JP2001033620A - Radiation-sensitive composition for color filter, and color filter - Google Patents

Radiation-sensitive composition for color filter, and color filter

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JP2001033620A
JP2001033620A JP11209014A JP20901499A JP2001033620A JP 2001033620 A JP2001033620 A JP 2001033620A JP 11209014 A JP11209014 A JP 11209014A JP 20901499 A JP20901499 A JP 20901499A JP 2001033620 A JP2001033620 A JP 2001033620A
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pigment red
pigment
acid
color filter
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Hiroyuki Tano
裕之 田野
Takeshi Watanabe
毅 渡邉
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JSR Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To form a color filter excellent in pattern shape, achievable sufficient curing reaction of a radiation-sensitive composition by exposure with a small energy amount without remaining an undissolved substance when developing. SOLUTION: This radiation-sensitive composition for color filter contains (A) a coloring agent, (B) an alkali-soluble resin, (C) polyfunctional monomer, and (D) a photoradical generator essentially containing a compound represented by 2-methyl-1-(4'-methylthiophenyl)-2-morpholinopropane-1-one expressed by formula I and a compound represented by 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone expressed by formula II. The color filter has pixels formed of the radiosensitive composition for the color filter. In the formula I, R1 and R2 are each a 1-6C alkyl group. In the formula II, R3, R4, R5 and R6 are each a 1-6C alkyl group.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、透過型あるいは反
射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等に用い
られるカラーフィルタを形成するためのカラーフィルタ
用感放射線性組成物、並びに当該感放射線性組成物から
形成されたカラーフィルタに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a radiation-sensitive composition for a color filter for forming a color filter used in a transmission type or reflection type color liquid crystal display device, a color image pickup tube element or the like, and the radiation sensitivity. The present invention relates to a color filter formed from a hydrophilic composition.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、感放射線性組成物を用いてカラー
フィルタを製造するに当たっては、基板上あるいは予め
所望のパターンの遮光層を形成した基板上に、感放射線
性組成物を塗布、乾燥したのち、乾燥した塗膜に所望の
パターンに放射線を照射(以下、「露光」という。)
し、現像することにより、各色の画素を得ている。この
ようなカラーフィルタの製造工程においては、生産性を
上げるために少ないエネルギー量で露光することが必要
であるが、露光エネルギー量を少なくすると、硬化反応
が不十分なため現像時にパターンの欠けが生じたり、露
光部が現像液に浸食されるという問題がある。これらの
問題を解決する方法として、例えば現像時間を短縮する
ことが知られている。しかし、このようにして製造され
たカラーフィルタは、現像の際に、未露光部の基板上あ
るいは遮光層上に残渣や地汚れを生じやすいという問題
があり、その程度は感放射線性組成物に含まれる顔料濃
度が高くなるにつれて著しくなる傾向があり、そのため
十分な色濃度を達成することが困難であった。しかも、
このような問題は、パターン形状にも悪影響を与えるこ
とが多く、これらの問題を解決しうるカラーフィルタ用
感放射線性組成物の開発が望まれていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, in producing a color filter using a radiation-sensitive composition, the radiation-sensitive composition is applied to a substrate or a substrate on which a light-shielding layer having a desired pattern is formed in advance and dried. Thereafter, the dried coating film is irradiated with radiation in a desired pattern (hereinafter, referred to as "exposure").
Then, by developing, pixels of each color are obtained. In the process of manufacturing such a color filter, it is necessary to perform exposure with a small amount of energy in order to increase the productivity.However, if the amount of exposure energy is reduced, a lack of pattern may occur during development due to insufficient curing reaction. And the exposed portion is eroded by the developer. As a method for solving these problems, for example, it is known to shorten the development time. However, the color filter manufactured in this manner has a problem that residues and background stain are easily generated on the unexposed portion of the substrate or the light-shielding layer at the time of development. As the concentration of the pigment contained increases, it tends to be significant, and it has been difficult to achieve a sufficient color density. Moreover,
Such problems often have an adverse effect on the pattern shape, and development of a radiation-sensitive composition for a color filter that can solve these problems has been desired.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の問題点
を解決し、少ないエネルギー量の露光によって、感放射
線性組成物の硬化反応を十分達成でき、現像時に未溶解
物の残存が問題となることがなく、しかもパターン形状
にも優れたカラーフィルタを形成することができるカラ
ーフィルタ用感放射線性組成物、並びに当該感放射線性
組成物から形成されたカラーフィルタを提供することに
ある。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned problems, and a curing reaction of a radiation-sensitive composition can be sufficiently achieved by exposure with a small amount of energy. An object of the present invention is to provide a radiation-sensitive composition for a color filter, which can form a color filter excellent in pattern shape without causing a color filter, and a color filter formed from the radiation-sensitive composition.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明によると、前記課
題は、第一に、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹
脂、(C)多官能性単量体、並びに(D)下記式(1)
で表される化合物および下記式(2)で表される化合物
を必須成分とする光ラジカル発生剤を含有することを特
徴とするカラーフィルタ用感放射線性組成物、によって
達成される。
According to the present invention, the above-mentioned problems are firstly solved by (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, and (D) Equation (1)
And a radiation-sensitive composition for a color filter, comprising a photo-radical generator containing a compound represented by the following formula (2) as an essential component.

【0005】[0005]

【化3】 〔式(1)において、R1 およびR2 は相互に独立に炭
素数1〜6のアルキル基を示す。〕
Embedded image [In the formula (1), R 1 and R 2 each independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. ]

【0006】[0006]

【化4】 〔式(2)において、R3 、R4 、R5 およびR6 は相
互に独立に炭素数1〜6のアルキル基を示す。〕
Embedded image [In the formula (2), R 3 , R 4 , R 5 and R 6 independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. ]

【0007】本発明によると、前記課題は、第二に、
(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官
能性単量体、並びに(D)前記式(1)で表される化合
物および前記式(2)で表される化合物を必須成分とす
る光ラジカル発生剤を含有するカラーフィルタ用感放射
線性組成物から形成された画素を有することを特徴とす
るカラーフィルタ、によって達成される。
[0007] According to the present invention, the above-mentioned problem is secondly achieved.
(A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, and (D) a compound represented by the formula (1) and a compound represented by the formula (2) are essential. This is achieved by a color filter having pixels formed from a radiation-sensitive composition for a color filter containing a photoradical generator as a component.

【0008】以下、本発明を詳細に説明する。(A)着色剤 本発明における着色剤は、色調が特に限定されるもので
はなく、得られるカラーフィルタの用途に応じて適宜選
定され、顔料、染料あるいは天然色素の何れでもよい。
カラーフィルタには高精細な発色と耐熱性が求められる
ことから、本発明における着色剤としては、発色性が高
く、かつ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の高い着
色剤が好ましく、通常、顔料、特に好ましくは有機顔料
が用いられる。前記有機顔料としては、例えば、カラー
インデックス(C.I.;The Society ofDyers and Colour
ists 社発行) においてピグメント(Pigment)に分類さ
れている化合物、具体的には、下記のようなカラーイン
デックス(C.I.)番号が付されているものを挙げること
ができる。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. (A) Colorant The colorant in the present invention is not particularly limited in color tone, and is appropriately selected depending on the use of the obtained color filter, and may be any of a pigment, a dye, and a natural pigment.
Since the color filter is required to have high-definition color development and heat resistance, as the colorant in the present invention, a colorant having a high color development property and a high heat resistance, particularly a colorant having a high thermal decomposition resistance is preferable, and is usually used. And pigments, particularly preferably organic pigments. Examples of the organic pigment include a color index (CI; The Society of Dyers and Color).
Compounds classified as Pigment (published by Ists Co., Ltd.), specifically those having a color index (CI) number as shown below.

【0009】C.I.ピグメントイエロー1、C.I.ピグメン
トイエロー3、C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグ
メントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.
I.ピグメントイエロー15、C.I.ピグメントイエロー1
6、C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエ
ロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメン
トイエロー31、C.I.ピグメントイエロー55、C.I.ピ
グメントイエロー60、C.I.ピグメントイエロー61、
C.I.ピグメントイエロー65、C.I.ピグメントイエロー
71、C.I.ピグメントイエロー73、C.I.ピグメントイ
エロー74、C.I.ピグメントイエロー81、C.I.ピグメ
ントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.
ピグメントイエロー95、C.I.ピグメントイエロー9
7、C.I.ピグメントイエロー98、C.I.ピグメントイエ
ロー100、C.I.ピグメントイエロー101、C.I.ピグ
メントイエロー104、C.I.ピグメントイエロー10
6、C.I.ピグメントイエロー108、C.I.ピグメントイ
エロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピ
グメントイエロー113、C.I.ピグメントイエロー11
4、C.I.ピグメントイエロー116、C.I.ピグメントイ
エロー117、C.I.ピグメントイエロー119、C.I.ピ
グメントイエロー120、C.I.ピグメントイエロー12
6、C.I.ピグメントイエロー127、C.I.ピグメントイ
エロー128、C.I.ピグメントイエロー129、C.I.ピ
グメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー13
9、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイ
エロー151、C.I.ピグメントイエロー152、C.I.ピ
グメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー15
4、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイ
エロー156、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピ
グメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー17
5、C.I.ピグメントイエロー180、C.I.ピグメントイ
エロー185;
CI Pigment Yellow 1, CI Pigment Yellow 3, CI Pigment Yellow 12, CI Pigment Yellow 13, CI Pigment Yellow 14, C.I.
I. Pigment Yellow 15, CI Pigment Yellow 1
6, CI Pigment Yellow 17, CI Pigment Yellow 20, CI Pigment Yellow 24, CI Pigment Yellow 31, CI Pigment Yellow 55, CI Pigment Yellow 60, CI Pigment Yellow 61,
CI Pigment Yellow 65, CI Pigment Yellow 71, CI Pigment Yellow 73, CI Pigment Yellow 74, CI Pigment Yellow 81, CI Pigment Yellow 83, CI Pigment Yellow 93, CI
Pigment Yellow 95, CI Pigment Yellow 9
7, CI Pigment Yellow 98, CI Pigment Yellow 100, CI Pigment Yellow 101, CI Pigment Yellow 104, CI Pigment Yellow 10
6, CI Pigment Yellow 108, CI Pigment Yellow 109, CI Pigment Yellow 110, CI Pigment Yellow 113, CI Pigment Yellow 11
4, CI Pigment Yellow 116, CI Pigment Yellow 117, CI Pigment Yellow 119, CI Pigment Yellow 120, CI Pigment Yellow 12
6, CI Pigment Yellow 127, CI Pigment Yellow 128, CI Pigment Yellow 129, CI Pigment Yellow 138, CI Pigment Yellow 13
9, CI Pigment Yellow 150, CI Pigment Yellow 151, CI Pigment Yellow 152, CI Pigment Yellow 153, CI Pigment Yellow 15
4, CI Pigment Yellow 155, CI Pigment Yellow 156, CI Pigment Yellow 166, CI Pigment Yellow 168, CI Pigment Yellow 17
5, CI Pigment Yellow 180, CI Pigment Yellow 185;

【0010】C.I.ピグメントオレンジ1、C.I.ピグメン
トオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグ
メントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ16、C.
I.ピグメントオレンジ17、C.I.ピグメントオレンジ2
4、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレ
ンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメン
トオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピ
グメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、
C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ
61、C.I.ピグメントオレンジ63、C.I.ピグメントオ
レンジ64、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメ
ントオレンジ73;C.I.ピグメントバイオレット1、C.
I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオ
レット23、C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピ
グメントバイオレット32、C.I.ピグメントバイオレッ
ト36、C.I.ピグメントバイオレット38;
CI Pigment Orange 1, CI Pigment Orange 5, CI Pigment Orange 13, CI Pigment Orange 14, CI Pigment Orange 16, C.I.
I. Pigment Orange 17, CI Pigment Orange 2
4, CI Pigment Orange 34, CI Pigment Orange 36, CI Pigment Orange 38, CI Pigment Orange 40, CI Pigment Orange 43, CI Pigment Orange 46, CI Pigment Orange 49,
CI Pigment Orange 51, CI Pigment Orange 61, CI Pigment Orange 63, CI Pigment Orange 64, CI Pigment Orange 71, CI Pigment Orange 73; CI Pigment Violet 1, C.I.
I. Pigment Violet 19, CI Pigment Violet 23, CI Pigment Violet 29, CI Pigment Violet 32, CI Pigment Violet 36, CI Pigment Violet 38;

【0011】C.I.ピグメントレッド1、C.I.ピグメント
レッド2、C.I.ピグメントレッド3、C.I.ピグメントレ
ッド4、C.I.ピグメントレッド5、C.I.ピグメントレッ
ド6、C.I.ピグメントレッド7、C.I.ピグメントレッド
8、C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメントレッド1
0、C.I.ピグメントレッド11、C.I.ピグメントレッド
12、C.I.ピグメントレッド14、C.I.ピグメントレッ
ド15、C.I.ピグメントレッド16、C.I.ピグメントレ
ッド17、C.I.ピグメントレッド18、C.I.ピグメント
レッド19、C.I.ピグメントレッド21、C.I.ピグメン
トレッド22、C.I.ピグメントレッド23、C.I.ピグメ
ントレッド30、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグ
メントレッド32、C.I.ピグメントレッド37、C.I.ピ
グメントレッド38、C.I.ピグメントレッド40、C.I.
ピグメントレッド41、C.I.ピグメントレッド42、C.
I.ピグメントレッド48:1、C.I.ピグメントレッド4
8:2、C.I.ピグメントレッド48:3、C.I.ピグメン
トレッド48:4、C.I.ピグメントレッド49:1、C.
I.ピグメントレッド49:2、C.I.ピグメントレッド5
0:1、C.I.ピグメントレッド52:1、C.I.ピグメン
トレッド53:1、C.I.ピグメントレッド57、C.I.ピ
グメントレッド57:1、C.I.ピグメントレッド57:
2、C.I.ピグメントレッド58:2、C.I.ピグメントレ
ッド58:4、C.I.ピグメントレッド60:1、C.I.ピ
グメントレッド63:1、C.I.ピグメントレッド63:
2、C.I.ピグメントレッド64:1、C.I.ピグメントレ
ッド81:1、C.I.ピグメントレッド83、C.I.ピグメ
ントレッド88、C.I.ピグメントレッド90:1、C.I.
ピグメントレッド97、C.I.ピグメントレッド101、
C.I.ピグメントレッド102、C.I.ピグメントレッド1
04、C.I.ピグメントレッド105、C.I.ピグメントレ
ッド106、C.I.ピグメントレッド108、C.I.ピグメ
ントレッド112、C.I.ピグメントレッド113、C.I.
ピグメントレッド114、C.I.ピグメントレッド12
2、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッ
ド144、C.I.ピグメントレッド146、C.I.ピグメン
トレッド149、C.I.ピグメントレッド150、C.I.ピ
グメントレッド151、C.I.ピグメントレッド166、
C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド1
70、C.I.ピグメントレッド171、C.I.ピグメントレ
ッド172、C.I.ピグメントレッド174、C.I.ピグメ
ントレッド175、C.I.ピグメントレッド176、C.I.
ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド17
8、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッ
ド180、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメン
トレッド187、C.I.ピグメントレッド188、C.I.ピ
グメントレッド190、C.I.ピグメントレッド193、
C.I.ピグメントレッド194、C.I.ピグメントレッド2
02、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレ
ッド207、C.I.ピグメントレッド208、C.I.ピグメ
ントレッド209、C.I.ピグメントレッド215、C.I.
ピグメントレッド216、C.I.ピグメントレッド22
0、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッ
ド226、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメン
トレッド243、C.I.ピグメントレッド245、C.I.ピ
グメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、
C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド2
65;
CI Pigment Red 1, CI Pigment Red 2, CI Pigment Red 3, CI Pigment Red 4, CI Pigment Red 5, CI Pigment Red 6, CI Pigment Red 7, CI Pigment Red 8, CI Pigment Red 9, CI Pigment Red 1
0, CI Pigment Red 11, CI Pigment Red 12, CI Pigment Red 14, CI Pigment Red 15, CI Pigment Red 16, CI Pigment Red 17, CI Pigment Red 18, CI Pigment Red 19, CI Pigment Red 21, CI Pigment Red 22, CI Pigment Red 23, CI Pigment Red 30, CI Pigment Red 31, CI Pigment Red 32, CI Pigment Red 37, CI Pigment Red 38, CI Pigment Red 40, CI
Pigment Red 41, CI Pigment Red 42, C.I.
I. Pigment Red 48: 1, CI Pigment Red 4
8: 2, CI Pigment Red 48: 3, CI Pigment Red 48: 4, CI Pigment Red 49: 1, C.I.
I. Pigment Red 49: 2, CI Pigment Red 5
0: 1, CI Pigment Red 52: 1, CI Pigment Red 53: 1, CI Pigment Red 57, CI Pigment Red 57: 1, CI Pigment Red 57:
2, CI Pigment Red 58: 2, CI Pigment Red 58: 4, CI Pigment Red 60: 1, CI Pigment Red 63: 1, CI Pigment Red 63:
2, CI Pigment Red 64: 1, CI Pigment Red 81: 1, CI Pigment Red 83, CI Pigment Red 88, CI Pigment Red 90: 1, CI
Pigment Red 97, CI Pigment Red 101,
CI Pigment Red 102, CI Pigment Red 1
04, CI Pigment Red 105, CI Pigment Red 106, CI Pigment Red 108, CI Pigment Red 112, CI Pigment Red 113, CI
Pigment Red 114, CI Pigment Red 12
2, CI Pigment Red 123, CI Pigment Red 144, CI Pigment Red 146, CI Pigment Red 149, CI Pigment Red 150, CI Pigment Red 151, CI Pigment Red 166,
CI Pigment Red 168, CI Pigment Red 1
70, CI Pigment Red 171, CI Pigment Red 172, CI Pigment Red 174, CI Pigment Red 175, CI Pigment Red 176, CI
Pigment Red 177, CI Pigment Red 17
8, CI Pigment Red 179, CI Pigment Red 180, CI Pigment Red 185, CI Pigment Red 187, CI Pigment Red 188, CI Pigment Red 190, CI Pigment Red 193,
CI Pigment Red 194, CI Pigment Red 2
02, CI Pigment Red 206, CI Pigment Red 207, CI Pigment Red 208, CI Pigment Red 209, CI Pigment Red 215, CI
Pigment Red 216, CI Pigment Red 22
0, CI Pigment Red 224, CI Pigment Red 226, CI Pigment Red 242, CI Pigment Red 243, CI Pigment Red 245, CI Pigment Red 254, CI Pigment Red 255,
CI Pigment Red 264, CI Pigment Red 2
65;

【0012】C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメン
トブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.
I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー6
0;C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリー
ン36;C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメント
ブラウン25;C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメ
ントブラック7。これらの有機顔料は、単独でまたは2
種以上を混合して使用することができる。
CI Pigment Blue 15, CI Pigment Blue 15: 3, CI Pigment Blue 15: 4, C.I.
I. Pigment Blue 15: 6, CI Pigment Blue 6
0; CI Pigment Green 7, CI Pigment Green 36; CI Pigment Brown 23, CI Pigment Brown 25; CI Pigment Black 1, CI Pigment Black 7. These organic pigments can be used alone or
A mixture of more than one species can be used.

【0013】前記有機顔料のうち、赤色の有機顔料(C.
I.ピグメントレッド)が好ましく、さらに好ましくはC.
I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド20
2、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレッ
ド207、C.I.ピグメントレッド208、C.I.ピグメン
トレッド209、C.I.ピグメントレッド215、C.I.ピ
グメントレッド216、C.I.ピグメントレッド220、
C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド2
26、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレ
ッド243、C.I.ピグメントレッド245、C.I.ピグメ
ントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、C.I.
ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド265
であり、特に、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグ
メントレッド224、C.I.ピグメントレッド254、C.
I.ピグメントレッド264等や、これらの赤色の有機顔
料と他の色調の有機顔料との混合物が好ましい。前記有
機顔料は、例えば、硫酸再結晶法、溶剤洗浄法や、これ
らの組み合わせ等により精製して使用することができ
る。
Among the organic pigments, a red organic pigment (C.
I. pigment red) is preferred, and more preferably C.I.
I. Pigment Red 177, CI Pigment Red 20
2, CI Pigment Red 206, CI Pigment Red 207, CI Pigment Red 208, CI Pigment Red 209, CI Pigment Red 215, CI Pigment Red 216, CI Pigment Red 220,
CI Pigment Red 224, CI Pigment Red 2
26, CI Pigment Red 242, CI Pigment Red 243, CI Pigment Red 245, CI Pigment Red 254, CI Pigment Red 255, CI
Pigment Red 264, CI Pigment Red 265
In particular, CI Pigment Red 177, CI Pigment Red 224, CI Pigment Red 254, C.I.
Pigment Red 264 and the like, and mixtures of these red organic pigments with organic pigments of other colors are preferred. The organic pigment can be purified and used by, for example, a sulfuric acid recrystallization method, a solvent washing method, or a combination thereof.

【0014】また、無機顔料としては、例えば、酸化チ
タン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸
鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カ
ドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、
アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラッ
ク等を挙げることができる。これらの無機顔料は、単独
でまたは2種以上を混合して使用することができる。
The inorganic pigments include, for example, titanium oxide, barium sulfate, calcium carbonate, zinc white, lead sulfate, yellow lead, zinc yellow, red iron oxide (III), cadmium red, ultramarine blue, navy blue, Chromium oxide green, cobalt green,
Amber, titanium black, synthetic iron black, carbon black and the like can be mentioned. These inorganic pigments can be used alone or in combination of two or more.

【0015】本発明においては、前記各顔料は、所望に
より、その粒子表面をポリマーで改質して使用すること
ができる。顔料表面を改質するポリマーとしては、例え
ば、特開平8−259876号公報等に記載されたポリ
マーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたはオリ
ゴマー等を挙げることができる。また、本発明における
着色剤は、所望により、分散剤と共に使用することがで
きる。このような分散剤としては、例えば、カチオン
系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フ
ッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。前記界面
活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンラウリル
エーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポ
リオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチ
レンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンn−オク
チルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンn−ノニル
フェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェ
ニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラウレー
ト、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエ
チレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸エス
テル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変性ポ
リウレタン類;ポリエチレンイミン類等のほか、以下商
品名で、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー
(共栄社化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダ
クツ社製)、メガファック(大日本インキ化学工業
(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、
アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)等
を挙げることができる。これらの界面活性剤は、単独で
または2種以上を混合して使用することができる。界面
活性剤の使用量は、着色剤100重量部に対して、通
常、50重量部以下、好ましくは0〜30重量部であ
る。
In the present invention, each of the pigments can be used by modifying the particle surface with a polymer, if desired. Examples of the polymer that modifies the surface of the pigment include polymers described in JP-A-8-259876 and various commercially available polymers or oligomers for dispersing pigments. The colorant in the present invention can be used together with a dispersant, if desired. Examples of such a dispersant include cationic, anionic, nonionic, amphoteric, silicone, and fluorine-based surfactants. Specific examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, and polyoxyethylene oleyl ether; polyoxyethylene n-octyl phenyl ether, polyoxyethylene n- Polyoxyethylene alkyl phenyl ethers such as nonylphenyl ether; polyethylene glycol diesters such as polyethylene glycol dilaurate and polyethylene glycol distearate; sorbitan fatty acid esters; fatty acid-modified polyesters; tertiary amine-modified polyurethanes; In addition to the following product names, KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), F-top (manufactured by Tochem Products), Gafakku (produced by Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd.), (Sumitomo 3M Co., Ltd.) Fluorad,
Asahi Guard, Surflon (all manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) and the like can be mentioned. These surfactants can be used alone or in combination of two or more. The amount of the surfactant to be used is generally 50 parts by weight or less, preferably 0 to 30 parts by weight, based on 100 parts by weight of the colorant.

【0016】(B)アルカリ可溶性樹脂 次に、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂としては、
(A)着色剤に対してバインダーとして作用し、かつカ
ラーフィルタを製造する際に、その現像処理工程におい
て用いられる現像液、特に好ましくはアルカリ現像液に
対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるも
のではないが、カルボキシル基を有するポリマー、特
に、1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽
和単量体(以下、単に「カルボキシル基含有不飽和単量
体」という。)と他の共重合可能なエチレン性不飽和単
量体(以下、単に「共重合性不飽和単量体」という。)
との共重合体(以下、単に「カルボキシル基含有共重合
体」という。)が好ましい。
(B) Alkali-Soluble Resin Next, the alkali-soluble resin in the present invention includes:
(A) When it acts as a binder for a colorant and is soluble in a developing solution used in the developing step, particularly preferably an alkali developing solution, in producing a color filter, Although not limited, a polymer having a carboxyl group, in particular, an ethylenically unsaturated monomer having one or more carboxyl groups (hereinafter, simply referred to as “carboxyl group-containing unsaturated monomer”) and others. (Hereinafter, simply referred to as “copolymerizable unsaturated monomer”)
(Hereinafter, simply referred to as “carboxyl group-containing copolymer”).

【0017】カルボキシル基含有不飽和単量体として
は、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、
α−クロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボ
ン酸類;マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタ
コン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコ
ン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸またはその無
水物類;3価以上の不飽和多価カルボン酸またはその無
水物類;こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチ
ル)、こはく酸モノ(2−メタクリロイロキシエチ
ル)、フタル酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、
フタル酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)等の2
価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロ
キシアルキル〕エステル類;ω−カルボキシポリカプロ
ラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロ
ラクトンモノメタクリレート等の末端にカルボキシル基
と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレー
ト類等を挙げることができる。これらのカルボキシル基
含有不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して
使用することができる。
Examples of the carboxyl group-containing unsaturated monomer include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid,
unsaturated monocarboxylic acids such as α-chloroacrylic acid and cinnamic acid; unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, and mesaconic acid; Trihydric or higher unsaturated polycarboxylic acid or its anhydride; mono (2-acryloyloxyethyl) succinate, mono (2-methacryloyloxyethyl) succinate, mono (2) phthalate -Acryloyloxyethyl),
2 such as mono (2-methacryloyloxyethyl) phthalate
Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of polyhydric carboxylic acids having a valency of equal to or more than one; polymers such as ω-carboxypolycaprolactone monoacrylate and ω-carboxypolycaprolactone monomethacrylate having a carboxyl group and a hydroxyl group at the terminal (Meth) acrylates and the like. These carboxyl group-containing unsaturated monomers can be used alone or in combination of two or more.

【0018】また、共重合性不飽和単量体としては、例
えば、スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトル
エン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−
クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシ
スチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジル
メチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、
p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジ
ルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジル
エーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の
芳香族ビニル化合物;インデン、1−メチルインデン等
のインデン類;
Examples of the copolymerizable unsaturated monomer include, for example, styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene and p-vinyltoluene.
Chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylbenzyl methyl ether, m-vinylbenzyl methyl ether,
aromatic vinyl compounds such as p-vinylbenzyl methyl ether, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether and p-vinylbenzyl glycidyl ether; indenes such as indene and 1-methylindene;

【0019】メチルアクリレート、メチルメタクリレー
ト、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n−
プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、
i−プロピルアクリレート、i−プロピルメタクリレー
ト、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタクリレー
ト、i−ブチルアクリレート、i−ブチルメタクリレー
ト、sec−ブチルアクリレート、sec−ブチルメタ
クリレート、t−ブチルアクリレート、t−ブチルメタ
クリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−
ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロ
ピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレ
ート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒド
ロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシブチル
アクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレート、
3−ヒドロキシブチルアクリレート、3−ヒドロキシブ
チルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレー
ト、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアク
リレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレー
ト、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレ
ート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリ
レート、フェニルメタクリレート、2−メトキシエチル
アクリレート、2−メトキシエチルメタクリレート、2
−フェノキシエチルアクリレート、2−フェノキシエチ
ルメタクリレート、メトキシジエチレングルコールアク
リレート、メトキシジエチレングルコールメタクリレー
ト、メトキシトリエチレングルコールアクリレート、メ
トキシトリエチレングルコールメタクリレート、メトキ
シプロピレングルコールアクリレート、メトキシプロピ
レングルコールメタクリレート、メトキシジプロピレン
グルコールアクリレート、メトキシジプロピレングルコ
ールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソ
ボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアク
リレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、2
−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、
2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルメタクリレー
ト等の不飽和カルボン酸エステル類;
Methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-
Propyl acrylate, n-propyl methacrylate,
i-propyl acrylate, i-propyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, i-butyl acrylate, i-butyl methacrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl acrylate, t-butyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-
Hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxybutyl methacrylate,
3-hydroxybutyl acrylate, 3-hydroxybutyl methacrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate, allyl acrylate, allyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, phenyl acrylate, phenyl methacrylate, 2- Methoxyethyl acrylate, 2-methoxyethyl methacrylate, 2
-Phenoxyethyl acrylate, 2-phenoxyethyl methacrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, methoxytriethylene glycol methacrylate, methoxypropylene glycol acrylate, methoxypropylene glycol methacrylate, methoxy Dipropylene glycol acrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, isobornyl acrylate, isobornyl methacrylate, dicyclopentadienyl acrylate, dicyclopentadienyl methacrylate, 2
-Hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate,
Unsaturated carboxylic esters such as 2-hydroxy-3-phenoxypropyl methacrylate;

【0020】2−アミノエチルアクリレート、2−アミ
ノエチルメタクリレート、2−ジメチルアミノエチルア
クリレート、2−ジメチルアミノエチルメタクリレー
ト、2−アミノプロピルアクリレート、2−アミノプロ
ピルメタクリレート、2−ジメチルアミノプロピルアク
リレート、2−ジメチルアミノプロピルメタクリレー
ト、3−アミノプロピルアクリレート、3−アミノプロ
ピルメタクリレート、3−ジメチルアミノプロピルアク
リレート、3−ジメチルアミノプロピルメタクリレート
等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;グリ
シジルアクリレート、グリシジルメタクリレート等の不
飽和カルボン酸グリシジルエステル類;酢酸ビニル、プ
ロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカ
ルボン酸ビニルエステル類;ビニルメチルエーテル、ビ
ニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不
飽和エーテル類;アクリロニトリル、メタクリロニトリ
ル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン
等のシアン化ビニル化合物;アクリルアミド、メタクリ
ルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロ
キシエチルアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル
メタクリルアミド等の不飽和アミド類;マレイミド、N
−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド
等の不飽和イミド類;1,3−ブタジエン、イソプレ
ン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;ポリスチレ
ン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレー
ト、ポリ−n−ブチルアクリレート、ポリ−n−ブチル
メタクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末
端にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイル基
を有するマクロモノマー類等を挙げることができる。こ
れらの共重合性不飽和単量体は、単独でまたは2種以上
を混合して使用することができる。
2-aminoethyl acrylate, 2-aminoethyl methacrylate, 2-dimethylaminoethyl acrylate, 2-dimethylaminoethyl methacrylate, 2-aminopropyl acrylate, 2-aminopropyl methacrylate, 2-dimethylaminopropyl acrylate, Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters such as dimethylaminopropyl methacrylate, 3-aminopropyl acrylate, 3-aminopropyl methacrylate, 3-dimethylaminopropyl acrylate, and 3-dimethylaminopropyl methacrylate; unsaturated acids such as glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate Carboxylic acid glycidyl esters; vinyl carboxylate esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate and vinyl benzoate Unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether and allyl glycidyl ether; vinyl cyanide compounds such as acrylonitrile, methacrylonitrile, α-chloroacrylonitrile and vinylidene cyanide; acrylamide, methacrylamide, α-chloroacrylamide Amides such as N, N-2-hydroxyethyl acrylamide and N-2-hydroxyethyl methacrylamide; maleimide, N
Unsaturated imides such as -phenylmaleimide and N-cyclohexylmaleimide; aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene and chloroprene; polystyrene, polymethyl acrylate, polymethyl methacrylate, poly-n-butyl acrylate, poly And macromonomers having a monoacryloyl group or a monomethacryloyl group at the terminal of a polymer molecular chain such as n-butyl methacrylate and polysiloxane. These copolymerizable unsaturated monomers can be used alone or in combination of two or more.

【0021】本発明におけるカルボキシル基含有共重合
体としては、アクリル酸および/またはメタクリル酸
を必須とし、場合により、こはく酸モノ(2−アクリロ
イロキシエチル)および/またはこはく酸モノ(2−メ
タクリロイロキシエチル)をさらに含有するカルボキシ
ル基含有不飽和単量体成分と、スチレン、メチルアク
リレート、メチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチ
ルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベン
ジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、N−フェ
ニルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマーおよびポ
リメチルメタクリレートマクロモノマーの群から選ばれ
る少なくとも1種との共重合体(以下、「カルボキシル
基含有共重合体(I)」という。)が好ましい。
As the carboxyl group-containing copolymer in the present invention, acrylic acid and / or methacrylic acid are essential, and in some cases, mono (2-acryloyloxyethyl) succinate and / or mono (2-methacrylic acid) are used. Carboxyl group-containing unsaturated monomer component further containing (loiroxyethyl), styrene, methyl acrylate, methyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, allyl acrylate, allyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate , A copolymer with at least one selected from the group consisting of N-phenylmaleimide, polystyrene macromonomer and polymethyl methacrylate macromonomer (hereinafter referred to as “carboxyl group-containing copolymer (I)”) Say.) It is preferred.

【0022】カルボキシル基含有共重合体(I)の具体
例としては、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アク
リレート共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/2−
ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/メチ
ル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー
共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリ
レート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重
合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレ
ート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)
アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチ
ルメタクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)ア
クリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート
/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロ
モノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アク
リレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共
重合体、メタクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)ア
クリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メ
タ)アクリル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシ
エチル)/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/
N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸
/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチ
レン/アリル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレ
イミド共重合体等を挙げることができる。
Specific examples of the carboxyl group-containing copolymer (I) include (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymer, and (meth) acrylate. ) Acrylic acid / 2-
Hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate Macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth)
Acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acryl Acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer, methacrylic acid / styrene / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer, (meth) acrylic acid / Mono (2-acryloyloxyethyl succinate) / styrene / benzyl (meth) acrylate /
Examples thereof include N-phenylmaleimide copolymer, (meth) acrylic acid / mono (2-acryloyloxyethyl succinate) / styrene / allyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer.

【0023】カルボキシル基含有共重合体におけるカル
ボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、通常、5
〜50重量%、好ましくは10〜40重量%である。こ
の場合、前記共重合割合が5重量%未満では、得られる
組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向
があり、一方50重量%を超えると、アルカリ現像液に
対する溶解性が過大となり、アルカリ現像液により現像
する際に、画素の基板からの脱落や画素表面の膜荒れを
来たしやすくなる傾向がある。本発明におけるアルカリ
可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー
(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定した
ポリスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」とい
う。)は、通常、3,000〜300,000、好まし
くは5,000〜100,000である。このような特
定のMwを有するアルカリ可溶性樹脂を使用することに
よって、現像性に優れた感放射線性組成物が得られ、そ
れにより、シャープなパターンエッジを有する画素を形
成することができるとともに、現像時に基板上の画素を
形成する部分以外の領域における地汚れ、膜残り等が発
生し難くなる。本発明において、アルカリ可溶性樹脂
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の使用量は、
(A)着色剤100重量部に対して、通常、10〜1,
000重量部、好ましくは20〜500重量部である。
この場合、アルカリ可溶性樹脂の使用量が10重量部未
満では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、基板上
の画素を形成する部分以外の領域で地汚れや膜残りが発
生するおそれがあり、一方1,000重量部を超える
と、相対的に顔料濃度が低下するため、カラーフィルタ
に要求される色濃度を達成することが困難となる場合が
ある。
The copolymerization ratio of the carboxyl group-containing unsaturated monomer in the carboxyl group-containing copolymer is usually 5
5050% by weight, preferably 10-40% by weight. In this case, if the copolymerization ratio is less than 5% by weight, the solubility of the obtained composition in an alkali developing solution tends to decrease, while if it exceeds 50% by weight, the solubility in an alkali developing solution becomes excessive, When developing with an alkali developing solution, there is a tendency that pixels fall off the substrate or the surface of the pixels becomes rough. The polystyrene-equivalent weight average molecular weight (hereinafter, referred to as “Mw”) of the alkali-soluble resin in the present invention measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) is usually 3,000 to 300,000, preferably. Is 5,000 to 100,000. By using such an alkali-soluble resin having a specific Mw, a radiation-sensitive composition excellent in developability can be obtained, whereby a pixel having a sharp pattern edge can be formed, and Occasionally, background contamination, film residue, and the like in a region other than a portion on which a pixel is formed on a substrate are less likely to occur. In the present invention, the alkali-soluble resins can be used alone or in combination of two or more. The amount of the alkali-soluble resin used in the present invention is
(A) Usually, 10 to 1, based on 100 parts by weight of the coloring agent.
000 parts by weight, preferably 20 to 500 parts by weight.
In this case, if the amount of the alkali-soluble resin used is less than 10 parts by weight, for example, alkali developability may be reduced, or background contamination or film residue may occur in a region other than a portion where a pixel is formed on the substrate, On the other hand, when the content exceeds 1,000 parts by weight, the pigment concentration relatively decreases, and it may be difficult to achieve the color density required for the color filter.

【0024】(C)多官能性単量体 本発明における多官能性単量体は、2個以上の重合性不
飽和結合を有する単量体であり、その例としては、エチ
レングリコール、プロピレングリコール等のアルキレン
グリコールのジアクリレートまたはジメタクリレート
類;ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコー
ル等のポリアルキレングリコールのジアクリレートまた
はジメタクリレート類;グリセリン、トリメチロールプ
ロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトー
ル等の3価以上の多価アルコールのポリアクリレートま
たはポリメタクリレート類やそれらのジカルボン酸変性
物;ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アル
キド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴア
クリレートまたはオリゴメタクリレート類;両末端ヒド
ロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポ
リイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等
の両末端ヒドロキシル化重合体のジアクリレートまたは
ジメタクリレート類のほか、トリス(2−アクリロイロ
キシエチル)フォスフェート、トリス(2−メタクリロ
イロキシエチル)フォスフェート等を挙げることができ
る。
(C) Polyfunctional Monomer The polyfunctional monomer in the present invention is a monomer having two or more polymerizable unsaturated bonds, and examples thereof include ethylene glycol and propylene glycol. Diacrylates or dimethacrylates of alkylene glycols such as polyethylene glycol, polypropylene glycol and the like; diacrylates or dimethacrylates of polyalkylene glycols such as glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol and dipentaerythritol; Polyacrylates or polymethacrylates of alcohols and their dicarboxylic acid modified products; oligoacrylates or oligomethacrylates such as polyester, epoxy resin, urethane resin, alkyd resin, silicone resin, and spirane resin And diacrylates or dimethacrylates of hydroxyl-terminated polymers such as hydroxy-poly-1,3-butadiene at both ends, hydroxy-polyisoprene at both ends, hydroxy-polycaprolactone at both ends, and tris (2-acryloyloxyethyl). ) Phosphate, tris (2-methacryloyloxyethyl) phosphate, and the like.

【0025】これらの多官能性単量体のうち、3価以上
の多価アルコールのポリアクリレートまたはポリメタク
リレート類やそれらのジカルボン酸変性物が好ましく、
具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペン
タエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
アクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジ
ペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリ
トールヘキサメタクリレート、下記式(3)で表される
化合物等が好ましく、特に、トリメチロールプロパント
リアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレー
トおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
が、画素強度が高く、画素表面の平滑性に優れ、かつ未
露光部の基板上および遮光層上に地汚れ、膜残り等を発
生し難い点で好ましい。
Among these polyfunctional monomers, polyacrylates or polymethacrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols and modified dicarboxylic acids thereof are preferred.
Specifically, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol Pentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, a compound represented by the following formula (3), and the like are preferable. In particular, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate have high pixel strength, Excellent pixel surface smoothness and unexposed areas on the substrate and Scumming on the optical layer, it is unlikely to generate film residue and the like.

【0026】[0026]

【化5】 Embedded image

【0027】前記多官能性単量体は、単独でまたは2種
以上を混合して使用することができる。また、本発明に
おいては、場合により、前記多官能性単量体と共に、単
官能性単量体を併用することもできる。このような単官
能性単量体の具体例としては、(B)アルカリ可溶性樹
脂について例示した前記カルボキシル基含有不飽和単量
体や共重合性不飽和単量体と同様の単量体のほか、市販
品として、M−5300、M−5400(商品名、東亞
合成(株)製)等を挙げることができる。これらの単官
能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用す
ることができる。前記単官能性単量体の使用割合は、多
官能性単量体と単官能性単量体との合計に対して、通
常、90重量%以下、好ましくは0〜50重量%であ
る。この場合、単官能性単量体の使用割合が90重量%
を超えると、得られる画素の強度や表面平滑性が不十分
となるおそれがある。本発明における多官能性単量体と
単官能性単量体との合計使用量は、(B)アルカリ可溶
性樹脂100重量部に対して、通常、5〜500重量
部、好ましくは20〜300重量部である。この場合、
前記使用量が5重量部未満では、画素の強度や表面平滑
性が低下する傾向があり、一方500重量部を超える
と、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の
基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しや
すくなる傾向がある。
The above-mentioned polyfunctional monomers can be used alone or in combination of two or more. In the present invention, a monofunctional monomer may be used in combination with the polyfunctional monomer as the case may be. Specific examples of such monofunctional monomers include (B) the same monomers as the carboxyl group-containing unsaturated monomers and copolymerizable unsaturated monomers exemplified for the alkali-soluble resin, and Examples of commercially available products include M-5300 and M-5400 (trade names, manufactured by Toagosei Co., Ltd.). These monofunctional monomers can be used alone or in combination of two or more. The proportion of the monofunctional monomer used is usually 90% by weight or less, preferably 0 to 50% by weight, based on the total of the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. In this case, the use ratio of the monofunctional monomer is 90% by weight.
If it exceeds, the strength and surface smoothness of the obtained pixels may be insufficient. The total amount of the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer in the present invention is usually 5 to 500 parts by weight, preferably 20 to 300 parts by weight, based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin (B). Department. in this case,
If the amount is less than 5 parts by weight, the strength and surface smoothness of the pixel tend to decrease, while if it exceeds 500 parts by weight, for example, the alkali developability decreases, or the unexposed part on the substrate or light-shielding Background dirt, film residue, and the like tend to easily occur on the layer.

【0028】(D)光ラジカル発生剤 本発明における光ラジカル発生剤は、前記式(1)で表
される化合物(以下、「光ラジカル発生剤(1)」とい
う。)および前記式(2)で表される化合物(以下、
「光ラジカル発生剤(2)」という。)を必須成分とし
て含有し、露光によりラジカルを発生する作用を有する
ものである。前記式(1)において、R1 およびR2
しては、炭素数1〜4のアルキル基、具体的には、メチ
ル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n
−ブチル基、i−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブ
チル基が好ましく、特にメチル基が好ましい。また、前
記式(1)において、R3 、R4 、R5 およびR6 とし
ては、炭素数1〜4のアルキル基、具体的には、メチル
基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−
ブチル基、i−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチ
ル基が好ましく、特にエチル基が好ましい。光ラジカル
発生剤(1)および光ラジカル発生剤(2)は、可視光
線、紫外線、遠紫外線、電子線あるいはX線の如き放射
線、特に波長が190〜450nmの範囲にある放射線
に対して、高感度であり、少ないエネルギー量の露光に
より、感放射線性組成物を十分硬化させることができ
る。
(D) Photo-radical generator The photo-radical generator in the present invention is a compound represented by the formula (1) (hereinafter referred to as “photo-radical generator (1)”) and the formula (2). Compound represented by the following (hereinafter,
It is called "photoradical generator (2)". ) As an essential component and has an action of generating a radical upon exposure. In the above formula (1), R 1 and R 2 each represent an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, specifically, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, an n-type group.
-A butyl group, an i-butyl group, a sec-butyl group, and a t-butyl group are preferable, and a methyl group is particularly preferable. In the above formula (1), R 3 , R 4 , R 5 and R 6 each represent an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, specifically, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i- Propyl group, n-
A butyl group, an i-butyl group, a sec-butyl group and a t-butyl group are preferred, and an ethyl group is particularly preferred. The photo-radical generator (1) and the photo-radical generator (2) are highly sensitive to radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beams or X-rays, particularly radiation having a wavelength in the range of 190 to 450 nm. The radiation-sensitive composition is sensitive and can be sufficiently cured by exposure to a small amount of energy.

【0029】本発明において、光ラジカル発生剤(1)
および光ラジカル発生剤(2)は、それぞれ単独でまた
は2種以上を混合して使用することができる。本発明に
おける光ラジカル発生剤(1)と光ラジカル発生剤
(2)との使用比率は、通常、10;90〜99;1、
好ましくは30:70〜95:5、特に好ましくは5
0:50〜95:5である。この場合、前記使用比率が
10:90未満では、画素パターンが肥大化して、解像
度が低下する傾向があり、一方99:1を超えると、硬
化反応が不十分となり、現像時に画素パターンに欠けを
生じたり、現像時に露光部が浸食されたりするおそれが
ある。
In the present invention, the photo-radical generator (1)
The photoradical generator (2) can be used alone or in combination of two or more. The usage ratio of the photo radical generator (1) to the photo radical generator (2) in the present invention is usually 10; 90 to 99;
Preferably from 30:70 to 95: 5, particularly preferably 5
0:50 to 95: 5. In this case, when the use ratio is less than 10:90, the pixel pattern tends to be enlarged and the resolution tends to be reduced. On the other hand, when it exceeds 99: 1, the curing reaction becomes insufficient, and the pixel pattern lacks during development. Or the exposed portion may be eroded during development.

【0030】また、本発明においては、光ラジカル発生
剤(1)および光ラジカル発生剤(2)と共に、他の光
ラジカル発生剤を併用することができる。前記他の光ラ
ジカル発生剤としては、例えば、イミダゾール系化合
物、ベンゾイン系化合物、アセトフェノン系化合物、α
−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン
系化合物、トリアジン系化合物等を挙げることができ
る。
In the present invention, another photoradical generator can be used together with the photoradical generator (1) and the photoradical generator (2). Examples of the other photo radical generator include, for example, imidazole compounds, benzoin compounds, acetophenone compounds, α
-Diketone compounds, polynuclear quinone compounds, xanthone compounds, triazine compounds and the like.

【0031】前記ビイミダゾール系化合物の具体例とし
ては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’
−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−
1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,
6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’
−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシ
カルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニ
ル)−1,2’−ビイミダゾール、
Specific examples of the biimidazole compound include 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,
4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4', 5,5 '
-Tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl)-
1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,
6-trichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'
-Biimidazole, 2,2'-bis (2-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2′-bis (2,4-dibromophenyl) -4,
4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4',
5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole,

【0032】2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’
−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリ
クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニ
ル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−
ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニ
ル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,
4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ
フェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス
(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等を
挙げることができる。
2,2'-bis (2-chlorophenyl)-
4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1, 2 '
-Biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2 −
Bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,
4-dibromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4', 5,
5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole and the like can be mentioned.

【0033】また、前記ベンゾイン系化合物の具体例と
しては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベン
ゾインエチルエーテル、ベンゾインi−プロピルエーテ
ル、ベンゾインi−ブチルエーテル、2−ベンゾイル安
息香酸メチル等を挙げることができる。前記アセトフェ
ノン系化合物の具体例としては、2,2−ジメトキシ−
2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メ
チル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−(4’−
i−プロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチル
プロパン−1−オン、4−(2’−ヒドロキシエトキ
シ)フェニル(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケト
ン、2,2−ジメトキシアセトフェノン、2,2−ジエ
トキシアセトフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルア
ミノ−1−(4’−モルフォリノフェニル)ブタン−1
−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケト
ン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−
1−オン等を挙げることができる。前記α−ジケトン系
化合物の具体例としては、ジアセチル、ジベンゾイル、
メチルベンゾイルホルメート等を挙げることができる。
前記多核キノン系化合物の具体例としては、アントラキ
ノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアン
トラキノン、1,4−ナフトキノン等を挙げることがで
きる。前記キサントン系化合物の具体例としては、キサ
ントン、チオキサントン、2−クロロチオキサントン等
を挙げることができる。
Further, specific examples of the benzoin-based compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin i-propyl ether, benzoin i-butyl ether, methyl 2-benzoylbenzoate and the like. Specific examples of the acetophenone-based compound include 2,2-dimethoxy-
2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1- (4′-
i-propylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 4- (2′-hydroxyethoxy) phenyl (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 2,2-dimethoxyacetophenone, 2,2 -Diethoxyacetophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4'-morpholinophenyl) butane-1
-One, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-
1-one and the like can be mentioned. Specific examples of the α-diketone compound include diacetyl, dibenzoyl,
Methylbenzoyl formate and the like can be mentioned.
Specific examples of the polynuclear quinone compound include anthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, and 1,4-naphthoquinone. Specific examples of the xanthone-based compound include xanthone, thioxanthone, and 2-chlorothioxanthone.

【0034】前記トリアジン系化合物の具体例として
は、1,3,5−トリス(トリクロロメチル)−s−ト
リアジン、1,3−ビス(トリクロロメチル)−5−
(2’−クロロフェニル)−s−トリアジン、1,3−
ビス(トリクロロメチル)−5−(4’−クロロフェニ
ル)−s−トリアジン、1,3−ビス(トリクロロメチ
ル)−5−(2’−メトキシフェニル)−s−トリアジ
ン、1,3−ビス(トリクロロメチル)−5−(4’−
メトキシフェニル)−s−トリアジン、2−(2’−フ
リルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)
−s−トリアジン、2−(4’−メトキシスチリル)−
4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
2−(3’,4’−ジメトキシスチリル)−4,6−ビ
ス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4’
−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−(2’−ブロモ−4’−メ
チルフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−
s−トリアジン、2−(2’−チオフェニルエチリデ
ン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、下記式(4)で表される化合物等を挙げることが
できる。
Specific examples of the triazine-based compound include 1,3,5-tris (trichloromethyl) -s-triazine and 1,3-bis (trichloromethyl) -5.
(2′-chlorophenyl) -s-triazine, 1,3-
Bis (trichloromethyl) -5- (4'-chlorophenyl) -s-triazine, 1,3-bis (trichloromethyl) -5- (2'-methoxyphenyl) -s-triazine, 1,3-bis (trichloro Methyl) -5- (4'-
Methoxyphenyl) -s-triazine, 2- (2′-furylethylidene) -4,6-bis (trichloromethyl)
-S-triazine, 2- (4'-methoxystyryl)-
4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine,
2- (3 ', 4'-dimethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4'
-Methoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (2'-bromo-4'-methylphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl)-
Examples thereof include s-triazine, 2- (2′-thiophenylethylidene) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, and a compound represented by the following formula (4).

【0035】[0035]

【化6】 Embedded image

【0036】これらの他の光ラジカル発生剤のうち、
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−
(4’−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、1
−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等が好まし
い。前記他の光ラジカル発生剤は、単独でまたは2種以
上を混合して使用することができる。
Of these other photoradical generators,
2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′,
5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl)-
4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-
(4′-morpholinophenyl) butan-1-one, 1
-Hydroxycyclohexyl phenyl ketone is preferred. The other photo radical generators can be used alone or in combination of two or more.

【0037】他の光ラジカル発生剤の使用割合は、光ラ
ジカル発生剤(1)および光ラジカル発生剤(2)と他
の光ラジカル発生剤との合計に対して、通常、80重量
%以下、好ましくは60重量%以下、さらに好ましくは
40重量%以下である。この場合、他の光ラジカル発生
剤の使用割合が80重量%を超えると、本発明の所期の
効果が損なわれるおそれがある。本発明における光ラジ
カル発生剤の合計使用量は、(C)多官能性単量体10
0重量部に対して、通常、0.01〜200重量部、好
ましくは1〜120重量部、特に好ましくは1〜100
重量部である。この場合、光ラジカル発生剤の合計使用
量が0.01重量部未満では、露光による硬化が不十分
となり、画素パターンが所定の配列に従って配置された
画素アレイを得ることが困難となるおそれがあり、一方
200重量部を超えると、形成された画素が現像時に基
板から脱落しやすくなったり、また未露光部の基板上あ
るいは遮光層上に地汚れ、膜残り等を生じやすくなった
りするおそれがある。さらに、本発明においては、前記
光ラジカル発生剤と共に、必要に応じて、増感剤、硬化
促進剤あるいは高分子光架橋・増感剤の1種以上を併用
することもできる。
The proportion of the other photo-radical generator used is usually 80% by weight or less based on the total of the photo-radical generator (1), the photo-radical generator (2) and the other photo-radical generator. It is preferably at most 60% by weight, more preferably at most 40% by weight. In this case, if the use ratio of the other photoradical generator exceeds 80% by weight, the intended effect of the present invention may be impaired. The total amount of the photoradical generator used in the present invention is (C) a polyfunctional monomer 10
0 to 100 parts by weight, usually 0.01 to 200 parts by weight, preferably 1 to 120 parts by weight, particularly preferably 1 to 100 parts by weight.
Parts by weight. In this case, if the total amount of the photoradical generator is less than 0.01 parts by weight, curing by exposure becomes insufficient, and it may be difficult to obtain a pixel array in which pixel patterns are arranged according to a predetermined arrangement. On the other hand, if the amount exceeds 200 parts by weight, the formed pixels may easily fall off the substrate during development, or the background may become liable to be soiled or a film remaining on the unexposed portion of the substrate or the light-shielding layer. is there. Further, in the present invention, one or more of a sensitizer, a curing accelerator and a polymer photocrosslinking / sensitizer may be used together with the photoradical generator, if necessary.

【0038】添加剤 本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物は、必要に
応じて、種々の添加剤を含有することもできる。前記添
加剤としては、カラーフィルタ用感放射線性組成物のア
ルカリ現像液に対する溶解性をより改善し、かつ現像後
の未溶解物の残存をより抑制する作用を示す有機酸を挙
げることができる。このような有機酸としては、分子量
が1,000以下である、脂肪族カルボン酸あるいはフ
ェニル基含有カルボン酸が好ましい。前記脂肪族カルボ
ン酸としては、例えば、ぎ酸、酢酸、プロピオン酸、酪
酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エ
ナント酸、カプリル酸等のモノカルボン酸類;しゅう
酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピ
メリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブ
ラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチル
マロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、
1,2−シクロヘキサンジカルボン酸、1,3−シクロ
ヘキサンジカルボン酸、1,4−シクロヘキサンジカル
ボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマ
ル酸、メサコン酸等のジカルボン酸類;トリカルバリル
酸、アコニット酸、カンホロン酸等のトリカルボン酸類
等を挙げることができる。また、前記フェニル基含有カ
ルボン酸としては、カルボキシル基が直接フェニル基に
結合した芳香族カルボン酸や、カルボキシル基が炭素鎖
を介してフェニル基に結合したカルボン酸等を挙げるこ
とができ、それらの例としては、安息香酸、トルイル
酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モ
ノカルボン酸類;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル
酸等の芳香族ジカルボン酸類;トリメリット酸、トリメ
シン酸、メロファン酸、ピロメリット酸等の3価以上の
芳香族ポリカルボン酸類や、フェニル酢酸、ヒドロアト
ロパ酸、ヒドロけい皮酸、マンデル酸、フェニルこはく
酸、アトロパ酸、けい皮酸、シンナミリデン酸、クマル
酸、ウンベル酸等を挙げることができる。
Additives The radiation-sensitive composition for a color filter of the present invention can contain various additives, if necessary. Examples of the additive include an organic acid having an action of further improving the solubility of the radiation-sensitive composition for a color filter in an alkali developing solution and further suppressing the remaining of undissolved material after development. As such an organic acid, an aliphatic carboxylic acid or a phenyl group-containing carboxylic acid having a molecular weight of 1,000 or less is preferable. Examples of the aliphatic carboxylic acid include monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethylacetic acid, enanthic acid, caprylic acid; oxalic acid, malonic acid, and amber Acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid,
Dicarboxylic acids such as 1,2-cyclohexanedicarboxylic acid, 1,3-cyclohexanedicarboxylic acid, 1,4-cyclohexanedicarboxylic acid, itaconic acid, citraconic acid, maleic acid, fumaric acid, and mesaconic acid; tricarballylic acid, aconitic acid, Examples thereof include tricarboxylic acids such as camphoronic acid. Examples of the phenyl group-containing carboxylic acid include an aromatic carboxylic acid in which a carboxyl group is directly bonded to a phenyl group, and a carboxylic acid in which a carboxyl group is bonded to a phenyl group via a carbon chain. Examples include aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelitic acid, and mesitylene acid; aromatic dicarboxylic acids such as phthalic acid, isophthalic acid, and terephthalic acid; trimellitic acid, trimesic acid, and melophanic acid , Triphenyl or higher aromatic polycarboxylic acids such as pyromellitic acid, phenylacetic acid, hydroatropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenylsuccinic acid, atropic acid, cinnamic acid, cinnamylidenic acid, coumaric acid, umbellic acid And the like.

【0039】これらの有機酸のうち、マロン酸、アジピ
ン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン
酸、フタル酸等の脂肪族ジカルボン酸類および芳香族ジ
カルボン酸類が、アルカリ溶解性、後述する溶媒に対す
る溶解性、未露光部の基板上および遮光層上における地
汚れや膜残りの防止等の観点から好ましい。前記有機酸
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。有機酸の使用量は、感放射線性組成物全体に対し
て、通常、10重量%以下、好ましくは5重量%以下、
さらに好ましくは1重量%以下である。この場合、有機
酸の使用量が10重量%を超えると、形成された画素の
基板に対する密着性が低下する傾向がある。
Among these organic acids, aliphatic dicarboxylic acids and aromatic dicarboxylic acids such as malonic acid, adipic acid, itaconic acid, citraconic acid, fumaric acid, mesaconic acid, and phthalic acid are alkali-soluble, This is preferred from the viewpoints of solubility in GaN, prevention of background contamination and film residue on the unexposed portion of the substrate and the light-shielding layer. The organic acids can be used alone or in combination of two or more. The amount of the organic acid used is usually 10% by weight or less, preferably 5% by weight or less, based on the whole radiation-sensitive composition.
More preferably, it is 1% by weight or less. In this case, if the amount of the organic acid used exceeds 10% by weight, the adhesion of the formed pixel to the substrate tends to decrease.

【0040】また、前記有機酸以外の添加剤の例として
は、銅フタロシアニン誘導体等の青色顔料誘導体や黄色
顔料誘導体等の分散助剤;ガラス、アルミナ等の充填
剤;ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモ
ノアルキルエーテル類、ポリ(フロロアルキルアクリレ
ート)類等の高分子化合物;ノニオン系、カチオン系、
アニオン系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メ
トキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−
3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2
−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシ
ラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グ
リシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシド
キシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3’,
4’−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシ
ラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3
−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロ
キシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロ
ピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオ
ビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,
6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−
(3’−t−ブチル−5’−メチル−2’−ヒドロキシ
フェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキ
シベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル酸
ナトリウム等の凝集防止剤;エポキシ化合物、メラミン
化合物、ビスアジド化合物等の熱架橋剤等を挙げること
ができる。
Examples of additives other than the organic acids include dispersing aids such as blue pigment derivatives and yellow pigment derivatives such as copper phthalocyanine derivatives; fillers such as glass and alumina; polyvinyl alcohol and polyethylene glycol monoalkyl. High molecular compounds such as ethers and poly (fluoroalkyl acrylates); nonionic, cationic,
Surfactants such as anionic surfactants; vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl)-
3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2
-Aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3 ',
4'-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3
Adhesion promoters such as -chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; 2,2-thiobis (4-methyl-6-t-butylphenol);
Antioxidants such as 6-di-t-butylphenol; 2-
UV absorbers such as (3'-t-butyl-5'-methyl-2'-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenones; aggregation inhibitors such as sodium polyacrylate; epoxy compounds and melamine compounds And a thermal crosslinking agent such as a bisazide compound.

【0041】溶媒 本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物は、前記
(A)〜(D)成分を必須成分とし、必要に応じて前記
添加剤成分を含有するが、通常、溶媒を配合して液状組
成物として調製される。前記溶媒としては、感放射線性
組成物を構成する(A)〜(D)成分や添加剤成分を分
散または溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の
揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用す
ることができる。このような溶媒としては、例えば、エ
チレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコ
ールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n
−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブ
チルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチ
レングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレ
ングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレン
グリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコー
ルモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテ
ル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテ
ル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、
ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピ
レングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリ
コールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリ
コールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリ
コールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコール
モノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコール
モノアルキルエーテル類;エチレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチル
エーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチル
エーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチル
エーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチル
エーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチル
エーテルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコール
モノアルキルエーテルアセテート類;ジエチレングリコ
ールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエ
チルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテ
ル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;メチルエ
チルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−
ヘプタノン等のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸
メチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸ア
ルキルエステル類;2−ヒドロキシ−2−メチルプロピ
オン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−
メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン
酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ
酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−
3−メチルブタン酸メチル、3−メチル−3−メトキシ
ブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプ
ロピオネート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i
−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n
−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、
酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪
酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、
ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢
酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル
類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;N−メ
チルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,
N−ジメチルアセトアミド等のアミド類等を挙げること
ができる。
Solvent The radiation-sensitive composition for a color filter of the present invention contains the above-mentioned components (A) to (D) as essential components and optionally contains the above-mentioned additive components. And prepared as a liquid composition. As the solvent, a component which disperses or dissolves the components (A) to (D) and the additives constituting the radiation-sensitive composition, does not react with these components, and has appropriate volatility. Can be appropriately selected and used. Examples of such a solvent include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n
-Propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene Glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether,
(Poly) alkylenes such as dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, and tripropylene glycol monoethyl ether Glycol monoalkyl ethers; (poly) alkylene glycol mono such as ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene glycol monoethyl ether acetate Alkyl A Le acetates; diethylene glycol dimethyl ether, other ethers such as diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran; methylethylketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-
Ketones such as heptanone; alkyl lactates such as methyl 2-hydroxypropionate and ethyl 2-hydroxypropionate; ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate; methyl 3-methoxypropionate;
Ethyl methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, 2-hydroxy-
Methyl 3-methylbutanoate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl propionate, ethyl acetate, n-propyl acetate, i-acetic acid
-Propyl, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-formic acid
-Amyl, i-amyl acetate, n-butyl propionate,
Ethyl butyrate, n-propyl butyrate, i-propyl butyrate, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate,
Other esters such as n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate and ethyl 2-oxobutanoate; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N-methylpyrrolidone ,
Examples thereof include amides such as N-dimethylacetamide.

【0042】これらの溶媒のうち、溶解性、顔料分散
性、塗布性等の観点から、エチレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル
アセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、
ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘ
キサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、2−ヒド
ロキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸
エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキ
シプロピオン酸エチル、3−メチル−3−メトキシブチ
ルプロピオネート、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、
ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブ
チル、酪酸エチル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチ
ル、ピルビン酸エチル等が好ましい。前記溶媒は、単独
でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these solvents, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, from the viewpoints of solubility, pigment dispersibility, coatability and the like.
Diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, ethyl 2-hydroxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, 3-methyl-3-methoxy Butyl propionate, n-butyl acetate, i-butyl acetate,
Preferred are n-amyl formate, i-amyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, i-propyl butyrate, n-butyl butyrate, ethyl pyruvate and the like. The solvents may be used alone or in combination of two or more.

【0043】さらに、前記溶媒と共に、ベンジルエチル
エーテル、ジ−n−ヘキシルエーテル、アセトニルアセ
トン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オク
タノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸
ベンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイ
ン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭
酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテ
ルアセテート等の高沸点溶媒を併用することもできる。
これらの高沸点溶媒のうち、γ−ブチロラクトン等が好
ましい。前記高沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混
合して使用することができる。溶媒の合計使用量は、特
に限定されるものではないが、得られる感放射線性組成
物の塗布性、安定性等の観点から、当該組成物の溶媒を
除いた各成分の合計濃度が、通常、5〜50重量%、好
ましくは10〜40重量%となる量が望ましい。
Further, together with the solvent, benzyl ethyl ether, di-n-hexyl ether, acetonylacetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl alcohol, benzyl acetate, ethyl benzoate, High boiling solvents such as diethyl oxalate, diethyl maleate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, and ethylene glycol monophenyl ether acetate can also be used in combination.
Of these high-boiling solvents, γ-butyrolactone and the like are preferred. The high boiling point solvents can be used alone or in combination of two or more. The total amount of the solvent used is not particularly limited, but from the viewpoint of the applicability of the obtained radiation-sensitive composition, stability, etc., the total concentration of each component excluding the solvent of the composition is usually , 5 to 50% by weight, preferably 10 to 40% by weight.

【0044】カラーフィルタの形成方法 次に、本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物を用
いて、カラーフィルタを形成する方法について説明す
る。まず、基板の表面上に、必要に応じて、画素を形成
する部分を区画するように遮光層を形成し、この基板上
に、例えば赤色の顔料が分散された感放射線性組成物の
液状組成物を塗布したのち、プレベークを行って溶剤を
蒸発させ、塗膜を形成する。次いで、この塗膜にフォト
マスクを介して露光したのち、アルカリ現像液を用いて
現像して、塗膜の未露光部を溶解除去し、その後ポスト
ベークを行うことにより、赤色の画素パターンが所定の
配列で配置された画素アレイを形成する。その後、緑色
または青色の顔料が分散された各感放射線性組成物の液
状組成物を用い、前記と同様にして、各液状組成物の塗
布、プレベーク、露光および現像を行い、その後ポスト
ベークを行って、緑色の画素アレイおよび青色の画素ア
レイを同一基板上に順次形成することにより、赤色、緑
色および青色の三原色の画素アレイが基板上に配置され
たカラーフィルタを得る。カラーフィルタを形成する際
に使用される基板としては、例えば、ガラス、シリコ
ン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミ
ド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ノルボルネン系開
環重合体やその水素添加物等を挙げることができる。こ
れらの基板には、所望により、シランカップリング剤等
による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティン
グ、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の
前処理を施しておくこともできる。感放射線性組成物の
液状組成物を基板に塗布する際には、回転塗布、流延塗
布、ロール塗布等の適宜の塗布法を採用することができ
る。塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、通常、0.1〜
10μm、好ましくは0.2〜5.0μm、特に好まし
くは0.2〜3.0μmである。カラーフィルタを作製
する際に使用される放射線としては、例えば、可視光
線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用すること
ができるが、波長が190〜450nmの範囲にある放
射線が好ましい。放射線の露光エネルギー量は、通常、
100〜200mJ/cm2 であるが、50〜100m
J/cm2 の範囲に下がっても感放射線性組成物を十分
硬化させることができる。また、前記アルカリ現像液と
しては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、
水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオ
キサイド、コリン、1,8−ジアザビシクロ−[5.
4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−
[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液が好ましい。前
記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール
等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加すること
もできる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗する。
現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像
法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法
等を適用することができ、現像条件は、常温で5〜30
0秒が好ましい。このようにして形成された本発明のカ
ラーフィルタは、例えば、透過型あるいは反射型のカラ
ー液晶表示装置、カラー撮像管素子、カラーセンサー等
に極めて有用である。
Method for Forming Color Filter Next, a method for forming a color filter using the radiation-sensitive composition for a color filter of the present invention will be described. First, on the surface of the substrate, if necessary, a light-shielding layer is formed so as to partition a portion where a pixel is formed, and a liquid composition of a radiation-sensitive composition in which, for example, a red pigment is dispersed, is formed on the substrate. After applying the object, pre-baking is performed to evaporate the solvent, thereby forming a coating film. Next, after this coating film is exposed through a photomask, it is developed using an alkali developing solution to dissolve and remove the unexposed portions of the coating film, and then post-baked, so that a red pixel pattern is formed. To form a pixel array arranged in the above arrangement. Thereafter, using a liquid composition of each radiation-sensitive composition in which a green or blue pigment is dispersed, in the same manner as described above, coating, pre-baking, exposing and developing each liquid composition, and then performing post-baking Then, by sequentially forming the green pixel array and the blue pixel array on the same substrate, a color filter in which the three primary color pixel arrays of red, green, and blue are arranged on the substrate is obtained. Examples of the substrate used when forming the color filter include glass, silicon, polycarbonate, polyester, aromatic polyamide, polyamideimide, polyimide, norbornene-based ring-opening polymer, and hydrogenated products thereof. . These substrates may be subjected to an appropriate pretreatment such as a chemical treatment with a silane coupling agent or the like, a plasma treatment, an ion plating, a sputtering, a gas phase reaction method, or a vacuum deposition, if desired. When applying the liquid composition of the radiation-sensitive composition to the substrate, an appropriate coating method such as spin coating, casting coating, and roll coating can be adopted. The coating thickness is usually 0.1 to
It is 10 μm, preferably 0.2 to 5.0 μm, particularly preferably 0.2 to 3.0 μm. As the radiation used when producing the color filter, for example, visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, an electron beam, X-rays and the like can be used, and radiation having a wavelength in the range of 190 to 450 nm is preferable. . Exposure energy of radiation is usually
100 to 200 mJ / cm 2 , but 50 to 100 mJ / cm 2
Even if it falls to the range of J / cm 2, the radiation-sensitive composition can be sufficiently cured. Further, as the alkali developer, for example, sodium carbonate, sodium hydroxide,
Potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.
4.0] -7-undecene, 1,5-diazabicyclo-
An aqueous solution such as [4.3.0] -5-nonene is preferred. An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol, a surfactant, or the like can be added to the alkali developer. After the alkali development, the film is usually washed with water.
As the developing treatment method, a shower developing method, a spray developing method, a dip (immersion) developing method, a paddle (liquid puddle) developing method, or the like can be applied.
0 seconds is preferred. The color filter of the present invention thus formed is extremely useful for, for example, a transmission type or reflection type color liquid crystal display device, a color image pickup tube element, a color sensor and the like.

【0045】[0045]

【発明の実施の形態】本発明のカラーフィルタ用感放射
線性組成物は、前記(A)〜(D)成分を必須成分とし
て含有するものであるが、特に好ましい組成物を具体的
に例示すると、下記(イ)〜(ヘ)のとおりである。 (イ) (B)アルカリ可溶性樹脂がカルボキシル基含
有共重合体(I)を含むカラーフィルタ用感放射線性組
成物。 (ロ) (C)多官能性単量体がトリメチロールプロパ
ントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリ
レートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
トの群から選ばれる少なくとも1種からなる前記(イ)
のカラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ハ) (D)光ラジカル発生剤における光ラジカル発
生剤(1)が2−メチル−1−(4’−メチルチオフェ
ニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オンを含み、
かつ光ラジカル発生剤(2)が4,4’−ビス(ジエチ
ルアミノ)ベンゾフェノンを含む前記(イ)または
(ロ)のカラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ニ) (A)着色剤が有機顔料を含む前記(イ)、
(ロ)または(ハ)のカラーフィルタ用感放射線性組成
物。 (ホ) 有機顔料が赤色の有機顔料を含む前記(ニ)の
カラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ヘ) 赤色の有機顔料が、さらに好ましくはC.I.ピグ
メントレッド177、C.I.ピグメントレッド202、C.
I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレッド20
7、C.I.ピグメントレッド208、C.I.ピグメントレッ
ド209、C.I.ピグメントレッド215、C.I.ピグメン
トレッド216、C.I.ピグメントレッド220、C.I.ピ
グメントレッド224、C.I.ピグメントレッド226、
C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド2
43、C.I.ピグメントレッド245、C.I.ピグメントレ
ッド254、C.I.ピグメントレッド255、C.I.ピグメ
ントレッド264およびC.I.ピグメントレッド265の
群から選ばれる少なくとも1種からなり、特に好ましく
はC.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド
224、C.I.ピグメントレッド254およびC.I.ピグメ
ントレッド264の群から選ばれる少なくとも1種やこ
れらの赤色の有機顔料と他の色調の有機顔料との混合物
からなる前記(ホ)のカラーフィルタ用感放射線性組成
物。 また、本発明の好ましいカラーフィルタは、 (ト) 前記(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)、(ホ)
または(ヘ)のカラーフィルタ用感放射線性組成物から
形成された画素を有するカラーフィルタ、からなる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The radiation-sensitive composition for a color filter of the present invention contains the above components (A) to (D) as essential components. And (a) to (f) below. (A) A radiation-sensitive composition for a color filter, wherein (B) the alkali-soluble resin contains a carboxyl group-containing copolymer (I). (B) (C) the polyfunctional monomer is at least one selected from the group consisting of trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate
Radiation-sensitive composition for color filters. (C) (D) The photoradical generator (1) in the photoradical generator contains 2-methyl-1- (4′-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one,
The radiation-sensitive composition for a color filter according to the above (a) or (b), wherein the photoradical generator (2) contains 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone. (D) (A) wherein the colorant contains an organic pigment;
The radiation-sensitive composition for a color filter according to (b) or (c). (E) The radiation-sensitive composition for a color filter according to the above (d), wherein the organic pigment contains a red organic pigment. (F) Red organic pigments are more preferably CI Pigment Red 177, CI Pigment Red 202, C.I.
I. Pigment Red 206, CI Pigment Red 20
7, CI Pigment Red 208, CI Pigment Red 209, CI Pigment Red 215, CI Pigment Red 216, CI Pigment Red 220, CI Pigment Red 224, CI Pigment Red 226,
CI Pigment Red 242, CI Pigment Red 2
43, CI Pigment Red 245, CI Pigment Red 254, CI Pigment Red 255, CI Pigment Red 264, and at least one selected from the group of CI Pigment Red 265, particularly preferably CI Pigment Red 177, CI Pigment Red 224, The radiation-sensitive composition for a color filter according to (e), comprising at least one selected from the group consisting of CI Pigment Red 254 and CI Pigment Red 264, and a mixture of these red organic pigments and organic pigments of other colors. Further, preferred color filters of the present invention include: (g) the above (a), (b), (c), (d), (e)
Or (f) a color filter having pixels formed from the radiation-sensitive composition for a color filter.

【0046】以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形
態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実
施例に限定されるものではない。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

【実施例】実施例1 〔液状組成物の調製〕(A)着色剤としてC.I.ピグメン
トレッド177 90重量部、(B)アルカリ可溶性樹
脂としてメタクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリ
レート/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合重量
比=15/15/70、Mw=28,000)60重量
部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトー
ルヘキサアクリレート60重量部、(D)光ラジカル発
生剤として2−メチル−1−(4’−メチルチオフェニ
ル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン30重量部
および4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ン3重量部、並びに溶媒として3−エトキシプロピオン
酸エチル1,000重量部を混合して、感放射線性組成
物の液状組成物を調製した。この液状組成物を、組成物
(R1)とする。 〔画素アレイの作製〕組成物(R1)を用い、以下のよ
うにして、透明基板上に、赤色の画素アレイを作製し
た。表面にナトリウムイオンの溶出を防止するシリカ
(SiO2) 膜が形成されたソーダガラス製基板の表面上
に、画素を形成する部分を区画するように遮光層を設
け、この遮光層が形成された基板の表面上に、スピンコ
ーターを用いて組成物(R1)を塗布したのち、80℃
のクリーンオーブン内で10分間プリベークを行って、
膜厚2μmの塗膜を形成した。次いで、この基板を室温
まで冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォトマス
クを介して、塗膜に365nm、405nmおよび43
6nmの各波長を含む紫外線を80mJ/cm2 の露光
量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重
量%水酸化カリウム水溶液に1分間浸漬して、現像処理
を行なったのち、超純水で洗浄して、乾燥した。その
後、180℃のクリーンオーブン内で30分間ポストベ
ークを行なって、各々20μm×20μmの大きさの赤
色の画素パターンが配列された画素アレイを作製した。 〔評価〕得られた画素アレイを光学顕微鏡にて観察した
ところ、基板上に未溶解物の残存は認められず、かつ画
素パターンのエッジにスカムは認められなかった。ま
た、画素アレイの残膜率は90%と良好であった。さら
に、画素パターンの断面を走査型電子顕微鏡(SEM)
にて観察したところ、アンダーカットは認められなかっ
た。
Example 1 [Preparation of Liquid Composition] (A) 90 parts by weight of CI Pigment Red 177 as a coloring agent, and (B) methacrylic acid / 2-hydroxyethyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer as an alkali-soluble resin ( (C copolymer weight ratio = 15/15/70, Mw = 28,000) 60 parts by weight, (C) 60 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, and (D) 2-parts as a photo radical generator. 30 parts by weight of methyl-1- (4'-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one and 3 parts by weight of 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, and ethyl 3-ethoxypropionate 1 as a solvent 000 parts by weight were mixed to prepare a liquid composition of the radiation-sensitive composition. This liquid composition is referred to as composition (R1). [Preparation of Pixel Array] Using the composition (R1), a red pixel array was prepared on a transparent substrate as follows. On a surface of a soda glass substrate on which a silica (SiO 2 ) film for preventing sodium ions from being eluted was formed, a light-shielding layer was provided so as to partition a portion where a pixel was formed, and the light-shielding layer was formed. After applying the composition (R1) on the surface of the substrate using a spin coater,
Pre-bake in a clean oven for 10 minutes,
A coating film having a thickness of 2 μm was formed. Then, after cooling the substrate to room temperature, the coating film was applied to a coating film of 365 nm, 405 nm and 43 nm using a high pressure mercury lamp and a photomask.
Ultraviolet rays containing each wavelength of 6 nm were exposed at an exposure amount of 80 mJ / cm 2 . Thereafter, the substrate was immersed in a 0.04% by weight aqueous solution of potassium hydroxide at 23 ° C. for 1 minute to perform a developing treatment, and then washed with ultrapure water and dried. Thereafter, post-baking was performed in a clean oven at 180 ° C. for 30 minutes to prepare a pixel array in which red pixel patterns each having a size of 20 μm × 20 μm were arranged. [Evaluation] Observation of the obtained pixel array with an optical microscope revealed that no undissolved matter remained on the substrate and no scum was observed at the edge of the pixel pattern. The residual film ratio of the pixel array was as good as 90%. Further, the cross section of the pixel pattern is scanned with a scanning electron microscope (SEM).
As a result, no undercut was observed.

【0047】実施例2 〔液状組成物の調製〕(A)着色剤としてC.I.ピグメン
トレッド177 45重量部およびC.I.ピグメントレッ
ド224 45重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂とし
てメタクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレート
/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合重量比=1
5/15/70、Mw=28,000)60重量部、
(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート60重量部、(D)光ラジカル発生剤
として2−メチル−1−(4’−メチルチオフェニル)
−2−モルフォリノプロパン−1−オン30重量部およ
び4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン1
5重量部、添加剤としてシトラコン酸3重量部、並びに
溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル1,000
重量部を混合して、感放射線性組成物の液状組成物を調
製した。この液状組成物を、組成物(R2)とする。 〔画素アレイの作製〕組成物(R1)の代わりに組成物
(R2)を用いた以外は、実施例1と同様にして、赤色
の画素アレイを作製した。 〔評価〕得られた画素アレイを光学顕微鏡にて観察した
ところ、基板上に未溶解物の残存は認められず、かつ画
素パターンのエッジにスカムは認められなかった。ま
た、画素アレイの残膜率は92%と良好であった。さら
に、画素パターンの断面を走査型電子顕微鏡(SEM)
にて観察したところ、アンダーカットは認められなかっ
た。
Example 2 [Preparation of Liquid Composition] (A) 45 parts by weight of CI Pigment Red 177 and 45 parts by weight of CI Pigment Red 224 as coloring agents, and (B) methacrylic acid / 2-hydroxyethyl methacrylate as an alkali-soluble resin / Benzyl methacrylate copolymer (copolymer weight ratio = 1
5/15/70, Mw = 28,000) 60 parts by weight,
(C) 60 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, and (D) 2-methyl-1- (4'-methylthiophenyl) as a photoradical generator
30 parts by weight of 2-morpholinopropan-1-one and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone 1
5 parts by weight, 3 parts by weight of citraconic acid as an additive, and 1,000 parts of ethyl 3-ethoxypropionate as a solvent
The liquid parts of the radiation-sensitive composition were prepared by mixing parts by weight. This liquid composition is referred to as composition (R2). [Preparation of Pixel Array] A red pixel array was prepared in the same manner as in Example 1 except that the composition (R2) was used instead of the composition (R1). [Evaluation] Observation of the obtained pixel array with an optical microscope revealed that no undissolved matter remained on the substrate and no scum was observed at the edge of the pixel pattern. Further, the residual film ratio of the pixel array was as good as 92%. Further, the cross section of the pixel pattern is scanned with a scanning electron microscope (SEM).
As a result, no undercut was observed.

【0048】実施例3 〔液状組成物の調製〕(A)着色剤としてC.I.ピグメン
トレッド177 110重量部、(B)アルカリ可溶性
樹脂としてメタクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタク
リレート/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合重
量比=15/15/70、Mw=28,000)60重
量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリト
ールヘキサアクリレート60重量部、(D)光ラジカル
発生剤として2−メチル−1−(4’−メチルチオフェ
ニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン30重量
部、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
15重量部、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール5重量部および2−メルカプトベンゾチアゾ
ール5重量部、添加剤としてシトラコン酸3重量部、並
びに溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル1,0
00重量部を混合して、感放射線性組成物の液状組成物
を調製した。この液状組成物を、組成物(R3)とす
る。 〔画素アレイの作製〕組成物(R1)の代わりに組成物
(R3)を用いた以外は、実施例1と同様にして、赤色
の画素アレイを作製した。 〔評価〕得られた画素アレイを光学顕微鏡にて観察した
ところ、基板上に未溶解物の残存は認められず、かつ画
素パターンのエッジにスカムは認められなかった。ま
た、画素アレイの残膜率は90%と良好であった。さら
に、画素パターンの断面を走査型電子顕微鏡(SEM)
にて観察したところ、アンダーカットは認められなかっ
た。
Example 3 [Preparation of liquid composition] (A) 110 parts by weight of CI Pigment Red 177 as a coloring agent, and (B) methacrylic acid / 2-hydroxyethyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer (copolymer) as an alkali-soluble resin Polymerization weight ratio = 15/15/70, Mw = 28,000) 60 parts by weight, (C) 60 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, and (D) 2-methyl as a photoradical generator 30 parts by weight of 1- (4'-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 15 parts by weight of 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 2,2'-bis (2-chlorophenyl)-
5,4 parts by weight of 4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and 5 parts by weight of 2-mercaptobenzothiazole, 3 parts by weight of citraconic acid as an additive, and 3-ethoxypropionic acid as a solvent Ethyl 1,0
By mixing 00 parts by weight, a liquid composition of the radiation-sensitive composition was prepared. This liquid composition is referred to as composition (R3). [Preparation of Pixel Array] A red pixel array was prepared in the same manner as in Example 1, except that the composition (R3) was used instead of the composition (R1). [Evaluation] Observation of the obtained pixel array with an optical microscope revealed that no undissolved matter remained on the substrate and no scum was observed at the edge of the pixel pattern. The residual film ratio of the pixel array was as good as 90%. Further, the cross section of the pixel pattern is scanned with a scanning electron microscope (SEM).
As a result, no undercut was observed.

【0049】実施例4 〔液状組成物の調製〕(A)着色剤としてC.I.ピグメン
トレッド254 90重量部およびC.I.ピグメントイエ
ロー139 10重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂と
してメタクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合重量比=
15/15/70、Mw=28,000)60重量部、
(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート60重量部、(D)光ラジカル発生剤
として2−メチル−1−(4’−メチルチオフェニル)
−2−モルフォリノプロパン−1−オン30重量部およ
び4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン1
5重量部、添加剤としてマロン酸3重量部、並びに溶媒
として3−エトキシプロピオン酸エチル1,000重量
部を混合して、感放射線性組成物の液状組成物を調製し
た。この液状組成物を、組成物(R4)とする。〔画素
アレイの作製〕 組成物(R1)の代わりに組成物(R4)を用いた以外
は、実施例1と同様にして、赤色の画素アレイを作製し
た。 〔評価〕得られた画素アレイを光学顕微鏡にて観察した
ところ、基板上に未溶解物の残存は認められず、かつ画
素パターンのエッジにスカムは認められなかった。ま
た、画素アレイの残膜率は92%と良好であった。さら
に、画素パターンの断面を走査型電子顕微鏡(SEM)
にて観察したところ、アンダーカットは認められなかっ
た。
Example 4 [Preparation of Liquid Composition] (A) 90 parts by weight of CI Pigment Red 254 and 10 parts by weight of CI Pigment Yellow 139 as colorants, and (B) methacrylic acid / 2-hydroxyethyl methacrylate as an alkali-soluble resin / Benzyl methacrylate copolymer (copolymerization weight ratio =
15/15/70, Mw = 28,000) 60 parts by weight,
(C) 60 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, and (D) 2-methyl-1- (4'-methylthiophenyl) as a photoradical generator
30 parts by weight of 2-morpholinopropan-1-one and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone 1
A liquid composition of a radiation-sensitive composition was prepared by mixing 5 parts by weight, 3 parts by weight of malonic acid as an additive, and 1,000 parts by weight of ethyl 3-ethoxypropionate as a solvent. This liquid composition is referred to as composition (R4). [Preparation of Pixel Array] A red pixel array was prepared in the same manner as in Example 1, except that the composition (R4) was used instead of the composition (R1). [Evaluation] Observation of the obtained pixel array with an optical microscope revealed that no undissolved matter remained on the substrate and no scum was observed at the edge of the pixel pattern. Further, the residual film ratio of the pixel array was as good as 92%. Further, the cross section of the pixel pattern is scanned with a scanning electron microscope (SEM).
As a result, no undercut was observed.

【0050】実施例5 〔液状組成物の調製〕(A)着色剤としてC.I.ピグメン
トレッド254 90重量部、(B)アルカリ可溶性樹
脂としてメタクリル酸/ベンジルメタクリレート/N−
フェニルマレイミド/スチレン共重合体(共重合重量比
=30/20/30/20、Mw=13,000)60
重量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリ
トールヘキサアクリレート60重量部、(D)光ラジカ
ル発生剤として2−メチル−1−(4’−メチルチオフ
ェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン30重
量部および4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフ
ェノン15重量部、添加剤としてマロン酸3重量部、並
びに溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル1,0
00重量部を混合して、感放射線性組成物の液状組成物
を調製した。この液状組成物を、組成物(R5)とす
る。 〔画素アレイの作製〕組成物(R1)の代わりに組成物
(R5)を用いた以外は、実施例1と同様にして、赤色
の画素アレイを作製した。 〔評価〕得られた画素アレイを光学顕微鏡にて観察した
ところ、基板上に未溶解物の残存は認められず、かつ画
素パターンのエッジにスカムは認められなかった。ま
た、画素アレイの残膜率は90%と良好であった。さら
に、画素パターンの断面を走査型電子顕微鏡(SEM)
にて観察したところ、アンダーカットは認められなかっ
た。
Example 5 [Preparation of liquid composition] (A) 90 parts by weight of CI Pigment Red 254 as a coloring agent, and (B) methacrylic acid / benzyl methacrylate / N- as an alkali-soluble resin
Phenylmaleimide / styrene copolymer (copolymerization weight ratio = 30/20/30/20, Mw = 13,000) 60
Parts by weight, (C) 60 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, and (D) 2-methyl-1- (4'-methylthiophenyl) -2-morpholinopropane as a photoradical generator. 30 parts by weight of 1-one and 15 parts by weight of 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 3 parts by weight of malonic acid as an additive, and ethyl 1,3-ethoxypropionate 1,0 as a solvent
By mixing 00 parts by weight, a liquid composition of the radiation-sensitive composition was prepared. This liquid composition is referred to as composition (R5). [Preparation of Pixel Array] A red pixel array was prepared in the same manner as in Example 1, except that the composition (R5) was used instead of the composition (R1). [Evaluation] Observation of the obtained pixel array with an optical microscope revealed that no undissolved matter remained on the substrate and no scum was observed at the edge of the pixel pattern. The residual film ratio of the pixel array was as good as 90%. Further, the cross section of the pixel pattern is scanned with a scanning electron microscope (SEM).
As a result, no undercut was observed.

【0051】比較例1 〔液状組成物の調製〕(A)着色剤としてC.I.ピグメン
トレッド177 90重量部、(B)アルカリ可溶性樹
脂としてメタクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリ
レート/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合重量
比=15/15/70、Mw=28,000)60重量
部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトー
ルヘキサアクリレート60重量部、(D)光ラジカル発
生剤として1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケト
ン32重量部、並びに溶媒として3−エトキシプロピオ
ン酸エチル1,000重量部を混合して、感放射線性組
成物の液状組成物を調製した。この液状組成物を、組成
物(r1)とする。 〔画素アレイの作製〕組成物(R1)の代わりに組成物
(r1)を用いた以外は、実施例1と同様にして、赤色
の画素アレイを作製した。 〔評価〕得られた画素アレイを光学顕微鏡にて観察した
ところ、基板上に未溶解物の残存が認められた。また、
画素アレイの残膜率は75%と低かった。さらに、画素
パターンの断面を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察
したところ、アンダーカットが認められた。
Comparative Example 1 [Preparation of Liquid Composition] (A) 90 parts by weight of CI Pigment Red 177 as a coloring agent, and (B) methacrylic acid / 2-hydroxyethyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer (copolymer) as an alkali-soluble resin Polymerization weight ratio = 15/15/70, Mw = 28,000) 60 parts by weight, (C) 60 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, and (D) 1-hydroxy as a photoradical generator A liquid composition of a radiation-sensitive composition was prepared by mixing 32 parts by weight of cyclohexylphenyl ketone and 1,000 parts by weight of ethyl 3-ethoxypropionate as a solvent. This liquid composition is referred to as composition (r1). [Preparation of Pixel Array] A red pixel array was prepared in the same manner as in Example 1, except that the composition (r1) was used instead of the composition (R1). [Evaluation] Observation of the obtained pixel array with an optical microscope revealed that undissolved substances remained on the substrate. Also,
The residual film ratio of the pixel array was as low as 75%. Further, when the cross section of the pixel pattern was observed with a scanning electron microscope (SEM), an undercut was observed.

【0052】比較例2 〔液状組成物の調製〕(A)着色剤としてC.I.ピグメン
トレッド177 90重量部、(B)アルカリ可溶性樹
脂としてメタクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリ
レート/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合重量
比=15/15/70、Mw=28,000)60重量
部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトー
ルヘキサアクリレート60重量部、(D)光ラジカル発
生剤として2−メチル−1−(4’−メチルチオフェニ
ル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン30重量
部、並びに溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル
1,000重量部を混合して、感放射線性組成物の液状
組成物を調製した。この液状組成物を、組成物(r2)
とする。 〔画素アレイの作製〕組成物(R1)の代わりに組成物
(r2)を用いた以外は、実施例1と同様にして、赤色
の画素アレイを作製した。 〔評価〕得られた画素アレイを光学顕微鏡にて観察した
ところ、画素パターンに欠けが認められた。さらに、画
素パターンの断面を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観
察したところ、アンダーカットが認められた。
Comparative Example 2 [Preparation of Liquid Composition] (A) 90 parts by weight of CI Pigment Red 177 as a coloring agent, and (B) methacrylic acid / 2-hydroxyethyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer (copolymer) as an alkali-soluble resin Polymerization weight ratio = 15/15/70, Mw = 28,000) 60 parts by weight, (C) 60 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, and (D) 2-methyl as a photoradical generator 30 parts by weight of -1- (4′-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one and 1,000 parts by weight of ethyl 3-ethoxypropionate as a solvent are mixed to form a liquid of the radiation-sensitive composition. A composition was prepared. This liquid composition was treated as composition (r2)
And [Preparation of Pixel Array] A red pixel array was prepared in the same manner as in Example 1, except that the composition (r2) was used instead of the composition (R1). [Evaluation] Observation of the obtained pixel array with an optical microscope revealed that the pixel pattern was chipped. Further, when the cross section of the pixel pattern was observed with a scanning electron microscope (SEM), an undercut was observed.

【0053】[0053]

【発明の効果】本発明のカラーフィルタ用感放射線性組
成物は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線あるいは
X線の如き放射線に対する感度の高い特定の化合物を必
須成分とする光ラジカル発生剤を用いることにより、少
ないエネルギー量の露光によって硬化反応が十分達成さ
れるため、現像時に基板上に未溶解物が残存したり、画
素パターンのエッジにスカムを生じたりすることがな
く、しかもアンダーカットの無い良好な画素パターンを
有するカラーフィルタを形成することができる。
The radiation-sensitive composition for a color filter of the present invention comprises a photo-radical generator containing a specific compound having high sensitivity to radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam or X-ray as an essential component. By using, the curing reaction is sufficiently achieved by exposure to a small amount of energy, so that undissolved matter does not remain on the substrate during development and scum does not occur on the edge of the pixel pattern, and undercut A color filter having a good pixel pattern without a defect can be formed.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C09D 201/00 C09D 201/00 4M118 G02F 1/1335 505 G02F 1/1335 505 G03F 7/004 505 G03F 7/004 505 7/031 7/031 H01L 27/14 H01L 27/14 D Fターム(参考) 2H025 AA04 AB13 AC01 AD01 BC14 BC42 BC51 CA01 CA20 CA27 CA28 CB13 CB14 CB43 CB52 CC11 FA03 FA17 FA29 2H048 BA45 BA47 BA48 BB02 BB14 BB15 BB42 BB46 2H091 FA02Y FB12 FC10 GA01 GA16 LA12 LA15 LA30 4J002 AA011 BG011 BG041 BG051 BH011 BH021 EE038 EH077 EL098 EN098 EU118 EU208 EV308 FD096 FD147 FD158 GP00 4J038 EA011 EA012 FA151 FA152 FA211 FA212 FA241 FA242 FA251 FA252 FA261 FA262 FA271 FA272 FA281 FA282 GA06 JB04 JC01 KA08 NA18 PA17 PB09 4M118 AA10 AB01 GC08 GC17 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C09D 201/00 C09D 201/00 4M118 G02F 1/1335 505 G02F 1/1335 505 G03F 7/004 505 G03F 7 / 004 505 7/031 7/031 H01L 27/14 H01L 27/14 DF term (reference) 2H025 AA04 AB13 AC01 AD01 BC14 BC42 BC51 CA01 CA20 CA27 CA28 CB13 CB14 CB43 CB52 CC11 FA03 FA17 FA29 2H048 BA45 BA47 BA48 BB42 BB14 BB14 BB46 2H091 FA02Y FB12 FC10 GA01 GA16 LA12 LA15 LA30 4J002 AA011 BG011 BG041 BG051 BH011 BH021 EE038 EH077 EL098 EN098 EU118 EU208 EV308 FD096 FD147 FD158 GP00 4J038 EA01 FA 221 FA 221 FA 221 FA 221 FA PA17 PB09 4M118 AA10 AB01 GC08 GC17

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹
脂、(C)多官能性単量体、並びに(D)下記式(1)
で表される化合物および下記式(2)で表される化合物
を必須成分とする光ラジカル発生剤を含有することを特
徴とするカラーフィルタ用感放射線性組成物。 【化1】 〔式(1)において、R1 およびR2 は相互に独立に炭
素数1〜6のアルキル基を示す。〕 【化2】 〔式(2)において、R3 、R4 、R5 およびR6 は相
互に独立に炭素数1〜6のアルキル基を示す。〕
1. A colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, and (D) a compound represented by the following formula (1):
A radiation-sensitive composition for a color filter, comprising a photo-radical generator containing a compound represented by the following formula and a compound represented by the following formula (2) as essential components: Embedded image [In the formula (1), R 1 and R 2 each independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. [Chemical formula 2] [In the formula (2), R 3 , R 4 , R 5 and R 6 independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. ]
【請求項2】 請求項1記載のカラーフィルタ用感放射
線性組成物から形成された画素を有することを特徴とす
るカラーフィルタ。
2. A color filter comprising a pixel formed from the radiation-sensitive composition for a color filter according to claim 1.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002365800A (en) * 2001-06-08 2002-12-18 Hitachi Chem Co Ltd Alkali-soluble acrylic resin composition, photosensitive transparent insulating film forming material, method for producing protective film of color filter, method for producing reflective underlayer, colored image forming material, method for producing color filter and color filter
JP2003029018A (en) * 2001-07-17 2003-01-29 Jsr Corp Radiation sensitive composition for color filter, color filter and liquid crystal display element
JP2005292160A (en) * 2003-03-26 2005-10-20 Sumitomo Bakelite Co Ltd Positive photosensitive resin composition, semiconductor device and display component
JP2007086560A (en) * 2005-09-26 2007-04-05 Dainippon Printing Co Ltd Photosensitive resin composition for formation of colored layer and method for producing color filter
JP2008268739A (en) * 2007-04-24 2008-11-06 Toppan Printing Co Ltd Color filter substrate and on-board liquid crystal display device using the same
US9494859B1 (en) 2015-08-27 2016-11-15 Samsung Sdi Co., Ltd. Photosensitive resin composition and color filter using the same

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3564836B2 (en) * 1995-11-22 2004-09-15 Jsr株式会社 Radiation-sensitive composition for color filter and color filter
JPH09208611A (en) * 1996-02-06 1997-08-12 Japan Synthetic Rubber Co Ltd Phosphor-dispersed, radiation-sensitive composition
JP4282783B2 (en) * 1997-12-16 2009-06-24 Jsr株式会社 Radiation sensitive composition for color filter
JPH11211911A (en) * 1998-01-23 1999-08-06 Jsr Corp Radiation sensitive composition for color filter

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002365800A (en) * 2001-06-08 2002-12-18 Hitachi Chem Co Ltd Alkali-soluble acrylic resin composition, photosensitive transparent insulating film forming material, method for producing protective film of color filter, method for producing reflective underlayer, colored image forming material, method for producing color filter and color filter
JP2003029018A (en) * 2001-07-17 2003-01-29 Jsr Corp Radiation sensitive composition for color filter, color filter and liquid crystal display element
JP2005292160A (en) * 2003-03-26 2005-10-20 Sumitomo Bakelite Co Ltd Positive photosensitive resin composition, semiconductor device and display component
JP4622282B2 (en) * 2003-03-26 2011-02-02 住友ベークライト株式会社 Positive photosensitive resin composition, semiconductor device and display element
JP2007086560A (en) * 2005-09-26 2007-04-05 Dainippon Printing Co Ltd Photosensitive resin composition for formation of colored layer and method for producing color filter
JP2008268739A (en) * 2007-04-24 2008-11-06 Toppan Printing Co Ltd Color filter substrate and on-board liquid crystal display device using the same
US9494859B1 (en) 2015-08-27 2016-11-15 Samsung Sdi Co., Ltd. Photosensitive resin composition and color filter using the same

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