JP4826187B2 - Manufacturing method of color filter - Google Patents
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Description
本発明は、例えば半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの着色層の形成に用いられる着色層形成用感光性樹脂組成物、およびそれを用いたカラーフィルタの製造方法に関するものである。 The present invention relates to a photosensitive resin composition for forming a colored layer used for forming a colored layer of a color filter for a transflective liquid crystal display device, for example, and a method for producing a color filter using the same.
近年、液晶表示装置として、外光の反射と、バックライト光の透過光とを利用した半透過型液晶表示装置が開発され、この半透過型液晶表示装置は、外光を利用して表示を行なう従来の反射型カラー液晶表示装置に、バックライトを兼ね備え、周囲が暗い場合でもバックライトによる表示(透過表示)が行なえる、という利点を有する。しかしながら、このような半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタにおいて、外光は入射光および反射光として着色層を2回通過することから、外光により表示が行われる反射光用領域の色特性と、バックライト光によって表示が行われる透過光用領域との色特性が異なるという問題を有する場合があった。 In recent years, a transflective liquid crystal display device utilizing external light reflection and backlight transmitted light has been developed as a liquid crystal display device. The transflective liquid crystal display device uses external light to display. The conventional reflective color liquid crystal display device is advantageous in that it also has a backlight and can perform display (transmission display) using the backlight even when the surroundings are dark. However, in the color filter used in such a transflective liquid crystal display device, since the external light passes through the colored layer twice as incident light and reflected light, the color of the reflected light region where display is performed by the external light. In some cases, there is a problem that the characteristics and the color characteristics of the transmitted light region where the display is performed by the backlight light are different.
このような問題を解決するため、例えば上記透過光用領域に膜厚の厚い着色層を形成し、上記反射光用領域に膜厚の薄い着色層を形成する方法等、それぞれの領域に異なる着色層を形成する方法等が採用されていた。しかしながら、この方法では、3色(赤(R)、緑(G)、青(B))の着色層を有するカラーフィルタを形成する際、例えばフォトリソグラフィー法等を6回繰り返し行わなければならず、工程が煩雑であった。 In order to solve such a problem, for example, a method of forming a thick colored layer in the transmitted light region and forming a thin colored layer in the reflected light region, etc. A method of forming a layer has been adopted. However, in this method, when forming a color filter having colored layers of three colors (red (R), green (G), and blue (B)), for example, a photolithography method or the like must be repeated six times. The process was complicated.
そこで、例えば透過光用領域および反射光用領域における着色層の膜厚を均一なものとし、反射光用領域には着色層が形成されていない部分、すなわち孔部を設ける方法が提案されている(例えば特許文献1参照)。この方法によれば、反射光用領域における孔部の面積を調整することによって反射光用領域における着色層の面積を調整することができ、反射光用領域の色特性を調整することが可能となるのである。上記反射光用領域上に孔部を有する着色層を製造する方法としては、例えば基板上に着色層形成用感光性樹脂組成物を塗布した後、反射光用領域を形成する部分に、所望の遮蔽部と開口部とを設けたフォトマスク等を用いて露光を行い、現像する方法等が挙げられる。 Therefore, for example, a method has been proposed in which the thickness of the colored layer in the transmitted light region and the reflected light region is uniform, and a portion where the colored layer is not formed in the reflected light region, that is, a hole is provided. (For example, refer to Patent Document 1). According to this method, the area of the colored layer in the reflected light region can be adjusted by adjusting the area of the hole in the reflected light region, and the color characteristics of the reflected light region can be adjusted. It becomes. As a method for producing a colored layer having a hole on the reflected light region, for example, after applying a colored layer forming photosensitive resin composition on a substrate, a desired portion is formed on a portion where the reflected light region is formed. Examples include a method of performing exposure by using a photomask provided with a shielding portion and an opening, and developing.
ここで、近年、カラーフィルタの高精細化が望まれており、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいては、反射光用領域により微細な形状に孔部を形成することが必要とされている。しかしながら、一般的な着色層形成用感光性樹脂組成物を用いて上述した方法により着色層を形成した場合、露光の際に照射されるエネルギーの回折等によって、微細なパターンの形成が困難となり、その結果、形成された孔部の深さが浅いものとなったり、孔部が潰れてしまうという問題があった。
そこで、微細なパターン状に孔部を形成可能な着色層形成用感光性樹脂組成物の提供が望まれている。 Then, provision of the photosensitive resin composition for colored layer formation which can form a hole in a fine pattern shape is desired.
本発明は、顔料と重合開始剤と増感剤とバインダー成分とを含有し、赤色着色層または青色着色層を形成する際に用いられる着色層形成用感光性樹脂組成物であって、上記増感剤が、340nm〜420nmの範囲内の波長領域に最大吸収波長を有し、かつ上記増感剤の最大吸収波長における吸光係数が80000ml/g・cm以上であり、上記増感剤の最大吸収波長が、上記重合開始剤の最大吸収波長より40nm以上大きく、上記増感剤および上記重合開始剤の含有量の和が、上記着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分に対して4質量%〜17質量%の範囲内であり、上記着色層形成用感光性樹脂組成物に含有される上記重合開始剤の質量を1とした際、上記着色層形成用感光性樹脂組成物に含有される上記増感剤の質量が0.05〜0.45の範囲内であることを特徴とする着色層形成用感光性樹脂組成物を提供する。 The present invention is a photosensitive resin composition for forming a colored layer, which contains a pigment, a polymerization initiator, a sensitizer, and a binder component, and is used for forming a red colored layer or a blue colored layer. The sensitizer has a maximum absorption wavelength in a wavelength region within a range of 340 nm to 420 nm, and an absorption coefficient at the maximum absorption wavelength of the sensitizer is 80000 ml / g · cm or more, and the sensitizer has a maximum absorption. The wavelength is 40 nm or more larger than the maximum absorption wavelength of the polymerization initiator, and the sum of the contents of the sensitizer and the polymerization initiator is 4 mass relative to the solid content of the photosensitive resin composition for forming a colored layer. % To 17% by mass, and when the mass of the polymerization initiator contained in the colored layer forming photosensitive resin composition is 1, it is contained in the colored layer forming photosensitive resin composition. The sensitizer has a mass of 0.05 Providing a colored layer forming photosensitive resin composition being in the range of 0.45.
本発明においては、上記増感剤と上記重合開始剤との含有量の和が、上記範囲内とされていることから、着色層形成用感光性樹脂組成物のエネルギーに対する感度を低くすることができる。そのため、フォトリソグラフィー法により着色層を形成する際、照射されるエネルギーの回折等が生じた場合であっても、回折したエネルギーが照射された部分で着色層形成用感光性樹脂組成物が硬化してしまうこと等を防ぐことができる。したがって、本発明によれば、微細な孔部を有する着色層を形成することが可能な着色層形成用感光性樹脂組成物とすることができる。また、本発明においては、上記増感剤と上記重合開始剤とを組み合わせて用いることから、上述したように着色層形成用感光性樹脂組成物のエネルギーに対する感度を低下させた場合であっても、着色層が形成される部分においては、着色層形成用感光性樹脂組成物の表面だけでなく基板側まで硬化されるものとすることができる。したがって、基板との密着性が良好な着色層を形成することが可能な着色層形成用感光性樹脂組成物とすることができる。 In the present invention, since the sum of the contents of the sensitizer and the polymerization initiator is within the above range, the sensitivity to the energy of the photosensitive resin composition for forming a colored layer can be lowered. it can. Therefore, when forming a colored layer by a photolithography method, even if diffraction of the irradiated energy occurs, the photosensitive resin composition for forming the colored layer is cured at the portion irradiated with the diffracted energy. Can be prevented. Therefore, according to this invention, it can be set as the photosensitive resin composition for colored layer formation which can form the colored layer which has a fine hole part. In the present invention, since the sensitizer and the polymerization initiator are used in combination, even if the sensitivity to the energy of the photosensitive resin composition for forming a colored layer is reduced as described above, In the portion where the colored layer is formed, not only the surface of the photosensitive resin composition for forming the colored layer but also the substrate side can be cured. Therefore, it can be set as the photosensitive resin composition for colored layer formation which can form a colored layer with favorable adhesiveness with a board | substrate.
本発明は、顔料と第1重合開始剤と第2重合開始剤と増感剤とバインダー成分とを含有し、緑色着色層を形成する際に用いられる着色層形成用感光性樹脂組成物であって、上記増感剤が、340nm〜420nmの範囲内の波長領域に最大吸収波長を有し、上記増感剤の最大吸収波長における吸光係数が80000ml/g・cm以上であり、上記増感剤の最大吸収波長が、上記第1重合開始剤の最大吸収波長より40nm以上大きく、上記第2重合開始剤は、315nm〜335nmの範囲内の波長領域に最大吸収波長を有し、上記増感剤、上記第1重合開始剤、および上記第2重合開始剤の含有量の和が、上記着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分に対して4質量%〜9質量%の範囲内であり、上記着色層形成用感光性樹脂組成物に含有される上記第1重合開始剤および上記第2重合開始剤の質量の和を1とした際、上記着色層形成用感光性樹脂組成物に含有される上記増感剤の質量が0.05〜0.45の範囲内であることを特徴とする着色層形成用感光性樹脂組成物を提供する。 The present invention is a photosensitive resin composition for forming a colored layer, which contains a pigment, a first polymerization initiator, a second polymerization initiator, a sensitizer, and a binder component, and is used when forming a green colored layer. The sensitizer has a maximum absorption wavelength in a wavelength region within a range of 340 nm to 420 nm, the absorption coefficient at the maximum absorption wavelength of the sensitizer is 80000 ml / g · cm or more, and the sensitizer The maximum absorption wavelength is 40 nm or more larger than the maximum absorption wavelength of the first polymerization initiator, the second polymerization initiator has a maximum absorption wavelength in a wavelength range of 315 nm to 335 nm, and the sensitizer. The sum of the contents of the first polymerization initiator and the second polymerization initiator is in the range of 4% by mass to 9% by mass with respect to the solid content of the photosensitive resin composition for forming a colored layer. In the photosensitive resin composition for forming a colored layer. When the sum of the masses of the first polymerization initiator and the second polymerization initiator is 1, the mass of the sensitizer contained in the colored layer forming photosensitive resin composition is 0.05 to Provided is a photosensitive resin composition for forming a colored layer, which is within a range of 0.45.
本発明においては、上記増感剤、上記第1重合開始剤、および第2重合開始剤の含有量の和が上記範囲内であることから、着色層形成用感光性樹脂組成物のエネルギーに対する感度を低いものとすることができる。のため、フォトリソグラフィー法により着色層を形成する際、照射されるエネルギーの回折等が生じた場合であっても、回折したエネルギーが照射された部分で着色層形成用感光性樹脂組成物が硬化してしまうこと等を防ぐことができる。したがって、本発明によれば、微細な孔部を有する着色層を形成することが可能な着色層形成用感光性樹脂組成物とすることができる。また、本発明においては、増感剤、第1重合開始剤、および第2重合開始剤を組み合わせて用いることから、上述したように着色層形成用感光性樹脂組成物のエネルギーに対する感度を低下させた場合であっても、着色層が形成される部分においては、着色層形成用感光性樹脂組成物の表面だけでなく基板側まで硬化されるものとすることができる。したがって、基板との密着性が良好な着色層を形成することが可能な着色層形成用感光性樹脂組成物とすることができる。また一般的に、緑色着色層を形成する際に用いられる着色層形成用感光性樹脂組成物は他の色の着色層を形成するために用いられる着色層形成用感光性樹脂組成物と比較して硬化性が低いが、本発明においては、第1重合開始剤とは異なる最大吸収波長を有する第2重合開始剤を用いることから、より広範囲にわたる波長領域におけるエネルギーを利用して着色層形成用感光性樹脂組成物を硬化させることが可能となる。したがって、基板との密着性が良好であり、かつ硬化性も良好な着色層を形成可能な着色層形成用感光性樹脂組成物とすることができる。 In the present invention, since the sum of the contents of the sensitizer, the first polymerization initiator, and the second polymerization initiator is within the above range, the sensitivity of the photosensitive resin composition for forming a colored layer to energy. Can be low. Therefore, when the colored layer is formed by photolithography, the photosensitive resin composition for forming the colored layer is cured at the portion irradiated with the diffracted energy, even when diffraction of the irradiated energy occurs. Can be prevented. Therefore, according to this invention, it can be set as the photosensitive resin composition for colored layer formation which can form the colored layer which has a fine hole part. In the present invention, since the sensitizer, the first polymerization initiator, and the second polymerization initiator are used in combination, the sensitivity to the energy of the colored layer forming photosensitive resin composition is reduced as described above. Even in this case, the portion where the colored layer is formed can be cured not only on the surface of the colored layer forming photosensitive resin composition but also on the substrate side. Therefore, it can be set as the photosensitive resin composition for colored layer formation which can form a colored layer with favorable adhesiveness with a board | substrate. In general, the photosensitive resin composition for forming a colored layer used for forming a green colored layer is compared with the photosensitive resin composition for forming a colored layer used for forming a colored layer of another color. In the present invention, since the second polymerization initiator having a maximum absorption wavelength different from that of the first polymerization initiator is used in the present invention, the colored layer is formed by utilizing energy in a wider wavelength range. It becomes possible to harden the photosensitive resin composition. Therefore, it can be set as the photosensitive resin composition for colored layer formation which can form a colored layer with favorable adhesiveness with a board | substrate and favorable curability.
上記発明においては、上記増感剤が、340nm〜400nmの範囲内の波長領域に最大吸収波長を有し、かつ上記増感剤の最大吸収波長の吸光係数が80000ml/g・cm以上であることが好ましい。一般的に露光に用いられる光源から照射されるエネルギーのピーク波長が上記波長領域にあるため、増感剤が最大吸収波長を上記範囲内に有するものとすることによって、光源から照射されたエネルギーを増感剤が効率的に吸収し、その吸収したエネルギーを着色層形成用感光性樹脂組成物の硬化に寄与させることが可能となるからである。 In the said invention, the said sensitizer has a maximum absorption wavelength in the wavelength range within the range of 340 nm-400 nm, and the extinction coefficient of the maximum absorption wavelength of the said sensitizer is 80000 ml / g * cm or more. Is preferred. Generally, since the peak wavelength of energy emitted from a light source used for exposure is in the above wavelength range, the sensitizer has the maximum absorption wavelength within the above range. This is because the sensitizer absorbs efficiently, and the absorbed energy can contribute to the curing of the photosensitive resin composition for forming the colored layer.
本発明は、上記に記載の着色層形成用感光性樹脂組成物を用いて、フォトリソグラフィー法により、孔部を有する着色層を形成する着色層形成工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。上記着色層形成用感光性樹脂組成物を用いて着色層を形成することから、本発明によれば、着色層中に微細なパターン状に孔部が形成されたものとすることができ、また基板と着色層との密着性を良好なものとすることができる。 The present invention provides a color filter comprising a colored layer forming step of forming a colored layer having a hole by a photolithography method using the photosensitive resin composition for forming a colored layer described above. Provide a method. Since the colored layer is formed using the photosensitive resin composition for forming the colored layer, according to the present invention, the pores can be formed in a fine pattern in the colored layer. The adhesion between the substrate and the colored layer can be improved.
本発明によれば、微細な孔部を有し、かつ基板との密着性が良好な着色層を形成することが可能な着色層形成用感光性樹脂組成物とすることができるという効果を奏する。 According to the present invention, it is possible to provide a photosensitive resin composition for forming a colored layer that can form a colored layer having fine pores and good adhesion to the substrate. .
本発明は、例えば半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ等の着色層の形成に用いられる着色層形成用感光性樹脂組成物、およびそれを用いたカラーフィルタの製造方法に関するものである。以下、それぞれについて分けて説明する。 The present invention relates to a photosensitive resin composition for forming a colored layer used for forming a colored layer such as a color filter for a transflective liquid crystal display device, and a method for producing a color filter using the same. Each will be described separately below.
A.着色層形成用感光性樹脂組成物
まず、本発明の着色層形成用感光性樹脂組成物について説明する。本発明の着色層形成用感光性樹脂組成物は、形成される着色層の色の違いにより、2つの実施態様がある。以下、それぞれの実施態様ごとに説明する。
A. First, the photosensitive resin composition for forming a colored layer of the present invention will be described. The photosensitive resin composition for forming a colored layer of the present invention has two embodiments depending on the color difference of the formed colored layer. Hereinafter, each embodiment will be described.
1.第1実施態様
まず、本発明の着色層形成用感光性樹脂組成物の第1実施態様について説明する。本実施態様の着色層形成用感光性樹脂組成物は、顔料と重合開始剤と増感剤とバインダー成分とを含有し、赤色着色層または青色着色層を形成する際に用いられるものである。また本実施態様においては、上記増感剤が、所定の範囲内の波長領域に最大吸収波長を有するものとされ、上記増感剤の最大吸収波長における吸光係数は所定の値以上とされる。また、上記増感剤の最大吸収波長は、上記重合開始剤の最大吸収波長より所定の値以上大きいものとされ、上記増感剤および上記重合開始剤の含有量の和は、上記着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分に対して所定の範囲内とされる。またさらに、上記着色層形成用感光性樹脂組成物に含有される上記重合開始剤の質量を1とした際、上記着色層形成用感光性樹脂組成物に含有される上記増感剤の質量は所定の範囲内とされる。
1. 1st embodiment First, the 1st embodiment of the photosensitive resin composition for colored layer formation of this invention is demonstrated. The photosensitive resin composition for forming a colored layer of this embodiment contains a pigment, a polymerization initiator, a sensitizer, and a binder component, and is used when forming a red colored layer or a blue colored layer. In the present embodiment, the sensitizer has a maximum absorption wavelength in a wavelength region within a predetermined range, and the extinction coefficient at the maximum absorption wavelength of the sensitizer is not less than a predetermined value. Further, the maximum absorption wavelength of the sensitizer is set to be a predetermined value or more larger than the maximum absorption wavelength of the polymerization initiator, and the sum of the contents of the sensitizer and the polymerization initiator is the formation of the colored layer. It is set within a predetermined range with respect to the solid content of the photosensitive resin composition. Furthermore, when the mass of the polymerization initiator contained in the photosensitive resin composition for forming a colored layer is 1, the mass of the sensitizer contained in the photosensitive resin composition for forming a colored layer is It is within a predetermined range.
上述したように、例えば半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタにおいては、微細な孔部を有する着色層を形成することが望まれている。しかしながら、一般的な着色層形成用感光性樹脂組成物を用いて、このような着色層をフォトリソグラフィー法により形成した場合、エネルギーの回折等によって、本来露光されるべきでない部分の着色層形成用感光性樹脂組成物まで感光してしまい、例えば孔部の深さが浅いものとなったり、孔部が潰れてしまうという問題があった。 As described above, for example, in a color filter used in a transflective liquid crystal display device, it is desired to form a colored layer having fine pores. However, when such a colored layer is formed by a photolithography method using a general photosensitive resin composition for forming a colored layer, it is for forming a colored layer that should not be exposed by energy diffraction or the like. There is a problem that the photosensitive resin composition is exposed to light, for example, the depth of the hole is shallow, or the hole is crushed.
一方、本実施態様によれば、着色層形成用感光性樹脂組成物中の重合開始剤と増感剤との含有量の和が、所定の範囲内とされていることから、着色層形成用感光性樹脂組成物のエネルギーに対する感度を低いものとすることができる。そのため、本実施態様の着色層形成用感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法により着色層を形成した際、エネルギーの回折等が生じた場合であっても、本来露光されるべきでない部分の着色層形成用感光性樹脂組成物が感光してしまうこと等を防ぐことができ、孔部の深さが浅いものとなったり、孔部が潰れてしまうこと等を防ぐことができるのである。 On the other hand, according to the present embodiment, since the sum of the contents of the polymerization initiator and the sensitizer in the photosensitive resin composition for forming a colored layer is within a predetermined range, The sensitivity with respect to the energy of the photosensitive resin composition can be made low. Therefore, when a colored layer is formed by a photolithography method using the photosensitive resin composition for forming a colored layer of this embodiment, even if energy diffraction or the like occurs, the portion that should not be exposed originally It is possible to prevent the photosensitive resin composition for forming the colored layer from being exposed to light and the like, and it is possible to prevent the depth of the hole from becoming shallow or the hole from being crushed.
また、本実施態様においては、上記増感剤と上記重合開始剤とを組み合わせて用いることから、上記重合開始剤と増感剤との含有量の和を上述した範囲とし、着色層形成用感光性樹脂組成物のエネルギーに対する感度を低いものとした場合であっても、形成された着色層と基板との密着性を高いものとすることができる。これは、上記重合開始剤と上記増感剤との最大吸収波長どうしが近い場合、露光の際照射されるエネルギーのうち、上記最大吸収波長近傍の波長のエネルギーが、着色層形成用感光性樹脂組成物の表面側で上記増感剤および重合開始剤によって消費されてしまい、着色層形成用感光性樹脂組成物の基板側まで到達し難くなる。そのため、この部分で重合開始剤がその機能を十分に発揮することができず、着色層形成用感光性樹脂組成物の硬化が弱くなるため、形成された着色層と基板との密着性が弱くなる。一方、本実施態様においては、上記重合開始剤と増感剤との最大吸収波長が所定の値以上異なることから、上記増感剤の最大吸収波長近傍のエネルギーが着色層形成用感光性樹脂組成物の基板側まで到達し易いものとすることができる。そのため、この部分で増感剤が上記エネルギーを吸収し、その吸収したエネルギーを重合開始剤の反応開始に寄与させることが可能となるのである。したがって、本発明によれば着色層形成用感光性樹脂組成物を基板側まで十分に硬化させることができ、基板との密着性が良好な着色層を形成することが可能となるのである。
以下、本実施態様の着色層形成用感光性樹脂組成物に含有される材料ごとに詳しく説明する。
Further, in this embodiment, since the sensitizer and the polymerization initiator are used in combination, the sum of the contents of the polymerization initiator and the sensitizer is within the above-described range, and the colored layer forming photosensitive layer is used. Even if it is a case where the sensitivity with respect to the energy of an adhesive resin composition is made low, the adhesiveness of the formed colored layer and a board | substrate can be made high. This is because, when the maximum absorption wavelengths of the polymerization initiator and the sensitizer are close to each other, the energy of the wavelength in the vicinity of the maximum absorption wavelength among the energy irradiated during exposure is a photosensitive resin for forming a colored layer. It is consumed by the sensitizer and the polymerization initiator on the surface side of the composition, and it is difficult to reach the substrate side of the photosensitive resin composition for forming a colored layer. Therefore, in this part, the polymerization initiator cannot sufficiently exert its function, and the curing of the photosensitive resin composition for forming the colored layer is weakened. Therefore, the adhesion between the formed colored layer and the substrate is weak. Become. On the other hand, in this embodiment, since the maximum absorption wavelength of the polymerization initiator and the sensitizer are different from each other by a predetermined value or more, the energy in the vicinity of the maximum absorption wavelength of the sensitizer is a photosensitive resin composition for forming a colored layer. It is possible to easily reach the substrate side of the object. Therefore, the sensitizer absorbs the energy at this portion, and the absorbed energy can contribute to the reaction start of the polymerization initiator. Therefore, according to this invention, the photosensitive resin composition for colored layer formation can fully be hardened to the board | substrate side, and it becomes possible to form a colored layer with favorable adhesiveness with a board | substrate.
Hereinafter, it demonstrates in detail for every material contained in the photosensitive resin composition for colored layer formation of this embodiment.
(増感剤)
まず、本実施態様の着色層形成用感光性樹脂組成物に含有される増感剤について説明する。本実施態様に用いられる増感剤は、上記着色層形成用感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、露光した際に、照射されたエネルギーを吸収し、その吸収したエネルギーを後述する重合開始剤の反応開始に寄与させる役割を担う物質である。
(Sensitizer)
First, the sensitizer contained in the photosensitive resin composition for forming a colored layer of this embodiment will be described. The sensitizer used in the present embodiment absorbs the irradiated energy when the photosensitive resin composition for forming a colored layer is applied onto a substrate and exposed to light, and the polymerization starts to be described later. It is a substance that plays a role in contributing to the reaction initiation of the agent.
本実施態様に用いられる増感剤は、340nm〜420nmの範囲内に最大吸収波長を有するものとされるが、中でも340nm〜410nmの範囲内、特に340nm〜400nmの範囲内に最大吸収波長を有していることが好ましい。これにより、着色層の形成の際に一般的に用いられる露光装置から照射されるエネルギーを効率的に吸収することが可能となるからである。また上記波長領域以上の長波長側のエネルギーは、それより短波長側の波長領域のエネルギーと比較して、着色層形成用感光性樹脂組成物表面で散乱することなく、着色層形成用感光性樹脂組成物の基板側まで到達しやすい性質を有している。したがって、増感剤が上述した波長領域に最大吸収波長を有するものとすることにより、露光の際に着色層形成用感光性樹脂組成物が基板側まで十分に硬化するものとすることができ、形成された着色層と基板との密着性を良好なものとすることができる。なお、上記最大吸収波長とは、200nm〜700nmの範囲内の波長領域における吸収スペクトルを紫外・可視分光光度計(PERKIN ELMER製 UV/Vis/NIR Spectroscopy)により測定した際、得られる吸収波長のうち最大の吸収波長のことをいう。 The sensitizer used in this embodiment has a maximum absorption wavelength in the range of 340 nm to 420 nm, and has a maximum absorption wavelength in the range of 340 nm to 410 nm, particularly in the range of 340 nm to 400 nm. It is preferable. This is because it is possible to efficiently absorb energy irradiated from an exposure apparatus generally used in forming the colored layer. Further, the energy on the longer wavelength side of the above wavelength region is not scattered on the surface of the photosensitive resin composition for forming the colored layer, compared with the energy in the wavelength region on the shorter wavelength side. It has the property of easily reaching the substrate side of the resin composition. Therefore, by making the sensitizer have the maximum absorption wavelength in the wavelength region described above, the photosensitive resin composition for forming a colored layer can be sufficiently cured to the substrate side during exposure, Adhesion between the formed colored layer and the substrate can be improved. The maximum absorption wavelength is the absorption wavelength obtained when an absorption spectrum in a wavelength region within a range of 200 nm to 700 nm is measured with an ultraviolet / visible spectrophotometer (UV / Vis / NIR Spectroscopy manufactured by PERKIN ELMER). The maximum absorption wavelength.
またこの際、上記最大吸収波長における吸光係数は、80000ml/g・cm以上とされ、中でも90000ml/g・cm以上、特に100000ml/g・cm以上であることが好ましい。これにより、上記最大吸収波長における増感剤の感度が良好なものとすることができるからである。なお、上記吸光係数は、着色層形成用感光性樹脂組成物をメタノールに溶解させ、それを光が透過する長さが1cmとなる石英セルに入れ、紫外・可視分光光度計(PERKIN ELMER製 UV/Vis/NIR Spectroscopy)により測定を行うことにより測定される値である。 At this time, the extinction coefficient at the maximum absorption wavelength is 80000 ml / g · cm or more, preferably 90000 ml / g · cm or more, and particularly preferably 100000 ml / g · cm or more. This is because the sensitivity of the sensitizer at the maximum absorption wavelength can be improved. The light absorption coefficient is determined by dissolving the photosensitive resin composition for forming the colored layer in methanol, placing it in a quartz cell with a length of 1 cm for light transmission, and UV / visible spectrophotometer (UV manufactured by PERKIN ELMER / Vis / NIR Spectroscopy).
また、本実施態様においては、上記増感剤の最大吸収波長は、後述する重合開始剤の最大吸収波長より40nm以上大きいものとされ、中でも40nm〜120nmの範囲内、特に40nm〜80nmの範囲内大きいものとされることが好ましい。これにより、増感剤によって、重合開始剤が吸収しない波長のエネルギーを吸収し、重合開始剤の反応開始に寄与させることができる。また長波長側のエネルギーは、短波長側のエネルギーと比較して、着色層形成用感光性樹脂組成物表面で散乱することなく、着色層形成用感光性樹脂組成物の基板側まで到達しやすい性質がある。したがって、上記増感剤の最大吸収波長を、重合開始剤の最大吸収波長より大きいものとすることにより、増感剤が基板側で硬化を発揮しやすいものとすることができる。これにより、着色層形成用感光性樹脂組成物が露光された際、着色層形成用感光性樹脂組成物が基板側まで十分に硬化するものとすることができ、形成された着色層と基板との密着性を良好なものとすることができる。 In the present embodiment, the maximum absorption wavelength of the sensitizer is 40 nm or more larger than the maximum absorption wavelength of the polymerization initiator described later, and particularly within the range of 40 nm to 120 nm, particularly within the range of 40 nm to 80 nm. It is preferable to make it large. Thereby, the energy of the wavelength which a polymerization initiator does not absorb can be absorbed with a sensitizer, and it can contribute to the reaction start of a polymerization initiator. Further, the energy on the long wavelength side can easily reach the substrate side of the photosensitive resin composition for forming the colored layer without being scattered on the surface of the photosensitive resin composition for forming the colored layer, as compared with the energy on the short wavelength side. There is a nature. Therefore, by making the maximum absorption wavelength of the sensitizer larger than the maximum absorption wavelength of the polymerization initiator, the sensitizer can easily exhibit curing on the substrate side. Thereby, when the photosensitive resin composition for forming a colored layer is exposed, the photosensitive resin composition for forming a colored layer can be sufficiently cured to the substrate side. The adhesion can be made good.
このような増感剤としては、例えば、 As such a sensitizer, for example,
で表される増感剤を挙げることができる。ここで、R1、R2、R3、R4は、それぞれ水素、または炭素数1〜5のアルキル基のいずれかを示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。 The sensitizer represented by these can be mentioned. Here, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 each represent either hydrogen or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and may be the same or different.
上記増感剤として、具体的には、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4−メチル−4’−ジエチルアミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジエチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジプロピルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジイソプロピルアミノ)ベンゾフェノン等を挙げることができ、これらを1種または2種以上混合して用いることができる。 Specific examples of the sensitizer include 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4-methyl-4′-diethylaminobenzophenone, and 4-methoxy-4 ′. -Diethylaminobenzophenone, 4,4'-bis (dipropylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diisopropylamino) benzophenone, etc. can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more. .
また上記増感剤は、着色層形成用感光性樹脂組成物中に含有される上記増感剤の含有量と、着色層形成用感光性樹脂組成物中に含有される上記重合開始剤との含有量の和が、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分に対して4質量%〜17質量%の範囲内となるように添加され、中でも6質量%〜17質量%の範囲内、特に6質量%〜15質量%の範囲内とされることが好ましい。これにより、着色層形成用感光性樹脂組成物のエネルギーに対する感度を低いものとすることができ、露光の際に照射されるエネルギーが回折した場合であっても、その影響を小さいものとすることができるからである。 Further, the sensitizer comprises a content of the sensitizer contained in the photosensitive resin composition for forming a colored layer and a polymerization initiator contained in the photosensitive resin composition for forming a colored layer. It is added so that the sum of the contents is in the range of 4% by mass to 17% by mass with respect to the solid content of the photosensitive resin composition for forming the colored layer, and particularly in the range of 6% by mass to 17% by mass. In particular, it is preferable to be within a range of 6% by mass to 15% by mass. Thereby, the sensitivity with respect to the energy of the photosensitive resin composition for forming the colored layer can be lowered, and even when the energy irradiated at the time of exposure is diffracted, the influence should be reduced. Because you can.
またこの際、上記着色層形成用感光性樹脂組成物に含有される上記重合開始剤と上記増感剤との質量比としては、上記重合開始剤の質量を1とした際、上記増感剤の質量が0.05〜0.45の範囲内、中でも0.05〜0.25の範囲内、特に0.1〜0.25の範囲内とされることが好ましい。このような比率で上記増感剤と後述する重合開始剤とを含有させることにより、着色層形成用感光性樹脂組成物の表面だけでなく、基板側まで硬化させることが可能となるからである。 At this time, as a mass ratio of the polymerization initiator and the sensitizer contained in the photosensitive resin composition for forming a colored layer, when the mass of the polymerization initiator is 1, the sensitizer Is preferably in the range of 0.05 to 0.45, more preferably in the range of 0.05 to 0.25, and particularly preferably in the range of 0.1 to 0.25. This is because by containing the sensitizer and the polymerization initiator described below at such a ratio, it is possible to cure not only the surface of the photosensitive resin composition for forming a colored layer but also the substrate side. .
なお、上記増感剤の具体的な含有量としては、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分中に0.02質量%〜7.7質量%の範囲内、中でも0.6質量%〜7.7質量%の範囲内、特に0.6質量%〜6.8質量%の範囲内とされていることが好ましい。増感剤の含有量が上記範囲であることにより、形成された着色層と基板との密着性を良好なものとすることができるからである。 In addition, as specific content of the said sensitizer, it exists in the range of 0.02 mass%-7.7 mass% in solid content of the photosensitive resin composition for colored layer formation, Especially 0.6 mass% It is preferable to be in the range of ˜7.7 mass%, particularly in the range of 0.6 mass% to 6.8 mass%. This is because when the content of the sensitizer is within the above range, the adhesion between the formed colored layer and the substrate can be improved.
(重合開始剤)
次に、本実施態様に用いられる重合開始剤について説明する。本実施態様に用いられる重合開始剤は、照射されるエネルギーの作用により、ラジカル等の活性種を発生し、後述するバインダー成分の重合反応を開始させる役割を有するものである。
(Polymerization initiator)
Next, the polymerization initiator used in this embodiment will be described. The polymerization initiator used in the present embodiment has a role of generating active species such as radicals by the action of irradiated energy and initiating a polymerization reaction of a binder component described later.
本実施態様に用いられる重合開始剤は、上述した増感剤の最大吸収波長より、上述した値以上小さい最大吸収波長を有するものであれば特に限定されるものではないが、上記重合開始剤は、最大吸収波長を、260nm〜310nmの範囲内、特に280nm〜310nmの範囲内の波長領域に有することが好ましい。これにより、重合開始剤の添加によって着色層形成用重合開始剤が着色されてしまうこと等の少ないものとすることができるからである。 The polymerization initiator used in the present embodiment is not particularly limited as long as it has a maximum absorption wavelength that is smaller than the above-described value than the maximum absorption wavelength of the sensitizer described above. The maximum absorption wavelength is preferably in the wavelength range of 260 nm to 310 nm, particularly in the range of 280 nm to 310 nm. This is because the colored layer forming polymerization initiator is less likely to be colored by the addition of the polymerization initiator.
またこの際、上記重合開始剤の最大吸収波長における吸光係数は、40000ml/g・cm以上、特に50000ml/g・cm以上であることが好ましい。上記重合開始剤の最大吸収波長における吸光係数が、上記値以上であることにより、重合開始剤が上記最大吸収波長において効率よくエネルギーを吸収することができるからである。 At this time, the extinction coefficient at the maximum absorption wavelength of the polymerization initiator is preferably 40000 ml / g · cm or more, more preferably 50000 ml / g · cm or more. This is because the polymerization initiator can efficiently absorb energy at the maximum absorption wavelength when the extinction coefficient at the maximum absorption wavelength of the polymerization initiator is not less than the above value.
このような重合開始剤としては、例えばアセトフェノン系の重合開始剤を挙げることができ、具体的には、一般式 As such a polymerization initiator, for example, an acetophenone-based polymerization initiator can be mentioned.
で表される重合開始剤を挙げることができる。ここで、R1、R2、R3、R4は、それぞれ水素、または炭素数1〜5のアルキル基のいずれかを示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。また、Arはモルフォリノ基を示す。 The polymerization initiator represented by these can be mentioned. Here, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 each represent either hydrogen or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and may be the same or different. Ar represents a morpholino group.
上記重合開始剤として、具体的には、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−メチル−1[4−(エチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノブタン−1−オン等を挙げることができ、これらを1種または2種以上混合して用いることができる。 Specific examples of the polymerization initiator include 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one and 2-methyl-1 [4- (ethylthio) phenyl] -2. -Morpholinopropan-1-one, 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinobutan-1-one, etc. can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more. Can be used.
また、上記重合開始剤は、上述したように、着色層形成用感光性樹脂組成物中に、上記増感剤と所定の割合で、かつ重合開始剤と増感剤との含有量の和が所定の範囲内となるように含有される。上記重合開始剤の含有量として具体的には、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分中に2.8質量%〜16.2質量%の範囲内、中でも2.8質量%〜15.3質量%の範囲内、特に4.0質量%〜13.5質量%の範囲内とされていることが好ましい。 Further, as described above, in the photosensitive resin composition for forming a colored layer, the polymerization initiator has a predetermined proportion of the sensitizer and the sum of the contents of the polymerization initiator and the sensitizer. It is contained so as to be within a predetermined range. Specifically, the content of the polymerization initiator is within the range of 2.8% by mass to 16.2% by mass in the solid content of the photosensitive resin composition for forming a colored layer, and particularly 2.8% by mass to 15%. It is preferable to be within a range of .3% by mass, particularly within a range of 4.0% by mass to 13.5% by mass.
(バインダー成分)
次に、本実施態様に用いられるバインダー成分について説明する。本実施態様に用いられるバインダー成分は、形成された着色層中で結着剤としての役割を果たすものであり、基板と密着性が良好なものであれば、特に限定されるものではない。
(Binder component)
Next, the binder component used in this embodiment will be described. The binder component used in this embodiment plays a role as a binder in the formed colored layer, and is not particularly limited as long as it has good adhesion to the substrate.
このようなバインダー成分は、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分中に5質量%〜60質量%の範囲内、特に10質量%〜50質量%の範囲内含有されていることが好ましい。上記バインダー成分の含有量が上記範囲に満たない場合、形成された着色層と基板との密着性が劣る傾向にあるからである。 Such a binder component is preferably contained in the range of 5% by mass to 60% by mass, particularly in the range of 10% by mass to 50% by mass, in the solid content of the photosensitive resin composition for forming a colored layer. . This is because when the content of the binder component is less than the above range, the adhesion between the formed colored layer and the substrate tends to be inferior.
ここで、本実施態様に用いられるバインダー成分としては、重合可能なモノマー成分やポリマー成分等が挙げられる。本実施態様に用いられるポリマー成分としては、一般的な着色層の形成に用いられるものと同様のものを用いることができ、例えば、ポリマー成分としては、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−塩化ビニル共重合体、エチレンビニル共重合体、ポリスチレン、アクリロニトリル−スチレン共重合体、ABS樹脂、ポリメタクリル酸樹脂、エチレンメタクリル酸樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、塩素化塩化ビニル、ポリビニルアルコール、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリビニルアセタール、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、ポリビニルブチラール、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミック酸樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂等、および、重合可能なモノマーであるメチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、sec-ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、n−ペンチル(メタ)アクリレート、n−ヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、n−オクチル(メタ)アクリレート、n−デシル(メタ)アクリレート、スチレン、α−メチルスチレン、N−ビニル−2−ピロリドン、グリシジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレートの1種以上と、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸の2量体(例えば、東亜合成化学(株)製M−5600)、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、これらの酸無水物等の1種以上とからなるポリマーまたはコポリマー等が挙げられる。また、上記のコポリマーにグリシジル基または水酸基を有するエチレン性不飽和化合物を付加させたポリマー等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。 Here, examples of the binder component used in this embodiment include polymerizable monomer components and polymer components. The polymer component used in this embodiment can be the same as that used for forming a general colored layer. Examples of the polymer component include ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-chloride. Vinyl copolymer, ethylene vinyl copolymer, polystyrene, acrylonitrile-styrene copolymer, ABS resin, polymethacrylic acid resin, ethylene methacrylic acid resin, polyvinyl chloride resin, chlorinated vinyl chloride, polyvinyl alcohol, polyethylene terephthalate, poly Butylene terephthalate, polycarbonate, polyvinyl acetal, polyether ether ketone, polyether sulfone, polyphenylene sulfide, polyarylate, polyvinyl butyral, epoxy resin, phenoxy resin, polyimide resin, polyamide Mide resin, polyamic acid resin, polyetherimide resin, phenol resin, urea resin, etc., and polymerizable monomers methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) ) Acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, n-pentyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, n -Octyl (meth) acrylate, n-decyl (meth) acrylate, styrene, α-methylstyrene, N-vinyl-2-pyrrolidone, glycidyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate A dimer of an acrylic acid, methacrylic acid, and acrylic acid (for example, Toa Synthetic Chemical Co., Ltd.), at least one of a rate, dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, and benzyl (meth) acrylate ) M-5600), itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, polymers or copolymers composed of one or more of these acid anhydrides, and the like. Moreover, although the polymer etc. which added the ethylenically unsaturated compound which has a glycidyl group or a hydroxyl group to said copolymer are mentioned, it is not limited to these.
本実施態様においては、上記のポリマー成分の中でも、合わせて使用するモノマー成分との相溶性等の観点から、ポリメタクリル酸メチル樹脂、ポリメタクリル酸エチル樹脂、ポリメタクリル酸メチル樹脂とポリメタクリル酸エチル樹脂の共重合体、フェノキシ樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、エチルヒドロキシエチルセルロース、セルローストリアセテート等を好ましく使用することができる。特に好ましくは、ポリメタクリル酸メチル樹脂、ポリメタクリル酸エチル樹脂、ポリスチレン樹脂、メタクリル酸とスチレン、グリシジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレートの2種類以上からなる共重合体、フェノキシ樹脂、エポキシ樹脂、および、これらの変性物を使用することができる。 In this embodiment, among the above polymer components, from the viewpoint of compatibility with the monomer components used together, polymethyl methacrylate resin, polyethyl methacrylate resin, polymethyl methacrylate resin and polyethyl methacrylate Resin copolymers, phenoxy resins, epoxy resins, polycarbonate resins, polystyrene resins, ethyl hydroxyethyl cellulose, cellulose triacetate, and the like can be preferably used. Particularly preferably, polymethyl methacrylate resin, polyethyl methacrylate resin, polystyrene resin, methacrylic acid and styrene, glycidyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate These two or more types of copolymers, phenoxy resins, epoxy resins, and modified products thereof can be used.
このようなポリマー成分の分子量としては、形成された着色層と基板との密着性が良好であり、かつ微細な孔部が形成可能であるという面から、3000〜100000の範囲内、特に5000〜50000の範囲内であることが好ましい。 The molecular weight of such a polymer component is within the range of 3000 to 100,000, particularly 5000 to 500,000 in terms of good adhesion between the formed colored layer and the substrate and the ability to form fine pores. It is preferable to be within the range of 50,000.
また、モノマー成分としては、具体的には、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、ブトキシエチル(メタ)アクリレート、ブトキシエチレングリコール(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、イソボニル(メタ)アクリレート、イソデキシル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3−プロパンジオール(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、2,2−ジメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、グリセロールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,2,4−ブタントリオールトリ(メタ)アクリレート、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、ジアリルフマレート、1,10−デカンジオールジメチル(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、1−ビニル−2−ピロリドン、2−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート、テトラヒドロフルフリール(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸エステルネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、フェノール−エチレンオキサイド変性(メタ)アクリレート、フェノール−プロピレンオキサイド変性(メタ)アクリレート、N−ビニル−2−ピロリドン、ビスフェノールA−エチレンオキサイド変性ジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレートモノステアレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキサド変性トリ(メタ)アクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキサイド変性トリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド変性トリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ポリウレタン構造を有するオリゴマーに(メタ)アクリレート基を結合させたウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー、ポリエステル構造を有するオリゴマーに(メタ)アクリレート基を結合させたポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマー、エポキシ基を有するオリゴマーに(メタ)アクリレート基を結合させたエポキシ(メタ)アクリレートオリゴマー、(メタ)アクリレート基を有するポリウレタン(メタ)アクリレート、(メタ)アクリレート基を有するポリエステル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリレート基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂等が挙げられ、これらを1種類または2種類以上用いることが可能である。 Specific examples of the monomer component include allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, butoxyethyl (meth) acrylate, butoxyethylene glycol (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl ( (Meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, isodexyl ( (Meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate, methoxyethylene glycol (meth) acrylate Phenoxyethyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,5-pentanediol di (meth) Acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,3-propanediol (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanediol di (meth) acrylate, 2,2-dimethylolpropane di (meth) acrylate, Glycerol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, polyoxyethylated trimethylolpropane tri (Meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, polyoxypropyltrimethylolpropane tri (meth) acrylate, butylene glycol di (meth) acrylate, 1 , 2,4-butanetriol tri (meth) acrylate, 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol di (meth) acrylate, diallyl fumarate, 1,10-decanediol dimethyl (meth) acrylate, di Pentaerythritol hexa (meth) acrylate, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 1-vinyl-2-pyrrolidone, 2-hydroxyethylacryloyl phosphate, tetrahydrofurfuryl (medium ) Acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, 3-butanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, hydroxypivalin Acid ester neopentyl glycol di (meth) acrylate, phenol-ethylene oxide modified (meth) acrylate, phenol-propylene oxide modified (meth) acrylate, N-vinyl-2-pyrrolidone, bisphenol A-ethylene oxide modified di (meth) acrylate , Pentaerythritol di (meth) acrylate monostearate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) Chryrate, trimethylolpropane propylene oxide modified tri (meth) acrylate, isocyanuric acid ethylene oxide modified tri (meth) acrylate, trimethylolpropane ethylene oxide modified tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipenta Erythritol hexa (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate oligomer in which (meth) acrylate group is bonded to oligomer having polyurethane structure, (meth) acrylate group is bonded to oligomer having polyester structure Polyester (meth) acrylate oligomer and epoxy (meth) acrylate group bonded to (meth) acrylate group oligomer ) Acrylate oligomer, polyurethane (meth) acrylate having a (meth) acrylate group, polyester (meth) acrylate having a (meth) acrylate group, epoxy (meth) acrylate resin having a (meth) acrylate group, and the like. One type or two or more types can be used.
なお、本実施態様において(メタ)アクリレートとはアクリレート基又はメタクリレート基のいずれかであることを意味する。 In the present embodiment, (meth) acrylate means either an acrylate group or a methacrylate group.
また、本実施態様においては、上記のモノマー成分に酸性官能基を導入してもよい。これにより、着色層を形成する際の現像時に、着色層形成用感光性樹脂組成物の現像液等に対する溶解性を上げることが可能となり、形成された孔部中に着色層形成用感光性樹脂組成物の残渣等を少ないものとすることができるからである。このような酸性官能基としては、例えばアルカリ現像可能なものであれば良く、具体的にはカルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基などを挙げることができ、中でもカルボキシル基が好ましい。 Moreover, in this embodiment, you may introduce | transduce an acidic functional group into said monomer component. This makes it possible to increase the solubility of the photosensitive resin composition for forming a colored layer in a developing solution during development when forming the colored layer, and the photosensitive resin for forming the colored layer in the formed holes. This is because the residue of the composition can be reduced. Examples of such an acidic functional group are those that can be alkali-developable, and specific examples thereof include a carboxyl group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group. Among these, a carboxyl group is preferable.
さらにまた、本実施態様においては、形成された着色層と基板との密着性向上のために、モノマー成分中の官能基数を、2〜6、特に3〜6とすることが好ましい。 Furthermore, in this embodiment, in order to improve the adhesion between the formed colored layer and the substrate, the number of functional groups in the monomer component is preferably 2 to 6, particularly 3 to 6.
なお、本実施態様においては、上記モノマー成分およびポリマー成分の質量比は、上記モノマー成分の質量を1とした際、上記ポリマー成分の質量が0.8〜3の範囲内、特に1〜2.5の範囲内であることが好ましい。これにより、微細な孔部を形成することが可能となり、また形成された着色層と基板との密着性をより良好なものとすることができるからである。 In this embodiment, the mass ratio of the monomer component to the polymer component is such that the mass of the polymer component is in the range of 0.8 to 3, particularly 1 to 2. It is preferable to be within the range of 5. Thereby, it is possible to form a fine hole, and it is possible to improve the adhesion between the formed colored layer and the substrate.
(顔料)
次に、本実施態様に用いられる顔料について説明する。本実施態様において用いられる顔料は、着色層形成用感光性樹脂組成物を目的とする色に着色可能な顔料であれば特に限定されるものではなく、一般的な着色層の形成に用いられる顔料と同様とすることができる。
(Pigment)
Next, the pigment used in this embodiment will be described. The pigment used in this embodiment is not particularly limited as long as it is a pigment that can be colored to the target color of the photosensitive resin composition for forming a colored layer, and is a pigment that is used for forming a general colored layer. And can be similar.
本実施態様においては、このような顔料は、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分中に13質量%〜50質量%の範囲内、中でも17質量%〜45質量%の範囲内含有されていることが好ましい。 In this embodiment, such a pigment is contained in the solid content of the photosensitive resin composition for forming a colored layer in the range of 13% by mass to 50% by mass, particularly in the range of 17% by mass to 45% by mass. It is preferable.
また、本実施態様の着色層形成用感光性樹脂組成物を用いて赤色着色層を形成する場合には、上記顔料として例えば、PR(ピグメントレッド)109、122、123、166、177、190、206、209、215、242、254等を用いることができる。なお、これらの顔料は1種または2種以上組み合わせて用いてもよい。 Moreover, when forming a red colored layer using the photosensitive resin composition for colored layer formation of this embodiment, as said pigment, PR (pigment red) 109, 122, 123, 166, 177, 190, 206, 209, 215, 242, 254, etc. can be used. In addition, you may use these pigments 1 type or in combination of 2 or more types.
また、本実施態様の着色層形成用感光性樹脂組成物を用いて青色着色層を形成する場合には、上記顔料として例えばPB(ピグメントブルー)15:1、15:2、15:3、15:4、15:5、15:6やPV(ピグメントバイオレット)19、23等を用いることができる。なお、これらの顔料は1種または2種以上組み合わせて用いてもよい。 Moreover, when forming a blue colored layer using the photosensitive resin composition for colored layer formation of this embodiment, as said pigment, PB (pigment blue) 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15 : 4, 15: 5, 15: 6, PV (Pigment Violet) 19, 23, etc. can be used. In addition, you may use these pigments 1 type or in combination of 2 or more types.
(着色層形成用感光性樹脂組成物)
本実施態様における着色層形成用感光性樹脂組成物は、上述した増感剤、重合開始剤、バインダー成分および顔料を含有するものであれば、特に限定されるものではなく、必要に応じて適宜溶剤や密着助剤、各種調整剤等を含有していてもよい。
(Photosensitive resin composition for forming colored layer)
The photosensitive resin composition for forming a colored layer in the present embodiment is not particularly limited as long as it contains the sensitizer, the polymerization initiator, the binder component, and the pigment described above. It may contain a solvent, an adhesion aid, various adjusting agents, and the like.
本実施態様においては、形成された着色層と基板との密着性向上のために、特に密着助剤を用いることが好ましい。このような密着助剤としては、例えばシランカップリング材として用いられているものを用いることができ、具体的には、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)、エチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等を挙げることができ、これらを1種または2種以上混合して用いることができる。 In this embodiment, it is particularly preferable to use an adhesion assistant in order to improve the adhesion between the formed colored layer and the substrate. As such an adhesion assistant, for example, those used as silane coupling materials can be used, and specifically, 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3 -Methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, 3-methacryloxypropyltriethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 2- (3,4- Epoxy cyclohexyl), ethyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, and the like. Or it can be used as a mixture of two or more.
また、上記密着助剤は、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分に、2質量%〜5質量%の範囲内、特に3質量%〜5質量%の範囲内含有されていることが好ましい。 Further, the adhesion aid is contained in the solid content of the photosensitive resin composition for forming a colored layer in the range of 2% by mass to 5% by mass, particularly in the range of 3% by mass to 5% by mass. preferable.
また、本実施態様においては、上述した増感剤と異なる吸収波長を有する増感剤や、上述した重合開始剤と異なる吸収波長を有する重合開始剤が、着色層形成用感光性樹脂組成物中に含有されていてもよい。この場合においても、着色層形成用感光性樹脂組成物中に含有される全ての増感剤の含有量と、着色層形成用感光性樹脂組成物中に含有される全ての重合開始剤との含有量の和が、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分に対して4質量%〜17質量%の範囲内、中でも6質量%〜17質量%の範囲内、特に6質量%〜15質量%の範囲内とされていることが好ましい。 In this embodiment, the sensitizer having an absorption wavelength different from that of the sensitizer described above and the polymerization initiator having an absorption wavelength different from that of the polymerization initiator described above are contained in the photosensitive resin composition for forming a colored layer. It may be contained in. Even in this case, the content of all the sensitizers contained in the photosensitive resin composition for forming the colored layer and all the polymerization initiators contained in the photosensitive resin composition for forming the colored layer. The sum of the contents is in the range of 4% by mass to 17% by mass, particularly in the range of 6% by mass to 17% by mass, particularly in the range of 6% by mass to 15% with respect to the solid content of the photosensitive resin composition for forming the colored layer. It is preferable to be within the range of mass%.
ここで、本実施態様の着色層形成用感光性樹脂組成物は、フォトリソグラフィー法により着色層を形成する際に用いられるものであるが、特に反射光用領域に孔部を有する、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの着色層の形成や、カラーフィルタ付きアレイ基板の着色層の形成等に用いられることが好ましい。 Here, the photosensitive resin composition for forming a colored layer of the present embodiment is used when forming a colored layer by a photolithography method, and particularly has a hole in the region for reflected light, and is a transflective type. It is preferably used for forming a colored layer of a color filter for a liquid crystal display, forming a colored layer of an array substrate with a color filter, or the like.
また、上記着色層形成用感光性樹脂組成物を露光する際に用いられる光源としては、一般的に着色層の形成の際に用いられている光源と同様とすることができるが、特に超高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等、紫外部に高輝線を有するランプが用いられることが好ましい。 The light source used when exposing the colored resin composition for forming a colored layer can be the same as the light source generally used for forming the colored layer, but it is particularly high pressure. It is preferable to use a lamp having a high emission line in the ultraviolet part, such as a mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, or a metal halide lamp.
2.第2実施態様
次に、本発明の着色層形成用感光性樹脂組成物の第2実施態様について説明する。本実施態様の着色層形成用感光性樹脂組成物は、顔料と第1重合開始剤と第2重合開始剤と増感剤とバインダー成分とを含有し、緑色着色層を形成する際に用いられるものである。また本実施態様において、上記増感剤は、所定の範囲内の波長領域に最大吸収波長を有するものとされ、また上記増感剤の最大吸収波長における吸光係数は所定の値以上とされる。また、上記増感剤の最大吸収波長は、上記第1重合開始剤の最大吸収波長より所定の値以上大きいものとされ、上記第2重合開始剤は、所定の範囲内の波長領域に最大吸収波長を有するものとされる。またさらに、上記増感剤、上記第1重合開始剤、および上記第2重合開始剤の含有量の和は、上記着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分中に所定の範囲内含有されているものとされ、上記着色層形成用感光性樹脂組成物に含有される上記第1重合開始剤と上記第2重合開始剤との質量の和を1とした際、上記着色層形成用感光性樹脂組成物に含有される上記増感剤の質量は所定の範囲内とされる。
2. Second Embodiment Next, a second embodiment of the photosensitive resin composition for forming a colored layer of the present invention will be described. The photosensitive resin composition for forming a colored layer according to this embodiment contains a pigment, a first polymerization initiator, a second polymerization initiator, a sensitizer, and a binder component, and is used when forming a green colored layer. Is. In the present embodiment, the sensitizer has a maximum absorption wavelength in a wavelength region within a predetermined range, and the extinction coefficient at the maximum absorption wavelength of the sensitizer is not less than a predetermined value. The maximum absorption wavelength of the sensitizer is greater than the maximum absorption wavelength of the first polymerization initiator by a predetermined value or more, and the second polymerization initiator has a maximum absorption in a wavelength region within a predetermined range. It has a wavelength. Furthermore, the sum of the contents of the sensitizer, the first polymerization initiator, and the second polymerization initiator is contained within a predetermined range in the solid content of the colored layer forming photosensitive resin composition. When the sum of the masses of the first polymerization initiator and the second polymerization initiator contained in the photosensitive resin composition for forming a colored layer is 1, the colored layer forming photosensitive material is used. The mass of the sensitizer contained in the photosensitive resin composition is set within a predetermined range.
上述したように、例えば半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタにおいては、微細な孔部を有する着色層を形成することが望まれている。しかしながら、一般的な着色層形成用感光性樹脂組成物を用いて、このような着色層をフォトリソグラフィー法により形成した場合、エネルギーの回折等によって、本来露光されるべきでない部分の着色層形成用感光性樹脂組成物まで感光してしまい、例えば孔部の深さが浅いものとなったり、孔部が潰れてしまうという問題があった。 As described above, for example, in a color filter used in a transflective liquid crystal display device, it is desired to form a colored layer having fine pores. However, when such a colored layer is formed by a photolithography method using a general photosensitive resin composition for forming a colored layer, it is for forming a colored layer that should not be exposed by energy diffraction or the like. There is a problem that the photosensitive resin composition is exposed to light, for example, the depth of the hole is shallow, or the hole is crushed.
一方、本実施態様によれば、着色層形成用感光性樹脂組成物中の第1重合開始剤、第2重合開始剤、および増感剤との含有量の和が、所定の範囲内とされていることから、着色層形成用感光性樹脂組成物のエネルギーに対する感度を低いものとすることができる。そのため、本実施態様の着色層形成用感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法により着色層を形成した際、エネルギーの回折等が生じた場合であっても、本来露光されるべきでない部分の着色層形成用感光性樹脂組成物が感光してしまうこと等を防ぐことができ、孔部の深さが浅いものとなったり、孔部が潰れてしまうこと等を防ぐことができるのである。 On the other hand, according to this embodiment, the sum of the contents of the first polymerization initiator, the second polymerization initiator, and the sensitizer in the photosensitive resin composition for forming a colored layer is within a predetermined range. Therefore, the sensitivity to the energy of the photosensitive resin composition for forming a colored layer can be lowered. Therefore, when a colored layer is formed by a photolithography method using the photosensitive resin composition for forming a colored layer of this embodiment, even if energy diffraction or the like occurs, the portion that should not be exposed originally It is possible to prevent the photosensitive resin composition for forming the colored layer from being exposed to light and the like, and it is possible to prevent the depth of the hole from becoming shallow or the hole from being crushed.
また、本実施態様においては、所定の範囲内に最大吸収波長を有する増感剤と所定の範囲内に最大吸収波長を有する第1重合開始剤とを組み合わせて用いることから、着色層形成用感光性樹脂組成物のエネルギーに対する感度を低いものとした場合であっても、形成された着色層と基板との密着性を高いものとすることができる。上述したように、上記重合開始剤と上記増感剤との最大吸収波長どうしが近い場合、露光の際照射されるエネルギーのうち、上記最大吸収波長近傍の波長のエネルギーが、着色層形成用感光性樹脂組成物の表面側で上記増感剤および重合開始剤によって消費されてしまい、着色層形成用感光性樹脂組成物の基板側まで到達し難くなる。そのため、この部分で重合開始剤がその機能を十分に発揮することができず、着色層形成用感光性樹脂組成物の硬化が弱くなるため、形成された着色層と基板との密着性が弱くなる。一方、本実施態様においては、上記第1重合開始剤と増感剤との最大吸収波長が所定の値以上異なることから、上記増感剤の最大吸収波長近傍のエネルギーが着色層形成用感光性樹脂組成物の基板側まで到達し易いものとすることができる。そのため、この部分で増感剤が上記エネルギーを吸収し、その吸収したエネルギーを第1重合開始剤または第2重合開始剤の反応開始に寄与させることが可能となるのである。したがって、本発明によれば着色層形成用感光性樹脂組成物を基板側まで十分に硬化させることができ、基板との密着性が良好な着色層を形成することが可能となるのである。 Further, in this embodiment, since a sensitizer having a maximum absorption wavelength within a predetermined range and a first polymerization initiator having a maximum absorption wavelength within a predetermined range are used in combination, the colored layer forming photosensitive layer is used. Even if it is a case where the sensitivity with respect to the energy of an adhesive resin composition is made low, the adhesiveness of the formed colored layer and a board | substrate can be made high. As described above, when the maximum absorption wavelengths of the polymerization initiator and the sensitizer are close to each other, the energy of the wavelength in the vicinity of the maximum absorption wavelength among the energy irradiated at the time of exposure is a coloring layer forming photosensitive layer. Is consumed by the sensitizer and the polymerization initiator on the surface side of the photosensitive resin composition, and it is difficult to reach the substrate side of the photosensitive resin composition for forming the colored layer. Therefore, in this part, the polymerization initiator cannot sufficiently exert its function, and the curing of the photosensitive resin composition for forming the colored layer is weakened. Therefore, the adhesion between the formed colored layer and the substrate is weak. Become. On the other hand, in the present embodiment, since the maximum absorption wavelength of the first polymerization initiator and the sensitizer are different from each other by a predetermined value or more, the energy in the vicinity of the maximum absorption wavelength of the sensitizer is photosensitive for color layer formation. It can be easily reached to the substrate side of the resin composition. For this reason, the sensitizer absorbs the energy at this portion, and the absorbed energy can be contributed to the reaction start of the first polymerization initiator or the second polymerization initiator. Therefore, according to this invention, the photosensitive resin composition for colored layer formation can fully be hardened to the board | substrate side, and it becomes possible to form a colored layer with favorable adhesiveness with a board | substrate.
また一般的に、緑色着色層を形成する際に用いられる着色層形成用感光性樹脂組成物は、硬化性が低いが、本実施態様においては、第1重合開始剤とは異なる最大吸収波長を有する第2重合開始剤が用いられていることから、より広範囲にわたる波長領域におけるエネルギーを利用して着色層形成用感光性樹脂組成物を硬化させることが可能となる。したがって、基板との密着性が良好であり、かつ硬化性も良好な着色層を形成可能な着色層形成用感光性樹脂組成物とすることができる。
以下、本実施態様の着色層形成用感光性樹脂組成物に含有される各材料ごとに詳しく説明する。
In general, the photosensitive resin composition for forming a colored layer used when forming the green colored layer has low curability, but in this embodiment, the maximum absorption wavelength different from that of the first polymerization initiator is used. Since the 2nd polymerization initiator which has is used, it becomes possible to harden the photosensitive resin composition for colored layer formation using the energy in a wavelength range over a wider range. Therefore, it can be set as the photosensitive resin composition for colored layer formation which can form a colored layer with favorable adhesiveness with a board | substrate and favorable curability.
Hereinafter, each material contained in the photosensitive resin composition for forming a colored layer of this embodiment will be described in detail.
(増感剤)
まず、本実施態様に用いられる増感剤について説明する。本実施態様に用いられる増感剤は、上記着色層形成用感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、露光した際に、照射されたエネルギーを吸収し、その吸収したエネルギーを後述する第1重合開始剤または第2重合開始剤の反応開始に寄与させることが可能なものであれば特に限定されるものではない。
(Sensitizer)
First, the sensitizer used in this embodiment will be described. The sensitizer used in this embodiment absorbs irradiated energy when the photosensitive resin composition for forming a colored layer is applied onto a substrate and exposed to light, and the absorbed energy is described below. There is no particular limitation as long as it can contribute to the initiation of the reaction of the polymerization initiator or the second polymerization initiator.
本実施態様に用いられる増感剤は、340nm〜420nmの範囲内に最大吸収波長を有するものとされるが、中でも340nm〜410nmの範囲内、特に340nm〜400nmの範囲内に最大吸収波長を有していることが好ましい。これにより、着色層の形成の際に一般的に用いられる露光装置から照射されるエネルギーを効率的に吸収することが可能となるからである。また上記波長領域のエネルギーは、着色層形成用感光性樹脂組成物表面で散乱することなく、着色層形成用感光性樹脂組成物の基板側まで到達しやすい性質を有している。したがって、増感剤が上述した波長領域に最大吸収波長を有するものとすることにより、露光の際に着色層形成用感光性樹脂組成物が基板側まで十分に硬化するものとすることができ、形成された着色層と基板との密着性を良好なものとすることができる。なお、上記最大吸収波長は、上述した装置を用いて測定される値である。 The sensitizer used in this embodiment has a maximum absorption wavelength in the range of 340 nm to 420 nm, and has a maximum absorption wavelength in the range of 340 nm to 410 nm, particularly in the range of 340 nm to 400 nm. It is preferable. This is because it is possible to efficiently absorb energy irradiated from an exposure apparatus generally used in forming the colored layer. In addition, the energy in the wavelength region has a property of easily reaching the substrate side of the colored layer forming photosensitive resin composition without being scattered on the surface of the colored layer forming photosensitive resin composition. Therefore, by making the sensitizer have the maximum absorption wavelength in the wavelength region described above, the photosensitive resin composition for forming a colored layer can be sufficiently cured to the substrate side during exposure, Adhesion between the formed colored layer and the substrate can be improved. In addition, the said maximum absorption wavelength is a value measured using the apparatus mentioned above.
またこの際、上記最大吸収波長における吸光係数は、80000ml/g・cm以上とされ、中でも90000ml/g・cm以上、特に100000ml/g・cm以上であることが好ましい。これにより、上記最大吸収波長における増感剤の感度が良好なものとすることができるからである。なお、上記吸光係数についても上述した方法により測定される値である。 At this time, the extinction coefficient at the maximum absorption wavelength is 80000 ml / g · cm or more, preferably 90000 ml / g · cm or more, and particularly preferably 100000 ml / g · cm or more. This is because the sensitivity of the sensitizer at the maximum absorption wavelength can be improved. The extinction coefficient is also a value measured by the method described above.
また、本実施態様においては、上記増感剤の最大吸収波長は、後述する第1重合開始剤の最大吸収波長より40nm以上大きいものとされ、中でも40nm〜120nm以上、特に40nm〜80nm以上大きいものとされることが好ましい。これにより、増感剤によって、第1重合開始剤の吸収しない波長のエネルギーを吸収し、第1重合開始剤または第2重合開始剤の反応開始に寄与させることが可能となるからである。また長波長側のエネルギーは、短波長側のエネルギーと比較して、着色層形成用感光性樹脂組成物表面で散乱することなく、着色層形成用感光性樹脂組成物の基板側まで到達しやすい性質がある。したがって、上記増感剤の最大吸収波長を、第1重合開始剤の最大吸収波長より大きいものとすることにより、増感剤が基板側で硬化を発揮しやすいものとすることができる。これにより着色層形成用感光性樹脂組成物が露光された際、着色層形成用感光性樹脂組成物が基板側まで十分に硬化するものとすることができ、形成された着色層と基板との密着性を良好なものとすることができるからである。 In this embodiment, the maximum absorption wavelength of the sensitizer is 40 nm or more larger than the maximum absorption wavelength of the first polymerization initiator described later, and is 40 nm to 120 nm or more, particularly 40 nm to 80 nm or more. It is preferable that This is because the sensitizer can absorb energy at a wavelength that is not absorbed by the first polymerization initiator and contribute to the reaction start of the first polymerization initiator or the second polymerization initiator. Further, the energy on the long wavelength side can easily reach the substrate side of the photosensitive resin composition for forming the colored layer without being scattered on the surface of the photosensitive resin composition for forming the colored layer, as compared with the energy on the short wavelength side. There is a nature. Therefore, by setting the maximum absorption wavelength of the sensitizer to be larger than the maximum absorption wavelength of the first polymerization initiator, the sensitizer can easily exhibit curing on the substrate side. Thus, when the photosensitive resin composition for forming a colored layer is exposed, the photosensitive resin composition for forming a colored layer can be sufficiently cured to the substrate side. This is because the adhesion can be improved.
また上記増感剤は、着色層形成用感光性樹脂組成物中に含有される上記増感剤の含有量と、後述する第1重合開始剤と、第2重合開始剤との含有量の和が、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分に対して4質量%〜9質量%の範囲内となるように添加され、中でも4質量%〜8質量%の範囲内、特に5質量%〜8質量%の範囲内となるように添加されることが好ましい。これにより、着色層形成用感光性樹脂組成物のエネルギーに対する感度を低いものとすることができ、着色層形成の際にフォトマスク等を介して照射されるエネルギーが回折した場合であっても、その影響を小さいものとすることができるからである。 The sensitizer is a sum of the contents of the sensitizer contained in the photosensitive resin composition for forming a colored layer, and the contents of a first polymerization initiator and a second polymerization initiator described later. Is added so as to be in the range of 4% by mass to 9% by mass with respect to the solid content of the photosensitive resin composition for forming the colored layer, and in particular in the range of 4% by mass to 8% by mass, particularly 5% by mass. It is preferable to add so that it may become in the range of -8 mass%. Thereby, the sensitivity to the energy of the photosensitive resin composition for forming the colored layer can be lowered, and even when the energy irradiated through the photomask or the like is diffracted when forming the colored layer, This is because the influence can be reduced.
またこの際、上記着色層形成用感光性樹脂組成物に含有される上記第1重合開始剤および第2重合開始剤と上記増感剤との質量比としては、上記第1重合開始剤および第2重合開始剤の質量の和を1とした際、上記増感剤の質量が0.05〜0.45の範囲内、中でも0.05〜0.3の範囲内、特に0.1〜0.30の範囲内とされることが好ましい。このような比率で、上記増感剤と、第1重合開始剤および第2重合開始剤を用いることによって、形成された着色層の密着性を良好なものとすることができるからである。 At this time, the mass ratio of the first polymerization initiator and the second polymerization initiator and the sensitizer contained in the colored layer forming photosensitive resin composition is as follows. 2 When the sum of the masses of the polymerization initiators is 1, the mass of the sensitizer is in the range of 0.05 to 0.45, particularly in the range of 0.05 to 0.3, particularly 0.1 to 0. Is preferably in the range of .30. This is because by using the sensitizer, the first polymerization initiator, and the second polymerization initiator at such a ratio, the adhesion of the formed colored layer can be improved.
なお、上記増感剤の具体的な含有量としては、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分中に0.2質量%〜2.7質量%の範囲内、中でも0.2質量%〜2.3質量%の範囲内、特に0.4質量%〜2.3質量%の範囲内とされていることが好ましい。増感剤の含有量が上記範囲であることにより、形成された着色層と基板との密着性を良好なものとすることができるからである。 In addition, as specific content of the said sensitizer, it is 0.2 mass% in the range of 0.2 mass%-2.7 mass% in solid content of the photosensitive resin composition for colored layer formation. It is preferable to be within a range of ˜2.3 mass%, particularly within a range of 0.4 mass% to 2.3 mass%. This is because when the content of the sensitizer is within the above range, the adhesion between the formed colored layer and the substrate can be improved.
また、本実施態様に用いられる上記増感剤の種類等については、上述した第1実施態様で用いられる増感剤と同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。 Moreover, since it can be made to be the same as that of the sensitizer used by the 1st embodiment mentioned above about the kind etc. of the said sensitizer used for this embodiment, detailed description here is abbreviate | omitted.
(第1重合開始剤)
次に、本実施態様に用いられる第1重合開始剤について説明する。本実施態様に用いられる第1重合開始剤は、上述した増感剤の最大吸収波長より、上述した値以上小さい最大吸収波長を有するものであり、バインダー成分の重合開始に寄与可能なものであれば特に限定されるものではないが、上記第1重合開始剤は、最大吸収波長を、260nm〜310nmの範囲内、特に280nm〜310nmの範囲内の波長領域に有することが好ましい。これにより、第1重合開始剤の添加によって着色層形成用重合開始剤が着色されてしまうこと等の少ないものとすることができるからである。
(First polymerization initiator)
Next, the 1st polymerization initiator used for this embodiment is explained. The first polymerization initiator used in this embodiment has a maximum absorption wavelength that is smaller than the above-described value than the maximum absorption wavelength of the sensitizer described above, and can contribute to the initiation of polymerization of the binder component. Although not particularly limited, the first polymerization initiator preferably has a maximum absorption wavelength in a wavelength range of 260 nm to 310 nm, particularly in a range of 280 nm to 310 nm. This is because the colored layer forming polymerization initiator is less likely to be colored by the addition of the first polymerization initiator.
またこの際、上記第1重合開始剤の最大吸収波長における吸光係数は、40000ml/g・cm以上、特に50000ml/g・cm以上であることが好ましい。上記第1重合開始剤の最大吸収波長における吸光係数が、上記値以上であることにより、上記最大吸収波長において効率よくエネルギーを吸収することができるからである。 At this time, the extinction coefficient at the maximum absorption wavelength of the first polymerization initiator is preferably 40000 ml / g · cm or more, particularly preferably 50000 ml / g · cm or more. This is because when the absorption coefficient at the maximum absorption wavelength of the first polymerization initiator is equal to or greater than the above value, energy can be efficiently absorbed at the maximum absorption wavelength.
また、上記第1重合開始剤は、上述したように、着色層形成用感光性樹脂組成物中に、第1重合開始剤および第2重合開始剤の含有量の和と増感剤の含有量とが一定の割合となるように、かつ第1重合開始剤と第2重合開始剤と増感剤との含有量の和が、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分に対して所定の範囲内となるように含有されるものである。本実施態様における第1重合開始剤の含有量として具体的には、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分中に1質量%〜7.2質量%の範囲内、中でも1.5質量%〜6.5質量%の範囲内、特に2質量%〜6.5質量%の範囲内含有されていることが好ましい。 In addition, as described above, the first polymerization initiator includes the sum of the contents of the first polymerization initiator and the second polymerization initiator and the content of the sensitizer in the photosensitive resin composition for forming a colored layer. And the sum of the contents of the first polymerization initiator, the second polymerization initiator, and the sensitizer is predetermined with respect to the solid content of the photosensitive resin composition for forming a colored layer. It is contained so that it may become in the range. Specifically as content of the 1st polymerization initiator in this embodiment, it is in the range of 1 mass%-7.2 mass% in solid content of the photosensitive resin composition for colored layer formation, Especially 1.5 mass. It is preferable that it is contained in the range of% to 6.5% by mass, particularly in the range of 2% to 6.5% by mass.
なお、本実施態様に用いられる第1重合開始剤の種類等については、上述した第1実施態様で用いられる重合開始剤と同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。 In addition, about the kind etc. of the 1st polymerization initiator used for this embodiment, since it can be made to be the same as that of the polymerization initiator used by the 1st embodiment mentioned above, detailed description here is abbreviate | omitted.
(第2重合開始剤)
次に、本実施態様の着色層形成用感光性樹脂組成物中に含有される第2重合開始剤について説明する。本実施態様に用いられる第2重合開始剤は、バインダー成分の重合開始に寄与可能なものであって、最大吸収波長を315nm〜335nmの範囲内、好ましくは315nm〜330nmの範囲内の波長領域に有するものであれば特に限定されるものではない。上記吸収波長は、上述した方法により測定される値である。またこの際、上記最大吸収波長における吸光係数は、40000ml/g・cm以上、特に50000ml/g・cm以上であることが好ましい。これにより、上記最大吸収波長において効率よくエネルギーを吸収し、バインダー成分の重合開始に寄与することができるからである。上記吸収波長についても、上述した方法により測定される値である。
(Second polymerization initiator)
Next, the 2nd polymerization initiator contained in the photosensitive resin composition for colored layer formation of this embodiment is demonstrated. The second polymerization initiator used in this embodiment can contribute to the initiation of polymerization of the binder component, and has a maximum absorption wavelength in the wavelength range of 315 nm to 335 nm, preferably in the range of 315 nm to 330 nm. If it has, it will not specifically limit. The absorption wavelength is a value measured by the method described above. At this time, the extinction coefficient at the maximum absorption wavelength is preferably 40000 ml / g · cm or more, particularly preferably 50000 ml / g · cm or more. This is because energy can be efficiently absorbed at the maximum absorption wavelength and contribute to the initiation of polymerization of the binder component. The absorption wavelength is also a value measured by the method described above.
このような第2重合開始剤としては、例えばアセトフェノン系の重合開始剤を挙げることができ、具体的には、一般式 As such a second polymerization initiator, for example, an acetophenone-based polymerization initiator can be mentioned.
で表される重合開始剤を挙げることができる。ここで、R1、R2は、それぞれ炭素数1〜5のアルキル基またはR5で置換されているフェニル基(R5は、水素、または炭素数1〜5のアルキル基のいずれかを示す。)のいずれかを示し、R3、R4は、それぞれ水素、または炭素数1〜8のアルキル基のいずれかを示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。また、Arはモルフォリノ基により4位置換されたフェニル基を示す。 The polymerization initiator represented by these can be mentioned. Wherein, R 1, R 2, the phenyl group (R 5 which are respectively substituted by an alkyl group or R 5 having 1 to 5 carbon atoms, represents hydrogen, or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms .), R 3 and R 4 each represent hydrogen or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, and may be the same or different. Ar represents a phenyl group substituted by 4-position with a morpholino group.
このような第2重合開始剤として、具体的には、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン、2−エチルベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン、2−メチルベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン、2−ベンジル−2−ジエチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン、2−シクロヘキシル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン、2−プロピル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン等を挙げることができる。 As such a second polymerization initiator, specifically, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2-ethylbenzyl-2-dimethylamino-1- (4 -Morpholinophenyl) -butanone, 2-methylbenzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2-benzyl-2-diethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, Examples include 2-cyclohexyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone and 2-propyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone.
また、上記第2重合開始剤は、上述したように、着色層形成用感光性樹脂組成物中に、第1重合開始剤および第2重合開始剤の含有量の和と増感剤の含有量とが一定の割合となるように、かつ第1重合開始剤と第2重合開始剤と増感剤との含有量の和が、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分に対して所定の範囲内となるように含有されるものである。本実施態様における第2重合開始剤の含有量として具体的には、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分中に0.3質量%〜4質量%の範囲内、中でも0.35質量%〜3質量%の範囲内、特に0.7質量%〜3質量%の範囲内とされていることが好ましい。 In addition, as described above, the second polymerization initiator includes the sum of the contents of the first polymerization initiator and the second polymerization initiator and the content of the sensitizer in the photosensitive resin composition for forming a colored layer. And the sum of the contents of the first polymerization initiator, the second polymerization initiator, and the sensitizer is predetermined with respect to the solid content of the photosensitive resin composition for forming a colored layer. It is contained so that it may become in the range. Specifically as content of the 2nd polymerization initiator in this embodiment, it is 0.35 mass% in the range of 0.3 mass%-4 mass% in solid content of the photosensitive resin composition for colored layer formation. It is preferable to be within a range of from 3% to 3% by mass, particularly within a range of from 0.7% to 3% by mass.
(バインダー成分)
本実施態様に用いられるバインダー成分は、形成された着色層中で結着剤としての役割を果たすものであり、基板と密着性が良好なものであれば、特に限定されるものではない。
(Binder component)
The binder component used in this embodiment plays a role as a binder in the formed colored layer, and is not particularly limited as long as it has good adhesion to the substrate.
このようなバインダー成分は、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分中に5質量%〜60質量%の範囲内、特に10質量%〜50質量%の範囲内含有されていることが好ましい。上記バインダー成分の含有量が上記範囲に満たない場合、形成された着色層と基板との密着性が劣る傾向にあるからである。 Such a binder component is preferably contained in the range of 5% by mass to 60% by mass, particularly in the range of 10% by mass to 50% by mass, in the solid content of the photosensitive resin composition for forming a colored layer. . This is because when the content of the binder component is less than the above range, the adhesion between the formed colored layer and the substrate tends to be inferior.
なお、本実施態様に用いられるバインダー成分の種類等については、上述した第1実施態様に用いられるものと同様のものとすることができるので、ここでの説明は省略する。 In addition, about the kind etc. of the binder component used for this embodiment, since it can be made to be the same as that used for the 1st embodiment mentioned above, description here is abbreviate | omitted.
(顔料)
次に、本実施態様に用いられる顔料について説明する。本実施態様において用いられる顔料は、着色層形成用感光性樹脂組成物を目的とする色に着色可能な顔料であれば特に限定されるものではなく、一般的な着色層の形成に用いられる顔料と同様とすることができる。
(Pigment)
Next, the pigment used in this embodiment will be described. The pigment used in this embodiment is not particularly limited as long as it is a pigment that can be colored to the target color of the photosensitive resin composition for forming a colored layer, and is a pigment that is used for forming a general colored layer. And can be similar.
本実施態様においては、このような顔料は、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分中に25質量%〜75質量%の範囲内、中でも25質量%〜60質量%の範囲内含有されていることが好ましい。 In this embodiment, such a pigment is contained in the solid content of the colored resin composition for forming a colored layer in the range of 25% by mass to 75% by mass, particularly in the range of 25% by mass to 60% by mass. It is preferable.
このような顔料としては、例えばPG(ピグメングリーン)7、10、36やPY(ピグメントイエロー)138、83、139、150等が挙げられる。なお、これらの顔料は1種または2種以上組み合わせて用いてもよい。 Examples of such pigments include PG (Pigment Green) 7, 10, 36, PY (Pigment Yellow) 138, 83, 139, 150, and the like. In addition, you may use these pigments 1 type or in combination of 2 or more types.
(着色層形成用感光性樹脂組成物)
本実施態様における着色層形成用感光性樹脂組成物は、上述した増感剤、第1重合開始剤、第2重合開始剤、バインダー成分および顔料を含有するものであれば、特に限定されるものではなく、必要に応じて適宜溶剤や密着助剤、各種調整剤等を含有していてもよい。
(Photosensitive resin composition for forming colored layer)
The photosensitive resin composition for forming a colored layer in this embodiment is particularly limited as long as it contains the sensitizer, the first polymerization initiator, the second polymerization initiator, the binder component, and the pigment described above. Instead, it may contain a solvent, an adhesion aid, various adjusting agents and the like as needed.
本実施態様においては、形成された着色層と基板との密着性向上のために、特に密着助剤を用いることが好ましい。このような密着助剤としては、上述した第1実施態様に用いられるものと同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。 In this embodiment, it is particularly preferable to use an adhesion assistant in order to improve the adhesion between the formed colored layer and the substrate. Such an adhesion assistant can be the same as that used in the first embodiment described above, and a detailed description thereof will be omitted here.
ここで、本実施態様の着色層形成用感光性樹脂組成物についても、フォトリソグラフィー法を用いた着色層の形成の際に用いられるものであるが、特に反射光用領域に孔部を有する、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの着色層の形成や、カラーフィルタ付きアレイ基板の着色層の形成等に用いられることが好ましい。 Here, the photosensitive resin composition for forming a colored layer of the present embodiment is also used when forming a colored layer using a photolithography method, and particularly has a hole in the reflected light region. It is preferably used for forming a colored layer of a color filter for a transflective liquid crystal display device, forming a colored layer of an array substrate with a color filter, or the like.
また、本実施態様においては、上述した増感剤と異なる吸収波長を有する増感剤や、上述した第1重合開始剤や第2重合開始剤と異なる吸収波長を有する重合開始剤が、着色層形成用感光性樹脂組成物中に含有されていてもよい。この場合においても、着色層形成用感光性樹脂組成物中に含有される全ての増感剤の含有量と、着色層形成用感光性樹脂組成物中に含有される全ての重合開始剤との含有量の和が、着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分に対して4質量%〜17質量%の範囲内、中でも6質量%〜17質量%の範囲内、特に6質量%〜15質量%の範囲内とされていることが好ましい。 In this embodiment, the sensitizer having an absorption wavelength different from that of the sensitizer described above, or the polymerization initiator having an absorption wavelength different from that of the first polymerization initiator or the second polymerization initiator described above is a colored layer. You may contain in the photosensitive resin composition for formation. Even in this case, the content of all the sensitizers contained in the photosensitive resin composition for forming the colored layer and all the polymerization initiators contained in the photosensitive resin composition for forming the colored layer. The sum of the contents is in the range of 4% by mass to 17% by mass, particularly in the range of 6% by mass to 17% by mass, particularly in the range of 6% by mass to 15% with respect to the solid content of the photosensitive resin composition for forming the colored layer. It is preferable to be within the range of mass%.
また、上記着色層形成用感光性樹脂組成物を露光する際に用いられる光源としては、上述した第1実施態様で説明したものと同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。 The light source used when exposing the colored layer forming photosensitive resin composition can be the same as that described in the first embodiment, and therefore detailed description thereof is omitted here. .
B.カラーフィルタの製造方法
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法について説明する。本発明のカラーフィルタの製造方法は、上記に記載の着色層形成用感光性樹脂組成物を用いて、フォトリソグラフィー法により、孔部を有する着色層を形成する着色層形成工程を有することを特徴とするものである。
B. Next, a method for producing a color filter of the present invention will be described. The method for producing a color filter of the present invention includes a colored layer forming step of forming a colored layer having pores by a photolithography method using the photosensitive resin composition for forming a colored layer described above. It is what.
本発明のカラーフィルタの製造方法は、例えば図1に示すように、基板1上に、着色層形成用感光性樹脂組成物10を塗布し(図1(a))、この着色層形成用感光性樹脂組成物10を、例えば遮蔽部3および開口部4が設けられたフォトマスク5等を用いてエネルギー6を照射することにより露光し(図1(b))、現像を行うことにより孔部aを有する着色層2を形成する(図1(c))着色層形成工程を有するものである。
In the method for producing a color filter of the present invention, for example, as shown in FIG. 1, a colored layer forming
本発明においては、上記着色層形成用感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法により、孔部を有する着色層を形成することから、例えば上記露光の際に、エネルギーの回折等が生じた場合であっても、その影響を受けにくいものとすることができる。したがって、着色層に微細なパターン状に孔部が形成された、高精細なカラーフィルタとすることが可能となるのである。 In the present invention, since a colored layer having pores is formed by photolithography using the photosensitive resin composition for forming a colored layer, for example, when energy diffraction occurs during the exposure, for example. Even so, it can be made less susceptible to that effect. Therefore, it is possible to obtain a high-definition color filter in which holes are formed in a fine pattern in the colored layer.
また、本発明においては、上記着色層形成用感光性樹脂組成物を用いて孔部を有する着色層を形成することにより、着色層と基板との密着性が良好なものとすることができるという利点も有する。以下、本発明のカラーフィルタの製造方法における着色層形成工程について詳しく説明する。 Moreover, in this invention, the adhesiveness of a colored layer and a board | substrate can be made favorable by forming the colored layer which has a hole using the said photosensitive resin composition for colored layer formation. There are also advantages. Hereinafter, the colored layer forming step in the method for producing a color filter of the present invention will be described in detail.
1.着色層形成工程
本発明の着色層形成工程は、上記着色層形成用感光性樹脂組成物を用いて、フォトリソグラフィー法により行うものであり、その方法については、着色層に孔部を形成することが可能な方法であれば特に限定されるものではない。本発明においては、例えば、基板上に、着色層形成用感光性樹脂組成物を塗布し、この着色層形成用感光性樹脂組成物を開口部と遮蔽部とが設けられたフォトマスク等を用いてエネルギーを照射することにより露光し、現像を行うことにより、孔部を有する着色層を形成する方法等とすることができる。
1. Colored layer forming step The colored layer forming step of the present invention is performed by a photolithography method using the photosensitive resin composition for forming a colored layer, and the method includes forming a hole in the colored layer. There is no particular limitation as long as the method is possible. In the present invention, for example, a photosensitive resin composition for forming a colored layer is applied on a substrate, and the photosensitive resin composition for forming a colored layer is used with a photomask provided with an opening and a shielding portion. Thus, a method of forming a colored layer having pores by performing exposure and developing by irradiating energy can be employed.
このような方法における上記着色層形成用感光性樹脂組成物の塗布方法としては、上記基板上に着色層形成用感光性樹脂組成物を塗布することが可能な方法であれば特に限定されるものではなく、例えばスピンコート法やスプレーコート、ディップコート、ロールコート、ビードコート、バーコート等の公知の塗布方法により塗布を行うことができる。 The method for applying the photosensitive resin composition for forming a colored layer in such a method is not particularly limited as long as the method can apply the photosensitive resin composition for forming a colored layer on the substrate. Instead, the coating can be performed by a known coating method such as spin coating, spray coating, dip coating, roll coating, bead coating, or bar coating.
また、本工程における露光は、例えば開口部と遮蔽部とが設けられたフォトマスク等を用いて、エネルギーを照射することにより行うことができる。なお、露光の際に用いられる光源としては、一般的に着色層の形成の際に用いられている光源と同様とすることができるが、特に超高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等、紫外部に高輝線を有するランプが用いられることが好ましい。これにより、上記着色層形成用感光性樹脂組成物の特性をより発揮させることが可能となるからである。 The exposure in this step can be performed by irradiating energy using, for example, a photomask provided with an opening and a shield. The light source used for the exposure can be the same as the light source generally used for forming the colored layer, but in particular, an ultra-high pressure mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, etc. A lamp having a high emission line in the ultraviolet part is preferably used. This is because the characteristics of the colored layer forming photosensitive resin composition can be further exhibited.
また、上記着色層形成用感光性樹脂組成物を現像する方法としては、不要部分の着色層形成用感光性樹脂組成物を除去することが可能であれば、その方法等は特に限定されるものではなく、一般的なカラーフィルタの製造の際に行われる現像方法と同様とすることができる。ここで、例えば、現像液の種類、現像液の濃度、現像液や洗浄水の圧力等を最適化することにより、より微細なパターン状に孔部を形成することが可能となる。 In addition, as a method for developing the photosensitive resin composition for forming a colored layer, the method is particularly limited as long as unnecessary portions of the photosensitive resin composition for forming a colored layer can be removed. Instead, it can be the same as the developing method performed in the production of a general color filter. Here, for example, by optimizing the type of the developing solution, the concentration of the developing solution, the pressure of the developing solution or the washing water, and the like, the hole can be formed in a finer pattern.
ここで、本発明においては、孔部を有するように着色層が形成されるものであるが、この孔部の形状や面積は、本発明により製造されるカラーフィルタの種類や用途等に合わせて適宜選択される。例えば孔部の形状が矩形状であってもよく、また円状であってもよい。またそれ以外の任意の形状であってもよい。本発明においてこのような孔部の幅としては、5μm〜15μmの範囲内、中でも5μm〜13μmの範囲内とされることが好ましい。孔部の幅をこのような範囲内とすることにより、孔部が潰れることなく、着色層に微細な孔部を形成することができるからである。なお、孔部の幅とは、孔部の形状が円状または楕円状である場合には短径をいうこととし、孔部の形状が矩形状やその他の形状である場合には、対向する辺および/または角との距離が最も短くなる部分の長さをいうこととする。 Here, in the present invention, the colored layer is formed so as to have a hole, but the shape and area of the hole are adapted to the type and use of the color filter manufactured according to the present invention. It is selected appropriately. For example, the shape of the hole may be rectangular or circular. Any other shape may be used. In the present invention, the width of such a hole is preferably in the range of 5 μm to 15 μm, and more preferably in the range of 5 μm to 13 μm. This is because by setting the width of the hole within such a range, the fine hole can be formed in the colored layer without the hole being crushed. The width of the hole means a short diameter when the shape of the hole is circular or elliptical, and faces when the shape of the hole is rectangular or other shapes. The length of the portion where the distance from the side and / or corner is the shortest is said.
なお、本工程に用いられる基板としては、一般的なカラーフィルタに用いられるものと同様とすることができる。また赤色着色層の形成、および青色着色層形成の際には、上述した「A.着色層形成用感光性樹脂組成物」の第1実施態様で説明した着色層形成用感光性樹脂組成物が用いられ、緑色着色層形成の際には、上述した「A.着色層形成用感光性樹脂組成物」の第2実施態様で説明した着色層形成用感光性樹脂組成物が用いられることとなる。 The substrate used in this step can be the same as that used for a general color filter. In the formation of the red colored layer and the blue colored layer, the photosensitive resin composition for forming a colored layer described in the first embodiment of “A. Photosensitive resin composition for forming a colored layer” described above is used. When the green colored layer is used, the colored layer forming photosensitive resin composition described in the second embodiment of “A. Photosensitive resin composition for forming colored layer” described above is used. .
b.その他の工程
本発明におけるカラーフィルタの製造方法においては、上記着色層形成工程を有するものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、遮光部を形成する遮光部形成工程、上記着色層上にオーバーコート層を形成する工程等、必要に応じて適宜他の工程を有していてもよい。
b. Other Steps In the method for producing a color filter in the present invention, there is no particular limitation as long as it has the colored layer forming step. For example, a light shielding portion forming step for forming a light shielding portion, If necessary, other steps may be included such as a step of forming an overcoat layer.
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。 The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.
以下に実施例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。 The following examples illustrate the present invention more specifically.
[実施例1]
<着色層形成用感光性樹脂組成物(赤色着色層用)の調合>
下記に示す配合に従って、着色層形成用感光性樹脂組成物(赤色着色層用)を調合した。
・モノマー:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 20重量部
・ポリマー:スチレンとメタクリル酸とイソブチルメタクリル酸との共重合体
30重量部
・重合開始剤:Irg907(チバスペシャリティケミカルズ(株)製)
16.73重量部
・増感剤:ハイキュアABP(川口薬品(株)製) 0.88重量部
・顔料:PR254分散液(溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、固形分30%) 120重量部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 350重量部
<着色層の形成>
透明基板として、厚さ0.63mmのガラス基板(コーニング社製1737ガラス)上に上記着色層形成用感光性樹脂組成物を塗布し、ホットプレートで加熱し、乾燥させた。その後、幅12μmの遮蔽部を有したフォトマスクを介して露光した後、現像し、焼成して赤色着色層を形成した。
[Example 1]
<Preparation of photosensitive resin composition for forming colored layer (for red colored layer)>
In accordance with the formulation shown below, a photosensitive resin composition for forming a colored layer (for a red colored layer) was prepared.
-Monomer: 20 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate-Polymer: Copolymer of styrene, methacrylic acid and isobutyl methacrylic acid
30 parts by weight / polymerization initiator: Irg907 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
16.73 parts by weight-Sensitizer: Hycure ABP (manufactured by Kawaguchi Pharmaceutical Co., Ltd.) 0.88 parts by weight-Pigment: PR254 dispersion (solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate, solid content 30%) 120 parts by weight-solvent : Propylene glycol monomethyl ether acetate 350 parts by weight <Formation of colored layer>
As a transparent substrate, the above-mentioned photosensitive resin composition for forming a colored layer was applied onto a 0.63 mm thick glass substrate (Corning 1737 glass), dried by heating on a hot plate. Then, after exposing through a photomask having a shielding part having a width of 12 μm, development and baking were performed to form a red colored layer.
[実施例2〜20]
重合開始剤および増感剤の配合を、下記表1に示す通りとしたこと以外は、実施例1と同様に着色層形成用感光性樹脂組成物(赤色着色層用)を調合し、赤色着色層を形成した。
[Examples 2 to 20]
A photosensitive resin composition for forming a colored layer (for a red colored layer) was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polymerization initiator and the sensitizer were blended as shown in Table 1 below. A layer was formed.
[比較例1〜20]
重合開始剤および増感剤の配合を、下記表1に示す通りとしたこと以外は、実施例1と同様に着色層形成用感光性樹脂組成物(赤色着色層用)を調合し、赤色着色層を形成した。
[Comparative Examples 1 to 20]
A photosensitive resin composition for forming a colored layer (for a red colored layer) was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polymerization initiator and the sensitizer were blended as shown in Table 1 below. A layer was formed.
[評価]
上述した実施例1〜20、比較例1〜20で微細なパターン状に形成された赤色着色層のパターンを走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察した結果を下記表1に示す。なお、赤色着色層のパターンが剥がれてしまい観察不可能なもの、または赤色着色層に形成した孔部が潰れているものは「×」で表記し、赤色着色層に形成した孔部の幅が13μm以下であるものは「○」で表記した。
[Evaluation]
The results of observing the pattern of the red colored layer formed in a fine pattern in Examples 1 to 20 and Comparative Examples 1 to 20 described above with a scanning electron microscope (SEM) are shown in Table 1 below. In addition, when the pattern of the red colored layer is peeled off and cannot be observed, or when the hole formed in the red colored layer is crushed, it is indicated by “x”, and the width of the hole formed in the red colored layer is Those of 13 μm or less are indicated by “◯”.
表1の結果から、実施例1〜20で調合した着色層形成用感光性樹脂組成物を用いることにより、赤色着色層に幅13μm以下の微細な孔部を形成できることが確認された。 From the results of Table 1, it was confirmed that fine pores having a width of 13 μm or less can be formed in the red colored layer by using the photosensitive resin composition for forming a colored layer prepared in Examples 1 to 20.
[実施例21]
配合する顔料をPB15:6分散液(溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、固形分30%)としたこと以外は、実施例1と同様にして、着色層形成用感光性樹脂組成物(青色着色層用)を得た。これを用いて、実施例1と同様に青色着色層を形成した。
[Example 21]
A photosensitive resin composition for forming a colored layer (blue colored layer) in the same manner as in Example 1, except that the pigment to be blended was a PB15: 6 dispersion (solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate, solid content 30%). For). Using this, a blue colored layer was formed in the same manner as in Example 1.
[実施例22〜40]
重合開始剤および増感剤の配合を、下記表2に示す通りとしたこと以外は、実施例21と同様に着色層形成用感光性樹脂組成物(青色着色層用)を調合し、青色着色層を形成した。
[Examples 22 to 40]
A colored layer-forming photosensitive resin composition (for blue colored layer) was prepared in the same manner as in Example 21 except that the polymerization initiator and the sensitizer were blended as shown in Table 2 below. A layer was formed.
[比較例21〜40]
重合開始剤および増感剤の配合を、下記表2に示す通りとしたこと以外は、実施例21と同様に着色層形成用感光性樹脂組成物(青色着色層用)を調合し、青色着色層を形成した。
[Comparative Examples 21-40]
A colored layer-forming photosensitive resin composition (for blue colored layer) was prepared in the same manner as in Example 21 except that the polymerization initiator and the sensitizer were blended as shown in Table 2 below. A layer was formed.
[評価]
上述した実施例21〜40、比較例21〜40で微細なパターン状に形成された青色着色層のパターンを走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察した結果を下記表2に示す。なお、青色着色層のパターンが剥がれてしまい観察不可能なもの、または青色着色層に形成した孔部が潰れているものは「×」で表記し、青色着色層に形成した孔部の幅が13μm以下であるものは「○」で表記した。
[Evaluation]
Table 2 below shows the results of observing the pattern of the blue colored layer formed in a fine pattern in Examples 21 to 40 and Comparative Examples 21 to 40 with a scanning electron microscope (SEM). In addition, when the pattern of the blue colored layer is peeled off and cannot be observed, or when the hole formed in the blue colored layer is crushed, it is indicated by “x”, and the width of the hole formed in the blue colored layer is Those of 13 μm or less are indicated by “◯”.
表2の結果から、実施例21〜40で調合した着色層形成用感光性樹脂組成物を用いることにより、青色着色層に幅13μm以下の微細な孔部を形成できることが確認された。 From the results in Table 2, it was confirmed that fine pores having a width of 13 μm or less can be formed in the blue colored layer by using the photosensitive resin composition for forming a colored layer prepared in Examples 21 to 40.
[実施例41]
<着色層形成用感光性樹脂組成物(緑色着色層用)の調合>
下記に示す配合に従って、着色層形成用感光性樹脂組成物(緑色着色層用)を調合した。
・モノマー:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 20重量部
・ポリマー:スチレンとメタクリル酸とイソブチルメタクリル酸との共重合体
30重量部
・第1重合開始剤:Irg907(チバスペシャリティケミカルズ(株)製)および第2重合開始剤:Irg369(チバスペシャリティケミカルズ(株)製)
10.34重量部
・増感剤:ハイキュアABP(川口薬品(株)製) 0.54重量部
・顔料:PG36/PG7/PY138の分散液(溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、固形分30%) 200重量部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 350重量部
<着色層の形成>
実施例1と同様の方法を用いて、緑色着色層を得た。
[Example 41]
<Preparation of photosensitive resin composition for forming colored layer (for green colored layer)>
According to the formulation shown below, a photosensitive resin composition for forming a colored layer (for a green colored layer) was prepared.
-Monomer: 20 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate-Polymer: Copolymer of styrene, methacrylic acid and isobutyl methacrylic acid
30 parts by weight-first polymerization initiator: Irg907 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) and second polymerization initiator: Irg 369 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
10.34 parts by weight-Sensitizer: Hycure ABP (manufactured by Kawaguchi Pharmaceutical Co., Ltd.) 0.54 parts by weight-Pigment: PG36 / PG7 / PY138 dispersion (solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate, solid content 30%) 200 parts by weight / solvent: 350 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate <Formation of colored layer>
A green colored layer was obtained using the same method as in Example 1.
[実施例42〜56]
第1重合開始剤、第2重合開始剤および増感剤の配合を、下記表3に示す通りとしたこと以外は、実施例41と同様に着色層形成用感光性樹脂組成物(緑色着色層用)を調合し、緑色着色層を形成した。
[Examples 42 to 56]
A photosensitive resin composition for forming a colored layer (green colored layer) as in Example 41 except that the blending of the first polymerization initiator, the second polymerization initiator, and the sensitizer was as shown in Table 3 below. Was prepared to form a green colored layer.
[比較例41〜60]
第1重合開始剤、第2重合開始剤および増感剤の配合を、下記表3に示す通りとしたこと以外は、実施例41と同様に着色層形成用感光性樹脂組成物(緑色着色層用)を調合し、緑色着色層を形成した。
[Comparative Examples 41-60]
A photosensitive resin composition for forming a colored layer (green colored layer) as in Example 41 except that the blending of the first polymerization initiator, the second polymerization initiator, and the sensitizer was as shown in Table 3 below. Was prepared to form a green colored layer.
[評価]
上述した実施例41〜56、比較例41〜60で微細なパターン状に形成された緑色着色層のパターンを走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察した結果を表3に示す。なお、緑色着色層のパターンが剥がれてしまい観察不可能なもの、または緑色着色層に形成した孔部が潰れているものは「×」で表記し、緑色着色層に形成した孔部の幅が13μm以下であるものは「○」で表記した。
[Evaluation]
Table 3 shows the results of observing the pattern of the green colored layer formed in a fine pattern in Examples 41 to 56 and Comparative Examples 41 to 60 with a scanning electron microscope (SEM). In addition, when the pattern of the green colored layer is peeled off and cannot be observed, or when the hole formed in the green colored layer is crushed, it is indicated by “x”, and the width of the hole formed in the green colored layer is Those of 13 μm or less are indicated by “◯”.
表3の結果から、実施例41〜56で調合した着色層形成用感光性樹脂組成物を用いることにより、緑色着色層に幅13μm以下の微細な孔部を形成できることが確認された。 From the results of Table 3, it was confirmed that by using the photosensitive resin composition for forming a colored layer prepared in Examples 41 to 56, fine pores having a width of 13 μm or less can be formed in the green colored layer.
1…基板
2…着色層
3…遮蔽部
4…開口部
5…フォトマスク
6…エネルギー
10…着色層形成用感光性樹脂組成物
a…孔部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Board | substrate 2 ... Colored layer 3 ... Shielding
Claims (2)
前記増感剤が、340nm〜420nmの範囲内の波長領域に最大吸収波長を有し、かつ前記増感剤の最大吸収波長における吸光係数が80000ml/g・cm以上であり、
前記増感剤の最大吸収波長が、前記第1重合開始剤の最大吸収波長より40nm以上大きく、
前記第2重合開始剤は、315nm〜335nmの範囲内の波長領域に最大吸収波長を有しており、
前記増感剤、前記第1重合開始剤、および前記第2重合開始剤の含有量の和が、前記着色層形成用感光性樹脂組成物の固形分に対して4質量%〜9質量%の範囲内であり、
前記着色層形成用感光性樹脂組成物に含有される前記第1重合開始剤および前記第2重合開始剤の質量の和を1とした際、前記着色層形成用感光性樹脂組成物に含有される前記増感剤の質量が0.05〜0.45の範囲内である着色層形成用感光性樹脂組成物を用い、
フォトリソグラフィー法により、幅が5〜13μmの範囲内の孔部を有する着色層を形成する着色層形成工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 It contains a pigment, a first polymerization initiator, a second polymerization initiator, a sensitizer, and a binder component, and is used when forming a green colored layer.
The sensitizer has a maximum absorption wavelength in a wavelength region within a range of 340 nm to 420 nm, and an extinction coefficient at the maximum absorption wavelength of the sensitizer is 80000 ml / g · cm or more,
The maximum absorption wavelength of the sensitizer is 40 nm or more larger than the maximum absorption wavelength of the first polymerization initiator,
The second polymerization initiator has a maximum absorption wavelength in a wavelength region within a range of 315 nm to 335 nm,
The sum of the contents of the sensitizer, the first polymerization initiator, and the second polymerization initiator is 4% by mass to 9% by mass with respect to the solid content of the colored layer forming photosensitive resin composition. Is in range,
When the sum of the masses of the first polymerization initiator and the second polymerization initiator contained in the colored layer forming photosensitive resin composition is 1, it is contained in the colored layer forming photosensitive resin composition. mass of the sensitizer had use a colored layer forming photosensitive resin composition is in the range of 0.05 to 0.45 that,
A method for producing a color filter, comprising a colored layer forming step of forming a colored layer having a hole having a width in the range of 5 to 13 μm by a photolithography method.
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