JP4389582B2 - Photosensitive resin composition - Google Patents

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本発明は、感光性樹脂組成物およびそれを用いるカラーフィルタに関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition and a color filter using the same.

近年、液晶素子に色分解用カラーフィルタを組み合わせたカラー液晶表示素子が種々提案されている。ここで、カラーフィルタとは、光透過性基板上に形成された赤、緑、青の3原色の画素を一絵素とした多数の絵素から構成され、各画素間には、表示コントラストを高めるために、一定の幅をもつ遮光領域(ブラックマトリクス)が設けられている場合もある。また、フォトスペーサー、着色パターンの膜厚をあわせるための透明コート材、透明電極を配しているものもある。
このような画素およびブラックマトリクスを構成する樹脂成分として、また、フォトスペーサー、着色パターンの膜厚をあわせるための透明コート材(以下、透明コート材等ということがある。)に用いる樹脂成分として、従来、シロキサンポリマー、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等が使用されてきた。
しかしながら、上記の樹脂を含む従来具体的に知られていた組成物を用いて透明コート材等を形成すると、得られた透明膜の表面に荒れが発生するものがあるため、光散乱により透過率が低下して、透明コート材等として機能しにくかったり、解像度がわるかったりという問題があった。
In recent years, various color liquid crystal display elements in which a color separation color filter is combined with a liquid crystal element have been proposed. Here, the color filter is composed of a large number of picture elements each composed of three primary colors of red, green, and blue formed on a light-transmitting substrate, and a display contrast is provided between the pixels. In some cases, a light-shielding region (black matrix) having a certain width is provided to increase the height. There are also photo spacers, transparent coating materials for adjusting the thickness of the colored pattern, and transparent electrodes.
As a resin component constituting such a pixel and a black matrix, and as a resin component used for a transparent coating material (hereinafter sometimes referred to as a transparent coating material) for adjusting the film thickness of a photo spacer and a colored pattern, Conventionally, siloxane polymers, polyimide resins, epoxy resins, acrylic resins, and the like have been used.
However, when a transparent coating material or the like is formed using a conventionally known composition containing the above resin, since the surface of the obtained transparent film may be rough, the transmittance due to light scattering As a result, there was a problem that it was difficult to function as a transparent coating material or the like, and the resolution was poor.

さらに、現像時に除去されるべき部分の除去性が悪く基板上に残存することがあると(以下、「抜け性が悪い。」ということがある。)、半透過型カラーフィルタに使用する場合、反射部と透過部の境で色が異なり、これがカラー液晶表示装置により表示されるカラー画像やカラー固体撮像素子により撮影されるカラー画像などの品質を低下させることになる。さらに抜け性が悪いと、フォトスペーサーに使用する場合、フォトスペーサーの大きさとしては、例えば、数μm角から20μm角程度が一般に用いられていることから(特許文献1)、抜け性が悪いとフォトスペーサーの大きさをコントロールできないという問題があった。
逆に、抜け性が良好すぎると、透明レジストのように細線を抜く場合は性能良好であるが、フォトスペーサーのような細いパターンを残すだけであると密着性が不良となり、現像工程でパターンが飛んでしまうという問題がある。
また、優れた光硬化性(熱硬化が不要)と現像性を有し、基板密着性と硬化性に優れ、更に長期保存安定性と使用環境依存性が良好で、LCD用スペーサーの形成用として好適な放射線硬化性組成物が知られているが、その実施例において、具体的に例示されているバインダーポリマーとしては、(メタ)クリロイル基とともにイソホロンジイソシアナートから導かれる構成単位を有しているもの(特許文献2参照)、またバインダーポリマーがスチレン系樹脂であるもの(特許文献1参照)が知られている。
Furthermore, when the portion to be removed at the time of development is poor and may remain on the substrate (hereinafter, sometimes referred to as “poor detachment”), when used in a transflective color filter, The color is different at the boundary between the reflection part and the transmission part, and this deteriorates the quality of a color image displayed by the color liquid crystal display device or a color image taken by the color solid-state imaging device. Further, when the omission is poor, when used for a photospacer, the size of the photospacer is, for example, generally about several μm square to 20 μm square (Patent Document 1). There was a problem that the size of the photo spacer could not be controlled.
On the other hand, if the omission is too good, the performance is good when a fine line is drawn like a transparent resist, but if only a thin pattern such as a photo spacer is left, the adhesion becomes poor, and the pattern is not developed in the development process. There is a problem of flying.
In addition, it has excellent photocurability (no need for heat curing) and developability, excellent substrate adhesion and curability, long-term storage stability and good use environment dependence, and for LCD spacer formation Although suitable radiation-curable compositions are known, in the examples, the binder polymer specifically exemplified includes a structural unit derived from isophorone diisocyanate together with a (meth) acryloyl group. There are known ones (see Patent Document 2) and those in which the binder polymer is a styrene resin (see Patent Document 1).

特開2001−92128号公報 3頁右欄49行目−4頁左欄3行目、2頁右欄2行目−5行目JP, 2001-92128, A 3rd page right column 49th line-4th page left column 3rd line, 2nd page right column 2nd line-5th line 特開2002−20442号公報 3頁右欄6行目−31行目、13頁左欄3行目−39行目JP, 2002-20442, A page 3 right column 6th line-31st line, page 13 left column 3rd line-39th line

本発明の目的は、塗布性良好で、表面荒れおよび透過率低下がなく、微細なパターンまで解像可能であることから抜け性が良好であり、さらに、フォトスペーサーのような細いパターンを残すこともできる、新たな透明膜形成用感光性樹脂組成物を提供することにある。   The object of the present invention is that the coating property is good, the surface is not rough and the transmittance is not lowered, and even fine patterns can be resolved, so that the omission is good, and a thin pattern such as a photo spacer is left. Another object is to provide a new photosensitive resin composition for forming a transparent film.

本発明者は、前記の課題を解決しうる新たな手段について鋭意検討の結果、特定の不飽和基含有バインダー樹脂と特定の光重合開始剤とを含む感光性樹脂組成物が前述の課題を解決できることを見出し、本発明に至った。
すなわち本発明は、 (A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)光重合開始助剤および(E)溶剤を含む感光性樹脂組成物において、(A)バインダー樹脂が、下記(A1)〜(A3)を共重合させて得られる共重合体と、さらに(A4)とを反応させて得られる不飽和基含有樹脂であり、かつ(C)光重合開始剤が、少なくとも1種のアセトフェノン化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
(A1);一分子中にトリシクロデカン骨格およびジシクロペンタジエン骨格からなる群から選ばれる少なくとも1種の骨格と、不飽和結合とを有する化合物
(A2);(A1)および(A3)と共重合可能な不飽和結合を有する化合物
(A3);不飽和カルボン酸
(A4);一分子中に不飽和結合とエポキシ基とを有する化合物
また、本発明は、前記の感光性樹脂組成物を、基板または先に形成された感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された感光性樹脂組成物層から揮発成分を除去し、フォトマスクを介して該層を露光し、現像するパターン、前記のパターンからなるスペーサ、前記のスペーサを含むカラーフィルタおよび前記のカラーフィルタを使用した液晶表示装置を提供するものである。
As a result of intensive studies on new means that can solve the above-mentioned problems, the present inventors have solved the above-mentioned problems with a photosensitive resin composition containing a specific unsaturated group-containing binder resin and a specific photopolymerization initiator. As a result, the inventors have found out that the present invention can be achieved.
That is, the present invention relates to a photosensitive resin composition comprising (A) a binder polymer, (B) a photopolymerizable compound, (C) a photopolymerization initiator, (D) a photopolymerization initiation assistant, and (E) a solvent. A) The binder resin is an unsaturated group-containing resin obtained by reacting a copolymer obtained by copolymerizing the following (A1) to (A3) with (A4), and (C) light A photosensitive resin composition, wherein the polymerization initiator contains at least one acetophenone compound.
(A1); Compound (A2) having at least one skeleton selected from the group consisting of a tricyclodecane skeleton and a dicyclopentadiene skeleton and an unsaturated bond in one molecule; and (A1) and (A3) Compound (A3) having polymerizable unsaturated bond; Unsaturated carboxylic acid (A4); Compound having unsaturated bond and epoxy group in one molecule. In addition, the present invention provides the above-mentioned photosensitive resin composition, It is applied onto a substrate or a layer made of a solid content of a photosensitive resin composition previously formed, volatile components are removed from the applied photosensitive resin composition layer, and the layer is exposed through a photomask, The present invention provides a pattern to be developed, a spacer composed of the pattern, a color filter including the spacer, and a liquid crystal display device using the color filter.

本発明の感光性樹脂組成物によれば、塗布性良好で、表面荒れがなく、粒状異物等の塗布欠陥が発生せず、微細なパターンまで解像可能であることから抜け性が良好であり、さらに、フォトスペーサーのような細いパターンを残すこともできる感光性樹脂組成物を提供することができ、液晶表示装置を構成する透明材料、例えば、フォトスペーサー、着色パターンの膜厚を合わせるための透明コート層などを形成するのに有用である。   According to the photosensitive resin composition of the present invention, the coating property is good, the surface is not rough, the coating defect such as particulate foreign matter does not occur, and the fine pattern can be resolved, so that the removal property is good. Furthermore, it is possible to provide a photosensitive resin composition that can leave a thin pattern such as a photospacer, and to make the film thickness of a transparent material that constitutes a liquid crystal display device, for example, a photospacer or a colored pattern, match. It is useful for forming a transparent coat layer and the like.

本発明の感光性樹脂組成物に用いられるバインダー樹脂(A)は、一般に、光や熱の作用による反応性およびアルカリ溶解性を有し、また着色材料の分散媒として作用するものである。本発明の感光性樹脂組成物に用いられるバインダー樹脂(A)は、下記(A1)〜(A3)を共重合させて得られる共重合体に、さらに(A4)を反応させて得られる不飽和基含有樹脂である。
(A1);一分子中にトリシクロデカン骨格およびジシクロペンタジエン骨格からなる群から選ばれる少なくとも1種の骨格と、不飽和結合とを有する化合物
(A2);(A1)および(A3)と共重合可能な不飽和結合を有する化合物
(A3);不飽和カルボン酸
(A4);一分子中に不飽和結合とエポキシ基とを有する化合物
The binder resin (A) used in the photosensitive resin composition of the present invention generally has reactivity and alkali solubility due to the action of light and heat, and acts as a dispersion medium for coloring materials. The binder resin (A) used in the photosensitive resin composition of the present invention is unsaturated obtained by further reacting (A4) with a copolymer obtained by copolymerizing the following (A1) to (A3). It is a group-containing resin.
(A1); Compound (A2) having at least one skeleton selected from the group consisting of a tricyclodecane skeleton and a dicyclopentadiene skeleton and an unsaturated bond in one molecule; and (A1) and (A3) Compound (A3) having polymerizable unsaturated bond; Unsaturated carboxylic acid (A4); Compound having unsaturated bond and epoxy group in one molecule

前記の一分子中に不飽和結合とトリシクロデカン骨格および/またはジシクロペンタジエン骨格を有する化合物(A1)としては、具体的には、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレートが挙げられる。これらは、それぞれ単独で、または両者を組み合わせて用いることができる。ここで、本明細書中における(メタ)アクリレートの記載は、アクリレートおよび/またはメタクリレートを表す。   Specific examples of the compound (A1) having an unsaturated bond and a tricyclodecane skeleton and / or a dicyclopentadiene skeleton in one molecule include dicyclopentanyl (meth) acrylate and dicyclopentenyl (meth). Examples include acrylate, dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate, and dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate. These can be used alone or in combination. Here, description of (meth) acrylate in this specification represents an acrylate and / or a methacrylate.

前記の、(A1)および(A3)と共重合可能な不飽和結合を有する化合物(A2)としては、具体的には、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートおよびアミノエチル(メタ)アクリレートのような不飽和カルボン酸の無置換または置換アルキルエステル;
シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘプチル(メタ)アクリレート、シクロオクチル(メタ)アクリレート、メンチル(メタ)アクリレート、シクロペンテニル(メタ)アクリレート、シクロヘキセニル(メタ)アクリレート、シクロヘプテニル(メタ)アクリレート、シクロオクテニル(メタ)アクリレート、メンタジエニル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ピナニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、ノルボルネニル(メタ)アクリレート、ピネニル(メタ)アクリレートのような不飽和カルボン酸の脂環式基を含むエステル化合物;
オリゴエチレングリコールモノアルキル(メタ)アクリレートのようなグリコール類のモノ飽和カルボン酸エステル化合物;
ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシ(メタ)アクリレートのような不飽和カルボン酸の芳香環を含むエステル化合物;
スチレン、α−メチルスチレンおよびビニルトルエンのような芳香族ビニル化合物;
酢酸ビニルおよびプロピオン酸ビニルのようなカルボン酸ビニルエステル;
(メタ)アクリロニトリルおよびα−クロロアクリロニトリルのようなシアン化ビニル化合物;
N−シクロヘキシルマレイミドやN−フェニルマレイミドのようなマレイミド化合物などが挙げられる。これらは、それぞれ単独で、または両者を組み合わせて用いることができる。
Specific examples of the compound (A2) having an unsaturated bond copolymerizable with (A1) and (A3) include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, Unsubstituted or substituted alkyl esters of unsaturated carboxylic acids such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and aminoethyl (meth) acrylate;
Cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, methylcyclohexyl (meth) acrylate, cycloheptyl (meth) acrylate, cyclooctyl (meth) acrylate, menthyl (meth) acrylate, cyclopentenyl (meth) acrylate, cyclohexenyl (meta) ) Acrylate, cycloheptenyl (meth) acrylate, cyclooctenyl (meth) acrylate, mentadienyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, pinanyl (meth) acrylate, adamantyl (meth) acrylate, norbornenyl (meth) acrylate, pinenyl (meth) acrylate An ester compound containing an alicyclic group of an unsaturated carboxylic acid such as
Monosaturated carboxylic acid ester compounds of glycols such as oligoethylene glycol monoalkyl (meth) acrylate;
Ester compounds containing an aromatic ring of an unsaturated carboxylic acid such as benzyl (meth) acrylate and phenoxy (meth) acrylate;
Aromatic vinyl compounds such as styrene, α-methylstyrene and vinyltoluene;
Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate and vinyl propionate;
Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile and α-chloroacrylonitrile;
Examples thereof include maleimide compounds such as N-cyclohexylmaleimide and N-phenylmaleimide. These can be used alone or in combination.

前記の不飽和カルボン酸(A3)としては、具体的には、アクリル酸およびメタクリル酸が挙げられる。アクリル酸およびメタクリル酸は、それぞれ単独で、または両者を組み合わせて用いることができる。また、これらのアクリル酸やメタクリル酸に加えて、その他の酸を用いることができる。その他の酸としては、具体的に、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸など、他の不飽和カルボン酸から選ばれる少なくとも1種のカルボン酸を併用することもできる。また、α−(ヒドロキシメチル)アクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基およびカルボキシル基を含有するモノマーを併用することもできる。   Specific examples of the unsaturated carboxylic acid (A3) include acrylic acid and methacrylic acid. Acrylic acid and methacrylic acid can be used alone or in combination. In addition to these acrylic acid and methacrylic acid, other acids can be used. Specifically, as the other acid, at least one carboxylic acid selected from other unsaturated carboxylic acids such as crotonic acid, itaconic acid, maleic acid and fumaric acid can be used in combination. A monomer containing a hydroxy group and a carboxyl group in the same molecule, such as α- (hydroxymethyl) acrylic acid, can also be used in combination.

まず、本発明における(A1)〜(A3)を共重合させて得られる共重合体において、(A1)〜(A3)のそれぞれから導かれる構成成分の比率が、前記の共重合体を構成する構成成分の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
(A1)から導かれる構成単位;2〜30モル%
(A2)から導かれる構成単位;2〜95モル%
(A3)から導かれる構成単位;2〜70モル%
また、前記の構成成分の比率が以下の範囲であると、より好ましい。
(A1)から導かれる構成単位;5〜25モル%
(A2)から導かれる構成単位;5〜80モル%
(A3)から導かれる構成単位;5〜60モル%
前記の構成比率が、上記の範囲にあると、現像性、可とう性および耐熱性のバランスが良好であり、好ましい幹ポリマーが得られる。
また、さらに、次に、前記の共重合体に(A4)を付加してバインダー樹脂に光/熱硬化性を付与することができる。
前記の一分子中に不飽和結合とエポキシ基を有する化合物(A4)としては、具体的には、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレートが挙げられる。好ましくは、グリシジル(メタ)アクリレートが挙げられる。これらはそれぞれ単独で、または二種以上を組み合わせて用いることができる。
(A4)の付加量は、(A1)〜(A3)を重合させて得られた樹脂中のカルボキシル基(A3成分に由来)に対して、5〜90モル%、好ましくは10〜80モル%である。
(A4)の組成比が上記範囲内にあると、十分な光硬化性や熱硬化性が得られ、感度と鉛筆硬度を両立し、信頼性に優れるので好ましい。
First, in the copolymer obtained by copolymerizing (A1) to (A3) in the present invention, the ratio of the components derived from each of (A1) to (A3) constitutes the copolymer. It is preferable to be in the following range in terms of mole fraction with respect to the total number of moles of the constituent components.
Structural units derived from (A1); 2 to 30 mol%
Structural units derived from (A2); 2 to 95 mol%
Structural units derived from (A3); 2 to 70 mol%
Moreover, it is more preferable in the ratio of the said structural component being the following ranges.
Structural units derived from (A1); 5 to 25 mol%
Structural units derived from (A2); 5 to 80 mol%
Structural units derived from (A3); 5 to 60 mol%
When the composition ratio is in the above range, the balance of developability, flexibility and heat resistance is good, and a preferable trunk polymer is obtained.
Furthermore, next, (A4) can be added to the copolymer to impart photo / thermosetting properties to the binder resin.
Specific examples of the compound (A4) having an unsaturated bond and an epoxy group in one molecule include glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, and 3,4-epoxycyclohexylmethyl. (Meth) acrylate and methyl glycidyl (meth) acrylate are mentioned. Preferably, glycidyl (meth) acrylate is used. These can be used alone or in combination of two or more.
The amount of (A4) added is 5 to 90 mol%, preferably 10 to 80 mol%, based on the carboxyl group (derived from the A3 component) in the resin obtained by polymerizing (A1) to (A3). It is.
When the composition ratio of (A4) is within the above range, sufficient photocurability and thermosetting are obtained, both sensitivity and pencil hardness are achieved, and reliability is preferable.

前記のバインダー樹脂(A)は、そのポリスチレン換算の重量平均分子量が3,000〜100,000の範囲にあることが好ましく、5,000〜50,000の範囲にあることがより好ましい。バインダー樹脂(A)の重量平均分子量が、3,000〜100,000の範囲にあると、現像時に膜減りが生じにくく、また現像時に非画素部分の抜け性が良好である傾向にあり、好ましい。
バインダー樹脂(A)の分子量分布[重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]は、1.5〜6.0であることが好ましく、1.8〜4.0であることがより好ましい。分子量分布[重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]が、1.5〜6.0であると、現像性に優れるので好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物に用いられるバインダー樹脂(A)は、着色感光性樹脂組成物中の全固形分に対して、通常5〜90質量%、好ましくは10〜70質量%の範囲で含有される。バインダー樹脂(A)の含有量が、前記の基準で5〜90質量%であると、現像液への溶解性が十分であり、非画素部分の基板上に現像残渣が発生しにくく、また現像時に露光部の画素部分の膜減りが生じにくく、非画素部分の抜け性が良好な傾向にあり、好ましい。
The binder resin (A) preferably has a polystyrene-equivalent weight average molecular weight in the range of 3,000 to 100,000, and more preferably in the range of 5,000 to 50,000. When the weight average molecular weight of the binder resin (A) is in the range of 3,000 to 100,000, film loss is unlikely to occur during development, and non-pixel portion omission tends to be good during development, which is preferable. .
The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of the binder resin (A) is preferably 1.5 to 6.0, more preferably 1.8 to 4.0. preferable. A molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of 1.5 to 6.0 is preferable because of excellent developability.
The binder resin (A) used in the colored photosensitive resin composition of the present invention is usually in the range of 5 to 90% by mass, preferably 10 to 70% by mass, based on the total solid content in the colored photosensitive resin composition. Contained. When the content of the binder resin (A) is 5 to 90% by mass on the basis of the above, the solubility in the developer is sufficient, and a development residue is hardly generated on the non-pixel portion of the substrate. It is sometimes preferable because the film thickness of the pixel portion of the exposed portion is less likely to occur, and the non-pixel portion tends to be easily removed.

本発明の感光性樹脂組成物に用いられる(B)光重合性化合物は、光を照射されることによって光重合開始剤から発生した活性ラジカル、酸などによって重合しうる化合物であって、例えば、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。   The photopolymerizable compound (B) used in the photosensitive resin composition of the present invention is a compound that can be polymerized by an active radical, an acid, or the like generated from a photopolymerization initiator when irradiated with light, for example, Examples thereof include a compound having a polymerizable carbon-carbon unsaturated bond.

前記の(B)光重合性化合物は、4官能以上の多官能の光重合性化合物であることが好ましい。4官能以上の多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。該光重合性化合物は、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて用いられ、その含有量は感光性樹脂組成物の質量分率で通常5質量%以上90質量%以下、好ましくは10質量%以上80質量%以下、とりわけ好ましくは20質量%以上70質量%以下の範囲で用いられる。   The (B) photopolymerizable compound is preferably a tetrafunctional or higher polyfunctional photopolymerizable compound. Examples of the tetrafunctional or higher polyfunctional photopolymerizable compound include pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate and the like. Is mentioned. These photopolymerizable compounds are used alone or in combination of two or more, and the content thereof is usually 5% by mass or more and 90% by mass or less, preferably 10% by mass or more in terms of the mass fraction of the photosensitive resin composition. It is used in the range of 80% by mass or less, particularly preferably 20% by mass or more and 70% by mass or less.

本発明の感光性樹脂組成物に用いられる(C)光重合開始剤は、少なくとも1種のアセトフェノン系化合物を含む。アセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマーなどが挙げられ、好ましくは2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オンなどが挙げられる。
また、複数のアセトフェノン系およびその他の光重合開始剤を組み合わせて使用してもよい。
アセトフェノン系以外の光重合開始剤は、光を照射されることによって活性ラジカルを発生する活性ラジカル発生剤、増感剤などが挙げられる。
前記の活性ラジカル発生剤としては、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物などが挙げられる。
The photopolymerization initiator (C) used in the photosensitive resin composition of the present invention contains at least one acetophenone compound. Examples of the acetophenone compound include diethoxyacetophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl). ) Propan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethyl ketal, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] propane -1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, oligomers of 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one, and the like, preferably 2-methyl -2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one and the like
A plurality of acetophenone-based and other photopolymerization initiators may be used in combination.
Examples of photopolymerization initiators other than acetophenone are active radical generators and sensitizers that generate active radicals when irradiated with light.
Examples of the active radical generator include benzoin compounds, benzophenone compounds, thioxanthone compounds, and triazine compounds.

前記のベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。   Examples of the benzoin-based compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether.

前記のベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。   Examples of the benzophenone compounds include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ′, 4,4′-tetra (t-butyl). Peroxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, and the like.

前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.

前記のトリアジン系化合物としては、例えば、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジンなどが挙げられる。   Examples of the triazine compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- ( 4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl ] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4- Bis (trichloromethyl) ) Such -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine.

前記の活性ラジカル発生剤として、例えば、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エチルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。   Examples of the active radical generator include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2 '-Biimidazole, 10-butyl-2-chloroacridone, 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methyl phenylglyoxylate, titanocene compound and the like can also be used.

前記の酸発生剤としては、例えば、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムp−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムp−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などを挙げることができる。   Examples of the acid generator include 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-acetoxyphenyl, Onium salts such as methyl benzylsulfonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium p-toluenesulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium p-toluenesulfonate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate, and nitrobenzyl tosylate And benzoin tosylate.

また、活性ラジカル発生剤として上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化合物もあり、例えば、トリアジン系光重合開始剤は、酸発生剤としても使用される。   Among the compounds described above as active radical generators, there are also compounds that generate an acid simultaneously with active radicals. For example, triazine photopolymerization initiators are also used as acid generators.

本発明において用いられる(D)光重合開始助剤は、光重合開始剤と組み合わせて用いられ、光重合開始剤によって重合が開始された光重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物である。光重合開始助剤としては、少なくとも1種のアミン系を含む。
前記のアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。また、複数のアミン系やその他の光重合開始助剤を組み合わせて使用してもよい。その他の光重合開始助剤としては、例えば、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
The (D) photopolymerization initiation assistant used in the present invention is a compound that is used in combination with a photopolymerization initiator and is used to promote polymerization of a photopolymerizable compound that has been polymerized by the photopolymerization initiator. is there. The photopolymerization initiation assistant includes at least one amine system.
Examples of the amine compound include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, and 2-dimethylbenzoate. Aminoethyl, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Michler's ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4, Examples thereof include 4′-bis (ethylmethylamino) benzophenone, and among these, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone is preferable. Further, a plurality of amines and other photopolymerization initiation assistants may be used in combination. Examples of other photopolymerization initiation assistants include alkoxyanthracene compounds and thioxanthone compounds.

前記のアルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。   Examples of the alkoxyanthracene-based compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene, and the like. Can be mentioned.

前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.

光重合開始助剤として市販のものを用いることもでき、市販の光重合開始助剤としては、例えば、商品名「EAB−F」(保土谷化学工業(株)製)などが挙げられる。   Commercially available photopolymerization initiation assistants can also be used, and examples of commercially available photopolymerization initiation assistants include trade name “EAB-F” (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.).

本発明の感光性樹脂組成物における(C)光重合開始剤および(D)光重合開始助剤の組み合わせとしては、ジエトキシアセトフェノン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンジルジメチルケタール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマー/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンの組み合わせなどが挙げられ、好ましくは2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンの組み合わせが挙げられる。   Examples of the combination of (C) the photopolymerization initiator and (D) the photopolymerization initiation assistant in the photosensitive resin composition of the present invention include diethoxyacetophenone / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-methyl-2. -Morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one / 4,4'- Bis (diethylamino) benzophenone, benzyldimethyl ketal / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one / 4 4′-bis (diethylamino) benzophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone / , 4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one oligomer / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, Examples include 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and preferably 2-methyl-2-morpholino- A combination of 1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone may be mentioned.

本発明の感光性樹脂組成物における(C)光重合開始剤および(D)光重合開始助剤の使用量は、その合計量が(A)バインダーポリマーおよび(B)光重合性化合物の合計量100質量部に対して通常0.1質量部以上20質量部以下、好ましくは0.5質量部以上15質量部以下、さらに好ましくは1質量部以上10質量部以下である。また、(D)光重合開始助剤の使用量は、(C)光重合開始剤1質量部あたり0.6質量部以上10質量部以下が好ましく、さらに1質量部以上8質量部以下であることが好ましく、とりわけ1.5質量部以上5質量部以下であることが好ましい。   The total amount of (C) photopolymerization initiator and (D) photopolymerization initiation assistant used in the photosensitive resin composition of the present invention is the total amount of (A) binder polymer and (B) photopolymerizable compound. The amount is usually 0.1 to 20 parts by mass, preferably 0.5 to 15 parts by mass, and more preferably 1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass. The amount of the (D) photopolymerization initiation auxiliary used is preferably 0.6 parts by mass or more and 10 parts by mass or less, and more preferably 1 part by mass or more and 8 parts by mass or less per 1 part by mass of the (C) photopolymerization initiator. In particular, it is preferably 1.5 parts by mass or more and 5 parts by mass or less.

本発明で用いられる(E)溶剤としては、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類などが挙げられる。   Examples of the (E) solvent used in the present invention include ethers, aromatic hydrocarbons, ketones, alcohols, esters, amides and the like.

前記のエーテル類としては、例えば、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、1,4−ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。
前記の芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
前記のケトン類としては、例えば、アセトン、2−ブタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプタノン、4−メチル−2−ペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。
前記のアルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。
前記のエステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
前記のアミド類としては、例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドなどが挙げられる。
その他の溶剤としては、例えば、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシドなどが挙げられる。
Examples of the ethers include tetrahydrofuran, tetrahydropyran, 1,4-dioxane, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether. , Diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate Over DOO, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether acetate, methoxybutyl acetate, methoxy pentyl acetate, anisole, phenetole, and the like methyl anisole.
Examples of the aromatic hydrocarbons include benzene, toluene, xylene, mesitylene and the like.
Examples of the ketones include acetone, 2-butanone, 2-heptanone, 3-heptanone, 4-heptanone, 4-methyl-2-pentanone, and cyclohexanone.
Examples of the alcohols include methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, and glycerin.
Examples of the esters include ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, methyl lactate, Ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-oxypropionate, ethyl 3-oxypropionate, 3 -Methyl methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, Methyl methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, 2-oxy-2- Ethyl methyl propionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, 2-oxobutane Examples include methyl acid, ethyl 2-oxobutanoate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, and γ-butyrolactone.
Examples of the amides include N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide.
Examples of other solvents include N-methylpyrrolidone and dimethyl sulfoxide.

上記の(E)溶剤の中でも、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、2−ヘプタノンなどが好ましく用いられる。   Among the above (E) solvents, methyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, ethyl carbitol acetate, Butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether acetate, 2-heptanone and the like are preferably used.

該溶剤は、それぞれ単独でまたは2種類以上を組み合わせて用いることができ、その使用量は感光性樹脂組成物における含有量が質量分率で通常50質量%以上90質量%以下、好ましくは60質量%以上85質量%以下となる程度である。   These solvents can be used alone or in combination of two or more, and the amount used thereof is usually 50% by mass to 90% by mass, preferably 60% by mass in terms of the content in the photosensitive resin composition. % Or more and 85% by mass or less.

本発明の感光性樹脂組成物は、充填剤、(A)バインダーポリマー以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などの添加剤を含有していてもよい。   The photosensitive resin composition of the present invention includes a filler, (A) a polymer compound other than the binder polymer, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an aggregation inhibitor, an organic acid, an organic amino compound, a curing agent, and the like. The additive may be contained.

前記の充填剤としては、例えば、ガラス、アルミナなどの微粒子が挙げられる。   Examples of the filler include fine particles such as glass and alumina.

前記の、(A)バインダーポリマー以外の高分子化合物としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート、分散剤などが挙げられる。
前記の分散剤としては、例えば、Disperbyk−115、Disperbyk−160、Disperbyk−161、Disperbyk−162、Disperbyk−163、Disperbyk−164、Disperbyk−166、Disperbyk−167、Disperbyk−169、Disperbyk−170、Disperbyk−171、Disperbyk−174、Disperbyk−182(いずれもBYKChemie社製)などが挙げられる。
Examples of the polymer compound other than the (A) binder polymer include polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, polyfluoroalkyl acrylate, and a dispersant.
Examples of the dispersing agent include Disperbyk-115, Disperbyk-160, Disperbyk-161, Disperbyk-162, Disperbyk-163, Disperbyk-164, Disperbyk-166, Disperbyk-167, DisperDyb69- -171, Disperbyk-174, Disperbyk-182 (all manufactured by BYKChemie).

前記の密着促進剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。   Examples of the adhesion promoter include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2 -Aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxymethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) Examples include ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane.

前記の酸化防止剤としては、例えば、4,4’−チオビス(6−t−ブチル−3−メチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルフェノールなどが挙げられる。   Examples of the antioxidant include 4,4'-thiobis (6-tert-butyl-3-methylphenol), 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol, and the like.

前記の紫外線吸収剤としては、例えば、2−(2−ヒドロキシ−3−t−ブチル−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾールなどのベンゾトリアゾール系、2−ヒドロキシ−4−オクチルオキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエートなどのベンゾエート系、2−(4,6−ジフェニル−1,3,5−トリアジン−2−イル)−5−ヘキシルオキシフェノールなどのトリアジン系などが挙げられる。   Examples of the ultraviolet absorber include benzotriazoles such as 2- (2-hydroxy-3-t-butyl-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, 2-hydroxy-4-octyloxybenzophenone, and the like. Benzophenone series, 2,4-di-t-butylphenyl-3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzoate, and other benzoate series, 2- (4,6-diphenyl-1,3,5-triazine And triazines such as -2-yl) -5-hexyloxyphenol.

前記の凝集防止剤としては、例えば、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。   Examples of the aggregation preventing agent include sodium polyacrylate.

前記の有機酸としては、例えば、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸類;
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸などの脂肪族ジカルボン酸類;
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸類;
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類;
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸類;
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類などが挙げられる。
Examples of the organic acid include aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, and caprylic acid;
Oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassylic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid Aliphatic dicarboxylic acids such as cyclohexanedicarboxylic acid, itaconic acid, citraconic acid, maleic acid, fumaric acid, mesaconic acid;
Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, camphoric acid;
Aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelic acid, mesitylene acid;
Aromatic dicarboxylic acids such as phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid;
Aromatic polycarboxylic acids such as trimellitic acid, trimesic acid, merophanic acid, and pyromellitic acid are listed.

前記の有機アミン化合物としては、例えば、n―プロピルアミン、i−プロピルアミン、n−ブチルアミン、i−ブチルアミン、sec−ブチルアミン、t−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミン、n−ヘプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミン、n−ドデシルアミンなどのモノアルキルアミン類;
シクロヘキシルアミン、2−メチルシクロヘキシルアミン、3−メチルシクロヘキシルアミン、4−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノシクロアルキルアミン類;
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルn−プロピルアミン、エチルn−プロピルアミン、ジn−プロピルアミン、ジi−プロピルアミン、ジn−ブチルアミン、ジi−ブチルアミン、ジsec−ブチルアミン、ジt−ブチルアミン、ジn−ペンチルアミン、ジn−ヘキシルアミンなどのジアルキルアミン類;
メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルモノシクロアルキルアミン類;
ジシクロヘキシルアミンなどのジシクロアルキルアミン類;
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルn−プロピルアミン、ジエチルn−プロピルアミン、メチルジn−プロピルアミン、エチルジn−プロピルアミン、トリn−プロピルアミン、トリi−プロピルアミン、トリn−ブチルアミン、トリi−ブチルアミン、トリsec−ブチルアミン、トリt−ブチルアミン、トリn−ペンチルアミン、トリn−ヘキシルアミンなどのトリアルキルアミン類;
ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミンなどのジアルキルモノシクロアルキルアミン類;
メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルジシクロアルキルアミン類;
2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−アミノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノール、6−アミノ−1−ヘキサノールなどのモノアルカノールアミン類;
4−アミノ−1−シクロヘキサノールなどのモノシクロアルカノールアミン類;
ジエタノールアミン、ジn−プロパノールアミン、ジi−プロパノールアミン、ジn−ブタノールアミン、ジi−ブタノールアミン、ジn−ペンタノールアミン、ジn−ヘキサノールアミンなどのジアルカノールアミン類;
ジ(4−シクロヘキサノール)アミンなどのジシクロアルカノールアミン類;
トリエタノールアミン、トリn−プロパノールアミン、トリi−プロパノールアミン、トリn−ブタノールアミン、トリi−ブタノールアミン、トリn−ペンタノールアミン、トリn−ヘキサノールアミンなどのトリアルカノールアミン類;トリ(4−シクロヘキサノール)アミンなどのトリシクロアルカノールアミン類;
3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタンジオール、3−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジエチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルアミノ−1,3−プロパンジオールなどのアミノアルカンジオール類;
4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオール、4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオールなどのアミノシクロアルカンジオール類;
1−アミノシクロペンタノンメタノール、4−アミノシクロペンタノンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカノンメタノール類;
1−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、4−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類;
β−アラニン、2−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイソ酢酸、3−アミノイソ酢酸、2−アミノ吉草酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノカプロン酸、1−アミノシクロプロパンカルボン酸、1−アミノシクロヘキサンカルボン酸、4−アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類;
アニリン、o−メチルアニリン、m−メチルアニリン、p−メチルアニリン、p−エチルアニリン、p−n−プロピルアニリン、p−i−プロピルアニリン、p−n−ブチルアニリン、p−t−ブチルアニリン、1−ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−N,N−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類;
o−アミノベンジルアルコール、m−アミノベンジルアルコール、p−アミノベンジルアルコール、p−ジメチルアミノベンジルアルコール、p−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類;
o−アミノフェノール、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール、p−ジメチルアミノフェノール、p−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類;
m−アミノ安息香酸、p−アミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。
Examples of the organic amine compound include n-propylamine, i-propylamine, n-butylamine, i-butylamine, sec-butylamine, t-butylamine, n-pentylamine, n-hexylamine, and n-heptylamine. Monoalkylamines such as n-octylamine, n-nonylamine, n-decylamine, n-undecylamine, n-dodecylamine;
Monocycloalkylamines such as cyclohexylamine, 2-methylcyclohexylamine, 3-methylcyclohexylamine, 4-methylcyclohexylamine;
Methyl ethylamine, diethylamine, methyl n-propylamine, ethyl n-propylamine, di-n-propylamine, di-i-propylamine, di-n-butylamine, di-butylamine, disec-butylamine, di-t-butylamine, di dialkylamines such as n-pentylamine and di-n-hexylamine;
Monoalkylmonocycloalkylamines such as methylcyclohexylamine and ethylcyclohexylamine;
Dicycloalkylamines such as dicyclohexylamine;
Dimethylethylamine, methyldiethylamine, triethylamine, dimethyl n-propylamine, diethyl n-propylamine, methyldi-n-propylamine, ethyldi-n-propylamine, tri-n-propylamine, tri-i-propylamine, tri-n-butylamine, tri trialkylamines such as i-butylamine, trisec-butylamine, tri-t-butylamine, tri-n-pentylamine, tri-n-hexylamine;
Dialkylmonocycloalkylamines such as dimethylcyclohexylamine and diethylcyclohexylamine;
Monoalkyldicycloalkylamines such as methyldicyclohexylamine, ethyldicyclohexylamine, tricyclohexylamine;
Monoalkanolamines such as 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 1-amino-2-propanol, 4-amino-1-butanol, 5-amino-1-pentanol, and 6-amino-1-hexanol Kind;
Monocycloalkanolamines such as 4-amino-1-cyclohexanol;
Dialkanolamines such as diethanolamine, di-n-propanolamine, di-i-propanolamine, di-n-butanolamine, dii-butanolamine, di-n-pentanolamine, di-n-hexanolamine;
Dicycloalkanolamines such as di (4-cyclohexanol) amine;
Trialkanolamines such as triethanolamine, tri-n-propanolamine, tri-i-propanolamine, tri-n-butanolamine, tri-i-butanolamine, tri-n-pentanolamine, tri-n-hexanolamine; -Cyclocycloalkanolamines such as cyclohexanol) amine;
3-amino-1,2-propanediol, 2-amino-1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol, 4-amino-1,3-butanediol, 3-dimethylamino-1 , 2-propanediol, 3-diethylamino-1,2-propanediol, 2-dimethylamino-1,3-propanediol, aminoalkanediols such as 2-diethylamino-1,3-propanediol;
Aminocycloalkanediols such as 4-amino-1,2-cyclohexanediol and 4-amino-1,3-cyclohexanediol;
Amino group-containing cycloalkanone methanols such as 1-aminocyclopentanone methanol and 4-aminocyclopentanone methanol;
Amino group-containing cycloalkanemethanols such as 1-aminocyclohexanone methanol, 4-aminocyclohexanone methanol, 4-dimethylaminocyclopentanemethanol, 4-diethylaminocyclopentanemethanol, 4-dimethylaminocyclohexanemethanol, 4-diethylaminocyclohexanemethanol;
β-alanine, 2-aminobutyric acid, 3-aminobutyric acid, 4-aminobutyric acid, 2-aminoisoacetic acid, 3-aminoisoacetic acid, 2-aminovaleric acid, 5-aminovaleric acid, 6-aminocaproic acid, 1-aminocyclo Aminocarboxylic acids such as propanecarboxylic acid, 1-aminocyclohexanecarboxylic acid, 4-aminocyclohexanecarboxylic acid;
Aniline, o-methylaniline, m-methylaniline, p-methylaniline, p-ethylaniline, pn-propylaniline, pi-propylaniline, pn-butylaniline, pt-butylaniline, Aromatic amines such as 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, N, N-dimethylaniline, N, N-diethylaniline, p-methyl-N, N-dimethylaniline;
aminobenzyl alcohols such as o-aminobenzyl alcohol, m-aminobenzyl alcohol, p-aminobenzyl alcohol, p-dimethylaminobenzyl alcohol, p-diethylaminobenzyl alcohol;
aminophenols such as o-aminophenol, m-aminophenol, p-aminophenol, p-dimethylaminophenol, p-diethylaminophenol;
Examples include aminobenzoic acids such as m-aminobenzoic acid, p-aminobenzoic acid, p-dimethylaminobenzoic acid, and p-diethylaminobenzoic acid.

前記の硬化剤としては、例えば、加熱されることによって(A)バインダーポリマー中のカルボキシル基と反応して(A)バインダーポリマーを架橋することができる化合物が挙げられる。また、それ単独で重合してパターンを硬化させ得る化合物も挙げられる。該化合物としては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられる。   As said hardening | curing agent, the compound which can react with the carboxyl group in (A) binder polymer by being heated, and can bridge | crosslink (A) binder polymer is mentioned, for example. Moreover, the compound which can superpose | polymerize independently and harden | cure a pattern is also mentioned. Examples of the compound include an epoxy compound and an oxetane compound.

前記のエポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系エポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの(共)重合体のエポキシ化物、イソプレンの(共)重合体のエポキシ化物、グリシジル(メタ)アクリレートの(共)重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。   Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy resins, hydrogenated bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, hydrogenated bisphenol F type epoxy resins, novolac type epoxy resins, other aromatic type epoxy resins, Other than alicyclic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, glycidyl ester resins, glycidylamine resins, epoxidized oils, brominated derivatives of these epoxy resins, epoxy resins and brominated derivatives thereof Aliphatic, alicyclic or aromatic epoxy compounds, butadiene (co) polymer epoxidized products, isoprene (co) polymer epoxidized products, glycidyl (meth) acrylate (co) polymers, triglycidyl isocyanate Examples include nurate.

前記のオキセタン化合物としては、例えば、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。   Examples of the oxetane compound include carbonate bisoxetane, xylylene bisoxetane, adipate bisoxetane, terephthalate bisoxetane, and bisoxetane cyclohexanedicarboxylate.

本発明の感光性組成物は、硬化剤としてエポキシ化合物、オキセタン化合物などを含有する場合には、エポキシ化合物のエポキシ基やオキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。前記の化合物としては、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。   When the photosensitive composition of the present invention contains an epoxy compound, an oxetane compound, or the like as a curing agent, it may contain a compound capable of ring-opening polymerization of the epoxy group of the epoxy compound or the oxetane skeleton of the oxetane compound. Examples of the compound include polyvalent carboxylic acids, polyvalent carboxylic acid anhydrides, and acid generators.

前記の多価カルボン酸類としては、例えば、フタル酸、3,4−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類;
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類;
ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
Examples of the polyvalent carboxylic acids include phthalic acid, 3,4-dimethylphthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic acid, 3 Aromatic polycarboxylic acids such as 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid;
Aliphatic polycarboxylic acids such as succinic acid, glutaric acid, adipic acid, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid;
Hexahydrophthalic acid, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic acid, hexahydroisophthalic acid, hexahydroterephthalic acid, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic acid, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic acid, cyclopentanetetracarboxylic acid And alicyclic polyvalent carboxylic acids such as 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid.

前記の多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類;
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類;
無水ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸無水物、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類;
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
Examples of the polyvalent carboxylic acid anhydrides include aromatic phthalic anhydride, pyromellitic anhydride, trimellitic anhydride, and 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride. Carboxylic anhydrides;
Aliphatic polycarboxylic anhydrides such as itaconic anhydride, succinic anhydride, citraconic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, tricarballylic anhydride, maleic anhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride Kind;
Hexahydrophthalic anhydride, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic anhydride, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic anhydride, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic anhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride Alicyclic polycarboxylic acid anhydrides such as 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, hymic anhydride, and nadic anhydride;
Examples include ester group-containing carboxylic acid anhydrides such as ethylene glycol bistrimellitic acid and glycerin tristrimellitic anhydride.

前記のカルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。該エポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、商品名「アデカハードナーEH−700」(旭電化工業(株)製)、商品名「リカシッドHH」(新日本理化(株)製)、商品名「MH−700」(新日本理化(株)製)などが挙げられる。   As said carboxylic acid anhydride, you may use what is marketed as an epoxy resin hardening | curing agent. Examples of the epoxy resin curing agent include a trade name “Adeka Hardener EH-700” (manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.), a trade name “Rikacid HH” (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.), and a trade name “MH-”. 700 "(manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.).

前記の硬化剤は、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。   The said hardening | curing agent can be used individually or in combination of 2 types or more, respectively.

本発明の感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する方法としては、具体的には、本発明の感光性樹脂組成物を、基板または基板の上に先に形成した固体の着色感光性樹脂組成物層(以下、これを基板等ということがある。)の上に塗布し、塗布された感光性樹脂組成物層から溶剤など揮発成分を除去し、フォトマスクを介して揮発成分が除去された層を露光したのち、現像する方法が挙げられる。   As a method for forming a pattern using the photosensitive resin composition of the present invention, specifically, a solid colored photosensitive resin obtained by previously forming the photosensitive resin composition of the present invention on a substrate or a substrate. It is applied onto a composition layer (hereinafter sometimes referred to as a substrate), and volatile components such as a solvent are removed from the applied photosensitive resin composition layer, and the volatile components are removed through a photomask. And a method of developing after exposing the exposed layer.

基板としては、例えば、ガラス基板、シリコン基板、ポリカーボネート基板、ポリエステル基板、芳香族ポリアミド基板、ポリアミドイミド基板、ポリイミド基板、Al基板、GaAs基板などの表面が平坦な基板が挙げられる。これらの基板は、シランカップリング剤などの薬品による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング処理、スパッタリング処理、気相反応処理、真空蒸着処理などの前処理が施されていてもよい。基板としてシリコン基板などを用いる場合、該シリコン基板などの表面には電荷結合素子(CCD)、薄膜トランジスタ(TFT、Thin Film Transistor)などが形成されていてもよい。   Examples of the substrate include flat substrates such as a glass substrate, a silicon substrate, a polycarbonate substrate, a polyester substrate, an aromatic polyamide substrate, a polyamideimide substrate, a polyimide substrate, an Al substrate, and a GaAs substrate. These substrates may be subjected to pretreatment such as chemical treatment with chemicals such as a silane coupling agent, plasma treatment, ion plating treatment, sputtering treatment, gas phase reaction treatment, and vacuum deposition treatment. When a silicon substrate or the like is used as the substrate, a charge coupled device (CCD), a thin film transistor (TFT, Thin Film Transistor), or the like may be formed on the surface of the silicon substrate.

前記の基板の上に感光性樹脂組成物を塗布するには、例えば、本発明の感光性樹脂組成物を回転塗布法(スピンコート法)、流延塗布法、ロール塗布法、スリットコート法、スリット&スピンコート法などの通常の塗布方法で基板等の上に塗布し、基板等の上に感光性樹脂組成物の層を形成する。次いで加熱や減圧乾燥により、溶剤などの揮発成分を除去させればよい。このようにして、基板等の上に感光性樹脂組成物の固形分からなる層が形成される。   In order to apply the photosensitive resin composition on the substrate, for example, the photosensitive resin composition of the present invention can be applied by spin coating (spin coating), casting coating, roll coating, slit coating, It coat | covers on a board | substrate etc. by normal coating methods, such as a slit & spin coat method, and forms the layer of the photosensitive resin composition on a board | substrate etc. Next, volatile components such as a solvent may be removed by heating or drying under reduced pressure. In this way, a layer made of the solid content of the photosensitive resin composition is formed on the substrate or the like.

次いで、感光性樹脂組成物の固形分からなる層(以下、これを感光性樹脂組成物層ということがある。)を露光する。露光するには、例えば、フォトマスクを介して光線を照射すればよい。光線としては通常、g線(波長436nm)、i線(波長365nm)と呼ばれる紫外線などが用いられる。光線はフォトマスクを介して照射されるが、ここでフォトマスクは、例えば、ガラス板の表面に光線を遮蔽する遮光層が設けられたものである。ガラス板のうちの遮光層が設けられていない部分は光線が透過する透光部であって、この透光部のパターンに従ったパターンで感光性樹脂組成物層が露光されて、光線が照射されなかった未照射領域と、光線が照射された照射領域とが生ずる。照射領域における光線の照射量は、(A)バインダーポリマーの重量平均分子量、単量体比、含有量、光重合性化合物の種類や含有量、光重合開始剤の種類や含有量、光重合開始助剤の種類や含有量などによって適宜選択される。   Subsequently, the layer (henceforth a photosensitive resin composition layer) which consists of solid content of the photosensitive resin composition is exposed. For exposure, for example, light may be irradiated through a photomask. As light rays, ultraviolet rays called g-line (wavelength 436 nm) and i-line (wavelength 365 nm) are usually used. The light beam is irradiated through a photomask. Here, for example, the photomask is provided with a light shielding layer that shields the light beam on the surface of a glass plate. The portion of the glass plate that is not provided with the light-shielding layer is a light-transmitting portion that transmits light. The photosensitive resin composition layer is exposed in a pattern according to the pattern of the light-transmitting portion, and the light is irradiated. An unirradiated region that has not been irradiated and an irradiated region that has been irradiated with the light beam are generated. The irradiation amount of the light in the irradiation region is as follows: (A) binder polymer weight average molecular weight, monomer ratio, content, type and content of photopolymerizable compound, type and content of photopolymerization initiator, photopolymerization start It is appropriately selected depending on the type and content of the auxiliary agent.

露光後、現像する。現像するには、例えば、露光後の感光性樹脂組成物層を現像液と接触させればよく、具体的にはその表面上に感光性樹脂組成物層が形成された状態の基板を現像液に浸漬すればよい。現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドなどのアルカリ性化合物の水溶液などが挙げられる。現像によって、感光性樹脂組成物層のうちの光線が照射されなかった未照射領域は除去される。その一方で、光線照射領域はそのまま残ってパターンを構成する。   Develop after exposure. In order to develop, for example, the exposed photosensitive resin composition layer may be brought into contact with the developer, and specifically, the substrate having the photosensitive resin composition layer formed on the surface thereof is developed into the developer. What is necessary is just to immerse in. Examples of the developer include aqueous solutions of alkaline compounds such as sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, and tetramethylammonium hydroxide. By the development, an unirradiated area of the photosensitive resin composition layer that has not been irradiated with the light beam is removed. On the other hand, the light irradiation area remains as it is to form a pattern.

現像後、通常は水洗し、乾燥することにより、目的とするパターンを得ることができる。乾燥後、加熱してもよい。パターンを加熱することによって硬化して、その機械的強度が向上する傾向にあり、感光性樹脂組成物として硬化剤を含有するものを用いた場合には、機械的強度をより向上することができる。加熱温度は通常180℃以上、好ましくは200℃以上であり、通常250℃以下である。   After development, the desired pattern can be obtained usually by washing with water and drying. You may heat after drying. When the pattern is cured by heating, its mechanical strength tends to improve, and when a photosensitive resin composition containing a curing agent is used, the mechanical strength can be further improved. . The heating temperature is usually 180 ° C. or higher, preferably 200 ° C. or higher, and usually 250 ° C. or lower.

このようにして得られる透明パターンを有するカラーフィルタは、液晶表示装置やプラズマディスプレイ、有機EL表示装置などの表示装置に好適に用いることができる。   The color filter having a transparent pattern thus obtained can be suitably used for display devices such as liquid crystal display devices, plasma displays, and organic EL display devices.

上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。例中、含有量ないし使用量を表す%および部は、特に断らないかぎり質量基準である。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the present invention disclosed above are merely examples, and the scope of the present invention is not limited to these embodiments. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and includes the meaning equivalent to the description of the claims and all modifications within the scope. EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited by these Examples. In the examples, “%” and “part” representing the content or amount used are based on mass unless otherwise specified.

<樹脂Aの合成>
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート182gを導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした後、100℃に昇温後、ベンジルメタクリレート70.5g(0.40モル)、メタクリル酸43.0g(0.5モル)、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート(日立化成(株)製FA−513M)22.0g(0.10モル)およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート136gからなる混合物にアゾビスイソブチロニトリル3.6gを添加した溶液を滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに100℃で5時間撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、グリシジルメタクリレート35.5g[0.25モル、(本反応に用いたメタクリル酸のカルボキシル基に対して50モル%)]、トリスジメチルアミノメチルフェノール0.9gおよびハイドロキノン0.145gをフラスコ内に投入し、110℃で6時間反応を続け、固形分酸価が79mgKOH/gの樹脂Aを得た。GPCにより測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は13,000で、分子量分布(Mw/Mn)は2.1であった。
<Synthesis of Resin A>
After introducing 182 g of propylene glycol monomethyl ether acetate into a flask equipped with a stirrer, a thermometer, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introduction tube, and changing the atmosphere in the flask from air to nitrogen, the temperature was raised to 100 ° C., 70.5 g (0.40 mol) of benzyl methacrylate, 43.0 g (0.5 mol) of methacrylic acid, 22.0 g (0.10 mol) of monomethacrylate having a tricyclodecane skeleton (FA-513M manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) ) And propylene glycol monomethyl ether acetate (136 g) in a solution obtained by adding 3.6 g of azobisisobutyronitrile to the flask from the dropping funnel over 2 hours, and further stirring at 100 ° C. for 5 hours. Next, the atmosphere in the flask was changed from nitrogen to air, and 35.5 g of glycidyl methacrylate [0.25 mol, (50 mol% with respect to the carboxyl group of methacrylic acid used in this reaction)], trisdimethylaminomethylphenol, 0.5%. 9 g and 0.145 g of hydroquinone were charged into the flask, and the reaction was continued at 110 ° C. for 6 hours to obtain a resin A having a solid content acid value of 79 mgKOH / g. The weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by GPC was 13,000, and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.1.

上記のバインダーポリマーの重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)の測定については、GPC法を用いて、以下の条件で行なった。
装置;HLC-8120GPC(東ソー(株)製)
カラム;TSK−GELG4000HXL+TSK−GELG2000HXL(直列接続)
カラム温度;40℃
溶媒;THF
流速;1.0ml/min
注入量;50μl
検出器;RI
測定試料濃度;0.6質量%(溶媒;THF)
校正用標準物質;TSK STANDARD POLYSTYRENE F−40、F−4、F−1、A−2500、A−500(東ソー(株)製)
上記で得られた重量平均分子量および数平均分子量の比を分子量分布(Mw/Mn)とした。
The weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) of the binder polymer were measured using the GPC method under the following conditions.
Equipment: HLC-8120GPC (manufactured by Tosoh Corporation)
Column; TSK-GELG4000HXL + TSK-GELG2000HXL (series connection)
Column temperature: 40 ° C
Solvent; THF
Flow rate: 1.0 ml / min
Injection volume: 50 μl
Detector; RI
Measurement sample concentration: 0.6 mass% (solvent: THF)
Standard material for calibration; TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-1, A-2500, A-500 (manufactured by Tosoh Corporation)
The ratio of the weight average molecular weight and the number average molecular weight obtained above was defined as molecular weight distribution (Mw / Mn).

本実施例で用いる成分は以下の通りで、以下、省略して表示することがある。
(A−1)樹脂A
(A−2)バインダーポリマー:メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比(モル比)で30:70、酸価は113、ポリスチレン換算重量平均分子量は25,000
(B)光重合性化合物:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(C)光重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン
(D)光重合開始助剤:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
(E−1)溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
(E−2)溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル
エポキシ化合物:オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシESCN−195XL−80」(住友化学工業(株)製)
The components used in this example are as follows, and may be omitted below.
(A-1) Resin A
(A-2) Binder polymer: Copolymer of methacrylic acid and benzyl methacrylate [ratio of methacrylic acid unit and benzyl methacrylate unit is 30:70 by mass ratio (molar ratio), acid value is 113, polystyrene equivalent weight The average molecular weight is 25,000
(B) Photopolymerizable compound: Dipentaerythritol hexaacrylate (C) Photopolymerization initiator: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one (D) Photopolymerization initiation assistant Agent: 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone (E-1) Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate (E-2) Solvent: Ethyl epoxy compound of 3-ethoxypropionate: Orthocresol novolac type epoxy resin, “SUMI Epoxy ESCN” -195XL-80 "(manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.)

実施例1
〔感光性樹脂組成物1の調製〕
(A−1) 1.982質量部、
(B) 2.972質量部、
(C) 0.149質量部、
(D) 0.050質量部、
(E−1) 8.637質量部、
(E−2) 0.960質量部および
エポキシ化合物 0.248質量部
を混合して感光性樹脂組成物1を得た。
Example 1
[Preparation of photosensitive resin composition 1]
(A-1) 1.982 parts by mass,
(B) 2.972 parts by mass,
(C) 0.149 parts by mass,
(D) 0.050 part by mass,
(E-1) 8.637 parts by mass,
(E-2) A photosensitive resin composition 1 was obtained by mixing 0.960 parts by mass and 0.248 parts by mass of an epoxy compound.

〔パターンの形成〕
ガラス基板〔コーニング社製、「#7059」〕の上に、上記で得た感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布したのち、100℃で3分間乾燥して揮発分を揮発させて、感光性樹脂組成物層を形成した。
冷却後、この感光性樹脂組成物層にフォトマスクを介してi線〔波長365nm〕を照射して露光した。i線の光源としては、超高圧水銀ランプを用い、照射光量は150mJ/cm2とした。フォトマスクとしては、線幅3μm、5μm、7μm、10μm、15μm、20μm、25μm、30μm、40μm、および50μmのドット状の画素を形成するためのフォトマスクを用いた。
[Formation of pattern]
The photosensitive resin composition obtained above was applied on a glass substrate [Corning, “# 7059”] by spin coating, and then dried at 100 ° C. for 3 minutes to volatilize the volatile components. A functional resin composition layer was formed.
After cooling, the photosensitive resin composition layer was exposed by irradiating with i-line [wavelength 365 nm] through a photomask. As an i-line light source, an ultra-high pressure mercury lamp was used, and the irradiation light quantity was 150 mJ / cm 2 . As the photomask, a photomask for forming dot-like pixels having line widths of 3 μm, 5 μm, 7 μm, 10 μm, 15 μm, 20 μm, 25 μm, 30 μm, 40 μm, and 50 μm was used.

次いで露光後のガラス基板を現像液〔質量分率で水酸化カリウムを0.05%、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを0.2%それぞれ含む水溶液〕に浸漬して現像し、純水で洗浄した。その後、230℃で20分間加熱して、透明なパターンを形成した。得られたパターンには、粒状異物や塗布ムラは見られず、塗布性は良好であった。   Next, the exposed glass substrate was developed by immersing it in a developer (an aqueous solution containing 0.05% potassium hydroxide and 0.2% sodium butylnaphthalenesulfonate by mass fraction) and washed with pure water. Then, it heated at 230 degreeC for 20 minute (s), and formed the transparent pattern. In the obtained pattern, no particulate foreign matter or coating unevenness was observed, and the coating property was good.

〔評価〕
フォトスペーサーとして必要な20μmが解像できるかできないかを調べたところ、現像時における密着性不良によるパターン剥がれのような欠陥や表面荒れは見られず、20μmパターンを裾引きなく解像していた。
[Evaluation]
As a result of investigating whether or not 20 μm necessary as a photospacer can be resolved, defects such as pattern peeling due to poor adhesion at the time of development and surface roughness were not observed, and the 20 μm pattern was resolved without tailing. .

実施例2
〔感光性樹脂組成物2の調製〕
(A−1) 1.946質量部、
(B) 2.919質量部、
(C) 0.150質量部、
(D) 0.025質量部、
(E−1) 8.637質量部、
(E−2) 0.960質量部および
エポキシ化合物 0.243質量部
を混合して感光性樹脂組成物2を得た。
実施例1の感光性樹脂組成物1を感光性樹脂組成物2に代える以外は実施例1と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例1と同様にフォトスペーサーとして必要な20μmが解像できるかできないかを調べたところ、現像時における密着性不良によるパターン剥がれのような欠陥や表面荒れは見られず、20μmパターンを裾引きなく解像していた。
Example 2
[Preparation of photosensitive resin composition 2]
(A-1) 1.946 parts by mass,
(B) 2.919 parts by mass,
(C) 0.150 parts by mass,
(D) 0.025 parts by mass,
(E-1) 8.637 parts by mass,
(E-2) 0.960 mass parts and 0.243 mass parts of epoxy compound were mixed, and the photosensitive resin composition 2 was obtained.
A pattern was obtained in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive resin composition 1 of Example 1 was replaced with the photosensitive resin composition 2.
[Evaluation]
As in Example 1, it was investigated whether 20 μm necessary as a photospacer could be resolved or not. As a result, defects such as pattern peeling due to poor adhesion during development and surface roughness were not observed, and the 20 μm pattern was tailed. It was resolving without.

実施例3
〔感光性樹脂組成物3の調製〕
(A−1) 1.846質量部、
(B) 2.769質量部、
(C) 0.150質量部、
(D) 0.012質量部、
(E−1) 8.637質量部、
(E−2) 0.960質量部および
エポキシ化合物 0.231質量部
を混合して感光性樹脂組成物3を得た。
実施例1の感光性樹脂組成物1を感光性樹脂組成物3に代える以外は実施例1と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例1と同様にフォトスペーサーとして必要な20μmが解像できるかできないかを調べたところ、パターン飛びのような欠陥や表面荒れは見られず、20μmパターンを裾引きなく解像していた。
Example 3
[Preparation of photosensitive resin composition 3]
(A-1) 1.846 parts by mass,
(B) 2.769 parts by mass,
(C) 0.150 parts by mass,
(D) 0.012 parts by mass,
(E-1) 8.637 parts by mass,
(E-2) 0.960 mass parts and 0.231 mass parts of epoxy compound were mixed, and the photosensitive resin composition 3 was obtained.
A pattern was obtained in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive resin composition 1 of Example 1 was replaced with the photosensitive resin composition 3.
[Evaluation]
As in Example 1, it was examined whether 20 μm necessary for the photospacer could be resolved or not. As a result, defects such as pattern skipping and surface roughness were not observed, and the 20 μm pattern was resolved without tailing.

実施例4
〔感光性樹脂組成物4の調製〕
(A−1) 1.756質量部、
(B) 2.634質量部、
(C) 0.150質量部、
(E−1) 8.637質量部、
(E−2) 0.960質量部および
エポキシ化合物 0.220質量部
を混合して感光性樹脂組成物4を得た。
実施例1の感光性樹脂組成物1を感光性樹脂組成物4に代える以外は実施例1と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例1と同様にフォトスペーサーとして必要な20μmが解像できるかできないかを調べたところ、現像時における密着性不良によるパターン剥がれのような欠陥や表面荒れは見られず、20μmパターンを裾引きなく解像していた。
Example 4
[Preparation of photosensitive resin composition 4]
(A-1) 1.756 parts by mass,
(B) 2.634 parts by mass,
(C) 0.150 parts by mass,
(E-1) 8.637 parts by mass,
(E-2) A photosensitive resin composition 4 was obtained by mixing 0.960 parts by mass and 0.220 parts by mass of an epoxy compound.
A pattern was obtained in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive resin composition 1 of Example 1 was replaced with the photosensitive resin composition 4.
[Evaluation]
As in Example 1, it was investigated whether 20 μm necessary as a photospacer could be resolved or not. As a result, defects such as pattern peeling due to poor adhesion during development and surface roughness were not observed, and the 20 μm pattern was tailed. It was resolving without.

比較例1
〔感光性樹脂組成物5の調製〕
(A−2) 1.982質量部、
(B) 2.972質量部、
(C) 0.149質量部、
(D) 0.050質量部、
(E−1) 8.637質量部、
(E−2) 0.960質量部および
エポキシ化合物 0.248質量部
を混合して感光性樹脂組成物5を得た。
実施例1の感光性樹脂組成物1を感光性樹脂組成物5に代える以外は実施例1と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例1と同様にフォトスペーサーとして必要な20μmが解像できるかできないかを調べたところ、現像時における密着性不良によるパターン剥がれのような欠陥はみられないが、抜け性不良のため、20μmパターンは解像しなかった。また、表面荒れによる透過率低下が見られた。
Comparative Example 1
[Preparation of photosensitive resin composition 5]
(A-2) 1.982 parts by mass,
(B) 2.972 parts by mass,
(C) 0.149 parts by mass,
(D) 0.050 part by mass,
(E-1) 8.637 parts by mass,
(E-2) 0.960 mass parts and 0.248 mass parts of epoxy compound were mixed, and the photosensitive resin composition 5 was obtained.
A pattern was obtained in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive resin composition 1 of Example 1 was replaced with the photosensitive resin composition 5.
[Evaluation]
As in Example 1, it was investigated whether 20 μm necessary as a photospacer could be resolved or not. As a result, defects such as pattern peeling due to poor adhesion at the time of development were not observed, but due to poor omission, 20 μm The pattern did not resolve. Moreover, the transmittance | permeability fall by surface roughness was seen.

比較例2
〔感光性樹脂組成物6の調製〕
(A−2) 1.756質量部、
(B) 2.634質量部、
(C) 0.150質量部、
(E−1) 8.637質量部、
(E−2) 0.960質量部および
エポキシ化合物 0.220質量部
を混合して感光性樹脂組成物6を得た。
実施例1の感光性樹脂組成物1を感光性樹脂組成物6に代える以外は実施例1と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例1と同様にフォトスペーサーとして必要な20μmが解像できるかできないかを調べたところ、現像時における密着性不良によるパターン剥がれのような欠陥はみられないが、抜け性不良のため、20μmパターンは解像しなかった。また、表面荒れによる透過率低下が見られた。
Comparative Example 2
[Preparation of photosensitive resin composition 6]
(A-2) 1.756 parts by mass,
(B) 2.634 parts by mass,
(C) 0.150 parts by mass,
(E-1) 8.637 parts by mass,
(E-2) 0.960 mass part and 0.220 mass part of epoxy compounds were mixed, and the photosensitive resin composition 6 was obtained.
A pattern was obtained in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive resin composition 1 of Example 1 was replaced with the photosensitive resin composition 6.
[Evaluation]
As in Example 1, it was investigated whether 20 μm necessary as a photospacer could be resolved or not. As a result, defects such as pattern peeling due to poor adhesion at the time of development were not observed, but due to poor omission, 20 μm The pattern did not resolve. Moreover, the transmittance | permeability fall by surface roughness was seen.

本発明の感光性樹脂組成物はフォトスペーサーのような細いパターンを残すこともできる感光性樹脂組成物を提供することができ、液晶表示装置を構成する透明材料、例えば、フォトスペーサー、着色パターンの膜厚を合わせるための透明コート層などを形成するのに有用である。
The photosensitive resin composition of the present invention can provide a photosensitive resin composition capable of leaving a thin pattern such as a photospacer, and can provide a transparent material constituting a liquid crystal display device such as a photospacer or a colored pattern. This is useful for forming a transparent coat layer for adjusting the film thickness.

Claims (6)

(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)光重合開始助剤および(E)溶剤を含む感光性樹脂組成物において、(A)バインダー樹脂が、下記(A1)〜(A3)を共重合させて得られる共重合体と、さらに(A4)とを反応させて得られる不飽和基含有樹脂であり、かつ(C)光重合開始剤が、少なくとも1種のアセトフェノン化合物を含み、(A)バインダー樹脂が、(A1)〜(A3)のそれぞれから導かれる構成成分の比率が、構成する構成成分の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲の共重合体と、さらに前記の共重合体に含有される(A3)に対して、(A4)を5〜80モル%とを反応させて得られるバインダー樹脂であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
(A1);一分子中にトリシクロデカン骨格およびジシクロペンタジエン骨格からなる群から選ばれる少なくとも1種の骨格と、不飽和結合とを有する化合物
(A2);(A1)および(A3)と共重合可能な不飽和結合を有する化合物
(A3);不飽和カルボン酸
(A4);一分子中に不飽和結合とエポキシ基とを有する化合物
(A1)から導かれる構成単位;2〜30モル%
(A2)から導かれる構成単位;2〜95モル%
(A3)から導かれる構成単位;2〜70モル%
In the photosensitive resin composition containing (A) a binder polymer, (B) a photopolymerizable compound, (C) a photopolymerization initiator, (D) a photopolymerization initiation assistant, and (E) a solvent, (A) the binder resin is , A copolymer obtained by copolymerizing the following (A1) to (A3), and an unsaturated group-containing resin obtained by further reacting (A4), and (C) a photopolymerization initiator, see contains at least one acetophenone compounds, (a) a binder resin, (A1) the ratio of the components derived from each of the ~ (A3) is the mole fraction of the total number of moles of components constituting And a binder resin obtained by reacting 5 to 80 mol% of (A4) with respect to (A3) contained in the copolymer in the following range and the copolymer. A photosensitive resin composition.
(A1); Compound (A2) having at least one skeleton selected from the group consisting of a tricyclodecane skeleton and a dicyclopentadiene skeleton and an unsaturated bond in one molecule; and (A1) and (A3) Compound (A3) having polymerizable unsaturated bond; Unsaturated carboxylic acid (A4); Compound having unsaturated bond and epoxy group in one molecule
Structural units derived from (A1); 2 to 30 mol%
Structural units derived from (A2); 2 to 95 mol%
Structural units derived from (A3); 2 to 70 mol%
(C)光重合開始剤であるアセトフェノン系化合物が、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、及びまたは、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オンであり、であり、(D)光重合開始助剤であるアミン系化合物が4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンである請求項1に記載の感光性樹脂組成物。   (C) The acetophenone-based compound as the photopolymerization initiator is 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one and / or 2-methyl-2-morpholino-1- The photosensitive compound according to claim 1, which is (4-methylthiophenyl) propan-1-one, and (D) the amine compound which is a photopolymerization initiation assistant is 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone. Resin composition. 請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物を、基板または先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された感光性樹脂組成物層から揮発成分を除去し、フォトマスクを介して該層を露光し、現像して得られるパターン。 3. The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2 is applied on a substrate or a layer made of a solid content of a colored photosensitive resin composition previously formed, and volatilized from the applied photosensitive resin composition layer. A pattern obtained by removing the components, exposing the layer through a photomask, and developing. 請求項に記載のパターンからなるスペーサ。 A spacer comprising the pattern according to claim 3 . 請求項に記載のスペーサを含むカラーフィルタ。 A color filter comprising the spacer according to claim 4 . 請求項に記載のカラーフィルタを使用した液晶表示装置。 A liquid crystal display device using the color filter according to claim 5 .
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