JP2011102991A - Colored photosensitive resin composition - Google Patents

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Koji Ichikawa
幸司 市川
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a colored photosensitive resin composition with which a film with good flatness is formed by using a liquid-saving coater. <P>SOLUTION: The colored photosensitive resin composition contains: a coloring agent (A); a binder resin (B); a photopolymerizable compound (C); a photopolymerization initiator (D); a solvent (E); and a surfactant (F), and is characterized in that the composition has a viscosity of 2.0-5.0 mPa s and a contact angle of 10-20°, the contact angle being formed by dropping 2 μL of the composition on a glass substrate and measured after a lapse of 0.2 s, and that the solvent (E) contains propylene glycol monomethyl ether acetate and ethyl 3-ethoxypropionate, and the surfactant (F) is at least one selected from the group composed of a silicone based surfactant and a silicone based surfactant composed of a compound having fluorine atoms. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、着色感光性樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a colored photosensitive resin composition.

着色感光性樹脂組成物は、着色剤を含有する感光性樹脂組成物であって、カラーフィルタを構成する着色パターンを形成するための材料として有用である。   The colored photosensitive resin composition is a photosensitive resin composition containing a colorant, and is useful as a material for forming a colored pattern constituting a color filter.

従来、ウエハーなどの被塗布基板上に着色感光性樹脂組成物を用いて膜を形成する方法としては、スピンコーターを用いる方法が知られている(例えば特許文献1参照)。しかし、スピンコーターを用いる方法では、1m四方など広い面積のガラスなどの基板を回転させることが難しいので、基板を回転させないスリットコーターなどの省液コーターが開発されてきた。   Conventionally, as a method of forming a film using a colored photosensitive resin composition on a substrate to be coated such as a wafer, a method using a spin coater is known (see, for example, Patent Document 1). However, in the method using a spin coater, since it is difficult to rotate a substrate such as a glass having a large area such as 1 m square, a liquid-saving coater such as a slit coater that does not rotate the substrate has been developed.

そのスリットコーターなどの省液コーターによる膜の形成に用いることができる着色感光性樹脂組成物として、従来は着色剤、バインダー樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートおよび界面活性剤を含有する着色感光性樹脂組成物(粘度が7mPa・s程度であり、当該組成物の2μLをガラス基板上に滴下して0.2秒後の接触角が22°程度である。)が知られている(例えば、特許文献2参照)が、該組成物をスリットコーターなどの省液コーターに適用した場合、塗布時に筋斑が発生し、形成される膜の平坦性が十分でないという問題があった。   As a colored photosensitive resin composition that can be used for forming a film by a liquid-saving coater such as a slit coater, conventionally, a colorant, a binder resin, a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, propylene glycol monomethyl ether acetate, and an interface are used. Colored photosensitive resin composition containing an activator (viscosity is about 7 mPa · s, 2 μL of the composition is dropped on a glass substrate, and the contact angle after 0.2 seconds is about 22 °) Is known (for example, see Patent Document 2), but when the composition is applied to a liquid-saving coater such as a slit coater, streaks occur during application, and the flatness of the formed film is not sufficient. There was a problem.

特開2002−88136号公報JP 2002-88136 A 特開2004−318111号公報JP 2004-318111 A

本発明の目的は、省液コーターにより平坦性が良好な膜を形成し得る着色感光性樹脂組成物を提供するものである。   An object of the present invention is to provide a colored photosensitive resin composition capable of forming a film having good flatness by a liquid-saving coater.

本発明者らは、省液コーターに適用した場合、平坦性が良好な膜を形成し得る着色感光性樹脂組成物について鋭意検討した結果、粘度がある範囲にあり、ある種の化合物を含有した溶剤を一定の範囲の量含有し、一定の範囲の量の界面活性剤を含有してなる着色感光性樹脂組成物が、省液コーターに適用した場合、平坦性の良好な膜を形成し得ることを見出した。   As a result of intensive investigations on a colored photosensitive resin composition that can form a film with good flatness when applied to a liquid-saving coater, the present inventors found that the viscosity is within a certain range and contains certain compounds. When a colored photosensitive resin composition containing a certain amount of a solvent and containing a certain amount of a surfactant is applied to a liquid-saving coater, a film with good flatness can be formed. I found out.

すなわち本発明は、着色剤(A)、バインダー樹脂(B)、光重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)、溶剤(E)および界面活性剤(F)を含有する着色感光性樹脂組成物であって、23℃における該組成物の粘度が2.0mPa・s以上5.0mPa・s以下であり、かつ、該組成物2μLをガラス基板上に滴下して0.2秒後の接触角が10°以上20°以下であり、かつ、溶剤(E)が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと3−エトキシプロピオン酸エチルとを含有し、該組成物中の溶剤(E)の含有量が、該組成物に対して質量分率で、80質量%以上95質量%以下であり、かつ、界面活性剤(F)が、シリコーン系界面活性剤およびフッ素原子を有する化合物からなるシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも1種であり、該界面活性剤の含有量が、該組成物の固形分に対して質量分率で、0.01質量%以上0.15質量%以下であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物を提供する。
また本発明は上記いずれかに記載の着色感光性樹脂組成物を、基板または先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された着色感光性樹脂組成物から揮発成分を除去して着色感光性樹脂組成物からなる膜を形成し、フォトマスクを介して前記の膜を露光し、現像することを特徴とするパターンの形成方法を提供する。
また本発明は、着色感光性樹脂組成物の塗布を、スピンレスコーターを用いて行う前記記載の方法を提供する。
また本発明は、上記に記載の方法で形成されたパターンを有してなるカラーフィルタを提供する。
さらに本発明は、上記に記載のカラーフィルタを有してなる液晶表示装置を提供する。
That is, the present invention is a colored photosensitivity containing a colorant (A), a binder resin (B), a photopolymerizable compound (C), a photopolymerization initiator (D), a solvent (E) and a surfactant (F). A resin composition having a viscosity at 23 ° C. of 2.0 mPa · s or more and 5.0 mPa · s or less, and 0.2 μl after 2 μL of the composition was dropped on a glass substrate. And the solvent (E) contains propylene glycol monomethyl ether acetate and ethyl 3-ethoxypropionate, and the content of the solvent (E) in the composition Is a silicone-based interface consisting of 80% by mass to 95% by mass with respect to the composition, and the surfactant (F) is composed of a silicone-based surfactant and a compound having a fluorine atom. Is it a group of active agents? It is at least one selected, and the content of the surfactant is 0.01% by mass or more and 0.15% by mass or less in terms of mass fraction with respect to the solid content of the composition. A colored photosensitive resin composition is provided.
In addition, the present invention provides a colored photosensitive resin composition in which the colored photosensitive resin composition according to any one of the above is applied on a substrate or a layer made of a solid content of the previously formed colored photosensitive resin composition. There is provided a pattern forming method comprising removing a volatile component from a product to form a film made of a colored photosensitive resin composition, exposing the film through a photomask, and developing the film.
The present invention also provides the method described above, wherein the colored photosensitive resin composition is applied using a spinless coater.
The present invention also provides a color filter having a pattern formed by the method described above.
Furthermore, the present invention provides a liquid crystal display device comprising the color filter described above.

本発明の組成物によれば、スリットコーターなどの省液コーターに適用した場合、平坦性が良好な膜を形成することができ、カラーフィルタを構成する着色パターンを高い精度で形成することができるので、工業的に極めて有用である。   According to the composition of the present invention, when applied to a liquid-saving coater such as a slit coater, a film with good flatness can be formed, and a colored pattern constituting a color filter can be formed with high accuracy. Therefore, it is extremely useful industrially.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、着色剤(A)、バインダー樹脂(B)、光重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)、溶剤(E)および界面活性剤(F)を含有する着色感光性樹脂組成物であって、溶剤(E)が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと3−エトキシプロピオン酸エチルとを含有し、該組成物中の溶剤(E)の含有量が、該組成物に対して質量分率で、80質量%以上95質量%以下であり、かつ、界面活性剤(F)が、シリコーン系界面活性剤およびフッ素原子を有する化合物からなるシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも1種であり、該界面活性剤の含有量が、該組成物の固形分に対して質量分率で、0.01質量%以上0.15質量%以下であり、かつ、23℃における該組成物の粘度が2.0mPa・s以上5.0mPa・s以下であり、かつ、該組成物2μLをガラス基板上に滴下して0.2秒後の接触角が10°以上20°以下である。
また、該組成物は、100μmのラインアンドスペースパターンをパターンニング(膜厚:a)したガラス基板を水平面に対して30度傾けてその上部に該組成物を1滴滴下し、ラインアンドスペースパターンに対して平行に滴下物を流下させた後、100℃で3分間ベークした後の100μmのライン上とスペース上の膜段差をbとしたとき、式(1)で表される平坦化率が0.20以上1以下であると好ましい。
平坦化率:(a−b)/a (1)
The colored photosensitive resin composition of the present invention comprises a colorant (A), a binder resin (B), a photopolymerizable compound (C), a photopolymerization initiator (D), a solvent (E), and a surfactant (F). The solvent (E) contains propylene glycol monomethyl ether acetate and ethyl 3-ethoxypropionate, and the content of the solvent (E) in the composition is Silicone surfactant having a mass fraction of 80% by mass to 95% by mass with respect to the composition, and wherein the surfactant (F) comprises a silicone surfactant and a compound having a fluorine atom. At least one selected from the group consisting of, and the content of the surfactant is 0.01% by mass or more and 0.15% by mass or less in terms of mass fraction with respect to the solid content of the composition, And the group at 23 ° C. The viscosity of the product is 2.0 mPa · s or more and 5.0 mPa · s or less, and 2 μL of the composition is dropped on a glass substrate, and the contact angle 0.2 seconds later is 10 ° or more and 20 ° or less. .
In addition, the composition is prepared by inclining a glass substrate patterned with a 100 μm line and space pattern (film thickness: a) by 30 degrees with respect to a horizontal plane and dropping one drop of the composition on the glass substrate. When the film step on the 100 μm line and the space after baking for 3 minutes at 100 ° C. is b, the flattening ratio represented by the formula (1) is It is preferable that it is 0.20 or more and 1 or less.
Flattening rate: (ab) / a (1)

本発明の着色感光性樹脂組成物の粘度は、粘度計(例えば、VISCOMETER RE120L SYSTEM;東機産業(株)製など。)を用いて、液温23℃において、装置の回転子の回転速度を一定(通常、50rpm)に保つことで測定することができる。本発明の着色感光性樹脂組成物の粘度は、粘度計(VISCOMETER RE120L SYSTEM;東機産業(株)製)を用いて、液温23℃、回転速度50rpmで測定すると、2.0mPa・s以上5.0mPa・s以下であり、好ましくは2.1mPa・s以上4.5mPa・s以下であり、より好ましくは2.2mPa・s以上4.0mPa・s以下である。組成物の粘度が2.0mPa・s以上5.0mPa・s以下であると、省液コーターにより平坦性が良好な膜を得ることができる。   The viscosity of the colored photosensitive resin composition of the present invention is determined by using a viscometer (for example, VISCOMETER RE120L SYSTEM; manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.) at a liquid temperature of 23 ° C. It can be measured by keeping it constant (usually 50 rpm). The viscosity of the colored photosensitive resin composition of the present invention is 2.0 mPa · s or more when measured at a liquid temperature of 23 ° C. and a rotation speed of 50 rpm using a viscometer (VISCOMETER RE120L SYSTEM; manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.). It is 5.0 mPa · s or less, preferably 2.1 mPa · s or more and 4.5 mPa · s or less, and more preferably 2.2 mPa · s or more and 4.0 mPa · s or less. When the viscosity of the composition is 2.0 mPa · s or more and 5.0 mPa · s or less, a film with good flatness can be obtained by a liquid-saving coater.

前記した平坦化率((a−b)/aにより算出される。)は、100μmのラインアンドスペースパターンをパターンニング(膜厚:a)したガラス基板を用意し、ガラス基板を含む平面と水平面が交わって生じる直線とラインアンドスペースパターンのパターン方向を示す直線が直交するようにしてガラス基板を30度傾け、その上部(傾けたガラス基板の高い方)に前記の組成物を1滴滴下し、ラインアンドスペースパターンに対して平行方向に該組成物の滴下物を流下させた後、100℃で3分間ベークした後の100μmのライン上とスペース上の膜段差から前記式(1)により算出される値であり、0.20以上であり、好ましくは0.22以上であり、より好ましくは0.24以上であり、さらに好ましくは0.26以上である。平坦化率が、0.20以上であると、省液コーターにより良好な膜を得ることができる。   The flattening rate (calculated by (ab) / a) is prepared by preparing a glass substrate patterned (film thickness: a) with a 100 μm line and space pattern, and a plane including the glass substrate and a horizontal plane. Tilt the glass substrate 30 degrees so that the straight line generated by crossing and the straight line indicating the pattern direction of the line and space pattern are perpendicular to each other, and drop one drop of the composition onto the upper part (the higher side of the tilted glass substrate) Then, a drop of the composition is allowed to flow in a direction parallel to the line and space pattern, and then baked at 100 ° C. for 3 minutes. The value is 0.20 or more, preferably 0.22 or more, more preferably 0.24 or more, and further preferably 0.26 or more. When the flattening rate is 0.20 or more, a good film can be obtained by a liquid-saving coater.

前記した接触角は、ガラス基板(清浄なガラス基板が好ましい)上に着色感光性樹脂組成物を2μL滴下し、滴下0.2秒後の接触角を接触角測定装置(例えば、DGD Fast/60 Contact Angle Meter;GBX社製)を用いて測定する。前記の接触角は、10°以上20°以下であり、好ましくは10°以上15°以下である。前記した接触角が10°以上または20°以下であると、省液コーターにより良好な膜を得ることができる。   As for the contact angle described above, 2 μL of the colored photosensitive resin composition is dropped on a glass substrate (preferably a clean glass substrate), and the contact angle 0.2 seconds after dropping is determined by a contact angle measuring device (for example, DGD Fast / 60). Measured using Contact Angle Meter (manufactured by GBX). The contact angle is 10 ° to 20 °, preferably 10 ° to 15 °. When the contact angle is 10 ° or more or 20 ° or less, a good film can be obtained by a liquid-saving coater.

接触角の測定に用いる基板としては、カラーフィルタの形成に用いる清浄なガラス基板が挙げられる。ガラス基板としては、例えば、ダウコーニング社製の#1737(商品名)などを用いることができる。ガラス基板を清浄にするためには、例えば、ガラス基板をアセトンなどの溶剤中で、超音波洗浄を行うことにより、基板上の異物を除去する方法などが挙げられる。   Examples of the substrate used for measuring the contact angle include a clean glass substrate used for forming a color filter. As the glass substrate, for example, # 1737 (trade name) manufactured by Dow Corning can be used. In order to clean the glass substrate, for example, there is a method of removing foreign substances on the substrate by ultrasonically cleaning the glass substrate in a solvent such as acetone.

本発明において用いられる着色剤(A)は、有機顔料、無機顔料のいずれであってもよい。中でも、耐熱性、発色性に優れていることから、有機顔料が好ましく用いられる。   The colorant (A) used in the present invention may be either an organic pigment or an inorganic pigment. Of these, organic pigments are preferably used because of their excellent heat resistance and color developability.

前記の有機顔料および無機顔料としては、例えば、カラーインデックス(The Society of Dyers and Colourists出版)でピグメント(Pigment)に分類されている化合物などが挙げられる。   Examples of the organic pigments and inorganic pigments include compounds classified as pigments by Color Index (published by The Society of Dyers and Colorists).

具体的には、例えば、C.I.ピグメントイエロー1、同(以下「同」を省略する。)3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214などの黄色顔料;
C.I.ピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73などのオレンジ色の顔料;
C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265などの赤色顔料;
C.I.ピグメントブルー15、15:3、15:4、15:6、60などの青色顔料;C.I.ピグメントバイオレット1、19、23、29、32、36、38などのバイオレット色顔料;
C.I.ピグメントグリーン7、36などの緑色顔料;
C.I.ピグメントブラウン23、25などのブラウン色顔料;
C.I.ピグメントブラック1、7などの黒色顔料などが挙げられる。
Specifically, for example, C.I. I. Pigment Yellow 1, the same (hereinafter “the same” is omitted) 3, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117 , 125, 128, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 153, 154, 166, 173, 194, 214, etc .;
C. I. Orange pigments such as CI Pigment Orange 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65, 71, 73;
C. I. Red pigments such as CI Pigment Red 9, 97, 105, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 176, 177, 180, 192, 209, 215, 216, 224, 242, 254, 255, 264, 265;
C. I. Blue pigments such as CI Pigment Blue 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 60; I. Violet color pigments such as CI Pigment Violet 1, 19, 23, 29, 32, 36, 38;
C. I. Green pigments such as CI Pigment Green 7 and 36;
C. I. Brown pigments such as CI Pigment Brown 23 and 25;
C. I. And black pigments such as CI Pigment Black 1 and 7.

これらの中で、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッドバイオレット23、C.I.ピグメントブルー15:6およびC.I.ピグメントグリーン36から選ばれる少なくとも一つの顔料が好ましい。   Among these, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment red 177, C.I. I. Pigment red 209, C.I. I. Pigment red 254, C.I. I. Pigment red violet 23, C.I. I. Pigment blue 15: 6 and C.I. I. At least one pigment selected from CI Pigment Green 36 is preferred.

これらの有機顔料および無機顔料は、それぞれ単独でも、2種以上を混合して用いてもよい。
例えば、赤色画素を形成するには、C.I.ピグメントレッド209およびC.I.ピグメントイエロー139を含有していることが、緑色画素を形成するには、C.I.ピグメントグリーン36ならびにC.I.ピグメントイエロー150およびC.I.ピグメントイエロー138からなる群から選ばれる少なくとも1種を含有していることが、青色画素を形成するには、C.I.ピグメントブルー15:6を含有していることが、それぞれ好ましい。
These organic pigments and inorganic pigments may be used alone or in combination of two or more.
For example, in order to form a red pixel, C.I. I. Pigment red 209 and C.I. I. In order to form a green pixel by containing pigment yellow 139, C.I. I. Pigment green 36 and C.I. I. Pigment yellow 150 and C.I. I. In order to form a blue pixel by containing at least one selected from the group consisting of CI Pigment Yellow 138, C.I. I. Pigment Blue 15: 6 is preferably contained.

前記の顔料には、必要に応じて、ロジン処理、酸性基または塩基性基が導入された顔料誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、または不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理、イオン交換法などによるイオン性不純物の除去処理などが施されていてもよい。   For the above pigments, rosin treatment, surface treatment using a pigment derivative having an acidic group or basic group introduced, graft treatment to the pigment surface with a polymer compound, sulfuric acid atomization method, etc., if necessary May be subjected to atomization treatment by, cleaning treatment with an organic solvent or water for removing impurities, removal treatment of ionic impurities by an ion exchange method or the like.

着色剤(A)の含有量は、該組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは25質量%以上60質量%以下であり、より好ましくは27質量%以上55質量%以下であり、とりわけ好ましくは30質量%以上50質量%以下である。着色剤(A)の含有量が前記の範囲にあると、カラーフィルタとしたときの色濃度が十分であるため好ましい。   Content of a coloring agent (A) is a mass fraction with respect to solid content of this composition, Preferably it is 25 to 60 mass%, More preferably, it is 27 to 55 mass%. Particularly preferably, the content is 30% by mass or more and 50% by mass or less. It is preferable that the content of the colorant (A) is in the above range because the color density when the color filter is obtained is sufficient.

着色剤(A)として用いられる顔料は、その粒径が均一であることが好ましい。顔料の粒径を均一とする方法としては、例えば、後述する(F)成分以外の界面活性剤を顔料分散剤として含有させて分散処理を行う方法などが挙げられ、このような方法によれば、顔料が溶液中で均一に分散した状態の顔料分散液を得ることができる。   The pigment used as the colorant (A) preferably has a uniform particle size. Examples of the method for uniformizing the particle size of the pigment include a method of performing a dispersion treatment by containing a surfactant other than the component (F) described later as a pigment dispersant. A pigment dispersion in which the pigment is uniformly dispersed in the solution can be obtained.

前記顔料分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤などが挙げられ、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて用いられる。
顔料分散剤を用いる際、その使用量は、着色剤1質量部あたり、好ましくは0.01質量部以上1質量部以下、より好ましくは0.05質量部以上0.5質量部以下である。前記顔料分散剤の使用量が前記の範囲にあると、均一な粒径の顔料が得られる傾向があるため好ましい。
Examples of the pigment dispersant include cationic, anionic, nonionic, and amphoteric surfactants, which are used alone or in combination of two or more.
When using the pigment dispersant, the amount used is preferably 0.01 parts by mass or more and 1 part by mass or less, more preferably 0.05 parts by mass or more and 0.5 parts by mass or less per 1 part by mass of the colorant. When the amount of the pigment dispersant used is in the above range, it is preferable because a pigment having a uniform particle diameter tends to be obtained.

本発明において用いられるバインダー樹脂(B)としては、例えば、アルカリ可溶性共重合体が挙げられる。アルカリ可溶性共重合体としては、例えば、カルボキシル基含有モノマーに対して共重合可能な他のモノマーとカルボキシル基含有モノマーとの共重合体などが挙げられる。   As binder resin (B) used in this invention, an alkali-soluble copolymer is mentioned, for example. Examples of the alkali-soluble copolymer include a copolymer of another monomer copolymerizable with a carboxyl group-containing monomer and a carboxyl group-containing monomer.

カルボキシル基含有モノマーとしては、例えば、不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸、不飽和多価カルボン酸などの分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられる。   Examples of the carboxyl group-containing monomer include unsaturated carboxylic acids having at least one carboxyl group in the molecule such as unsaturated monocarboxylic acid, unsaturated dicarboxylic acid, and unsaturated polyvalent carboxylic acid.

ここで、不飽和モノカルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸などが挙げられる。
不飽和ジカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸などが挙げられる。
Here, examples of the unsaturated monocarboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid, and the like.
Examples of the unsaturated dicarboxylic acid include maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, citraconic acid, and mesaconic acid.

不飽和多価カルボン酸は、その酸無水物であってもよく、具体的には、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸などが挙げられる。また、不飽和多価カルボン酸は、そのモノ(2−メタクリロイロキシアルキル)エステルであってもよく、例えば、こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、こはく酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)などが挙げられる。さらに、不飽和多価カルボン酸は、その両末端ジカルボキシポリマーのモノ(メタ)アクリレートであってもよく、例えば、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノメタクリレートなどが挙げられる。これらのカルボキシル基含有モノマーは、それぞれ単独で用いても2種以上を混合して用いてもよい。   The unsaturated polyvalent carboxylic acid may be its acid anhydride, and specific examples include maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, and the like. The unsaturated polyvalent carboxylic acid may be a mono (2-methacryloyloxyalkyl) ester such as succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) or succinic acid mono (2-methacryloyloxy). Ethyl), mono (2-acryloyloxyethyl) phthalate, mono (2-methacryloyloxyethyl) phthalate and the like. Further, the unsaturated polyvalent carboxylic acid may be a mono (meth) acrylate of the dicarboxy polymer at both ends, and examples thereof include ω-carboxypolycaprolactone monoacrylate and ω-carboxypolycaprolactone monomethacrylate. These carboxyl group-containing monomers may be used alone or in admixture of two or more.

前記のカルボキシル基含有モノマーと共重合可能な他のモノマーとしては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、インデンなどの芳香族ビニル化合物;
メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n−プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリレート、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、sec−ブチルアクリレート、sec−ブチルメタクリレート、tert−ブチルアクリレート、tert−ブチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシブチルアクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレート、3−ヒドロキシブチルアクリレート、3−ヒドロキシブチルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、2−メトキシエチルアクリレート、2−メトキシエチルメタクリレート、2−フェノキシエチルアクリレート、2−フェノキシエチルメタクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、メトキシプロピレングリコールアクリレート、メトキシプロピレングリコールメタクリレート、メトキシジプロピレングリコールアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアクリレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルメタクリレート、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類;
2−アミノエチルアクリレート、2−アミノエチルメタクリレート、2−ジメチルアミノエチルアクリレート、2−ジメチルアミノエチルメタクリレート、2−アミノプロピルアクリレート、2−アミノプロピルメタクリレート、2−ジメチルアミノプロピルアクリレート、2−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、3−アミノプロピルアクリレート、3−アミノプロピルメタクリレート、3−ジメチルアミノプロピルアクリレート、3−ジメチルアミノプロピルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;
グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル類;
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテルなどの不飽和エーテル類;
アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物;
アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチルメタクリルアミドなどの不飽和アミド類;
マレイミド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミドなどの不飽和イミド類;
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの脂肪族共役ジエン類;
ポリスチレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリ−n−ブチルアクリレート、ポリ−n−ブチルメタクリレート、ポリシロキサンの重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類などを挙げることができる。
これらのモノマーは、それぞれ単独でも2種以上を混合して用いてもよい。
Examples of other monomers copolymerizable with the carboxyl group-containing monomer include styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, and o-methoxystyrene. , M-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinyl benzyl methyl ether, m-vinyl benzyl methyl ether, p-vinyl benzyl methyl ether, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl Aromatic vinyl compounds such as glycidyl ether and indene;
Methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, n-propyl methacrylate, isopropyl acrylate, isopropyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, sec-butyl acrylate, sec -Butyl methacrylate, tert-butyl acrylate, tert-butyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxybutyl acrylate, 2 Hydroxybutyl methacrylate, 3-hydroxybutyl acrylate, 3-hydroxybutyl methacrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate, allyl acrylate, allyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, phenyl acrylate, phenyl Methacrylate, 2-methoxyethyl acrylate, 2-methoxyethyl methacrylate, 2-phenoxyethyl acrylate, 2-phenoxyethyl methacrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, methoxytriethylene glycol methacrylate Relate, methoxypropylene glycol acrylate, methoxypropylene glycol methacrylate, methoxydipropylene glycol acrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, isobornyl acrylate, isobornyl methacrylate, dicyclopentadienyl acrylate, dicyclopentadienyl methacrylate, 2- Unsaturated carboxylic esters such as hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl methacrylate, glycerol monoacrylate, glycerol monomethacrylate;
2-aminoethyl acrylate, 2-aminoethyl methacrylate, 2-dimethylaminoethyl acrylate, 2-dimethylaminoethyl methacrylate, 2-aminopropyl acrylate, 2-aminopropyl methacrylate, 2-dimethylaminopropyl acrylate, 2-dimethylaminopropyl Unsaturated alkylaminoalkyl esters such as methacrylate, 3-aminopropyl acrylate, 3-aminopropyl methacrylate, 3-dimethylaminopropyl acrylate, 3-dimethylaminopropyl methacrylate;
Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate;
Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl benzoate;
Unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, allyl glycidyl ether;
Vinyl cyanide compounds such as acrylonitrile, methacrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, vinylidene cyanide;
Unsaturated amides such as acrylamide, methacrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethylacrylamide, N-2-hydroxyethylmethacrylamide;
Unsaturated imides such as maleimide, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide;
Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene, chloroprene;
Examples include macromonomers having a monoacryloyl group or a monomethacryloyl group at the end of the polymer molecular chain of polystyrene, polymethyl acrylate, polymethyl methacrylate, poly-n-butyl acrylate, poly-n-butyl methacrylate, polysiloxane. Can do.
These monomers may be used alone or in combination of two or more.

前記の共重合体におけるカルボキシル基含有モノマー単位の含有量は、質量分率で、好ましくは10〜50質量%、より好ましくは15〜40質量%、とりわけ好ましくは20〜40質量%である。カルボキシル基含有モノマー単位の含有量が前記の範囲にあると、現像液に対する溶解性が良好であり、現像時にパターンが正確に形成される傾向があるため好ましい。   The content of the carboxyl group-containing monomer unit in the copolymer is a mass fraction, preferably 10 to 50% by mass, more preferably 15 to 40% by mass, and particularly preferably 20 to 40% by mass. It is preferable that the content of the carboxyl group-containing monomer unit is in the above-mentioned range since the solubility in a developer is good and the pattern tends to be formed accurately during development.

前記のアルカリ可溶性共重合体としては、好ましくは、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体(該共重合体のポリスチレン換算重量平均分子量;15,000〜35,000、酸価;80〜135)およびグリシジルメタクリレート/トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体と(メタ)アクリル酸の反応物(前記反応物のポリスチレン換算重量平均分子量;8,000〜20,000、酸価;50〜120)からなる群から選ばれる少なくとも1種の高分子化合物が挙げられる。
さらに、本発明の効果を損わない範囲であれば、他のアルカリ可溶性共重合体を併用してもよい。
前記の併用してもよいアルカリ可溶性共重合体としては、例えば、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチレン/アリル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/スチレン/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリシジルメタクリレート/トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体などが挙げられ、好ましくは(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/スチレン共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/スチレン共重合体が挙げられる。
なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレートおよびメタクリレートからなる群から選ばれる少なくとも1種を、また(メタ)アクリル酸とは、アクリル酸およびメタアクリル酸からなる群から選ばれる少なくとも1種を、それぞれ、意味する。
The alkali-soluble copolymer is preferably a (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymer (weight average molecular weight in terms of polystyrene of the copolymer; 15,000 to 35,000, acid value; 80-135) and a reaction product of a glycidyl methacrylate / tricyclodecane skeleton monomethacrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer and (meth) acrylic acid (polystyrene equivalent weight average molecular weight of the reaction product; 8,000-20, 000, acid value; 50 to 120), at least one polymer compound selected from the group consisting of.
Furthermore, other alkali-soluble copolymers may be used in combination as long as the effects of the present invention are not impaired.
Examples of the alkali-soluble copolymer that may be used in combination include (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) ) Acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate macromonomer copolymer, (meta ) Acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (Meth) acrylate / benzyl (me ) Acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / styrene / Benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer, (meth) acrylic acid / succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) / styrene / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer, (meta ) Acrylic acid / succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) / styrene / allyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide / styrene / Glycerol mono (meta Examples thereof include acrylate copolymers, (meth) acrylic acid / glycidyl methacrylate / monocyclomethacrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer of tricyclodecane skeleton, preferably (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / styrene Examples include copolymers, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymers, and (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / styrene copolymers.
In the present specification, (meth) acrylate is at least one selected from the group consisting of acrylate and methacrylate, and (meth) acrylic acid is at least selected from the group consisting of acrylic acid and methacrylic acid. Each means one kind.

前記の併用してもよいアルカリ可溶性共重合体において、そのポリスチレン換算重量平均分子量が、好ましくは5,000〜50,000であり、より好ましくは6,000〜45,000であり、とりわけ好ましくは7,000〜40,000であり、さらに好ましくは8,000〜35,000である。重量平均分子量が前記の範囲にあると、塗膜硬度が向上し、残膜率も高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にあるため好ましい。   In the alkali-soluble copolymer that may be used in combination, the polystyrene-equivalent weight average molecular weight is preferably 5,000 to 50,000, more preferably 6,000 to 45,000, and particularly preferably. It is 7,000 to 40,000, more preferably 8,000 to 35,000. When the weight average molecular weight is within the above range, the coating film hardness is improved, the remaining film ratio is high, the solubility of the unexposed area in the developer is good, and the resolution tends to be improved.

前記の併用してもよいアルカリ可溶性共重合体において、その酸価は、好ましくは50〜150であり、より好ましくは50〜145、よりとりわけ好ましくは50〜140、さらに好ましくは50〜135である。酸価が、前記の範囲にあると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり、また高感度化して現像時に露光部のパターンが残って残膜率が向上する傾向があるため好ましい。   In the alkali-soluble copolymer that may be used in combination, the acid value is preferably 50 to 150, more preferably 50 to 145, even more preferably 50 to 140, and even more preferably 50 to 135. . When the acid value is in the above range, the solubility in the developer is improved and the unexposed area is easily dissolved, and the sensitivity is increased so that the pattern of the exposed area remains during development and the remaining film ratio tends to be improved. This is preferable.

ここで、酸価とは、1gを中和するに必要な水酸化カリウムの量(mg)として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。   Here, the acid value is a value measured as the amount (mg) of potassium hydroxide necessary to neutralize 1 g, and can usually be determined by titration using an aqueous potassium hydroxide solution.

バインダー樹脂(B)の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは5質量%以上26質量%以下、より好ましくは10質量%以上26質量%以下、よりとりわけ好ましくは15質量%以上26質量%以下である。バインダー樹脂(B)の含有量が前記の範囲にあると、パターンが形成でき、また解像度および残膜率が向上する傾向にあるため好ましい。   Content of binder resin (B) is a mass fraction with respect to solid content of a coloring photosensitive resin composition, Preferably it is 5 mass% or more and 26 mass% or less, More preferably, 10 mass% or more and 26 mass% or less, More preferably, it is 15 mass% or more and 26 mass% or less. It is preferable that the content of the binder resin (B) is in the above range because a pattern can be formed and the resolution and the remaining film ratio tend to be improved.

本発明において用いられる光重合性化合物(C)は、光を照射されることによって光重合開始剤から発生した活性ラジカル、酸などによって重合し得る化合物であって、例えば、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。   The photopolymerizable compound (C) used in the present invention is a compound that can be polymerized by an active radical, an acid, or the like generated from a photopolymerization initiator when irradiated with light, and is, for example, a polymerizable carbon-carbon. Examples thereof include compounds having an unsaturated bond.

光重合性化合物(C)は、3官能以上の多官能の光重合性化合物であることが好ましい。3官能以上の多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。光重合性化合物(C)は、それぞれ単独でも2種以上組み合わせて用いてもよい。   The photopolymerizable compound (C) is preferably a trifunctional or higher polyfunctional photopolymerizable compound. Examples of the trifunctional or higher polyfunctional photopolymerizable compound include pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, and the like. Is mentioned. The photopolymerizable compounds (C) may be used alone or in combination of two or more.

光重合性化合物(C)の含有量は、バインダー樹脂(B)と光重合性化合物(C)との合計量に対して質量分率で、好ましくは35質量%以上60質量%以下、より好ましくは37質量%以上58質量%以下、とりわけ好ましくは39質量%以上56質量%以下、さらに好ましくは40質量%以上55質量%以下である。光重合性化合物(C)の含有量が前記の範囲にあると、硬化が十分に起こり残膜率が向上し、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があるため好ましい。   Content of a photopolymerizable compound (C) is a mass fraction with respect to the total amount of binder resin (B) and a photopolymerizable compound (C), Preferably it is 35 mass% or more and 60 mass% or less, More preferably Is 37% to 58% by mass, particularly preferably 39% to 56% by mass, and more preferably 40% to 55% by mass. When the content of the photopolymerizable compound (C) is in the above range, curing is sufficiently performed and the remaining film ratio is improved, and the pattern is less likely to be undercut and the adhesion tends to be favorable. .

本発明の着色感光性樹脂組成物は光重合開始剤(D)を含有する。光重合開始剤(D)は、少なくとも1種のアセトフェノン系化合物を含むことが好ましい。
前記の光重合開始剤(D)としては、アセトフェノン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物、オキシム系化合物、酸発生剤、活性ラジカル発生剤などが挙げられる。
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a photopolymerization initiator (D). The photopolymerization initiator (D) preferably contains at least one acetophenone compound.
Examples of the photopolymerization initiator (D) include acetophenone compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, thioxanthone compounds, triazine compounds, oxime compounds, acid generators, and active radical generators.

前記のアセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマーなどが挙げられる。これらの中で、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オンが好ましく使用される。   Examples of the acetophenone compound include diethoxyacetophenone, 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one, and 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane-1. -One, benzyldimethyl ketal, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1 -[4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one oligomer and the like. Among these, 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one is preferably used.

前記のベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。   Examples of the benzoin-based compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether.

前記のベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。   Examples of the benzophenone compounds include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ′, 4,4′-tetra (tert-butyl). Peroxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, and the like.

前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.

前記のトリアジン系化合物としては、例えば、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジンなどが挙げられる。   Examples of the triazine compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- ( 4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl ] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4- Bis (trichloromethyl) ) Such -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine.

前記のオキシム系化合物としては、例えば、O−アシルオキシム系化合物が挙げられ、その具体例としては、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−ブタン−1,2−ジオン2−オキシム−O−ベンゾアート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−オクタン−1,2−ジオン2−オキシム−O−ベンゾアート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−オクタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−ブタン−1−オンオキシム−O−アセタート等が挙げられる。   Examples of the oxime compounds include O-acyloxime compounds, and specific examples thereof include 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -butane-1,2-dione 2-oxime-O—. Benzoate, 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -octane-1,2-dione 2-oxime-O-benzoate, 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -octane-1-one oxime-O-acetate 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -butan-1-one oxime-O-acetate and the like.

前記の酸発生剤としては、例えば、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムp−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムp−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などを挙げることができる。   Examples of the acid generator include 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-acetoxyphenyl, Onium salts such as methyl benzylsulfonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium p-toluenesulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium p-toluenesulfonate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate, and nitrobenzyl tosylate And benzoin tosylate.

前記の活性ラジカル発生剤として、例えば、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エチルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。   Examples of the active radical generator include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2 '-Biimidazole, 10-butyl-2-chloroacridone, 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methyl phenylglyoxylate, titanocene compound and the like can also be used.

また、活性ラジカル発生剤である上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化合物もある。例えば、トリアジン系光重合開始剤は、酸発生剤としても使用される。   Among the above-mentioned compounds that are active radical generators, there are compounds that generate an acid simultaneously with an active radical. For example, a triazine photopolymerization initiator is also used as an acid generator.

光重合開始剤(D)の含有量は、バインダー樹脂(B)および光重合性化合物(C)の合計量に対して質量分率で、好ましくは0.1質量%以上20質量%以下、より好ましくは1質量%以上15質量%以下である。
光重合開始剤(D)の含有量が前記の範囲にあると、高感度化して露光時間が短縮され生産性が向上する傾向があるため好ましい。
Content of a photoinitiator (D) is a mass fraction with respect to the total amount of binder resin (B) and a photopolymerizable compound (C), Preferably it is 0.1 to 20 mass%, From more Preferably they are 1 mass% or more and 15 mass% or less.
When the content of the photopolymerization initiator (D) is within the above range, it is preferable because the sensitivity is increased, the exposure time is shortened, and the productivity is improved.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、さらに、光重合開始助剤(G)を含有してもよい。
光重合開始助剤(G)を用いる際には、通常、光重合開始剤(D)と組み合わせて用いられ、光重合開始剤(D)によって重合が開始された光重合性化合物(C)の重合をさらに促進するために用いられる。光重合開始助剤(G)としては、例えば、アミン系化合物、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
The colored photosensitive resin composition of the present invention may further contain a photopolymerization initiation assistant (G).
When using the photopolymerization initiation assistant (G), it is usually used in combination with the photopolymerization initiator (D), and the photopolymerizable compound (C) whose polymerization has been initiated by the photopolymerization initiator (D). Used to further accelerate the polymerization. Examples of the photopolymerization initiation aid (G) include amine compounds, alkoxyanthracene compounds, thioxanthone compounds, and the like.

前記のアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましく使用される。   Examples of the amine compound include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, and 2-dimethylbenzoate. Aminoethyl, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Michler's ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4, Examples thereof include 4′-bis (ethylmethylamino) benzophenone, among which 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone is preferably used.

前記のアルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。   Examples of the alkoxyanthracene-based compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene, and the like. Can be mentioned.

前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.

光重合開始剤(D)は、単独でも複数を組み合わせて使用しても差し支えない。また、光重合開始助剤(G)として市販のものを用いることもでき、市販の光重合開始助剤(G)としては、例えば、商品名「EAB−F」(保土谷化学工業(株)製)などが挙げられる。   The photopolymerization initiator (D) may be used alone or in combination. Commercially available photopolymerization initiation assistant (G) can also be used. Examples of commercially available photopolymerization initiation assistant (G) include, for example, trade name “EAB-F” (Hodogaya Chemical Co., Ltd.). Manufactured).

本発明の着色感光性樹脂組成物において、光重合開始助剤(G)を用いる場合、光重合開始剤(D)および光重合開始助剤(G)の組み合わせとしては、例えば、ジエトキシアセトフェノン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンジルジメチルケタール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマー/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられ、好ましくは2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが挙げられる。   In the colored photosensitive resin composition of the present invention, when the photopolymerization initiation assistant (G) is used, as a combination of the photopolymerization initiator (D) and the photopolymerization initiation assistant (G), for example, diethoxyacetophenone / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2- Methyl-1-phenylpropan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, benzyldimethyl ketal / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2-Hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzopheno 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, oligomer of 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one / 4 4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and the like are preferable. -Methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone.

光重合開始助剤(G)を用いる場合、その使用量は、光重合開始剤(D)1モルあたり、好ましくは0.01モル以上10モル以下、好ましくは0.01モル以上5モル以下である。   When using the photopolymerization initiation assistant (G), the amount used is preferably 0.01 mol or more and 10 mol or less, preferably 0.01 mol or more and 5 mol or less, per mol of the photopolymerization initiator (D). is there.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、溶剤(E)を含有する。
前記の溶剤として、3−エトキシプロピオン酸エチルとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとを含む溶剤が好ましく用いられる。該溶剤中の3−エトキシプロピオン酸エチルの含有量は、溶剤の合計量に対して質量分率で、好ましくは3〜50質量%であり、より好ましくは5〜45質量%、とりわけ好ましくは7〜40質量%、さらに好ましくは9〜35質量%である。また、該溶剤中のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの含有量は、好ましくは50〜97質量%であり、より好ましくは55〜95質量%、とりわけ好ましくは60〜93質量%、さらに好ましくは65〜91質量%である。
溶剤(E)には、3−エトキシプロピオン酸エチルとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート以外の溶剤が含まれていてもよく、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類などが挙げられる。
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a solvent (E).
As the solvent, a solvent containing ethyl 3-ethoxypropionate and propylene glycol monomethyl ether acetate is preferably used. Content of ethyl 3-ethoxypropionate in this solvent is a mass fraction with respect to the total amount of a solvent, Preferably it is 3-50 mass%, More preferably, it is 5-45 mass%, Most preferably, it is 7 It is -40 mass%, More preferably, it is 9-35 mass%. The content of propylene glycol monomethyl ether acetate in the solvent is preferably 50 to 97% by mass, more preferably 55 to 95% by mass, particularly preferably 60 to 93% by mass, and further preferably 65 to 91%. % By mass.
The solvent (E) may contain a solvent other than ethyl 3-ethoxypropionate and propylene glycol monomethyl ether acetate. For example, ethers, aromatic hydrocarbons, ketones, alcohols, esters, Examples include amides.

前記のエーテル類としては、例えば、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、1,4−ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。   Examples of the ethers include tetrahydrofuran, tetrahydropyran, 1,4-dioxane, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether. , Diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether acetate, pro Lenglycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether acetate, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether acetate, methoxybutyl acetate, methoxypentyl acetate, anisole, phenetole, methyl Anisole etc. are mentioned.

前記の芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
前記のケトン類としては、例えば、アセトン、2−ブタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプタノン、4−メチル−2−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。
前記のアルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。
Examples of the aromatic hydrocarbons include benzene, toluene, xylene, mesitylene and the like.
Examples of the ketones include acetone, 2-butanone, 2-heptanone, 3-heptanone, 4-heptanone, 4-methyl-2-pentanone, cyclopentanone, and cyclohexanone.
Examples of the alcohols include methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, and glycerin.

前記のエステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。   Examples of the esters include ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, methyl lactate, Ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-oxypropionate, ethyl 3-oxypropionate, 3 -Methyl methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, Methyl methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, 2-oxy-2- Ethyl methyl propionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, 2-oxobutane Examples include methyl acid, ethyl 2-oxobutanoate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, and γ-butyrolactone.

前記のアミド類としては、例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドなどが挙げられる。
その他の溶剤としては、例えば、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシドなどが挙げられる。
前記の溶剤は、それぞれ単独でも2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
Examples of the amides include N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide.
Examples of other solvents include N-methylpyrrolidone and dimethyl sulfoxide.
These solvents may be used alone or in combination of two or more.

本発明の着色感光性樹脂組成物中の溶剤(E)の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは80質量%以上95質量%以下、より好ましくは85質量%以上90質量%以下である。溶剤(E)の含有量が、前記の範囲にあると、塗布時の平坦性が良好で、またカラーフィルタを形成した際の色濃度が十分で表示特性が良好であるため好ましい。   Content of the solvent (E) in the colored photosensitive resin composition of this invention is a mass fraction with respect to a colored photosensitive resin composition, Preferably it is 80 to 95 mass%, More preferably, it is 85 mass. % To 90% by mass. When the content of the solvent (E) is in the above range, it is preferable because the flatness at the time of coating is good and the color density when the color filter is formed is sufficient and the display characteristics are good.

本発明で用いられる界面活性剤(F)としては、シリコーン系界面活性剤およびフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも1種の界面活性剤が挙げられる。   Examples of the surfactant (F) used in the present invention include at least one surfactant selected from the group consisting of a silicone surfactant and a silicone surfactant having a fluorine atom.

シリコーン系界面活性剤としては、例えば、シロキサン結合を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、トーレシリコーンDC3PA(商品名)、トーレシリコーンSH7PA(商品名)、トーレシリコーンDC11PA(商品名)、トーレシリコーンSH21PA(商品名)、トーレシリコーンSH28PA(商品名)、トーレシリコーン29SHPA(商品名)、トーレシリコーンSH30PA(商品名)、ポリエーテル変性シリコンオイルSH8400(商品名)(トーレシリコーン(株)製)、KP321(商品名)、KP322(商品名)、KP323(商品名)、KP324(商品名)、KP326(商品名)、KP340(商品名)、KP341(商品名)(信越シリコーン製)、TSF400(商品名)、TSF401(商品名)、TSF410(商品名)、TSF4300(商品名)、TSF4440(商品名)、TSF4445(商品名)、TSF−4446(商品名)、TSF4452(商品名)、TSF4460(商品名)(ジーイー東芝シリコーン(株)製)などが挙げられる。   Examples of silicone surfactants include surfactants having a siloxane bond. Specifically, Torre Silicone DC3PA (trade name), Torre Silicone SH7PA (trade name), Torre Silicone DC11PA (trade name), Torre Silicone SH21PA (trade name), Torre Silicone SH28PA (trade name), Torre Silicone 29SHPA (Product) Name), Torre Silicone SH30PA (trade name), polyether-modified silicone oil SH8400 (trade name) (manufactured by Torre Silicone Co., Ltd.), KP321 (trade name), KP322 (trade name), KP323 (trade name), KP324 ( Product Name), KP326 (Product Name), KP340 (Product Name), KP341 (Product Name) (Shin-Etsu Silicone), TSF400 (Product Name), TSF401 (Product Name), TSF410 (Product Name), TSF4300 (Product Name) , TSF4440 (trade name) TSF4445 (trade name), TSF-4446 (trade name), TSF4452 (trade name), TSF4460 (trade name) (manufactured by GE Toshiba Silicones Co., Ltd.), and the like.

フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、例えば、シロキサン結合およびフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、メガファックR08(商品名)、メガファックBL20(商品名)、メガファックF475(商品名)、メガファックF477(商品名)、メガファックF443(商品名)(大日本インキ化学工業(株)製)などが挙げられる。   Examples of the silicone-based surfactant having a fluorine atom include a surfactant having a siloxane bond and a fluorocarbon chain. Specifically, Mega Fuck R08 (trade name), Mega Fuck BL20 (trade name), Mega Fuck F475 (trade name), Mega Fuck F477 (trade name), Mega Fuck F 443 (trade name) (Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) Etc.).

これらの界面活性剤は、単独でも2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
これらの中でも、ポリエーテル変性シリコンオイルSH8400(商品名)(トーレシリコーン(株)製)、メガファックF475(商品名)、が好ましく用いられる。
These surfactants may be used alone or in combination of two or more.
Among these, polyether-modified silicone oil SH8400 (trade name) (manufactured by Torre Silicone Co., Ltd.) and MegaFac F475 (trade name) are preferably used.

界面活性剤(F)の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは0.01質量%以上0.15質量%以下、より好ましくは0.015質量%以上0.13質量%以下、とりわけ好ましくは0.02質量%以上0.12質量%以下である。界面活性剤の含有量が前記の範囲にあると、得られる塗膜の平坦性がさらに良好となる傾向があるため好ましい。   Content of surfactant (F) is a mass fraction with respect to solid content of a coloring photosensitive resin composition, Preferably it is 0.01 mass% or more and 0.15 mass% or less, More preferably, it is 0.015 mass. % Or more and 0.13% by mass or less, particularly preferably 0.02% by mass or more and 0.12% by mass or less. It is preferable that the content of the surfactant is in the above range because the flatness of the obtained coating film tends to be further improved.

本発明の着色感光性樹脂組成物を調製する方法としては、例えば、界面活性剤を除く成分を混合したのち、界面活性剤を添加して、接触角、平坦化率を所定の範囲に入るように調節する方法、予め、予備的に界面活性剤の添加量と接触角、平坦化率との関係を求めておき、その添加量に基づいて各成分を一括して混合する方法などが挙げられる。   As a method for preparing the colored photosensitive resin composition of the present invention, for example, after mixing the components excluding the surfactant, the surfactant is added so that the contact angle and the flattening rate are within a predetermined range. And a method of preliminarily determining the relationship between the addition amount of the surfactant, the contact angle, and the flattening ratio, and mixing the components all together based on the addition amount. .

本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに、充填剤、バインダー樹脂以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミン化合物、硬化剤などの添加剤が含有されていてもよい。   The colored photosensitive resin composition of the present invention further includes a filler, a polymer compound other than the binder resin, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an aggregation inhibitor, an organic acid, an organic amine compound, and a curing agent. Such additives may be contained.

前記の充填剤としては、例えば、ガラス、アルミナなどの微粒子が挙げられる。   Examples of the filler include fine particles such as glass and alumina.

前記のバインダー樹脂(B)以外の高分子化合物としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。   Examples of the polymer compound other than the binder resin (B) include polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate.

前記の密着促進剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。   Examples of the adhesion promoter include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2 -Aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxymethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) Examples include ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane.

前記の酸化防止剤としては、例えば、4,4’−チオビス(6−tert−ブチル−3−メチルフェノール)、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノールなどが挙げられる。   Examples of the antioxidant include 4,4'-thiobis (6-tert-butyl-3-methylphenol), 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol, and the like.

前記の紫外線吸収剤としては、例えば、2−(2−ヒドロキシ−3−tert−ブチル−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾールなどのベンゾトリアゾール系化合物、2−ヒドロキシ−4−オクチルオキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系、2,4−ジ−tert−ブチルフェニル−3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエートなどのベンゾエート系化合物、2−(4,6−ジフェニル−1,3,5−トリアジン−2−イル)−5−ヘキシルオキシフェノールなどのトリアジン系化合物などが挙げられる。   Examples of the ultraviolet absorber include benzotriazole compounds such as 2- (2-hydroxy-3-tert-butyl-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, and 2-hydroxy-4-octyloxybenzophenone. Benzophenone compounds such as 2,4-di-tert-butylphenyl-3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzoate, 2- (4,6-diphenyl-1,3,5 -Triazine-based compounds such as -triazin-2-yl) -5-hexyloxyphenol.

前記の凝集防止剤としては、例えば、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。   Examples of the aggregation preventing agent include sodium polyacrylate.

前記の有機酸としては、例えば、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸類;しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸などの脂肪族ジカルボン酸類;
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸類;
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類;
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸類;
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類などが挙げられる。
Examples of the organic acid include aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, and caprylic acid; oxalic acid, malonic acid, and succinic acid. Acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid, cyclohexanedicarboxylic acid, itaconic acid , Aliphatic dicarboxylic acids such as citraconic acid, maleic acid, fumaric acid, mesaconic acid;
Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, camphoric acid;
Aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelic acid, mesitylene acid;
Aromatic dicarboxylic acids such as phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid;
Aromatic polycarboxylic acids such as trimellitic acid, trimesic acid, merophanic acid, and pyromellitic acid are listed.

前記の有機アミン化合物としては、例えば、n―プロピルアミン、イソプロピルアミン、n−ブチルアミン、イソブチルアミン、sec−ブチルアミン、tert−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミン、n−ヘプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミン、n−ドデシルアミンなどのモノアルキルアミン類;シクロヘキシルアミン、2−メチルシクロヘキシルアミン、3−メチルシクロヘキシルアミン、4−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノシクロアルキルアミン類;メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルn−プロピルアミン、エチルn−プロピルアミン、ジn−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジn−ブチルアミン、ジイソブチルアミン、ジsec−ブチルアミン、ジtert−ブチルアミン、ジn−ペンチルアミン、ジn−ヘキシルアミンなどのジアルキルアミン類;メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルモノシクロアルキルアミン類;
ジシクロヘキシルアミンなどのジシクロアルキルアミン類;
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルn−プロピルアミン、ジエチルn−プロピルアミン、メチルジn−プロピルアミン、エチルジn−プロピルアミン、トリn−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、トリn−ブチルアミン、トリイソブチルアミン、トリsec−ブチルアミン、トリtert−ブチルアミン、トリn−ペンチルアミン、トリn−ヘキシルアミンなどのトリアルキルアミン類;
ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミンなどのジアルキルモノシクロアルキルアミン類;
メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルジシクロアルキルアミン類;
2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−アミノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノール、6−アミノ−1−ヘキサノールなどのモノアルカノールアミン類;4−アミノ−1−シクロヘキサノールなどのモノシクロアルカノールアミン類;
ジエタノールアミン、ジn−プロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、ジn−ブタノールアミン、ジイソブタノールアミン、ジn−ペンタノールアミン、ジn−ヘキサノールアミンなどのジアルカノールアミン類;
ジ(4−シクロヘキサノール)アミンなどのジシクロアルカノールアミン類;
トリエタノールアミン、トリn−プロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、トリn−ブタノールアミン、トリイソブタノールアミン、トリn−ペンタノールアミン、トリn−ヘキサノールアミンなどのトリアルカノールアミン類;
トリ(4−シクロヘキサノール)アミンなどのトリシクロアルカノールアミン類;
3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタンジオール、3−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジエチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルアミノ−1,3−プロパンジオールなどのアミノアルカンジオール類;
4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオール、4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオールなどのアミノシクロアルカンジオール類;
1−アミノシクロペンタノンメタノール、4−アミノシクロペンタノンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカノンメタノール類;
1−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、4−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類;
β−アラニン、2−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイソ酢酸、3−アミノイソ酢酸、2−アミノ吉草酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノカプロン酸、1−アミノシクロプロパンカルボン酸、1−アミノシクロヘキサンカルボン酸、4−アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類;アニリン、o−メチルアニリン、m−メチルアニリン、p−メチルアニリン、p−エチルアニリン、p−n−プロピルアニリン、p−イソプロピルアニリン、p−n−ブチルアニリン、p−tert−ブチルアニリン、1−ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−N,N−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類;
o−アミノベンジルアルコール、m−アミノベンジルアルコール、p−アミノベンジルアルコール、p−ジメチルアミノベンジルアルコール、p−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類;o−アミノフェノール、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール、p−ジメチルアミノフェノール、p−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類;m−アミノ安息香酸、p−アミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。
Examples of the organic amine compound include n-propylamine, isopropylamine, n-butylamine, isobutylamine, sec-butylamine, tert-butylamine, n-pentylamine, n-hexylamine, n-heptylamine, n- Monoalkylamines such as octylamine, n-nonylamine, n-decylamine, n-undecylamine, n-dodecylamine; cyclohexylamine, 2-methylcyclohexylamine, 3-methylcyclohexylamine, 4-methylcyclohexylamine, etc. Monocycloalkylamines; methylethylamine, diethylamine, methyl n-propylamine, ethyl n-propylamine, di-n-propylamine, diisopropylamine, di-n-butylamine, diisobutylamine Di sec- butylamine, di-tert- butylamine, di-n- pentylamine, dialkylamines such as di-n- hexyl amine; monoalkyl cycloalkyl amines such as methyl cyclohexylamine, ethyl cyclohexylamine;
Dicycloalkylamines such as dicyclohexylamine;
Dimethylethylamine, methyldiethylamine, triethylamine, dimethyl n-propylamine, diethyl n-propylamine, methyldi-n-propylamine, ethyldi-n-propylamine, tri-n-propylamine, triisopropylamine, tri-n-butylamine, triisobutylamine , Trisec-butylamine, tri-tert-butylamine, tri-n-pentylamine, tri-alkylamines such as tri-n-hexylamine;
Dialkylmonocycloalkylamines such as dimethylcyclohexylamine and diethylcyclohexylamine;
Monoalkyldicycloalkylamines such as methyldicyclohexylamine, ethyldicyclohexylamine, tricyclohexylamine;
Monoalkanolamines such as 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 1-amino-2-propanol, 4-amino-1-butanol, 5-amino-1-pentanol, and 6-amino-1-hexanol Monocycloalkanolamines such as 4-amino-1-cyclohexanol;
Dialkanolamines such as diethanolamine, di-n-propanolamine, diisopropanolamine, di-n-butanolamine, diisobutanolamine, di-n-pentanolamine, di-n-hexanolamine;
Dicycloalkanolamines such as di (4-cyclohexanol) amine;
Trialkanolamines such as triethanolamine, tri-n-propanolamine, triisopropanolamine, tri-n-butanolamine, triisobutanolamine, tri-n-pentanolamine, tri-n-hexanolamine;
Tricycloalkanolamines such as tri (4-cyclohexanol) amine;
3-amino-1,2-propanediol, 2-amino-1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol, 4-amino-1,3-butanediol, 3-dimethylamino-1 , 2-propanediol, 3-diethylamino-1,2-propanediol, 2-dimethylamino-1,3-propanediol, aminoalkanediols such as 2-diethylamino-1,3-propanediol;
Aminocycloalkanediols such as 4-amino-1,2-cyclohexanediol and 4-amino-1,3-cyclohexanediol;
Amino group-containing cycloalkanone methanols such as 1-aminocyclopentanone methanol and 4-aminocyclopentanone methanol;
Amino group-containing cycloalkanemethanols such as 1-aminocyclohexanone methanol, 4-aminocyclohexanone methanol, 4-dimethylaminocyclopentanemethanol, 4-diethylaminocyclopentanemethanol, 4-dimethylaminocyclohexanemethanol, 4-diethylaminocyclohexanemethanol;
β-alanine, 2-aminobutyric acid, 3-aminobutyric acid, 4-aminobutyric acid, 2-aminoisoacetic acid, 3-aminoisoacetic acid, 2-aminovaleric acid, 5-aminovaleric acid, 6-aminocaproic acid, 1-aminocyclo Aminocarboxylic acids such as propanecarboxylic acid, 1-aminocyclohexanecarboxylic acid, 4-aminocyclohexanecarboxylic acid; aniline, o-methylaniline, m-methylaniline, p-methylaniline, p-ethylaniline, pn-propyl Aniline, p-isopropylaniline, pn-butylaniline, p-tert-butylaniline, 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, N, N-dimethylaniline, N, N-diethylaniline, p-methyl-N, N -Aromatic amines such as dimethylaniline;
aminobenzyl alcohols such as o-aminobenzyl alcohol, m-aminobenzyl alcohol, p-aminobenzyl alcohol, p-dimethylaminobenzyl alcohol, p-diethylaminobenzyl alcohol; o-aminophenol, m-aminophenol, p-amino Aminophenols such as phenol, p-dimethylaminophenol and p-diethylaminophenol; and aminobenzoic acids such as m-aminobenzoic acid, p-aminobenzoic acid, p-dimethylaminobenzoic acid and p-diethylaminobenzoic acid It is done.

前記の硬化剤としては、例えば、加熱されることによってバインダー樹脂中のカルボキシル基と反応してバインダー樹脂を架橋することができる化合物、硬化剤単独で重合して着色パターンを硬化させ得る化合物などが挙げられる。バインダー樹脂を架橋することができる化合物としては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられる。   Examples of the curing agent include a compound capable of reacting with a carboxyl group in the binder resin by being heated to crosslink the binder resin, a compound capable of curing the colored pattern by polymerizing the curing agent alone, and the like. Can be mentioned. Examples of the compound capable of crosslinking the binder resin include an epoxy compound and an oxetane compound.

前記のエポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系エポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの(共)重合体のエポキシ化物、イソプレンの(共)重合体のエポキシ化物、グリシジル(メタ)アクリレートの(共)重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。   Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy resins, hydrogenated bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, hydrogenated bisphenol F type epoxy resins, novolac type epoxy resins, other aromatic type epoxy resins, Aliphatic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, glycidyl ester resins, glycidyl amine resins, epoxy resins such as epoxidized oils, brominated derivatives of these epoxy resins, fats other than epoxy resins and brominated derivatives thereof Aliphatic, alicyclic or aromatic epoxy compounds, epoxidized butadiene (co) polymers, epoxidized isoprene (co) polymers, glycidyl (meth) acrylate (co) polymers, triglycidyl isocyanurate Etc.

前記のオキセタン化合物としては、例えば、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。   Examples of the oxetane compound include carbonate bisoxetane, xylylene bisoxetane, adipate bisoxetane, terephthalate bisoxetane, and bisoxetane cyclohexanedicarboxylate.

硬化剤としてエポキシ化合物、オキセタン化合物などを含有する場合には、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。前記の化合物としては、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。   When an epoxy compound, an oxetane compound or the like is contained as a curing agent, a compound capable of ring-opening polymerization of an epoxy group of the epoxy compound or an oxetane skeleton of the oxetane compound may be included. Examples of the compound include polyvalent carboxylic acids, polyvalent carboxylic acid anhydrides, and acid generators.

前記の多価カルボン酸類としては、例えば、フタル酸、3,4−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類;
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類;
ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
Examples of the polyvalent carboxylic acids include phthalic acid, 3,4-dimethylphthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic acid, 3 Aromatic polycarboxylic acids such as 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid;
Aliphatic polycarboxylic acids such as succinic acid, glutaric acid, adipic acid, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid;
Hexahydrophthalic acid, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic acid, hexahydroisophthalic acid, hexahydroterephthalic acid, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic acid, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic acid, cyclopentanetetracarboxylic acid And alicyclic polyvalent carboxylic acids such as 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid.

前記の多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類;
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類;
無水ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸無水物、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類;
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
Examples of the polyvalent carboxylic acid anhydrides include aromatic phthalic anhydride, pyromellitic anhydride, trimellitic anhydride, and 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride. Carboxylic anhydrides;
Aliphatic polycarboxylic anhydrides such as itaconic anhydride, succinic anhydride, citraconic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, tricarballylic anhydride, maleic anhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride Kind;
Hexahydrophthalic anhydride, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic anhydride, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic anhydride, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic anhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride Alicyclic polycarboxylic acid anhydrides such as 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, hymic anhydride, and nadic anhydride;
Examples include ester group-containing carboxylic acid anhydrides such as ethylene glycol bistrimellitic acid and glycerin tristrimellitic anhydride.

前記のカルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。前記のエポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、商品名「アデカハードナーEH−700」(旭電化工業(株)製)、商品名「リカシッドHH」(新日本理化(株)製)、商品名「MH−700」(新日本理化(株)製)などが挙げられる。
前記の酸発生剤としては、前記と同じものが挙げられる。
As said carboxylic acid anhydride, you may use what is marketed as an epoxy resin hardening | curing agent. Examples of the epoxy resin curing agent include a trade name “Adeka Hardener EH-700” (manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.), a trade name “Licacid HH” (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.), and a trade name “MH”. -700 "(manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.).
Examples of the acid generator include the same ones as described above.

前記の硬化剤は、それぞれ単独でも2種以上を組み合わせて用いてもよい。   The above curing agents may be used alone or in combination of two or more.

本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて基板上にパターンを形成し、該パターンを有してなるカラーフィルタを製造する方法としては、例えば、本発明の着色感光性樹脂組成物を、基板または基板の上に先に形成した固体の着色感光性樹脂組成物膜(以下、これを基板等ということがある。)の上に塗布して、塗布された着色感光性樹脂組成物から溶剤など揮発成分を加熱するなどにより除去して、着色感光性樹脂組成物膜を形成し、当該膜をフォトマスクを介して露光したのち、現像する方法などが挙げられる。   As a method for forming a pattern on a substrate using the colored photosensitive resin composition of the present invention and producing a color filter having the pattern, for example, the colored photosensitive resin composition of the present invention is applied to the substrate. Alternatively, a solid colored photosensitive resin composition film (hereinafter referred to as a substrate or the like) previously formed on a substrate is coated on the coated colored photosensitive resin composition, a solvent or the like. Examples include a method in which a volatile component is removed by heating to form a colored photosensitive resin composition film, the film is exposed through a photomask, and then developed.

基板としては、例えば、ガラス基板、シリコン基板、ポリカーボネート基板、ポリエステル基板、芳香族ポリアミド基板、ポリアミドイミド基板、ポリイミド基板、Al基板、GaAs基板などの表面が平坦な基板が挙げられる。これらの基板は、シランカップリング剤などの薬品による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング処理、スパッタリング処理、気相反応処理、真空蒸着処理などの前処理が施されていてもよい。基板としてシリコン基板などを用いる場合、前記シリコン基板などの表面には電荷結合素子(CCD)、薄膜トランジスタ(TFT)などが形成されていてもよい。   Examples of the substrate include flat substrates such as a glass substrate, a silicon substrate, a polycarbonate substrate, a polyester substrate, an aromatic polyamide substrate, a polyamideimide substrate, a polyimide substrate, an Al substrate, and a GaAs substrate. These substrates may be subjected to pretreatment such as chemical treatment with chemicals such as a silane coupling agent, plasma treatment, ion plating treatment, sputtering treatment, gas phase reaction treatment, and vacuum deposition treatment. When a silicon substrate or the like is used as the substrate, a charge coupled device (CCD), a thin film transistor (TFT), or the like may be formed on the surface of the silicon substrate.

前記の基板の上に着色感光性樹脂組成物を塗布する方法としては、例えば、従来のスピンコーターを用いる方法、スピンレスコーターを用いる方法が挙げられ、スピンレスコーターの中でもスリットコーターなどの省液コーターを用いる方法が好ましく、中でもスリットコーターを用いる方法が好ましい。   Examples of the method for applying the colored photosensitive resin composition on the substrate include a method using a conventional spin coater and a method using a spinless coater. Among the spinless coaters, liquid-saving such as a slit coater. A method using a coater is preferable, and a method using a slit coater is particularly preferable.

本発明の着色感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する好ましい方法としては、本発明の着色感光性樹脂組成物を、スリットコーターなどの省液コーターを用いて基板等の上に塗布し、次いで溶剤などの揮発成分を加熱により揮発させる方法が挙げられる。このようにして、基板等の上に着色感光性樹脂組成物の固形分からなる膜が平坦性よく形成される。
ここで、「平坦性」については、プリベークされた着色感光性樹脂組成物層を有する基板にNaランプを照射し、種々の角度から該層の表面状態が観察され、その結果、ムラが発生していないかどうかを、次の基準に基づいて決定される。目視により、筋および塗膜が不均一に見える場合、ムラが発生していると判断する。
As a preferred method of forming a pattern using the colored photosensitive resin composition of the present invention, the colored photosensitive resin composition of the present invention is applied onto a substrate or the like using a liquid-saving coater such as a slit coater, Next, a method of volatilizing a volatile component such as a solvent by heating can be mentioned. In this way, a film made of a solid content of the colored photosensitive resin composition is formed on the substrate or the like with good flatness.
Here, regarding “flatness”, a substrate having a pre-baked colored photosensitive resin composition layer is irradiated with a Na lamp, and the surface state of the layer is observed from various angles, resulting in unevenness. Is determined based on the following criteria: When the streaks and the coating film appear to be uneven by visual observation, it is determined that unevenness has occurred.

本発明によれば、平坦性が良好な膜を形成し得る着色感光性樹脂組成物を提供することが可能となる。   According to the present invention, it is possible to provide a colored photosensitive resin composition capable of forming a film having good flatness.

パターンを形成するには、下記の方法が例示される。ガラス基板(例えば、#1737;コーニング社製)の表面上に、着色感光性樹脂組成物をスリットコート法で塗布した後、例えば、100℃で3分間、加熱して揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物層を形成する。冷却後、この着色感光性樹脂組成物層にフォトマスクを用いてi線〔波長365nm〕を照射する。i線の光源には、例えば、超高圧水銀ランプ(HB−75105AA OP1;ウシオ電機(株)製)が用いられ、照射光量としては、例えば、150mJ/cm程度である。次いで、現像液(質量分率で水酸化カリウムを0.05%、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを0.2%それぞれ含有する水溶液)に浸漬して現像し、純水で洗浄後、ガラス基板の着色層が得られる。その後、220℃で20分間加熱処理を行う。こうして、着色層からパターンを形成することができる。
次に、カラーフィルタを製造するには、下記の方法が例示される。ガラス基板(#1737;コーニング社製)の表面上に、着色感光性樹脂組成物(例えば赤色組成物)をスリットコート法で塗布した後、100℃で3分間加熱して揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物層を形成する。冷却後、この着色感光性樹脂組成物層にフォトマスクを介してガラス1/3に亙ってi線〔波長365nm〕を照射する。i線の光源としては、例えば、超高圧水銀ランプ(例えば、HB−75105AA OP1;ウシオ電機(株)製)が用いられ、照射光量としては通常150mJ/cm程度である。次いで、現像液(質量分率で水酸化カリウムを0.05%、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを0.2%それぞれ含有する水溶液)に浸漬して現像し、純水で洗浄すると、ガラス基板の1/3面に亙って形成された着色層が得られる。その後、220℃で20分間加熱処理を行う。次いで、上記の各工程を異なる色相の着色感光性樹脂組成物を用いて繰り返し、カラーフィルタを得ることができる。
In order to form a pattern, the following method is exemplified. After the colored photosensitive resin composition is applied on the surface of a glass substrate (for example, # 1737; manufactured by Corning) by the slit coating method, for example, the coating is heated at 100 ° C. for 3 minutes to volatilize volatile components and colored. A photosensitive resin composition layer is formed. After cooling, the colored photosensitive resin composition layer is irradiated with i-line [wavelength 365 nm] using a photomask. For example, an ultra-high pressure mercury lamp (HB-75105AA OP1; manufactured by Ushio Electric Co., Ltd.) is used as the i-line light source, and the amount of irradiation light is, for example, about 150 mJ / cm 2 . Next, the film was developed by immersing it in a developer (aqueous solution containing 0.05% potassium hydroxide and 0.2% sodium butylnaphthalenesulfonate by mass fraction), washed with pure water, and then colored the glass substrate. A layer is obtained. Thereafter, heat treatment is performed at 220 ° C. for 20 minutes. Thus, a pattern can be formed from the colored layer.
Next, in order to manufacture a color filter, the following method is illustrated. A colored photosensitive resin composition (for example, a red composition) is applied on the surface of a glass substrate (# 1737; manufactured by Corning) by a slit coating method, and then heated at 100 ° C. for 3 minutes to volatilize volatile components. A colored photosensitive resin composition layer is formed. After cooling, the colored photosensitive resin composition layer is irradiated with i-line (wavelength 365 nm) over a glass 1/3 through a photomask. As an i-line light source, for example, an ultra-high pressure mercury lamp (for example, HB-75105AA OP1; manufactured by Ushio Electric Co., Ltd.) is used, and the irradiation light amount is usually about 150 mJ / cm 2 . Next, the film was immersed in a developer (an aqueous solution containing 0.05% potassium hydroxide and 0.2% sodium butylnaphthalene sulfonate by mass), developed, and washed with pure water. / 3 A colored layer formed over the 3rd surface is obtained. Thereafter, heat treatment is performed at 220 ° C. for 20 minutes. Next, each of the above steps can be repeated using a colored photosensitive resin composition having a different hue to obtain a color filter.

該組成物を用いて形成されるパターンは、平坦性が良好であることから、カラーフィルタを構成する着色パターンを形成するための材料として好適に使用し得る。   Since the pattern formed using the composition has good flatness, it can be suitably used as a material for forming a colored pattern constituting a color filter.

次に、このカラーフィルタを用いて液晶表示装置を製造する方法の一例を説明する。上記により得られたカラーフィルタ上に、透明保護膜を形成し、さらにその上にITO膜などの透明電極を製膜する。次に、このカラーフィルタ基板と、金属蒸着膜などの反射電極が形成された反射電極基板とを、さらにそれらの基板上に設けられた液晶配向のためのラビング処理を施した液晶配向膜、およびセルギャップ保持のためのスペーサーを介して、対向させて貼りあわせる。なお、反射電極基板上には、反射電極以外に、光拡散用の突起物、薄膜トランジスタ(TFT)素子や薄膜ダイオード(TFD)素子、および走査線、信号線などを設け、TFT液晶表示装置や、TFD液晶表示装置を作成することができる。バックライトを有する場合は、液晶ディスプレイの背面に配置する。エッジライト型では光透過率の優れたアクリル樹脂などを導光板として用い、その二辺または一辺にLED光源を設置して、導光板の裏面には反射部を加工し、反射板を加工した反対側にプリズムシート、拡散板などを配置することができる。フロントライトを有する場合は、液晶ディスプレイの前面に配置する。透明樹脂などでできた導光板の上部に反射板とLED光源を配置することができる。次に、シール部に設けられた注入口から液晶を注入した後に、注入口を封止する。最後に、ICドライバー等を実装することにより液晶表示装置を製造することができる。   Next, an example of a method for manufacturing a liquid crystal display device using the color filter will be described. A transparent protective film is formed on the color filter obtained as described above, and a transparent electrode such as an ITO film is further formed thereon. Next, this color filter substrate and a reflective electrode substrate on which a reflective electrode such as a metal vapor deposition film is formed, and a liquid crystal alignment film further subjected to a rubbing treatment for liquid crystal alignment provided on those substrates, and It is bonded to face each other through a spacer for maintaining the cell gap. In addition to the reflective electrode, a projection for light diffusion, a thin film transistor (TFT) element or a thin film diode (TFD) element, a scanning line, a signal line, etc. are provided on the reflective electrode substrate, and a TFT liquid crystal display device, A TFD liquid crystal display device can be produced. If it has a backlight, it is placed on the back of the liquid crystal display. The edge-light type uses acrylic resin with excellent light transmittance as the light guide plate, LED light sources are installed on its two sides or one side, the reflective part is processed on the back side of the light guide plate, and the reverse plate is processed A prism sheet, a diffusion plate, or the like can be disposed on the side. If it has a front light, it is placed in front of the liquid crystal display. A reflector and an LED light source can be disposed on the upper part of the light guide plate made of transparent resin or the like. Next, after injecting liquid crystal from the injection port provided in the seal portion, the injection port is sealed. Finally, a liquid crystal display device can be manufactured by mounting an IC driver or the like.

上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。以下、本発明を実施例によってより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではないことはいうまでもない。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the present invention disclosed above are merely examples, and the scope of the present invention is not limited to these embodiments. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and includes the meaning equivalent to the description of the claims and all modifications within the scope. EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, it cannot be overemphasized that this invention is not limited by these Examples.

<樹脂Bの合成>
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート182gを導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした後、100℃に昇温後、ベンジルメタクリレート70.5g(0.40モル)、メタクリル酸43.0g(0.5モル)、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート(日立化成(株)製FA−513M)22.0g(0.10モル)およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート136gからなる混合物にアゾビスイソブチロニトリル3.6gを添加した溶液を滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに100℃で5時間撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、グリシジルメタクリレート35.5g[0.25モル、(本反応に用いたメタクリル酸のカルボキシル基に対して50モル%)]、トリスジメチルアミノメチルフェノール0.9gおよびハイドロキノン0.145gをフラスコ内に投入し、110℃で6時間反応を続け、固形分酸価が79mgKOH/gの樹脂Bを得た。GPC法により測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は、13,000で、分子量分布(Mw/Mn)は2.1であった。
<Synthesis of Resin B>
After introducing 182 g of propylene glycol monomethyl ether acetate into a flask equipped with a stirrer, a thermometer, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introduction tube, and changing the atmosphere in the flask from air to nitrogen, the temperature was raised to 100 ° C., 70.5 g (0.40 mol) of benzyl methacrylate, 43.0 g (0.5 mol) of methacrylic acid, 22.0 g (0.10 mol) of monomethacrylate having a tricyclodecane skeleton (FA-513M manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) ) And propylene glycol monomethyl ether acetate (136 g) in a solution obtained by adding 3.6 g of azobisisobutyronitrile to the flask from the dropping funnel over 2 hours, and further stirring at 100 ° C. for 5 hours. Next, the atmosphere in the flask was changed from nitrogen to air, and 35.5 g of glycidyl methacrylate [0.25 mol, (50 mol% with respect to the carboxyl group of methacrylic acid used in this reaction)], trisdimethylaminomethylphenol, 0.5%. 9 g and 0.145 g of hydroquinone were charged into the flask, and the reaction was continued at 110 ° C. for 6 hours to obtain Resin B having a solid content acid value of 79 mgKOH / g. The weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by GPC method was 13,000, and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.1.

上記のバインダー樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量の測定については、GPC法を用いて、以下の条件で行った。
装置;HLC-8120GPC(東ソー(株)製)
カラム;TSK−GELG2000HXL
カラム温度;40℃
溶媒;THF
流速;1.0mL/min
被検液固型分濃度;0.001〜0.01質量%
注入量;50μL
検出器;RI
校正用標準物質;TSK STANDARD POLYSTYRENE F−40、F−4、F−1、A−2500、A−500(東ソー(株)製)
About the measurement of the polystyrene conversion weight average molecular weight of said binder resin, it carried out on condition of the following using GPC method.
Equipment: HLC-8120GPC (manufactured by Tosoh Corporation)
Column; TSK-GELG2000HXL
Column temperature: 40 ° C
Solvent; THF
Flow rate: 1.0 mL / min
Test liquid solid concentration: 0.001 to 0.01% by mass
Injection volume: 50 μL
Detector; RI
Standard material for calibration; TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-1, A-2500, A-500 (manufactured by Tosoh Corporation)

実施例の平坦性試験のためのラインアンドスペースパターンをパターンニングしたガラス基板を次のようにして作製した。
〔着色感光性樹脂組成物の製造〕
(A)C.I.ピグメントグリーン36(2.295質量部)、
(A)C.I.ピグメントイエロー150(1.055質量部)、
(B)メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との組成比は物質量比(モル比)で35:65、重量平均分子量(Mw)は35,000〕(2.441質量部)、
(C)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD DPHA(商品名);日本化薬(株)製)(1.464質量部)、
(D)2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン(0.586質量部)、
(G)4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(EAB−F(商品名);保土谷化学工業(株)製)(0.195質量部)、
(H)エポキシ化合物(スミエポキシESCN−195XL−80(商品名);住友化学(株)製)(0.976質量部)
ポリエステル系分散剤(0.988質量部)および
(E)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(36.5質量部)
を混合して、着色感光性樹脂組成物(緑色)を得た。
A glass substrate patterned with a line and space pattern for the flatness test of the example was produced as follows.
[Production of colored photosensitive resin composition]
(A) C.I. I. Pigment green 36 (2.295 parts by mass),
(A) C.I. I. Pigment yellow 150 (1.055 parts by mass),
(B) Copolymer of methacrylic acid and benzyl methacrylate [composition ratio of methacrylic acid unit and benzyl methacrylate unit is 35:65 by weight ratio (molar ratio), weight average molecular weight (Mw) is 35,000] ( 2.441 parts by mass)
(C) Dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD DPHA (trade name); manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) (1.464 parts by mass),
(D) 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one (0.586 parts by mass),
(G) 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone (EAB-F (trade name); manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) (0.195 parts by mass),
(H) Epoxy compound (Sumiepoxy ESCN-195XL-80 (trade name); manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) (0.976 parts by mass)
Polyester dispersant (0.988 parts by mass) and (E) propylene glycol monomethyl ether acetate (36.5 parts by mass)
Were mixed to obtain a colored photosensitive resin composition (green).

〔着色膜の形成〕
ガラス基板(#1737(商品名);コーニング社製)の表面上に、上記で得た着色感光性樹脂組成物(緑色)をスピンコート法で塗布した後、100℃3分間で揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物層を形成した。冷却後、この着色感光性樹脂組成物層にフォトマスクを介してi線〔波長365nm〕を照射して露光した。i線の光源には超高圧水銀ランプを用い、平行光としてから照射した。照射光量は150mJ/cm2とした。
フォトマスクとしては、線幅3μm、4μm、5μm、6μm、7μm、8μm、9μm、10μm、20μm、30μm、40μm、50μmおよび100μmの線状の色画素を形成するためのフォトマスクを用いた。次いで露光後のガラス基板〔表面には着色感光性樹脂組成物層が形成されている。〕を25℃の現像液〔質量分率で水酸化カリウムを0.05%、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを0.2%それぞれ含む水溶液。〕に120秒間浸漬して現像し、純水で洗浄したのち、220℃で20分間加熱して、緑色画素(膜厚:1.65μm)を形成した。こうして緑色のラインアンドスペースパターンをパターンニングしたガラス基板を得た。
(Formation of colored film)
The colored photosensitive resin composition (green) obtained above is applied on the surface of a glass substrate (# 1737 (trade name); manufactured by Corning) by spin coating, and then the volatile components are volatilized at 100 ° C. for 3 minutes. Thus, a colored photosensitive resin composition layer was formed. After cooling, the colored photosensitive resin composition layer was exposed by irradiating with i-line [wavelength 365 nm] through a photomask. An ultra-high pressure mercury lamp was used as the i-line light source, and the light was irradiated after being converted into parallel light. The amount of irradiation light was 150 mJ / cm 2 .
As the photomask, a photomask for forming linear color pixels having a line width of 3 μm, 4 μm, 5 μm, 6 μm, 7 μm, 8 μm, 9 μm, 10 μm, 20 μm, 30 μm, 40 μm, 50 μm, and 100 μm was used. Next, a glass substrate after exposure [a colored photosensitive resin composition layer is formed on the surface. ] At 25 ° C. [Aqueous solution containing 0.05% potassium hydroxide and 0.2% sodium butylnaphthalenesulfonate by mass fraction, respectively. ] For 120 seconds, developed, washed with pure water, and then heated at 220 ° C. for 20 minutes to form a green pixel (film thickness: 1.65 μm). Thus, a glass substrate patterned with a green line and space pattern was obtained.

本実施例で用いる成分は以下の通りで、以下、省略して表示することがある。
(A−1)着色剤:C.I.ピグメントブルー15:6
(A−2)着色剤:C.I.ピグメントバイオレット23
(A−3)着色剤:C.I.ピグメントレッド254
(A−4)着色剤:C.I.ピグメントイエロー139
(B−1)バインダー樹脂:メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比(モル比)で27:73、酸価は102、ポリスチレン換算重量平均分子量は24,000
(B−2)バインダー樹脂:メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比(モル比)で30:70、酸価は113、ポリスチレン換算重量平均分子量は24,000
(B−3)樹脂B
(C)光重合性化合物:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(D−1)光重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン
(D−2)光重合開始剤:2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン
(D−3)光重合開始剤:2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン
(G−1)光重合開始助剤:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
(G−2)光重合開始助剤:2,4−ジエチルチオキサントン
(E−1)溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
(E−2)溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル
(F−1)界面活性剤:F475(商品名)(大日本インキ化学工業(株)製)
(F−2)界面活性剤:SH8400(商品名)(トーレシリコーン(株)製)
(F−3)界面活性剤:E5844((株)ダイキンファインケミカル研究所製)
(H)エポキシ化合物;スミエポキシESCN−195XL−80(商品名)(住友化学(株)製)
The components used in this example are as follows, and may be omitted below.
(A-1) Colorant: C.I. I. Pigment Blue 15: 6
(A-2) Colorant: C.I. I. Pigment Violet 23
(A-3) Colorant: C.I. I. Pigment Red 254
(A-4) Colorant: C.I. I. Pigment Yellow 139
(B-1) Binder resin: Copolymer of methacrylic acid and benzyl methacrylate [ratio of methacrylic acid unit and benzyl methacrylate unit is 27:73 by mass ratio (molar ratio), acid value is 102, polystyrene equivalent weight The average molecular weight is 24,000
(B-2) Binder resin: Copolymer of methacrylic acid and benzyl methacrylate [ratio of methacrylic acid unit and benzyl methacrylate unit is 30:70 by mass ratio (molar ratio), acid value is 113, polystyrene equivalent weight The average molecular weight is 24,000
(B-3) Resin B
(C) Photopolymerizable compound: dipentaerythritol hexaacrylate (D-1) Photopolymerization initiator: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one (D-2) Photopolymerization initiator: 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one (D-3) photopolymerization initiator: 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl- 1,3,5-triazine (G-1) photopolymerization initiation assistant: 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone (G-2) photopolymerization initiation assistant: 2,4-diethylthioxanthone (E-1) Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate (E-2) Solvent: Ethyl 3-ethoxypropionate (F-1) Surfactant: F475 (trade name) (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) Made)
(F-2) Surfactant: SH8400 (trade name) (manufactured by Torre Silicone Co., Ltd.)
(F-3) Surfactant: E5844 (manufactured by Daikin Fine Chemical Laboratory)
(H) Epoxy compound; Sumiepoxy ESCN-195XL-80 (trade name) (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.)

実施例1−6、比較例1−5
〔着色感光性樹脂プレ組成物1の調製〕
(A−1) 3.888質量部
(A−2) 0.432質量部
ポリエステル系分散剤 2.014質量部
(B−2) 4.127質量部
(C) 2.751質量部
(D−1) 0.825質量部
(G−1) 0.275質量部
(E−1) 51.000質量部
(E−2) 34.000質量部
(H) 0.688質量部
を混合して着色感光性樹脂プレ組成物1を得た。
Example 1-6, Comparative Example 1-5
[Preparation of colored photosensitive resin pre-composition 1]
(A-1) 3.888 parts by mass (A-2) 0.432 parts by mass Polyester dispersant 2.014 parts by mass (B-2) 4.127 parts by mass (C) 2.751 parts by mass (D- 1) 0.825 parts by mass (G-1) 0.275 parts by mass (E-1) 51.000 parts by mass (E-2) 34.000 parts by mass (H) 0.688 parts by mass are mixed and colored. The photosensitive resin pre-composition 1 was obtained.

着色感光性樹脂プレ組成物1に
(F−2) 0.0008質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物1−1を、
(F−2) 0.0015質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物1−2を、
(F−2) 0.0030質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物1−3を、
(F−2) 0.0060質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物1−4を、
(F−2) 0.0090質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物1−5を、
(F−2) 0.0120質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物1−6を、
(F−1) 0.0030質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物1−7を、
(F−3) 0.0030質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物1−8を、
(F−2) 0.0060質量部と(F−3) 0.0030質量部とを混合し、着色感光性樹脂組成物1−9を、
(F−1) 0.0120質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物1−10を、
それぞれ得た。
To the colored photosensitive resin pre-composition 1, 0.0008 part by mass of (F-2) is mixed, and the colored photosensitive resin composition 1-1 is mixed.
(F-2) 0.0015 part by mass is mixed, and the colored photosensitive resin composition 1-2 is
(F-2) 0.0030 parts by mass are mixed, and the colored photosensitive resin composition 1-3 is mixed.
(F-2) 0.0060 parts by mass are mixed, and the colored photosensitive resin composition 1-4 is mixed.
(F-2) 0.0090 parts by mass are mixed, and the colored photosensitive resin composition 1-5 is mixed.
(F-2) 0.0120 parts by mass are mixed, and the colored photosensitive resin composition 1-6 is
(F-1) 0.0030 part by mass is mixed, and the colored photosensitive resin composition 1-7 is
(F-3) 0.0030 part by mass is mixed, and the colored photosensitive resin composition 1-8 is mixed.
(F-2) 0.0060 parts by mass and (F-3) 0.0030 parts by mass are mixed, and the colored photosensitive resin composition 1-9 is mixed.
(F-1) 0.0120 parts by mass are mixed, and the colored photosensitive resin composition 1-10 is
I got each.

〔接触角評価〕
接触角測定装置(DGD Fast/60型Contact Angle Meter;GBX社製)を使用し、アセトンで洗浄後のガラス(#1737(商品名);コーニング社製)上に、着色感光性樹脂組成物1〜1−9を2μL滴下し、滴下後、0.2秒後の接触角、飽和した1秒後の接触角は、それぞれ以下の通りであった。
[Contact angle evaluation]
Using a contact angle measurement device (DGD Fast / 60-type Contact Angle Meter; manufactured by GBX) and on glass (# 1737 (trade name); manufactured by Corning) after washing with acetone, the colored photosensitive resin composition 1 2 μL of ˜1-9 was dropped, and after dropping, the contact angle after 0.2 seconds and the contact angle after 1 second after saturation were as follows.

Figure 2011102991
Figure 2011102991

〔粘度評価〕
粘度測定装置(VISCOMETER RE120L SYSTEM型(東機産業(株)製))を使用し、23℃での着色感光性樹脂組成物1〜1−10の粘度を測定したところ、50rpmでの粘度は、いずれも4.1mPa・sであった。
[Viscosity evaluation]
Using a viscosity measuring device (VISCOMETER RE120L SYSTEM type (manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.)) and measuring the viscosity of the colored photosensitive resin compositions 1 to 1-10 at 23 ° C., the viscosity at 50 rpm is All were 4.1 mPa · s.

〔平坦性評価〕
先に作成した緑色画素中の100μmのラインアンドスペースパターンをパターンニング(膜厚:a)したガラス基板を30度傾けたのち、その上部に着色感光性樹脂組成物1〜1−10をそれぞれ1滴滴下し、ラインアンドスペースパターンに対して平行に滴下物を流下させた後、5分保持、その後、100℃で3分間ベークした後の100μmのライン上とスペース上の膜段差をbとした時、平坦化率:(a−b)/aは以下の通りであった。
[Evaluation of flatness]
After tilting the glass substrate obtained by patterning (film thickness: a) 100 μm line-and-space pattern in the previously created green pixel by 30 degrees, each of the colored photosensitive resin compositions 1 to 1-10 is formed thereon. Drops were dropped and the drops were allowed to flow parallel to the line-and-space pattern, held for 5 minutes, and then baked at 100 ° C. for 3 minutes, and the film step on the 100 μm line and space was defined as b. At that time, the flattening rate: (ab) / a was as follows.

Figure 2011102991
Figure 2011102991

〔スリットコーターでの評価〕
得られた着色感光性樹脂組成物1〜1−10を、一部に顔料凝集物が付着したスリットコーターを用いて塗膜を形成したところ、以下のような結果であった。
なお、ムラは、暗室内で塗布した基板をナトリウムランプおよびグリーンランプで照射し、種々の角度から基板を観察したときに、目視で観察される筋および塗膜が不均一に見えることを示し、ムラのないものを平坦性良好と判断した。
[Evaluation with slit coater]
When the obtained colored photosensitive resin compositions 1 to 1-10 were formed using a slit coater in which pigment aggregates partially adhered, the following results were obtained.
In addition, unevenness indicates that when the substrate applied in the dark room is irradiated with a sodium lamp and a green lamp and the substrate is observed from various angles, the streaks and the coating film that are visually observed look uneven. Those with no unevenness were judged to have good flatness.

Figure 2011102991
Figure 2011102991

実施例7〜10、比較例6
〔着色感光性樹脂組成物2の調製〕
比較例1および実施例1〜6で用いられた着色感光性樹脂組成物1、1−3〜1−6において、(B−2)成分の含有量を3.164質量部、(C)成分の含有量を3.714質量部に変更する以外は同様にして、着色感光性樹脂組成物2、2−3〜2−6を得た。
〔接触角評価〕
Examples 7-10, Comparative Example 6
[Preparation of colored photosensitive resin composition 2]
In the colored photosensitive resin compositions 1 and 1-3 to 1-6 used in Comparative Example 1 and Examples 1 to 6, the content of the component (B-2) is 3.164 parts by mass, the component (C) Colored photosensitive resin compositions 2 and 2-3 to 2-6 were obtained in the same manner except that the content of was changed to 3.714 parts by mass.
[Contact angle evaluation]

実施例1〜6と同様にして着色感光性樹脂組成物2、2−3〜2−6の接触角を測定したところ、以下の通りであった。   When the contact angles of the colored photosensitive resin compositions 2 and 2-3 to 2-6 were measured in the same manner as in Examples 1 to 6, it was as follows.

Figure 2011102991
Figure 2011102991

〔粘度評価〕
実施例1〜6と同様にして、23℃での着色感光性樹脂組成物2、2−3〜2−6の粘度を測定したところ、50rpmでの粘度は、いずれも3.8mPa・sであった。
[Viscosity evaluation]
When the viscosity of the colored photosensitive resin composition 2 and 2-3 to 2-6 at 23 ° C. was measured in the same manner as in Examples 1 to 6, the viscosity at 50 rpm was 3.8 mPa · s. there were.

〔平坦性評価〕
実施例1と同様にして、平坦化率を求めると以下の通りであった。
[Evaluation of flatness]
When the flattening rate was obtained in the same manner as in Example 1, it was as follows.

Figure 2011102991
Figure 2011102991

〔スリットコーターでの評価〕
得られた着色感光性樹脂組成物2〜2−4を、一部に顔料凝集物が付着したスリットコーターを用いて塗膜を形成したところ、以下のような結果であった。
[Evaluation with slit coater]
When the coating film was formed using the slit coater in which the pigment agglomerates adhered to the obtained colored photosensitive resin compositions 2 to 2-4, the following results were obtained.

Figure 2011102991
Figure 2011102991

比較例7
〔着色感光性樹脂組成物3の調製〕
(A−3) 5.293質量部
(A−4) 1.407質量部
ポリエステル系分散剤 2.540質量部
(B−1) 5.466質量部
(C) 3.644質量部
(D−2) 0.547質量部
(D−3) 0.547質量部
(G−2) 0.547質量部
(E−1) 79.910質量部
(F−2) 0.010質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物3を得た。
Comparative Example 7
[Preparation of colored photosensitive resin composition 3]
(A-3) 5.293 parts by mass (A-4) 1.407 parts by mass Polyester dispersant 2.540 parts by mass (B-1) 5.466 parts by mass (C) 3.644 parts by mass (D- 2) 0.547 parts by mass (D-3) 0.547 parts by mass (G-2) 0.547 parts by mass (E-1) 79.910 parts by mass (F-2) 0.010 parts by mass were mixed. Thus, a colored photosensitive resin composition 3 was obtained.

〔接触角評価〕
実施例1と同様にして着色感光性樹脂組成物3の接触角を測定したところ、0.2秒後の接触角が21.5°であった。飽和した1秒後の接触角は19.2°であった。
[Contact angle evaluation]
When the contact angle of the colored photosensitive resin composition 3 was measured in the same manner as in Example 1, the contact angle after 0.2 seconds was 21.5 °. The contact angle after 1 second of saturation was 19.2 °.

〔粘度評価〕
実施例1〜6と同様にして着色感光性樹脂組成物3の粘度を測定したところ、6.8mPa・sであった。
[Viscosity evaluation]
When the viscosity of the colored photosensitive resin composition 3 was measured in the same manner as in Examples 1 to 6, it was 6.8 mPa · s.

〔平坦性評価〕
実施例1〜6と同様にして、平坦化率を求めると以下の通りであった。
[Evaluation of flatness]
When the flattening rate was obtained in the same manner as in Examples 1 to 6, it was as follows.

Figure 2011102991
Figure 2011102991

〔スリットコーターでの評価〕
得られた着色感光性樹脂組成物を、スリットコーターを用いて塗膜を形成したところ、ムラのある塗膜が得られた。一部に顔料凝集物が付着したスリットコーターを用いて塗膜を形成した場合にも、スリットコーターの顔料凝集物付着部が通過した部分に筋状のムラを有し、平坦性の不良な塗膜が得られた。
[Evaluation with slit coater]
When the obtained colored photosensitive resin composition was formed into a coating film using a slit coater, an uneven coating film was obtained. Even when a coating film is formed using a slit coater with pigment agglomerates partially adhered to it, there are streaky irregularities in the part where the pigment agglomerate adhering part of the slit coater has passed, and coating with poor flatness. A membrane was obtained.

実施例11〜14、比較例8
〔着色感光性樹脂組成物4の調製〕
実施例1〜6の(B−2)4.127質量部を(B−3)3.439質量部、(C)を3.439質量部に変更する以外は全て同様にして、着色感光性樹脂組成物4、4−3〜4−6を得た。
Examples 11-14, Comparative Example 8
[Preparation of colored photosensitive resin composition 4]
In the same manner as in Examples 1 to 6, except that (B-2) 4.127 parts by mass were changed to (B-3) 3.439 parts by mass, and (C) was changed to 3.439 parts by mass. Resin compositions 4 and 4-3 to 4-6 were obtained.

〔接触角評価〕
実施例1〜6と同様にして着色感光性樹脂組成物4、4−3〜4−6の接触角を測定したところ、以下の通りであった。
[Contact angle evaluation]
When the contact angles of the colored photosensitive resin compositions 4 and 4-3 to 4-6 were measured in the same manner as in Examples 1 to 6, it was as follows.

Figure 2011102991
Figure 2011102991

〔粘度評価〕
実施例1〜6と同様にして、23℃での着色感光性樹脂組成物4、4−1〜4の粘度を測定したところ、50rpmでの粘度は3.3mPa・sであった。
[Viscosity evaluation]
When the viscosity of the colored photosensitive resin compositions 4 and 4-1 to 4 at 23 ° C. was measured in the same manner as in Examples 1 to 6, the viscosity at 50 rpm was 3.3 mPa · s.

〔平坦性評価〕
実施例1と同様にして、平坦化率を求めると以下の通りであった。
[Evaluation of flatness]
When the flattening rate was obtained in the same manner as in Example 1, it was as follows.

Figure 2011102991
Figure 2011102991

〔スリットコーターでの評価〕
得られた着色感光性樹脂組成物4、4−3〜6を、一部に顔料凝集物が付着したスリットコーターを用いて塗膜を形成したところ、以下のような結果であった。
[Evaluation with slit coater]
A coating film was formed on the obtained colored photosensitive resin compositions 4, 4-3 to 6 using a slit coater in which a pigment aggregate was partially adhered, and the following results were obtained.

Figure 2011102991
Figure 2011102991

Claims (6)

着色剤(A)、バインダー樹脂(B)、光重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)、溶剤(E)および界面活性剤(F)を含有する着色感光性樹脂組成物であって、23℃における該組成物の粘度が2.0mPa・s以上5.0mPa・s以下であり、かつ、該組成物2μLをガラス基板上に滴下して0.2秒後の接触角が10°以上20°以下であり、かつ、溶剤(E)が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと3−エトキシプロピオン酸エチルとを含有し、該組成物中の溶剤(E)の含有量が、該組成物に対して質量分率で、80質量%以上95質量%以下であり、かつ、界面活性剤(F)が、シリコーン系界面活性剤およびフッ素原子を有する化合物からなるシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも1種であり、該界面活性剤の含有量が、該組成物の固形分に対して質量分率で、0.01質量%以上0.15質量%以下であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。   A colored photosensitive resin composition containing a colorant (A), a binder resin (B), a photopolymerizable compound (C), a photopolymerization initiator (D), a solvent (E) and a surfactant (F). The viscosity of the composition at 23 ° C. is 2.0 mPa · s or more and 5.0 mPa · s or less, and 2 μL of the composition is dropped on a glass substrate and the contact angle after 0.2 seconds is 10 And the solvent (E) contains propylene glycol monomethyl ether acetate and ethyl 3-ethoxypropionate, and the content of the solvent (E) in the composition is the composition. The mass fraction is 80% by mass to 95% by mass with respect to the surfactant, and the surfactant (F) is a group consisting of a silicone surfactant and a silicone surfactant and a compound having a fluorine atom. At least selected from 1 type, The content of this surfactant is 0.01 mass% or more and 0.15 mass% or less by mass fraction with respect to solid content of this composition, The coloring photosensitivity characterized by the above-mentioned. Resin composition. バインダー樹脂(B)が、グリシジルメタクリレート/トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体と(メタ)アクリル酸の反応物(前記反応物のポリスチレン換算重量平均分子量;8,000〜20,000、酸価;50〜120)であり、光重合性化合物(C)の含有量が、バインダー樹脂(B)と光重合性化合物(C)との合計量に対して質量分率で、35質量%〜60質量%である請求項1記載の着色感光性樹脂組成物。   The binder resin (B) is a reaction product of a glycidyl methacrylate / tricyclodecane skeleton monomethacrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer and (meth) acrylic acid (weight average molecular weight in terms of polystyrene of the reaction product; 8,000 to 20,000, acid value; 50 to 120), and the content of the photopolymerizable compound (C) is a mass fraction with respect to the total amount of the binder resin (B) and the photopolymerizable compound (C). The colored photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the content is 35% by mass to 60% by mass. 請求項1または2に記載の着色感光性樹脂組成物を、基板または先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された着色感光性樹脂組成物から揮発成分を除去して着色感光性樹脂組成物膜を形成し、フォトマスクを介して前記膜を露光し、現像することを特徴とするパターンの形成方法。   The colored photosensitive resin composition according to claim 1 or 2 is applied onto a substrate or a layer made of a solid content of the colored photosensitive resin composition previously formed, and the applied colored photosensitive resin composition is applied. A method for forming a pattern comprising removing a volatile component to form a colored photosensitive resin composition film, exposing the film through a photomask, and developing the film. 着色感光性樹脂組成物の塗布を、スピンレスコーターを用いて行う請求項3記載の方法。   4. The method according to claim 3, wherein the colored photosensitive resin composition is applied using a spinless coater. 請求項3または4に記載の方法により形成されたパターンを有してなることを特徴とするカラーフィルタ。   A color filter comprising a pattern formed by the method according to claim 3. 請求項5に記載のカラーフィルタを有してなることを特徴とする液晶表示装置。   A liquid crystal display device comprising the color filter according to claim 5.
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