JP2003330187A - Colored photosensitive resin composition - Google Patents

Colored photosensitive resin composition

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JP2003330187A
JP2003330187A JP2002141361A JP2002141361A JP2003330187A JP 2003330187 A JP2003330187 A JP 2003330187A JP 2002141361 A JP2002141361 A JP 2002141361A JP 2002141361 A JP2002141361 A JP 2002141361A JP 2003330187 A JP2003330187 A JP 2003330187A
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JP
Japan
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acid
photosensitive resin
resin composition
colored photosensitive
mass
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Application number
JP2002141361A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Ichikawa
幸司 市川
Toshiya Inoue
登士哉 井上
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Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a colored photosensitive resin composition having good suitability to coating when a liquid-saving coater such as a spin coater is used. <P>SOLUTION: In the colored photosensitive resin composition comprising (A) a colorant, (B) a binder polymer, (C) a photopolymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator, and (E) a solvent, the acid value of the binder polymer (B) is 50-150, the weight average molecular weight of the polymer (expressed in terms of polystyrene) is 5,000-50,000, the polymer content is 15-26 mass% based on the solid content of the colored photosensitive resin composition, the solvent (E) is at least one selected from the group comprising propylene glycol monomethyl ether acetates and ethyl 3-ethoxypropionates and the amount of the solvent is 70-95 parts by mass based on 100 parts by mass of the colored photosensitive resin composition. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、着色感光性樹脂組
成物に関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a colored photosensitive resin composition.

【0002】[0002]

【従来の技術】着色感光性樹脂組成物は、着色剤を含有
する感光性樹脂組成物であって、カラーフィルタを構成
する着色パターンを形成するための材料として有用であ
る。ここで、カラーフィルタとは、液晶表示装置の表示
画像をカラー化するために用いられたり、固体撮像素子
により撮影される画像をカラー化するために用いられた
りする光学素子である。着色パターンとは、例えば、
赤、緑、青などの色画素、ブラックマトリックスなどで
あり、線状であったり、モザイク状であったりする。
2. Description of the Related Art A colored photosensitive resin composition is a photosensitive resin composition containing a colorant and is useful as a material for forming a colored pattern constituting a color filter. Here, the color filter is an optical element used for colorizing a display image of a liquid crystal display device or for colorizing an image captured by a solid-state image sensor. The coloring pattern is, for example,
It is a color pixel of red, green, blue, etc., a black matrix, etc., and has a line shape or a mosaic shape.

【0003】従来、ウエハーなどの被塗布基板上に着色
感光性樹脂組成物を用いて膜を形成するには、被塗布基
板の中央部付近にノズルから着色感光性樹脂組成物を滴
下したり、スリット状のノズルから被塗布基板上に着色
感光性樹脂組成物を滴下したりした後、前記基板を数百
〜数千rpmの速度で回転させて溶剤および過剰に基板
上に滴下された着色感光性樹脂組成物をはじき飛ばすス
ピンコーターを用いて、平坦な塗布膜を得ていた。しか
し、スピンコーターを用いることで、過剰に基板上に滴
下された着色感光性樹脂組成物がはじき飛ばされて着色
感光性樹脂層を形成することなく廃棄されて無駄になる
のでそれを防ぐため、および従来のスピンコーターでは
1m四方など広い面積のガラスなどの基板上に塗布する
ことが難しくなったので、スピンをさせないスピンレス
コーターなどの省液コーターが開発されてきた。省液コ
ーターのうち、スピンレスコーターは、例えば、特開2
001−62370号公報に記載されている。一方、従
来のスピンコーター用に最適化された着色感光性樹脂組
成物を省液コーターの1種であるスピンレスコーターに
適用しても、平坦性が得られにくい傾向がある。これ
は、スピンコーターでは、塗布された状態での平坦性は
あまり重要ではなくスピンによりある程度平坦性が得ら
れ、さらに大部分の溶剤がスピンにより除去されること
から加熱等により溶剤を除去する過程で、形成された層
の内部からの溶剤の除去量が少ないために平坦性が大き
くは損なわれないためである。一方、スピンレスコータ
ーでは、スピンにより溶剤を除去することがないため、
塗布の状態で平坦性の大半が決まり、さらに加熱等によ
る溶剤除去量がスピンコーターと比べて著しく多いこと
から、形成された層内部からも溶剤が除去され、結果と
して、平坦性が悪くなる傾向がある。そして、従来は着
色感光性樹脂組成物の塗布性を改良するために、レベリ
ング剤などの高分子添加剤を添加する方法が用いられて
いた。しかしながら、レベリング剤などの高分子添加剤
を添加した場合、着色感光性樹脂組成物を塗布した未乾
燥塗膜は、塗布終了直後に基板周辺部にそって形成され
た額縁部(未乾燥塗膜の厚膜部分)が基板中央に移動
し、面内均一性を損なう問題点があった。また、一般的
に着色感光性樹脂組成物において用いられるバインダー
ポリマーは、高分子であり、カルボン酸などの極性基を
保有しているため、着色感光性樹脂組成物の粘度が高く
なる傾向がある。粘度が高すぎると、基板上での着色感
光性樹脂組成物の広がりが悪く、さらに、塗布の際にム
ラが出やすいという問題があった。ところで、特願20
01−176766号には、着色感光性樹脂組成物にお
いて、バインダーポリマーと光重合性化合物との合計量
100質量部あたりのバインダーポリマーの含有量が5
5質量部以上であると、断面が順テーパー状の着色パタ
ーンを安定して形成することができることが記載されて
いる。しかし、前記した着色感光性樹脂組成物であって
も、着色感光性樹脂組成物の固形分中におけるバインダ
ーポリマーの含有量が多いと、スピンレスコーターなど
の省液コーターに用いる場合、塗布性が悪いという問題
があった。
Conventionally, in order to form a film using a colored photosensitive resin composition on a substrate to be coated such as a wafer, the colored photosensitive resin composition is dropped from a nozzle near the center of the substrate to be coated, After dropping the colored photosensitive resin composition on the substrate to be coated from a slit-shaped nozzle, the substrate is rotated at a speed of several hundreds to several thousand rpm, and the solvent and excessively dropped colored photosensitive resin on the substrate. A flat coating film was obtained using a spin coater that repels the volatile resin composition. However, by using a spin coater, the colored photosensitive resin composition dropped excessively on the substrate is thrown away and discarded without forming the colored photosensitive resin layer, so that it is wasted and prevented, and Since it has been difficult to apply a conventional spin coater on a substrate such as glass having a large area of 1 m square, a liquid-saving coater such as a spinless coater that does not spin has been developed. Among the liquid-saving coaters, the spinless coater is disclosed in
No. 001-62370. On the other hand, even if a colored photosensitive resin composition optimized for a conventional spin coater is applied to a spinless coater, which is one type of liquid-saving coater, flatness tends to be difficult to obtain. This is because in a spin coater, the flatness in the coated state is not so important and the spin provides some flatness, and most of the solvent is removed by the spin, so the process of removing the solvent by heating or the like. This is because the flatness is not significantly impaired because the amount of solvent removed from the inside of the formed layer is small. On the other hand, the spinless coater does not remove the solvent by spinning,
Most of the flatness is determined by the coating state, and the amount of solvent removed by heating etc. is significantly larger than that of the spin coater, so the solvent is also removed from the inside of the formed layer, resulting in poor flatness. There is. Then, conventionally, in order to improve the coating property of the colored photosensitive resin composition, a method of adding a polymer additive such as a leveling agent has been used. However, when a polymer additive such as a leveling agent is added, the undried coating film obtained by applying the colored photosensitive resin composition is a frame portion (undried coating film) formed along the peripheral portion of the substrate immediately after the application. The thick film portion) moves to the center of the substrate, impairing the in-plane uniformity. Moreover, since the binder polymer generally used in the colored photosensitive resin composition is a polymer and has a polar group such as carboxylic acid, the viscosity of the colored photosensitive resin composition tends to be high. . If the viscosity is too high, there is a problem that the spread of the colored photosensitive resin composition on the substrate is poor, and further, unevenness is likely to occur during coating. By the way, Japanese Patent Application 20
No. 01-176766, the content of the binder polymer is 5 per 100 parts by mass of the total amount of the binder polymer and the photopolymerizable compound in the colored photosensitive resin composition.
It is described that when it is 5 parts by mass or more, a colored pattern having a forward tapered cross section can be stably formed. However, even in the case of the colored photosensitive resin composition described above, when the content of the binder polymer in the solid content of the colored photosensitive resin composition is high, when used in a liquid-saving coater such as a spinless coater, the coating property is low. There was a problem of being bad.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、スピ
ンレスコーターなどの省液コーターを使用した際に塗布
性良好な着色感光性樹脂組成物を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a colored photosensitive resin composition having good coatability when a liquid-saving coater such as a spinless coater is used.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】そこで本発明者は、前記
課題を解決するべく鋭意検討した結果、バインダーポリ
マーの酸価、ポリスチレン換算重量平均分子量および着
色感光性樹脂組成物中の含有量が特定の範囲であり、か
つ特定の溶剤を特定量含有する着色感光性樹脂組成物が
上記した課題を解決できることを見出し、本発明に至っ
た。すなわち本発明は、(A)着色剤、(B)バインダ
ーポリマー、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始
剤および(E)溶剤を含む着色感光性樹脂組成物におい
て、(B)バインダーポリマーの酸価が50以上150
以下で、ポリスチレン換算重量平均分子量が5,000
〜50,000であり、その含有量が着色感光性樹脂組
成物の固形分中質量分率で15%〜26%であり、かつ
(E)溶剤がプロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテートおよび3−エトキシプロピオン酸エチルから
なる群から選ばれる少なくとも1種であり、前記溶剤を
着色感光性樹脂組成物100質量部中、70質量部以上
95質量部以下の量で含有する省液コーター用着色感光
性樹脂組成物、前記着色感光性樹脂組成物を、基板また
は先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からな
る層の上に塗布し、塗布された着色感光性樹脂組成物層
から揮発成分を除去し、フォトマスクを介して前記層を
露光し、現像するパターンの形成方法、前記方法で形成
されたパターンを含むカラーフィルタおよび前記カラー
フィルタを使用した液晶表示装置を提供する。
Therefore, as a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventor has determined that the acid value of the binder polymer, the polystyrene-converted weight average molecular weight, and the content in the colored photosensitive resin composition are specified. It was found that a colored photosensitive resin composition containing a specific solvent in a specific amount within the above range can solve the above-mentioned problems, and has reached the present invention. That is, the present invention provides a colored photosensitive resin composition containing (A) a colorant, (B) a binder polymer, (C) a photopolymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator, and (E) a solvent. Acid value of binder polymer is 50 or more 150
Below, the polystyrene-converted weight average molecular weight is 5,000.
To 50,000, the content thereof is 15% to 26% by mass fraction in the solid content of the colored photosensitive resin composition, and (E) the solvent is propylene glycol monomethyl ether acetate and 3-ethoxypropionic acid. A colored photosensitive resin composition for a liquid-saving coater, which is at least one selected from the group consisting of ethyl, and contains the solvent in an amount of 70 parts by mass or more and 95 parts by mass or less in 100 parts by mass of the colored photosensitive resin composition. The colored photosensitive resin composition is applied onto a substrate or a layer formed of the solid content of the colored photosensitive resin composition previously formed, and volatile components are removed from the applied colored photosensitive resin composition layer. A method for forming a pattern by exposing and developing the layer through a photomask, a color filter including the pattern formed by the method, and the color filter To provide a liquid crystal display device.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】本発明の着色感光性樹脂組成物に
用いられる(A)着色剤は、有機物である有機顔料であ
ってもよいし、無機物である無機顔料であってもよい。
中でも、耐熱性、発色性に優れていることから、有機顔
料が好ましく用いられる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The (A) colorant used in the colored photosensitive resin composition of the present invention may be an organic pigment which is an organic substance, or an inorganic pigment which is an inorganic substance.
Among them, organic pigments are preferably used because they are excellent in heat resistance and color development.

【0007】有機顔料および無機顔料として、具体的に
は、カラーインデックス(The Society of Dyers and C
olourists出版)でピグメント(Pigment)に分類されて
いる化合物が挙げられる。具体的には、例えばC.I.
ピグメントイエロー1、C.I.ピグメントイエロー
3、C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメ
ントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、
C.I.ピグメントイエロー15、C.I.ピグメント
イエロー16、C.I.ピグメントイエロー17、C.
I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメントイエ
ロー24、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.
ピグメントイエロー53、C.I.ピグメントイエロー
83、C.I.ピグメントイエロー86、C.I.ピグ
メントイエロー93、C.I.ピグメントイエロー9
4、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグ
メントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー1
17、C.I.ピグメントイエロー125、C.I.ピ
グメントイエロー128、C.I.ピグメントイエロー
137、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.
ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロ
ー147、C.I.ピグメントイエロー148、C.
I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイ
エロー153、C.I.ピグメントイエロー154、
C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピグメン
トイエロー173、C.I.ピグメントイエロー19
4、C.I.ピグメントイエロー214などの黄色顔
料、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメ
ントオレンジ31、C.I.ピグメントオレンジ36、
C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメント
オレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ42、C.
I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレ
ンジ51、C.I.ピグメントオレンジ55、C.I.
ピグメントオレンジ59、C.I.ピグメントオレンジ
61、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグ
メントオレンジ65、C.I.ピグメントオレンジ7
1、C.I.ピグメントオレンジ73などのオレンジ色
の顔料、C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメ
ントレッド97、C.I.ピグメントレッド105、
C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメント
レッド123、C.I.ピグメントレッド144、C.
I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッ
ド166、C.I.ピグメントレッド168、C.I.
ピグメントレッド176、C.I.ピグメントレッド1
77、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピグ
メントレッド192、C.I.ピグメントレッド20
9、C.I.ピグメントレッド215、C.I.ピグメ
ントレッド216、C.I.ピグメントレッド224、
C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメント
レッド254、C.I.ピグメンレッド264、C.
I.ピグメントレッド265などの赤色顔料、C.I.
ピグメントブルー15、C.I.ピグメントブルー1
5:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.
ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー
60などの青色顔料、C.I.ピグメントバイオレット
1、C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピ
グメントバイオレット23、C.I.ピグメントバイオ
レット29、C.I.ピグメントバイオレット32、
C.I.ピグメントバイオレット36、C.I.ピグメ
ントバイオレット38などのバイオレット色顔料、C.
I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリー
ン36などの緑色顔料、C.I.ピグメントブラウン2
3、C.I.ピグメントブラウン25などのブラウン色
顔料、C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメ
ントブラック7などの黒色顔料などが挙げられ、C.
I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイ
エロー139、C.I.ピグメントイエロー150、
C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメント
レッド209、C.I.ピグメントレッド254、C.
I.ピグメントレッドバイオレット23、C.I.ピグ
メントブルー15:6およびC.I.ピグメントグリー
ン36から選ばれる少なくとも一つの顔料を含有してい
ることが好ましい。
Specific examples of organic pigments and inorganic pigments include color indexes (The Society of Dyers and C
Published by olourists) include compounds that are classified as Pigment. Specifically, for example, C.I. I.
Pigment Yellow 1, C.I. I. Pigment Yellow 3, C.I. I. Pigment Yellow 12, C.I. I. Pigment Yellow 13, C.I. I. Pigment Yellow 14,
C. I. Pigment Yellow 15, C.I. I. Pigment Yellow 16, C.I. I. Pigment Yellow 17, C.I.
I. Pigment Yellow 20, C.I. I. Pigment Yellow 24, C.I. I. Pigment Yellow 31, C.I. I.
Pigment Yellow 53, C.I. I. Pigment Yellow 83, C.I. I. Pigment Yellow 86, C.I. I. Pigment Yellow 93, C.I. I. Pigment Yellow 9
4, C.I. I. Pigment Yellow 109, C.I. I. Pigment Yellow 110, C.I. I. Pigment Yellow 1
17, C.I. I. Pigment Yellow 125, C.I. I. Pigment Yellow 128, C.I. I. Pigment Yellow 137, C.I. I. Pigment Yellow 138, C.I. I.
Pigment Yellow 139, C.I. I. Pigment Yellow 147, C.I. I. Pigment Yellow 148, C.I.
I. Pigment Yellow 150, C.I. I. Pigment Yellow 153, C.I. I. Pigment Yellow 154,
C. I. Pigment Yellow 166, C.I. I. Pigment Yellow 173, C.I. I. Pigment Yellow 19
4, C.I. I. Pigment Yellow 214, a yellow pigment such as C.I. I. Pigment Orange 13, C.I. I. Pigment Orange 31, C.I. I. Pigment Orange 36,
C. I. Pigment Orange 38, C.I. I. Pigment Orange 40, C.I. I. Pigment Orange 42, C.I.
I. Pigment Orange 43, C.I. I. Pigment Orange 51, C.I. I. Pigment Orange 55, C.I. I.
Pigment Orange 59, C.I. I. Pigment Orange 61, C.I. I. Pigment Orange 64, C.I. I. Pigment Orange 65, C.I. I. Pigment Orange 7
1, C.I. I. Pigment Orange 73, an orange pigment such as C.I. I. Pigment Red 9, C.I. I. Pigment Red 97, C.I. I. Pigment Red 105,
C. I. Pigment Red 122, C.I. I. Pigment Red 123, C.I. I. Pigment Red 144, C.I.
I. Pigment Red 149, C.I. I. Pigment Red 166, C.I. I. Pigment Red 168, C.I. I.
Pigment Red 176, C.I. I. Pigment Red 1
77, C.I. I. Pigment Red 180, C.I. I. Pigment Red 192, C.I. I. Pigment Red 20
9, C.I. I. Pigment Red 215, C.I. I. Pigment Red 216, C.I. I. Pigment Red 224,
C. I. Pigment Red 242, C.I. I. Pigment Red 254, C.I. I. Pigment Red 264, C.I.
I. Pigment Red 265 and other red pigments, C.I. I.
Pigment Blue 15, C.I. I. Pigment Blue 1
5: 3, C.I. I. Pigment Blue 15: 4, C.I. I.
Pigment Blue 15: 6, C.I. I. Pigment Blue 60, a blue pigment such as C.I. I. Pigment Violet 1, C.I. I. Pigment violet 19, C.I. I. Pigment Violet 23, C.I. I. Pigment Violet 29, C.I. I. Pigment Violet 32,
C. I. Pigment Violet 36, C.I. I. Pigment Violet 38, violet color pigments such as C.I.
I. Pigment Green 7, C.I. I. Pigment Green 36, a green pigment such as C.I. I. Pigment Brown 2
3, C.I. I. Pigment Brown 25 and the like, C.I. I. Pigment Black 1, C.I. I. Pigment Black 7 and the like, and black pigments such as C.I.
I. Pigment Yellow 138, C.I. I. Pigment Yellow 139, C.I. I. Pigment Yellow 150,
C. I. Pigment Red 177, C.I. I. Pigment Red 209, C.I. I. Pigment Red 254, C.I.
I. Pigment Red Violet 23, C.I. I. Pigment Blue 15: 6 and C.I. I. Pigment Green 36 preferably contains at least one pigment.

【0008】これらの有機顔料および無機顔料は、それ
ぞれ単独で用いてもよいし、2種以上を混合して用いて
もよく、例えば、赤色画素を形成するにはC.I.ピグ
メントレッド209およびC.I.ピグメントイエロー
139を含有していることが、緑色画素を形成するには
C.I.ピグメントグリーン36ならびにC.I.ピグ
メントイエロー150およびC.I.ピグメントイエロ
ー138からなる群から選ばれる少なくとも1種を含有
していることが、青色画素を形成するには、C.I.ピ
グメントブルー15:6を含有していることがそれぞれ
好ましい。
These organic pigments and inorganic pigments may be used alone or in admixture of two or more. For example, in order to form a red pixel, C.I. I. Pigment Red 209 and C.I. I. Pigment Yellow 139 is contained in C.I. I. Pigment Green 36 and C.I. I. Pigment Yellow 150 and C.I. I. Pigment Yellow 138 contains at least one selected from the group consisting of C.I. I. Pigment Blue 15: 6 is preferably contained.

【0009】前記顔料のうち有機顔料は、必要に応じ
て、ロジン処理、酸性基または塩基性基が導入された顔
料誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物などによ
る顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる
微粒化処理、あるいは不純物を除去するための有機溶剤
や水などによる洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換
法などによる除去処理などが施されていてもよい。
Of the above pigments, the organic pigments are, if necessary, rosin treatment, surface treatment using a pigment derivative into which an acidic group or a basic group has been introduced, graft treatment on the pigment surface with a polymer compound, etc. Atomization treatment by a sulfuric acid atomization method or the like, cleaning treatment with an organic solvent or water for removing impurities, removal treatment of ionic impurities by an ion exchange method, or the like may be performed.

【0010】前記顔料の使用量は、着色感光性樹脂組成
物中の固型分を100質量部としたとき通常25質量部
以上60質量部以下であり、好ましくは27質量部以上
55質量部以下であり、さらに好ましくは30質量部以
上50質量部以下である。顔料の含有量が25質量部以
上60質量部以下であると、カラーフィルタとしたとき
の色濃度が十分であり、かつ組成物中にバインダーポリ
マーを必要量含有させることができるので、機械的強度
が十分なパターンを形成することができるため、好まし
い。
The amount of the pigment used is usually 25 parts by mass or more and 60 parts by mass or less, preferably 27 parts by mass or more and 55 parts by mass or less, when the solid content in the colored photosensitive resin composition is 100 parts by mass. And more preferably 30 parts by mass or more and 50 parts by mass or less. When the content of the pigment is 25 parts by mass or more and 60 parts by mass or less, the color density when used as a color filter is sufficient, and a necessary amount of a binder polymer can be contained in the composition, so that the mechanical strength is improved. Is preferable because it can form a sufficient pattern.

【0011】本発明で得られる着色感光性樹脂組成物
は、着色剤である顔料が均一な粒径であることが好まし
い。顔料を均一な粒径とするために、界面活性剤を顔料
分散剤として含有させて分散処理を行うことで、顔料が
溶液中で均一に分散した状態の顔料分散液を得ることが
できる。前記顔料分散剤としては、例えば、カチオン
系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤な
どが挙げられ、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合
わせて用いられる。顔料分散剤の使用量は着色剤1質量
部あたり通常1質量部以下、好ましくは0.05質量部
以上0.5質量部以下である。前記顔料分散剤の使用量
が着色剤1質量部あたり通常1質量部以下であると、均
一な粒径の顔料が得られる傾向があり、好ましい。
In the colored photosensitive resin composition obtained in the present invention, it is preferable that the pigment as a colorant has a uniform particle size. In order to make the pigment have a uniform particle diameter, a surfactant is added as a pigment dispersant and the dispersion treatment is performed, whereby a pigment dispersion liquid in which the pigment is uniformly dispersed in the solution can be obtained. Examples of the pigment dispersant include cationic, anionic, nonionic and amphoteric surfactants, which may be used alone or in combination of two or more. The amount of the pigment dispersant used is usually 1 part by mass or less, preferably 0.05 part by mass or more and 0.5 part by mass or less, per 1 part by mass of the colorant. When the amount of the pigment dispersant used is usually 1 part by mass or less per 1 part by mass of the colorant, a pigment having a uniform particle size tends to be obtained, which is preferable.

【0012】本発明において用いられる(B)バインダ
ーポリマーとしては、酸価が50以上150以下で、ポ
リスチレン換算重量平均分子量が5,000〜50,0
00であり、その含有量が着色感光性樹脂組成物の固形
分中質量分率で15%〜26%である。
The binder polymer (B) used in the present invention has an acid value of 50 or more and 150 or less and a polystyrene-equivalent weight average molecular weight of 5,000 to 50,0.
The content is 15% to 26% in terms of mass fraction in the solid content of the colored photosensitive resin composition.

【0013】本発明において用いられる(B)バインダ
ーポリマーとしては、アクリル系共重合体が使用でき、
例えば、カルボキシル基含有モノマーおよびこれと共重
合可能な他のモノマーとの共重合体などが挙げられる。
As the binder polymer (B) used in the present invention, an acrylic copolymer can be used,
Examples thereof include a carboxyl group-containing monomer and a copolymer with another monomer copolymerizable therewith.

【0014】カルボキシル基含有モノマーとしては、例
えば、不飽和モノカルボン酸や、不飽和ジカルボン酸、
不飽和トリカルボン酸などの不飽和多価カルボン酸など
の分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を有する不
飽和カルボン酸が挙げられる。ここで、不飽和モノカル
ボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、
クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸などが挙
げられる。不飽和ジカルボン酸としては、例えば、マレ
イン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコ
ン酸などが挙げられる。不飽和多価カルボン酸は、その
酸無水物、具体的には無水マレイン酸、無水イタコン
酸、無水シトラコン酸などであってもよい。また、不飽
和多価カルボン酸は、そのモノ(2−メタクリロイロキ
シアルキル)エステルであってもよく、例えば、こはく
酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、こはく酸モノ
(2−メタクリロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2
−アクリロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2−メタ
クリロイロキシエチル)などであってもよい。不飽和多
価カルボン酸は、その両末端ジカルボキシポリマーのモ
ノ(メタ)アクリレートであってもよく、例えば、ω−
カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、ω−
カルボキシポリカプロラクトンモノメタクリレートなど
であってもよい。これらのカルボキシル基含有モノマー
は、それぞれ単独でまたは2種以上を混合して用いるこ
とができる。
As the carboxyl group-containing monomer, for example, unsaturated monocarboxylic acid, unsaturated dicarboxylic acid,
Unsaturated carboxylic acids having at least one carboxyl group in the molecule such as unsaturated polycarboxylic acids such as unsaturated tricarboxylic acids can be mentioned. Here, as the unsaturated monocarboxylic acid, for example, acrylic acid, methacrylic acid,
Examples thereof include crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid and the like. Examples of unsaturated dicarboxylic acids include maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, citraconic acid, mesaconic acid and the like. The unsaturated polycarboxylic acid may be an acid anhydride thereof, specifically maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, or the like. Further, the unsaturated polyvalent carboxylic acid may be its mono (2-methacryloyloxyalkyl) ester, and examples thereof include succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) and succinic acid mono (2-methacryloyloxy). Ethyl), mono phthalate (2
-Acryloyloxyethyl), mono (2-methacryloyloxyethyl) phthalate, and the like. The unsaturated polycarboxylic acid may be a mono (meth) acrylate of its both-end dicarboxy polymer, for example, ω-
Carboxypolycaprolactone monoacrylate, ω-
It may be carboxypolycaprolactone monomethacrylate or the like. These carboxyl group-containing monomers can be used alone or in admixture of two or more.

【0015】前記カルボキシル基含有モノマーと共重合
可能な他のモノマーとしては、例えば、スチレン、α−
メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトル
エン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−
メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキ
シスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−
ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメ
チルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテ
ル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニ
ルベンジルグリシジルエーテル、インデンなどの芳香族
ビニル化合物、メチルアクリレート、メチルメタクリレ
ート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n
−プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレー
ト、i−プロピルアクリレート、i−プロピルメタクリ
レート、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタクリ
レート、i−ブチルアクリレート、i−ブチルメタクリ
レート、sec−ブチルアクリレート、sec−ブチル
メタクリレート、t−ブチルアクリレート、t−ブチル
メタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、
2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシ
プロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタク
リレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−
ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシブ
チルアクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレー
ト、3−ヒドロキシブチルアクリレート、3−ヒドロキ
シブチルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリ
レート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリル
アクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリ
レート、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアク
リレート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルア
クリレート、フェニルメタクリレート、2−メトキシエ
チルアクリレート、2−メトキシエチルメタクリレー
ト、2−フェノキシエチルアクリレート、2−フェノキ
シエチルメタクリレート、メトキシジエチレングリコー
ルアクリレート、メトキシジエチレングリコールメタク
リレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレー
ト、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、
メトキシプロピレングリコールアクリレート、メトキシ
プロピレングリコールメタクリレート、メトキシジプロ
ピレングリコールアクリレート、メトキシジプロピレン
グリコールメタクリレート、イソボルニルアクリレー
ト、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエ
ニルアクリレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレ
ート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリ
レート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルメタ
クリレート、グリセロールモノアクリレート、グリセロ
ールモノメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステ
ル類、2−アミノエチルアクリレート、2−アミノエチ
ルメタクリレート、2−ジメチルアミノエチルアクリレ
ート、2−ジメチルアミノエチルメタクリレート、2−
アミノプロピルアクリレート、2−アミノプロピルメタ
クリレート、2−ジメチルアミノプロピルアクリレー
ト、2−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、3−
アミノプロピルアクリレート、3−アミノプロピルメタ
クリレート、3−ジメチルアミノプロピルアクリレー
ト、3−ジメチルアミノプロピルメタクリレートなどの
不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、グリシジ
ルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽
和カルボン酸グリシジルエステル類、酢酸ビニル、プロ
ピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルなどのカ
ルボン酸ビニルエステル類、ビニルメチルエーテル、ビ
ニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテルなどの
不飽和エーテル類、アクリロニトリル、メタクリロニト
リル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデ
ンなどのシアン化ビニル化合物、アクリルアミド、メタ
クリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒ
ドロキシエチルアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエ
チルメタクリルアミドなどの不飽和アミド類、マレイミ
ド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレ
イミドなどの不飽和イミド類、1,3−ブタジエン、イ
ソプレン、クロロプレンなどの脂肪族共役ジエン類、ポ
リスチレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタ
クリレート、ポリ−n−ブチルアクリレート、ポリ−n
−ブチルメタクリレート、ポリシロキサンの重合体分子
鎖の末端にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロ
イル基を有するマクロモノマー類などを挙げることがで
きる。これらのモノマーは、それぞれ単独でまたは2種
以上を混合して使用することができる。
Examples of the other monomer copolymerizable with the carboxyl group-containing monomer include styrene and α-
Methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-
Methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylbenzyl methyl ether, m-
Aromatic vinyl compounds such as vinylbenzyl methyl ether, p-vinylbenzyl methyl ether, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether, indene, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, Ethyl methacrylate, n
-Propyl acrylate, n-propyl methacrylate, i-propyl acrylate, i-propyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, i-butyl acrylate, i-butyl methacrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, t -Butyl acrylate, t-butyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate,
2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 3-
Hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxybutyl methacrylate, 3-hydroxybutyl acrylate, 3-hydroxybutyl methacrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate, allyl acrylate, allyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl Methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, phenyl acrylate, phenyl methacrylate, 2-methoxyethyl acrylate, 2-methoxyethyl methacrylate, 2-phenoxyethyl acrylate, 2-phenoxyethyl methacrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxy Triethylene glycol acrylate, methoxy triethylene glycol dimethacrylate,
Methoxypropylene glycol acrylate, methoxypropylene glycol methacrylate, methoxydipropylene glycol acrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, isobornyl acrylate, isobornyl methacrylate, dicyclopentadienyl acrylate, dicyclopentadienyl methacrylate, 2-hydroxy- Unsaturated carboxylic acid esters such as 3-phenoxypropyl acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl methacrylate, glycerol monoacrylate, glycerol monomethacrylate, 2-aminoethyl acrylate, 2-aminoethyl methacrylate, 2-dimethylaminoethyl acrylate , 2-dimethylaminoethyl methacrylate, 2-
Aminopropyl acrylate, 2-aminopropyl methacrylate, 2-dimethylaminopropyl acrylate, 2-dimethylaminopropyl methacrylate, 3-
Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters such as aminopropyl acrylate, 3-aminopropyl methacrylate, 3-dimethylaminopropyl acrylate and 3-dimethylaminopropyl methacrylate, unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate, acetic acid Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl, vinyl propionate, vinyl butyrate and vinyl benzoate, unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether and allyl glycidyl ether, acrylonitrile, methacrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, cyan Vinyl cyanide compounds such as vinylidene chloride, acrylamide, methacrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl acrylate Lamide, unsaturated amides such as N-2-hydroxyethylmethacrylamide, maleimide, N-phenylmaleimide, unsaturated imides such as N-cyclohexylmaleimide, and aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene and chloroprene Class, polystyrene, polymethyl acrylate, polymethyl methacrylate, poly-n-butyl acrylate, poly-n
Examples include macromonomers having a monoacryloyl group or a monomethacryloyl group at the terminal of the polymer molecular chain of -butyl methacrylate and polysiloxane. These monomers can be used alone or in admixture of two or more.

【0016】前記共重合体におけるカルボキシル基含有
モノマー単位の含有量は、質量分率で通常10〜50質
量%、好ましくは15〜40質量%、とりわけ好ましく
は25〜40質量%である。前記した、カルボキシル基
含有モノマー単位の含有量が、10〜50質量%である
と、現像液に対する溶解性が良好であり、現像時にパタ
ーンが正確に形成される傾向があり、好ましい。本発明
で用いられる(B)バインダーポリマーの酸価は、通常
50〜150であり、好ましくは60〜140、とりわ
け好ましくは80〜135である。前記した酸価が、5
0〜150であると、現像液に対する溶解性が向上して
未露光部が溶解しやすくなり、また高感度化して現像時
に露光部のパターンが残って残膜率が向上する傾向があ
り、好ましい。ここで酸価はアクリル系重合体1gを中
和するに必要な水酸化カリウムの量(mg)として測定
される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて
滴定することにより求めることができる。前記アクリル
系重合体としては、例えば、(メタ)アクリル酸/メチ
ル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸
/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)ア
クリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート
/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)ア
クリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリスチレン
マクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル
(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレー
トマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/ベン
ジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマ
ー共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)ア
クリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモ
ノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシ
エチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリ
レート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリ
レート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル
(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレ
ート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アク
リル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)
/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェ
ニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく
酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチレン/ア
リル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共
重合体(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレ
ート/N−フェニルマレイミド/スチレン/グリセロー
ルモノ(メタ)アクリレート共重合体などが挙げられ
る。なお、(メタ)アクリレートとは、アクリレートま
たはメタクリレートであることを示す。
The content of the carboxyl group-containing monomer unit in the above copolymer is usually 10 to 50% by mass, preferably 15 to 40% by mass, particularly preferably 25 to 40% by mass. When the content of the carboxyl group-containing monomer unit is 10 to 50% by mass, the solubility in the developing solution is good and the pattern tends to be accurately formed during development, which is preferable. The acid value of the (B) binder polymer used in the present invention is usually 50 to 150, preferably 60 to 140, and particularly preferably 80 to 135. The acid value is 5
When it is from 0 to 150, the solubility in a developing solution is improved and the unexposed area is more likely to be dissolved, and the pattern of the exposed area remains during development due to higher sensitivity, and the residual film rate tends to be improved, which is preferable. . Here, the acid value is a value measured as the amount (mg) of potassium hydroxide necessary to neutralize 1 g of the acrylic polymer, and can be usually obtained by titration with an aqueous potassium hydroxide solution. . Examples of the acrylic polymer include (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl. (Meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate Macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate macromonomer copolymer, (meth ) Acrylic acid / 2-hydroxyethyl (Meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate macromonomer copolymer, (Meth) acrylic acid / styrene / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer, (meth) acrylic acid / succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl)
/ Styrene / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer, (meth) acrylic acid / mono (2-acryloyloxyethyl) succinate / styrene / allyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer Examples thereof include (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide / styrene / glycerol mono (meth) acrylate copolymer. In addition, (meth) acrylate shows that it is an acrylate or a methacrylate.

【0017】中でも(メタ)アクリル酸/ベンジル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/ベン
ジル(メタ)アクリレート/スチレン共重合体、(メ
タ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート共重合
体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート
/スチレン共重合体などが好ましい。
Among them, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / styrene copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymer , (Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / styrene copolymer and the like are preferable.

【0018】前記アクリル系重合体は、そのポリスチレ
ン換算重量平均分子量は、通常5,000〜50,00
0であり、好ましくは8,000〜4,000の範囲で
あり、とりわけ好ましくは10,000〜35,000
である。分子量が5,000〜50,000であると、
塗膜硬度が向上し、残膜率も高く、未露光部の現像液に
対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にあり、
好ましい。前記バインダーポリマーは、着色感光性樹脂
組成物の固形分に対して質量分率で通常5質量%以上2
6質量%以下、好ましくは10質量%以上26質量%以
下、とりわけ好ましくは15質量%以上26質量%以下
の範囲で用いられる。前記した、バインダーポリマーの
含有量が、5質量%以上26質量%以下であると、パタ
ーンが形成でき、また解像度および残膜率が向上する傾
向にあり好ましい。
The polystyrene-based weight average molecular weight of the acrylic polymer is usually 5,000 to 50,000.
0, preferably in the range of 8,000 to 4,000, particularly preferably 10,000 to 35,000.
Is. When the molecular weight is 5,000 to 50,000,
The coating film hardness is improved, the residual film ratio is also high, the solubility of the unexposed area in the developer is good, and the resolution tends to be improved.
preferable. The binder polymer is usually 5% by mass or more and 2% by mass based on the solid content of the colored photosensitive resin composition.
It is used in an amount of 6 mass% or less, preferably 10 mass% or more and 26 mass% or less, and particularly preferably 15 mass% or more and 26 mass% or less. When the content of the binder polymer is 5% by mass or more and 26% by mass or less, a pattern can be formed, and the resolution and the residual film rate tend to be improved, which is preferable.

【0019】本発明において用いられる(C)光重合性
化合物は、光を照射されることによって光重合開始剤か
ら発生した活性ラジカル、酸などによって重合しうる化
合物であって、例えば、重合性の炭素−炭素不飽和結合
を有する化合物などが挙げられる。
The (C) photopolymerizable compound used in the present invention is a compound which can be polymerized by an active radical generated from a photopolymerization initiator upon irradiation with light, an acid or the like. The compound etc. which have a carbon-carbon unsaturated bond are mentioned.

【0020】前記光重合性化合物は、3官能以上の多官
能の光重合性化合物であることが好ましい。3官能以上
の多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエ
リスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトール
トリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアク
リレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペ
ンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。前記光重
合性化合物は、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合
わせて用いられ、その含有量は着色感光性樹脂組成物の
質量分率で通常5質量%以上90質量%以下、好ましく
は10質量%以上80質量%以下、とりわけ好ましくは
20質量%以上70質量%以下の範囲で用いられる。前
記した、光重合性化合物の含有量が、5質量%以上90
質量%以下であると、硬化が十分におこり残膜率が向上
し、好ましい。
The photopolymerizable compound is preferably a trifunctional or higher-functional polyfunctional photopolymerizable compound. Examples of the trifunctional or higher polyfunctional photopolymerizable compound include pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, and dipentaerythritol. Examples thereof include erythritol hexaacrylate and dipentaerythritol hexamethacrylate. The photopolymerizable compounds are used alone or in combination of two or more, and the content thereof is usually 5% by mass or more and 90% by mass or less, preferably 10% by mass in mass fraction of the colored photosensitive resin composition. It is used in the range of not less than 80% by mass and particularly preferably not less than 20% by mass and not more than 70% by mass. The content of the photopolymerizable compound described above is 5% by mass or more and 90%.
When the content is at most% by mass, curing will occur sufficiently and the residual film rate will be improved, which is preferable.

【0021】本発明において用いられる(D)光重合開
始剤は、アセトフェノン系化合物、トリアジン系化合
物、イミダゾール系化合物の少なくても1種を含む。ア
セトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシア
セトフェノン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4
−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン、2−ヒド
ロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オ
ン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−2−
メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニ
ル〕プロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシ
ルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−
〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−
オンのオリゴマーなどが挙げられ、好ましくは2−メチ
ル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)
プロパン−1−オンなどが挙げられる。また、複数のア
セトフェノン系およびその他の光重合開始剤を組み合わ
せて使用してもよい。アセトフェノン系以外の光重合開
始剤は、光を照射されることによって活性ラジカルを発
生する活性ラジカル発生剤、増感剤などが挙げられる。
ビイミダゾール化合物としては、2,2′−ビス(o−
クロロフェニル)−4,4′,5,5′−テトラフェニ
ルビイミダゾール、2,2′−ビス(o−クロロフェニ
ル)−4,4′,5,5′−テトラ(p−カルボエトキ
シフェニル)ビイミダゾール、2,2′−ビス(o−ク
ロロフェニル)−4,4′,5,5′−テトラ(p−ブ
ロモフェニル)ビイミダゾール、2,2′−ビス(o−
クロロフェニル)−4,4′,5,5′−テトラ(o,
p−ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2′−ビ
ス(o−ブロモフェニル)−4,4′,5,5′−テト
ラフェニルビイミダゾール、2,2′−ビス(o,p−
ジクロロフェニル)−4,4′,5,5′−テトラフェ
ニルビイミダゾール、2,2′−ビス(o−クロロフェ
ニル)−4,4′,5,5′−テトラ(m−メトキシフ
ェニル)ビイミダゾール、2,2′−ビス(o,o′−
ジクロロフェニル)−4,4′,5,5′−テトラフェ
ニルビイミダゾール、2,2′−ビス(o−ニトロフェ
ニル)−4,4′,5,5′−テトラフェニルビイミダ
ゾール、2,2′−ビス(o−メチルフェニル)−4,
4′,5,5′−テトラフェニルビイミダゾール等が挙
げられる。活性ラジカル発生剤としては、例えば、ベン
ゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサン
トン系化合物、トリアジン系化合物などが挙げられる。
The photopolymerization initiator (D) used in the present invention contains at least one of an acetophenone compound, a triazine compound and an imidazole compound. Examples of the acetophenone-based compound include diethoxyacetophenone and 2-methyl-2-morpholino-1- (4
-Methylthiophenyl) propan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethylketal, 2-hydroxy-2-
Methyl-1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-
[4- (1-methylvinyl) phenyl] propane-1-
Examples thereof include on-oligomers, preferably 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl).
Propan-1-one and the like can be mentioned. Also, a plurality of acetophenone-based and other photopolymerization initiators may be used in combination. Examples of the photopolymerization initiator other than the acetophenone-based initiator include active radical generators and sensitizers that generate active radicals when irradiated with light.
As the biimidazole compound, 2,2'-bis (o-
Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (p-carboethoxyphenyl) biimidazole , 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (p-bromophenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o-
Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (o,
p-dichlorophenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o, p-
Dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (m-methoxyphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o, o'-
Dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-nitrophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2 ' -Bis (o-methylphenyl) -4,
4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole and the like can be mentioned. Examples of the active radical generator include benzoin compounds, benzophenone compounds, thioxanthone compounds, and triazine compounds.

【0022】ベンゾイン系化合物としては、例えば、ベ
ンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチ
ルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾ
インイソブチルエーテルなどが挙げられる。
Examples of the benzoin compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether and the like.

【0023】ベンゾフェノン系化合物としては、例え
ば、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、
4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−
メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’−
テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェ
ノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなどが挙
げられる。
Examples of the benzophenone compound include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate,
4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4'-
Methyldiphenyl sulfide, 3,3 ', 4,4'-
Examples thereof include tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone and 2,4,6-trimethylbenzophenone.

【0024】チオキサントン系化合物としては、例え
ば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピ
ルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、
2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プ
ロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
Examples of thioxanthone compounds include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone,
2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone and the like can be mentioned.

【0025】トリアジン系化合物としては、例えば、
2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキ
シフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス
(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)
−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロ
メチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5
−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6
−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−
1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメ
チル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−
1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメ
チル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチル
フェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,
4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−
ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリア
ジンなどが挙げられる。
Examples of triazine compounds include:
2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxynaphthyl)
-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl) -1,3,5
-Triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6
-[2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl]-
1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl]-
1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,
4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (3,4-
And dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine.

【0026】活性ラジカル発生剤として、例えば、2,
4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオ
キサイド、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2
−エチルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナ
ンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキ
シル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもで
きる。
As the active radical generator, for example, 2,
4,6-Trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,2'-bis (o-chlorophenyl)-
4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 10-butyl-2-chloroacridone, 2
-Ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methyl phenylglyoxylate, titanocene compounds and the like can also be used.

【0027】酸発生剤としては、例えば、4−ヒドロキ
シフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナ
ート、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘ
キサフルオロアンチモネート、4−アセトキシフェニル
ジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−
アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘ
キサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウ
ムp−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウ
ムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニ
ウムp−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウ
ムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類
や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレー
ト類などを挙げることができる。
Examples of the acid generator include 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate and 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate.
Onium salts such as acetoxyphenyl methyl benzylsulfonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium p-toluenesulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium p-toluenesulfonate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate, and nitro. Benzyl tosylate, benzoin tosylate, etc. can be mentioned.

【0028】また、活性ラジカル発生剤として上記した
化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化
合物もあり、例えば、トリアジン系光重合開始剤は、酸
発生剤としても使用される。
Further, among the above-mentioned compounds as the active radical generator, there are also compounds which generate an acid at the same time as the active radical. For example, a triazine photopolymerization initiator is also used as the acid generator.

【0029】(D)光重合開始剤の含有量は、(B)バ
インダーポリマーおよび(C)光重合性化合物の合計量
100質量部に対して通常0.1質量部以上20質量部
以下、好ましくは1質量部以上15質量部以下である。
光重合開始剤の含有量が0.1質量部以上20質量部以
下であると、高感度化して露光時間が短縮され生産性が
向上し、また高感度過ぎて解像度が不良にならない傾向
があり、好ましい。
The content of the (D) photopolymerization initiator is usually 0.1 part by mass or more and 20 parts by mass or less, preferably 100 parts by mass of the total amount of the (B) binder polymer and (C) photopolymerizable compound. Is 1 part by mass or more and 15 parts by mass or less.
When the content of the photopolymerization initiator is 0.1 part by mass or more and 20 parts by mass or less, the sensitivity is increased, the exposure time is shortened, the productivity is improved, and the sensitivity is too high, and the resolution tends not to be poor. ,preferable.

【0030】本発明においては、光重合開始助剤を用い
てもよい。光重合開始助剤は、光重合開始剤と組み合わ
せて用いられことがあり、光重合開始剤によって重合が
開始された光重合性化合物の重合を促進するために用い
られる化合物である。光重合開始助剤としては、アミン
系化合物、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサ
ントン系化合物などが挙げられる。アミン系化合物とし
ては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノ
ールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチ
ルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸
エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息
香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安
息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトル
イジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェ
ノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエ
チルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチル
メチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも
4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好
ましい。
In the present invention, a photopolymerization initiation auxiliary agent may be used. The photopolymerization initiation aid is a compound that is sometimes used in combination with the photopolymerization initiator and is used for promoting the polymerization of the photopolymerizable compound whose polymerization is initiated by the photopolymerization initiator. Examples of the photopolymerization initiation aid include amine compounds, alkoxyanthracene compounds, and thioxanthone compounds. Examples of the amine compound include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, and 2-dimethylaminoethyl benzoate. 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly called Michler's ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4 ′ -Bis (ethylmethylamino) benzophenone and the like can be mentioned, and among them, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is preferable.

【0031】アルコキシアントラセン系化合物として
は、例えば、9,10−ジメトキシアントラセン、2−
エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10
−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジ
エトキシアントラセンなどが挙げられる。
Examples of the alkoxyanthracene compounds include 9,10-dimethoxyanthracene and 2-
Ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10
-Diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene and the like can be mentioned.

【0032】チオキサントン系化合物としては、例え
ば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピ
ルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、
2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プ
ロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
Examples of the thioxanthone compounds include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone,
2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone and the like can be mentioned.

【0033】光重合開始助剤は、単独でも複数を組み合
わせて使用しても差し支えない。また、光重合開始助剤
として市販のものを用いることもでき、市販の光重合開
始助剤としては、例えば、商品名「EAB−F」(保土
谷化学工業(株)製)などが挙げれる。
The photopolymerization initiation aid may be used alone or in combination of two or more. Further, a commercially available photopolymerization initiation aid can be used, and examples of the commercially available photopolymerization initiation aid include trade name "EAB-F" (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.). .

【0034】本発明の着色感光性樹脂組成物における光
重合開始剤および光重合開始助剤の組み合わせとして
は、ジエトキシアセトフェノン/4,4’−ビス(ジエ
チルアミノ)ベンゾフェノン、2−メチル−2−モルホ
リノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−
オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパ
ン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベン
ゾフェノン、ベンジルジメチルケタール/4,4’−ビ
ス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ
−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)
フェニル〕プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエ
チルアミノ)ベンゾフェノン、1−ヒドロキシシクロヘ
キシルフェニルケトン/4,4’−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1
−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1
−オンのオリゴマー/4,4’−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミ
ノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン
/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンの
組み合わせなどが挙げられ、好ましくは2−メチル−2
−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパ
ン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベン
ゾフェノンの組み合わせが挙げられる。
As the combination of the photopolymerization initiator and the photopolymerization initiation assistant in the colored photosensitive resin composition of the present invention, diethoxyacetophenone / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone and 2-methyl-2-morpholino are used. -1- (4-methylthiophenyl) propane-1-
On / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, benzyldimethylketal / 4,4'- Bis (diethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2-hydroxyethoxy)
Phenyl] propan-1-one / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1
-[4- (1-Methylvinyl) phenyl] propane-1
-One oligomer / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone And the like, and preferably 2-methyl-2
A combination of -morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone.

【0035】これらの光重合開始助剤を用いる場合、そ
の使用量は、光重合開始剤1モルあたり通常10モル以
下、好ましくは0.01モル以上5モル以下である。
When these photopolymerization initiation aids are used, the amount used is usually 10 mol or less, preferably 0.01 mol or more and 5 mol or less, per mol of the photopolymerization initiator.

【0036】本発明で用いられる(E)溶剤としては、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートお
よび3−エトキシプロピオン酸エチルからなる群から選
ばれる少なくとも1種であり、前記溶剤を着色感光性樹
脂組成物100質量部中、70質量部以上95質量部以
下の量で含有する。
As the solvent (E) used in the present invention,
It is at least one kind selected from the group consisting of propylene glycol monomethyl ether acetate and ethyl 3-ethoxypropionate, and contains the solvent in an amount of 70 parts by mass or more and 95 parts by mass or less in 100 parts by mass of the colored photosensitive resin composition. To do.

【0037】溶剤として、前記した溶剤とその他の溶剤
を混合しても差し支えない。前記した溶剤と、その他の
溶剤とを併用する場合、その混合比率は、質量分率で全
溶剤の使用量に対して、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテートおよび3−エトキシプロピオン酸
エチルからなる群から選ばれる少なくとも1種が通常5
0〜100質量であり、好ましくは60から100%で
ある。プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ートおよび3−エトキシプロピオン酸エチルからなる群
から選ばれる少なくとも1種の溶剤が、全溶剤に対し
て、質量分率で50〜100質量%であると、平坦性が
良好になる傾向にあり、好ましい。その他の溶剤として
は、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン
類、アルコール類、エステル類、アミド類などが挙げら
れる。
As the solvent, the above-mentioned solvent may be mixed with another solvent. When the above-mentioned solvent and other solvent are used in combination, the mixing ratio thereof is selected from the group consisting of propylene glycol monomethyl ether acetate and ethyl 3-ethoxypropionate with respect to the amount of all the solvents used in mass fraction. At least one is usually 5
It is from 0 to 100 mass, preferably from 60 to 100%. When at least one solvent selected from the group consisting of propylene glycol monomethyl ether acetate and ethyl 3-ethoxypropionate has a mass fraction of 50 to 100 mass% with respect to all the solvents, the flatness is improved. It tends to be preferable. Examples of the other solvent include ethers, aromatic hydrocarbons, ketones, alcohols, esters, amides and the like.

【0038】エーテル類としては、例えば、テトラヒド
ロフラン、テトラヒドロピラン、1,4−ジオキサン、
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリ
コールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプ
ロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチ
レングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコ
ールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチ
ルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、
ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレン
グリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモ
ノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモ
ノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセ
テート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビト
ールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロ
ピレングリコールメチルエーテルアセテート、メトキシ
ブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、アニ
ソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げら
れる。芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、
トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。ケ
トン類としては、例えば、アセトン、2−ブタノン、2
−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプタノン、4−
メチル−2−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘ
キサノンなどが挙げられる。アルコール類としては、例
えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノ
ール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレング
リコール、グリセリンなどが挙げられる。エステル類と
しては、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸
イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブ
チル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エ
チル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、
乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オ
キシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エ
チル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エト
キシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−
オキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸
メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキ
シプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチ
ル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピ
オン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−
メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン
酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エ
トキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸
エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、
2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メト
キシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−
2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピ
ルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチ
ル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2
−オキソブタン酸エチル、3−メトキシブチルアセテー
ト、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、γ−
ブチロラクトンなどが挙げられる。アミド類としては、
例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメ
チルアセトアミドなどが挙げられる。その他の溶剤とし
ては、例えば、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホ
オキシドなどが挙げられる。上記した溶剤の中でも、3
−エトキシプロピオン酸エチル、プロピレングリコール
モノメチルエーテルアセテートが好ましく用いられる。
前記した溶剤は、それぞれ単独でまたは2種類以上を組
み合わせて用いることができ、その着色感光性樹脂組成
物における含有量は、質量分率で通常70質量%以上9
5質量%以下、好ましくは75質量%以上90質量%以
下となる程度である。溶剤の含有量が70質量%より低
いと、固形分が高いため、塗布時の平坦性が悪くなる傾
向があり、一方、90質量%より高いと、カラーフィル
タを形成した際に色濃度が不足して表示特性が悪くなる
傾向があり、好ましくない。
Examples of ethers include tetrahydrofuran, tetrahydropyran, 1,4-dioxane,
Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether,
Diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl Examples thereof include ether acetate, methoxybutyl acetate, methoxypentyl acetate, anisole, phenetole, and methylanisole. Examples of aromatic hydrocarbons include benzene and
Toluene, xylene, mesitylene, etc. may be mentioned. Examples of ketones include acetone, 2-butanone, and 2
-Heptanone, 3-heptanone, 4-heptanone, 4-
Methyl-2-pentanone, cyclopentanone, cyclohexanone and the like can be mentioned. Examples of alcohols include methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, and glycerin. Examples of the esters include ethyl acetate, -n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, methyl lactate,
Ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-oxypropionate, 3-
Ethyl oxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, 2-oxy Propyl propionate, 2-
Methyl methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate,
Ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, 2-ethoxy-
Ethyl 2-methylpropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, 2
-Ethyl oxobutanoate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, γ-
Examples include butyrolactone. As amides,
For example, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide and the like can be mentioned. Examples of the other solvent include N-methylpyrrolidone and dimethyl sulfoxide. Among the above solvents, 3
-Ethyl ethoxypropionate and propylene glycol monomethyl ether acetate are preferably used.
The above-mentioned solvents may be used alone or in combination of two or more, and the content thereof in the colored photosensitive resin composition is usually 70% by mass or more and 9% by mass or more.
It is 5 mass% or less, preferably 75 mass% or more and 90 mass% or less. When the content of the solvent is lower than 70% by mass, the solid content is high, so that the flatness during coating tends to be poor. On the other hand, when it is higher than 90% by mass, the color density is insufficient when a color filter is formed. Then, the display characteristics tend to deteriorate, which is not preferable.

【0039】本発明の着色感光性樹脂組成物は、界面活
性剤、充填剤、バインダーポリマー以外の高分子化合
物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止
剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などの添加剤を
含有していてもよい。
The colored photosensitive resin composition of the present invention comprises a surfactant, a filler, a polymer compound other than a binder polymer, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an anti-agglomeration agent, an organic acid and an organic amino acid. It may contain additives such as compounds and curing agents.

【0040】界面活性剤としては、シリコーン系界面活
性剤、フッ素系界面活性剤およびフッ素原子を有するシ
リコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくと
も1種を用いることができる。シリコーン系界面活性剤
としては、トーレシリコーンDC3PA、同SH7P
A、同DC11PA、同SH21PA、同SH28P
A、同29SHPA、同SH30PA、ポリエーテル変
性シリコンオイルSH8400(商品名:トーレシリコ
ーン(株)製)、KP321、KP322、KP32
3、KP324、KP326、KP340、KP341
(信越シリコーン製)、TSF400、TSF401、
TSF410、TSF4300、TSF4440、TS
F4445、TSF−4446、TSF4452、TS
F4460(ジーイー東芝シリコーン(株)製)などが
挙げられる。フッ素系界面活性剤としてはフロリナート
(登録商標)FC430、同FC431(住友スリーエ
ム(株)製)、メガファック(登録商標)F142D、
同F171、同F172、同F173、同F177、同
F183、同R30(大日本インキ化学工業(株)
製)、エフトップ(登録商標)EF301、同EF30
3、同EF351、同EF352(新秋田化成(株)
製)、サーフロン(登録商標)S381、同S382、
同SC101、同SC105(旭硝子(株)製)、E5
844((株)ダイキンファインケミカル研究所製)、
BM−1000、BM−1100(いずれも商品名:B
M Chemie社製)などがあげられる。フッ素原子
を有するシリコーン系界面活性剤としては、メガファッ
ク(登録商標)R08、同BL20、同F475、同F
477、同F443(大日本インキ化学工業(株)製)
などがあげられる。これらの界面活性剤は、単独でまた
は2種類以上を組み合わせて用いることができる。これ
らの界面活性剤は、(F)界面活性剤を除く着色感光性
樹脂組成物100質量部に対して、0.6質量部以下、
好ましくは0.001質量部以上0.5質量部の範囲で
使用される。界面活性剤の含有量が0.6質量部以下で
あると、平坦性がよくなる傾向があり、好ましい。
As the surfactant, at least one selected from the group consisting of silicone-based surfactants, fluorine-based surfactants and silicone-based surfactants having a fluorine atom can be used. Silicone-based surfactants include Toray Silicone DC3PA and SH7P
A, same DC11PA, same SH21PA, same SH28P
A, 29SHPA, SH30PA, polyether modified silicone oil SH8400 (trade name: manufactured by Toray Silicone Co., Ltd.), KP321, KP322, KP32.
3, KP324, KP326, KP340, KP341
(Made by Shin-Etsu Silicone), TSF400, TSF401,
TSF410, TSF4300, TSF4440, TS
F4445, TSF-4446, TSF4452, TS
F4460 (manufactured by GE Toshiba Silicones Co., Ltd.) and the like. As the fluorine-based surfactant, Fluorinert (registered trademark) FC430, FC431 (Sumitomo 3M Limited), Megafac (registered trademark) F142D,
F171, F172, F173, F177, F183, R30 (Dainippon Ink and Chemicals, Inc.)
Manufactured), F-top (registered trademark) EF301, EF30
3, EF351, EF352 (Shin-Akita Kasei Co., Ltd.)
Manufactured), Surflon (registered trademark) S381, S382,
SC101, SC105 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), E5
844 (manufactured by Daikin Fine Chemicals Co., Ltd.),
BM-1000, BM-1100 (Both are brand names: B
M Chemie) and the like. Examples of silicone-based surfactants having a fluorine atom include Megafac (registered trademark) R08, BL20, F475 and F475.
477, F443 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.)
And so on. These surfactants can be used alone or in combination of two or more kinds. These surfactants are 0.6 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the colored photosensitive resin composition excluding the surfactant (F),
It is preferably used in the range of 0.001 part by mass or more and 0.5 part by mass or more. When the content of the surfactant is 0.6 part by mass or less, flatness tends to be improved, which is preferable.

【0041】充填剤としては、例えば、ガラス、アルミ
ナなどの微粒子が挙げられる。
Examples of the filler include fine particles such as glass and alumina.

【0042】バインダーポリマー以外の高分子化合物と
しては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリアクリル
酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポ
リフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。
Examples of the polymer compound other than the binder polymer include polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, polyfluoroalkyl acrylate and the like.

【0043】密着促進剤としては、例えば、ビニルトリ
メトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルト
リス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミ
ノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラ
ン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルト
リメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシ
ラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、
3−グリシドキシメチルジメトキシシラン、2−(3,
4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラ
ン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−
クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキ
シプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピ
ルトリメトキシシランなどが挙げられる。
As the adhesion promoter, for example, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- ( 2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane,
3-glycidoxymethyldimethoxysilane, 2- (3,
4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-
Examples thereof include chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane.

【0044】酸化防止剤としては、例えば、4,4’−
チオビス(6−t−ブチル−3−メチルフェノール)、
2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルフェノールなどが
挙げられる。
Examples of the antioxidant include 4,4'-
Thiobis (6-t-butyl-3-methylphenol),
2,6-di-t-butyl-4-methylphenol and the like can be mentioned.

【0045】紫外線吸収剤としては、例えば、2−(2
−ヒドロキシ−3−t−ブチル−5−メチルフェニル)
−5−クロロベンゾトリアゾールなどのベンゾトリアゾ
ール系、2−ヒドロキシ−4−オクチルオキシベンゾフ
ェノンなどのベンゾフェノン系、2,4−ジ−t−ブチ
ルフェニル−3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシ
ベンゾエートなどのベンゾエート系、2−(4,6−ジ
フェニル−1,3,5−トリアジン−2−イル)−5−
ヘキシルオキシフェノールなどのトリアジン系などが挙
げられる。
Examples of the ultraviolet absorber include 2- (2
-Hydroxy-3-t-butyl-5-methylphenyl)
Benzotriazoles such as -5-chlorobenzotriazole, benzophenones such as 2-hydroxy-4-octyloxybenzophenone, 2,4-di-t-butylphenyl-3,5-di-t-butyl-4-hydroxy Benzoate-based such as benzoate, 2- (4,6-diphenyl-1,3,5-triazin-2-yl) -5-
Examples include triazine compounds such as hexyloxyphenol.

【0046】凝集防止剤としては、例えば、ポリアクリ
ル酸ナトリウムなどが挙げられる。
Examples of the anticoagulant include sodium polyacrylate and the like.

【0047】有機酸としては、例えば、蟻酸、酢酸、プ
ロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジ
エチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノ
カルボン酸類、しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタ
ル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライ
ン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチ
ルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テト
ラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタ
コン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコ
ン酸などの脂肪族ジカルボン酸類、トリカルバリル酸、
アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン
酸類、安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、
メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類、フタル
酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボ
ン酸類、トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン
酸、ピロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類など
が挙げられる。
Examples of the organic acid include aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethylacetic acid, enanthic acid and caprylic acid, oxalic acid, malonic acid, Succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid, cyclohexanedicarboxylic acid, itacone Acids, citraconic acid, maleic acid, fumaric acid, aliphatic dicarboxylic acids such as mesaconic acid, tricarballylic acid,
Aliphatic tricarboxylic acids such as aconitic acid, camphoronic acid, benzoic acid, toluic acid, cuminic acid, hemelitic acid,
Examples thereof include aromatic monocarboxylic acids such as mesitylene acid, aromatic dicarboxylic acids such as phthalic acid, isophthalic acid and terephthalic acid, and aromatic polycarboxylic acids such as trimellitic acid, trimesic acid, melophanoic acid and pyromellitic acid.

【0048】有機アミノ化合物としては、例えば、n―
プロピルアミン、i−プロピルアミン、n−ブチルアミ
ン、i−ブチルアミン、sec−ブチルアミン、t−ブ
チルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミ
ン、n−ヘプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノ
ニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミ
ン、n−ドデシルアミンなどのモノアルキルアミン類、
シクロヘキシルアミン、2−メチルシクロヘキシルアミ
ン、3−メチルシクロヘキシルアミン、4−メチルシク
ロヘキシルアミンなどのモノシクロアルキルアミン類、
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルn−プロ
ピルアミン、エチルn−プロピルアミン、ジn−プロピ
ルアミン、ジi−プロピルアミン、ジn−ブチルアミ
ン、ジi−ブチルアミン、ジsec−ブチルアミン、ジ
t−ブチルアミン、ジn−ペンチルアミン、ジn−ヘキ
シルアミンなどのジアルキルアミン類、メチルシクロヘ
キシルアミン、エチルシクロヘキシルアミンなどのモノ
アルキルモノシクロアルキルアミン類、ジシクロヘキシ
ルアミンなどのジシクロアルキルアミン類、ジメチルエ
チルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミ
ン、ジメチルn−プロピルアミン、ジエチルn−プロピ
ルアミン、メチルジn−プロピルアミン、エチルジn−
プロピルアミン、トリn−プロピルアミン、トリi−プ
ロピルアミン、トリn−ブチルアミン、トリi−ブチル
アミン、トリsec−ブチルアミン、トリt−ブチルア
ミン、トリn−ペンチルアミン、トリn−ヘキシルアミ
ンなどのトリアルキルアミン類、ジメチルシクロヘキシ
ルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミンなどのジアル
キルモノシクロアルキルアミン類、メチルジシクロヘキ
シルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシク
ロヘキシルアミンなどのモノアルキルジシクロアルキル
アミン類、2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プ
ロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−アミ
ノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノール、
6−アミノ−1−ヘキサノールなどのモノアルカノール
アミン類、4−アミノ−1−シクロヘキサノールなどの
モノシクロアルカノールアミン類、ジエタノールアミ
ン、ジn−プロパノールアミン、ジi−プロパノールア
ミン、ジn−ブタノールアミン、ジi−ブタノールアミ
ン、ジn−ペンタノールアミン、ジn−ヘキサノールア
ミンなどのジアルカノールアミン類、ジ(4−シクロヘ
キサノール)アミンなどのジシクロアルカノールアミン
類、トリエタノールアミン、トリn−プロパノールアミ
ン、トリi−プロパノールアミン、トリn−ブタノール
アミン、トリi−ブタノールアミン、トリn−ペンタノ
ールアミン、トリn−ヘキサノールアミンなどのトリア
ルカノールアミン類、トリ(4−シクロヘキサノール)
アミンなどのトリシクロアルカノールアミン類、3−ア
ミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3
−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオ
ール、4−アミノ−1,3−ブタンジオール、3−ジメ
チルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジエチル
アミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチルアミ
ノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルアミノ−
1,3−プロパンジオールなどのアミノアルカンジオー
ル類、4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオール、
4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオールなどのア
ミノシクロアルカンジオール類、1−アミノシクロペン
タノンメタノール、4−アミノシクロペンタノンメタノ
ールなどのアミノ基含有シクロアルカノンメタノール
類、1−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−アミ
ノシクロヘキサノンメタノール、4−ジメチルアミノシ
クロペンタンメタノール、4−ジエチルアミノシクロペ
ンタンメタノール、4−ジメチルアミノシクロヘキサン
メタノール、4−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノ
ールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類、
β−アラニン、2−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−
アミノ酪酸、2−アミノイソ酢酸、3−アミノイソ酢
酸、2−アミノ吉草酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノ
カプロン酸、1−アミノシクロプロパンカルボン酸、1
−アミノシクロヘキサンカルボン酸、4−アミノシクロ
ヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類、アニリ
ン、o−メチルアニリン、m−メチルアニリン、p−メ
チルアニリン、p−エチルアニリン、p−n−プロピル
アニリン、p−i−プロピルアニリン、p−n−ブチル
アニリン、p−t−ブチルアニリン、1−ナフチルアミ
ン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、
N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−N,N−ジメ
チルアニリンなどの芳香族アミン類、o−アミノベンジ
ルアルコール、m−アミノベンジルアルコール、p−ア
ミノベンジルアルコール、p−ジメチルアミノベンジル
アルコール、p−ジエチルアミノベンジルアルコールな
どのアミノベンジルアルコール類、o−アミノフェノー
ル、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール、p
−ジメチルアミノフェノール、p−ジエチルアミノフェ
ノールなどのアミノフェノール類、m−アミノ安息香
酸、p−アミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息香
酸、p−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸
類などが挙げられる。
As the organic amino compound, for example, n-
Propylamine, i-propylamine, n-butylamine, i-butylamine, sec-butylamine, t-butylamine, n-pentylamine, n-hexylamine, n-heptylamine, n-octylamine, n-nonylamine, n- Monoalkylamines such as decylamine, n-undecylamine and n-dodecylamine,
Monocycloalkylamines such as cyclohexylamine, 2-methylcyclohexylamine, 3-methylcyclohexylamine and 4-methylcyclohexylamine,
Methyl ethyl amine, diethyl amine, methyl n-propyl amine, ethyl n-propyl amine, di n-propyl amine, di i-propyl amine, di n-butyl amine, di i-butyl amine, di sec-butyl amine, di t-butyl amine, di Dialkylamines such as n-pentylamine and di-n-hexylamine, monoalkylmonocycloalkylamines such as methylcyclohexylamine and ethylcyclohexylamine, dicycloalkylamines such as dicyclohexylamine, dimethylethylamine, methyldiethylamine and triethylamine , Dimethyl n-propylamine, diethyl n-propylamine, methyldi n-propylamine, ethyldi n-
Trialkyls such as propylamine, tri-n-propylamine, tri-i-propylamine, tri-n-butylamine, tri-i-butylamine, trisec-butylamine, trit-butylamine, tri-n-pentylamine, tri-n-hexylamine and the like. Dialkylmonocycloalkylamines such as amines, dimethylcyclohexylamine and diethylcyclohexylamine, monoalkyldicycloalkylamines such as methyldicyclohexylamine, ethyldicyclohexylamine and tricyclohexylamine, 2-aminoethanol, 3-amino-1 -Propanol, 1-amino-2-propanol, 4-amino-1-butanol, 5-amino-1-pentanol,
Monoalkanolamines such as 6-amino-1-hexanol, monocycloalkanolamines such as 4-amino-1-cyclohexanol, diethanolamine, di-n-propanolamine, di-i-propanolamine, di-n-butanolamine, Dialkanolamines such as di-butanolamine, di-n-pentanolamine and di-n-hexanolamine, dicycloalkanolamines such as di (4-cyclohexanol) amine, triethanolamine, tri-n-propanolamine , Tri i-propanolamine, tri n-butanol amine, tri i-butanol amine, tri n-pentanol amine, tri n-hexanol amine and other trialkanol amines, tri (4-cyclohexanol)
Tricycloalkanolamines such as amines, 3-amino-1,2-propanediol, 2-amino-1,3
-Propanediol, 4-amino-1,2-butanediol, 4-amino-1,3-butanediol, 3-dimethylamino-1,2-propanediol, 3-diethylamino-1,2-propanediol, 2 -Dimethylamino-1,3-propanediol, 2-diethylamino-
Aminoalkanediols such as 1,3-propanediol, 4-amino-1,2-cyclohexanediol,
Aminocycloalkane diols such as 4-amino-1,3-cyclohexanediol, 1-aminocyclopentanone methanol, amino group-containing cycloalkanone methanols such as 4-aminocyclopentanone methanol, 1-aminocyclohexanone methanol, Amino group-containing cycloalkanemethanols such as 4-aminocyclohexanone methanol, 4-dimethylaminocyclopentanemethanol, 4-diethylaminocyclopentanemethanol, 4-dimethylaminocyclohexanemethanol and 4-diethylaminocyclohexanemethanol,
β-alanine, 2-aminobutyric acid, 3-aminobutyric acid, 4-
Aminobutyric acid, 2-aminoisoacetic acid, 3-aminoisoacetic acid, 2-aminovaleric acid, 5-aminovaleric acid, 6-aminocaproic acid, 1-aminocyclopropanecarboxylic acid, 1
-Aminocarboxylic acids such as aminocyclohexanecarboxylic acid and 4-aminocyclohexanecarboxylic acid, aniline, o-methylaniline, m-methylaniline, p-methylaniline, p-ethylaniline, pn-propylaniline, pi -Propylaniline, pn-butylaniline, pt-butylaniline, 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, N, N-dimethylaniline,
Aromatic amines such as N, N-diethylaniline, p-methyl-N, N-dimethylaniline, o-aminobenzyl alcohol, m-aminobenzyl alcohol, p-aminobenzyl alcohol, p-dimethylaminobenzyl alcohol, p -Aminobenzyl alcohols such as diethylaminobenzyl alcohol, o-aminophenol, m-aminophenol, p-aminophenol, p
-Aminophenols such as dimethylaminophenol and p-diethylaminophenol, and aminobenzoic acids such as m-aminobenzoic acid, p-aminobenzoic acid, p-dimethylaminobenzoic acid and p-diethylaminobenzoic acid.

【0049】硬化剤としては、例えば、加熱されること
によってバインダーポリマー中のカルボキシル基と反応
してバインダーポリマーを架橋することができる化合物
が挙げられる。また、それ単独で重合して着色パターン
を硬化させ得る化合物も挙げられる。前記化合物として
は、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物などが
挙げられる。
Examples of the curing agent include compounds capable of reacting with the carboxyl groups in the binder polymer to crosslink the binder polymer when heated. Moreover, the compound which can be polymerized by itself and can harden a coloring pattern is also mentioned. Examples of the compound include epoxy compounds and oxetane compounds.

【0050】エポキシ化合物としては、例えば、ビスフ
ェノールA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系
エポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素
化ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポ
キシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキ
シ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系
樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポ
キシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エ
ポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環
族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの(共)
重合体のエポキシ化物、イソプレンの(共)重合体のエ
ポキシ化物、グリシジル(メタ)アクリレートの(共)
重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げら
れる。
Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol F type epoxy resin, novolac type epoxy resin, and other aromatic type epoxy resins. , Alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, glycidyl ester resin, glycidyl amine resin, epoxy resin such as epoxidized oil, brominated derivatives of these epoxy resins, epoxy resin and other than brominated derivatives thereof Of aliphatic, alicyclic or aromatic epoxy compounds, butadiene (co)
Polymer epoxide, isoprene (co) polymer epoxide, glycidyl (meth) acrylate (co)
Examples thereof include polymers and triglycidyl isocyanurate.

【0051】オキセタン化合物としては、例えば、カー
ボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、
アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセ
タン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなど
が挙げられる。
Examples of the oxetane compound include carbonate bisoxetane, xylylenebisoxetane,
Examples thereof include adipate bisoxetane, terephthalate bisoxetane, and cyclohexanedicarboxylic acid bisoxetane.

【0052】本発明の着色感光性組成物は、硬化剤とし
てエポキシ化合物、オキセタン化合物などを含有する場
合には、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合
物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んで
いてもよい。前記化合物としては、例えば、多価カルボ
ン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げ
られる。
When the colored photosensitive composition of the present invention contains an epoxy compound, an oxetane compound, etc. as a curing agent, it contains a compound capable of ring-opening polymerization of the epoxy group of the epoxy compound and the oxetane skeleton of the oxetane compound. You may stay. Examples of the compound include polyvalent carboxylic acids, polyvalent carboxylic acid anhydrides, and acid generators.

【0053】多価カルボン酸類としては、例えば、フタ
ル酸、3,4−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレ
フタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、1,4,
5,8−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3’,4,
4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多
価カルボン酸類、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、
1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸、マレイン
酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸
類、ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒ
ドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒド
ロテレフタル酸、1,2,4−シクロペンタントリカル
ボン酸、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸、
シクロペンタンテトラカルボン酸、1,2,4,5−シ
クロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボ
ン酸類などが挙げられる。
Examples of polycarboxylic acids include phthalic acid, 3,4-dimethylphthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, 1,4,4.
5,8-naphthalenetetracarboxylic acid, 3,3 ′, 4
Aromatic polycarboxylic acids such as 4′-benzophenonetetracarboxylic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid,
Aliphatic polycarboxylic acids such as 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid, maleic acid, fumaric acid and itaconic acid, hexahydrophthalic acid, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic acid, hexahydroisophthalic acid, hexa Hydroterephthalic acid, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic acid, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic acid,
Examples thereof include alicyclic polycarboxylic acids such as cyclopentane tetracarboxylic acid and 1,2,4,5-cyclohexane tetracarboxylic acid.

【0054】多価カルボン酸無水物類としては、例え
ば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリ
ット酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物
類、無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン
酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、
無水マレイン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボ
ン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類、無
水ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒド
ロフタル酸無水物、1,2,4−シクロペンタントリカ
ルボン酸無水物、1,2,4−シクロヘキサントリカル
ボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水
物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸
二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環
族多価カルボン酸無水物類、エチレングリコールビスト
リメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水
物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げ
られる。
Examples of the polycarboxylic acid anhydrides include aromatic compounds such as phthalic anhydride, pyromellitic anhydride, trimellitic anhydride, and 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride. Polycarboxylic acid anhydrides, itaconic anhydride, succinic anhydride, citraconic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, tricarballylic anhydride,
Aliphatic polycarboxylic acid anhydrides such as maleic anhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride, hexahydrophthalic anhydride, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic anhydride, 1, 2,4-Cyclopentanetricarboxylic acid anhydride, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic acid anhydride, cyclopentanetetracarboxylic acid dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid dianhydride, Hymic anhydride Examples thereof include alicyclic polyvalent carboxylic acid anhydrides such as acids and nadic anhydride, ester group-containing carboxylic acid anhydrides such as ethylene glycol bistrimellitate acid, and glycerin tris trimellitate anhydride.

【0055】カルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂
硬化剤として市販されているものを用いてもよい。前記
エポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、商品名「アデカ
ハードナーEH−700」(旭電化工業(株)製)、商
品名「リカシッドHH」(新日本理化(株)製)、商品
名「MH−700」(新日本理化(株)製)などが挙げ
られる。
As the carboxylic acid anhydride, those commercially available as an epoxy resin curing agent may be used. Examples of the epoxy resin curing agent include a trade name “ADEKA HARDNER EH-700” (manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.), a trade name “RIKACID HH” (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.), and a trade name “MH- 700 ”(manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.) and the like.

【0056】前記硬化剤は、それぞれ単独でまたは2種
以上を組み合わせて用いることができる。
The above curing agents may be used alone or in combination of two or more.

【0057】本発明の着色感光性樹脂組成物を用いてパ
ターンを形成する方法としては、具体的には、本発明の
着色感光性樹脂組成物を、基板または基板の上に先に形
成した固体の着色感光性樹脂組成物層(以下、これを基
板等ということがある。)の上に塗布し、塗布された着
色感光性樹脂組成物層から溶剤など揮発成分を除去し、
フォトマスクを介して揮発成分が除去された層を露光し
たのち、現像する方法が挙げられる。
As a method for forming a pattern using the colored photosensitive resin composition of the present invention, specifically, the colored photosensitive resin composition of the present invention is a substrate or a solid formed on the substrate in advance. Is coated on the colored photosensitive resin composition layer (hereinafter, this may be referred to as a substrate, etc.) to remove volatile components such as a solvent from the coated colored photosensitive resin composition layer,
A method in which the layer from which the volatile components have been removed is exposed through a photomask and then developed is mentioned.

【0058】基板としては、例えばガラス基板、シリコ
ン基板、ポリカーボネート基板、ポリエステル基板、芳
香族ポリアミド基板、ポリアミドイミド基板、ポリイミ
ド基板、Al基板、GaAs基板などの表面が平坦な基
板が挙げられる。これらの基板は、シランカップリング
剤などの薬品による薬品処理、プラズマ処理、イオンプ
レーティング処理、スパッタリング処理、気相反応処
理、真空蒸着処理などの前処理が施されていてもよい。
基板としてシリコン基板などを用いる場合、前記シリコ
ン基板などの表面には電荷結合素子(CCD)、薄膜ト
ランジスタ(TFT)などが形成されていてもよい。
Examples of the substrate include glass substrates, silicon substrates, polycarbonate substrates, polyester substrates, aromatic polyamide substrates, polyamideimide substrates, polyimide substrates, Al substrates, GaAs substrates, and other substrates having a flat surface. These substrates may be subjected to a pretreatment such as a chemical treatment with a chemical such as a silane coupling agent, a plasma treatment, an ion plating treatment, a sputtering treatment, a vapor phase reaction treatment, or a vacuum vapor deposition treatment.
When a silicon substrate or the like is used as the substrate, a charge coupled device (CCD), a thin film transistor (TFT) or the like may be formed on the surface of the silicon substrate or the like.

【0059】前記基板の上に着色感光性樹脂組成物を塗
布するには、従来のスピンコーターや省液コーター、中
でもスピンレスコーターを用いて基板等の上に塗布し、
次いで溶剤などの揮発成分を加熱により揮発させればよ
い。このようにして、基板等の上に着色感光性樹脂組成
物の固形分からなる層が平坦性良く形成される。スピン
レスコーター等の省液コーターを用いて形成した塗膜の
平坦性を簡易に確認する方法として、以下の方法が挙げ
られる。ガラス等の基板を水平に設置し、前記基板上
に、着色感光性樹脂組成物を1滴、滴下した後、その基
板を45度に傾けて流下し、塗膜を形成した後、100
℃で3分間乾燥して揮発分を除去し、着色感光性樹脂組
成物層を形成する。上記の方法で形成された着色感光性
樹脂組成物の固形分からなる層は、1μm換算のヘイズ
値が2以上のものは、進行方向に筋ムラ及び基板を吸着
している場所に吸着ムラが見られるが、前記ヘイズ値が
2以下のものは、吸着ムラは観察されず、筋ムラについ
ても観察されないか、もしくは後工程で問題のないレベ
ルまで改善され、スピンレスコーターを用いて膜を形成
しても平坦性が良好な膜を形成できることが期待でき
る。
In order to apply the colored photosensitive resin composition onto the substrate, it is applied onto the substrate or the like using a conventional spin coater or a liquid-saving coater, especially a spinless coater,
Then, a volatile component such as a solvent may be volatilized by heating. In this way, a layer made of the solid content of the colored photosensitive resin composition is formed on the substrate or the like with good flatness. As a method for easily confirming the flatness of a coating film formed by using a liquid-saving coater such as a spinless coater, the following method can be mentioned. A substrate such as glass is placed horizontally, one drop of the colored photosensitive resin composition is dropped on the substrate, and then the substrate is tilted at 45 degrees to flow down to form a coating film.
Volatile components are removed by drying at 3 ° C. for 3 minutes to form a colored photosensitive resin composition layer. In the layer formed of the solid content of the colored photosensitive resin composition formed by the above method, when the haze value of 1 μm is 2 or more, streak unevenness in the advancing direction and adsorption unevenness in the area where the substrate is adsorbed are observed. However, if the haze value is 2 or less, no adsorption unevenness is observed and no stripe unevenness is observed, or the haze value is improved to a level that does not cause a problem in a subsequent step, and a film is formed using a spinless coater. However, it can be expected that a film having good flatness can be formed.

【0060】膜厚は、触針式表面形状測定器を用いて測
定される。好ましくは、Dektak3;(株)アルバ
ック製を用いて測定できる。ヘイズ値は次の方法で測定
できる。着色感光性樹脂組成物を塗布する前のブランク
でのガラス等の基板の透過のヘイズ値を測定し、次いで
着色感光性樹脂組成物を塗布して成膜後のヘイズ値を測
定し、前記したブランクでのヘイズ値を成膜後のヘイズ
値から引くことで得ることができる。好ましくは、直読
ヘイズコンピューター(HGM−2DP;スガ試験機
(株)製)を用いて測定できる。ヘイズ値は、異なる膜
厚でも比較できるように、1μm当たりのヘイズ値に換
算される。
The film thickness is measured using a stylus type surface profiler. Preferably, it can be measured using Dektak3; manufactured by ULVAC, Inc. The haze value can be measured by the following method. The haze value of the transmission of the substrate such as glass in the blank before applying the colored photosensitive resin composition was measured, and then the colored photosensitive resin composition was applied to measure the haze value after film formation, It can be obtained by subtracting the haze value in the blank from the haze value after film formation. Preferably, it can be measured using a direct reading haze computer (HGM-2DP; manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd.). The haze value is converted into a haze value per 1 μm so that different film thicknesses can be compared.

【0061】[0061]

【実施例】上記において、本発明の実施の形態について
説明を行なったが、上記に開示された本発明の実施の形
態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの
実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求
の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と
均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものであ
る。以下、実施例によって本発明をより詳細に説明する
が、本発明はこれらの実施例によって限定されるもので
はない。
Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the present invention disclosed above are merely examples, and the scope of the present invention is not limited to these embodiments. Not limited. The scope of the present invention is defined by the claims, and includes the meaning equivalent to the description of the claims and all modifications within the scope. Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

【0062】本実施例で用いる成分は以下の通りで、以
下、省略して表示することがある。 (A−1)着色剤:C.I.ピグメントレッド254 (A−2)着色剤:C.I.ピグメントイエロー139 (B)バインダーポリマー:メタクリル酸とベンジルメ
タクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジ
ルメタクリレート単位との比は物質量比(モル比)で3
0:70、酸価は113、ポリスチレン換算重量平均分
子量は15,000 (C)光重合性化合物:ジペンタエリスリトールヘキサ
アクリレート (D−1)光重合開始剤:2−メチル−2−モルホリノ
−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン (D−2)光重合開始剤:2,4−ビス(トリクロロメ
チル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン (G−1)光重合開始助剤:2,4−ジエチルチオキサ
ントン (E−1)溶剤:プロピレングリコールモノメチルエー
テルアセテート (E−2)溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル
The components used in this example are as follows, and may be omitted in the following description. (A-1) Colorant: C.I. I. Pigment Red 254 (A-2) Colorant: C.I. I. Pigment Yellow 139 (B) Binder polymer: copolymer of methacrylic acid and benzyl methacrylate [The ratio of the methacrylic acid unit to the benzyl methacrylate unit is 3 in terms of a substance amount ratio (molar ratio).
0:70, acid value 113, polystyrene equivalent weight average molecular weight 15,000 (C) Photopolymerizable compound: dipentaerythritol hexaacrylate (D-1) Photopolymerization initiator: 2-methyl-2-morpholino-1 -(4-Methylthiophenyl) propan-1-one (D-2) photopolymerization initiator: 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine (G-1) photopolymerization Starting aid: 2,4-diethylthioxanthone (E-1) solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate (E-2) solvent: ethyl 3-ethoxypropionate

【0063】実施例1 〔着色感光性樹脂組成物の製造〕 (A−1) 4.069質量部 (A−2) 0.956質量部 分散剤 1.507質量部 (B) 3.546質量部 (C) 3.546質量部 (D−1) 0.425質量部 (D−2) 0.425質量部 (G−1) 0.425質量部 (E−1) 75.598質量部 (E−2) 8.500質量部 を混合して着色感光性樹脂組成物1を得た。Example 1 [Production of colored photosensitive resin composition] (A-1) 4.069 parts by mass (A-2) 0.956 parts by mass Dispersant 1.507 parts by mass (B) 3.546 parts by mass (C) 3.546 parts by mass (D-1) 0.425 parts by mass (D-2) 0.425 parts by mass (G-1) 0.425 parts by mass (E-1) 75.598 parts by mass (E-2) 8.500 parts by mass To obtain a colored photosensitive resin composition 1.

【0064】〔塗膜の形成〕アセトンで洗浄したガラス
基板〔50mm×50mm〕を水平に設置し、前記ガラ
ス基板上に、上記で得た着色感光性樹脂組成物1を1
滴、滴下した後、その基板を45度に傾けて塗膜を形成
した。100℃で3分間乾燥して揮発分を除去し、着色
感光性樹脂組成物層を形成した。 〔評価〕得られた層の膜厚は3.8μmであり、ムラは
なく、1μm換算のヘイズ値は2以下(1.2)で良好
であった。 膜厚:3.8μm ヘイズ値:4.6 1μm換算
ヘイズ値:1.2 〔スピンレスコーターでの評価〕得られた着色感光性樹
脂組成物を、スピンレスコーターを用いて塗膜を形成し
たところ、平坦性が良好で、ムラがない塗膜が得られ
た。
[Formation of Coating Film] A glass substrate [50 mm × 50 mm] washed with acetone is placed horizontally, and the colored photosensitive resin composition 1 obtained above is placed on the glass substrate 1
After dropping and dropping, the substrate was tilted at 45 degrees to form a coating film. Volatile components were removed by drying at 100 ° C. for 3 minutes to form a colored photosensitive resin composition layer. [Evaluation] The thickness of the obtained layer was 3.8 μm, and there was no unevenness, and the haze value in terms of 1 μm was 2 or less (1.2), which was good. Film thickness: 3.8 μm Haze value: 4.6 1 μm equivalent haze value: 1.2 [Evaluation with spinless coater] A coating film was formed from the obtained colored photosensitive resin composition using a spinless coater. However, a coating film having good flatness and no unevenness was obtained.

【0065】実施例2 実施例1の(B) 3.191質量部、(C)3.90
0質量部に変更する以外は、実施例1と同様にして塗膜
を形成した。 〔評価〕実施例1と同様に評価したところ、得られた層
の膜厚は3.5μmで、ムラはなく、1μm換算のヘイ
ズ値は2以下(0.5)で良好であった。 膜厚:3.5μm ヘイズ値:1.8 1μm換算
ヘイズ値:0.5 〔スピンレスコーターでの評価〕得られた着色感光性樹
脂組成物を、スピンレスコーターを用いて塗膜を形成し
たところ、平坦性が良好で、ムラがない塗膜が得られ
た。
Example 2 (191) (B) 3.191 parts by mass, (C) 3.90
A coating film was formed in the same manner as in Example 1 except that the amount was changed to 0 part by mass. [Evaluation] When evaluated in the same manner as in Example 1, the thickness of the obtained layer was 3.5 μm, there was no unevenness, and the haze value in terms of 1 μm was 2 or less (0.5), which was good. Film thickness: 3.5 μm Haze value: 1.8 1 μm equivalent haze value: 0.5 [Evaluation with spinless coater] A coating film was formed from the obtained colored photosensitive resin composition using a spinless coater. However, a coating film having good flatness and no unevenness was obtained.

【0066】比較例1 実施例1の(B) 4.255質量部、(C)2.83
7質量部に変更する以外は、実施例1と同様にして塗膜
を形成した。 〔評価〕実施例1と同様に評価したところ、得られた層
の膜厚は3.8μmで、ムラが見られ、1μm換算ヘイ
ズ値は2以上(20.4)であった。 膜厚:3.8μm ヘイズ値:77.5 1μm換
算ヘイズ値:20.4 〔スピンレスコーターでの評価〕得られた着色感光性樹
脂組成物を、スピンレスコーターを用いて塗膜を形成し
たところ、平坦性が不良で、ムラがある塗膜が得られ
た。
Comparative Example 1 (B) of Example 1 4.255 parts by mass, (C) 2.83
A coating film was formed in the same manner as in Example 1 except that the amount was changed to 7 parts by mass. [Evaluation] When evaluated in the same manner as in Example 1, the thickness of the obtained layer was 3.8 μm, unevenness was observed, and the 1 μm-converted haze value was 2 or more (20.4). Film thickness: 3.8 μm Haze value: 77.5 1 μm equivalent haze value: 20.4 [Evaluation with spinless coater] A coating film was formed from the obtained colored photosensitive resin composition using a spinless coater. However, a coating film having poor flatness and unevenness was obtained.

【0067】比較例2 実施例1の(B) 3.900質量部、(C)3.19
1質量部に変更する以外は、実施例1と同様にして塗膜
を形成した。 〔評価〕実施例1と同様に評価したところ、得られた層
の膜厚は3.5μmで、ムラが見られ、1μm換算ヘイ
ズ値は2以上(8.4)であった。 膜厚:3.5μm ヘイズ値:29.5 1μm換
算ヘイズ値:8.4 〔スピンレスコーターでの評価〕得られた着色感光性樹
脂組成物を、スピンレスコーターを用いて塗膜を形成し
たところ、平坦性が不良で、ムラがある塗膜が得られ
た。
Comparative Example 2 (B) 3.900 parts by mass of Example 1, (C) 3.19
A coating film was formed in the same manner as in Example 1 except that the amount was changed to 1 part by mass. [Evaluation] When evaluated in the same manner as in Example 1, the film thickness of the obtained layer was 3.5 μm, unevenness was observed, and the 1 μm-converted haze value was 2 or more (8.4). Film thickness: 3.5 μm Haze value: 29.5 1 μm equivalent haze value: 8.4 [Evaluation with spinless coater] A coating film was formed from the obtained colored photosensitive resin composition using a spinless coater. However, a coating film having poor flatness and unevenness was obtained.

【0068】[0068]

【発明の効果】本発明の着色感光性樹脂組成物によれ
ば、スピンレスコーターなどの省液コーターを用いて基
板上に前記着色感光性樹脂組成物を塗布しても、膜厚の
面内均一性が良好で、ムラがないカラーフィルタを形成
することができる。
According to the colored photosensitive resin composition of the present invention, even if the colored photosensitive resin composition is applied onto a substrate by using a liquid-saving coater such as a spinless coater, the film thickness within the plane is obtained. It is possible to form a color filter having good uniformity and no unevenness.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02B 5/20 101 G02B 5/20 101 G03F 7/004 501 G03F 7/004 501 505 505 Fターム(参考) 2H025 AB13 AC01 AD01 BC14 BC42 CA01 CA02 CA28 CB13 CB14 CB43 CB51 CB55 CC03 CC11 FA03 FA17 2H048 BA02 BA45 BA48 BB02 BB42 4J011 AA05 PA24 PA47 PA69 PA70 PB24 PB25 PB39 PB40 PC02 PC08 4J026 AA43 AA45 AA53 AA54 AC09 AC23 AC33 AC36 BA28 BA30 BB01 BB03 DB06 DB28 DB36 FA05 GA07 GA10 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G02B 5/20 101 G02B 5/20 101 G03F 7/004 501 G03F 7/004 501 505 505 F term (reference) 2H025 AB13 AC01 AD01 BC14 BC42 CA01 CA02 CA28 CB13 CB14 CB43 CB51 CB55 CC03 CC11 FA03 FA17 2H048 BA02 BA45 BA48 BB02 BB42 4J011 AA05 PA24 PA47 PA69 PA70 PB24 AC30 BA23 AC08 BA23 ABB36 A02 A08 AA4A45A23 DB28 DB36 FA05 GA07 GA10

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】(A)着色剤、(B)バインダーポリマ
ー、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤および
(E)溶剤を含む着色感光性樹脂組成物において、
(B)バインダーポリマーの酸価が50以上150以下
で、ポリスチレン換算重量平均分子量が5,000〜5
0,000であり、その含有量が着色感光性樹脂組成物
の固形分中質量分率で15%〜26%であり、かつ
(E)溶剤がプロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテートおよび3−エトキシプロピオン酸エチルから
なる群から選ばれる少なくとも1種であり、前記溶剤を
着色感光性樹脂組成物100質量部中、70質量部以上
95質量部以下の量で含有する省液コーター用着色感光
性樹脂組成物。
1. A colored photosensitive resin composition comprising (A) a colorant, (B) a binder polymer, (C) a photopolymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator and (E) a solvent.
(B) The binder polymer has an acid value of 50 or more and 150 or less and a polystyrene-equivalent weight average molecular weight of 5,000 to 5
And the content thereof is 15% to 26% by mass fraction in the solid content of the colored photosensitive resin composition, and (E) the solvent is propylene glycol monomethyl ether acetate and ethyl 3-ethoxypropionate. A colored photosensitive resin composition for a liquid-saving coater, which is at least one selected from the group consisting of, and contains the solvent in an amount of 70 parts by mass or more and 95 parts by mass or less in 100 parts by mass of the colored photosensitive resin composition.
【請求項2】請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物
を、基板または先に形成された着色感光性樹脂組成物の
固形分からなる層の上に塗布し、塗布された着色感光性
樹脂組成物層から揮発成分を除去し、フォトマスクを介
して前記層を露光し、現像するパターンの形成方法。
2. The colored photosensitive resin composition according to claim 1, which is applied onto a substrate or a layer formed of a solid content of the colored photosensitive resin composition previously formed, and the applied colored photosensitive resin. A method for forming a pattern, wherein a volatile component is removed from a composition layer, the layer is exposed through a photomask, and developed.
【請求項3】請求項2に記載の方法で形成されたパター
ンを含むカラーフィルタ。
3. A color filter including a pattern formed by the method according to claim 2.
【請求項4】請求項3に記載されたカラーフィルタを使
用した液晶表示装置。
4. A liquid crystal display device using the color filter according to claim 3.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004246340A (en) * 2003-01-21 2004-09-02 Mitsubishi Chemicals Corp Hardenable resin composition for die coating, color filter, method of manufacturing color filter and liquid crystal display
JP2004318111A (en) * 2003-03-28 2004-11-11 Sumitomo Chem Co Ltd Colored photosensitive resin composition
JP2006259708A (en) * 2005-02-21 2006-09-28 Sumitomo Chemical Co Ltd Colored photosensitive resin composition
JP2011102991A (en) * 2005-02-21 2011-05-26 Sumitomo Chemical Co Ltd Colored photosensitive resin composition

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004246340A (en) * 2003-01-21 2004-09-02 Mitsubishi Chemicals Corp Hardenable resin composition for die coating, color filter, method of manufacturing color filter and liquid crystal display
JP2004318111A (en) * 2003-03-28 2004-11-11 Sumitomo Chem Co Ltd Colored photosensitive resin composition
JP4506224B2 (en) * 2003-03-28 2010-07-21 住友化学株式会社 Colored photosensitive resin composition
JP2006259708A (en) * 2005-02-21 2006-09-28 Sumitomo Chemical Co Ltd Colored photosensitive resin composition
JP2011102991A (en) * 2005-02-21 2011-05-26 Sumitomo Chemical Co Ltd Colored photosensitive resin composition

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