyl group, an adamantyl group, a tricyclodecyl group, a tricyclopentenyl group, a tricyclopentanyl group, and the like are preferable, and a cyclohexyl group, a norbornyl group, an isobornyl group, a tricyclopentenyl group, and the like. Is preferred.

前記側鎖に分岐および/または脂環構造を有する基を含有する単量体としては、スチレン類、(メタ)アクリレート類、ビニルエーテル類、ビニルエステル類、(メタ)アクリルアミド類などが挙げられ、(メタ)アクリレート類、ビニルエステル類、(メタ)アクリルアミド類が好ましく、さらに好ましくは(メタ)アクリレート類である。   Examples of the monomer containing a group having a branched and / or alicyclic structure in the side chain include styrenes, (meth) acrylates, vinyl ethers, vinyl esters, (meth) acrylamides, and the like ( (Meth) acrylates, vinyl esters and (meth) acrylamides are preferred, and (meth) acrylates are more preferred.

前記側鎖に分岐構造を有する基を含有する単量体の具体例としては、(メタ)アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、(メタ)アクリル酸s−ブチル、(メタ)アクリル酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸i−アミル、(メタ)アクリル酸t−アミル、(メタ)アクリル酸sec−iso−アミル、(メタ)アクリル酸2−オクチル、(メタ)アクリル酸3−オクチル、(メタ)アクリル酸t−オクチル等が挙げられ、その中でも、(メタ)
アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、メタクリル酸t−ブチル等が好ましく、さらに好ましくは、メタクリル酸i−プロピル、メタクリル酸t−ブチル等である。
Specific examples of the monomer containing a group having a branched structure in the side chain include i-propyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, s-butyl (meth) acrylate, (meth ) T-butyl acrylate, i-amyl (meth) acrylate, t-amyl (meth) acrylate, sec-iso-amyl (meth) acrylate, 2-octyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid 3-octyl, t-octyl (meth) acrylate, and the like, among which (meth)
I-propyl acrylate, i-butyl (meth) acrylate, t-butyl methacrylate and the like are preferable, and i-propyl methacrylate and t-butyl methacrylate are more preferable.

次に、前記側鎖に脂環構造を有する基を含有する単量体の具体例としては、炭素原子数5〜20個の脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリレートである。具体的な例としては、(メタ)アクリル酸(ビシクロ〔2.2.1]ヘプチル−2)、(メタ)アクリル酸−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3−メチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3,5−ジメチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3−エチルアダマンチル、(メタ)アクリル酸−3−メチル−5−エチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3,5,8−トリエチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3,5−ジメチル−8−エチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸 2−メチル−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸 2−エチル−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸 3−ヒドロキシ−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸オクタヒドロ−4,7−メンタノインデン−5−イル、(メタ)アクリル酸オクタヒドロ−4,7−メンタノインデン−1−イルメチル、(メタ)アクリル酸−1−メンチル、(メタ)アクリル酸トリシクロデシル、(メタ)アクリル酸−3−ヒドロキシ−2,6,6−トリメチル−ビシクロ〔3.1.1〕ヘプチル、(メタ)アクリル酸−3,7,7−トリメチル−4−ヒドロキシ−ビシクロ〔4.1.0〕ヘプチル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸フエンチル、(メタ)アクリル酸−2,2,5−トリメチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、などが挙げられる。
これら(メタ)アクリル酸エステルのなかでも、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸フエンチル、(メタ)アクリル酸1−メンチル、(メタ)アクリル酸トリシクロデシルなどが好ましく、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸−2−アダマンチルが特に好ましい。
Next, a specific example of the monomer containing a group having an alicyclic structure in the side chain is (meth) acrylate having an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 20 carbon atoms. Specific examples include (meth) acrylic acid (bicyclo [2.2.1] heptyl-2), (meth) acrylic acid-1-adamantyl, (meth) acrylic acid-2-adamantyl, (meth) acrylic. Acid-3-methyl-1-adamantyl, (meth) acrylic acid-3,5-dimethyl-1-adamantyl, (meth) acrylic acid-3-ethyladamantyl, (meth) acrylic acid-3-methyl-5-ethyl -1-adamantyl, (meth) acrylic acid-3,5,8-triethyl-1-adamantyl, (meth) acrylic acid-3,5-dimethyl-8-ethyl-1-adamantyl, (meth) acrylic acid 2- Methyl-2-adamantyl, (meth) acrylic acid 2-ethyl-2-adamantyl, (meth) acrylic acid 3-hydroxy-1-adamantyl, (meth) acrylic acid o Tahydro-4,7-mentanoinden-5-yl, octahydro-4,7-mentanoinden-1-ylmethyl (meth) acrylate, (meth) acrylate-1-menthyl, tricyclo (meth) acrylate Decyl, (meth) acrylic acid-3-hydroxy-2,6,6-trimethyl-bicyclo [3.1.1] heptyl, (meth) acrylic acid-3,7,7-trimethyl-4-hydroxy-bicyclo [ 4.1.0] heptyl, (nor) bornyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, fuentyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid-2,2,5-trimethylcyclohexyl, (meth) And cyclohexyl acrylate.
Among these (meth) acrylates, cyclohexyl (meth) acrylate, (nor) bornyl (meth) acrylic acid, isobornyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid-1-adamantyl, (meth) acrylic acid -2-adamantyl, (meth) acrylic acid fuentyl, (meth) acrylic acid 1-menthyl, (meth) acrylic acid tricyclodecyl, etc. are preferred, (meth) acrylic acid cyclohexyl, (meth) acrylic acid (nor) bornyl, Particularly preferred are isobornyl (meth) acrylate and 2-adamantyl (meth) acrylate.

前記(A)特定樹脂の前記各成分の共重合組成比については、ガラス転移温度と酸価を勘案して決定され、一概に言えないが、「側鎖に分岐および/または脂環構造を有する基」は10〜70モル%が好ましく、15〜65モル%が更に好ましく、20〜60モル%が特に好ましい。側鎖に分岐および/または脂環構造を有する基が前記範囲内であると、良好な現像性が得られると共に、画像部の現像液耐性も良好である。   The copolymer composition ratio of the respective components of the specific resin (A) is determined in consideration of the glass transition temperature and the acid value, and cannot be generally stated, but “has a branched and / or alicyclic structure in the side chain. The “group” is preferably 10 to 70 mol%, more preferably 15 to 65 mol%, particularly preferably 20 to 60 mol%. When the group having a branched and / or alicyclic structure in the side chain is within the above range, good developability is obtained and the developer resistance of the image area is also good.

前記「エチレン性不飽和基」としては、特に制限はないが、(メタ)アクリロイル基が好ましい。また、エチレン性不飽和基と単量体との連結はエステル基、アミド基、カルバモイル基などの2価の連結基であれば特に制限はない。側鎖にエチレン性不飽和基を導入する方法は公知のものの中から適宜選択することができ、例えば、酸性基を持つ化合物(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル安息香酸、マレイン酸、マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸、イタコン酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、α−シアノ桂皮酸等)にエポキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法、ヒドロキシル基を持つ基(例えば、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート等)にイソシアネート基を持つ(メタ)アクリレートを付加した付加する方法、イソシアネート基を持つ基にヒドロキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法などが挙げられる。   The “ethylenically unsaturated group” is not particularly limited, but a (meth) acryloyl group is preferable. The connection between the ethylenically unsaturated group and the monomer is not particularly limited as long as it is a divalent linking group such as an ester group, an amide group, or a carbamoyl group. The method for introducing an ethylenically unsaturated group into the side chain can be appropriately selected from known ones. For example, a compound having an acidic group (for example, acrylic acid, methacrylic acid, vinylbenzoic acid, maleic acid, maleic acid) A method of adding a (meth) acrylate having an epoxy group to a monoalkyl ester, fumaric acid, itaconic acid, crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, α-cyanocinnamic acid, etc., a group having a hydroxyl group (for example, 2- Examples thereof include a method of adding (meth) acrylate having an isocyanate group to hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, etc., and a method of adding (meth) acrylate having a hydroxy group to a group having an isocyanate group.

その中でも、酸性基を持つ繰り返し単位にエポキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法が最も製造が容易であり、低コストである点で好ましい。
エチレン性不飽和結合及びエポキシ基を有する(メタ)アクリレートとしては、これらを有すれば特に制限はない。
Among these, the method of adding (meth) acrylate having an epoxy group to a repeating unit having an acidic group is most preferable because it is the easiest to produce and is low in cost.
The (meth) acrylate having an ethylenically unsaturated bond and an epoxy group is not particularly limited as long as it has these.

「側鎖にエチレン性不飽和基」を有する繰り返し単位の含有量は10〜70モル%が好ましく、20〜70モル%が更に好ましく、30〜70モル%が特に好ましい。側鎖にエチレン性不飽和基を有する基が前記範囲内であると、現像性及び硬化性も良好である。   The content of the repeating unit having an “ethylenically unsaturated group in the side chain” is preferably 10 to 70 mol%, more preferably 20 to 70 mol%, and particularly preferably 30 to 70 mol%. When the group having an ethylenically unsaturated group in the side chain is within the above range, developability and curability are also good.

(A)特定樹脂には、前記3種の繰り返し単位の他、他の単量体に由来する繰り返し単位を含んでもよい。そのような他の単量体としては、特に制限はなく、例えば分岐および/または脂環構造をもたない(メタ)アクリル酸エステル、スチレン、ビニルエーテル、二塩基酸無水物基、ビニルエステル基、炭化水素アルケニル基等を有する単量体などが挙げられる。   (A) The specific resin may include a repeating unit derived from another monomer in addition to the three types of repeating units. Such other monomer is not particularly limited, for example, (meth) acrylic acid ester having no branched and / or alicyclic structure, styrene, vinyl ether, dibasic acid anhydride group, vinyl ester group, And monomers having a hydrocarbon alkenyl group.

前記ビニルエーテル基としては、特に制限はなく、例えば、ブチルビニルエーテル基などが挙げられる。
前記二塩基酸無水物基としては、特に制限はなく、例えば、無水マレイン酸基、無水イタコン酸基などが挙げられる。
前記ビニルエステル基としては、特に制限はなく、例えば、酢酸ビニル基などが挙げられる。
前記炭化水素アルケニル基としては、特に制限はなく、例えば、ブタジエン基、イソプレン基などが挙げられる。
There is no restriction | limiting in particular as said vinyl ether group, For example, a butyl vinyl ether group etc. are mentioned.
The dibasic acid anhydride group is not particularly limited, and examples thereof include a maleic anhydride group and an itaconic anhydride group.
There is no restriction | limiting in particular as said vinyl ester group, For example, a vinyl acetate group etc. are mentioned.
There is no restriction | limiting in particular as said hydrocarbon alkenyl group, For example, a butadiene group, an isoprene group, etc. are mentioned.

前記(A)特定樹脂におけるその他の単量体の含有率としては、モル組成比が、0〜30mol%であることが好ましく、0〜20mol%であることがより好ましい。   As content rate of the other monomer in said (A) specific resin, it is preferable that molar composition ratio is 0-30 mol%, and it is more preferable that it is 0-20 mol%.

(A)特定樹脂の具体例としては、例えば、特開2008−146018公報の段落番号[0057]〜[0063]に記載される化合物P−1〜P−35で表される化合物が挙げられる。   Specific examples of (A) specific resin include compounds represented by compounds P-1 to P-35 described in paragraph numbers [0057] to [0063] of JP-A-2008-146018.

前記(A)特定樹脂は、モノマーの(共)重合反応の工程とエチレン性不飽和基を導入する工程の二段階の工程から作られる。 まず、(共)重合反応は種々のモノマーの(共)重合反応によって作られ、特に制限はなく公知のものの中から適宜選択することができる。例えば、重合の活性種については、ラジカル重合、カチオン重合、アニオン重合、配位重合などを適宜選択することができる。これらの中でも合成が容易であり、低コストである点からラジカル重合であることが好ましい。また、重合方法についても特に制限はなく公知のものの中から適宜選択することができる。例えば、バルク重合法、懸濁重合法、乳化重合法、溶液重合法などを適宜選択することができる。これらの中でも、溶液重合法であることがより望ましい。   Said (A) specific resin is made from the process of two steps, the process of the (co) polymerization reaction of a monomer, and the process of introduce | transducing an ethylenically unsaturated group. First, the (co) polymerization reaction is made by a (co) polymerization reaction of various monomers, and is not particularly limited and can be appropriately selected from known ones. For example, radical polymerization, cationic polymerization, anionic polymerization, coordination polymerization and the like can be appropriately selected for the active species of polymerization. Among these, radical polymerization is preferable from the viewpoint of easy synthesis and low cost. Moreover, there is no restriction | limiting in particular also about the polymerization method, It can select suitably from well-known things. For example, a bulk polymerization method, a suspension polymerization method, an emulsion polymerization method, a solution polymerization method and the like can be appropriately selected. Among these, the solution polymerization method is more desirable.

(A)特定樹脂として好適な前記共重合体の重量平均分子量は、10,000〜10万が好ましく、12,000〜6万が更に好ましく、15,000〜4.5万が特に好ましい。重量平均分子量が10,000未満であると、樹脂の強度が低下し、絶縁層及びオーバーコート層が凝集破壊しやすくなる、また現像速度が速くなりすぎることにより、樹脂パターンが基板から脱落しやすくなる。重量平均分子量が10万を超えると現像残渣が多くなり好ましくない。   (A) The weight average molecular weight of the copolymer suitable as the specific resin is preferably 10,000 to 100,000, more preferably 12,000 to 60,000, and particularly preferably 15,000 to 45,000. When the weight average molecular weight is less than 10,000, the strength of the resin decreases, the insulating layer and the overcoat layer tend to cohesively break, and the development speed becomes too fast, so that the resin pattern easily drops off the substrate. Become. When the weight average molecular weight exceeds 100,000, the development residue increases, which is not preferable.

(A)特定樹脂として好適なガラス転移温度(Tg)は、40〜180℃であることが好ましく、45〜140℃であることはより好ましく、50〜130℃であることが特に好ましい。ガラス転移温度(Tg)が前記好ましい範囲内であると、良好な絶縁性、透明性、耐水性、耐アルカリ性、耐酸性に優れた絶縁層及びオーバーコート層が得られる。   (A) The glass transition temperature (Tg) suitable as the specific resin is preferably 40 to 180 ° C, more preferably 45 to 140 ° C, and particularly preferably 50 to 130 ° C. When the glass transition temperature (Tg) is within the preferred range, an insulating layer and an overcoat layer excellent in good insulation, transparency, water resistance, alkali resistance and acid resistance can be obtained.

前記(A)特定樹脂のガラス転移温度(Tg)が40〜180℃であり、かつ重量平均分子量が10,000〜100,000であることが良好な絶縁性、透明性、耐水性、耐アルカリ性、耐酸性に優れた絶縁層及びオーバーコート層が得られる点で好ましい。
更に、前記(A)特定樹脂の好ましい例は、好ましい前記分子量、ガラス転移温度(Tg)、及び酸価のいずれもが前記好ましい範囲にある樹脂であることがより好ましい。
The (A) specific resin has a glass transition temperature (Tg) of 40 to 180 ° C. and a weight average molecular weight of 10,000 to 100,000. Good insulation, transparency, water resistance, and alkali resistance The insulating layer and the overcoat layer excellent in acid resistance are preferable.
Furthermore, a preferable example of the (A) specific resin is more preferably a resin in which all of the preferable molecular weight, glass transition temperature (Tg), and acid value are in the preferable range.

前記(A)特定樹脂の含有量としては、前記感光性組成物全固形分に対して、5〜70質量%が好ましく、10〜50質量%がより好ましい。
なお、ここで固形分とは、感光性組成物において溶剤を除いた他の成分の合計量を指す。
本発明の感光性組成物は、(A)特定樹脂の他に、本発明の効果を損なわない限りにおいて、側鎖に酸性基を有する樹脂以外の樹脂(他の樹脂)を含有してもよい。他の樹脂を含有する場合、その含有量は、(A)特定樹脂の含有量100質量部に対して30質量部以下であることが好ましく、効果の観点からは、樹脂として(A)特定樹脂のみを含む態様がより好ましい。
As content of the said (A) specific resin, 5-70 mass% is preferable with respect to the said photosensitive composition total solid, and 10-50 mass% is more preferable.
In addition, solid content means the total amount of the other component except a solvent in the photosensitive composition here.
The photosensitive composition of the present invention may contain, in addition to the specific resin (A), a resin other than the resin having an acidic group in the side chain (other resin) as long as the effects of the present invention are not impaired. . When other resins are contained, the content thereof is preferably 30 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the (A) specific resin. The aspect containing only is more preferable.

−(B)一般式(b1)で表される重合性化合物及び一般式(b2)で表される重合性化合物−
本発明の感光性組成物は、以下に示す構造の2種の特定重合性化合物をそれぞれ少なくとも1種含有し、さらに、これらとは構造の異なる(B−2)他の重合性化合物を含有してもよい。
-(B) Polymerizable compound represented by general formula (b1) and Polymerizable compound represented by general formula (b2)-
The photosensitive composition of the present invention contains at least one of two kinds of specific polymerizable compounds each having the structure shown below, and further contains (B-2) another polymerizable compound having a structure different from these. May be.

(前記一般式(b1)中、Xは、水素原子又はHC=C(R)−C(O)−を表す。複数存在するXは互いに同じでも異なっていてもよい。但し、分子中のXのうち、少なくとも4個はHC=C(R)−C(O)−を表す。Rは、水素原子又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。) (In the general formula (b1), X represents a hydrogen atom or H 2 C═C (R) —C (O) —. A plurality of X may be the same as or different from each other, provided that in the molecule. At least 4 of X in the formulas represent H 2 C═C (R) —C (O) —, where R represents a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.

(前記一般式(b2)中、Xは、水素原子又はHC=C(R)−C(O)−を表す。複数存在するXは互いに同じでも異なっていてもよい。但し、分子中のXのうち、少なくとも6個はHC=C(R)−C(O)−を表す。Rは、水素原子又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。) (In the general formula (b2), X represents a hydrogen atom or H 2 C═C (R) —C (O) —. A plurality of X may be the same or different from each other, provided that in the molecule. At least 6 of X's represent H 2 C═C (R) —C (O) —, where R represents a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.

ここで、感光性組成物に含まれる重合性化合物の総量に対する、前記一般式(b1)で表される重合性化合物の含有率をW1(質量%)、前記一般式(b2)で表される重合性化合物の含有率をW2(質量%)としたとき、W1とW2とが、下記式(1)及び式(2)に示す関係を満たすことを要する。含有率W1及びW2が、下記式(1)及び式(2)に示す関係を満たすことにより、絶縁性、透明性、耐水性、耐アルカリ性、耐酸性に優れたタッチパネル素子用絶縁層及びオーバーコート層などの樹脂パターンを提供することができる。
0.6≦W2/W1≦3.0 ・・・・式(1)
63質量%≦W1+W2≦100質量% ・・・・式(2)
Here, the content of the polymerizable compound represented by the general formula (b1) with respect to the total amount of the polymerizable compound contained in the photosensitive composition is represented by W1 (mass%) and the general formula (b2). When the content rate of a polymeric compound is set to W2 (mass%), it is required that W1 and W2 satisfy | fill the relationship shown to following formula (1) and Formula (2). When the contents W1 and W2 satisfy the relationship shown in the following formulas (1) and (2), the insulating layer and overcoat for a touch panel element excellent in insulation, transparency, water resistance, alkali resistance, and acid resistance A resin pattern such as a layer can be provided.
0.6 ≦ W2 / W1 ≦ 3.0 Formula (1)
63% by mass ≦ W1 + W2 ≦ 100% by mass (2)

〔一般式(b1)で表される重合性化合物〕
一般式(b1)で表される重合性化合物における、Xは水素原子又はHC=C(R)−C(O)−を表し、重合性化合物一分子中に含まれるHC=C(R)−C(O)−は4個以上である。より好ましくは5個以上であり、最も好ましいのは、5.5個及び6個である。なお、この数は平均値で示す場合があり、例えば、一分子中にHC=C(R)−C(O)−を5個含むものと6個含むものとの等量混合物は、HC=C(R)−C(O)−を一分子中に5.5含むものとされる。
また、Rは水素原子であるか、又は、メチル基など炭素数4以下の低級炭化水素基であり、より好ましくは水素原子又はメチル基など炭素数2以下の低級炭化水素基であり、最も好ましいのは、水素原子又はメチル基である。一分子中に含まれるHC=C(R)−C(O)−におけるRは、互いに同じでも異なっていてもよいが、合成適性上は同じであることが好ましい。
一般式(b1)で示される重合性化合物としては、具体的にはジペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート及びそれらの混合物が挙げられる。
なかでもジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート及びそれらの混合物がより好ましい。
[Polymerizable compound represented by formula (b1)]
In the polymerizable compound represented by the general formula (b1), X represents a hydrogen atom or H 2 C═C (R) —C (O) —, and H 2 C═C contained in one molecule of the polymerizable compound. (R) -C (O)-is 4 or more. More preferably, the number is 5 or more, and the most preferable are 5.5 and 6. In addition, this number may be shown by an average value. For example, an equivalent mixture of 5 and 2 containing H 2 C═C (R) —C (O) — per molecule H 2 C═C (R) —C (O) — is contained in one molecule at 5.5.
R is a hydrogen atom or a lower hydrocarbon group having 4 or less carbon atoms such as a methyl group, more preferably a lower hydrocarbon group having 2 or less carbon atoms such as a hydrogen atom or a methyl group, most preferably. Is a hydrogen atom or a methyl group. Rs in H 2 C═C (R) —C (O) — contained in one molecule may be the same or different from each other, but are preferably the same in terms of synthesis suitability.
Specific examples of the polymerizable compound represented by the general formula (b1) include dipentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipenta Mention may be made of erythritol hexaacrylate and mixtures thereof.
Of these, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and mixtures thereof are more preferred.

〔一般式(b2)で表される重合性化合物〕
一般式(b2)で表される重合性化合物における、Xは水素原子又はHC=C(R)−C(O)−を表し、重合性化合物一分子中に含まれるHC=C(R)−C(O)−は6個以上である。より好ましくは7個以上であり、最も好ましいのは、7.5個及び8個である。なお、この数は平均値で示す場合があり、例えば、一分子中にHC=C(R)−C(O)−を7個含むものと8個含むものとの等量混合物は、HC=C(R)−C(O)−を一分子中に7.5含むものとされる。
また、Rは水素原子であるか、又は、メチル基など炭素数4以下の低級炭化水素基であり、より好ましくは水素原子又はメチル基など炭素数2以下の低級炭化水素基であり、最も好ましいのは、水素原子又はメチル基である。一分子中に含まれるHC=C(R)−C(O)−におけるRは、互いに同じでも異なっていてもよいが、合成適性上は同じであることが好ましい。
一般式(b2)で示される重合性化合物としては、具体的にはトリペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタメタクリレート、トリペンタエリスリトールオクタメタクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタアクリレート、トリペンタエリスリトールオクタアクリレート及びそれらの混合物が挙げられる。
なかでも、トリペンタエリスリトールヘプタメタクリレート、トリペンタエリスリトールオクタメタクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタアクリレート、トリペンタエリスリトールオクタアクリレート及びそれらの混合物がより好ましい。
[Polymerizable compound represented by formula (b2)]
In the polymerizable compound represented by the general formula (b2), X represents a hydrogen atom or H 2 C═C (R) —C (O) —, and H 2 C═C contained in one molecule of the polymerizable compound. (R) -C (O)-is 6 or more. More preferably, the number is 7 or more, and the most preferable are 7.5 and 8. In addition, this number may be shown by an average value. For example, an equivalent mixture of 7 and 8 containing H 2 C═C (R) —C (O) — in one molecule, H 2 C═C (R) —C (O) — is assumed to be contained in 7.5 in one molecule.
R is a hydrogen atom or a lower hydrocarbon group having 4 or less carbon atoms such as a methyl group, more preferably a lower hydrocarbon group having 2 or less carbon atoms such as a hydrogen atom or a methyl group, most preferably. Is a hydrogen atom or a methyl group. Rs in H 2 C═C (R) —C (O) — contained in one molecule may be the same or different from each other, but are preferably the same in terms of synthesis suitability.
Specific examples of the polymerizable compound represented by the general formula (b2) include tripentaerythritol hexamethacrylate, tripentaerythritol heptamethacrylate, tripentaerythritol octamethacrylate, tripentaerythritol hexaacrylate, tripentaerythritol heptaacrylate, tripenta Mention may be made of erythritol octaacrylate and mixtures thereof.
Of these, tripentaerythritol heptamethacrylate, tripentaerythritol octamethacrylate, tripentaerythritol heptaacrylate, tripentaerythritol octaacrylate, and mixtures thereof are more preferred.

なお、これらのより好ましい組み合わせとしては、(b1)ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートと(b2)トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、(b1)ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートと(b2)トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、(b1)ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートと(b2)トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、(b1)ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートと(b2)トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、(b1)ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートと(b2)トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレートとトリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート混合物、(b1)ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート(b2)トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレートとトリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート混合物、(b1)ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートとジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートの混合物と(b2)トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、(b1)ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートとジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートの混合物と(b2)トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート混合物が上げられる。   More preferable combinations of these include (b1) dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and (b2) tripentaerythritol octa (meth) acrylate, (b1) dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and (b2) tri Pentaerythritol hepta (meth) acrylate, (b1) dipentaerythritol penta (meth) acrylate and (b2) tripentaerythritol octa (meth) acrylate, (b1) dipentaerythritol penta (meth) acrylate and (b2) tripentaerythritol Hepta (meth) acrylate, (b1) dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and (b2) tripentaerythritol hepta (meth) acrylate and tripentaerythritol octa (Meth) acrylate mixture, (b1) dipentaerythritol penta (meth) acrylate (b2) tripentaerythritol hepta (meth) acrylate and tripentaerythritol octa (meth) acrylate mixture, (b1) dipentaerythritol penta (meth) acrylate Mixture of dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and (b2) tripentaerythritol octa (meth) acrylate, (b1) Mixture of dipentaerythritol penta (meth) acrylate and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and (b2) tri A pentaerythritol hepta (meth) acrylate mixture is raised.

さらに好ましくは(b1)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートと(b2)トリペンタエリスリトールオクタアクリレート、(b1)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートと(b2)トリペンタエリスリトールヘプタアクリレート、(b1)ジペンタエリスリトールペンタアクリレートと(b2)トリペンタエリスリトールオクタアクリレート、(b1)ジペンタエリスリトールペンタアクリレートと(b2)トリペンタエリスリトールヘプタアクリレート、(b1)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートと(b2)トリペンタエリスリトールヘプタアクリレートとトリペンタエリスリトールオクタアクリレート混合物、(b1)ジペンタエリスリトールペンタアクリレート(b2)トリペンタエリスリトールヘプタアクリレートとトリペンタエリスリトールオクタアクリレート混合物、(b1)ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物と(b2)トリペンタエリスリトールオクタアクリレート、(b1)ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物と(b2)トリペンタエリスリトールヘプタアクリレート混合物が挙げられる。   More preferably, (b1) dipentaerythritol hexaacrylate and (b2) tripentaerythritol octaacrylate, (b1) dipentaerythritol hexaacrylate and (b2) tripentaerythritol heptaacrylate, (b1) dipentaerythritol pentaacrylate and (b2) ) Tripentaerythritol octaacrylate, (b1) dipentaerythritol pentaacrylate and (b2) tripentaerythritol heptaacrylate, (b1) dipentaerythritol hexaacrylate and (b2) a mixture of tripentaerythritol heptaacrylate and tripentaerythritol octaacrylate, (B1) Dipentaerythritol pentaacrylate (b2) Tripentaerythritol heptaac And (b1) a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate and (b2) a tripentaerythritol octaacrylate, (b1) a dipentaerythritol pentaacrylate and a dipentaerythritol hexaacrylate A mixture and (b2) tripentaerythritol heptaacrylate mixture are mentioned.

前記一般式(b1)で表される重合性化合物及び一般式(b2)で表される重合性化合物の、本発明の感光性組成物に含まれる全重合性化合物の含有量に対する含有率を、それぞれW1(質量%)及びW2(質量%)としたときに、下記式(1)1及び式(2)に示す関係を満たすことが必要である。
0.6≦W2/W1≦3.0 ・・・・式(1)
63質量%≦W1+W2≦100質量% ・・・・式(2)
The content of the polymerizable compound represented by the general formula (b1) and the polymerizable compound represented by the general formula (b2) with respect to the content of all polymerizable compounds contained in the photosensitive composition of the present invention, When W1 (mass%) and W2 (mass%) are used, it is necessary to satisfy the relationships shown in the following formulas (1) 1 and (2).
0.6 ≦ W2 / W1 ≦ 3.0 Formula (1)
63% by mass ≦ W1 + W2 ≦ 100% by mass (2)

式(2)に示すように、前記一般式(b1)で表される重合性化合物及び一般式(b2)で表される重合性化合物、それぞれの含有率W1(質量%)及びW2(質量%)の合計は、基板との密着力の観点から63質量%以上100質量%以下であることを要し、好ましくは65質量%以上95質量%、さらに好ましくは70質量%以上90質量%以下である。
含有率の合計が63質量%未満になると、基板との密着力が低下するので好ましくない。また現像性の観点からは含有量の合計は60質量%以上が好ましい。より好ましくは63質量%以上、さらに好ましくは70質量%以上である。60質量%未満になると、現像時の残渣が悪化するので好ましくない。即ち、上記の二つの性能を満足するためには、63質量%以上100質量%以下であることが必要であり、好ましくは65質量%以上95質量%、さらに好ましくは70質量%以上90質量%以下である。
As shown in the formula (2), the polymerizable compound represented by the general formula (b1) and the polymerizable compound represented by the general formula (b2), the respective contents W1 (mass%) and W2 (mass%). ) Is required to be 63% by mass or more and 100% by mass or less from the viewpoint of adhesion to the substrate, preferably 65% by mass or more and 95% by mass, and more preferably 70% by mass or more and 90% by mass or less. is there.
When the total content is less than 63% by mass, the adhesion with the substrate is lowered, which is not preferable. From the viewpoint of developability, the total content is preferably 60% by mass or more. More preferably, it is 63 mass% or more, More preferably, it is 70 mass% or more. If it is less than 60% by mass, the residue during development deteriorates, which is not preferable. That is, in order to satisfy the above two performances, it is necessary that the content is 63% by mass or more and 100% by mass or less, preferably 65% by mass or more and 95% by mass, and more preferably 70% by mass or more and 90% by mass. It is as follows.

一方、含有率W1(質量%)とW2(質量%)の好ましい比率〔W2/W1〕は0.6以上3.0以下である。好ましくは0.62以上2.95以下、さらに好ましくは0.7以上2.6以下である。0.6未満であると露光直後及び現像時における樹脂パターンの、基板密着性が低下し、150℃以下のベークにおいても同様に基板の密着が低下する。3.0を超えると現像残渣が悪化して好ましくない。   On the other hand, the preferable ratio [W2 / W1] of the content ratios W1 (mass%) and W2 (mass%) is 0.6 or more and 3.0 or less. Preferably they are 0.62 or more and 2.95 or less, More preferably, they are 0.7 or more and 2.6 or less. If it is less than 0.6, the substrate adhesion of the resin pattern immediately after exposure and during development is lowered, and the adhesion of the substrate is similarly reduced even in baking at 150 ° C. or lower. If it exceeds 3.0, the development residue is undesirably deteriorated.

−(B−2)他の重合性化合物−
本発明の感光性組成物には、前記一般式(b1)及び一般式(b2)で表される重合性化合物とは構造の異なる他の重合性化合物を含んでもよい。ここで併用できる他の重合性化合物としては、特開2006−23696号公報の段落番号[0011]に記載の成分や、特開2006−64921号公報の段落番号[0040]〜[0049]に記載した成分であって、前記前記一般式(b1)及び一般式(b2)で表される重合性化合物に包含されないものが挙げられる。
そのようなモノマーとしては、分子中に少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で100℃以上の化合物を挙げることができる。
具体例としては、例えば、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート及びフェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパンやグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを付加した後(メタ)アクリレート化したもの等の多官能アクリレートや多官能メタクリレートなどが挙げられる。
また、市販品を用いてもよく、例えば、ウレタン(メタ)アクリレートとしては、新中村化学工業株式会社製 U−6HA、U−6LPA、UA−1100H、UA−53H、UA−33H、U−200PA、UA−4200、UA−7100、UA−32P、UA−7200(以上、商品名)を挙げることができる。
-(B-2) Other polymerizable compounds-
The photosensitive composition of the present invention may contain another polymerizable compound having a structure different from that of the polymerizable compound represented by the general formula (b1) and the general formula (b2). Other polymerizable compounds that can be used together here are the components described in paragraph [0011] of JP-A-2006-23696, and the paragraphs [0040] to [0049] of JP-A-2006-64921. Which are not included in the polymerizable compounds represented by the general formula (b1) and the general formula (b2).
Examples of such a monomer include compounds having at least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group in the molecule and having a boiling point of 100 ° C. or higher at normal pressure.
Specific examples include monofunctional acrylates and monofunctional methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate and phenoxyethyl (meth) acrylate; polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (Meth) acrylate, trimethylolethane triacrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane diacrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate , Trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanate Rate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerin tri (meth) acrylate; polyfunctional acrylates such as those obtained by adding ethylene oxide or propylene oxide to polyfunctional alcohols such as trimethylolpropane and glycerin and then (meth) acrylated Examples include functional methacrylate.
Commercially available products may also be used. For example, as urethane (meth) acrylate, U-6HA, U-6LPA, UA-1100H, UA-53H, UA-33H, U-200PA manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. UA-4200, UA-7100, UA-32P, UA-7200 (above, trade name).

前記(A)特定樹脂との関係において、感光性組成物に含まれる重合性化合物の総量の、(A)特定樹脂の含有量に対する質量比率〔(重合性化合物の総含有量))/(A)の含有量〕が0.45〜1.6であることが好ましい。
また、所望により(B−2)他の重合性化合物を併用する場合の含有量は、本発明の感光性組成物に含まれる重合性化合物の総含有量に対して30質量%以下の範囲であることが好ましく、20質量%以下の範囲であることがより好ましい。
感光性組成物をガラス基板等の最終基板に塗布してパターンを形成する場合には、〔(重合性化合物の総含有量:(B)+(B−2))/(A)の含有量〕は、0.5〜1.2であることがより好ましく、0.55〜0.9であることが特に好ましい。〔(重合性化合物の総含有量)/(A)の含有量〕比が上記範囲において、現像速度が適切に維持され、現像残渣の増加が抑制され、且つ、パターン欠けやパターンの脱落が生じがたく、150℃以下でベークした場合においても、形成された樹脂パターンと基板との密着が良好となる。
In the relationship with the specific resin (A), the mass ratio of the total amount of polymerizable compounds contained in the photosensitive composition to the content of the specific resin (A) ((total content of polymerizable compounds)) / (A ) Content] is preferably 0.45 to 1.6.
Further, if desired, the content when (B-2) another polymerizable compound is used in combination is 30% by mass or less with respect to the total content of the polymerizable compound contained in the photosensitive composition of the present invention. It is preferable that it is within a range of 20% by mass or less.
When a photosensitive composition is applied to a final substrate such as a glass substrate to form a pattern, [(total content of polymerizable compound: (B) + (B-2)) / (A) content ] Is more preferably 0.5 to 1.2, and particularly preferably 0.55 to 0.9. When the ratio of [(total content of polymerizable compound) / (A)] is within the above range, the development speed is appropriately maintained, the increase in development residue is suppressed, and pattern chipping or pattern dropout occurs. Even when baked at 150 ° C. or less, adhesion between the formed resin pattern and the substrate is good.

−(C)光重合開始剤−
本発明の感光性組成物は、(C)光重合開始剤を含有する。(C)光重合開始剤としては、公知の化合物を好適に用いることができ、例えば、トリアジン誘導体、オキサジアゾール誘導体、オキシム系開始剤、アセトフェノン系開始剤、チタノセン系開始剤、アシルフォスフィンオキサイド系開始剤などが好ましく挙げられる。
具体的には、例えば、特開2006−23696号公報の段落番号[0012]〜[0020]に記載の成分や、特開2006−64921号公報の段落番号[0050]〜[0053]に記載の成分が挙げられる。
-(C) Photopolymerization initiator-
The photosensitive composition of the present invention contains (C) a photopolymerization initiator. (C) As the photopolymerization initiator, known compounds can be suitably used. For example, triazine derivatives, oxadiazole derivatives, oxime initiators, acetophenone initiators, titanocene initiators, acylphosphine oxides. Preferred examples include system initiators.
Specifically, for example, the components described in paragraph numbers [0012] to [0020] of JP-A-2006-23696, and the paragraph numbers [0050] to [0053] of JP-A-2006-64921 are described. Ingredients.

本発明に使用しうる好ましい(C)光重合開始剤としては、例えば、2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルメチル)−1,3,4−オキサジアゾール、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4−(N,N−ジエトキシカルボニルメチル)−3−ブロモフェニル]−s−トリアジン、7−[2−[4−(3−ヒドロキシメチルピペリジノ)−6−ジエチルアミノ]トリアジニルアミノ]−3−フェニルクマリン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒロドキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム、1.2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(0−アセチルオキシム)、オキシフェニル酢酸、2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステルとオキシフェニル酢酸、2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステルの混合物等が挙げられる。   Examples of preferable (C) photopolymerization initiator that can be used in the present invention include 2-trichloromethyl-5- (p-styrylmethyl) -1,3,4-oxadiazole, 2,4-bis (trichloro). Methyl) -6- [4- (N, N-diethoxycarbonylmethyl) -3-bromophenyl] -s-triazine, 7- [2- [4- (3-hydroxymethylpiperidino) -6-diethylamino ] Triazinylamino] -3-phenylcoumarin, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl -Propan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-hydroxy- -{4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpho Linopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1 -[4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, bis ( [eta] 5-2,4-cyclopentadien-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) -phenyl) titani , 1.2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole -3-yl]-, 1- (0-acetyloxime), oxyphenylacetic acid, 2- [2-oxo-2-phenylacetoxyethoxy] ethyl ester and oxyphenylacetic acid, 2- (2-hydroxyethoxy) ethyl ester And the like.

なかでも2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルメチル)−1,3,4−オキサジアゾール、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4−(N,N−ジエトキシカルボニルメチル)−3−ブロモフェニル]−s−トリアジン、7−[2−[4−(3−ヒドロキシメチルピペリジノ)−6−ジエチルアミノ]トリアジニルアミノ]−3−フェニルクマリン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、1.2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(0−アセチルオキシム)、オキシフェニル酢酸、2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステルとオキシフェニル酢酸、2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステルの混合物が特に好ましいが、これに限定されない。   Among them, 2-trichloromethyl-5- (p-styrylmethyl) -1,3,4-oxadiazole, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4- (N, N-diethoxycarbonylmethyl) ) -3-Bromophenyl] -s-triazine, 7- [2- [4- (3-hydroxymethylpiperidino) -6-diethylamino] triazinylamino] -3-phenylcoumarin, 2,2-dimethoxy -1,2-diphenylethane-1-one, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) ) -Phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropane- -One, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, 1.2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (0-acetyloxime), oxyphenylacetic acid, 2- [2-oxo-2-phenylacetoxyethoxy] ethyl ester and oxyphenylacetic acid, A mixture of 2- (2-hydroxyethoxy) ethyl ester is particularly preferred, but not limited thereto.

前記(C)光重合開始剤の含有量としては、重合性化合物の総含有量〔(B)+(B−2)〕に対する比率〔(C)/((B)+(B−2))〕が、0.6以上5未満が好ましく、0.75以上3以下がより好ましい。比率〔(C)/(B)+(B−2))〕が、上記範囲において、樹脂パターンの脱落、導電層リフトオフ時のアルカリ耐性の低下が抑制され、且つ、現像残渣の悪化や、パターン露光直後の密着の悪化が抑制され、150℃以下でベークした際にも、樹脂パターンと基板の密着が良好に維持される。   The content of the (C) photopolymerization initiator is a ratio [(C) / ((B) + (B-2)) to the total content [(B) + (B-2)] of the polymerizable compound. ] Is preferably 0.6 or more and less than 5, and more preferably 0.75 or more and 3 or less. When the ratio [(C) / (B) + (B-2))] is within the above range, dropping of the resin pattern, reduction of alkali resistance at the time of lift-off of the conductive layer is suppressed, and deterioration of the development residue or pattern The deterioration of the adhesion immediately after exposure is suppressed, and the adhesion between the resin pattern and the substrate is well maintained even when baked at 150 ° C. or lower.

−その他の成分−
本発明の感光性組成物は、上記(A)〜(D)成分に加え、本発明の効果を損なわない限りにおいて、その他の成分として公知の添加剤などを目的に応じて用いることができる。そのような化合物としては、例えば、特開2006−23696号公報の段落番号[0012]〜[0020]に記載の成分や、特開2006−64921号公報の段落番号[0050]〜[0053]に記載の成分が挙げられる。
-Other ingredients-
In addition to the components (A) to (D), the photosensitive composition of the present invention can use known additives as other components depending on the purpose as long as the effects of the present invention are not impaired. Examples of such compounds include the components described in paragraph numbers [0012] to [0020] of JP-A-2006-23696, and paragraph numbers [0050] to [0053] of JP-A-2006-64921. The components described are mentioned.

本発明の感光性組成物は、上記構成としたため、現像性が良好であり、形成された樹脂パターンは、基板との密着性、透明性に優れる。
樹脂組成物の使用方法としては、樹脂パターンを形成しようとする支持体、或いは、基板に本発明の感光性組成物を塗布して感光性組成物層を形成する方法が挙げられるが、仮支持体上に本発明の感光性組成物を適用して感光性組成物層を形成してなる感光性樹脂転写フィルムを形成してもよい。
<感光性樹脂転写フィルム>
本発明の感光性樹脂転写フィルムは、仮支持体上に、前記本発明の感光性組成物からなる感光性樹脂層を少なくとも有することを特徴とする。
感光性樹脂層の膜厚は、目的に応じて適宜選択されるが、一般的には、後述するように、0.7μm〜3.0μmの範囲であることが好ましい。
Since the photosensitive composition of the present invention has the above-described configuration, the developability is good, and the formed resin pattern is excellent in adhesion to the substrate and transparency.
Examples of the method of using the resin composition include a support for forming a resin pattern, or a method for forming a photosensitive composition layer by applying the photosensitive composition of the present invention to a substrate. You may form the photosensitive resin transfer film formed by applying the photosensitive composition of this invention on a body, and forming a photosensitive composition layer.
<Photosensitive resin transfer film>
The photosensitive resin transfer film of the present invention is characterized by having at least a photosensitive resin layer made of the photosensitive composition of the present invention on a temporary support.
Although the film thickness of the photosensitive resin layer is appropriately selected according to the purpose, it is generally preferably in the range of 0.7 μm to 3.0 μm as described later.

感光性樹脂転写フィルムを作製する場合、感光性樹脂層と仮支持体との間には、更に酸素遮断層(以下、「酸素遮断膜」または「中間層」とも言う。)を設けることができる。これにより露光感度をアップすることができる。また、転写性を向上させるためにクッション性を有する熱可塑性樹脂層を設けてもよい。   In the case of producing a photosensitive resin transfer film, an oxygen blocking layer (hereinafter also referred to as “oxygen blocking film” or “intermediate layer”) can be further provided between the photosensitive resin layer and the temporary support. . Thereby, the exposure sensitivity can be increased. Moreover, in order to improve transferability, you may provide the thermoplastic resin layer which has cushioning properties.

該感光性転写フィルムを構成する仮支持体、酸素遮断層、熱可塑性樹脂層、その他の層や該感光性転写フィルムの作製方法については、特開2006−23696号公報の段落番号[0024]〜[0030]に記載され、ここに記載の構成及び感光性樹脂転写フィルムの作製方法は、本発明の感光性樹脂転写フィルムの作製に適用される。   Regarding the temporary support, the oxygen-blocking layer, the thermoplastic resin layer, the other layers, and the method for producing the photosensitive transfer film constituting the photosensitive transfer film, paragraph numbers [0024] to JP-A-2006-23696. [0030], the constitution and the method for producing a photosensitive resin transfer film described herein are applied to the production of the photosensitive resin transfer film of the present invention.

<樹脂パターンの製造方法>
次に、本発明の樹脂パターンの製造方法について説明する。
本発明の樹脂パターンの製造方法は、基板上に、前記本発明の感光性組成物を用いて感光性樹脂層を設ける感光性樹脂層形成工程と、感光性樹脂層をパターン露光する露光工程と、露光された感光性樹脂層を現像して、パターン状の樹脂層を形成する現像工程と、現像により得られたパターン状の樹脂層を加熱する加熱工程を含む。
<Method for producing resin pattern>
Next, the manufacturing method of the resin pattern of this invention is demonstrated.
The method for producing a resin pattern of the present invention includes a photosensitive resin layer forming step of providing a photosensitive resin layer on a substrate using the photosensitive composition of the present invention, and an exposure step of pattern exposing the photosensitive resin layer. The development process which develops the exposed photosensitive resin layer and forms a patterned resin layer, and the heating process which heats the patterned resin layer obtained by image development are included.

本発明の樹脂パターンの製造方法によれば、絶縁性、透明性、現像性、耐アルカリ性等の耐性に優れたタッチパネル素子に用いる絶縁層及びオーバーコート層等の樹脂パターンを容易に製造できる。   According to the method for producing a resin pattern of the present invention, a resin pattern such as an insulating layer and an overcoat layer used for a touch panel element having excellent resistance such as insulation, transparency, developability, and alkali resistance can be easily produced.

[感光性樹脂層形成工程]
本発明の製造方法における感光性樹脂層形成工程は、支持体となる基板上に本発明の感光性組成物を含む感光性樹脂層(以下、単に「感光性樹脂組成物層」とも言う。)を形成する工程である。
[Photosensitive resin layer forming step]
The photosensitive resin layer forming step in the production method of the present invention includes a photosensitive resin layer containing the photosensitive composition of the present invention on a substrate serving as a support (hereinafter also simply referred to as “photosensitive resin composition layer”). Is a step of forming.

この感光性樹脂層は、後述する製造工程を経て、絶縁層及びオーバーコート層等の樹脂パターンを構成する。該樹脂パターンを用いることにより絶縁性、透明性、現像性、耐アルカリ性等の耐性が改善される。   This photosensitive resin layer constitutes a resin pattern such as an insulating layer and an overcoat layer through a manufacturing process described later. By using the resin pattern, resistance such as insulation, transparency, developability, and alkali resistance is improved.

支持体上に感光性樹脂層を形成する方法としては、(a)感光性組成物を含む溶液を公知の塗布法により塗布する方法、及び(b)感光性樹脂転写フィルムを用いた転写法によりラミネートする方法が好適に挙げられる。以下、各々について述べる。   As a method of forming a photosensitive resin layer on a support, (a) a method of applying a solution containing a photosensitive composition by a known coating method, and (b) a transfer method using a photosensitive resin transfer film. A method of laminating is preferable. Each will be described below.

(a)塗布法
感光性組成物の塗布は、公知の塗布法、例えば、スピンコート法、カーテンコート法、スリットコート法、ディップコート法、エアーナイフコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、あるいは米国特許第2681294号明細書に記載のポッパーを使用するエクストルージョンコート法等により行なうことができる。
なかでも、特開2004−89851号公報、特開2004−17043号公報、特開2003−170098号公報、特開2003−164787号公報、特開2003−10767号公報、特開2002−79163号公報、特開2001−310147号公報等に記載のスリットノズルあるいはスリットコーターによる方法が好適である。
(A) Coating method The photosensitive composition is coated by a known coating method such as spin coating, curtain coating, slit coating, dip coating, air knife coating, roller coating, wire bar coating, It can be carried out by a gravure coating method or an extrusion coating method using a popper described in US Pat. No. 2,681,294.
Among them, JP 2004-89851 A, JP 2004-17043 A, JP 2003-170098 A, JP 2003-164787 A, JP 2003-10767 A, JP 2002-79163 A, among others. A method using a slit nozzle or a slit coater described in JP-A-2001-310147 is suitable.

(b)転写法
転写による場合、感光性樹脂転写フィルムを用いて、仮支持体上に膜状に形成された感光性樹脂層を支持体面に加熱及び/又は加圧したローラー又は平板で圧着又は加熱圧着することによって貼り合せた後、仮支持体の剥離により感光性樹脂組成物層を支持体上に転写する。具体的には、特開平7−110575号公報、特開平11−77942号公報、特開2000−334836号公報、特開2002−148794号公報に記載のラミネーター及びラミネート方法が挙げられ、低異物の観点で、特開平7−110575号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。
(B) Transfer method In the case of transfer, using a photosensitive resin transfer film, a photosensitive resin layer formed in a film shape on a temporary support is pressure-bonded with a roller or flat plate heated and / or pressurized on the support surface. After bonding by thermocompression bonding, the photosensitive resin composition layer is transferred onto the support by peeling off the temporary support. Specific examples include laminators and laminating methods described in JP-A-7-110575, JP-A-11-77942, JP-A-2000-334836, and JP-A-2002-148794. From the viewpoint, it is preferable to use the method described in JP-A-7-110575.

(a)塗布法、(b)転写法共に感光性樹脂層を塗布形成する場合、その層厚は0.7μm〜3.0μmが好ましく、0.9μm〜2μmがより好ましい。層厚が上記範囲において、感光性樹脂層を形成する際のピンホールの発生、ベーク後の密着の低下、現像残渣の増加が抑制され、適切な現像条件で良好な樹脂パターンが形成される。   When the photosensitive resin layer is applied and formed by both (a) the coating method and (b) the transfer method, the layer thickness is preferably 0.7 μm to 3.0 μm, and more preferably 0.9 μm to 2 μm. When the layer thickness is in the above range, generation of pinholes when forming the photosensitive resin layer, decrease in adhesion after baking, and increase in development residue are suppressed, and a good resin pattern is formed under appropriate development conditions.

−基板−
感光性樹脂層を形成する支持体(基板)としては、例えば、透明基板(例えばガラス基板やプラスチックス基板)、透明導電膜(例えばITO膜)付基板、カラーフィルタ付きの基板(カラーフィルタ基板ともいう。)、駆動素子(例えば薄膜トランジスタ[TFT])付駆動基板、などが挙げられる。支持体の厚みとしては、700〜1200μmが一般に好ましい。
-Board-
Examples of the support (substrate) for forming the photosensitive resin layer include a transparent substrate (for example, a glass substrate or a plastics substrate), a substrate with a transparent conductive film (for example, an ITO film), and a substrate with a color filter (both a color filter substrate). And a driving substrate with a driving element (for example, a thin film transistor [TFT]). The thickness of the support is generally preferably 700 to 1200 μm.

[パターニング工程]
本発明におけるパターニング工程は、支持体上に形成された感光性樹脂層をパターン露光する露光工程と、露光後の感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する現像工程とを含む。パターニング工程の具体例としては、特開2006−64921号公報の段落番号[0071]〜[0077]に記載の形成例や、特開2006−23696号公報の段落番号[0040]〜[0051]に記載の工程などが、本発明においても好適な例として挙げられる。
[Patterning process]
The patterning step in the present invention includes an exposure step for pattern exposure of the photosensitive resin layer formed on the support, and a development step for developing the exposed photosensitive resin layer to form a resin pattern. Specific examples of the patterning process include the formation examples described in paragraphs [0071] to [0077] of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-64921 and the paragraph numbers [0040] to [0051] of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-23696. The described steps and the like are also preferable examples in the present invention.

[加熱工程]
本発明の樹脂パターンの製造方法においては、上記パターニング工程に引き続き、現像により得られたパターン状の樹脂層を加熱する加熱工程を実施する。
通常、樹脂パターンの強度及び基板との密着性向上のために行われる加熱工程における加熱条件は、200〜250℃の範囲であるが、本発明の樹脂パターンの製造方法においては、前記本発明の感光性樹脂組成物を用いるため、加熱工程における加熱条件を150℃以下とした場合、より具体的には、100〜150℃の範囲とした場合でも、加熱による樹脂パターンの変色が抑制され、基板との密着性に優れた樹脂パターンを形成しうる。
さらには
[Heating process]
In the manufacturing method of the resin pattern of this invention, the heating process which heats the pattern-shaped resin layer obtained by image development is implemented following the said patterning process.
Usually, the heating conditions in the heating step performed for improving the strength of the resin pattern and the adhesion to the substrate are in the range of 200 to 250 ° C. In the method for producing a resin pattern of the present invention, Since the photosensitive resin composition is used, when the heating condition in the heating step is 150 ° C. or lower, more specifically, even when the heating condition is in the range of 100 to 150 ° C., discoloration of the resin pattern due to heating is suppressed, and the substrate It is possible to form a resin pattern having excellent adhesion to the resin.
Moreover

<タッチパネル素子>
タッチパネル素子に使用される絶縁層及びそれに積層させるオーバーコート層は、タッチパネル用基板透明基板(例えばガラス基板やプラスチックス基板、薄膜トランジスタ[TFT]を裏面に備えた基板)上に第一導電性層パターン(メタル及びITO等)を形成し、絶縁層パターンを形成、さらに第二導電性パターンを形成し、コンデンサを形成する。引続きパターニングされたオーバーコート層を形成して作製される。
具体的には下記のように順次形成される。
<Touch panel element>
The insulating layer used in the touch panel element and the overcoat layer laminated thereon are formed on the transparent substrate for touch panel (for example, a glass substrate, a plastic substrate, a substrate provided with a thin film transistor [TFT] on the back), and a first conductive layer pattern (Metal, ITO, etc.) are formed, an insulating layer pattern is formed, a second conductive pattern is further formed, and a capacitor is formed. Subsequently, a patterned overcoat layer is formed.
Specifically, it is formed sequentially as follows.

〜第一導電性層パターン〜
第一導電性層パターン形成方法には次の2種が挙げられる。
一つはエッチングによる導電性層パターンの形成方法である。基板上にメタル層若しくはITO層を蒸着等により均一製膜した後、レジスト液若しくはレジスト層を有する転写材料を用いてレジスト層を積層させた。レジスト層を露光、現像してパターンを形成した。さらに酸でエッチングすることで、第一導電性層のパターンを形成することができる。
~ First conductive layer pattern ~
The following two types are mentioned as the first conductive layer pattern forming method.
One is a method of forming a conductive layer pattern by etching. After uniformly forming a metal layer or ITO layer on the substrate by vapor deposition or the like, the resist layer was laminated using a resist solution or a transfer material having a resist layer. The resist layer was exposed and developed to form a pattern. Furthermore, the pattern of a 1st electroconductive layer can be formed by etching with an acid.

もう一つはリフトオフによる導電性層パターンの形成方法である。基板上にレジスト液若しくはレジスト層を有する転写材料を用いてレジスト層を積層させた、レジスト層を露光、現像してパターンを形成する。このパターンの形状は逆テーパー上であることが好ましい。この上から、メタル層若しくはITO層を蒸着等により均一製膜した後、剥離液により、レジスト層上に蒸着したメタル層若しくはITO層をレジスト層ごと剥離させ、同様のパターンを形成することができる。   The other is a method for forming a conductive layer pattern by lift-off. A resist layer is laminated on a substrate using a transfer material having a resist solution or a resist layer, and the resist layer is exposed and developed to form a pattern. The shape of this pattern is preferably on a reverse taper. From this, a metal layer or ITO layer is uniformly formed by vapor deposition or the like, and then the metal layer or ITO layer deposited on the resist layer is peeled off together with the resist layer with a stripping solution to form a similar pattern. .

〜絶縁層パターン〜
絶縁層は第一導電性層パターンを形成した基板に、感光性組成物の直接塗布若しくは、感光転写材料を加熱・圧着して感光性樹脂層を形成した後に、露光・現像・ベークを行い、絶縁層パターンを形成する。
~ Insulating layer pattern ~
The insulating layer is directly applied to the substrate on which the first conductive layer pattern is formed, or a photosensitive transfer material is heated and pressure-bonded to form a photosensitive resin layer, followed by exposure, development and baking. An insulating layer pattern is formed.

〜第二導電性層パターン〜
第二導電性層パターンは絶縁層パターンを形成した基板に、上記第一導電性層パターンの形成方法と同様にして形成することができる。
~ Second conductive layer pattern ~
The second conductive layer pattern can be formed on the substrate on which the insulating layer pattern is formed in the same manner as the first conductive layer pattern forming method.

〜オーバーコート層〜
オーバーコート層は第二導電性層パターンを形成した基板に、上記絶縁層パターンの形成方法と同様にして形成することができる。
~ Overcoat layer ~
The overcoat layer can be formed on the substrate on which the second conductive layer pattern has been formed in the same manner as the method for forming the insulating layer pattern.

<液晶表示装置用基板>
本発明の液晶表示装置用基板は、黒色遮蔽部及び着色部並びにフォトスペーサを備えたものである。フォトスペーサは、支持体上に形成されたブラックマトリクス等の黒色遮光部の上やTFT等の駆動素子上に形成されることが好ましい。また、ブラックマトリクス等の黒色遮光部やTFT等の駆動素子とフォトスペーサとの間にITO等の透明導電層(透明電極)やポリイミド等の液晶配向膜が存在していてもよい。
<Liquid crystal display substrate>
The substrate for a liquid crystal display device of the present invention comprises a black shielding part, a coloring part, and a photo spacer. The photospacer is preferably formed on a black light-shielding portion such as a black matrix formed on the support or on a driving element such as a TFT. Further, a transparent conductive layer (transparent electrode) such as ITO or a liquid crystal alignment film such as polyimide may exist between a black light shielding portion such as a black matrix, a driving element such as a TFT, and a photo spacer.

例えば、フォトスペーサーが表示用遮光部や駆動素子の上に設けられる場合、該支持体に予め配設された表示用遮光部(ブラックマトリクスなど)やTFT駆動素子を覆うようにして、例えば感光性樹脂転写フィルムの感光性樹脂層を支持体面にラミネートし、剥離転写して感光性樹脂層を形成した後、これに露光、現像、加熱処理等を施してフォトスペーサーを形成することによって、本発明の液晶表示装置用基板を作製することができる。   For example, when the photo spacer is provided on the display light-shielding part or the driving element, the display light-shielding part (black matrix or the like) or the TFT driving element previously disposed on the support is covered, for example, photosensitive. By laminating the photosensitive resin layer of the resin transfer film on the support surface and peeling and transferring to form a photosensitive resin layer, the photosensitive resin layer is subjected to exposure, development, heat treatment and the like to form a photo spacer, thereby forming the present invention. A substrate for a liquid crystal display device can be produced.

<液晶表示素子>
前記本発明の液晶表示装置用基板を設けて液晶表示素子を構成することができる。液晶表示素子の1つとして、少なくとも一方が光透過性の一対の支持体(本発明の液晶表示装置用基板を含む。)間に液晶層と液晶駆動手段(単純マトリックス駆動方式及びアクティブマトリックス駆動方式を含む。)を少なくとも備えたものが挙げられる。
<Liquid crystal display element>
A liquid crystal display element can be formed by providing the substrate for a liquid crystal display device of the present invention. As one of the liquid crystal display elements, a liquid crystal layer and liquid crystal driving means (simple matrix driving method and active matrix driving method) are provided between a pair of supports (including the substrate for a liquid crystal display device of the present invention), at least one of which is transparent. Including at least).

この場合、本発明の液晶表示装置用基板は、複数のRGB画素群を有し、該画素群を構成する各画素が互いにブラックマトリックスで離画されているカラーフィルタ基板として構成できる。このカラーフィルタ基板には、高さ均一で変形回復性に優れたフォトスペーサーが設けられるため、該カラーフィルタ基板を備えた液晶表示素子は、カラーフィルタ基板と対向基板との間にセルギャップムラ(セル厚変動)の発生が抑えられ、色ムラ等の表示ムラの発生を効果的に防止することができる。これにより、作製された液晶表示素子は鮮やかな画像を表示できる。   In this case, the substrate for a liquid crystal display device of the present invention can be configured as a color filter substrate having a plurality of RGB pixel groups and each pixel constituting the pixel group being separated from each other by a black matrix. Since this color filter substrate is provided with a photo spacer having a uniform height and excellent deformation recovery property, a liquid crystal display element equipped with the color filter substrate has a cell gap unevenness between the color filter substrate and the counter substrate ( Occurrence of cell thickness fluctuations) can be suppressed, and display unevenness such as color unevenness can be effectively prevented. Thereby, the produced liquid crystal display element can display a vivid image.

また、液晶表示素子の別の態様として、少なくとも一方が光透過性の一対の支持体(本発明の液晶表示装置用基板を含む。)間に液晶層と液晶駆動手段とを少なくとも備え、前記液晶駆動手段がアクティブ素子(例えばTFT)を有し、かつ一対の基板間が高さ均一で変形回復性に優れたフォトスペーサーにより所定幅に規制して構成されたものである。   As another aspect of the liquid crystal display element, at least one of the liquid crystal display elements includes a liquid crystal layer and a liquid crystal driving unit between a pair of light transmissive supports (including the liquid crystal display device substrate of the present invention), and the liquid crystal The driving means has an active element (for example, TFT), and is configured to be regulated to a predetermined width by a photo spacer having a uniform height between a pair of substrates and excellent deformation recovery.

この場合も、本発明の液晶表示装置用基板は、複数のRGB画素群を有し、該画素群を構成する各画素が互いにブラックマトリックスで離画されたカラーフィルタ基板として構成されている。   Also in this case, the substrate for a liquid crystal display device of the present invention is configured as a color filter substrate having a plurality of RGB pixel groups, and each pixel constituting the pixel group is separated from each other by a black matrix.

本発明において使用可能な液晶としては、ネマチック液晶、コレステリック液晶、スメクチック液晶、強誘電液晶が挙げられる。   Examples of liquid crystals that can be used in the present invention include nematic liquid crystals, cholesteric liquid crystals, smectic liquid crystals, and ferroelectric liquid crystals.

また、前記カラーフィルタ基板の前記画素群は、互いに異なる色を呈する2色の画素からなるものでも、3色の画素、4色以上の画素からなるものであってもよい。例えば3色の場合、赤(R)、緑(G)及び青(B)の3つの色相で構成される。RGB3色の画素群を配置する場合には、モザイク型、トライアングル型等の配置が好ましく、4色以上の画素群を配置する場合にはどのような配置であってもよい。カラーフィルタ基板の作製は、例えば2色以上の画素群を形成した後既述のようにブラックマトリックスを形成してもよいし、逆にブラックマトリックスを形成した後に画素群を形成するようにしてもよい。RGB画素の形成については、特開2004−347831号公報等を参考にすることができる。   In addition, the pixel group of the color filter substrate may be composed of two-color pixels exhibiting different colors, or may be composed of three-color pixels, four-color pixels or more. For example, in the case of three colors, it is composed of three hues of red (R), green (G), and blue (B). When arranging pixel groups of three colors of RGB, arrangement of mosaic type, triangle type, etc. is preferable, and when arranging pixel groups of four colors or more, any arrangement may be used. For producing the color filter substrate, for example, a black matrix may be formed as described above after forming a pixel group of two or more colors, or conversely, a pixel group may be formed after forming a black matrix. Good. Regarding the formation of RGB pixels, JP 2004-347831 A can be referred to.

<液晶表示装置>
本発明の液晶表示装置は、前記液晶表示装置用基板にタッチパネル素子を設けて構成されたものである。即ち、互いに向き合うように対向配置されたTFT駆動基板とカラーフィルタ基板間を既述のように、フォトスペーサーでセルギャップを所定幅に規制し、規制された間隙に液晶材料を封入(封入部位を液晶層と称する。)して構成され、液晶層の厚さ(セル厚)が所望の均一厚に保持された液晶表示素子のTFT駆動基板側にタッチパネル素子を設けて構成される。
<Liquid crystal display device>
The liquid crystal display device of the present invention is configured by providing a touch panel element on the liquid crystal display device substrate. That is, as described above, the cell gap is regulated to a predetermined width by the photo spacer and the liquid crystal material is enclosed in the regulated gap between the TFT drive substrate and the color filter substrate that are arranged to face each other. The liquid crystal display device is configured by providing a touch panel element on the TFT drive substrate side of the liquid crystal display element in which the thickness (cell thickness) of the liquid crystal layer is maintained at a desired uniform thickness.

TFT駆動基板のTFTが設けられた面の反対面に直接、第一導電層パターン、絶縁層パターン、第二導電層パターン、オーバーコート層を順次積層させたタッチパネル素子でもよい。この場合、TFT駆動基板とカラーフィルタ基板間に液晶を封入する前の液晶表示装置用基板に、シール材等の耐熱温度以下の温度で作製する必要がある。   A touch panel element in which a first conductive layer pattern, an insulating layer pattern, a second conductive layer pattern, and an overcoat layer are sequentially laminated directly on the surface of the TFT drive substrate opposite to the surface on which the TFT is provided may be used. In this case, it is necessary to fabricate the liquid crystal display device substrate before sealing the liquid crystal between the TFT drive substrate and the color filter substrate at a temperature lower than the heat resistant temperature of the sealing material or the like.

液晶表示装置における液晶表示モードとしては、STN型、TN型、GH型、ECB型、強誘電性液晶、反強誘電性液晶、VA型、IPS型、OCB型、ASM型、その他種々のものが好適に挙げられる。中でも、本発明の液晶表示装置においては、最も効果的に本発明の効果を奏する観点から、液晶セルのセル厚の変動により表示ムラを起こし易い表示モードが望ましく、セル厚が2〜4μmであるVA型表示モード、IPS型表示モード、OCB型表示モードに構成されるのが好ましい。   The liquid crystal display mode in the liquid crystal display device includes STN type, TN type, GH type, ECB type, ferroelectric liquid crystal, antiferroelectric liquid crystal, VA type, IPS type, OCB type, ASM type, and various other types. Preferably mentioned. Among them, in the liquid crystal display device of the present invention, from the viewpoint of exhibiting the effect of the present invention most effectively, a display mode that easily causes display unevenness due to fluctuations in the cell thickness of the liquid crystal cell is desirable, and the cell thickness is 2 to 4 μm. The VA display mode, the IPS display mode, and the OCB display mode are preferably configured.

本発明の液晶表示装置の基本的な構成態様としては、(a)薄膜トランジスタ(TFT)等の駆動素子と画素電極(導電層)とが配列形成された駆動側基板と、対向電極(導電層)を備えた対向基板とをフォトスペーサーを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成したもの、(b)駆動基板と、対向電極(導電層)を備えた対向基板とをフォトスペーサーを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成したもの、等が挙げられ、本発明の液晶表示装置は、各種液晶表示機器に好適に適用することができる。   The basic configuration of the liquid crystal display device of the present invention includes: (a) a driving side substrate in which driving elements such as thin film transistors (TFTs) and pixel electrodes (conductive layers) are arranged; and a counter electrode (conductive layer). And (b) a driving substrate and a counter substrate provided with a counter electrode (conductive layer); and a counter substrate provided with a counter electrode (conductive layer). The liquid crystal display device of the present invention can be suitably applied to various liquid crystal display devices, and the like. .

液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田龍男編集、側工業調査会、1994年発行)」に記載がある。本発明の液晶表示装置には、本発明の液晶表示素子を備える以外に特に制限はなく、例えば前記「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載された種々の方式の液晶表示装置に構成することができる。中でも特に、カラーTFT方式の液晶表示装置を構成するのに有効である。カラーTFT方式の液晶表示装置については、例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)、1996年発行)」に記載がある。   The liquid crystal display device is described in, for example, “Next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, side industry research committee, published in 1994)”. The liquid crystal display device of the present invention is not particularly limited except that it includes the liquid crystal display element of the present invention. For example, the liquid crystal display device can be configured as various types of liquid crystal display devices described in the “next-generation liquid crystal display technology”. . In particular, it is effective in constructing a color TFT liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (Kyoritsu Publishing Co., Ltd., issued in 1996)”.

本発明の液晶表示装置は、既述の本発明の液晶表示素子を備える以外は、電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサー.視野角補償フィルム、反射防止フィルム、光拡散フィルム、防眩フィルムなどの様々な部材を用いて一般的に構成できる。これら部材については、例えば「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島健太郎、(株)シーエムシー、1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表良吉、(株)富士キメラ総研、2003等発行)」に記載されている。   The liquid crystal display device of the present invention includes an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and the like except that the liquid crystal display device of the present invention described above is provided. It can generally be configured using various members such as a viewing angle compensation film, an antireflection film, a light diffusion film, and an antiglare film. Regarding these members, for example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials / Chemicals Market (Kentaro Shima, CMC Co., Ltd., published in 1994)”, “Current Status and Future Prospects of the 2003 Liquid Crystal Related Market (Part 2)” (Fuji Chimera Research Institute, Inc., 2003, etc.) ”.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「%」及び「部」は質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. Unless otherwise specified, “%” and “part” are based on mass.

実施例1〜28、及び比較例1〜13(絶縁層パターン及びオーバーコート層:転写法3種逐次現像液系)
(実施例1)
−絶縁層及びオーバーコート層用感光性転写フィルムの作製−
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体(PET仮支持体)上に、下記処方A1からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布し、100℃で2分間乾燥させた後さらに120℃で1分間乾燥させ、乾燥層厚15μmの熱可塑性樹脂層を形成した。ここで、乾燥条件における温度「100℃」及び「120℃」は、いずれも乾燥風の温度である。以下の乾燥条件における温度も同様である。
Examples 1 to 28 and Comparative Examples 1 to 13 (Insulating layer pattern and overcoat layer: transfer method, three types of sequential developer systems)
Example 1
-Production of photosensitive transfer film for insulating layer and overcoat layer-
On a 75 μm thick polyethylene terephthalate film temporary support (PET temporary support), a coating solution for a thermoplastic resin layer having the following formulation A1 was applied, dried at 100 ° C. for 2 minutes, and further at 120 ° C. for 1 minute. It was dried to form a thermoplastic resin layer having a dry layer thickness of 15 μm. Here, the temperatures “100 ° C.” and “120 ° C.” in the drying conditions are both temperatures of the drying air. The same applies to the temperature under the following drying conditions.

〔熱可塑性樹脂層用塗布液の処方A1〕
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=55/11.7/4.5/28.8[mol比]、重量平均分子量90,000) ・・・・58.4部
・スチレン/アクリル酸共重合体(=63/37[mol比]、重量平均分子量8,000) ・・・・・136部
・2,2−ビス〔4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル〕プロパン
・・・・90.7部
・界面活性剤1(下記構造物1) ・・・・・5.4部
・メタノール ・・・・・111部
・1−メトキシ−2−プロパノール ・・・・63.4部
・メチルエチルケトン ・・・・・534部
[Formulation A1 of coating solution for thermoplastic resin layer]
Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 55 / 11.7 / 4.5 / 28.8 [mol ratio], weight average molecular weight 90,000) 4 parts · Styrene / acrylic acid copolymer (= 63/37 [mol ratio], weight average molecular weight 8,000) ··· 136 parts · 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl 〕propane
··· 90.7 parts · Surfactant 1 (Structure 1 below) · · · 5.4 parts · Methanol ··· 111 parts · 1-methoxy-2-propanol ··· 63 4 parts methyl ethyl ketone 534 parts

・界面活性剤1
・下記構造物1 ・・・・・・30%
・メチルエチルケトン ・・・・・・70%
・ Surfactant 1
・ The following structure 1 ・ ・ ・ ・ ・ ・ 30%
・ Methyl ethyl ketone ・ ・ ・ ・ ・ ・ 70%

次に、形成した熱可塑性樹脂層上に、下記処方Bからなる中間層用塗布液をし、80℃で1分間乾燥させた後さらに120℃1分乾燥させて、乾燥層厚1.6μmの中間層を積層した。   Next, on the formed thermoplastic resin layer, an intermediate layer coating solution composed of the following formulation B is applied, dried at 80 ° C. for 1 minute, and then further dried at 120 ° C. for 1 minute to obtain a dry layer thickness of 1.6 μm. An intermediate layer was laminated.

〔中間層用塗布液の処方B〕
・ポリビニルアルコール(PVA−205、鹸化度88%、(株)クラレ製)
・・・・3.22部
・ポリビニルピロリドン(PVP K−30、アイエスピー・ジャパン株式会社製)
・・・・1.49部
・メタノール ・・・・42.9部
・蒸留水 ・・・・52.4部
[Prescription B of coating solution for intermediate layer]
Polyvinyl alcohol (PVA-205, saponification degree 88%, manufactured by Kuraray Co., Ltd.)
・ ・ ・ ・ 3.22 parts ・ Polyvinylpyrrolidone (PVP K-30, manufactured by IS Japan Co., Ltd.)
・ ・ ・ ・ 1.49 parts ・ Methanol ・ ・ ・ ・ 42.9 parts ・ Distilled water ・ ・ ・ ・ 52.4 parts

次に、形成した中間層上に更に、下記処方1からなる感光性樹脂層用塗布液を塗布した後それぞれ100℃で2分間乾燥させた後、更に、120℃で1分間乾燥させて(乾燥条件A)、乾燥層厚1.38μmの透明感光性樹脂層を積層した。   Next, a photosensitive resin layer coating solution having the following formulation 1 was further applied onto the formed intermediate layer, and each was dried at 100 ° C. for 2 minutes, and further dried at 120 ° C. for 1 minute (drying). Condition A), a transparent photosensitive resin layer having a dry layer thickness of 1.38 μm was laminated.

<感光性樹脂層用塗布液処方1>
・1−メトキシ−2−プロピルアセテート ・・・・・599部
・メチルエチルケトン ・・・・・238部
・ソルスパース20000(Lubrizol製) ・・・・1.88部
・ポリマー45%溶液(特開2008−146018公報の段落番号[0058]に記載の構造式P−25:
重量平均分子量=3.5万、固形分45%、1−メトキシ−2−プロピルアセテート15%、1−メトキシ−2−プロパノール40%)[(A)特定樹脂] ・・・・・114部
・重合性化合物の混合物:DPHA液(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート:48%、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート:28%、1−メトキシ−2−プロピルアセテート:24%)[(B)一般式(b1)で表される重合性化合物]・16.3部
・下記重合性化合物の混合物(n=1:トリペンタエリスリトールオクタアクリレート含有率85%、不純物としてn=2及びn=3の合計が15%) ・・・20.5部
[(B)一般式(b2)で表される重合性化合物]
・ウレタン系モノマー(NKオリゴUA−32P 新中村化学(株)製:不揮発分75%、1−メトキシ−2−プロピルアセテート:25%) ・・・・7.72部
[(B−2)その他の重合性化合物]
・2,4−ビス−(トリクロロメチル)−6−[4−(N,N−ジエトキシカルボニルメチルアミノ)−3−ブロモフェニル]−s−トリアジン ・・・・1.27部
[(C)光重合開始剤]
・2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール
[(C)光重合開始剤] ・・・0.635部
・ハイドロキノンモノメチルエーテル[溶剤] ・・・0.072部
・メガファックF−784−F(DIC株式会社製) ・・・・0.51部
[界面活性剤]
<Coating liquid formulation 1 for photosensitive resin layer>
1-methoxy-2-propyl acetate 599 parts Methyl ethyl ketone 238 parts Solsperse 20000 (Lubrizol) 1.88 parts Polymer 45% solution (JP 2008- Structural formula P-25 described in paragraph No. [0058] of the 146018 publication:
Weight average molecular weight = 35,000, solid content 45%, 1-methoxy-2-propyl acetate 15%, 1-methoxy-2-propanol 40%) [(A) specific resin] 114 parts Mixture of polymerizable compounds: DPHA solution (dipentaerythritol hexaacrylate: 48%, dipentaerythritol pentaacrylate: 28%, 1-methoxy-2-propyl acetate: 24%) [(B) represented by the general formula (b1) 16.3 parts. Mixture of the following polymerizable compounds (n = 1: tripentaerythritol octaacrylate content: 85%, n = 2 and n = 3 as impurities are 15% in total) 20.5 parts [(B) polymerizable compound represented by formula (b2)]
-Urethane monomer (NK Oligo UA-32P, Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd .: non-volatile content 75%, 1-methoxy-2-propyl acetate: 25%) ... 7.72 parts [(B-2) Others Polymerizable compound]
2,4-bis- (trichloromethyl) -6- [4- (N, N-diethoxycarbonylmethylamino) -3-bromophenyl] -s-triazine, ... 1.27 parts [(C) Photopolymerization initiator]
2-trichloromethyl-5- (p-styrylstyryl) -1,3,4-oxadiazole [(C) photopolymerization initiator] 0.635 parts Hydroquinone monomethyl ether [solvent] 0.072 parts ・ Megafac F-784-F (manufactured by DIC Corporation) ・ ・ ・ ・ 0.51 part [Surfactant]

上記式中、Xはすべてアクリロイル基であり、n=1〜3の混合物である。   In the above formula, all Xs are acryloyl groups and are a mixture of n = 1-3.

以上のようにして、PET仮支持体/熱可塑性樹脂層/中間層/感光性樹脂組成物層の積層構造に構成した後、感光性樹脂組成物層の表面に更に、カバーフィルムとして厚み12μmのポリプロピレン製フィルムを加熱・加圧して貼り付け、絶縁材及びオーバーコート用感光性転写フィルム(1)を得た。ABS樹脂3インチ巻き芯に巻きつけ、黒色のポリエチレンフィルム及び透明のポリエチレンフィルムで包装し、25℃で7日間保管した。   As described above, after forming a laminated structure of a PET temporary support / thermoplastic resin layer / intermediate layer / photosensitive resin composition layer, the surface of the photosensitive resin composition layer is further covered with a 12 μm thick cover film. A polypropylene film was applied by heating and pressing to obtain an insulating material and a photosensitive transfer film for overcoat (1). The sample was wound around a 3 inch core of ABS resin, wrapped with a black polyethylene film and a transparent polyethylene film, and stored at 25 ° C. for 7 days.

−スペーサー用感光性転写フィルムの作製−
上記厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体(PET仮支持体)上に、上記処方A1からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布し、100℃で2分間乾燥させた後さらに120℃で1分間乾燥させ、乾燥層厚18μmの熱可塑性樹脂層を形成した。
次に、形成した熱可塑性樹脂層上に、上記処方Bからなる中間層用塗布液をし、80℃で1分間乾燥させた後さらに120℃1分乾燥させて、乾燥層厚1.6μmの中間層を積層した。
-Production of photosensitive transfer film for spacers-
On the 75 μm thick polyethylene terephthalate film temporary support (PET temporary support), a thermoplastic resin layer coating solution comprising the above formulation A1 was applied, dried at 100 ° C. for 2 minutes, and further at 120 ° C. It was dried for a minute to form a thermoplastic resin layer having a dry layer thickness of 18 μm.
Next, on the formed thermoplastic resin layer, an intermediate layer coating solution composed of the above-mentioned formulation B is applied, dried at 80 ° C. for 1 minute, and then further dried at 120 ° C. for 1 minute to obtain a dry layer thickness of 1.6 μm. An intermediate layer was laminated.

次に、形成した中間層上に更に、下記処方2からなる感光性樹脂層用塗布液を塗布した後それぞれ100℃で2分間乾燥させた後、更に、120℃で1分間乾燥させて(乾燥条件A)、乾燥層厚4.5μmの感光性樹脂層を積層した。   Next, a photosensitive resin layer coating solution having the following formulation 2 was further applied onto the formed intermediate layer, dried at 100 ° C. for 2 minutes, and further dried at 120 ° C. for 1 minute (drying). Condition A), a photosensitive resin layer having a dry layer thickness of 4.5 μm was laminated.

<スペーサー用感光性樹脂層用塗布液>
・1−メトキシ−2−プロピルアセテート ・・・・450部
・メチルエチルケトン ・・・・233部
・ソルスパース20000(Lubrizol製) ・・・3.13部
・ポリマー45%溶液(特開2008−146018公報の段落番号〔0058〕に記載の構造式P−25:重量平均分子量=3.5万、固形分45%、1−メトキシ−2−プロピルアセテート15%、1−メトキシ−2−プロパノール40%) ・・・・184部
[(A)特定樹脂]
・重合性化合物の混合物B1−1:DPHA液(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート:38%、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート:38%、1−メトキシ−2−プロピルアセテート:24%) ・・・26.1部
[(B)一般式(b1)で表される重合性化合物]
・上記重合性化合物の混合物B2−1(n=1:トリペンタエリスリトールオクタアクリレート含有率85%、不純物としてn=2及びn=3の合計が15%)・・・32.9部
[(B)一般式(b2)で表される重合性化合物]
・ウレタン系モノマー(NKオリゴUA−32P 新中村化学(株)製:不揮発分75%、1−メトキシ−2−プロピルアセテート:25%) ・・・12.4部
[(B−2)他の重合性化合物]
・2,4−ビス−(トリクロロメチル)−6−[4−(N,N−ジエトキシカルボニルメチルアミノ)−3−ブロモフェニル]−s−トリアジン ・・・2.03部
[(C)光重合開始剤]
・2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール[(C)光重合開始剤] ・・・1.02部
・ハイドロキノンモノメチルエーテル[溶剤] ・・0.117部
・メガファックF−784−F(DIC社製) ・・・0.85部
[界面活性剤]
<Coating solution for photosensitive resin layer for spacer>
· 1-methoxy-2-propyl acetate ··· 450 parts · methyl ethyl ketone ··· 233 parts · Solsperse 20000 (manufactured by Lubrizol) ··· 3.13 parts · 45% polymer solution (Japanese Patent Laid-Open No. 2008-146018) Structural formula P-25 described in paragraph [0058]: weight average molecular weight = 35,000, solid content 45%, 1-methoxy-2-propyl acetate 15%, 1-methoxy-2-propanol 40%) ... 184 parts [(A) Specific resin]
Mixture of polymerizable compounds B1-1: DPHA liquid (dipentaerythritol hexaacrylate: 38%, dipentaerythritol pentaacrylate: 38%, 1-methoxy-2-propyl acetate: 24%) 26.1 parts [(B) Polymerizable compound represented by formula (b1)]
Mixture B2-1 of the above-described polymerizable compounds (n = 1: tripentaerythritol octaacrylate content 85%, the total of n = 2 and n = 3 as impurities is 15%) ... 32.9 parts [(B ) Polymerizable compound represented by general formula (b2)]
-Urethane monomer (NK Oligo UA-32P Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd .: non-volatile content 75%, 1-methoxy-2-propyl acetate: 25%) ... 12.4 parts [(B-2) other Polymerizable compound]
2,4-bis- (trichloromethyl) -6- [4- (N, N-diethoxycarbonylmethylamino) -3-bromophenyl] -s-triazine ... 2.03 parts [(C) light Polymerization initiator]
2-trichloromethyl-5- (p-styrylstyryl) -1,3,4-oxadiazole [(C) photopolymerization initiator] 1.02 parts Hydroquinone monomethyl ether [solvent] 117 parts Megafac F-784-F (manufactured by DIC Corporation) 0.85 parts [surfactant]

以上のようにして、PET仮支持体/熱可塑性樹脂層/中間層/感光性樹脂組成物層の積層構造に構成した後、感光性樹脂組成物層の表面に更に、カバーフィルムとして厚み12μmのポリプロピレン製フィルムを加熱・加圧して貼り付け、スペーサー用感光性転写フィルム(1)を得た。ABS樹脂3インチ巻き芯に巻きつけ、黒色のポリエチレンフィルム及び透明のポリエチレンフィルムで包装し、25℃で7日間保管した。   As described above, after forming a laminated structure of a PET temporary support / thermoplastic resin layer / intermediate layer / photosensitive resin composition layer, the surface of the photosensitive resin composition layer is further covered with a 12 μm thick cover film. A polypropylene film was applied by heating and pressing to obtain a photosensitive transfer film for spacer (1). The sample was wound around a 3 inch core of ABS resin, wrapped with a black polyethylene film and a transparent polyethylene film, and stored at 25 ° C. for 7 days.

≪カラーフィルタ基板の作製≫
<1.感光性濃色組成物の調製>
−カーボンブラック分散液(K−1)の調製−
下記処方でカーボンブラック分散液(K−1)を調製した。
・カーボンブラック(デグッサ社製 カラーブラックFW2) ・・・26.7部
・分散剤(楠本化成社製ディスパロンDA7500 酸価26 アミン価40)
・・・・3.3部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸(=72/28[mol比])共重合体(分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの50質量%溶液)
・・・・10部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・・60部
≪Preparation of color filter substrate≫
<1. Preparation of photosensitive dark color composition>
-Preparation of carbon black dispersion (K-1)-
A carbon black dispersion (K-1) was prepared according to the following formulation.
・ Carbon black (Color Black FW2 manufactured by Degussa) ・ ・ ・ 26.7 parts ・ Dispersant (Dispalon DA7500 manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd. Acid value 26 Amine value 40)
... 3.3 parts Benzyl methacrylate / methacrylic acid (= 72/28 [mol ratio]) copolymer (molecular weight 30,000, 50% by mass solution of propylene glycol monomethyl ether acetate)
・ ・ ・ ・ 10 parts ・ Propylene glycol monomethyl ether acetate ・ ・ ・ ・ 60 parts

上記各成分を3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて8時間微分散処理を施し、カーボンブラック分散液(K−1)を得た。   The above components were stirred for 1 hour using a homogenizer under the condition of 3000 rpm. The obtained mixed solution was finely dispersed for 8 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads to obtain a carbon black dispersion (K-1). It was.

得られたカーボンブラック分散液(K−1)を用いて、下記表1の処方で感光性濃色組成物塗布液CK−1を調製した。表1中の数値は質量比を示す。   Using the obtained carbon black dispersion liquid (K-1), a photosensitive dark color composition coating liquid CK-1 was prepared according to the formulation shown in Table 1 below. Numerical values in Table 1 indicate mass ratios.

表1中の各成分の詳細は下記のとおりである。
・樹脂溶液C−2:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸(=85/15mol比)共重合体(Mw10000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの50wt%溶液)
・UV硬化性樹脂C−3:商品名サイクロマーP ACA−250 ダイセル化学工業(株)製〔側鎖に脂環、COOH基、及びアクリロイル基のあるアクリル系共重合体、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)〕
・重合性化合物C−5:商品名 TO−1382 東亞合成(株)製
(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートの末端OH基の一部をCOOH基に置換した5官能のアクリロイル基を有するモノマーが主成分。)
・開始剤C−7:商品名「OXE−02」 チバ・スペシャルテイ・ケミカルズ社製
・界面活性剤C−8:商品名「メガファックR30」 DIC(株)製
・溶剤:PGMEA=プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
EEP=3−エトキシエチルプロピオネート
Details of each component in Table 1 are as follows.
Resin solution C-2: benzyl methacrylate / methacrylic acid (= 85/15 mol ratio) copolymer (Mw 10,000, 50 wt% solution of propylene glycol monomethyl ether acetate)
UV curable resin C-3: trade name Cyclomer P ACA-250 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd. [Acrylic copolymer having alicyclic, COOH and acryloyl groups in the side chain, propylene glycol monomethyl ether acetate Solution (solid content: 50% by mass)]
Polymerizable compound C-5: trade name TO-1382 manufactured by Toagosei Co., Ltd. (The main component is a monomer having a pentafunctional acryloyl group in which a part of the terminal OH group of dipentaerythritol pentaacrylate is substituted with a COOH group. )
・ Initiator C-7: Trade name “OXE-02” Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. ・ Surfactant C-8: Trade name “Megafac R30” DIC Corporation ・ Solvent: PGMEA = propylene glycol monomethyl Ether acetate EEP = 3-Ethoxyethyl propionate

<2.塗布によるブラックマトリクスの形成>
−感光性濃色組成物層形成工程−
得られた感光性濃色組成物CK−1を、洗浄したガラス基板(コーニング社製ミレニアム 0.7mm厚)にスリットコーター(型番HC8000、平田機工株式会社製)を用いて、ポストベーク後の膜厚が1.2μmとなるようにスリットとガラス基板間の間隔、吐出量を調節して、塗布速度120mm/秒で塗布した。
<2. Formation of black matrix by coating>
-Photosensitive dark color composition layer forming step-
The film after post-baking using the slit coater (model number HC8000, made by Hirata Kiko Co., Ltd.) to the glass substrate (Corning Millennium 0.7mm thickness) which washed the photosensitive dark color composition CK-1 obtained. Coating was performed at a coating speed of 120 mm / second by adjusting the interval between the slit and the glass substrate and the discharge amount so that the thickness was 1.2 μm.

−プリベーク工程、露光工程−
次いで、ホットプレートを用いて、90℃で120秒間加熱(プリベーク処理)を行なった後、ミラープロジェクション方式露光機(型番MPA−8800、キヤノン株式会社社製)を用いて、100mJ/cmで露光した。
-Pre-bake process, exposure process-
Next, after heating (prebaking treatment) at 90 ° C. for 120 seconds using a hot plate, exposure is performed at 100 mJ / cm 2 using a mirror projection type exposure machine (model number MPA-8800, manufactured by Canon Inc.). did.

−現像工程−
その後、傾斜搬送型の現像装置(型番SK−2200G、大日本スクリーン製造株式会社製、傾斜角5°)で現像した。すなわち、水酸化カリウム系現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1.0%現像液(CDK−1を1質量部、純水を99質量部の希釈した液、25℃)でシャワー圧を0.20MPaに設定して、60秒現像し、純水で洗浄し、現像後のブラックマトリクスを得た。
-Development process-
Then, it developed with the inclination conveyance type developing device (model number SK-2200G, Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd., inclination angle 5 °). That is, a 1.0% developer of potassium hydroxide developer CDK-1 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials) (a diluted solution of 1 part by weight of CDK-1 and 99 parts by weight of pure water), 25 ), The shower pressure was set to 0.20 MPa, development was performed for 60 seconds, and washed with pure water to obtain a developed black matrix.

−ベーク工程−
次いで220℃のクリーンオーブンで40分間ポストベーク処理し、着色画素形成領域の開口が90μm×200μmで、厚みが1.2μmで、線幅が約25μmの格子状パターンであるブラックマトリクスを備えたブラックマトリクス基板を形成した。
X−Rite 361T(V)(サカタインクスエンジニアリング(株)製)を用いて、出来上がったブラックマトリクスの光学濃度(OD)を測定したところ、4.2であった。
-Baking process-
Next, post baking was performed in a clean oven at 220 ° C. for 40 minutes, and a black pixel provided with a black matrix having a grid pattern in which a color pixel formation region had an opening of 90 μm × 200 μm, a thickness of 1.2 μm, and a line width of about 25 μm. A matrix substrate was formed.
When the optical density (OD) of the completed black matrix was measured using X-Rite 361T (V) (manufactured by Sakata Inx Engineering Co., Ltd.), it was 4.2.

<3.感光性着色組成物の調製>
− 3−1.赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1の調製 −
下記処方で赤色(R)用分散液(R−1)を調製した。
・Pigment Red 254(SEM観察での平均粒子径43nm)・・・11部
・Pigment Red 177(SEM観察での平均粒子径58nm)・・・・4部
・下記分散樹脂A−3の溶液 ・・・・5部
・分散剤(商品名:Disperbyk−161、ビックケミー社製)
(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの30%溶液) ・・・・3部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=75/25[mol比]共重合体、分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)) ・・・・9部
・溶剤B:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・68部
<3. Preparation of photosensitive coloring composition>
-3-1. Preparation of photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) −
A red (R) dispersion (R-1) was prepared according to the following formulation.
Pigment Red 254 (average particle size 43 nm in SEM observation) 11 parts Pigment Red 177 (average particle size 58 nm in SEM observation) 4 parts Solution of dispersion resin A-3 below・ ・ 5 parts ・ Dispersant (Brand name: Disperbyk-161, manufactured by Big Chemie)
(30% solution of propylene glycol monomethyl ether acetate) 3 parts alkali-soluble resin: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 75/25 [mol ratio] copolymer, molecular weight 30,000, propylene glycol Monomethyl ether acetate solution (solid content: 50% by mass)) ... 9 parts Solvent B: Propylene glycol monomethyl ether acetate 68 parts

上記各成分を、3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いてビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施し赤色(R)用分散液(R−1)を得た。得られた赤色(R)用分散液(R−1)中の分散粒子をSEMで観察したところ平均粒子径は36nmであった。   The above components were stirred for 1 hour using a homogenizer at 3000 rpm. The obtained mixed solution was subjected to fine dispersion treatment for 4 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads, and a red (R) dispersion (R-1). Got. When the dispersed particles in the obtained red (R) dispersion (R-1) were observed with an SEM, the average particle size was 36 nm.

得られた赤色(R)用分散液(R−1)を用いて、下記処方で赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を調製した。
・赤色(R)用分散液(R−1) ・・・・100部
・エポキシ樹脂:(商品名EHPE3150 ダイセル化学工業社製 ・・・・・・2部
・重合性化合物:DPHA液(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート:63%、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート:37%) ・・・・・・8部
・重合開始剤:4−(o−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノ−フェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン ・・・・・・1部
・重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−molフォリノフェニル)−ブタノン−1 ・・・・・・1部
・重合開始剤:ジエチルチオキサントン ・・・・0.5部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール ・・0.001部
・フッ素系界面活性剤(商品名:Megafac R30 DIC社製)
・・・0.01部
・ノニオン系界面活性剤(商品名:テトロニックR150 ADEKA社製)
・・・・0.2部
・溶剤:プロピレングリコールn−ブチルエーテルアセテート ・・・・・30部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・・100部
上記成分を混合撹拌し、赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を得た。
Using the obtained red (R) dispersion liquid (R-1), a photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) was prepared according to the following formulation.
-Red (R) dispersion (R-1)-100 parts-Epoxy resin: (trade name EHPE3150, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.-2 parts-Polymerizable compound: DPHA liquid (dipenta Erythritol hexaacrylate: 63%, dipentaerythritol pentaacrylate: 37%) ... 8 parts Polymerization initiator: 4- (o-bromo-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) amino- Phenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine 1 part Polymerization initiator: 2-Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-molforinophenyl) -butanone -1 ... 1 part-Polymerization initiator: Diethylthioxanthone-0.5 part-Polymerization inhibitor: p-methoxyphenol-0.001 part-Fluorosurfactant ( Product name: Megafac made by R30 DIC Corporation)
・ ・ ・ 0.01 part ・ Nonionic surfactant (trade name: Tetronic R150, manufactured by ADEKA)
··· 0.2 parts · Solvent: Propylene glycol n-butyl ether acetate ··· 30 parts · Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate ··· 100 parts Mixing and stirring the above ingredients for red (R) The photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 was obtained.

− 3−2.緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1の調製 −
下記処方で緑色(G)用分散液(G−1)を調製した。
・Pigment Green 36(SEM観察での平均粒子径47nm)・・11部
・Pigment Yellow150(SEM観察での平均粒子径39nm)・・7部
・下記分散樹脂A−3の溶液 ・・・・・・5部
・分散剤(商品名:Disperbyk−161、ビックケミー社製 30%溶液)
・・・・・・3部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=85/15[mol比]共重合体、分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)) ・・・・・11部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・・・70部
-3-2. Preparation of photosensitive coloring composition coating solution CG-1 for green (G) −
A green (G) dispersion (G-1) was prepared according to the following formulation.
Pigment Green 36 (average particle diameter 47 nm in SEM observation) 11 parts Pigment Yellow 150 (average particle diameter 39 nm in SEM observation) 7 parts Solution of dispersion resin A-3 below 5 parts, dispersant (trade name: Disperbyk-161, 30% solution manufactured by Big Chemie)
3 parts alkali-soluble resin: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 85/15 [mol ratio] copolymer, molecular weight 30,000, propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50 (% By mass)) ··· 11 parts · Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate ··· 70 parts

上記各成分を3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて8時間微分散処理を施し、緑色(G)用分散液(G−1)を得た。得られた緑色(G)用分散液(G−1)中の分散粒子をSEMで観察したところ平均粒子径は32nmであった。   The above components were stirred for 1 hour using a homogenizer under the condition of 3000 rpm. The obtained mixed solution was finely dispersed for 8 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads, and a green (G) dispersion (G-1 ) When the dispersed particles in the obtained green (G) dispersion liquid (G-1) were observed with an SEM, the average particle diameter was 32 nm.

得られた緑色(G)用分散液(G−1)を用いて、下記処方で緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1を調製した。
・緑色(G)用分散液(G−1) ・・・・100部
・エポキシ樹脂:(商品名EHPE3150 ダイセル化学工業社製)・・・・・・2部
・重合性化合物:DPHA液(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート:63%、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート:37%) ・・・・・・8部
・重合性化合物:ペンタエリスリトールのテトラ(エトキシアクリレート)・・・・2部
・重合開始剤:1,3−ビストリハロメチル−5−ベンゾオキソラントリアジン
・・・・・・2部
・重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−molフォリノフェニル)−ブタノン−1 ・・・・・・1部
・重合開始剤:ジエチルチオキサントン ・・・・0.5部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール ・・0.001部
・フッ素系界面活性剤(商品名:Megafac R08 DIC社製)・・0.02部
・ノニオン系界面活性剤(商品名:エマルゲンA−60 花王社製) ・・・・0.5部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・・120部
・溶剤:プロピレングリコールn−プロピルエーテルアセテート ・・・・・30部
上記組成を混合撹拌し、緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1を得た。
Using the obtained green (G) dispersion liquid (G-1), a photosensitive coloring composition coating liquid CG-1 for green (G) was prepared according to the following formulation.
-Green (G) dispersion (G-1) ... 100 parts-Epoxy resin: (trade name EHPE3150, manufactured by Daicel Chemical Industries) ... 2 parts-Polymerizable compound: DPHA liquid Pentaerythritol hexaacrylate: 63%, dipentaerythritol pentaacrylate: 37%) ··· 8 parts Polymerizable compound: Tetra (ethoxy acrylate) of pentaerythritol ··· 2 parts · Polymerization initiator: 1 , 3-Bistrihalomethyl-5-benzooxolantolyazine
2 parts polymerization initiator: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-molforinophenyl) -butanone 1 part polymerization initiator: diethyl Thioxanthone-0.5 part-Polymerization inhibitor: p-methoxyphenol-0.001 part-Fluorosurfactant (trade name: Megafac R08 manufactured by DIC)-0.02 part-Nonionic interface Activator (trade name: Emulgen A-60, manufactured by Kao Corporation) 0.5 parts Solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate 120 parts Solvent: propylene glycol n-propyl ether acetate -30 parts The said composition was mixed and stirred and the photosensitive coloring composition coating liquid CG-1 for green (G) was obtained.

− 3−3.青色(B)用感光性着色組成物塗布液CB−1の調製 −
下記処方で青色(B)用分散液(B−1)を調製した。
・Pigment Blue 15:6(SEM観察での平均粒子径55nm)
・・・・・14部
・Pigment Violet 23(SEM観察での平均粒子径61nm)・・1部
・下記分散樹脂A−3の溶液 ・・・・・・5部
・分散剤(商品名:Disperbyk−161、ビックケミー社製 30%溶液)
・・・・・・3部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体
(=80/20[mol比]共重合体、分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)) ・・・・・・4部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・・・73部
− 3-3. Preparation of photosensitive coloring composition coating solution CB-1 for blue (B) −
A blue (B) dispersion (B-1) was prepared according to the following formulation.
Pigment Blue 15: 6 (average particle diameter 55 nm by SEM observation)
14 parts Pigment Violet 23 (average particle diameter 61 nm by SEM observation) 1 part Solution A-3 in the following dispersion resin 5 parts Dispersant (trade name: Disperbyk) -161, 30% solution manufactured by Big Chemie)
3 parts alkali-soluble resin: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 80/20 [mol ratio] copolymer, molecular weight 30,000, propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50 (% By mass)) ··· 4 parts · Solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate ··· 73 parts

上記各成分を、3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いてビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施し、青色(B)用分散液(B−1)を得た。得られた青色(B)用分散液(B−1)中の分散粒子をSEMで観察したところ平均粒子径は39nmであった。   The above components were stirred for 1 hour using a homogenizer at 3000 rpm. The obtained mixed solution was finely dispersed for 4 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads, and a blue (B) dispersion (B-1 ) When the dispersed particles in the obtained blue (B) dispersion liquid (B-1) were observed with an SEM, the average particle diameter was 39 nm.

得られた青色(B)用分散液(B−1)を用いて、下記処方で青色(B)用感光性着色組成物塗布液CB−1を調製した。
・青色(B)用分散液(B−1) ・・・・100部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=80/20[mol比]共重合体、分子量30,000)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)) ・・・・・・7部
・エポキシ樹脂:(商品名セロキサイド2080 ダイセル化学工業社製)・・・・2部
・UV硬化性樹脂:(商品名サイクロマーP ACA−250 ダイセル化学工業社製)
(側鎖に脂環、COOH基、及びアクリロイル基のあるアクリル系共重合体、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)・・・・・4部
・重合性化合物:DPHA液(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート:63%、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート:37%) ・・・・・12部
・重合開始剤:1−(9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル)−1−(o−アセチルオキシム)エタノン ・・・・・・3部
・重合禁止剤: p−メトキシフェノール ・・0.001部
・フッ素系界面活性剤(商品名:Megafac R08 DIC社製)・・0.02部
・ノニオン系界面活性剤(商品名:エマルゲンA−60 花王社製) ・・・・1.0部
・溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル ・・・・・20部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・・150部
上記成分を混合撹拌し、青色(B)用感光性着色組成物塗布液CB−1を得た。
Using the obtained blue (B) dispersion liquid (B-1), a blue (B) photosensitive coloring composition coating liquid CB-1 was prepared according to the following formulation.
-Blue (B) dispersion (B-1) ... 100 parts-Alkali-soluble resin: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 80/20 [mol ratio] copolymer, molecular weight 30,000) , Propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50% by mass)) ... 7 parts Epoxy resin: (trade name Celoxide 2080 manufactured by Daicel Chemical Industries) ... 2 parts UV curable resin : (Trade name Cyclomer P ACA-250, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.)
(Acrylic copolymer having alicyclic, COOH and acryloyl groups in the side chain, propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50% by mass) ... 4 parts Polymerizable compound: DPHA solution ( Dipentaerythritol hexaacrylate: 63%, dipentaerythritol pentaacrylate: 37%) ... 12 parts-Polymerization initiator: 1- (9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole- 3-yl) -1- (o-acetyloxime) ethanone ··· 3 parts · Polymerization inhibitor: p-methoxyphenol · · 0.001 part · Fluorosurfactant (trade name: Megafac R08 DIC・ 0.02 part ・ Nonionic surfactant (trade name: Emulgen A-60, Kao Corporation) ・ ・ ・ ・ 1.0 part ・ Solvent: -Ethyl ethoxypropionate 20 parts · Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate 150 parts The above components are mixed and stirred to obtain a photosensitive coloring composition coating solution CB-1 for blue (B). It was.

<4.分散樹脂A−3の合成>
(1.連鎖移動剤A3の合成)
ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)〔DPMP;堺化学工業(株)製〕(下記化合物(33))7.83部、及び吸着部位を有し、かつ炭素−炭素二重結合を有する下記化合物(m−6)4.55部を、プロピレングリコールモノメチルエーテル28.90部に溶解させ、窒素気流下、70℃に加熱した。これに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)〔V−65、和光純薬工業(株)製〕0.04部を加えて3時間加熱した。更に、V−65を0.04部加え、窒素気流下、70℃で3時間反応させた。室温まで冷却することで、以下に示すメルカプタン化合物(連鎖移動剤A3)の30%溶液を得た。
<4. Synthesis of Dispersing Resin A-3>
(1. Synthesis of chain transfer agent A3)
Dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate) [DPMP; manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.] (the following compound (33)) 7.83 parts, and having an adsorption site, and a carbon-carbon double bond The following compound (m-6) (4.55 parts) having a thiophene was dissolved in 28.90 parts of propylene glycol monomethyl ether and heated to 70 ° C. under a nitrogen stream. To this, 0.04 part of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) [V-65, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.] was added and heated for 3 hours. Further, 0.04 part of V-65 was added and reacted at 70 ° C. for 3 hours under a nitrogen stream. By cooling to room temperature, a 30% solution of the mercaptan compound (chain transfer agent A3) shown below was obtained.

(2.分散樹脂A―3の合成)
前記のようにして得られた連鎖移動剤A3の30%溶液4.99部、メタクリル酸メチル19.0部、及びメタクリル酸1.0部、プロピレングリコールモノメチルエーテル4.66部の混合溶液を、窒素気流下、90℃に加熱した。この混合溶液を攪拌しながら、2,2’−アゾビスイソ酪酸ジメチル〔V−601、和光純薬工業(株)製〕0.139部、プロピレングリコールモノメチルエーテル5.36部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート9.40部の混合溶液を2.5時間かけて滴下した。滴下終了してから、90℃で2.5時間反応させた後、2,2’−アゾビスイソ酪酸ジメチル0.046部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート4.00部の混合溶液を投入し、更に2時間反応させた。反応液にプロピレングリコールモノメチルエーテル1.52部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート21.7部を加え、室温まで冷却することで分散樹脂A−3(ポリスチレン換算の重量平均分子量24000)の溶液(分散樹脂30質量%、プロピレングリコールモノメチルエーテル21質量%、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート49質量%)を得た。
この分散樹脂A−3の酸価は48mg/gであった。分散樹脂A−3の構造を以下に示す。
(2. Synthesis of dispersion resin A-3)
A mixed solution of 4.99 parts of a 30% solution of chain transfer agent A3 obtained as described above, 19.0 parts of methyl methacrylate, 1.0 part of methacrylic acid, and 4.66 parts of propylene glycol monomethyl ether, It heated at 90 degreeC under nitrogen stream. While stirring this mixed solution, 0.139 part of dimethyl 2,2′-azobisisobutyrate [V-601, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.], 5.36 parts of propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate 9 40 parts of the mixed solution was added dropwise over 2.5 hours. After the completion of the dropwise addition, the mixture was reacted at 90 ° C. for 2.5 hours, and then a mixed solution of 0.046 parts of dimethyl 2,2′-azobisisobutyrate and 4.00 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was added, and further 2 hours. Reacted. To the reaction solution, 1.52 parts of propylene glycol monomethyl ether and 21.7 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate were added and cooled to room temperature, whereby a solution of dispersion resin A-3 (polystyrene equivalent weight average molecular weight 24000) (dispersion resin 30) was obtained. Mass%, propylene glycol monomethyl ether 21 mass%, propylene glycol monomethyl ether acetate 49 mass%).
The acid value of this dispersion resin A-3 was 48 mg / g. The structure of dispersion resin A-3 is shown below.

<カラーフィルタの作製>
−感光性着色組成物層形成工程−
得られた赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を、前記ブラックマトリクス基板のブラックマトリクス形成面側に、塗布した。具体的には、感光性濃色組成物層形成の場合と同様に、ポストベーク後の感光性着色組成物層の層厚が約2.1μmとなるようにスリットとブラックマトリクス基板間の間隔、吐出量を調節して、塗布速度120mm/秒で塗布した。
<Production of color filter>
-Photosensitive coloring composition layer formation process-
The obtained red (R) photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 was applied to the black matrix forming surface side of the black matrix substrate. Specifically, as in the case of forming the photosensitive dark color composition layer, the interval between the slit and the black matrix substrate so that the layer thickness of the photosensitive coloring composition layer after post-baking is about 2.1 μm, Coating was performed at a coating speed of 120 mm / sec by adjusting the discharge amount.

−着色層プリベーク工程、着色層露光工程−
次いで、ホットプレートを用いて、100℃で120秒間加熱(プリベーク処理)を行なった後、ミラープロジェクション方式露光機(型番MPA−8800、キヤノン株式会社製)を用いて、90mJ/cmで露光した。
-Colored layer pre-baking step, colored layer exposure step-
Next, after heating (prebaking treatment) at 100 ° C. for 120 seconds using a hot plate, exposure was performed at 90 mJ / cm 2 using a mirror projection type exposure machine (model number MPA-8800, manufactured by Canon Inc.). .

また、露光パターンと、ブラックマトリクスとの重なり(露光重なり量)が9.0μmとなるようにマスクパターンと露光機を設定した。   Further, the mask pattern and the exposure machine were set so that the overlap (exposure overlap amount) between the exposure pattern and the black matrix was 9.0 μm.

−着色層現像工程、着色層ベーク工程−
その後、傾斜搬送型の現像装置(型番SK−2200G、大日本スクリーン製造株式会
社製、傾斜角5°)で現像した。すなわち、水酸化カリウム系現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1.0%現像液(CDK−1を1質量部、純水を99質量部の希釈した液、25℃)でシャワー圧を0.2MPaに設定して、45秒現像し、純水で洗浄した。次いで220℃のクリーンオーブンで30分間ポストベーク処理し、熱処理済みの赤色画素を形成した。
-Colored layer development process, colored layer baking process-
Then, it developed with the inclination conveyance type developing device (model number SK-2200G, Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd., inclination angle 5 °). That is, a 1.0% developer of potassium hydroxide developer CDK-1 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials) (a diluted solution of 1 part by weight of CDK-1 and 99 parts by weight of pure water), 25 The shower pressure was set to 0.2 MPa at 45 ° C., and development was performed for 45 seconds, followed by washing with pure water. Next, post baking was performed for 30 minutes in a 220 ° C. clean oven to form heat-treated red pixels.

次いで、上記感光性着色組成物層形成工程、着色層プリベーク工程、着色層露光工程、着色層現像工程、及び着色層ベーク工程において、赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を、緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1に代えた他は同様にして、緑色画素を形成した。さらにその後、赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を、青色(B)用感光性着色組成物塗布液CB−1に代えた他は同様にして、青色画素を形成してカラーフィルタを得た。   Subsequently, in the said photosensitive coloring composition layer formation process, colored layer prebaking process, colored layer exposure process, colored layer development process, and colored layer baking process, the photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) is used. A green pixel was formed in the same manner except that the photosensitive coloring composition coating solution CG-1 for green (G) was used. Thereafter, a blue pixel was formed in the same manner except that the photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) was replaced with the photosensitive coloring composition coating liquid CB-1 for blue (B). A color filter was obtained.

上記より得たカラーフィルタのR画素、G画素、及びB画素並びにブラックマトリクスの上に更に、ITO(Indium Tin Oxide)透明電極を、スパッタリングにより形成した。   An ITO (Indium Tin Oxide) transparent electrode was further formed by sputtering on the R pixel, G pixel, B pixel, and black matrix of the color filter obtained above.

−フォトスペーサーの作製−
黒色のポリエチレンフィルム及び透明のポリエチレンフィルムを剥がして、スペーサー用感光性転写フィルム(1)を取り出し、カバーフィルム上からロータリーカッターを用いて、該カバーフィルム表面から仮支持体の一部に至るまでの深さの切り口をつけた。
次に、テープを用いてカバーフィルムと感光性樹脂層との界面で剥離し、カバーフィルムを除去した。
-Production of photo spacer-
Remove the black polyethylene film and the transparent polyethylene film, take out the photosensitive transfer film (1) for spacers, and use the rotary cutter on the cover film to reach a part of the temporary support from the cover film surface. A depth cut was made.
Next, it peeled at the interface of a cover film and a photosensitive resin layer using the tape, and removed the cover film.

露出した感光性樹脂層の表面を、上記で作製したITO膜がスパッタ形成され、予め表面温度90℃に加熱されたカラーフィルタ基板のITO膜上に重ね合わせ、ラミネーターLamicII型〔(株)日立インダストリイズ製〕を用いて、線圧100N/cm、上ロール90℃、下ロール120℃の加圧・加熱条件下で搬送速度2m/分にて貼り合わせた。   The exposed photosensitive resin layer is sputter-formed with the ITO film prepared above and overlaid on the ITO film of the color filter substrate that has been heated to a surface temperature of 90 ° C. in advance to form a laminator Lamic II type [Hitachi Indust Were used, and bonded at a conveying speed of 2 m / min under pressure and heating conditions of a linear pressure of 100 N / cm, an upper roll of 90 ° C., and a lower roll of 120 ° C.

その後、PET仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離除去し、感光性樹脂層を熱可塑性樹脂層及び中間層と共に転写した(層形成工程)。   Thereafter, the PET temporary support was peeled and removed at the interface with the thermoplastic resin layer, and the photosensitive resin layer was transferred together with the thermoplastic resin layer and the intermediate layer (layer forming step).

次に、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング(株)製)を用いて、スペーサーパターン作製用マスク(画像パターンを有する石英露光マスク)と、該マスクと熱可塑性樹脂層とが向き合うように配置したカラーフィルタ基板とを略平行に垂直に立てた状態で、マスク面と感光性樹脂層の中間層に接する側の表面との間の距離を100μmとし、マスクを介して熱可塑性樹脂層側から露光量i線50mJ/cmにてプロキシミティー露光した。 Next, using a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp, a mask for preparing a spacer pattern (quartz exposure mask having an image pattern), the mask and a thermoplastic resin layer With the color filter substrate placed so as to face each other in a substantially vertical state, the distance between the mask surface and the surface on the side in contact with the intermediate layer of the photosensitive resin layer is 100 μm, Proximity exposure was performed from the thermoplastic resin layer side with an exposure amount of i-line of 50 mJ / cm 2 .

次に、トリエタノールアミン系現像液(トリエタノールアミン30%含有、商品名:T−PD2(富士フイルム(株)製)を純水で10倍(T−PD2を1部と純水9部の割合で混合)に希釈した液)を30℃で60秒間、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像し、熱可塑性樹脂層と中間層とを除去した。引き続き、このガラス基板の上面にエアを吹きかけて液切りした後、純水をシャワーにより10秒間吹き付け、純水シャワー洗浄し、エアを吹きかけて基板上の液だまりを減らした。   Next, a triethanolamine developer (containing 30% triethanolamine, trade name: T-PD2 (manufactured by FUJIFILM Corporation) 10 times with pure water (1 part of T-PD2 and 9 parts of pure water). The liquid diluted to a ratio of 2) was developed with shower at 30 ° C. for 60 seconds at a flat nozzle pressure of 0.04 MPa to remove the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. Subsequently, after air was blown off on the upper surface of the glass substrate, pure water was sprayed for 10 seconds by a shower, pure water shower cleaning was performed, and air was blown to reduce a liquid pool on the substrate.

引き続き、炭酸Na系現像液(0.38mol/リットルの炭酸水素ナトリウム、0.47mol/リットルの炭酸ナトリウム、5%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、及び安定剤含有;商品名:T−CD1(富士フイルム(株)製)を純水で10倍に希釈した液)を用いて27℃で45秒間、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し、スペーサーのパターン像を得た。   Subsequently, a sodium carbonate developer (containing 0.38 mol / liter sodium hydrogen carbonate, 0.47 mol / liter sodium carbonate, 5% sodium dibutylnaphthalenesulfonate, an anionic surfactant, an antifoaming agent, and a stabilizer; Product name: T-CD1 (manufactured by Fujifilm Co., Ltd.) diluted 10 times with pure water) and shower developed at 27 ° C. for 45 seconds with a cone type nozzle pressure of 0.15 MPa, and a spacer pattern image Got.

引き続き、洗浄剤(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有;商品名:T−SD3(富士フイルム(株)製))を純水で10倍に希釈した液を用いて33℃で20秒間、コーン型ノズル圧力0.02MPaにてシャワーで吹きかけ、形成されたパターン像の周辺の残渣除去を行ない、所望のスペーサーパターンを得た。   Subsequently, a solution obtained by diluting a cleaning agent (containing phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer; trade name: T-SD3 (manufactured by Fuji Film Co., Ltd.)) 10 times with pure water Used, and sprayed with a shower at 33 ° C. for 20 seconds at a cone type nozzle pressure of 0.02 MPa, the residue around the formed pattern image was removed to obtain a desired spacer pattern.

次に、スペーサーパターンが設けられたカラーフィルタ基板を、230℃下で60分間加熱処理を行ない(熱処理工程)、フォトスペーサーを作製した。   Next, the color filter substrate provided with the spacer pattern was subjected to heat treatment at 230 ° C. for 60 minutes (heat treatment step) to produce a photospacer.

以上により、フォトスペーサー付きカラーフィルタ基板を得た。
得られたスペーサーパターンは、直径20μm、平均高さ4.2μmの円柱状であった。尚、平均高さは、得られたスペーサー200個のそれぞれについて、三次元表面構造解析顕微鏡(メーカー:ZYGO Corporation、型式:New View 5022)を用い、ITOの透明電極形成面からスペーサーの最も高い位置までの高さを測定し、200個の値の算術平均で算出することにより求めた。
Thus, a color filter substrate with a photospacer was obtained.
The obtained spacer pattern was a cylindrical shape having a diameter of 20 μm and an average height of 4.2 μm. The average height of each of the 200 spacers obtained was measured using a three-dimensional surface structure analysis microscope (manufacturer: ZYGO Corporation, model: New View 5022), and the highest position of the spacer from the ITO transparent electrode forming surface. The height was measured and calculated by calculating the arithmetic average of 200 values.

<タッチパネル素子の作製(絶縁層パターン及びオーバーコート層:転写法3種逐次現像液系)>
〜第一導電層パターンの作製〜
洗浄したガラス基板(コーニング社製ミレニアム 0.7mm厚)を、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3質量%水溶液、商品名:KBM603、信越化学工業(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃2分加熱した。
<Production of touch panel element (insulating layer pattern and overcoat layer: transfer method, three sequential developer systems)>
~ Preparation of first conductive layer pattern ~
The cleaned glass substrate (Corning Millennium 0.7 mm thickness) was cleaned with a rotating brush having nylon hair while spraying a glass cleaner solution adjusted to 25 ° C. for 20 seconds with a shower. A ring solution (0.3% by mass aqueous solution of N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane, trade name: KBM603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds with a shower and washed with pure water. This substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes by a substrate preheating apparatus.

得られたシランカップリング処理ガラス基板に、特開2006−301122公報の段落番号〔0121〕に記載の感光性樹脂転写材料K1のポリプロピレン製カバーフィルム上からロータリーカッターを用いて、該カバーフィルム表面から仮支持体の一部に至るまでの深さの切り口をつけた。   From the surface of the cover film, using a rotary cutter on the polypropylene cover film of the photosensitive resin transfer material K1 described in paragraph No. [0121] of JP-A-2006-301122, on the obtained silane coupling treated glass substrate. A cut having a depth up to a part of the temporary support was made.

次に、テープを用いてカバーフィルムと感光性樹脂層との界面で剥離し、カバーフィルムを除去した。除去後に露出した黒色感光層の表面と前記シランカップリング処理ガラス基板の表面とが接するように重ね合わせ、ラミネーター(株式会社日立インダストリイズ製(LamicII型))を用いて、前記100℃で2分間加熱した基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートした。続いてポリエチレンテレフタレートの仮支持体を、熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除去した。仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)で、基板と第一導電層パターン作製用マスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該黒色感光性樹脂組成物層の間の距離を100μmに設定し、露光量i線70mJ/cmでパターン露光した。 Next, it peeled at the interface of a cover film and a photosensitive resin layer using the tape, and removed the cover film. The surface of the black photosensitive layer exposed after the removal and the surface of the silane coupling-treated glass substrate are brought into contact with each other, and a laminator (manufactured by Hitachi Industries, Ltd. (Lamic II type)) is used for 2 at 100 ° C. Lamination was performed on a substrate heated for minutes at a rubber roller temperature of 130 ° C., a linear pressure of 100 N / cm, and a conveyance speed of 2.2 m / min. Subsequently, the polyethylene terephthalate temporary support was peeled off at the interface with the thermoplastic resin layer to remove the temporary support. After peeling off the temporary support, the substrate and the first conductive layer pattern production mask (quartz exposure mask with image pattern) are vertically aligned with a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp. Then, the distance between the exposure mask surface and the black photosensitive resin composition layer was set to 100 μm, and pattern exposure was performed with an exposure dose of i line 70 mJ / cm 2 .

次に、トリエタノールアミン系現像液(トリエタノールアミン30%含有、商品名:T−PD2(富士フイルム(株)製)を純水で10倍(T−PD2を1部と純水9部の割合で混合)に希釈した液)を30℃で60秒間、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像し、熱可塑性樹脂層と中間層とを除去した。引き続き、このガラス基板の上面にエアを吹きかけて液切りした後、純水をシャワーにより10秒間吹き付け、純水シャワー洗浄し、エアを吹きかけて基板上の液だまりを減らした。   Next, a triethanolamine developer (containing 30% triethanolamine, trade name: T-PD2 (manufactured by FUJIFILM Corporation) 10 times with pure water (1 part of T-PD2 and 9 parts of pure water). The liquid diluted to a ratio of 2) was developed with shower at 30 ° C. for 60 seconds at a flat nozzle pressure of 0.04 MPa to remove the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. Subsequently, after air was blown off on the upper surface of the glass substrate, pure water was sprayed for 10 seconds by a shower, pure water shower cleaning was performed, and air was blown to reduce a liquid pool on the substrate.

引き続き、炭酸Na系現像液(0.38mol/リットルの炭酸水素ナトリウム、0.47mol/リットルの炭酸ナトリウム、5%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、及び安定剤含有;商品名:T−CD1(富士フイルム(株)製)を純水で10倍に希釈した液)を用いて29℃で30秒間、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し、スペーサーのパターン像を得た。   Subsequently, a sodium carbonate developer (containing 0.38 mol / liter sodium hydrogen carbonate, 0.47 mol / liter sodium carbonate, 5% sodium dibutylnaphthalenesulfonate, an anionic surfactant, an antifoaming agent, and a stabilizer; Trade name: T-CD1 (manufactured by Fuji Film Co., Ltd.) diluted 10-fold with pure water, shower-developed at 29 ° C. for 30 seconds with a cone-type nozzle pressure of 0.15 MPa, and a spacer pattern image Got.

引き続き、洗浄剤(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有;商品名:T−SD3(富士フイルム(株)製)を純水で10倍に希釈した液を用いて33℃で20秒間、コーン型ノズル圧力0.02MPaにてシャワーで吹きかけ、形成されたパターン像の周辺の残渣除去を行ない、純水をシャワーにより10秒間吹き付け、逆テーパー型の黒色パターンを得た。   Subsequently, a detergent (containing phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer; trade name: T-SD3 (manufactured by FUJIFILM Corporation) diluted 10 times with pure water was used. Sprayed at 33 ° C for 20 seconds with a cone-type nozzle pressure of 0.02 MPa, showered to remove the residue around the pattern image, and sprayed with pure water for 10 seconds to obtain a reverse-tapered black pattern. It was.

次にスパッタ装置(ULVAC製SIH3030を用いて、厚み360ÅのITOスパッタ(main電流;2A、presputter電流;1A、プレヒート温度100℃、スパッタ温度100℃、プレヒート時間30分、Ar流量 80 sccm、O流量 6ccm、プレスパッタ時間 2分、スピード850mm/min 基板温度100℃)を行なった。 Next, using a sputtering apparatus (SIVAC 3030 manufactured by ULVAC, ITO sputtering having a thickness of 360 mm (main current; 2A, prespter current; 1A, preheating temperature 100 ° C., sputtering temperature 100 ° C., preheating time 30 minutes, Ar flow rate 80 sccm, O 2 The flow rate was 6 ccm, the pre-sputtering time was 2 minutes, the speed was 850 mm / min, and the substrate temperature was 100 ° C.).

室温に30分放置した後、40℃の保温された剥離液(2.38%TMAH水溶液)に40kzの超音波をかけながら、5分浸漬し、ITOが蒸着された黒色パターンごと剥離し、純水をシャワーにより10秒間吹き付け、純水シャワー洗浄後、上記シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3質量%水溶液、商品名:KBM603、信越化学工業(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃2分加熱した。   After leaving it at room temperature for 30 minutes, it was immersed for 5 minutes in a 40 ° C. heated stripping solution (2.38% TMAH aqueous solution) while applying ultrasonic waves of 40 kz, and the entire black pattern on which ITO was deposited was peeled off. Water is sprayed for 10 seconds by showering, and after washing with pure water shower, the silane coupling liquid (N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane 0.3% by mass aqueous solution, trade name: KBM603, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds with a shower and washed with pure water. This substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes by a substrate preheating apparatus.

〜絶縁層パターンの作製〜
得られた第二導電層パターンを有する基板に、上記絶縁層用感光性転写フィルム(1)をフォトスペーサーの作製方法と同様にラミネート、露光、現像、ベークして絶縁層パターンを形成した。但し、マスクは絶縁層パターン作製用マスクを使用、プロキシミティ露光量はi線40mJ/cm、炭酸Na系現像液を用いた現像は25℃50秒、ベーク条件は100℃15分に変更して行なった。
~ Preparation of insulating layer pattern ~
An insulating layer pattern was formed by laminating, exposing, developing, and baking the photosensitive transfer film (1) for an insulating layer on the obtained substrate having the second conductive layer pattern in the same manner as the photospacer preparation method. However, the mask used was an insulating layer pattern preparation mask, the proximity exposure was changed to 40 mJ / cm 2 i-line, development using a sodium carbonate-based developer at 25 ° C. for 50 seconds, and baking conditions changed to 100 ° C. for 15 minutes. It was done.

〜第二導電層パターンの作製〜
上記絶縁層パターンを有する基板に、上記第一導電層パターンの作製方法と同様に第二導電層パターンを形成した。但しマスクは第二導電層パターン作製用マスクに変更して行なった。
~ Preparation of second conductive layer pattern ~
A second conductive layer pattern was formed on the substrate having the insulating layer pattern in the same manner as the first conductive layer pattern. However, the mask was changed to a mask for preparing the second conductive layer pattern.

〜オーバーコート層の作製〜
得られた第二導電層パターン付きガラス基板に、上記オーバーコート用感光性転写フィルム(1)を絶縁層の作製方法と同様にラミネート、露光、現像、ベークして絶縁層パターンを形成した。但し、マスクは絶縁層パターン作製用マスクを使用に変更して行なった。
-Production of overcoat layer-
The overcoat photosensitive transfer film (1) was laminated, exposed, developed and baked on the obtained glass substrate with the second conductive layer pattern in the same manner as the method for producing the insulating layer to form an insulating layer pattern. However, the mask was changed to use an insulating layer pattern preparation mask.

<液晶表示装置の作製>
別途、対向基板として、ガラス基板上にTFTが配設されたTFT基板を用意し、上記で得られたフォトスペーサー付きカラーフィルタ基板の透明電極形成面側及び対向基板のTFT形成面側に、それぞれPVAモード用にパターニングを施し、その上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
<Production of liquid crystal display device>
Separately, a TFT substrate in which TFTs are arranged on a glass substrate is prepared as a counter substrate, and the transparent electrode forming surface side of the color filter substrate with a photo spacer obtained above and the TFT forming surface side of the counter substrate are respectively provided. Patterning was performed for the PVA mode, and an alignment film made of polyimide was further provided thereon.

その後、カラーフィルタの画素群を取り囲むように周囲に設けられたブラックマトリクス外枠に相当する位置に紫外線硬化樹脂のシール剤をディスペンサ方式により塗布し、PVAモード用液晶を滴下し、対向基板と貼り合わせた後、貼り合わされた基板をUV照射した後、熱処理してシール剤を硬化させた。このようにして得た液晶セルの液晶セルの背面となる側に、(株)サンリッツ製の偏光板HLC2−2518を貼り付けた。   After that, a UV curable resin sealant is applied by a dispenser method at a position corresponding to the outer periphery of the black matrix provided around the pixel group of the color filter, and a liquid crystal for PVA mode is dropped and attached to the counter substrate. After bonding, the bonded substrate was irradiated with UV, and then heat-treated to cure the sealant. A polarizing plate HLC2-2518 (manufactured by Sanlitz Co., Ltd.) was attached to the side of the liquid crystal cell obtained as described above on the back side of the liquid crystal cell.

次いで、赤色(R)LEDとしてFR1112H(スタンレー電気(株)製のチップ型LED)、緑色(G)LEDとしてDG1112H(スタンレー電気(株)製のチップ型LED)、青色(B)LEDとしてDB1112H(スタンレー電気(株)製のチップ型LED)を用いてサイドライト方式のバックライトを構成し、前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置した。次に液晶セルの前面に上記タッチパネル素子を配置し、上記偏光板HLC2−2518を貼り付けて、液晶表示装置とした。   Next, FR1112H (chip type LED manufactured by Stanley Electric Co., Ltd.) as a red (R) LED, DG1112H (chip type LED manufactured by Stanley Electric Co., Ltd.) as a green (G) LED, and DB1112H (as a blue (B) LED. A side-light type backlight was constructed using a chip-type LED manufactured by Stanley Electric Co., Ltd., and was placed on the back side of the liquid crystal cell provided with the polarizing plate. Next, the touch panel element was placed on the front surface of the liquid crystal cell, and the polarizing plate HLC2-2518 was attached to obtain a liquid crystal display device.

[評価]
得られた実施例のタッチパネル素子、液晶表示装置について、以下のように性能評価を行った。
−絶縁性−
上記実施例で得られたタッチパネル素子を50℃95%RH下で200時間保管した後、上記実施例と同様に液晶表示装置を作製し、絶縁性不良による誤動作の回数を評価した。
[Evaluation]
About the touch panel element of the obtained Example and the liquid crystal display device, performance evaluation was performed as follows.
−Insulation−
After the touch panel element obtained in the above example was stored at 50 ° C. and 95% RH for 200 hours, a liquid crystal display device was prepared in the same manner as in the above example, and the number of malfunctions due to poor insulation was evaluated.

<評価基準>
○:入力1000回中誤動作は2回以内であった。
×:入力1000回中誤動作は3回以上であった。
<Evaluation criteria>
○: Malfunctions within 1000 inputs were within 2 times.
X: The malfunction was 1000 times or more during 1000 times of input.

−鉛筆硬度−
上記実施例で得られたオーバーコート層をJIS K5600−5−4に従い、鉛筆硬度を評価した。実用レベルは3H以上である。
-Pencil hardness-
The overcoat layer obtained in the above Example was evaluated for pencil hardness according to JIS K5600-5-4. The practical level is 3H or higher.

−高湿テスト面状−
上記実施例で得られたタッチパネル素子を60℃95%RH下で保存した後、23℃55%に30分調湿した後、オーバーコート層を光学顕微鏡で観察した。実用レベルはC以上である。
-High humidity test surface-
After the touch panel element obtained in the above Example was stored at 60 ° C. under 95% RH, the humidity was adjusted to 23 ° C. and 55% for 30 minutes, and then the overcoat layer was observed with an optical microscope. The practical level is C or higher.

<評価基準>
A: ITO蒸着部及びITOリフトオフ部共にオーバーコート層全面に欠陥が全く見られない。
B: 非表示領域のITO蒸着部の矩形状パターンの角の部分のみに微かなシミ状欠陥が見られた。
C: 表示領域のITO蒸着部の矩形状パターンの角の部分のみに微かなシミ状欠陥が見られた。
D: 矩形状パターンエッジ(4辺)に近傍の基板上にシミ状欠陥が見られた。
E: 基板全面にシミ状欠陥が見られた。
<Evaluation criteria>
A: No defects are found on the entire overcoat layer in both the ITO vapor deposition part and the ITO lift-off part.
B: Slight spot-like defects were observed only at the corners of the rectangular pattern of the ITO vapor deposition portion in the non-display area.
C: Slight spot-like defects were observed only at the corners of the rectangular pattern of the ITO vapor deposition portion in the display area.
D: Spot-like defects were observed on the substrate near the rectangular pattern edges (four sides).
E: Spot-like defects were observed on the entire surface of the substrate.

−現像残渣−
上記「−絶縁層パターン及びオーバーコート層の作製−」において、プロキシミティー露光後、各実施例の現像条件と同様の方法で現像し、形成した矩形状パターン部分のSEM観察を行い周辺に残渣が残っているか確認した。実用レベルはC以上である。
-Development residue-
In the above-mentioned “-Preparation of insulating layer pattern and overcoat layer-”, after the proximity exposure, development is performed in the same manner as the development conditions of each example, SEM observation of the formed rectangular pattern portion is performed, and there are residues around the periphery. I checked if it remained. The practical level is C or higher.

<評価基準>
A: 残渣がまったく見られない。
B: 矩形状パターンの角の部分に微かな残渣が見られた。
C: 矩形状パターンエッジ(4辺)に微かな残渣が見られた。
D: 矩形状パターンエッジ(4辺)とパターン近傍の基板上に残渣が見られた。
E: 基板上所々に残渣が確認できた。
<Evaluation criteria>
A: No residue is seen at all.
B: A slight residue was observed at the corner of the rectangular pattern.
C: A slight residue was observed on the rectangular pattern edges (4 sides).
D: Residues were observed on the rectangular pattern edges (4 sides) and the substrate in the vicinity of the pattern.
E: Residues were confirmed in some places on the substrate.

−現像パターン密着−
上記「−絶縁層パターンの作製−」において、プロキシミティー露光後、各実施例の現像条件と同様の方法で現像し、形成した矩形状パターン形成した絶縁層パターン1000個を光学顕微鏡にてラミネート状態を観察し、現像パターン密着を評価した。実用レベルはC以上である。
-Development pattern adhesion-
In the above-mentioned “-Preparation of insulating layer pattern”, after the proximity exposure, development was performed in the same manner as the development conditions of each example, and 1000 insulating layer patterns formed to form a rectangular pattern were laminated using an optical microscope. Was observed to evaluate development pattern adhesion. The practical level is C or higher.

<評価基準>
A: 絶縁層パターン1000個中脱落したものが0個であった。
B: 絶縁層パターン1000個中脱落したものが1〜3個であった。
C: 絶縁層パターン1000個中脱落したものが4又は5個であった。
D: 絶縁層パターン1000個中脱落したものが6〜10個であった。
E: 絶縁層パターン1000個中脱落したものが11個以上であった。
<Evaluation criteria>
A: None of the 1000 insulating layer patterns dropped out.
B: One to three of 1000 insulating layer patterns were dropped.
C: 4 or 5 pieces were dropped out of 1000 insulating layer patterns.
D: 6 to 10 pieces were dropped out of 1000 insulating layer patterns.
E: 11 or more pieces were dropped out of 1000 insulating layer patterns.

−アルカリ耐性−
上記のようにして形成した絶縁層パターンを有する基板について、40℃に加温した2.38重量%のTMAH(テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド)水溶液中に5分浸漬し、予め水槽に溜めておいた純水で2秒洗浄を実施した後、エアーナイフで水分を除き、光学顕微鏡で観察した。
-Alkali resistance-
The substrate having the insulating layer pattern formed as described above was immersed in a 2.38 wt% TMAH (tetramethylammonium hydroxide) aqueous solution heated to 40 ° C. for 5 minutes and stored in a water tank in advance. After washing with pure water for 2 seconds, water was removed with an air knife and observed with an optical microscope.

<評価基準>
A: 絶縁層パターン1000個中脱落したものが0個であった。
B: 絶縁層パターン1000個中脱落したものが1〜3個であった。
C: 絶縁層パターン1000個中脱落したものが4又は5個であった。
D: 絶縁層パターン1000個中脱落したものが6〜20個であった。
E: 絶縁層パターン1000個中脱落したものが20個以上であった。
<Evaluation criteria>
A: None of the 1000 insulating layer patterns dropped out.
B: One to three of 1000 insulating layer patterns were dropped.
C: 4 or 5 pieces were dropped out of 1000 insulating layer patterns.
D: 6 to 20 pieces were dropped out of 1000 insulating layer patterns.
E: 20 or more of 1000 insulating layer patterns dropped out.

−露光直後密着性の評価−
実施例の絶縁層又はオーバーコート層の作製方法において、パターン露光直後の密着を下記価基準で評価した。実用レベルはC以上である。
-Evaluation of adhesion immediately after exposure-
In the method for producing the insulating layer or overcoat layer of the example, adhesion immediately after pattern exposure was evaluated according to the following valence criteria. The practical level is C or higher.

<評価基準>
A: ITO蒸着部及びITOリフトオフ部共にオーバーコート層全面に剥離部分が全く見られない。
B: 非表示領域のITOリフトオフ部の一部分のみに微かな剥離部分が見られた。
C: 非表示領域のITO蒸着部及びITOリフトオフ部の一部分のみに微かな剥離部分が見られた。
D: 表示領域のITO蒸着部及びITOリフトオフ部の一部分のみに微かな剥離部分が見られた。
E: 硬化収縮により基板から全面剥離した。
<Evaluation criteria>
A: No peeling part is seen on the entire overcoat layer in both the ITO vapor deposition part and the ITO lift-off part.
B: A slight peeling portion was observed only in a part of the ITO lift-off portion in the non-display area.
C: Slight peeling portions were observed only in a part of the ITO vapor deposition portion and the ITO lift-off portion in the non-display area.
D: A slight peeling portion was observed only in a part of the ITO vapor deposition portion and the ITO lift-off portion in the display area.
E: The entire surface was peeled from the substrate by curing shrinkage.

−ベーク後透明性−
洗浄したガラス基板(コーニング社製ミレニアム 0.7mm厚)に、実施例の第一導電層パターンの作製に示す方法にて、シランカップリング液で処理した基板を作製した。引続きオーバーコート層作製方法に従い、オーバーコート層を作製した。分光光度計 UV2100型(島津製作所製)で400〜800nmの透過率を測定し、下記評価基準にしたがって評価した。実用レベルはC以上である。
-Transparency after baking-
A substrate treated with a silane coupling solution was prepared on the cleaned glass substrate (Corning Millennium 0.7 mm thickness) by the method shown in the preparation of the first conductive layer pattern of the example. Subsequently, an overcoat layer was produced according to the method for producing an overcoat layer. A transmittance of 400 to 800 nm was measured with a spectrophotometer UV2100 type (manufactured by Shimadzu Corporation) and evaluated according to the following evaluation criteria. The practical level is C or higher.

〈評価基準〉
A: 400nmの透過率が95%以上且つ400〜800nm平均透過率95%以上
B: 400nmの透過率が90%以上95%未満且つ400〜800nm平均透過率90%以上
C: 400nmの透過率が85%以上90%未満400〜800nm平均透過率85%以上
D: 400nmの透過率が80%以上85%未満
E: 400nmの透過率が80%未満
<Evaluation criteria>
A: The transmittance of 400 nm is 95% or more and the average transmittance of 400 to 800 nm is 95% or more. B: The transmittance of 400 nm is 90% or more and less than 95% and the average transmittance of 400 to 800 nm is 90% or more. C: The transmittance of 400 nm is 85% or more and less than 90% 400-800 nm average transmittance 85% or more D: 400 nm transmittance is 80% or more and less than 85% E: 400 nm transmittance is less than 80%

〔実施例2〜6〕
実施例1の感光性樹脂層用塗布液処方1において、溶剤組成比、固形分濃度、2種類相互の光重合開始剤比率及び3種類相互の重合性化合物比率を一定に保ったまま、光重合開始剤(C)/重合性化合物(B)比を4.92からそれぞれ3.48(実施例2)、2.46(実施例3)、1.23(実施例4)、0.87(実施例5)、0.62(実施例6)になるように処方を変更してタッチパネル搭載液晶表示装置を作成した以外は実施例1と同様に行ない、同様に評価して表2に示す結果を得た。
[Examples 2 to 6]
In the coating liquid formulation 1 for the photosensitive resin layer of Example 1, photopolymerization was performed while keeping the solvent composition ratio, the solid content concentration, the ratio of the two types of photopolymerization initiators, and the ratio of the three types of polymerizable compounds constant. Initiator (C) / polymerizable compound (B) ratios from 4.92 to 3.48 (Example 2), 2.46 (Example 3), 1.23 (Example 4) and 0.87 (respectively) Example 5), except that the prescription was changed so as to be 0.62 (Example 6) and a liquid crystal display device with a touch panel was prepared, the same results as in Example 1 were evaluated and the results shown in Table 2 were similarly evaluated. Got.

〔比較例1及び2〕
実施例1の感光性樹脂層用塗布液処方1において、溶剤組成比、固形分濃度、2種類相互の光重合開始剤比率及び3種類相互の重合性化合物比率を一定に保ったまま、光重合開始剤(C)/重合性化合物(B)比を4.92からそれぞれ5.0(比較例1)及び0.58質量%(比較例2)になるように処方を変更してタッチパネル搭載液晶表示装置を作成した以外は実施例2と同様に行ない、同様に評価して表2に示す結果を得た。
[Comparative Examples 1 and 2]
In the coating liquid formulation 1 for the photosensitive resin layer of Example 1, photopolymerization was performed while keeping the solvent composition ratio, the solid content concentration, the ratio of the two types of photopolymerization initiators, and the ratio of the three types of polymerizable compounds constant. The touch panel mounted liquid crystal was changed by changing the formulation so that the initiator (C) / polymerizable compound (B) ratio was 4.92 to 5.0 (Comparative Example 1) and 0.58% by mass (Comparative Example 2), respectively. Except that the display device was prepared, the same procedure as in Example 2 was performed, and evaluation was performed in the same manner to obtain the results shown in Table 2.

〔実施例7〜10〕
実施例3の感光性樹脂層用塗布液処方3において、重合性化合物(B)/(A)特定樹脂比、溶剤組成比、固形分濃度を一定に保ったまま、W2/W1の値を1.41からそれぞれ2.76(実施例7)、2.04(実施例8)、0.96(実施例9)0.60(実施例10)に変更してタッチパネル搭載液晶表示装置を作成した以外は実施例3と同様に行ない、同様に評価して表2に示す結果を得た。
[Examples 7 to 10]
In the coating solution formulation 3 for the photosensitive resin layer of Example 3, the value of W2 / W1 is set to 1 while keeping the polymerizable compound (B) / (A) specific resin ratio, solvent composition ratio, and solid content concentration constant. .41 to 2.76 (Example 7), 2.04 (Example 8), 0.96 (Example 9) and 0.60 (Example 10), respectively, to produce a liquid crystal display device with a touch panel. Except for the above, the same procedure as in Example 3 was performed, and the same evaluation was performed to obtain the results shown in Table 2.

〔比較例3及び4〕
実施例3の感光性樹脂層用塗布液処方3において、重合性化合物(B)/(A)特定樹脂比、溶剤組成比、固形分濃度を一定に保ったまま、W2/W1の値を1.41からそれぞれ3.16(比較例3)、0.54(比較例4)に変更してタッチパネル搭載液晶表示装置を作成した以外は実施例3と同様に行ない、表2に示す結果を得た。
なお、以下の表において「粗TPOA」はトリペンタエリスリトールオクタアクリレートを含有する重合性化合物の混合物の含有量を示し、「TPOA(純分)」は本発明に係る(b2)重合性化合物であるトリペンタエリスリトールオクタアクリレートの含有量を示す。また、「UA−32P」は、(B−2)他の重合性化合物に属する化合物であるウレタン系モノマー(NKオリゴUA−32P、新中村化学工業(株)製)の含有量を示す。
[Comparative Examples 3 and 4]
In the coating solution formulation 3 for the photosensitive resin layer of Example 3, the value of W2 / W1 is set to 1 while keeping the polymerizable compound (B) / (A) specific resin ratio, solvent composition ratio, and solid content concentration constant. .41 was changed to 3.16 (Comparative Example 3) and 0.54 (Comparative Example 4), respectively, except that a liquid crystal display device with a touch panel was prepared, and the results shown in Table 2 were obtained. It was.
In the table below, “crude TPOA” indicates the content of a mixture of polymerizable compounds containing tripentaerythritol octaacrylate, and “TPOA (pure content)” is the polymerizable compound (b2) according to the present invention. The content of tripentaerythritol octaacrylate is shown. “UA-32P” indicates the content of (B-2) a urethane monomer (NK Oligo UA-32P, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) which is a compound belonging to other polymerizable compounds.

〔実施例11〜15〕
実施例3の感光性樹脂層用塗布液処方3において、溶剤組成比、固形分濃度及び3種類相互の重合性化合物比率を一定に保ったまま、重合性化合物(B)/(A)特定樹脂比を0.75からそれぞれ0.48(実施例11)、0.6(実施例12)、0.9(実施例13)、1.2(実施例14)、1.6(実施例15)になるように処方を変更してタッチパネル搭載液晶表示装置を作成した以外は実施例3と同様に行ない、同様に評価して表2に示す結果を得た。
[Examples 11 to 15]
In the coating composition 3 for the photosensitive resin layer of Example 3, the polymerizable compound (B) / (A) specific resin while keeping the solvent composition ratio, the solid content concentration, and the ratio of the three kinds of polymerizable compounds constant. The ratios from 0.75 to 0.48 (Example 11), 0.6 (Example 12), 0.9 (Example 13), 1.2 (Example 14), and 1.6 (Example 15), respectively. ) Was performed in the same manner as Example 3 except that the liquid crystal display device with a touch panel was prepared by changing the formulation so that the results shown in Table 2 were obtained.

〔比較例5及び6〕
実施例3の感光性樹脂層用塗布液処方3において、溶剤組成比、固形分濃度及び3種類相互の重合性化合物比率を一定に保ったまま、重合性化合物(B)/(A)特定樹脂比を0.75からそれぞれ0.44(比較例5)、1.62(比較例6)になるように処方を変更してタッチパネル搭載液晶表示装置を作成した以外は実施例3と同様に行ない、同様に評価して表3に示す結果を得た。
[Comparative Examples 5 and 6]
In the coating composition 3 for the photosensitive resin layer of Example 3, the polymerizable compound (B) / (A) specific resin while keeping the solvent composition ratio, the solid content concentration, and the ratio of the three kinds of polymerizable compounds constant. The same procedure as in Example 3 was performed except that the liquid crystal display device with a touch panel was prepared by changing the prescription so that the ratio was changed from 0.75 to 0.44 (Comparative Example 5) and 1.62 (Comparative Example 6), respectively. In the same manner, the results shown in Table 3 were obtained.

〔実施例16〕
実施例3の感光性樹脂層用塗布液処方3において、ウレタン系モノマー(NKオリゴUA−32Pを除去し、重合性化合物の混合物B2−1の純度を85%から99%に変更し、W2/W1の比率、重合性化合物(B)/(A)特定樹脂比、溶剤組成比、固形分濃度を一定になるよう処方を変更してタッチパネル搭載液晶表示装置を作成した以外は実施例3と同様に行ない、同様に評価して表3に示す結果を得た。
Example 16
In the coating solution formulation 3 for the photosensitive resin layer of Example 3, the urethane monomer (NK oligo UA-32P was removed and the purity of the polymerizable compound mixture B2-1 was changed from 85% to 99%, and W2 / The same as Example 3 except that the liquid crystal display device with touch panel was prepared by changing the formulation so that the ratio of W1, the polymerizable compound (B) / (A) specific resin ratio, the solvent composition ratio, and the solid content concentration were constant. The results shown in Table 3 were obtained by evaluating in the same manner.

〔実施例17〜20〕
実施例3において、感光性樹脂層用塗布液処方3に用いたウレタン系モノマー(NKオリゴUA−32P含有率を表に示すように、0%(実施例17)、20%(実施例18)、25%(実施例19)、30%(実施例20)に変更し以外は、W2/W1の比率、重合性化合物(B)/(A)特定樹脂比、溶剤組成比、固形分濃度を一定になるようにした以外は実施例3と同様に行ない、同様に評価して表3に示す結果を得た。
[Examples 17 to 20]
In Example 3, urethane-based monomer (0% (Example 17), 20% (Example 18) as shown in the table of NK oligo UA-32P content) in the coating solution formulation 3 for photosensitive resin layer The ratio of W2 / W1, the polymerizable compound (B) / (A) specific resin ratio, the solvent composition ratio, and the solid content concentration, except for changing to 25% (Example 19) and 30% (Example 20). The procedure was the same as in Example 3 except that it was constant, and the same evaluation was performed to obtain the results shown in Table 3.

〔比較例7〕
実施例3において、感光性樹脂層用塗布液処方3に用いたウレタン系モノマー(NKオリゴUA−32P含有率を表に示すように32%に変更し以外は、W2/W1の比率、重合性化合物(B)/(A)特定樹脂比、溶剤組成比、固形分濃度を一定になるようにした以外は実施例3と同様に行ない、同様に評価して表3に示す結果を得た。
[Comparative Example 7]
In Example 3, the urethane-based monomer used in the coating solution formulation 3 for photosensitive resin layer (except that the content of NK oligo UA-32P was changed to 32% as shown in the table, the ratio of W2 / W1, polymerizability) The same procedure as in Example 3 was carried out except that the compound (B) / (A) specific resin ratio, solvent composition ratio, and solid content concentration were kept constant, and the results shown in Table 3 were obtained in the same manner.

〔実施例21〜24〕
実施例3において感光性樹脂層用の厚みが1.38μからそれぞれ0.75μ(実施例21)、2.24μ(実施例22)、2.6μ(実施例23)、3,0μ(実施例24)に変更した以外には実施例3と同様に行ない、同様に評価して表4に示す結果を得た。
[Examples 21 to 24]
In Example 3, the thickness for the photosensitive resin layer is 1.38 μ to 0.75 μ (Example 21), 2.24 μ (Example 22), 2.6 μ (Example 23), and 3,0 μ (Example). Except for the change to 24), the same operation as in Example 3 was performed, and evaluation was performed in the same manner to obtain the results shown in Table 4.

〔比較例8及び9〕
実施例3において感光性樹脂層用の厚みが1.38μからそれぞれ
0.68μ(比較例8)、3.2μ(比較例9)に変更した以外には実施例3と同様に行ない、同様に評価して表4に示す結果を得た。
[Comparative Examples 8 and 9]
In the same manner as in Example 3, except that the thickness for the photosensitive resin layer in Example 3 was changed from 1.38 μ to 0.68 μ (Comparative Example 8) and 3.2 μ (Comparative Example 9), respectively. The results shown in Table 4 were obtained by evaluation.

〔実施例25〜27〕
実施例3において、感光性樹脂層用塗布液処方3のポリマー溶液として用いた特開2008−146018公報 構造式P−25で表される化合物の代わりにそれぞれ、特開2008−146018公報の段落番号[0061]に記載の構造式P−10で表される化合物(実施例25)、下記構造物2(実施例26)、下記構造物3(実施例27)を、ポリマー固形分が等量になるように添加し、また塗布液固形分が同じになるよう1−メトキシ−2−プロピルアセテートの添加量を調整した以外は実施例3と同様に行ない、同様に評価して表4に示す結果を得た。
[Examples 25-27]
In Example 3, instead of the compound represented by Structural Formula P-25 used as the polymer solution of the coating solution formulation 3 for photosensitive resin layer, paragraph numbers of JP 2008-146018 A, respectively. The compound represented by the structural formula P-10 described in [0061] (Example 25), the following structure 2 (Example 26), and the following structure 3 (Example 27) are equal in polymer solid content. The results shown in Table 4 are the same as in Example 3, except that the amount of 1-methoxy-2-propyl acetate added is adjusted so that the solid content of the coating solution is the same. Got.

〔比較例10〕
実施例3に感光性樹脂層用塗布液処方3において使用した全ての重合性化合物の代わりに、特開2002−212235号公報の合成例1のアクリル酸エステル混合物(A−1)(W1+W2=79.8、W2/W1=11.9)を用いた以外は実施例3と同様に行ない、残渣が低下するなど、表4に示すような結果を得た。W1+W2、W2/W1はそれぞれ71.9%及び11.9であった。
[Comparative Example 10]
Instead of all the polymerizable compounds used in the coating solution formulation 3 for the photosensitive resin layer in Example 3, the acrylic ester mixture (A-1) (W1 + W2 = 79) of Synthesis Example 1 of JP-A-2002-212235 .8, W2 / W1 = 11.9) was carried out in the same manner as in Example 3, and the results as shown in Table 4 were obtained, such as a decrease in the residue. W1 + W2 and W2 / W1 were 71.9% and 11.9, respectively.

〔比較例11〜13〕
実施例1に用いた感光性樹脂層用塗布液の処方1の代わりに、特開平−5−78453の実施例1記載の保護膜材料用塗布液(比較例11)、特開2001−91732の実施例1に記載の組成物V1(比較例12)、特開2009−109725の実施例1記載のネガ型感光性樹脂(比較例13)を用いた以外は実施例1と同様に行ない、同様に評価して表4に示すような結果を得た。
[Comparative Examples 11 to 13]
Instead of the formulation 1 of the photosensitive resin layer coating solution used in Example 1, the coating solution for protective film material (Comparative Example 11) described in Example 1 of JP-A-5-78453, and JP-A-2001-91732 The same as in Example 1 except that the composition V1 described in Example 1 (Comparative Example 12) and the negative photosensitive resin described in Example 1 of JP-A-2009-109725 (Comparative Example 13) were used. The results shown in Table 4 were obtained.

〔実施例28〜32〕
実施例3の感光性樹脂層用塗布液の処方3において、光重合開始剤の混合物を合計量は変えずにそれぞれ 2,4−ビス−(トリクロロメチル)−6−[4−(N,N−ジエトキシカルボニルメチルアミノ)−3−ブロモフェニル]−s−トリアジン(実施例28)、2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール(実施例29)、オキシム系開始剤 IRGACURE OXE 01(チバ製:実施例30)、アセトフェノン系開始剤IRGACURE 379(チバ製:実施例31)、IRGACURE 907(チバ製:実施例32)単独に置き換えた以外は実施例3と同様に行ない、同様に評価して表4に示す結果を得た。
[Examples 28 to 32]
In the formulation 3 of the coating solution for the photosensitive resin layer of Example 3, the total amount of the mixture of photopolymerization initiators was not changed, but 2,4-bis- (trichloromethyl) -6- [4- (N, N -Diethoxycarbonylmethylamino) -3-bromophenyl] -s-triazine (Example 28), 2-trichloromethyl-5- (p-styrylstyryl) -1,3,4-oxadiazole (Example 29) ), Oxime initiator IRGACURE OXE 01 (Ciba: Example 30), acetophenone initiator IRGACURE 379 (Ciba: Example 31), IRGACURE 907 (Ciba: Example 32) It carried out like Example 3 and evaluated similarly, and obtained the result shown in Table 4.

(実施例33〜35、比較例14〜17)(絶縁層パターン及びオーバーコート層:転写法1種一回現像液系)
〔実施例33〕
実施例1の絶縁層パターン及びオーバーコート層の作製において、現像液を3種逐次現像液系から下記現像液Aを用いた1種一回現像液系に変更し、且つその際の現像条件を30℃60秒に変更した以外は実施例1と同様に行ない、同様に評価して表5に示す結果を得た。
(Examples 33 to 35, Comparative Examples 14 to 17) (Insulating layer pattern and overcoat layer: one transfer method for each type of transfer method)
Example 33
In the production of the insulating layer pattern and the overcoat layer in Example 1, the developer was changed from a three-type sequential developer system to a one-time developer system using the following developer A, and the development conditions at that time were changed. The procedure was the same as in Example 1 except that the temperature was changed to 30 ° C. for 60 seconds, and the results shown in Table 5 were obtained by evaluating in the same manner.

−現像液A−
・トリエタノールアミン系現像液(トリエタノールアミン30%含有、商品名:T−PD2(富士フイルム(株)製) ・・・・100部
・炭酸Na系現像液(0.38mol/リットルの炭酸水素ナトリウム、0.47mol/リットルの炭酸ナトリウム、5%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、及び安定剤含有;商品名:T−CD1(富士フイルム(株)製)
・・・・140部
・洗浄剤(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有;商品名:T−SD3(富士フイルム(株)製) ・・・・100部
・純水 ・・・・660部
・水酸化カリウム系現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製) ・・・・・10部
-Developer A-
Triethanolamine developer (containing 30% triethanolamine, trade name: T-PD2 (manufactured by FUJIFILM Corporation)) 100 parts Na carbonate developer (0.38 mol / liter hydrogen carbonate Contains sodium, 0.47 mol / liter sodium carbonate, 5% sodium dibutylnaphthalenesulfonate, anionic surfactant, antifoaming agent and stabilizer; trade name: T-CD1 (manufactured by FUJIFILM Corporation)
・ ・ ・ ・ 140 parts ・ Cleaning agent (phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer included; trade name: T-SD3 (manufactured by FUJIFILM Corporation) ・ ・ ・ ・ 100 parts ・Pure water ··· 660 parts · Potassium hydroxide developer CDK-1 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd.) ··· 10 parts

〔実施例34〕
実施例33において感光性樹脂層用塗布液処方1(光重合開始剤(C)/重合性化合物(B)=4.92%)の代わりに実施例3で用いた感光性樹脂層用塗布液処方3(光重合開始剤(C)/重合性化合物(B)= (光重合開始剤(C)/重合性化合物(B)=2.46%)を用いた以外は実施例33と同様に行ない、同様に評価して表5に示す結果を得た。
Example 34
Coating liquid for photosensitive resin layer used in Example 3 instead of coating liquid formulation 1 for photosensitive resin layer (photopolymerization initiator (C) / polymerizable compound (B) = 4.92%) in Example 33 Similar to Example 33 except that Formulation 3 (photopolymerization initiator (C) / polymerizable compound (B) = (photopolymerization initiator (C) / polymerizable compound (B) = 2.46%) was used. The results shown in Table 5 were obtained by evaluating in the same manner.

〔実施例35〕
実施例34において現像液Aから水酸化カリウム系現像液CDK−1を除去した幻像液Bに変更した以外は実施例34と同様に行ない、同様に評価して表5に示す結果を得た。
Example 35
Example 34 was carried out in the same manner as in Example 34 except that the phantom image solution B in which the potassium hydroxide developer CDK-1 was removed from the developer A in Example 34 was evaluated in the same manner, and the results shown in Table 5 were obtained.

〔比較例14〕
実施例34において感光性樹脂層用塗布液処方3の代わりに、感光性樹脂層用塗布液処方3において使用した全ての重合性化合物の代わりに、特開2002−212235号公報の合成例1のアクリル酸エステル混合物(A−1)(W1+W2=79.8、W2/W1=11.9)を用いた以外は実施例34と同様に行ない、同様に評価して表5に示す結果を得た。
[Comparative Example 14]
Instead of the coating solution formulation 3 for the photosensitive resin layer in Example 34, instead of all the polymerizable compounds used in the coating solution formulation 3 for the photosensitive resin layer, the synthesis example 1 of JP-A-2002-212235 The same procedure as in Example 34 was performed except that the acrylic ester mixture (A-1) (W1 + W2 = 79.8, W2 / W1 = 11.9) was used, and the results shown in Table 5 were obtained in the same manner. .

〔比較例15〜17〕
実施例34において実施例1に用いた感光性樹脂層用塗布液の処方1の代わりに、特開平−5−78453の実施例1記載の保護膜材料用塗布液(比較例15)、特開2001−91732の実施例1に記載の組成物V1(比較例16)、特開2009−109725の実施例1記載のネガ型感光性樹脂(比較例17)を用いた以外は実施例34と同様に行ない実験を行ない、同様に評価して表5に示す結果を得た。
[Comparative Examples 15-17]
In Example 34, instead of the formulation 1 for the photosensitive resin layer coating solution used in Example 1, the coating solution for protective film material described in Example 1 of JP-A-5-78453 (Comparative Example 15), JP Similar to Example 34 except that the composition V1 described in Example 1 of 2001-91732 (Comparative Example 16) and the negative photosensitive resin described in Example 1 of JP-A 2009-109725 (Comparative Example 17) were used. An experiment was conducted and evaluated in the same manner, and the results shown in Table 5 were obtained.

(実施例36〜67、比較例18〜30)
(絶縁層パターン及びオーバーコート層:塗布法)
〔実施例36〕
実施例1と同様のパターニング工程及び熱処理工程により、カラーフィルタ基板上にフォトスペーサを作製した。
(Examples 36 to 67, Comparative Examples 18 to 30)
(Insulating layer pattern and overcoat layer: coating method)
Example 36
Photo spacers were produced on the color filter substrate by the same patterning process and heat treatment process as in Example 1.

<タッチパネル素子の作製(絶縁層パターン及びオーバーコート層:塗布法系>
〜第一導電層パターンの作製〜
実施例1の第一導電層パターンの作製方法と同様に作製した。
<Production of touch panel element (insulating layer pattern and overcoat layer: coating method system)>
~ Preparation of first conductive layer pattern ~
It produced similarly to the preparation method of the 1st conductive layer pattern of Example 1.

〜絶縁層パターンの作製〜
得られた第一導電層パターンを有する基板に、感光性樹脂層用塗布液処方1を、スリット状ノズルを有するガラス基板用コーターMH−1600(エフ・エー・エス・アジア社製)にて、を塗布した。引き続き、真空乾燥機VCD(東京応化社製)を用いて30秒間溶媒の一部を乾燥させて塗布膜の流動性をなくした後、100℃で3分間プリベークして膜厚1.38μmの感光性樹脂組成物層を形成した(層形成工程)。
プロキシミティ露光量をi線250mJ/cm、炭酸Na系現像液を用いた現像は25℃60秒で行なった。以降は実施例1の外は絶縁層パターンの作製と同様に行なった。
~ Preparation of insulating layer pattern ~
On the obtained substrate having the first conductive layer pattern, the coating solution formulation 1 for the photosensitive resin layer is applied to a glass substrate coater MH-1600 (manufactured by FAS Asia) having a slit-like nozzle. Was applied. Subsequently, a part of the solvent was dried for 30 seconds using a vacuum dryer VCD (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) to remove the fluidity of the coating film, and then pre-baked at 100 ° C. for 3 minutes to obtain a 1.38 μm thick photosensitive film. A functional resin composition layer was formed (layer forming step).
Proximity exposure was 250 mJ / cm 2 i-line, and development using a sodium carbonate developer was performed at 25 ° C. for 60 seconds. Thereafter, the processes other than Example 1 were performed in the same manner as the production of the insulating layer pattern.

〜第二導電層パターンの作製〜
実施例1の第二導電層パターンの作製方法と同様に作製した。
~ Preparation of second conductive layer pattern ~
It produced similarly to the preparation method of the 2nd conductive layer pattern of Example 1.

〜オーバーコート層の作製〜
得られた第二導電層パターン付きガラス基板に、上記絶縁層パターンの作製方法と同様に塗布、プリベーク露光、現像、ベークして絶縁層パターンを形成した。但し、マスクは絶縁層パターン作製用マスクを使用に変更して行なった。
-Production of overcoat layer-
The obtained glass substrate with the second conductive layer pattern was coated, pre-baked, developed, and baked in the same manner as the method for producing the insulating layer pattern to form an insulating layer pattern. However, the mask was changed to use an insulating layer pattern preparation mask.

<液晶表示装置の作製>
実施例1と同様にして液晶表示装置の作製を行ない、実施例1と同様に評価して表6、表7に示す結果を得た。
<Production of liquid crystal display device>
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1, and evaluated in the same manner as in Example 1 to obtain the results shown in Tables 6 and 7.

〔実施例37〜67、比較例18〜30〕
実施例36の感光性樹脂層用塗布液の処方1の代わりに表2〜4に示す実施例2〜27及び比較例1〜13で用いた感光性樹脂層用塗布液を用いた以外は実施例36と同様に行ない、同様に評価して表6及び表7に示す結果を得た。
[Examples 37 to 67, Comparative Examples 18 to 30]
It implemented except having used the coating liquid for photosensitive resin layers used in Examples 2-27 and Comparative Examples 1-13 shown in Tables 2-4 instead of the formulation 1 of the coating liquid for photosensitive resin layers of Example 36. It carried out similarly to Example 36, evaluated similarly, and obtained the result shown in Table 6 and Table 7.

上記結果より、本発明の感光性組成物は、パターン露光後の現像性が良好で、現像残渣も認められず、形成された樹脂パターンは、絶縁性、透明性、耐アルカリ性等の諸特性に優れ、タッチパネル素子に用いる絶縁層及びオーバーコート層を作製するために有用であることがわかる。   From the above results, the photosensitive composition of the present invention has good developability after pattern exposure, no development residue is observed, and the formed resin pattern has various properties such as insulation, transparency, and alkali resistance. It can be seen that it is excellent and useful for producing an insulating layer and an overcoat layer used for a touch panel element.

Claims (13)

(A)側鎖に酸性基を有する樹脂と、(B)下記一般式(b1)で表される重合性化合物及び一般式(b2)で表される重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を含み、
重合性化合物の総含有量に対する、該一般式(b1)で表される重合性化合物の含有率をW1(質量%)、該一般式(b2)で表される重合性化合物の含有率をW2(質量%)としたとき、W1とW2とが、下記式(1)及び式(2)に示す関係を満たし、
かつ、重合性化合物の総含有量に対する、該(C)光重合開始剤の含有比〔(C)の含有量/重合性化合物の総含有量〕が、0.6以上5未満である感光性組成物。
0.6≦W2/W1≦3.0 ・・・・式(1)
63質量%≦W1+W2≦100質量% ・・・・式(2)

(前記一般式(b1)中、Xは、水素原子又はHC=C(R)−C(O)−を表す。複数存在するXは互いに同じでも異なっていてもよい。但し、分子中のXのうち、少なくとも4個はHC=C(R)−C(O)−を表す。Rは、水素原子又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。)

(前記一般式(b2)中、Xは、水素原子又はHC=C(R)−C(O)−を表す。複数存在するXは互いに同じでも異なっていてもよい。但し、分子中のXのうち、少なくとも6個はHC=C(R)−C(O)−を表す。Rは、水素原子又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。)
(A) a resin having an acidic group in the side chain, (B) a polymerizable compound represented by the following general formula (b1) and a polymerizable compound represented by the general formula (b2), and (C) photopolymerization initiation An agent,
The content of the polymerizable compound represented by the general formula (b1) with respect to the total content of the polymerizable compound is W1 (mass%), and the content of the polymerizable compound represented by the general formula (b2) is W2. When (mass%), W1 and W2 satisfy the relationship shown in the following formulas (1) and (2),
And the photosensitivity whose content ratio [content of (C) / total content of polymeric compound] of this (C) photoinitiator with respect to the total content of a polymeric compound is 0.6 or more and less than 5 Composition.
0.6 ≦ W2 / W1 ≦ 3.0 Formula (1)
63% by mass ≦ W1 + W2 ≦ 100% by mass (2)

(In the general formula (b1), X represents a hydrogen atom or H 2 C═C (R) —C (O) —. A plurality of X may be the same as or different from each other, provided that in the molecule. At least 4 of X in the formulas represent H 2 C═C (R) —C (O) —, where R represents a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.

(In the general formula (b2), X represents a hydrogen atom or H 2 C═C (R) —C (O) —. A plurality of X may be the same or different from each other, provided that in the molecule. At least 6 of X's represent H 2 C═C (R) —C (O) —, where R represents a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
前記(B)重合性化合物とは構造の異なる重合性化合物をさらに含む請求項1に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 1, further comprising a polymerizable compound having a structure different from that of the polymerizable compound (B). 含有される重合性化合物の総含有量の、前記(A)樹脂の含有量に対する質量比率〔(重合性化合物の総含有量)/(A)の含有量〕が0.45〜1.6である請求項1又は請求項2に記載の感光性組成物。   The mass ratio [(total content of polymerizable compound) / (A) content] of the total content of the polymerizable compounds contained to the content of the resin (A) is 0.45 to 1.6. The photosensitive composition of any one of Claims 1 or 2. 仮支持体上に、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の感光性組成物からなる感光性樹脂層を少なくとも有する感光性樹脂転写フィルム。   The photosensitive resin transfer film which has at least the photosensitive resin layer which consists of a photosensitive composition of any one of Claims 1-3 on a temporary support body. 前記感光性樹脂層と前記仮支持体の間に、酸素遮断層および熱可塑性樹脂層の少なくとも一方を有する請求項4に記載の感光性樹脂転写フィルム。   The photosensitive resin transfer film of Claim 4 which has at least one of an oxygen interruption | blocking layer and a thermoplastic resin layer between the said photosensitive resin layer and the said temporary support body. 基板上に、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の感光性組成物を用いて感光性樹脂層を設ける感光性樹脂層形成工程と、感光性樹脂層をパターン露光する露光工程と、露光された感光性樹脂層を現像して、パターン状の樹脂層を形成する現像工程と、現像により得られたパターン状の樹脂層を加熱する加熱工程を含む樹脂パターンの製造方法。   The photosensitive resin layer formation process which provides a photosensitive resin layer using the photosensitive composition of any one of Claims 1-3 on a board | substrate, and the exposure process which carries out pattern exposure of the photosensitive resin layer And a developing process of developing the exposed photosensitive resin layer to form a patterned resin layer, and a heating process of heating the patterned resin layer obtained by development. 前記感光性樹脂層形成工程が、前記感光性組成物を基板上に、塗布、乾燥する工程である請求項6に記載の樹脂パターンの製造方法。   The method for producing a resin pattern according to claim 6, wherein the photosensitive resin layer forming step is a step of applying and drying the photosensitive composition on a substrate. 基板上に、請求項4又は請求項5に記載の感光性樹脂転写フィルムを用いて感光性樹脂層を設ける感光性樹脂層形成工程と、感光性樹脂層をパターン露光する露光工程と、露光された感光性樹脂層を現像して、パターン状の樹脂層を形成する現像工程と、現像により得られたパターン状の樹脂層を加熱する加熱工程を含む樹脂パターンの製造方法。   A photosensitive resin layer forming step of providing a photosensitive resin layer on the substrate using the photosensitive resin transfer film according to claim 4 or 5, an exposure step of pattern exposure of the photosensitive resin layer, and exposure. A method for producing a resin pattern, comprising: a developing step of developing the photosensitive resin layer to form a patterned resin layer; and a heating step of heating the patterned resin layer obtained by development. 前記感光性樹脂層形成工程が、前記感光性樹脂転写フィルムが有する感光性樹脂層を基板に接触させ、加熱及び加圧の少なくとも一方を行って、前記仮支持体より前記基板上に感光性樹脂層を転写する工程である請求項8に記載の樹脂パターンの製造方法。     In the photosensitive resin layer forming step, the photosensitive resin layer of the photosensitive resin transfer film is brought into contact with the substrate, and at least one of heating and pressurization is performed, and the photosensitive resin is formed on the substrate from the temporary support. The method for producing a resin pattern according to claim 8, which is a step of transferring a layer. 前記基板上に設けられた感光性樹脂層の厚みが0.7μm〜3.0μmの範囲である請求項6から請求項9のいずれか1項に記載の樹脂パターンの製造方法。   The method for producing a resin pattern according to any one of claims 6 to 9, wherein a thickness of the photosensitive resin layer provided on the substrate is in a range of 0.7 µm to 3.0 µm. 請求項6から請求項10のいずれか1項に記載の樹脂パターンの製造方法により得られた樹脂パターン。   The resin pattern obtained by the manufacturing method of the resin pattern of any one of Claims 6-10. 請求項11に記載の樹脂パターンを備えた液晶表示装置用基板。   The board | substrate for liquid crystal display devices provided with the resin pattern of Claim 11. 請求項12に記載の液晶表示装置用基板を備えた液晶表示装置。   A liquid crystal display device comprising the substrate for a liquid crystal display device according to claim 12.
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