JP2006265548A - Color development composition - Google Patents

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Koji Ichikawa
幸司 市川
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Sumitomo Chemical Co Ltd
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Sumitomo Chemical Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color development composition for forming a color development photosensitive resin composition comprising a dye which has improved dispersibility to a solvent, can form a color filter having excellent heat-resistance, and which also has excellent resolving power. <P>SOLUTION: The color development composition comprises at least a dye (A), a resin (B), and solvent (E), wherein the dye (A) and the resin (B) are so treated as to be dispersed in the solvent (E). <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、カラーフィルタの形成に用いられる着色組成物に関する。   The present invention relates to a coloring composition used for forming a color filter.

CCD、CMOSなどのイメージセンサに用いられるカラーフィルタは、染料を含有してなる着色組成物を用いてなる着色感光性樹脂組成物を用いて形成されることが知られている。しかし、染料を含有してなる着色組成物は耐熱性が十分ではないので、カラーフィルタに求められる耐熱性も十分ではなく、改良が求められていた(例えば、特許文献1〜2参照)。
また、染料は、着色感光性樹脂組成物用の溶剤として知られている、乳酸エチルやN,N−ジメチルホルムアミドのような高沸点の溶剤やプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートのような低沸点の溶剤への溶解性が充分ではなく、また溶剤への分散性にも問題があったことも知られている(例えば、特許文献1参照。)。
It is known that a color filter used in an image sensor such as a CCD or CMOS is formed using a colored photosensitive resin composition formed using a colored composition containing a dye. However, since the coloring composition containing the dye does not have sufficient heat resistance, the heat resistance required for the color filter is not sufficient, and improvement has been required (for example, see Patent Documents 1 and 2).
In addition, dyes are known as solvents for colored photosensitive resin compositions, such as high boiling point solvents such as ethyl lactate and N, N-dimethylformamide, and low boiling point solvents such as propylene glycol monomethyl ether acetate. It is also known that the solubility of is not sufficient, and there is also a problem in dispersibility in a solvent (see, for example, Patent Document 1).

特開2004−157455号公報 3頁42行−4頁8行JP 2004-157455 A3 page 42 line 4 page 8 line 特開2004−246105号公報 2頁35行−3頁3行JP 2004-246105 A2 page 35 line 3 page 3 line

本発明の目的は、溶剤への分散性が改良され、耐熱性が良好なカラーフィルタを形成し得る、解像性にも優れた染料を含んでなる着色感光性樹脂組成物を形成するための着色組成物を提供することにある。   An object of the present invention is to form a colored photosensitive resin composition comprising a dye having excellent resolution and capable of forming a color filter with improved dispersibility in a solvent and good heat resistance. It is to provide a coloring composition.

本発明者らは、上記したような課題を解決し得る着色組成物を見出すべく、鋭意検討を重ねた結果、着色組成物の着色剤として、染料を、樹脂とともに溶剤中で分散させて使用することにより、染料の溶剤への溶解性の問題が生じることなく、しかも、驚くべきことに耐熱性が良好なパターンを形成しうる着色感光性樹脂組成物に用いられる着色組成物となることを見出し、本発明を完成させるに至った。   As a result of intensive studies to find a colored composition that can solve the above-described problems, the present inventors use a dye dispersed in a solvent together with a resin as a colorant for the colored composition. As a result, it has been found that the coloring composition can be used for a colored photosensitive resin composition that can form a pattern having good heat resistance without causing a problem of solubility of the dye in a solvent. The present invention has been completed.

即ち、本発明は、少なくとも、染料(A)、樹脂(B)および溶剤(E)を含み、溶剤(E)中において、染料(A)および樹脂(B)が分散処理された着色組成物を提供するものである。
また、本発明は、前記の着色組成物を含有する着色感光性樹脂組成物、着色感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターン、前記のパターンを含むカラーフィルタおよび前記のカラーフィルタを具備してなるイメージセンサを提供する。
That is, the present invention includes at least a dye (A), a resin (B), and a solvent (E), and a colored composition in which the dye (A) and the resin (B) are dispersed in the solvent (E). It is to provide.
The present invention also includes a colored photosensitive resin composition containing the colored composition, a pattern formed using the colored photosensitive resin composition, a color filter including the pattern, and the color filter. An image sensor is provided.

本発明の着色組成物を用いることにより、染料の溶剤への溶解性の問題が生じることなく、解像度よく、耐熱性が良好なパターンを形成しうる着色感光性樹脂組成物を提供することが可能となる。   By using the colored composition of the present invention, it is possible to provide a colored photosensitive resin composition capable of forming a pattern with good resolution and good heat resistance without causing a problem of solubility of a dye in a solvent. It becomes.

本発明の着色組成物に用いられる染料(A)としては、油溶性染料、酸性染料、酸性染料のアミン塩や酸性染料のスルホンアミド誘導体などが挙げられる。
前記の染料としては、例えば、C.I.ソルベントイエロー4(以下、C.I.ソルベントイエローの記載を省略し、番号のみの記載とする。他の染料種および色相についても同様に省略して記載する。)、14、15、23、24、38、62、63、68、82、94、98、99、162、C.I.ソルベントレッド45、49、C.I.ソルベントオレンジ2、7、11、15、26、56、C.I.ソルベントブルー35、37、59、67などが挙げられる。またC.I.アシッド染料としてC.I.アシッドイエロー17、29、40、76、C.I.アシッドレッド91、92、97、114、138、151、C.I.アシッドオレンジ51、63、C.I.アシッドブルー80、83、90、C.I.アシッドグリーン9、16、25、27などの染料が例示される。
Examples of the dye (A) used in the colored composition of the present invention include oil-soluble dyes, acid dyes, amine salts of acid dyes, and sulfonamide derivatives of acid dyes.
Examples of the dye include C.I. I. Solvent Yellow 4 (hereinafter, CI Solvent Yellow is omitted and only numbers are described. Other dye types and hues are also omitted) 14, 15, 23, 24 38, 62, 63, 68, 82, 94, 98, 99, 162, C.I. I. Solvent Red 45, 49, C.I. I. Solvent Orange 2, 7, 11, 15, 26, 56, C.I. I. Solvent blue 35, 37, 59, 67 etc. are mentioned. In addition, C.I. I. As an acid dye, C.I. I. Acid Yellow 17, 29, 40, 76, C.I. I. Acid Red 91, 92, 97, 114, 138, 151, C.I. I. Acid Orange 51, 63, C.I. I. Acid Blue 80, 83, 90, C.I. I. Examples include dyes such as Acid Green 9, 16, 25, and 27.

また、染料(A)には、例えば、式(i)〜(vii)で表される酸性染料のアミン塩、および式(viii)〜(ix)で表される酸性染料のスルホンアミド誘導体も使用できる。   In addition, as the dye (A), for example, amine salts of acidic dyes represented by formulas (i) to (vii) and sulfonamide derivatives of acidic dyes represented by formulas (viii) to (ix) are also used. it can.

D−(SO -(C2n+1 (i)
D−(SO -{(C2n+1 (ii)
D−(SO -{(C2n+1H} (iii)
D−(SO -{(C2n+1 (iv)
D−(SO -(C2e+1OC2f (v)
D−(SO -{(C2n+1)(PhCHH} (vi)
D−(SO -{(C2n+1)Py (vii)
D−[{SO2NH(C2n+1)}][(SOL)] (viii)
D−[{SO2NH(C2e+1OC2f)}][(SOL)](ix)
D- (SO 3 ) m (C n H 2n + 1 N + H 3 ) m (i)
D- (SO 3 ) m {(C n H 2n + 1 ) 2 N + H 2 } m (ii)
D- (SO 3 ) m {(C n H 2n + 1 ) 3 N + H} m (iii)
D- (SO 3 ) m {(C n H 2n + 1 ) 4 N + } m (iv)
D- (SO 3 ) m (C e H 2e + 1 OC f H 2f N + H 3 ) m (v)
D- (SO 3 ) m {(C n H 2n + 1 ) (PhCH 2 ) 2 N + H} m (vi)
D- (SO 3 ) m {(C n H 2n + 1 ) Py + } m (vii)
D - [{SO 2 NH ( C n H 2n + 1)} p] [(SO 3 L) q] (viii)
D-[{SO 2 NH (C e H 2e + 1 OC f H 2f )} p ] [(SO 3 L) q ] (ix)

[式(i)〜(ix)中、Dは、色素母体を表す。
mは、1以上20以下の整数を表す。
nは、1以上20以下の整数を表す。
eおよびfは、それぞれ独立に、1以上10以下の整数を表す。
Phは、フェニル基を表す。
Pyは、窒素原子でC2n+1につながるピリジン環残基またはメチルピリジン環残基を表す。
pは、1以上8以下の整数を表す。
qは、0以上8以下の整数を表す。
Lは、水素原子または一価の陽イオンを表す。]
[In formulas (i) to (ix), D represents a dye matrix.
m represents an integer of 1 or more and 20 or less.
n represents an integer of 1 or more and 20 or less.
e and f each independently represents an integer of 1 or more and 10 or less.
Ph represents a phenyl group.
Py represents a pyridine ring residue or a methylpyridine ring residue connected to C n H 2n + 1 by a nitrogen atom.
p represents an integer of 1 to 8.
q represents an integer of 0 or more and 8 or less.
L represents a hydrogen atom or a monovalent cation. ]

Dとして、具体的には、アゾ染料母体、キサンテン染料母体、アントラキノン染料母体、トリフェニルメタン染料母体、シアニン染料母体、メチン染料母体およびフタロシアニン染料母体が挙げられる。
mは、好ましくは1以上10以下の整数、より好ましくは1以上8以下の整数を表す。
nは、好ましくは1以上10以下の整数、より好ましくは1以上8以下の整数を表す。
eおよびfは、それぞれ独立に、好ましくは1以上8以下の整数、より好ましくは1以上6以下の整数を表す。
Pyは、好ましくはメチルピリジン環残基を表す。
pは、好ましくは1以上6以下の整数、より好ましくは1以上5以下の整数を表す。
qは、好ましくは0以上6以下の整数、より好ましくは0以上5以下の整数を表す。
Lにおける一価の陽イオンとしては、例えば、リチウムイオン、ナトリウムイオン、カリウムイオン、(CHNなどの4級アンモニウムイオンなどが挙げられ、好ましくはナトリウムイオンが挙げられる。
Specific examples of D include an azo dye base, a xanthene dye base, an anthraquinone dye base, a triphenylmethane dye base, a cyanine dye base, a methine dye base, and a phthalocyanine dye base.
m preferably represents an integer of 1 to 10, more preferably an integer of 1 to 8.
n is preferably an integer of 1 to 10, more preferably an integer of 1 to 8.
e and f each independently preferably represent an integer of 1 to 8, more preferably an integer of 1 to 6.
Py preferably represents a methylpyridine ring residue.
p preferably represents an integer of 1 to 6, more preferably an integer of 1 to 5.
q preferably represents an integer of 0 to 6, more preferably an integer of 0 to 5.
Examples of the monovalent cation in L include lithium ions, sodium ions, potassium ions, quaternary ammonium ions such as (C 2 H 5 ) 3 HN + , and preferably sodium ions.

また、アゾ染料として、例えば、式(I)で表される染料や、式(11)〜(13)で表される染料が挙げられる。   Examples of the azo dye include dyes represented by formula (I) and dyes represented by formulas (11) to (13).

Figure 2006265548
Figure 2006265548

[式(I)中、R30は、炭素数1〜15のアルキル基、炭素数2〜15のアルコキシアルキル基、炭素数2〜15のアルケニル基、炭素数6〜21のアリール基または炭素数7〜21のアラルキル基を表す。
前記のアルキル基、アルケニル基、アリール基およびアラルキル基は、無置換でも、置換基を有していてもよい。
31〜R34は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルキル基を表す。]
[In the formula (I), R 30 represents an alkyl group having 1 to 15 carbon atoms, an alkoxyalkyl group having 2 to 15 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 15 carbon atoms, an aryl group having 6 to 21 carbon atoms, or a carbon number. 7 to 21 aralkyl groups are represented.
The alkyl group, alkenyl group, aryl group and aralkyl group may be unsubstituted or may have a substituent.
R 31 to R 34 each independently represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. ]

炭素数1〜15のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、n−ノニル基、n−デシル基、n−ウンデシル基、n−ドデシル基などの直鎖状アルキル基;
イソプロピル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、2−エチルブチル基、2−エチルペンチル基、2−エチルヘキシル基、2−エチルヘプチル基、2−エチルオクチル基、2−エチルノニル基、2−エチルデシル基などの分岐状アルキル基;
シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基などの環状アルキル基が挙げられる。
炭素数2〜15のアルコキシアルキル基としては、メトキシメチレン基、メトキシエチレン基、エトキシエチレン基、ブトキシエチレン基、ブトキシブチレン基などが挙げられる。
炭素数2〜15のアルケニル基としては、エテニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基などが挙げられる。
炭素数6〜21のアリール基としては、フェニル基、ナフチル基などが挙げられる。
炭素数7〜21のアラルキル基としては、フェニルメチル基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基、フェニルブチル基、フェニルペンタニル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基、ナフチルプロピル基、ナフチルブチル基、ナフチルペンタニル基などが挙げられる。
中でも、R30としては、好ましくはメチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、イソプロピル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、2−エチルブチル基、2−エチルペンチル基、2−エチルヘキシル基、2−エチルヘプチル基、2−エチルオクチル基が挙げられ、より好ましくはイソプロピル基、tert−ブチル基、2−エチルブチル基、2−エチルペンチル基、2−エチルヘキシル基が挙げられる。
31〜R34として、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、イソプロピル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、フッソ原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子などが挙げられ、好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、イソプロピル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、フッソ原子、塩素原子が挙げられる。
Examples of the alkyl group having 1 to 15 carbon atoms include methyl group, ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, and n-nonyl. A linear alkyl group such as a group, n-decyl group, n-undecyl group, n-dodecyl group;
Isopropyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, 2-ethylbutyl group, 2-ethylpentyl group, 2-ethylhexyl group, 2-ethylheptyl group, 2-ethyloctyl group, 2-ethylnonyl group, 2-ethyldecyl group Branched alkyl groups such as;
Examples thereof include cyclic alkyl groups such as cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, and cyclooctyl group.
Examples of the alkoxyalkyl group having 2 to 15 carbon atoms include a methoxymethylene group, a methoxyethylene group, an ethoxyethylene group, a butoxyethylene group, and a butoxybutylene group.
Examples of the alkenyl group having 2 to 15 carbon atoms include ethenyl group, allyl group, butenyl group, pentenyl group, hexenyl group, heptenyl group, octenyl group and the like.
Examples of the aryl group having 6 to 21 carbon atoms include a phenyl group and a naphthyl group.
Examples of the aralkyl group having 7 to 21 carbon atoms include phenylmethyl group, phenylethyl group, phenylpropyl group, phenylbutyl group, phenylpentanyl group, naphthylmethyl group, naphthylethyl group, naphthylpropyl group, naphthylbutyl group, and naphthylpenta. Nyl group etc. are mentioned.
Among them, R 30 is preferably a methyl group, ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isopropyl group, sec- A butyl group, a tert-butyl group, a 2-ethylbutyl group, a 2-ethylpentyl group, a 2-ethylhexyl group, a 2-ethylheptyl group, and a 2-ethyloctyl group, more preferably an isopropyl group, a tert-butyl group, Examples include 2-ethylbutyl group, 2-ethylpentyl group, and 2-ethylhexyl group.
R 31 to R 34 are hydrogen atom, methyl group, ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, isopropyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, fluorine atom, chlorine atom, bromine atom, iodine atom And preferably include a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an n-butyl group, an isopropyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group, a fluorine atom, and a chlorine atom.

また、式(I)で表される染料のうち、好ましい染料として、具体的には式(14)で表される化合物が挙げられる。また、キサンテン染料としては、例えば、式(15)で表される化合物が挙げられる。また、銅フタロシアニン染料としては、例えば、式(16)で表される化合物などが挙げられる。   Of the dyes represented by formula (I), a preferred dye is specifically a compound represented by formula (14). Moreover, as a xanthene dye, the compound represented by Formula (15) is mentioned, for example. Moreover, as a copper phthalocyanine dye, the compound represented by Formula (16) etc. are mentioned, for example.

Figure 2006265548
Figure 2006265548

これらの染料は、併用することが可能であり、着色組成物に用いられる溶剤への溶解度や、該着色組成物を含む着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタのパターンを形成としたときの光褪色耐性や分光スペクトルに合わせて適宜選択される。   These dyes can be used in combination, and the solubility in the solvent used for the colored composition and when forming a color filter pattern using the colored photosensitive resin composition containing the colored composition It is appropriately selected according to the light fading resistance and the spectral spectrum.

本発明の着色組成物を含む着色感光性樹脂組成物を用いて、例えば、赤色画素を形成するには、好ましくは式(13)の染料、式(14)の染料および式(15)の染料の組合せが選択できる。
青色画素を形成するには、例えば、好ましくは式(16)の染料、C.I.アシッドブルー90およびC.I.ソルベントブルー67の組合せが選択できる。
緑色画素を形成するには、例えば、好ましくはC.I.ソルベントブルー67、C.I.アシッドグリーン9、C.I.アシッドグリーン16、C.I.ソルベントイエロー82およびC.I.ソルベントイエロー162の組合せが選択できる。
赤、青および緑の染料の組合せは上記の組合せに限られるものではなく、目的とする画素の分光スペクトルに合わせて適宜で各染料を組合せることができる。
For example, in order to form a red pixel using the colored photosensitive resin composition containing the colored composition of the present invention, a dye of formula (13), a dye of formula (14) and a dye of formula (15) are preferred. Can be selected.
In order to form a blue pixel, for example, preferably a dye of formula (16), C.I. I. Acid Blue 90 and C.I. I. A combination of Solvent Blue 67 can be selected.
In order to form a green pixel, for example, preferably C.I. I. Solvent Blue 67, C.I. I. Acid Green 9, C.I. I. Acid Green 16, C.I. I. Solvent Yellow 82 and C.I. I. A combination of solvent yellow 162 can be selected.
The combination of the red, blue and green dyes is not limited to the above combination, and each dye can be appropriately combined according to the spectral spectrum of the target pixel.

これらの染料(A)は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基または塩基性基が導入された誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物などによる染料表面へのグラフト処理、または不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法などによる除去処理などが、単独または組合せて施されていてもよい。   If necessary, these dyes (A) can be treated with rosin, surface treatment with a derivative having an acidic group or basic group introduced, grafting onto the surface of the dye with a polymer compound, or removal of impurities. For example, cleaning treatment with an organic solvent or water, removal treatment with an ion exchange method of ionic impurities, or the like may be performed alone or in combination.

本発明の着色組成物に用いられる染料(A)、樹脂(B)および溶剤(E)の混合物は、ビーズなどのメディアを用いるなどの分散処理を行うことにより、染料が溶液中に分散した状態の着色組成物として得られる。
前記の分散処理については、例えば、次のように行うことができる。プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどの溶剤(E)に、樹脂(B)を溶解してワニスを得て、該ワニスに、染料(A)を加えた後、3本ロールなどの混練機を用いて混練、分散して、染料含有ワニスを得る。ここで、樹脂(B)の含有量は、着色組成物に用いられる樹脂の全量またはその一部を用いることができる。
次いで、ジルコニアビーズなどのメディアミルを用いて、前記の染料含有ワニス、樹脂(B)およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを分散処理し、着色組成物を得るという方法である。
The mixture of the dye (A), resin (B) and solvent (E) used in the coloring composition of the present invention is in a state where the dye is dispersed in the solution by performing a dispersion treatment such as using a medium such as beads. Obtained as a coloring composition.
The distributed processing can be performed as follows, for example. The resin (B) is dissolved in a solvent (E) such as propylene glycol monomethyl ether acetate to obtain a varnish, and after adding the dye (A) to the varnish, it is kneaded using a kneader such as a three-roller. To obtain a dye-containing varnish. Here, the content of the resin (B) can be the total amount of the resin used in the coloring composition or a part thereof.
Next, using a media mill such as zirconia beads, the dye-containing varnish, the resin (B), and propylene glycol monomethyl ether acetate are dispersed to obtain a colored composition.

前記の樹脂(B)としては、アルカリ可溶性樹脂(B1)および分散剤(B2)からなる群から選ばれる少なくとも1種の高分子が用いられる。
前記のアルカリ可溶性樹脂(B1)は、後述のアルカリ可溶性樹脂(B1)と同じものが挙げられる。
前記の分散剤(B2)としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、ポリエステル系、ポリアミン系などの界面活性剤などが挙げられ、単独でも2種以上を組合せて用いてもよい。
分散剤を用いる場合、その使用量は、染料(A)に対して質量分率で、好ましくは1質量%以上100質量%以下であり、より好ましくは5質量%以上50質量%以下である。分散剤の使用量が前記の範囲にあると、均一な分散状態の着色組成物が得られる傾向があるため好ましい。
ここで、前記の着色組成物を得る工程において、樹脂(B)は、着色感光性樹脂組成物とするときに用いられる全量またはその一部を使用する。また、樹脂(B)は、単独でも2種以上を組合せて用いてもよい。
樹脂(B)の含有量は、染料(A)に対して質量分率で、好ましくは1質量%以上100質量%以下であり、より好ましくは5質量%以上50質量%以下である。樹脂(B)の含有量が前記の範囲にあると、染料が均一な分散状態にされた着色組成物が得られる傾向があるため好ましい。
上記のようにして得られる着色組成物は、解像度良く、密着性および耐熱性が良好なパターンを形成しうる着色感光性樹脂組成物を提供できるので、好ましい。
As the resin (B), at least one polymer selected from the group consisting of an alkali-soluble resin (B1) and a dispersant (B2) is used.
Examples of the alkali-soluble resin (B1) include the same as the alkali-soluble resin (B1) described later.
Examples of the dispersant (B2) include surfactants such as cationic, anionic, nonionic, amphoteric, polyester, and polyamine, and may be used alone or in combination of two or more. .
When using a dispersing agent, the usage-amount is a mass fraction with respect to dye (A), Preferably it is 1 to 100 mass%, More preferably, it is 5 to 50 mass%. It is preferable that the amount of the dispersant used be in the above range because a colored composition having a uniform dispersion state tends to be obtained.
Here, in the process of obtaining the said coloring composition, resin (B) uses the whole quantity used when it is set as a colored photosensitive resin composition, or its one part. The resin (B) may be used alone or in combination of two or more.
Content of resin (B) is a mass fraction with respect to dye (A), Preferably they are 1 mass% or more and 100 mass% or less, More preferably, they are 5 mass% or more and 50 mass% or less. It is preferable that the content of the resin (B) is in the above range because a colored composition in which the dye is uniformly dispersed tends to be obtained.
The colored composition obtained as described above is preferable because it can provide a colored photosensitive resin composition that can form a pattern with good resolution and good adhesion and heat resistance.

染料(A)の含有量は、着色感光性樹脂組成物としたときの固型分に対して質量分率で、好ましくは20質量%以上60質量%以下、より好ましくは25質量%以上55質量%以下であり、とりわけ好ましくは27質量%以上55質量%以下であり、さらに好ましくは30質量%以上50質量%以下である。
染料(A)の含有量が前記の範囲にあると、カラーフィルタとしたときの色濃度が十分であり、かつ組成物中にアルカリ可溶性樹脂(B1)、光重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)などの成分を必要量含有させることができるので、好ましい。
The content of the dye (A) is a mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition, preferably 20 mass% to 60 mass%, more preferably 25 mass% to 55 mass%. %, Particularly preferably 27% by mass or more and 55% by mass or less, more preferably 30% by mass or more and 50% by mass or less.
When the content of the dye (A) is in the above range, the color density when the color filter is obtained is sufficient, and the composition is alkali-soluble resin (B1), photopolymerizable compound (C), photopolymerization. Since a necessary amount of components such as the initiator (D) can be contained, it is preferable.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂(B1)を含む。アルカリ可溶性樹脂(B1)は、露光後の現像工程において、現像液に対して溶解しうるものが好ましい。前記のアルカリ可溶性樹脂(B1)は、好ましくは(メタ)アクリル酸から導かれる構成単位を含有する。ここで、(メタ)アクリル酸は、アクリル酸およびメタクリル酸からなる群から選ばれる少なくとも1種を表す。前記の(メタ)アクリル酸から導かれる構成単位の含有量は、アルカリ可溶性樹脂(B1)を構成する全構成単位中、モル分率で、好ましくは16モル%以上40モル%以下、より好ましくは18モル%以上38モル%以下である。(メタ)アクリル酸から導かれる構成単位の含有量が前記の範囲にあると、現像時に、非画素部の溶解性が良好であり、かつ、現像後の非画素部に残渣が残りにくい傾向があり、好ましい。   The colored photosensitive resin composition of the present invention contains an alkali-soluble resin (B1). The alkali-soluble resin (B1) is preferably one that can be dissolved in the developer in the development step after exposure. The alkali-soluble resin (B1) preferably contains a structural unit derived from (meth) acrylic acid. Here, (meth) acrylic acid represents at least one selected from the group consisting of acrylic acid and methacrylic acid. The content of the structural unit derived from the (meth) acrylic acid is a mole fraction in the total structural units constituting the alkali-soluble resin (B1), preferably 16 mol% or more and 40 mol% or less, more preferably It is 18 mol% or more and 38 mol% or less. When the content of the structural unit derived from (meth) acrylic acid is within the above range, the solubility of the non-pixel portion is good during development, and the residue tends not to remain in the non-pixel portion after development. Yes, it is preferable.

(メタ)アクリル酸から導かれる構成単位以外のアルカリ可溶性樹脂の構成単位を導く他のモノマーとしては、例えば、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル類、不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、不飽和カルボン酸グリシジルエステル類、カルボン酸ビニルエステル類、不飽和エーテル類、シアン化ビニル化合物、不飽和アミド類、不飽和イミド類、脂肪族共役ジエン類、重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基またはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類、式(II)で表される単位および式(III)で表される単位などを挙げることができる。   Examples of the other monomer that derives the constituent unit of the alkali-soluble resin other than the constituent unit derived from (meth) acrylic acid include, for example, aromatic vinyl compounds, unsaturated carboxylic acid esters, unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters, Saturated carboxylic acid glycidyl esters, carboxylic acid vinyl esters, unsaturated ethers, vinyl cyanide compounds, unsaturated amides, unsaturated imides, aliphatic conjugated dienes, monoacryloyl groups at the ends of polymer molecular chains or Examples thereof include macromonomers having a monomethacryloyl group, units represented by the formula (II), and units represented by the formula (III).

Figure 2006265548
Figure 2006265548

[式(II)および式(III)中、RおよびRは、それぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜6のアルキル基を表す。] [In Formula (II) and Formula (III), R 3 and R 4 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. ]

前記のアルカリ可溶性樹脂としては、具体的には、メタクリル酸/ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸/ベンジルメタクリレート/スチレン共重合体、メタクリル酸/ベンジルメタクリレート/イソボルニルメタクリレート共重合体、メタクリル酸/スチレン/ベンジルメタクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、メタクリル酸/式(II)で表される構成成分(ただし、ここでは、式(II)中、Rはメチル基を表し、Rは水素原子を表す。)/ベンジルメタクリレート共重合体、式(II)で表される構成成分(ただし、ここでは、式(II)中、Rはメチル基を表し、Rは水素原子を表す。)/ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸/式(III)で表される構成成分(ただし、ここでは、式(III)中、Rはメチル基を表し、Rは水素原子を表す。)/スチレン共重合体/トリシクロデカニルメタクリレート共重合体などが好ましい。 Specific examples of the alkali-soluble resin include methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer, methacrylic acid / benzyl methacrylate / styrene copolymer, methacrylic acid / benzyl methacrylate / isobornyl methacrylate copolymer, methacrylic acid / Styrene / benzyl methacrylate / N-phenylmaleimide copolymer, methacrylic acid / constituent component represented by formula (II) (wherein, in formula (II), R 3 represents a methyl group, and R 4 represents hydrogen Represents a atom) / benzyl methacrylate copolymer, a constituent represented by the formula (II) (herein, in the formula (II), R 3 represents a methyl group, and R 4 represents a hydrogen atom). ) / Benzyl methacrylate copolymer, methacrylic acid / constituent component represented by formula (III) (however, In formula (III), R 3 represents a methyl group, and R 4 represents a hydrogen atom.) / Styrene copolymer / Tricyclodecanyl methacrylate copolymer and the like are preferable.

本発明で用いられるアルカリ可溶性樹脂(B1)の酸価は、好ましくは50〜150であり、好ましくは60〜135、とりわけ好ましくは70〜135である。酸価が、前記の範囲にあると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり、また高感度化して現像時に露光部のパターンが残って残膜率が向上する傾向があり、好ましい。
ここで酸価はアクリル系重合体1gを中和するに必要な水酸化カリウムの量(mg)として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
The acid value of the alkali-soluble resin (B1) used in the present invention is preferably 50 to 150, preferably 60 to 135, particularly preferably 70 to 135. When the acid value is in the above range, the solubility in the developer is improved and the unexposed area is easily dissolved, and the sensitivity is increased so that the pattern of the exposed area remains during development and the remaining film ratio tends to be improved. Is preferable.
Here, the acid value is a value measured as the amount (mg) of potassium hydroxide necessary to neutralize 1 g of the acrylic polymer, and can usually be obtained by titration with an aqueous potassium hydroxide solution. .

アルカリ可溶性樹脂(B1)の含有量は、着色組成物からの持ち込み分を含め、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは15〜35質量%であり、より好ましくは18〜33質量%であり、とりわけ好ましくは21〜31質量%である。アルカリ可溶性樹脂(B1)の含有量が、前記の範囲にあると、パターンが形成でき、また解像度および残膜率が向上する傾向にあり好ましい。   Content of alkali-soluble resin (B1) is a mass fraction with respect to solid content of a coloring photosensitive resin composition including the carry-in from a coloring composition, Preferably it is 15-35 mass%, More preferably Is 18 to 33% by mass, particularly preferably 21 to 31% by mass. When the content of the alkali-soluble resin (B1) is in the above range, a pattern can be formed and the resolution and the remaining film ratio tend to be improved, which is preferable.

式(I)で表される構成成分を有するアルカリ可溶性樹脂、例えばメタクリル酸/式(IV)で表される構成成分(ただし、ここでは、式(II)中、Rはメチル基を表し、Rは水素原子を表す。)/ベンジルメタクリレート共重合体は、メタクリル酸とベンジルメタクリレートとを重合させて2成分重合体を得て、得られた2成分重合体と式(IV)で表される化合物(ただし、ここでは、式(IV)中、Rは水素原子を表す。)とを反応させて得ることができる。 Alkali-soluble resin having a component represented by formula (I), for example, methacrylic acid / component represented by formula (IV) (wherein, in formula (II), R 3 represents a methyl group, R 4 represents a hydrogen atom.) / Benzyl methacrylate copolymer is obtained by polymerizing methacrylic acid and benzyl methacrylate to obtain a two-component polymer, and the obtained two-component polymer is represented by the formula (IV). (Wherein, in formula (IV), R 5 represents a hydrogen atom).

Figure 2006265548
Figure 2006265548

メタクリル酸/式(III)で表される構成成分(ただし、ここでは、式(III)中、Rはメチル基を表し、Rは水素原子を表す。)/トリシクロデカニルメタクリレート共重合体は、ベンジルメタクリレート、メタクリル酸、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート共重合体に、グリシジルメタクリレートを反応させて得ることができる。 Methacrylic acid / constituent component represented by formula (III) (in this case, in formula (III), R 3 represents a methyl group and R 4 represents a hydrogen atom) / tricyclodecanyl methacrylate copolymer The coalescence can be obtained by reacting glycidyl methacrylate with a monomethacrylate copolymer having a benzyl methacrylate, methacrylic acid, or tricyclodecane skeleton.

アルカリ可溶性樹脂(B1)のポリスチレン換算重量平均分子量は、好ましくは5,000〜35,000であり、より好ましくは6,000〜30,000であり、とりわけ好ましくは7,000〜28,000である。分子量が前記の範囲にあると、塗膜硬度が向上し、残膜率も高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にあり、好ましい。   The polystyrene-converted weight average molecular weight of the alkali-soluble resin (B1) is preferably 5,000 to 35,000, more preferably 6,000 to 30,000, and particularly preferably 7,000 to 28,000. is there. When the molecular weight is within the above range, the coating film hardness is improved, the residual film ratio is high, the solubility of the unexposed area in the developer is good, and the resolution tends to be improved, which is preferable.

本発明の着色感光性樹脂組成物は光重合性化合物(C)を含む。光重合性化合物(C)は、光を照射されることによって光重合開始剤(D)から発生した活性ラジカル、酸などによって重合しうる化合物であって、例えば、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。   The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a photopolymerizable compound (C). The photopolymerizable compound (C) is a compound that can be polymerized by an active radical, an acid, or the like generated from the photopolymerization initiator (D) when irradiated with light, and is, for example, polymerizable carbon-carbon unsaturated. Examples thereof include compounds having a bond.

前記の光重合性化合物(C)としては、3官能以上の多官能の光重合性化合物であることが好ましい。3官能以上の多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。前記の光重合性化合物(C)は、単独でも2種以上を組合せて用いてもよい。
光重合性化合物(C)の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは5質量%以上90質量%以下であり、より好ましくは10質量%以上80質量%以下であり、さらに好ましくは20質量%以上70質量%以下である。光重合性化合物(C)の含有量が前記の範囲にあると、硬化が十分におこり、現像前後での膜厚比率が向上し、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があることから好ましい。
The photopolymerizable compound (C) is preferably a trifunctional or higher polyfunctional photopolymerizable compound. Examples of the trifunctional or higher polyfunctional photopolymerizable compound include pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, and the like. Is mentioned. The photopolymerizable compounds (C) may be used alone or in combination of two or more.
Content of a photopolymerizable compound (C) is a mass fraction with respect to a colored photosensitive resin composition, Preferably it is 5 to 90 mass%, More preferably, it is 10 to 80 mass%. More preferably, it is 20 mass% or more and 70 mass% or less. When the content of the photopolymerizable compound (C) is in the above range, curing is sufficiently performed, the film thickness ratio before and after the development is improved, the pattern is less likely to be undercut, and the adhesion is improved. It is preferable because of its tendency.

本発明の着色感光性樹脂組成物は光重合開始剤(D)を含む。前記の光重合開始剤(D)としては、アセトフェノン系化合物、活性ラジカル発生剤、酸発生剤などが挙げられる。
前記のアセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマーなどが挙げられ、好ましくは2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オンなどが挙げられる。
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a photopolymerization initiator (D). Examples of the photopolymerization initiator (D) include acetophenone compounds, active radical generators, and acid generators.
Examples of the acetophenone compound include diethoxyacetophenone, 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one, and 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane-1. -One, benzyldimethyl ketal, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1 -[4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one oligomers, and the like, preferably 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one and the like. It is done.

活性ラジカル発生剤は光を照射されることによって活性ラジカルを発生する。前記の活性ラジカル発生剤としては、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物、オキシム系化合物などが挙げられる。   An active radical generator generates an active radical when irradiated with light. Examples of the active radical generator include benzoin compounds, benzophenone compounds, thioxanthone compounds, triazine compounds, and oxime compounds.

前記のベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。   Examples of the benzoin-based compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether.

前記のベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。   Examples of the benzophenone compounds include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ′, 4,4′-tetra (t-butyl). Peroxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, and the like.

前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.

前記のトリアジン系化合物としては、例えば、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジンなどが挙げられる。   Examples of the triazine compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- ( 4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl ] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4- Bis (trichloromethyl) ) Such -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine.

前記のオキシム系化合物としては、例えば、O−アシルオキシム系化合物が挙げられ、その具体例としては、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−ブタン−1,2−ジオン2−オキシム−O−ベンゾアート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−オクタン−1,2−ジオン2−オキシム−O−ベンゾアート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−オクタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−ブタン−1−オンオキシム−O−アセタート等が挙げられる。   Examples of the oxime compounds include O-acyloxime compounds, and specific examples thereof include 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -butane-1,2-dione 2-oxime-O—. Benzoate, 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -octane-1,2-dione 2-oxime-O-benzoate, 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -octane-1-one oxime-O-acetate 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -butan-1-one oxime-O-acetate and the like.

前記の例示以外の活性ラジカル発生剤として、例えば、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エチルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。   Examples of active radical generators other than those exemplified above include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl- 1,2′-biimidazole, 10-butyl-2-chloroacridone, 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methyl phenylglyoxylate, titanocene compound, etc. can also be used. .

前記の酸発生剤としては、例えば、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムp−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムp−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などを挙げることができる。   Examples of the acid generator include 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-acetoxyphenyl, Onium salts such as methyl benzylsulfonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium p-toluenesulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium p-toluenesulfonate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate, and nitrobenzyl tosylate And benzoin tosylate.

また、前記の活性ラジカル発生剤として上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化合物もあり、例えば、トリアジン系光重合開始剤は、酸発生剤としても使用される。   Among the compounds described above as the active radical generator, there are compounds that generate an acid simultaneously with the active radical. For example, a triazine photopolymerization initiator is also used as an acid generator.

光重合開始剤(D)の含有量は、アルカリ可溶性樹脂(B1)および光重合性化合物(C)の合計量に対して質量分率で、好ましくは0.1質量%以上20質量%以下であり、より好ましくは1質量%以上15質量%以下である。光重合開始剤の含有量が、前記の範囲にあると、高感度化して露光時間が短縮されることからカラーフィルタの生産性が向上し、一方感度が高くなりすぎることによってラインアンドスペースのパターンが解像する最小線幅において線幅が太くなりすぎない傾向があることから好ましい。   Content of a photoinitiator (D) is a mass fraction with respect to the total amount of alkali-soluble resin (B1) and a photopolymerizable compound (C), Preferably it is 0.1 to 20 mass%. More preferably, it is 1 mass% or more and 15 mass% or less. When the content of the photopolymerization initiator is in the above range, the sensitivity is increased and the exposure time is shortened, so that the productivity of the color filter is improved, while the sensitivity becomes too high, and the line and space pattern is increased. This is preferable because the line width does not tend to be too large at the minimum line width to be resolved.

本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに光重合開始助剤(G)が含まれていてもよい。光重合開始助剤(G)は、通常、光重合開始剤(D)と組合せて用いられ、光重合開始剤によって重合が開始された光重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物である。
光重合開始助剤(G)としては、アミン系化合物、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
前記のアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。
The colored photosensitive resin composition of the present invention may further contain a photopolymerization initiation assistant (G). The photopolymerization initiation assistant (G) is a compound that is usually used in combination with the photopolymerization initiator (D), and is used to accelerate the polymerization of the photopolymerizable compound that has been polymerized by the photopolymerization initiator. is there.
Examples of the photopolymerization initiation aid (G) include amine compounds, alkoxyanthracene compounds, and thioxanthone compounds.
Examples of the amine compound include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, and 2-dimethylbenzoate. Aminoethyl, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Michler's ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4, Examples thereof include 4′-bis (ethylmethylamino) benzophenone, and among these, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone is preferable.

前記のアルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。   Examples of the alkoxyanthracene-based compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene, and the like. Can be mentioned.

前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.

光重合開始助剤(G)は、単独でも2種以上を組合せて用いてもよい。また、光重合開始助剤(G)としては、市販のものを用いることもでき、市販の光重合開始助剤(G)としては、例えば、EAB−F(保土谷化学工業(株)製)などが挙げられる。   The photopolymerization initiation assistant (G) may be used alone or in combination of two or more. Moreover, as a photoinitiation adjuvant (G), a commercially available thing can also be used, and as a commercially available photoinitiation assistant (G), for example, EAB-F (made by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) Etc.

本発明の着色感光性樹脂組成物における光重合開始剤(D)および光重合開始助剤(G)の組合せとしては、例えば、ジエトキシアセトフェノン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンジルジメチルケタール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマー/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられ、好ましくは2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが挙げられる。   Examples of the combination of the photopolymerization initiator (D) and the photopolymerization initiation assistant (G) in the colored photosensitive resin composition of the present invention include, for example, diethoxyacetophenone / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2- Methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one / 4 4′-bis (diethylamino) benzophenone, benzyldimethyl ketal / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 1-hydroxycyclohexylphenyl Ton / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, oligomer of 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) ) Benzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, etc., preferably 2-methyl-2-morpholino Examples include -1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone.

これらの光重合開始助剤(G)を用いる場合、その使用量は、光重合開始剤(D)1モルあたり、好ましくは0.01モル以上10モル以下であり、より好ましくは0.01モル以上5モル以下である。   When these photopolymerization initiation assistants (G) are used, the amount used is preferably 0.01 mol or more and 10 mol or less, more preferably 0.01 mol, per mol of the photopolymerization initiator (D). It is 5 mol or less.

本発明の着色感光性樹脂組成物が含有する溶剤(E)としては、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類などが挙げられる。
エーテル類としては、例えば、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、1,4−ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。
芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
ケトン類としては、例えば、アセトン、2−ブタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプタノン、4−メチル−2−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。
アルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。
エステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
アミド類としては、例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドなどが挙げられる。
その他の溶剤としては、例えば、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシドなどが挙げられる。
前記の溶剤の中で、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを含む溶剤が好ましく用いられる。該溶剤中のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの含有量は、好ましくは50〜100質量%であり、より好ましくは55〜97質量%であり、とりわけ好ましくは60〜95質量%である。
前記の溶剤は、それぞれ単独でも2種類以上を組合せて用いてもよい。
本発明の着色組成物または着色感光性樹脂組成物における溶剤(E)の含有量は、着色組成物または着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは70質量%以上90質量%以下、より好ましくは75質量%以上88質量%以下である。溶剤(E)の含有量が、前記の範囲にあると、塗布時の面内均一性が良好で、かつカラーフィルタを形成した際の色濃度が十分で表示特性が良好であるため好ましい。
Examples of the solvent (E) contained in the colored photosensitive resin composition of the present invention include ethers, aromatic hydrocarbons, ketones, alcohols, esters, amides and the like.
Examples of ethers include tetrahydrofuran, tetrahydropyran, 1,4-dioxane, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol. Monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate Methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether acetate, methoxybutyl acetate, methoxy pentyl acetate, anisole, phenetole, and the like methyl anisole.
Examples of aromatic hydrocarbons include benzene, toluene, xylene, mesitylene and the like.
Examples of ketones include acetone, 2-butanone, 2-heptanone, 3-heptanone, 4-heptanone, 4-methyl-2-pentanone, cyclopentanone, and cyclohexanone.
Examples of alcohols include methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, and glycerin.
Examples of esters include ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, methyl lactate, ethyl lactate , Methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-oxypropionate, ethyl 3-oxypropionate, 3-methoxy Methyl propionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, 2-metho Methyl cypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, 2-oxy-2- Ethyl methyl propionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, 2-oxobutane Examples include methyl acid, ethyl 2-oxobutanoate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, and γ-butyrolactone.
Examples of amides include N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide.
Examples of other solvents include N-methylpyrrolidone and dimethyl sulfoxide.
Among the above solvents, a solvent containing propylene glycol monomethyl ether acetate is preferably used. The content of propylene glycol monomethyl ether acetate in the solvent is preferably 50 to 100% by mass, more preferably 55 to 97% by mass, and particularly preferably 60 to 95% by mass.
These solvents may be used alone or in combination of two or more.
The content of the solvent (E) in the colored composition or colored photosensitive resin composition of the present invention is a mass fraction with respect to the colored composition or colored photosensitive resin composition, preferably 70% by mass or more and 90% by mass. Hereinafter, it is 75 to 88 mass% more preferably. When the content of the solvent (E) is in the above-mentioned range, it is preferable because the in-plane uniformity at the time of coating is good and the color density when the color filter is formed is sufficient and the display characteristics are good.

本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに、界面活性剤が含まれていてもよい。界面活性剤としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤およびフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも1種が挙げられる。
前記のシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、トーレシリコーンDC3PA、同SH7PA、同DC11PA、同SH21PA、同SH28PA、同29SHPA、同SH30PA、ポリエーテル変性シリコンオイルSH8400(商品名:トーレシリコーン(株)製)、KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越シリコーン製)、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF−4446、TSF4452、TSF4460(ジーイー東芝シリコーン(株)製)などが挙げられる。
前記のフッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、フロラード(商品名)FC430、同FC431(住友スリーエム(株)製)、メガファック(商品名)F142D、同F171、同F172、同F173、同F177、同F183、同R30(大日本インキ化学工業(株)製)、エフトップ(商品名)EF301、同EF303、同EF351、同EF352(新秋田化成(株)製)、サーフロン(商品名)S381、同S382、同SC101、同SC105(旭硝子(株)製)、E5844((株)ダイキンファインケミカル研究所製)、BM−1000、BM−1100(いずれも商品名:BM Chemie社製)などが挙げられる。
前記のフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合およびフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、メガファック(登録商標)R08、同BL20、同F475、同F477、同F443(大日本インキ化学工業(株)製)などがあげられる。
これらの界面活性剤は、単独でも2種類以上を組合せて用いてもよい。
界面活性剤を含有する場合、その含有量は、着色感光性樹脂組成物に対し質量分率で、好ましくは0.0005質量%以上0.6質量%以下であり、より好ましくは0.001質量%以上0.5質量%である。界面活性剤の含有量が、前記の範囲にあると、塗布時の平坦性が良好になる傾向があり好ましい。
The colored photosensitive resin composition of the present invention may further contain a surfactant. Examples of the surfactant include at least one selected from the group consisting of a silicone surfactant, a fluorine surfactant, and a silicone surfactant having a fluorine atom.
Examples of the silicone surfactant include surfactants having a siloxane bond. Specifically, Torre Silicone DC3PA, SH7PA, DC11PA, SH21PA, SH28PA, SH28PA, 29SHPA, SH30PA, polyether-modified silicone oil SH8400 (trade name: manufactured by Torresilicone Co., Ltd.), KP321, KP322, KP323 , KP324, KP326, KP340, KP341 (manufactured by Shin-Etsu Silicone), TSF400, TSF401, TSF410, TSF4300, TSF4440, TSF4445, TSF-4446, TSF4452, and TSF4460 (manufactured by GE Toshiba Silicone Co., Ltd.).
Examples of the fluorine-based surfactant include surfactants having a fluorocarbon chain. Specifically, Florard (trade name) FC430, FC431 (Sumitomo 3M Co., Ltd.), MegaFuck (trade name) F142D, F171, F172, F173, F177, F183, R183 (large) Nippon Ink Chemical Co., Ltd.), Ftop (trade name) EF301, EF303, EF351, EF352, EF352 (manufactured by Shin-Akita Kasei Co., Ltd.), Surflon (tradename) S381, S382, SC101, SC105 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), E5844 (manufactured by Daikin Fine Chemical Laboratory Co., Ltd.), BM-1000, BM-1100 (all trade names: manufactured by BM Chemie) and the like.
Examples of the silicone-based surfactant having a fluorine atom include surfactants having a siloxane bond and a fluorocarbon chain. Specifically, Megafac (registered trademark) R08, BL20, F475, F477, F443 (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) and the like can be mentioned.
These surfactants may be used alone or in combination of two or more.
When the surfactant is contained, the content thereof is a mass fraction with respect to the colored photosensitive resin composition, preferably 0.0005% by mass to 0.6% by mass, and more preferably 0.001% by mass. % Or more and 0.5% by mass. When the content of the surfactant is in the above range, the flatness during application tends to be good, which is preferable.

本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに、充填剤、樹脂(B)以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などの添加剤を含有していてもよい。   The colored photosensitive resin composition of the present invention further includes a filler, a polymer compound other than the resin (B), an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an aggregation inhibitor, an organic acid, an organic amino compound, You may contain additives, such as a hardening | curing agent.

前記の充填剤としては、例えば、ガラス、アルミナなどの微粒子が挙げられる。   Examples of the filler include fine particles such as glass and alumina.

前記のアルカリ可溶性樹脂以外の高分子化合物としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。   Examples of the polymer compound other than the alkali-soluble resin include polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate.

前記の密着促進剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。   Examples of the adhesion promoter include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2 -Aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxymethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) Examples include ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane.

前記の酸化防止剤としては、例えば、4,4’−チオビス(6−t−ブチル−3−メチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルフェノールなどが挙げられる。   Examples of the antioxidant include 4,4'-thiobis (6-tert-butyl-3-methylphenol), 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol, and the like.

前記の紫外線吸収剤としては、例えば、2−(2−ヒドロキシ−3−t−ブチル−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾールなどのベンゾトリアゾール系;
2−ヒドロキシ−4−オクチルオキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系;
2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエートなどのベンゾエート系;
2−(4,6−ジフェニル−1,3,5−トリアジン−2−イル)−5−ヘキシルオキシフェノールなどのトリアジン系などが挙げられる。
Examples of the ultraviolet absorber include benzotriazoles such as 2- (2-hydroxy-3-t-butyl-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole;
Benzophenone series such as 2-hydroxy-4-octyloxybenzophenone;
Benzoate systems such as 2,4-di-tert-butylphenyl-3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzoate;
And triazines such as 2- (4,6-diphenyl-1,3,5-triazin-2-yl) -5-hexyloxyphenol.

前記の凝集防止剤としては、例えば、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。   Examples of the aggregation preventing agent include sodium polyacrylate.

前記の有機酸としては、例えば、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸類;
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸などの脂肪族ジカルボン酸類;
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸類;
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類;
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸類;
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類などが挙げられる。
Examples of the organic acid include aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, and caprylic acid;
Oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassylic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid Aliphatic dicarboxylic acids such as cyclohexanedicarboxylic acid, itaconic acid, citraconic acid, maleic acid, fumaric acid, mesaconic acid;
Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, camphoric acid;
Aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelic acid, mesitylene acid;
Aromatic dicarboxylic acids such as phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid;
Aromatic polycarboxylic acids such as trimellitic acid, trimesic acid, merophanic acid, and pyromellitic acid are listed.

前記の有機アミン化合物としては、例えば、n―プロピルアミン、i−プロピルアミン、n−ブチルアミン、i−ブチルアミン、sec−ブチルアミン、t−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミン、n−ヘプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミン、n−ドデシルアミンなどのモノアルキルアミン類;
シクロヘキシルアミン、2−メチルシクロヘキシルアミン、3−メチルシクロヘキシルアミン、4−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノシクロアルキルアミン類;
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルn−プロピルアミン、エチルn−プロピルアミン、ジn−プロピルアミン、ジi−プロピルアミン、ジn−ブチルアミン、ジi−ブチルアミン、ジsec−ブチルアミン、ジt−ブチルアミン、ジn−ペンチルアミン、ジn−ヘキシルアミンなどのジアルキルアミン類;
メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルモノシクロアルキルアミン類;
ジシクロヘキシルアミンなどのジシクロアルキルアミン類;
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルn−プロピルアミン、ジエチルn−プロピルアミン、メチルジn−プロピルアミン、エチルジn−プロピルアミン、トリn−プロピルアミン、トリi−プロピルアミン、トリn−ブチルアミン、トリi−ブチルアミン、トリsec−ブチルアミン、トリt−ブチルアミン、トリn−ペンチルアミン、トリn−ヘキシルアミンなどのトリアルキルアミン類;
ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミンなどのジアルキルモノシクロアルキルアミン類;
メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルジシクロアルキルアミン類;
2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−アミノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノール、6−アミノ−1−ヘキサノールなどのモノアルカノールアミン類;
4−アミノ−1−シクロヘキサノールなどのモノシクロアルカノールアミン類;
ジエタノールアミン、ジn−プロパノールアミン、ジi−プロパノールアミン、ジn−ブタノールアミン、ジi−ブタノールアミン、ジn−ペンタノールアミン、ジn−ヘキサノールアミンなどのジアルカノールアミン類;
ジ(4−シクロヘキサノール)アミンなどのジシクロアルカノールアミン類;
トリエタノールアミン、トリn−プロパノールアミン、トリi−プロパノールアミン、トリn−ブタノールアミン、トリi−ブタノールアミン、トリn−ペンタノールアミン、トリn−ヘキサノールアミンなどのトリアルカノールアミン類;
トリ(4−シクロヘキサノール)アミンなどのトリシクロアルカノールアミン類;
3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタンジオール、3−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジエチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルアミノ−1,3−プロパンジオールなどのアミノアルカンジオール類;
4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオール、4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオールなどのアミノシクロアルカンジオール類;
1−アミノシクロペンタノンメタノール、4−アミノシクロペンタノンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカノンメタノール類;
1−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、4−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類;
β−アラニン、2−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイソ酢酸、3−アミノイソ酢酸、2−アミノ吉草酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノカプロン酸、1−アミノシクロプロパンカルボン酸、1−アミノシクロヘキサンカルボン酸、4−アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類;
アニリン、o−メチルアニリン、m−メチルアニリン、p−メチルアニリン、p−エチルアニリン、p−n−プロピルアニリン、p−i−プロピルアニリン、p−n−ブチルアニリン、p−t−ブチルアニリン、1−ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−N,N−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類;
o−アミノベンジルアルコール、m−アミノベンジルアルコール、p−アミノベンジルアルコール、p−ジメチルアミノベンジルアルコール、p−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類;
o−アミノフェノール、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール、p−ジメチルアミノフェノール、p−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類;
m−アミノ安息香酸、p−アミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。
Examples of the organic amine compound include n-propylamine, i-propylamine, n-butylamine, i-butylamine, sec-butylamine, t-butylamine, n-pentylamine, n-hexylamine, and n-heptylamine. Monoalkylamines such as n-octylamine, n-nonylamine, n-decylamine, n-undecylamine, n-dodecylamine;
Monocycloalkylamines such as cyclohexylamine, 2-methylcyclohexylamine, 3-methylcyclohexylamine, 4-methylcyclohexylamine;
Methyl ethylamine, diethylamine, methyl n-propylamine, ethyl n-propylamine, di-n-propylamine, di-i-propylamine, di-n-butylamine, di-butylamine, disec-butylamine, di-t-butylamine, di dialkylamines such as n-pentylamine and di-n-hexylamine;
Monoalkylmonocycloalkylamines such as methylcyclohexylamine and ethylcyclohexylamine;
Dicycloalkylamines such as dicyclohexylamine;
Dimethylethylamine, methyldiethylamine, triethylamine, dimethyl n-propylamine, diethyl n-propylamine, methyldi-n-propylamine, ethyldi-n-propylamine, tri-n-propylamine, tri-i-propylamine, tri-n-butylamine, tri trialkylamines such as i-butylamine, trisec-butylamine, tri-t-butylamine, tri-n-pentylamine, tri-n-hexylamine;
Dialkylmonocycloalkylamines such as dimethylcyclohexylamine and diethylcyclohexylamine;
Monoalkyldicycloalkylamines such as methyldicyclohexylamine, ethyldicyclohexylamine, tricyclohexylamine;
Monoalkanolamines such as 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 1-amino-2-propanol, 4-amino-1-butanol, 5-amino-1-pentanol, and 6-amino-1-hexanol Kind;
Monocycloalkanolamines such as 4-amino-1-cyclohexanol;
Dialkanolamines such as diethanolamine, di-n-propanolamine, di-i-propanolamine, di-n-butanolamine, dii-butanolamine, di-n-pentanolamine, di-n-hexanolamine;
Dicycloalkanolamines such as di (4-cyclohexanol) amine;
Trialkanolamines such as triethanolamine, tri-n-propanolamine, tri-i-propanolamine, tri-n-butanolamine, tri-i-butanolamine, tri-n-pentanolamine, tri-n-hexanolamine;
Tricycloalkanolamines such as tri (4-cyclohexanol) amine;
3-amino-1,2-propanediol, 2-amino-1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol, 4-amino-1,3-butanediol, 3-dimethylamino-1 Aminoalkanediols such as 1,2-propanediol, 3-diethylamino-1,2-propanediol, 2-dimethylamino-1,3-propanediol, 2-diethylamino-1,3-propanediol;
Aminocycloalkanediols such as 4-amino-1,2-cyclohexanediol and 4-amino-1,3-cyclohexanediol;
Amino group-containing cycloalkanone methanols such as 1-aminocyclopentanone methanol and 4-aminocyclopentanone methanol;
Amino group-containing cycloalkanemethanols such as 1-aminocyclohexanone methanol, 4-aminocyclohexanone methanol, 4-dimethylaminocyclopentanemethanol, 4-diethylaminocyclopentanemethanol, 4-dimethylaminocyclohexanemethanol, 4-diethylaminocyclohexanemethanol;
β-alanine, 2-aminobutyric acid, 3-aminobutyric acid, 4-aminobutyric acid, 2-aminoisoacetic acid, 3-aminoisoacetic acid, 2-aminovaleric acid, 5-aminovaleric acid, 6-aminocaproic acid, 1-aminocyclo Aminocarboxylic acids such as propanecarboxylic acid, 1-aminocyclohexanecarboxylic acid, 4-aminocyclohexanecarboxylic acid;
Aniline, o-methylaniline, m-methylaniline, p-methylaniline, p-ethylaniline, pn-propylaniline, pi-propylaniline, pn-butylaniline, pt-butylaniline, Aromatic amines such as 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, N, N-dimethylaniline, N, N-diethylaniline, p-methyl-N, N-dimethylaniline;
aminobenzyl alcohols such as o-aminobenzyl alcohol, m-aminobenzyl alcohol, p-aminobenzyl alcohol, p-dimethylaminobenzyl alcohol, p-diethylaminobenzyl alcohol;
aminophenols such as o-aminophenol, m-aminophenol, p-aminophenol, p-dimethylaminophenol, p-diethylaminophenol;
Examples include aminobenzoic acids such as m-aminobenzoic acid, p-aminobenzoic acid, p-dimethylaminobenzoic acid, and p-diethylaminobenzoic acid.

前記の硬化剤としては、例えば、加熱されることによってアルカリ可溶性樹脂中のカルボキシル基と反応してアルカリ可溶性樹脂を架橋することができる化合物、単独で重合して着色パターンを硬化させ得る化合物などが挙げられる。前記化合物としては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられ、オキセタン化合物が好ましく用いられる。   Examples of the curing agent include a compound that can react with a carboxyl group in an alkali-soluble resin by being heated to crosslink the alkali-soluble resin, a compound that can be polymerized alone to cure a colored pattern, and the like. Can be mentioned. Examples of the compound include an epoxy compound and an oxetane compound, and an oxetane compound is preferably used.

ここで、エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系エポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの(共)重合体のエポキシ化物、イソプレンの(共)重合体のエポキシ化物、グリシジル(メタ)アクリレートの(共)重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。   Here, as the epoxy compound, for example, bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol F type epoxy resin, novolac type epoxy resin, other aromatic epoxy resins , Alicyclic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, glycidyl ester resins, glycidyl amine resins, epoxy resins such as epoxidized oil, brominated derivatives of these epoxy resins, epoxy resins and brominated derivatives thereof Aliphatic, cycloaliphatic or aromatic epoxy compounds, epoxidized butadiene (co) polymers, epoxidized isoprene (co) polymers, glycidyl (meth) acrylate (co) polymers, triglycidyl Examples include isocyanurate.

前記のオキセタン化合物としては、例えば、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。   Examples of the oxetane compound include carbonate bisoxetane, xylylene bisoxetane, adipate bisoxetane, terephthalate bisoxetane, and bisoxetane cyclohexanedicarboxylate.

本発明の着色感光性組成物は、硬化剤としてエポキシ化合物、オキセタン化合物などを含有する場合には、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。該化合物としては、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。   When the colored photosensitive composition of the present invention contains an epoxy compound, an oxetane compound or the like as a curing agent, it may contain a compound capable of ring-opening polymerization of the epoxy group of the epoxy compound or the oxetane skeleton of the oxetane compound. . Examples of the compound include polyvalent carboxylic acids, polyvalent carboxylic acid anhydrides, and acid generators.

前記の多価カルボン酸類としては、例えば、フタル酸、3,4−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類;
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類;
ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
Examples of the polyvalent carboxylic acids include phthalic acid, 3,4-dimethylphthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic acid, 3 Aromatic polycarboxylic acids such as 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid;
Aliphatic polycarboxylic acids such as succinic acid, glutaric acid, adipic acid, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid;
Hexahydrophthalic acid, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic acid, hexahydroisophthalic acid, hexahydroterephthalic acid, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic acid, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic acid, cyclopentanetetracarboxylic acid And alicyclic polyvalent carboxylic acids such as 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid.

前記の多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類;
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類;
無水ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸無水物、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類;
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
Examples of the polyvalent carboxylic acid anhydrides include aromatic phthalic anhydride, pyromellitic anhydride, trimellitic anhydride, and 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride. Carboxylic anhydrides;
Aliphatic polycarboxylic anhydrides such as itaconic anhydride, succinic anhydride, citraconic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, tricarballylic anhydride, maleic anhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride Kind;
Hexahydrophthalic anhydride, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic anhydride, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic anhydride, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic anhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride Alicyclic polycarboxylic acid anhydrides such as 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, hymic anhydride, and nadic anhydride;
Examples include ester group-containing carboxylic acid anhydrides such as ethylene glycol bistrimellitic acid and glycerin tristrimellitic anhydride.

前記のカルボン酸無水物類としては、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。前記のエポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、アデカハードナーEH−700(旭電化工業(株)製)、リカシッドHH、MH−700(いずれも新日本理化(株)製)などが挙げられる。   As said carboxylic acid anhydride, you may use what is marketed as an epoxy resin hardening | curing agent. Examples of the epoxy resin curing agent include ADEKA HARDNER EH-700 (manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.), RIKACID HH, MH-700 (all manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.), and the like.

前記の硬化剤は、単独でも2種以上を組合せて用いてもよい。   The above curing agents may be used alone or in combination of two or more.

本発明の着色感光性樹脂組成物を調製する方法としては、例えば、溶剤(E)中において分散剤を併存させて染料(A)を分散させ、染料(A)分散液を調製し、さらに、アルカリ可溶性樹脂(B1)、光重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)および必要によりその他の添加剤等を溶解させ、前記の染料(A)分散液と混合し、必要によりさらに溶剤を添加する方法などが挙げられる。   As a method for preparing the colored photosensitive resin composition of the present invention, for example, a dye (A) is dispersed by coexisting a dispersant in a solvent (E) to prepare a dye (A) dispersion, The alkali-soluble resin (B1), the photopolymerizable compound (C), the photopolymerization initiator (D) and other additives as necessary are dissolved, mixed with the dye (A) dispersion, and if necessary, a solvent. And the like.

また、本発明の着色感光性樹脂組成物は、通常、容器に封入して、流通、保管に供される。   In addition, the colored photosensitive resin composition of the present invention is usually enclosed in a container and distributed and stored.

本発明の着色感光性樹脂組成物を用いたイメージセンサ用カラーフィルタの一般的な製造法は次の通りである。本発明の着色感光性樹脂組成物を基板上に塗布・乾燥する工程、得られた乾燥塗布膜にi線ステッパー等でパターン露光する工程、露光後にアルカリ現像する工程、次に加熱処理する工程を順次行い、各色(3色あるいは4色)ごとに前記工程を順次繰り返して硬化皮膜を作製することによりカラーフィルタが得られる。
より具体的には、本発明の着色感光性樹脂組成物を、スピンコーター等公知の塗布装置により、適当な基板上に乾燥時の膜厚が一般的に0.1〜5μm、好ましくは0.2〜2μmになるように塗布し、100℃のオーブンなどの加熱装置で、例えば3分間加熱して、平滑な塗膜を得る。
A general method for producing a color filter for an image sensor using the colored photosensitive resin composition of the present invention is as follows. A step of applying and drying the colored photosensitive resin composition of the present invention on a substrate, a step of pattern exposure of the obtained dry coating film with an i-line stepper, a step of alkali development after exposure, and a step of heat treatment A color filter is obtained by sequentially performing the steps described above for each color (3 colors or 4 colors) to produce a cured film.
More specifically, the colored photosensitive resin composition of the present invention is generally dried at a thickness of 0.1 to 5 μm, preferably 0. It coats so that it may become 2-2 micrometers, and it heats, for example for 3 minutes with heating apparatuses, such as 100 degreeC oven, and obtains a smooth coating film.

基板としては、特に限定されないが、ガラス板、プラスチックス板、アルミ板、撮像素子用シリコンウエハ等の電子部品の基材、さらには透明樹脂板、樹脂フィルム、ブラウン管表示面、撮像管の受光面、CCD、BBD、CID、BASIS等の固体撮像素子が形成されたウエハー、薄膜半導体を用いた密着型イメージセンサ、液晶ディスプレイ面、カラー電子写真用感光体、エレクトロクロミィー(EC)表示装置の基板等が挙げられる。   The substrate is not particularly limited, but is a glass plate, a plastic plate, an aluminum plate, a base material for electronic parts such as a silicon wafer for an image sensor, and further a transparent resin plate, a resin film, a cathode ray tube display surface, a light receiving surface of the image pickup tube. , CCD, BBD, CID, wafers with solid-state image sensors such as BASIS, contact image sensors using thin film semiconductors, liquid crystal display surfaces, color electrophotographic photoreceptors, electrochromic (EC) display substrates Etc.

また、基板にカラーフィルタ層との接着性を向上させるために高密着処理を施すことが好ましい。具体的には、基板上に予めシランカップリング剤等で薄く塗布した後に着色感光性樹脂組成物のパターンを形成するか、あるいは予め着色感光性樹脂組成物中にシランカップリング剤を含有させてもよい。   Further, it is preferable to perform a high adhesion treatment to improve the adhesion to the color filter layer on the substrate. Specifically, after a thin coating with a silane coupling agent or the like is applied on the substrate in advance, a pattern of the colored photosensitive resin composition is formed, or the colored photosensitive resin composition is previously incorporated with a silane coupling agent. Also good.

なお、基板上に段差がある場合は、その段差を解消し塗設面を平滑にするための平坦化膜を基板上に塗設した後、本発明の着色感光性樹脂組成物を塗布することができる。例えば、CCDなどのイメージセンサはシリコン基板上に受光量に応じて電子を発生させる光電子変換部(フォトダイオード)とその発生した電子を出力する為の読み出しゲート部とで構成されているが、読み出しゲート部に光が当たるとノイズの原因となり正確なデータが出力されないため、読み出しゲート部の上部には遮光膜層が形成されており、遮光膜層を持たないフォトダイオード部との間で段差が生じている場合がある。このような段差上にカラーレジストを塗布し、直接カラーフィルタを形成すると光路長が長くなるため画像が暗く、また集光性も劣るようになる。これを改善する為、その段差を埋める目的で透明な平坦化膜をCCDとカラーフィルタとの間に形成することが好ましい。この平坦化膜の材料としては、本発明におけるような感光性樹脂組成物、アクリル系、エポキシ系等の熱硬化性樹脂等が挙げられる。
感光性樹脂組成物を塗布した後、溶媒を蒸発させ乾燥塗布膜を得るため、通常、プリベークを行う。このプリベークの方法としては、減圧乾燥、高温の空気などによる間接加熱乾燥、ホットプレート等による直接加熱乾燥(80〜140℃、50〜200秒)等がある。また、現像後に得られたパターンを、十分硬化させて機械強度を高め永久膜とするためにポストベークが行われる。例えば、3色のカラーフィルタの製造に際しては、最初に形成されたパターンは、その後、他色のレジスト液の塗布、露光、現像を2度受ける。この際に、塗布されたレジスト液との混色、露光、現像によるパターンの欠落が生じないようにポストベークを行うものである。このポストベークはプリベーク同様の方法が用いられるが、プリベークの条件よりも、高温、長時間で行われる。例えば、オーブンによる加熱の場合、120〜250℃で、1〜60分、ホットプレートによる加熱の場合、100〜250℃で、2〜60分間加熱される。
露光のための光源は特に限定されないが、パターン形成性に関して顕著な効果がもたらされる光源として水銀灯のi線を挙げることができる。本発明の特徴は工程の適正の面から水銀灯の線スペクトルの一つであるi線が使用されるイメージセンサ用カラーフィルタの製造において、特にその特徴が顕著となるが、液晶表示装置用においても使用できることは勿論である。
硬化性組成物の現像に使用する現像液は特に制限はなく、従来公知の現像液を使用することができる。中でも、テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド(TMAH)などの4級アンモニウム塩類の有機アルカリ系の現像液が本発明の目的を達成する上で好ましい。
If there is a step on the substrate, apply the colored photosensitive resin composition of the present invention after coating the substrate with a planarizing film for eliminating the step and smoothing the coating surface. Can do. For example, an image sensor such as a CCD is composed of a photoelectric conversion unit (photodiode) that generates electrons on a silicon substrate in accordance with the amount of received light and a read gate unit for outputting the generated electrons. If light hits the gate part, it causes noise and accurate data is not output.Therefore, a light shielding film layer is formed on the top of the readout gate part, and there is a step between the photodiode part without the light shielding film layer. It may have occurred. When a color resist is applied on such a step and a color filter is directly formed, the optical path length becomes long, so that the image becomes dark and the light condensing property becomes inferior. In order to improve this, it is preferable to form a transparent flattening film between the CCD and the color filter in order to fill the step. Examples of the material for the flattening film include a photosensitive resin composition as in the present invention, and an acrylic or epoxy thermosetting resin.
After applying the photosensitive resin composition, pre-baking is usually performed to evaporate the solvent and obtain a dry coating film. Examples of the pre-baking method include reduced-pressure drying, indirect heating drying using high-temperature air, direct heating drying using a hot plate or the like (80 to 140 ° C., 50 to 200 seconds), and the like. In addition, post-baking is performed in order to sufficiently cure the pattern obtained after development to increase the mechanical strength and form a permanent film. For example, when a three-color filter is manufactured, the first formed pattern is then subjected to application, exposure, and development of another color resist solution twice. At this time, post-baking is performed so as not to cause pattern omission due to color mixing with the applied resist solution, exposure, and development. This post-baking uses the same method as pre-baking, but is performed at a higher temperature and for a longer time than the pre-baking conditions. For example, in the case of heating by an oven, it is heated at 120 to 250 ° C. for 1 to 60 minutes, and in the case of heating by a hot plate, it is heated at 100 to 250 ° C. for 2 to 60 minutes.
Although the light source for exposure is not particularly limited, i-line of a mercury lamp can be cited as a light source that has a remarkable effect on the pattern forming property. The feature of the present invention is particularly remarkable in the production of a color filter for an image sensor in which i-line, which is one of the line spectrum of a mercury lamp, is used from an appropriate aspect of the process. Of course, it can be used.
There is no restriction | limiting in particular in the developing solution used for image development of a curable composition, A conventionally well-known developing solution can be used. Among them, an organic alkaline developer of a quaternary ammonium salt such as tetramethylammonium hydroxide (TMAH) is preferable for achieving the object of the present invention.

上記のような各工程を経て形成されたパターンを、異なる色相ごとに繰り返すことで、カラーフィルタを得ることができ、該カラーフィルタは、イメージセンサの構成要素として好適に用いられる。   A color filter can be obtained by repeating the pattern formed through the above steps for each different hue, and the color filter is preferably used as a component of the image sensor.

上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。   While the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the present invention disclosed above are merely examples, and the scope of the present invention is not limited to these embodiments. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and includes the meaning equivalent to the description of the claims and all modifications within the scope. EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited by these Examples.

<樹脂(B1)の合成>
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよびガス導入管を備えた1Lのフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート333gが導入された。その後、ガス導入管を通って窒素ガスがフラスコ内に導入されて、フラスコ内雰囲気が窒素ガスに置換された。その後、フラスコ内の溶液が100℃に昇温された後、ジシクロペンタニルメタクリレート(FA−513M;日立化成(株)製)22.0g(0.10モル)、ベンジルメタクリレート70.5g(0.40モル)、メタクリル酸43.0g(0.5モル)、アゾビスイソブチロニトリル3.6gおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート164gからなる混合物が、滴下ロートを用いて2時間かけてフラスコに滴下され、滴下完了後さらに100℃で5時間撹拌が続けられた。
攪拌終了後、ガス導入管を通って空気がフラスコ内に導入されて、フラスコ内雰囲気が空気にされた後、グリシジルメタクリレート35.5g[0.25モル(本反応に用いたメタクリル酸に対してモル分率で、50モル%)]、トリスジメチルアミノメチルフェノール0.9gおよびハイドロキノン0.145gがフラスコ内に投入され、反応が110℃で6時間続けられ、固形分、酸価80mgKOH/gの樹脂B1を得た。
ここで、酸価は、カルボン酸などの酸基を有する重合体1gを中和するに必要な水酸化カリウムの量(mg)として測定される値であり、通常、濃度既知の水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求められる。
得られた樹脂B1の、GPC法により測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は9,000であった。
<Synthesis of Resin (B1)>
333 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was introduced into a 1 L flask equipped with a stirrer, thermometer, reflux condenser, dropping funnel and gas introduction tube. Thereafter, nitrogen gas was introduced into the flask through the gas introduction tube, and the atmosphere in the flask was replaced with nitrogen gas. Thereafter, after the temperature of the solution in the flask was raised to 100 ° C., 22.0 g (0.10 mol) of dicyclopentanyl methacrylate (FA-513M; manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), 70.5 g of benzyl methacrylate (0 .40 mol), 43.0 g (0.5 mol) of methacrylic acid, 3.6 g of azobisisobutyronitrile and 164 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were added dropwise to the flask using a dropping funnel over 2 hours. After completion of the dropwise addition, stirring was further continued at 100 ° C. for 5 hours.
After the stirring was completed, air was introduced into the flask through the gas introduction tube, and the atmosphere in the flask was changed to air. Then, 35.5 g of glycidyl methacrylate [0.25 mol (based on methacrylic acid used in this reaction)] 50 mol% in terms of mole fraction)], 0.9 g of trisdimethylaminomethylphenol and 0.145 g of hydroquinone were charged into the flask, the reaction was continued for 6 hours at 110 ° C., and the solid content, acid value of 80 mg KOH / g Resin B1 was obtained.
Here, the acid value is a value measured as an amount (mg) of potassium hydroxide necessary to neutralize 1 g of a polymer having an acid group such as carboxylic acid, and is usually a potassium hydroxide aqueous solution having a known concentration. It is calculated | required by titrating using.
The obtained resin B1 had a weight-average molecular weight in terms of polystyrene measured by GPC method of 9,000.

上記のアルカリ可溶性樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量の測定については、GPC法を用いて、以下の条件で行った。
装置;HLC-8120GPC(東ソー(株)製)
カラム;TSK−GELG2000HXL
カラム温度;40℃
溶媒;THF
流速;1.0mL/min
被検液固型分濃度;0.001〜0.01質量%
注入量;50μL
検出器;RI
校正用標準物質;TSK STANDARD POLYSTYRENE F−40、F−4、F−1、A−2500、A−500(東ソー(株)製)
About the measurement of the polystyrene conversion weight average molecular weight of said alkali-soluble resin, it carried out on condition of the following using GPC method.
Equipment: HLC-8120GPC (manufactured by Tosoh Corporation)
Column; TSK-GELG2000HXL
Column temperature: 40 ° C
Solvent; THF
Flow rate: 1.0 mL / min
Test liquid solid concentration: 0.001 to 0.01% by mass
Injection volume: 50 μL
Detector; RI
Standard material for calibration; TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-1, A-2500, A-500 (manufactured by Tosoh Corporation)

本実施例で用いる成分は以下の通りであり、以下、省略して表示することがある。   The components used in this example are as follows, and may be omitted below.

(A−1):C.I.Solvent Yellow 162 (A-1): C.I. I. Solvent Yellow 162

Figure 2006265548
Figure 2006265548

(A−2):C.I.Solvent Orange 56 (A-2): C.I. I. Solvent Orange 56

Figure 2006265548
Figure 2006265548

(A−3):C.I.Acid Red 289 (A-3): C.I. I. Acid Red 289

Figure 2006265548
Figure 2006265548

(A−4):C.I.Acid Green 16 (A-4): C.I. I. Acid Green 16

Figure 2006265548
Figure 2006265548

<着色組成物(A−11)の調製>
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート:200gに樹脂B1:60gを溶解したワニス260gに、染料(A−1)/(A−2)/(A−3)=31/33/36:200gを3本ロールで混練、分散し、次いで、内容積:1Lのメディアミル(内容積80容量%の0.5mmジルコニアビーズ使用)を用いて、上記樹脂処理染料スラリー:460g、樹脂B1:20gおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート:520gを分散処理し、着色組成物(A−11)を得た。
<Preparation of colored composition (A-11)>
Propylene glycol monomethyl ether acetate: Dye (A-1) / (A-2) / (A-3) = 31/33/36: 200 g in three rolls in 260 g of varnish in which resin B1: 60 g was dissolved in 200 g Kneading and dispersing, then using a media mill with an internal volume of 1 L (using 0.5 mm zirconia beads with an internal volume of 80 vol%), the resin-treated dye slurry: 460 g, resin B 1: 20 g and propylene glycol monomethyl ether acetate : 520 g was dispersed to obtain a colored composition (A-11).

<着色組成物(A−12)の調製>
内容積:1Lのメディアミル(内容積80容量%の0.5mmジルコニアビーズ使用)を用いて、染料(A−1)/(A−2)/(A−3)=31/33/36:200g、樹脂B1:80gおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート:720gを分散処理し、着色組成物(A−12)を得た。
<Preparation of colored composition (A-12)>
Internal volume: Using a 1 L media mill (using 0.5 mm zirconia beads with an internal volume of 80% by volume), dye (A-1) / (A-2) / (A-3) = 31/33/36: 200 g, Resin B 1: 80 g and propylene glycol monomethyl ether acetate: 720 g were dispersed to obtain a colored composition (A-12).

<着色組成物(A−13)の調製>
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート:200gに樹脂B1:60gを溶解したワニス260gに、染料(A−1)/(A−4)=52/48:200gを3本ロールで混練、分散し、次いで、内容積:1Lのメディアミル(内容積80容量%の0.5mmジルコニアビーズ使用)を用いて、上記樹脂処理染料スラリー:460g、樹脂B1:20gおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート:520gを分散処理し、着色組成物(A−13)を得た。
<Preparation of colored composition (A-13)>
Propylene glycol monomethyl ether acetate: Dye (A-1) / (A-4) = 52/48: 200 g was kneaded and dispersed with three rolls in 260 g of varnish in which resin B1: 60 g was dissolved in 200 g, and then the contents Product: Using a 1 L media mill (using 0.5 mm zirconia beads with an internal volume of 80% by volume), the resin-treated dye slurry: 460 g, resin B 1:20 g, and propylene glycol monomethyl ether acetate: 520 g are dispersed and colored. A composition (A-13) was obtained.

<着色組成物(A−14)の調製>
内容積:1Lのメディアミル(内容積80容量%の0.5mmジルコニアビーズ使用)を用いて、染料(A−1)/(A−4)=52/48:200g、樹脂B1:80gおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート:720gを分散処理し、着色組成物(A−14)を得た。
<Preparation of colored composition (A-14)>
Internal volume: Using a 1 L media mill (using 0.5 mm zirconia beads with an internal volume of 80% by volume), dye (A-1) / (A-4) = 52/48: 200 g, resin B1: 80 g and propylene Glycol monomethyl ether acetate: 720 g was dispersed to obtain a colored composition (A-14).

<着色組成物(A−15)の調製>
内容積:1Lのメディアミル(内容積80容量%の0.5mmジルコニアビーズ使用)を用いて、染料(A−1)/(A−4)=52/48:200g、ポリエステル系高分子型分散剤(Solsperse 24000GR (アビシア社製)):60gおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート:740gを分散処理し、着色組成物(A−15)を得た。
<Preparation of colored composition (A-15)>
Internal volume: Using a 1 L media mill (using 0.5 mm zirconia beads with an internal volume of 80% by volume), dye (A-1) / (A-4) = 52/48: 200 g, polyester polymer dispersion Agent (Solsperse 24000GR (manufactured by Avicia)): 60 g and propylene glycol monomethyl ether acetate: 740 g were dispersed to obtain a colored composition (A-15).

(B−1)樹脂B1
(C−1)光重合性化合物:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(D−1)光重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン
(G−1)光重合開始助剤:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
(E−1)溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
(E−2)溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル
(H−1)ポリエーテル変性シリコンオイルSH8400(トーレシリコーン(株)製)
(B-1) Resin B1
(C-1) Photopolymerizable compound: Dipentaerythritol hexaacrylate (D-1) Photopolymerization initiator: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one (G- 1) Photopolymerization initiation assistant: 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone (E-1) Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate (E-2) Solvent: Ethyl 3-ethoxypropionate (H-1) polyether Modified silicone oil SH8400 (Toray Silicone Co., Ltd.)

実施例1
〔着色感光性樹脂組成物1の調製〕
下記の各成分を混合して着色感光性樹脂組成物1を得た。
(A−11) 44.100質量部
(B−1) 1.144質量部
(C−1) 4.344質量部
(D−1) 1.043質量部
(G−1) 0.348質量部
(E−1) 35.820質量部
(E−2) 7.900質量部
(H−1) 0.011質量部
Example 1
[Preparation of colored photosensitive resin composition 1]
The following components were mixed to obtain a colored photosensitive resin composition 1.
(A-11) 44.100 parts by mass (B-1) 1.144 parts by mass (C-1) 4.344 parts by mass (D-1) 1.043 parts by mass (G-1) 0.348 parts by mass (E-1) 35.820 parts by mass (E-2) 7.900 parts by mass (H-1) 0.011 parts by mass

〔パターンの形成〕
シリコンウエハに、スミレジストPR−1300Y−PG(住友化学(株)製)をスピンコートし、次いで100℃で1分間加熱して揮発成分を除去し、0.5μm膜厚の平坦化膜形成材層を形成した。次いで、このウエハーを230℃で15分間加熱して平坦化膜形成材層を硬化させ支持体を形成した。先に得られた着色感光性樹脂組成物1をこの支持体(平坦化膜付きシリコンウエハ)上にスピンコート法で塗布し、100℃で3分間加熱し揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物層を形成した。
次いで、得られた着色感光性樹脂組成物層に、露光機(Nikon NSR i9C;ニコン(株)製)を用いてパターン〔2μmの正方ピクセルが一松模様に形成されている。〕を有するマスクを介してi線を照射[10〜300msec、10msec間隔で30箇所に段階露光]した後、当該基板を現像液〔0.05質量%TMAH水溶液〕中に23℃で、60秒間浸漬して現像した。現像後、水洗、乾燥し、線幅が2.0μmで、厚みが2.0μmの市松模様のパターンを得た。
別途、ガラス基板(#1737;コーニング社製)の上に、上記で得た着色感光性樹脂組成物1をスピンコート法で塗布したのち、100℃で1分間乾燥して揮発分を揮発させて、着色感光性樹脂組成物の層を形成した。冷却後、この着色感光性樹脂組成物層にフォトマスクを介せず、i線〔波長365nm〕を照射して露光し、基板全面に形成された着色膜を得た。i線の光源としては、超高圧水銀ランプを用い、照射光量は150mJ/cmとした。得られた着色膜の色度を色度計(OSP−SP−200;OLYMPUS社製)を用いて測定した。
[Formation of pattern]
A silicon wafer is spin-coated with Sumistres PR-1300Y-PG (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), then heated at 100 ° C. for 1 minute to remove volatile components, and a flattened film forming material having a thickness of 0.5 μm A layer was formed. Next, the wafer was heated at 230 ° C. for 15 minutes to cure the planarization film forming material layer and form a support. The previously obtained colored photosensitive resin composition 1 is applied onto this support (silicon wafer with a flattened film) by spin coating, and heated at 100 ° C. for 3 minutes to volatilize the volatile components, thereby coloring the photosensitive resin. A composition layer was formed.
Next, the obtained colored photosensitive resin composition layer is formed with a pattern [2 μm square pixels in a pine pattern using an exposure machine (Nikon NSR i9C; manufactured by Nikon Corporation). I-line irradiation through a mask having [10] to 300 msec, stepwise exposure to 30 locations at 10 msec intervals], and then the substrate in a developer [0.05 mass% TMAH aqueous solution] at 23 ° C. for 60 seconds. Dipped and developed. After development, it was washed with water and dried to obtain a checkered pattern having a line width of 2.0 μm and a thickness of 2.0 μm.
Separately, on the glass substrate (# 1737; manufactured by Corning), the colored photosensitive resin composition 1 obtained above was applied by spin coating, and then dried at 100 ° C. for 1 minute to volatilize the volatile components. A layer of a colored photosensitive resin composition was formed. After cooling, this colored photosensitive resin composition layer was exposed by irradiating with i-line (wavelength 365 nm) without passing through a photomask to obtain a colored film formed on the entire surface of the substrate. As an i-line light source, an ultra-high pressure mercury lamp was used, and the irradiation light amount was 150 mJ / cm 2 . The chromaticity of the obtained colored film was measured using a chromaticity meter (OSP-SP-200; manufactured by OLYMPUS).

〔評価〕
(1)異物評価
走査電子顕微鏡(S−4100;(株)日立製作所製)を用いて、得られた基板を観察し、基板の現像溶解部に異物がないものを○、それ以外を×とした。結果を表1に示す。
(2)形状評価
パターンの断面を走査型電子顕微鏡で確認したところ、断面の台形状で底辺とそれに接する辺との間の角度が約80〜90゜の良好なテーパー形状で解像度が2μm以下のものを○、それ以外を×とした。結果を表1に示す。なお、パターンが形成できるものは、少なくとも密着性が良好であるといえる。
(3)表面粗度
パターン表面を顕微鏡(Nanopics;セイコーインスツルメンツ社製)で観察した際の平均粗度(表面粗度とは、塗膜表面の凹凸をいう。)が3nm以下のものを○、それ以外を×とした。結果を表1に示す。
(4)耐熱性評価
着色膜形成後、150℃で2分間加熱処理した。加熱処理後に、前記と同様にして色度を測定した。着色膜形成直後の色度と前記の加熱処理後の色度を比較し、それらの間の色差が3以下のものを○とし、それ以外を×とした。結果を表1に示す。
[Evaluation]
(1) Evaluation of foreign matter Using a scanning electron microscope (S-4100; manufactured by Hitachi, Ltd.), the obtained substrate was observed. did. The results are shown in Table 1.
(2) Shape evaluation When the cross section of the pattern was confirmed with a scanning electron microscope, the trapezoidal shape of the cross section had a good taper shape with an angle between the base and the side in contact with the base of about 80 to 90 °, and the resolution was 2 μm or less. The thing was set to (circle) and the others were set to x. The results are shown in Table 1. In addition, it can be said that what can form a pattern has favorable adhesiveness at least.
(3) Surface roughness When the pattern surface is observed with a microscope (Nanopics; manufactured by Seiko Instruments Inc.), the average roughness (surface roughness refers to the unevenness of the coating film surface) is 3 nm or less. Otherwise, it was set as x. The results are shown in Table 1.
(4) Evaluation of heat resistance After the colored film was formed, heat treatment was performed at 150 ° C. for 2 minutes. After the heat treatment, the chromaticity was measured in the same manner as described above. The chromaticity immediately after the formation of the colored film was compared with the chromaticity after the heat treatment, and the color difference between them was 3 or less, and the others were x. The results are shown in Table 1.

比較例1
〔着色感光性樹脂組成物2の調製〕
下記の各成分を混合したが、染料(A)は溶解しなかった。また、分散も不十分であり、染料の凝集体が得られ、均一な着色感光性樹脂組成物として得られなかった。
(A−3) 3.780質量部
(A−2) 3.465質量部
(A−1) 3.255質量部
(B−1) 4.521質量部
(C−1) 4.521質量部
(D−1) 1.085質量部
(G−1) 0.362質量部
(E−1) 71.100質量部
(E−2) 7.900質量部
(H−1) 0.011質量部
Comparative Example 1
[Preparation of colored photosensitive resin composition 2]
The following components were mixed, but the dye (A) did not dissolve. Further, the dispersion was insufficient, and an aggregate of dyes was obtained, and a uniform colored photosensitive resin composition was not obtained.
(A-3) 3.780 parts by mass (A-2) 3.465 parts by mass (A-1) 3.255 parts by mass (B-1) 4.521 parts by mass (C-1) 4.521 parts by mass (D-1) 1.085 parts by mass (G-1) 0.362 parts by mass (E-1) 71.100 parts by mass (E-2) 7.900 parts by mass (H-1) 0.011 parts by mass

比較例2
〔着色感光性樹脂組成物3の調製〕
下記の各成分を混合着色感光性樹脂組成物3を得た。実施例1と同様にしてパターンを形成しようとしたがパターンが残らなかった。
(A−3) 3.780質量部
(A−2) 3.465質量部
(A−1) 3.255質量部
(B−1) 1.144質量部
(C−1) 4.344質量部
(D−1) 1.043質量部
(G−1) 0.348質量部
乳酸エチル 46.800質量部
N,N−ジメチルホルムアミド 31.200質量部
(H−1) 0.011質量部
Comparative Example 2
[Preparation of colored photosensitive resin composition 3]
The following components were mixed to obtain a colored photosensitive resin composition 3. A pattern was formed in the same manner as in Example 1, but no pattern remained.
(A-3) 3.780 parts by mass (A-2) 3.465 parts by mass (A-1) 3.255 parts by mass (B-1) 1.144 parts by mass (C-1) 4.344 parts by mass (D-1) 1.043 parts by mass (G-1) 0.348 parts by mass Ethyl lactate 46.800 parts by mass N, N-dimethylformamide 31.200 parts by mass (H-1) 0.011 parts by mass

実施例2
〔着色感光性樹脂組成物4の調製〕
着色感光性樹脂組成物3の(A−11)を(A−12)に置き換える以外は比較例2と同様にして着色感光性樹脂組成物4を得た。
Example 2
[Preparation of colored photosensitive resin composition 4]
A colored photosensitive resin composition 4 was obtained in the same manner as in Comparative Example 2 except that (A-11) in the colored photosensitive resin composition 3 was replaced with (A-12).

〔パターンの形成および評価〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物4に置き換える以外は実施例1と同様に評価を実施した。結果を表1に示す。
[Formation and evaluation of patterns]
Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was replaced with the colored photosensitive resin composition 4. The results are shown in Table 1.

Figure 2006265548
Figure 2006265548

比較例3
〔着色感光性樹脂組成物5の調製〕
下記の各成分を混合したが、染料(A)は溶解しなかった。また、分散も不十分であり、染料の凝集体が得られ、均一な着色感光性樹脂組成物として得られなかった。
(A−4) 3.420質量部
(A−1) 6.580質量部
(B−1) 4.306質量部
(C−1) 4.306質量部
(D−1) 1.033質量部
(G−1) 0.344質量部
(E−1) 80.000質量部
(H−1) 0.010質量部
Comparative Example 3
[Preparation of colored photosensitive resin composition 5]
The following components were mixed, but the dye (A) did not dissolve. Further, the dispersion was insufficient, and an aggregate of dyes was obtained, and a uniform colored photosensitive resin composition was not obtained.
(A-4) 3.420 parts by mass (A-1) 6.580 parts by mass (B-1) 4.306 parts by mass (C-1) 4.306 parts by mass (D-1) 1.033 parts by mass (G-1) 0.344 parts by mass (E-1) 80.000 parts by mass (H-1) 0.010 parts by mass

比較例4
〔着色感光性樹脂組成物6の調製〕
下記の各成分を混合着色感光性樹脂組成物6を得た。実施例1と同様にしてパターンを形成しようとしたがパターンが残らなかった。
(A−4) 3.420質量部
(A−1) 6.580質量部
(B−1) 4.306質量部
(C−1) 4.306質量部
(D−1) 1.033質量部
(G−1) 0.344質量部
乳酸エチル 48.000質量部
N,N−ジメチルホルムアミド 32.000質量部
(H−1) 0.010質量部
Comparative Example 4
[Preparation of colored photosensitive resin composition 6]
The following components were mixed to obtain a colored photosensitive resin composition 6. A pattern was formed in the same manner as in Example 1, but no pattern remained.
(A-4) 3.420 parts by mass (A-1) 6.580 parts by mass (B-1) 4.306 parts by mass (C-1) 4.306 parts by mass (D-1) 1.033 parts by mass (G-1) 0.344 parts by mass ethyl lactate 48.000 parts by mass N, N-dimethylformamide 32.000 parts by mass (H-1) 0.010 parts by mass

〔パターンの形成および評価〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物6に置き換える以外は実施例1と同様に評価を実施した。結果を表2に示す。
[Formation and evaluation of patterns]
Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was replaced with the colored photosensitive resin composition 6. The results are shown in Table 2.

実施例3
〔着色感光性樹脂組成物7の調製〕
下記の各成分を混合して着色感光性樹脂組成物7を得た。
(A−13) 50.000質量部
(B−1) 0.306質量部
(C−1) 4.306質量部
(D−1) 1.033質量部
(G−1) 0.344質量部
(E−1) 44.000質量部
(H−1) 0.010質量部
Example 3
[Preparation of colored photosensitive resin composition 7]
The following components were mixed to obtain a colored photosensitive resin composition 7.
(A-13) 50.000 parts by mass (B-1) 0.306 parts by mass (C-1) 4.306 parts by mass (D-1) 1.033 parts by mass (G-1) 0.344 parts by mass (E-1) 44.000 parts by mass (H-1) 0.010 parts by mass

〔パターンの形成および評価〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物7に置き換える以外は実施例2と同様に評価を実施した。
[Formation and evaluation of patterns]
Evaluation was carried out in the same manner as in Example 2 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was replaced with the colored photosensitive resin composition 7.

実施例4
〔着色感光性樹脂組成物8の調製〕
着色感光性樹脂組成物7の(A−13)を(A−14)に置き換える以外は実施例3と同様にして着色感光性樹脂組成物8を得た。
Example 4
[Preparation of colored photosensitive resin composition 8]
A colored photosensitive resin composition 8 was obtained in the same manner as in Example 3 except that (A-13) in the colored photosensitive resin composition 7 was replaced with (A-14).

実施例5
〔着色感光性樹脂組成物9の調製〕
下記の各成分を混合して着色感光性樹脂組成物9を得た。
(A−15) 50.000質量部
(B−1) 1.306質量部
(C−1) 4.306質量部
(D−1) 1.033質量部
(G−1) 0.344質量部
(E−1) 43.000質量部
(H−1) 0.010質量部
Example 5
[Preparation of colored photosensitive resin composition 9]
The following components were mixed to obtain a colored photosensitive resin composition 9.
(A-15) 50.000 parts by mass (B-1) 1.306 parts by mass (C-1) 4.306 parts by mass (D-1) 1.033 parts by mass (G-1) 0.344 parts by mass (E-1) 43.000 parts by mass (H-1) 0.010 parts by mass

〔パターンの形成および評価〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物9に置き換える以外は実施例1と同様に評価を実施した。
[Formation and evaluation of patterns]
Evaluation was carried out in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was replaced with the colored photosensitive resin composition 9.

Figure 2006265548
Figure 2006265548

本発明の着色組成物は、CCDやCMOSなどイメージセンサ用カラーフィルタの画素形成用着色感光性樹脂組成物の他、LCDなど表示装置用カラーフィルタの画素形成用着色感光性樹脂組成物にも用いることができる。
The colored composition of the present invention is used for a colored photosensitive resin composition for forming a pixel of a color filter for a display device such as an LCD as well as a colored photosensitive resin composition for forming a color filter for an image sensor such as a CCD or CMOS. be able to.

Claims (9)

少なくとも、染料(A)、樹脂(B)および溶剤(E)を含み、溶剤(E)中において、染料(A)および樹脂(B)が分散処理された着色組成物。   A coloring composition comprising at least a dye (A), a resin (B) and a solvent (E), wherein the dye (A) and the resin (B) are dispersed in the solvent (E). 樹脂(B)がアルカリ可溶性樹脂(B1)および分散剤(B2)からなる群から選ばれる少なくとも1種の高分子である請求項1に記載の着色組成物。   The colored composition according to claim 1, wherein the resin (B) is at least one polymer selected from the group consisting of an alkali-soluble resin (B1) and a dispersant (B2). 溶剤(E)が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを含有する請求項1または2に記載の着色組成物。   The coloring composition according to claim 1 or 2, wherein the solvent (E) contains propylene glycol monomethyl ether acetate. 請求項1〜3のいずれかに記載の着色組成物を含有する着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition containing the coloring composition in any one of Claims 1-3. アルカリ可溶性樹脂(B1)、光重合性化合物(C)および光重合開始剤(D)を含有する請求項4に記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to claim 4, comprising an alkali-soluble resin (B1), a photopolymerizable compound (C), and a photopolymerization initiator (D). 染料(A)の含有量が着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で20質量%〜60質量%である請求項4または5に記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to claim 4 or 5, wherein the content of the dye (A) is 20% by mass to 60% by mass with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition. 請求項4〜6のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターン。   The pattern formed using the colored photosensitive resin composition in any one of Claims 4-6. 請求項7記載のパターンを含むカラーフィルタ。   A color filter comprising the pattern according to claim 7. 請求項8記載のカラーフィルタを具備してなるイメージセンサ。
An image sensor comprising the color filter according to claim 8.
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